JPH106511A

JPH106511A - インクジェットヘッドおよびインクジェットカートリッジおよびインクジェット装置ならびにインクジェットヘッドの製造方法

Info

Publication number: JPH106511A
Application number: JP16004396A
Authority: JP
Inventors: Genji Inada; 源次稲田; Mitsuji Kitani; 充志木谷
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1996-06-20
Filing date: 1996-06-20
Publication date: 1998-01-13

Abstract

(57)【要約】【課題】インクジェットヘッドを構成する基板と溝付
き板のノズル壁の先端部とを、充分な接合強度をもって
確実に結合し得えない。【解決手段】液滴を吐出するための電気熱変換体１１
を有する基板１３と、この基板１３の電気熱変換体１１
が形成された側の面に重ね合わされると共に電気熱変換
体１１を囲むノズル壁１５が形成された溝付き板１６と
を相互に接合するインクジェットヘッドの製造方法にお
いて、基板１３に樹脂層３１を形成するステップと、こ
の樹脂層３１を覆う被覆層３２を形成するステップと、
ノズル壁１５の先端面と対応した形状に被覆層３２の一
部を除去して樹脂層３１を露出させるステップと、露出
した樹脂層３２にノズル壁１５の先端部を押し付けつつ
樹脂層３２を加熱溶融させてノズル壁１５の先端部と被
覆層３２との間に樹脂層３２を構成する樹脂を介在させ
るステップとを具える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドおよびインクジェットカートリッジおよびインクジ
ェットヘッドが搭載されるインクジェット装置およびイ
ンクジェットヘッドの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、インクジェット装置に搭載され
るインクジェットヘッドは、インク滴やプリント媒体に
吐出されたインク滴の特性を調整するための処理液滴
（以下、これらをまとめて吐出媒体液滴と呼称する）を
吐出する吐出口と、この吐出口に連通するノズル通路
と、このノズル状通路の一部に臨んで吐出媒体液滴形成
用のエネルギーを発生させる吐出エネルギー発生手段と
を具えている。

【０００３】この吐出エネルギー発生手段としては、ピ
エゾ素子などの電気機械変換体を用いたものや、レーザ
などの電磁波を照射して吐出媒体を発熱させ、この発熱
による吐出媒体の膨張を利用して吐出媒体液滴を吐出口
から吐出させるもの、あるいは電気熱変換体などの発熱
体などが知られている。

【０００４】なかでも、電気熱変換体を吐出エネルギー
発生手段に用い、熱エネルギーによって吐出媒体液滴を
吐出口より吐出させるインクジェットヘッドは、以下の
ような利点を有する。すなわち、吐出媒体液滴を吐出す
る吐出口を高密度に配列し、高解像力のプリントを得る
ために都合の良い構成を容易に取ることが可能である。
また、構造上、コンパクト化が容易である。さらに、最
近の半導体分野において技術進歩および信頼性の向上が
著しいＩＣ製造技術やマイクロ加工技術の長所を十二分
に活用して製造することができる。そして、これらの技
術を利用することで、長尺化, 二次元化, 吐出口のマル
チ化, 高密度化がさらに容易となり、しかも大量生産が
可能で製造コストも廉価となる。

【０００５】吐出エネルギー発生手段として電気熱変換
体を用い、半導体製造プロセスを経て製造された多数の
吐出口を有するインクジェットヘッドは、通常、各吐出
口にそれぞれ対応したノズル状通路を有し、これら各ノ
ズル状通路毎に電気熱変換体が設けられ、かつ各ノズル
状通路に連通する共通液室から吐出媒体が供給される構
造となっており、特開平４−２４７９４６号公報や特開
平４−２５００４８号公報などに開示されている通りで
ある。

【０００６】このような従来のインクジェットヘッドの
外観を図２０に示し、その断面構造を図２１に示し、そ
のXXII−XXII矢視断面構造, XXIII−XXIII 矢視断面構
造を図２２, 図２３にそれぞれ示す。すなわち、インク
ジェットヘッド１０は、エッチング法や、蒸着法, スパ
ッタリング法などの半導体製造プロセスを経て表面に電
気熱変換体１１や電極１２などが成膜された基板１３
と、この基板１３との接合により形成されるノズル状通
路１４を仕切るためのノズル壁１５が形成された溝付き
板１６とで主要部が構成されている。

