JPH1065112A - 誘導ドライバ回路とその方法 - Google Patents

誘導ドライバ回路とその方法

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JPH1065112A
JPH1065112A JP9094576A JP9457697A JPH1065112A JP H1065112 A JPH1065112 A JP H1065112A JP 9094576 A JP9094576 A JP 9094576A JP 9457697 A JP9457697 A JP 9457697A JP H1065112 A JPH1065112 A JP H1065112A
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JP
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transistor
substrate
circuit
driver
coupled
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JP9094576A
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David M Heminger
デビッド・エム・ヘミンガー
Vincent L Mirtich
ビンセント・エル・ミルティック
William H Grant
ウィリアム・エッチ・グラント
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    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10DINORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D89/00Aspects of integrated devices not covered by groups H10D84/00 - H10D88/00
    • H10D89/60Integrated devices comprising arrangements for electrical or thermal protection, e.g. protection circuits against electrostatic discharge [ESD]
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K17/00Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
    • H03K17/08Modifications for protecting switching circuit against overcurrent or overvoltage
    • H03K17/081Modifications for protecting switching circuit against overcurrent or overvoltage without feedback from the output circuit to the control circuit
    • H03K17/0812Modifications for protecting switching circuit against overcurrent or overvoltage without feedback from the output circuit to the control circuit by measures taken in the control circuit
    • H03K17/08126Modifications for protecting switching circuit against overcurrent or overvoltage without feedback from the output circuit to the control circuit by measures taken in the control circuit in bipolar transitor switches
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  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 単一の基板上に集積される、低価格,高利得
で、負荷駆動中の飽和電圧が低くワット損が低い誘導ド
ライバ回路を提供する。 【解決手段】 誘導ドライバ回路10は、負荷を駆動す
るために用いられるドライバ・トランジスタ11を有す
る。入力保護装置13と電圧抑制装置12とが、トラン
ジスタ11を保護する助けとなる。ドライバ・トランジ
スタ11と入力保護装置13とを備える回路10は、共
通コレクタ領域内に形成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、一般に半導体に関し、
さらに詳しくは、新規の半導体回路に関する。
【0002】
【従来の技術発明が解決しようとする課題】従来、種々
の異なる回路構成が誘導負荷のためのドライバ回路とし
て利用されてきた。具体的な回路構成構成は、負荷が必
要とする電流に基づき決定されるのが普通である。通常
約300ミリアンペア未満の低電流を必要とする用途の
ための特定の回路は、単一のドライバ・トランジスタを
利用する。この用途では、トランジスタが、通常300
のベータを超える高い利得と、約0.2ボルト未満の低
い飽和電圧と、125ミリワット未満のワット損を有す
ることを必要とする。しかし、従来の回路は、これらの
パラメータを満足させないことが多く、通常約0.5ボ