【０００７】基板１３の第１層として形成された電気回
路部１７に対して部分的に絶縁するための絶縁層１８上
に配設される電気熱変換体１１および電極１２は、吐出
媒体との直接的な接触による腐食を防止するため、二酸
化ケイ素や窒化ケイ素などの絶縁性保護層１９で覆われ
る。さらに、電気熱変換体１１は、吐出媒体の沸騰に伴
うキャビテーションによる破壊を防止するため、タンタ
ルなどで形成された耐キャビテーション層２０が設けら
れる。

【０００８】前記溝付き板１６は、上述したノズル壁１
５の他に、これらノズル壁１５によって仕切られる各々
のノズル状通路１４に連通して共通吐出媒体液室２１と
なる液室枠２２と、吐出媒体を蓄えた図示しない吐出媒
体タンクから図示しない吐出媒体供給管を介して共通吐
出媒体液室２１に吐出媒体を導入するための吐出媒体供
給口２３と、この溝付き板１６に一体的に接合されてノ
ズル状通路１４に連通する吐出口２４をそれぞれ形成し
た吐出口板２５とを有する。この溝付き板１６は、ポリ
サルフォンを射出成形して得られるが、液晶ポリマーや
ポリエーテルサルフォンなどの樹脂により形成すること
も可能である。

【０００９】従って、吐出媒体は、図示しない吐出媒体
タンクおよび吐出媒体供給管を介して吐出媒体供給高２
３から共通吐出媒体液室２１内に供給され、毛細管現象
によりノズル状通路１４内に引き込まれ、各ノズル状通
路１４の先端の吐出口２４にて表面張力によるメニスカ
スを形成し、各ノズル状通路１４内にて安定に保持され
る。ここで、各ノズル状通路１４内にそれぞれ臨む電気
熱変換体１１に通電することにより、電気熱変換体１１
の上に介在する吐出媒体が加熱され、瞬間的に沸騰して
吐出口２０から吐出媒体液滴が吐出される。

【００１０】ところで、基板１３と溝付き板１６との接
合面を密着させることは、インクジェットヘッド１０の
吐出性能や信頼性の見地から重要である。吐出媒体の吐
出時の発泡エネルギーのロスを少なくするためには、特
にノズル壁１５の先端面を基板１３と確実に接合する必
要がある。基板１３と溝付き板１６の各々の接合面を密
着させるためには、接着剤を介してこれらを接合する方
法や、特開平４−２４７９４６号公報などに開示されて
いるように、基板１３と溝付き板１６とを押え板ばねに
て圧接させる方法が知られている。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】基板１３と溝付き板１
６とを接着剤を介して接合する方法では、余分な接着剤
がノズル状通路１４にはみ出し、このノズル状通路１４
が絞られてしまい、吐出媒体の吐出を円滑に行うことが
できなくなったり、あるいはこのノズル状通路１４が完
全に塞がれてしまう虞がある。

【００１２】また、基板１３と溝付き板１６とを押え板
ばねにて圧接させる方法では、上述のような接着剤を使
用しないことから、ノズル状通路１４が絞られたり、あ
るいはノズル状通路１４が塞がれてしまうというような
不具合は発生しないものの、溝付き板１６に形成された
多数のノズル壁１５の先端面を基板１３の接合面に均一
に押圧することは、一般的に極めて困難である。

【００１３】このため、特に多数のノズル状通路１４を
有するインクジェットヘッド１０では、ノズル壁１５の
先端面と基板１３の接合面との間に隙間が形成され、こ
のような隙間の存在によって隣接するノズル状通路１４
の間で吐出媒体の漏洩、つまりクロストークが発生し、
電気熱変換体１１からの熱エネルギーによりノズル状通
路１４中の吐出媒体に発生する沸騰圧力の一部が隣接す
るノズル状通路１４に逃げてしまい、圧力損失を生ずる
場合があった。また、この沸騰圧力の一部が隣接するノ
ズル状通路１４へ伝搬するため、このノズル状通路１４
の吐出口２４における吐出媒体のメニスカスが変化し、
正確な吐出量の確保が困難となる場合があった。

【００１４】このようなことから、基板１３とノズル壁
１５の先端部とを機械的に係合するようにし、これらを
自律的に接合する方法が考えられている。このような基
板１３とノズル壁１５の先端部との接合部分の概略構造
を図２４に例示する。すなわち、図２４に示した構造
は、基板１３の表面にあり溝状の係止溝２６を有する溝
形成層２７を設け、この溝形成層２７の係止溝２６に係
止する係止部２８をノズル壁１５の先端部に形成したも
のである。

【００１５】しかし、ノズル壁１５の先端に係止部２８
のような複雑な形状を一体に設けることの困難が生ず
る。

【００１６】

【発明の目的】本発明の第１の目的は、基板とノズル壁
の先端部とを接着剤などを使用することなく、充分な接
合強度をもって容易かつ確実に結合し得るインクジェッ
トヘッドを提供することにある。

【００１７】また、本発明の第２の目的は、このような
インクジェットヘッドを有するインクジェットカートリ
ッジを提供することにある。

【００１８】さらに、本発明の第３の目的は、基板とノ
ズル壁との先端部を接着剤などを使用することなく、充
分な接合強度をもって容易かつ確実に結合し得るインク
ジェットヘッドが搭載されるインクジェット装置を提供
することにある。

【００１９】さらに、本発明の第４の目的は、このよう
なインクジェットヘッドの製造方法を提供することにあ
る。

【００２０】

【課題を解決するための手段】本発明による第１の形態
は、液滴を吐出するための吐出エネルギー発生手段を有
する基板と、この基板の前記吐出エネルギー発生手段が
形成された側の面に重ね合わされると共に前記吐出エネ
ルギー発生手段を囲むノズル壁が形成された溝付き板と
を具え、この溝付き板の前記ノズル壁の先端部と前記基
板の前記吐出エネルギー発生手段が形成された側の面と
を相互に接合してなるインクジェットヘッドであって、
前記ノズル壁の先端部に近接して前記基板の前記吐出エ
ネルギー発生手段が形成された側の面に突設される堰部
と、この堰部と前記ノズル壁の先端部との間に介在する
接合樹脂とを有することを特徴とするインクジェットヘ
ッドにある。

【００２１】本発明による第２の形態は、液滴を吐出す
るための吐出エネルギー発生手段を有する基板と、この
基板の前記吐出エネルギー発生手段が形成された側の面
に重ね合わされると共に前記吐出エネルギー発生手段を
囲むノズル壁が形成された溝付き板とを具え、この溝付
き板の前記ノズル壁の先端部と前記基板の前記吐出エネ
ルギー発生手段が形成された側の面とを相互に接合して
なるインクジェットヘッドであって、前記ノズル壁の先
端部から前記基板の前記吐出エネルギー発生手段が形成
された側の面に沿って突出する第一の係止部と、この第
一の係止部に対して重なり合うように前記基板の前記吐
出エネルギー発生手段が形成された側の面に突設された
第二の係止部と、これら第一の係止部と第二の係止部と
の間に介在する接合樹脂とを有することを特徴とするイ
ンクジェットヘッドにある。

【００２２】また、本発明による第３の形態は、吐出媒
体の液滴を吐出するための吐出エネルギー発生手段を有
する基板と、この基板の前記吐出エネルギー発生手段が
形成された側の面に重ね合わされると共に前記吐出エネ
ルギー発生手段を囲むノズル壁が形成された溝付き板と
を相互に接合してなるインクジェットヘッドと、このイ
ンクジェットヘッドに供給するための前記吐出媒体を蓄
える吐出媒体タンクとを具えたインクジェットカートリ
ッジであって、前記インクジェットヘッドは、前記ノズ
ル壁の先端部に近接して前記基板の前記吐出エネルギー
発生手段が形成された側の面に突設される堰部と、この
堰部と前記ノズル壁の先端部との間に介在する接合樹脂
とを有することを特徴とするインクジェットカートリッ
ジにある。