ルト超の高い飽和電圧を有するので、ワット損もより高
くなる。このような従来の回路は、トランジスタ出力の
両端にツェナー・ダイオードを備え、トランジスタのベ
ース−エミッタ接合の両端にダイオードを備えることが
多い。さらに、このような回路は個別構成である、すな
わち個々に実装されたトランジスタ,ダイオードおよび
抵抗に組み込まれる。
【0003】個々に実装されたトランジスタ,抵抗およ
びダイオードが利用されるので、プリント回路板が必要
とされ、各装置をプリント回路板内に挿入して組み立て
ねばならない。このため、製造工程の長いサイクル時間
と、より高いコストと、より大きなシステム規模が必要
になる。
【0004】従って、単一の基板上に集積される、低価
格,高利得で、負荷駆動中の飽和電圧が低くワット損が
低い誘導ドライバ回路を有することが望ましい。
【0005】
【実施例】図1は、単一の半導体基板上に集積され形成
される誘導ドライバ回路10を概略的に示す。回路10
は、回路10の出力19に接続された第1電流電極また
はコレクタを有するドライバ・トランジスタ11を具備
する。トランジスタ11はまた、回路10の電圧帰路2
1に接続された第1電流電極またはエミッタと、回路1
0の他の部分に接続された制御電極またはベースとを有
する。ツェナー・ダイオード12は、トランジスタ11
の両端に並列に接続された電圧抑制装置として機能す
る。ダイオード12は、負荷をオフにした際の誘導キッ
クバック電圧からトランジスタ11を保護する。多重直
列ダイオードやバックトゥバック(back-to-back)ポリ
ダイオードなどの他種の電圧抑制装置を用いることもで
きる。このように保護されることにより、トランジスタ
11は、トランジスタ11に損傷を与えずに低い降伏電
圧と高い利得とを有することができる。ダイオード12
は、トランジスタ11のエミッタに接続された陽極と、
コレクタに接続された陰極とを有する。ダイオード13
は、トランジスタ11の制御電極またはベースに並列に
接続され、入力保護装置として機能する。ダイオード1
3は、トランジスタ11のエミッタ−ベース接合を、接
地バウンスまたは特に誘導負荷の切り替え中のその他の
雑音により起こる反転入力電圧スパイクから保護する。
ダイオード13は、トランジスタ11のエミッタに接続
された陽極と、ベースに接続された陰極とを有し、その
ためにダイオード13はトランジスタ11のベースと並
列に接続される。分岐抵抗14がダイオード13と並列
に接続される。抵抗14は、入力18に接続された装置
からの漏洩電流と、内部で発生した漏洩電流とを分流さ
せ、トランジスタ17が偶然的にオンになるのを防ぎ、
それによって回路10の雑音免疫性を高める。入力抵抗
16が回路10の入力18と、トランジスタ11のベー
スとの間に直列接続される。抵抗16は、トランジスタ
11に対するベース電流を制限し、それによりトランジ
スタ11への損傷を防ぎ、出力19の負荷から入力18
に戻る分離を高める。
【0006】回路10が負荷駆動中に低い飽和電圧を有
するようにするために、トランジスタ11およびダイオ
ード12,13は共通コレクタ領域内に形成される。こ
れについては、下記に詳しく説明する。共通コレクタ領
域により、ダイオード12,13は、トランジスタ11
の両端に形成される、破線で示された寄生トランジスタ
17を形成する。さらに共通コレクタ領域のために、抵
抗16が、多結晶シリコン抵抗として形成され、抵抗1
6とトランジスタ11のコレクタとの間に寄生ダイオー
ドが形成されるのを防ぎ、それにより、トランジスタ1
1に対するベース駆動電流を制限する。多結晶シリコン
抵抗を利用することにより、異なる用途について抵抗1
6の値を個別に制御することもできる。
【0007】図2は、回路10が形成される基板22の
部分を示す集積回路の断面図である。図1と同一の参照
番号を有する図2の要素は、対応する図1の要素を指
す。図1のトランジスタ11,抵抗14およびダイオー
ド12,13の部分は、破線または破線のボックスで示
され、対応する参照番号が付される。基板22は、共通
コレクタ領域によるトランジスタ11とダイオード12
との間の共通接続部を形成する。
【0008】好適な実施例においては、抵抗14,16
も、基板22上の共通コレクタ領域内に形成される。ま
た、基板22は、シリコン・ウェハ32を備え、その上
にエピタキシャル層31が形成される。従って、トラン
ジスタ11,ダイオード12,13および抵抗14,1
6は、基板22の層31上に形成される。この好適な実
施例においては、基板22は、N型シリコン・ウェハ3
2とN型層31とを有するN型基板である。層31は、
低飽和電圧を提供するためにきわめて薄く、また高コレ
クタ電流における高電流利得を容易にする。層31が薄
いことで、トランジスタ11の降伏電圧も下がるが、ダ
イオード12は、降伏電圧からトランジスタ11を保護
する。好適な実施例においては、層31は、約7ミクロ
ン厚未満であり、約1x 1015原子/cm3 のドーピング
濃度を有する。
【0009】トランジスタ11は、基板22上の被拡散
領域であるベース24と、ベース24内の被拡散領域で
あるエミッタ23とを備える。好適な実施例において
は、ベース24は、P型にドーピングされ、エミッタ2
3はN型にドーピングされる。エミッタ23は、トラン
ジスタ11に高いベータを与えるために、深いエミッタ
として形成される。好適な実施例においては、エミッタ
23は、少なくとも約3ミクロンの深さを有するので、
トランジスタ11は少なくとも300のベータを有する
ことになる。さらに、エミッタ23は、トランジスタ1
1の飽和抵抗を小さくするために、ベース24とほぼ同
じ大きさの面積を有する。エミッタ23は、ベース24
に対する電気的接触を容易にするために、メッシュ・エ
ミッタとして形成される。メッシュ・エミッタは、当業
者には周知の方法で、エミッタ23を貫通してエミッタ
・フィードスルー33を用いて、ベース24との接触を
促進することにより形成される。
【0010】共通コレクタ領域があるために、ダイオー
ド13の陽極領域内に形成される陽極を有するダイオー
ド12ができる。このために、ダイオード12,13に
用いられる面積も小さくなり、価格がより安くなる。ダ
イオード13は、基板22上に形成される第1被ドーピ
ング領域26を有する。領域26は、ダイオード13の
陽極を形成する。領域26は、基板22とは対向する導
電型と、第1ドーピング濃度とを有する。好適な実施例
においては、領域26は、約3x1017原子/cm3 のP
型ドーピング表面濃度を有する。ダイオード13の陰極
は、領域26内に被ドーピング領域28として形成され
る。領域28は、領域26とは対向する導電型を有す
る。ダイオード13は、多結晶シリコン陰極を有するポ
リダイオードとしても形成できることに留意されたい。
このような設定においては、依然として陽極を共通コレ
クタ領域内に形成することもできる。多結晶シリコン陽
極および陰極の両方を用いてポリダイオードを形成する
こともできる。こうすると寄生トランジスタ17(図
1)が排除される。ダイオード13は、領域26とエミ
ッタ23との間と、領域28とベース24との間の金属
被覆(図示せず)によりトランジスタ11に接続される
ことに留意されたい。
【0011】共通コレクタ領域があるために、表面ドー
ピング濃度の制御を通じてダイオード12の電圧を正確
に設定するためには、ダイオード12を縦方向ではなく
横方向に構築しなければならない。ダイオード12に用
いられる面積を小さくするために、陽極は、実質的にダ
イオード13の陽極内の被ドーピング領域27として形
成される。その結果、領域27は、領域26の形成後に
形成される。領域27が領域26よりも高い濃度を有す
るので、領域27は、破線36により示されるように、
領域26よりも基板22内に深く延在することになる。
【0012】トランジスタ11を保護するためには、ト
ランジスタ11のエミッタ−コレクタ降伏電圧よりも、
ツェナー電圧が低いことが重要である。ダイオード12
のツェナー電圧は、領域27を領域26とは離して、領
域26のドーピング濃度より高いドーピング濃度でドー
ピングすることにより制御される。好適な実施例におい
ては、領域27は、約12ボルト程度、好ましくは約
6.8ボルトのツェナー降伏電圧を得るために、約1.
2x1018原子/cm3 のP型表面ドーピング濃度を有す
る。ダイオード12の陰極は、領域27と交差する被ド
ーピング領域29により形成される。領域29は、領域
27とは対向する導電型を有する。好適な実施例におい
ては、領域29は、約1x 1018原子/cm3 のN型ドー
ピング濃度を有する。さらに好適な実施例においては、
領域29は、ウェハ上でダイを分離するために用いられ
る帯部(scribe gird )を貫通して延在するチャネル・
ストップ拡散である。領域29を形成するためにチャネ
ル・ストップ拡散を用いると、ダイオード12の寸法を
最小限に抑える。また、領域26内に領域27を形成す
ると、小さい面積に関して大きな電流能力を有するダイ
オード12が得られる。ダイオード12の接合領域は、
領域27,29の界面に沿って形成される。その結果、
点20付近の表面で降伏が起こる。これにより、領域2
7,29の寸法を非常に小さくすることができる。好適
な実施例においては、ダイオード12は、約1200ミ
クロンの長さと10ないし15ミクロンの幅の寸法を有
し、ピーク電流能力は、少なくとも約1アンペアで、DC
電流能力は少なくとも30ミリアンペアである。
【0013】被ドーピング領域34は、抵抗14(図
1)として機能する。領域34は、基板22内に形成さ
れるので、抵抗14はトランジスタ11のコレクタ内に
ある。通常、領域34は、ベース24の形成時に形成さ
れ、同様のドーピング濃度と深さとを有する。
【0014】トランジスタ11は,NPNトランジスタ
として図示および説明されるが、トランジスタとその他
の領域のドーピング型をたとえば、N型からP型へと反
転させることにより、トランジスタ11をPNPトラン
ジスタとして形成することができることは当業者には理
解頂けよう。
【0015】以上、新規のドライバ回路が提供されたこ
とは明らかである。単一の半導体基板上の共通コレクタ
領域内に回路素子を形成することにより、低飽和電圧を
得ることが容易になる。共通コレクタ領域を設けること
により、他の回路に用いられる別の分離タブが必要なく
なる。分離タブがあると、このような回路素子間で基板
を通り、電流がより長い距離を流れることになるので、
飽和電圧が上がる。回路10は、約2.5ミリアンペア
未満の入力電流で250ミリアンペアの負荷を駆動しな
がら、約0.2ボルト未満の飽和電圧を有し、ワット損
は約50ミリワット未満である。この集積回路構造によ
り、回路10のコストが下がる。また、回路10によ
り、用途別回路に用いられる部品が少なくなるので、製
造サイクルが小さくなる。その結果、回路10を、電気
通信およびその他の種類の回路用途における誘導負荷と
して用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるドライバ回路の概略図である。
【図2】本発明による図1のドライバ回路の一部分の拡
大断面図である。
【符号の説明】
10 誘導ドライバ回路 11 ドライバ・トランジスタ 12 ツェナー・ダイオード(電圧抑制装置) 13 ダイオード(入力保護装置) 14 分岐抵抗 16 入力抵抗 17 寄生トランジスタ 18 入力 19 回路出力 21 電圧帰路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ウィリアム・エッチ・グラント アメリカ合衆国アリゾナ州メサ、ノース・ カチーナ1726