【００２３】本発明による第４の形態は、吐出媒体の液
滴を吐出するための吐出エネルギー発生手段を有する基
板と、この基板の前記吐出エネルギー発生手段が形成さ
れた側の面に重ね合わされると共に前記吐出エネルギー
発生手段を囲むノズル壁が形成された溝付き板とを相互
に接合してなるインクジェットヘッドと、このインクジ
ェットヘッドに供給するための前記吐出媒体を蓄える吐
出媒体タンクとを具えたインクジェットカートリッジで
あって、前記インクジェットヘッドは、前記ノズル壁の
先端部から前記基板の前記吐出エネルギー発生手段が形
成された側の面に沿って突出する第一の係止部と、この
第一の係止部に対して重なり合うように前記基板の前記
吐出エネルギー発生手段が形成された側の面に突設され
た第二の係止部と、これら第一の係止部と第二の係止部
との間に介在する接合樹脂とを有することを特徴とする
インクジェットカートリッジにある。

【００２４】また、本発明による第５の形態は、液滴を
吐出するための吐出エネルギー発生手段を有する基板
と、この基板の前記吐出エネルギー発生手段が形成され
た側の面に重ね合わされると共に前記吐出エネルギー発
生手段を囲むノズル壁が形成された溝付き板とを相互に
接合してなるインクジェットヘッドの取り付け部を具え
たインクジェット装置であって、前記インクジェットヘ
ッドは、前記ノズル壁の先端部に近接して前記基板の前
記吐出エネルギー発生手段が形成された側の面に突設さ
れる堰部と、この堰部と前記ノズル壁の先端部との間に
介在する接合樹脂とを有することを特徴とするインクジ
ェット装置にある。

【００２５】本発明による第６の形態は、液滴を吐出す
るための吐出エネルギー発生手段を有する基板と、この
基板の前記吐出エネルギー発生手段が形成された側の面
に重ね合わされると共に前記吐出エネルギー発生手段を
囲むノズル壁が形成された溝付き板とを相互に接合して
なるインクジェットヘッドの取り付け部を具えたインク
ジェット装置であって、前記インクジェットヘッドは、
前記ノズル壁の先端部から前記基板の前記吐出エネルギ
ー発生手段が形成された側の面に沿って突出する第一の
係止部と、この第一の係止部に対して重なり合うように
前記基板の前記吐出エネルギー発生手段が形成された側
の面に突設された第二の係止部と、これら第一の係止部
と第二の係止部との間に介在する接合樹脂とを有するこ
とを特徴とするインクジェット装置にある。

【００２６】さらに、本発明による第７の形態は、液滴
を吐出するための吐出エネルギー発生手段を有する基板
と、この基板の前記吐出エネルギー発生手段が形成され
た側の面に重ね合わされると共に前記吐出エネルギー発
生手段を囲むノズル壁が形成された溝付き板とを具え、
この溝付き板の前記ノズル壁の先端部と前記基板の前記
吐出エネルギー発生手段が形成された側の面とを相互に
接合するインクジェットヘッドの製造方法において、前
記基板の前記吐出エネルギー発生手段が形成された側の
面の前記ノズル壁の先端部が重ね合わされる部分に樹脂
層を形成するステップと、この樹脂層を覆う被覆層を前
記基板の前記吐出エネルギー発生手段が形成された側の
面に形成するステップと、前記ノズル壁の前記先端面と
対応した形状に前記被覆層の一部を除去して前記樹脂層
を露出させるステップと、露出した前記樹脂層に前記ノ
ズル壁の先端部を押し付けつつ前記樹脂層を加熱溶融さ
せて前記ノズル壁の先端部と前記被覆層との間に前記樹
脂層を構成する樹脂を介在させるステップとを具えたこ
とを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法にあ
る。

【００２７】本発明による第８の形態は、液滴を吐出す
るための吐出エネルギー発生手段を有する基板と、この
基板の前記吐出エネルギー発生手段が形成された側の面
に重ね合わされると共に前記吐出エネルギー発生手段を
囲むノズル壁が形成された溝付き板とを具え、この溝付
き板の前記ノズル壁の先端部と前記基板の前記吐出エネ
ルギー発生手段が形成された側の面とを相互に接合する
インクジェットヘッドの製造方法において、前記基板の
前記吐出エネルギー発生手段が形成された側の面の前記
ノズル壁の先端部が重ね合わされる部分に前記ノズル壁
の先端面よりも広い面積の接合樹脂層を形成するステッ
プと、この接合樹脂層を覆う被覆層を前記基板の前記吐
出エネルギー発生手段が形成された側の面に形成するス
テップと、前記ノズル壁の前記先端面と対応した形状に
前記被覆層の一部を除去して前記接合樹脂層の一部を露
出させるステップと、前記接合樹脂層の露出部分と前記
ノズル壁の先端部とを当接させた状態でこれらを加熱
し、前記接合樹脂層と前記ノズル壁の先端部とを接合す
るステップとを具えたことを特徴とするインクジェット
ヘッドの製造方法にある。

【００２８】本発明による第９の形態は、液滴を吐出す
るための吐出エネルギー発生手段を有する基板と、この
基板の前記吐出エネルギー発生手段が形成された側の面
に重ね合わされると共に前記吐出エネルギー発生手段を
囲むノズル壁が形成された溝付き板とを具え、この溝付
き板の前記ノズル壁の先端部と前記基板の前記吐出エネ
ルギー発生手段が形成された側の面とを相互に接合する
インクジェットヘッドの製造方法において、前記基板の
前記吐出エネルギー発生手段が形成された側の面の前記
ノズル壁の先端部が重ね合わされる部分に前記ノズル壁
の先端面よりも広い面積の肉盛層を形成するステップ
と、この肉盛層を覆う被覆層を前記基板の前記吐出エネ
ルギー発生手段が形成された側の面に形成するステップ
と、前記ノズル壁の前記先端面と対応した形状に前記被
覆層の一部を除去して前記肉盛層の一部を露出させる係
止窓部を形成するステップと、前記係止窓部から前記被
覆層内の前記肉盛層を除去するステップと、前記ノズル
壁の先端部を前記係止窓部から前記被覆層内に押し込
み、このノズル壁の先端部をその塑性変形を伴って前記
被覆層内で押し拡げるステップとを具えたことを特徴と
するインクジェットヘッドの製造方法にある。

【００２９】本発明による第１０の形態は、液滴を吐出
するための吐出エネルギー発生手段を有する基板と、こ
の基板の前記吐出エネルギー発生手段が形成された側の
面に重ね合わされると共に前記吐出エネルギー発生手段
を囲むノズル壁が形成された溝付き板とを具え、この溝
付き板の前記ノズル壁の先端部と前記基板の前記吐出エ
ネルギー発生手段が形成された側の面とを相互に接合す
るインクジェットヘッドの製造方法において、前記基板
の前記吐出エネルギー発生手段が形成された側の面の前
記ノズル壁の先端部が重ね合わされる部分に前記ノズル
壁の先端面よりも広い面積の樹脂層を形成するステップ
と、この樹脂層を覆う被覆層を前記基板の前記吐出エネ
ルギー発生手段が形成された側の面に形成するステップ
と、前記ノズル壁の前記先端面と対応した形状に前記被
覆層の一部を除去して前記樹脂層の一部を露出させる係
止窓部を形成するステップと、前記ノズル壁の先端部を
前記係止窓部から前記樹脂層に押し込むと共にこの樹脂
層を加熱溶融させ、前記ノズル壁の先端部をその塑性変
形を伴って前記被覆層内で押し拡げつつ当該ノズル壁の
先端部と前記被覆層との間に前記樹脂層を構成する樹脂
を回り込ませるステップとを具えたことを特徴とするイ
ンクジェットヘッドの製造方法にある。

【００３０】

【発明の実施の形態】本発明の第１および第２の形態に
よるインクジェットヘッドにおいて、ノズル壁の先端部
および接合樹脂を熱可塑性樹脂にて構成しても良く、こ
れらノズル壁の先端部および接合樹脂を同一の樹脂にて
構成することも有効である。また、基板は、接合樹脂を
加熱溶融するための熱エネルギー発生手段をさらに有す
るものであっても良い。