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 誘導ドライバ回路を形成する方法であっ
    て:基板(22)を設ける段階;前記基板上に、コレク
    タ,ベースおよびエミッタを有するドライバ・トランジ
    スタ(11)を形成する段階;前記基板上に入力保護装
    置(13)を形成する段階;前記基板上に、前記コレク
    タと共通の陽極(27)を有する電圧抑制装置(12)
    を形成する段階;および前記基板上に、前記ドライバ・
    トランジスタの前記ベースと前記エミッタとの間に結合
    された分岐抵抗(14)を形成する段階;によって構成
    されることを特徴とする方法。
  2. 【請求項2】 基板(22);前記基板上に形成され、
    制御電極を有するドライバ・トランジスタ(11);前
    記ドライバ・トランジスタ(11)の両端に並列に結合
    された電圧抑制装置(12)であって、前記ドライバ・
    トランジスタと前記電圧抑制装置とが前記基板上の共通
    コレクタ領域(31)内に形成される電圧抑制装置(1
    2);前記基板上に形成され、前記ドライバ・トランジ
    スタの前記制御電極に直列に結合された入力抵抗(1
    6);前記基板上に形成され、前記ドライバ・トランジ
    スタの前記制御電極に並列に結合された入力保護装置
    (13);および前記基板上に形成され、前記ドライバ
    ・トランジスタの前記制御電極に並列に結合された分岐
    抵抗(14);によって構成されることを特徴とする誘
    導ドライバ回路。
  3. 【請求項3】 前記電圧抑制装置(12)の陽極(2
    7)が、実質的に前記入力保護装置(13)の陽極(2
    6)内に形成される請求項2記載の誘導ドライバ回路。
  4. 【請求項4】 前記入力保護装置の前記陽極が、第1導
    電型と第1ドーピング濃度とを有する第1被ドーピング
    領域を備え、前記電圧抑制装置の前記陽極が前記第1導
    電型と、前記第1ドーピング濃度よりも大きい第2ドー
    ピング濃度とを有する第2被ドーピング領域を備える請
    求項3記載の誘導ドライバ回路。
  5. 【請求項5】 誘導ドライバ回路であって:基板(2
    2);前記基板上に形成され、前記誘導ドライバ回路の
    出力に結合された第1電流電極と、前記誘導ドライバ回
    路の電圧帰路に結合された第2電流電極と、制御電極と
    を有するドライバ・トランジスタ(11);前記基板上
    に形成され、前記ドライバ・トランジスタ(11)の前
    記第1および第2電流電極の間に並列に結合された電圧
    抑制装置(12)であって、前記ドライバ・トランジス
    タと前記電圧抑制装置とが共通コレクタ領域(31)内
    に形成される電圧抑制装置(12);前記基板上に形成
    され、前記制御電極に直列に結合された入力抵抗(1
    6);前記基板上に形成され、前記ドライバ・トランジ
    スタの前記制御電極と前記第2電流電極との間に並列に
    結合された入力保護装置(13);および前記基板上に
    形成され、前記ドライバ・トランジスタの前記制御電極
    と前記第2電流電極との間に並列に結合された分岐抵抗
    (14);によって構成されることを特徴とする誘導ド
    ライバ回路。
JP9094576A 1996-04-01 1997-03-28 誘導ドライバ回路とその方法 Pending JPH1065112A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
US08/617,722 US5751052A (en) 1996-04-01 1996-04-01 Inductive driver circuit and method therefor
US617722 1996-04-01

Publications (1)

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JPH1065112A true JPH1065112A (ja) 1998-03-06

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ID=24474784

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EP (1) EP0800273A3 (ja)
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US5751052A (en) 1998-05-12
EP0800273A2 (en) 1997-10-08
EP0800273A3 (en) 1999-01-13

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