【００３１】本発明の第３および第４の形態によるイン
クジェットカートリッジにおいて、吐出媒体は、インク
あるいはプリント媒体に吐出されるこのインクの特性を
調整する処理液であっても良いし、インクおよび処理液
であっても良い。

【００３２】本発明の第５および第６の形態によるイン
クジェット装置において、インクジェットヘッドの取り
付け部は、インクジェットヘッドから液滴が吐出される
プリント媒体の搬送方向と交差する方向に走査移動可能
であっても良い。

【００３３】本発明の第７の形態によるインクジェット
ヘッドの製造方法において、樹脂層を加熱溶融させた後
に被覆層を非可逆的に変質させるステップをさらに具え
るようにしても良い。この場合の被覆層の非可逆的な変
質とは、被覆層を構成する材料の結晶粒の成長や、アル
ミニウム薄膜に見られるヒロックなどの隆起変形、ある
いは溶剤浸漬による材料の膨潤などを示し、被覆層を加
熱保持することによって生ずるものであっても良い。ま
た、ノズル壁の先端部および樹脂層を構成する樹脂の少
なくとも一方を熱可塑性樹脂にて構成しても良く、これ
らノズル壁の先端部と樹脂層とを同一の樹脂にて構成す
ることも有効である。さらに、基板は、樹脂層を加熱す
るための熱エネルギー発生手段を有するものであっても
良い。

【００３４】本発明の第８の形態によるインクジェット
ヘッドの製造方法において、ノズル壁の先端部および前
記接合樹脂層を構成する接合樹脂の少なくとも一方を熱
可塑性樹脂にて構成しても良く、これら接合樹脂層とノ
ズル壁の先端部とを同一の樹脂にて構成することも有効
である。また、基板は、接合樹脂層とノズル壁の先端部
との接合部分を加熱するための熱エネルギー発生手段を
有するものであっても良い。

【００３５】本発明の第９の形態によるインクジェット
ヘッドの製造方法において、ノズル壁の先端部を熱可塑
性樹脂にて構成するようにしても良い。

【００３６】本発明の第１０の形態によるインクジェッ
トヘッドの製造方法において、ノズル壁の先端部および
樹脂層を構成する樹脂の少なくとも一方を熱可塑性樹脂
にて構成しても良く、これら樹脂層とノズル壁の先端部
とを同一の樹脂にて構成することも有効である。また、
基板は、樹脂層を加熱するための熱エネルギー発生手段
を有するものであっても良い。

【００３７】なお、より信頼性の高い接合状態を維持す
るため、インクジェットヘッドの形態によっては、溝付
き板と基板との接合に従来の押えばねをさらに組み合わ
せるようにしても良い。また、本発明はノズル壁の先端
部と基板との接合部分のみならず、溝付き板と基板との
他の接合部分に応用することも可能である。さらに、特
願平５−３２４９６３号に記載の構成のインクジェット
ヘッドにおける吐出口板と基板との接合部分に本発明を
応用することも可能である。

【００３８】

【実施例】以下、本発明によるインクジェットヘッドの
一実施例について、その主要部の概略断面構造を表す図
１を参照しながら詳細に説明するが、このインクジェッ
トヘッドの全体的な構成は、図２０〜図２３にて説明し
た従来のものと実質的に同じであり、接合部分の構造が
相違しているだけである。

【００３９】すなわち、溝付き板１６のノズル壁１５の
先端部には、その幅方向両側から突出する一対の係止板
部２９が一体的に形成されている。基板１３の表面とで
係止板部２９を挟持し得る一対の押さえ部材３０は、ノ
ズル壁１５を挟むように基板１３の表面に一体的に突設
されている。電気熱変換体１１および電極１２が所定間
隔でパターン形成された基板１３は、これら電気熱変換
体１１や電極１２が吐出媒体と接触することによって腐
食するのを防止するため、絶縁性保護層１９で覆われて
いる。さらに、電気熱変換体１１は、吐出媒体の沸騰に
伴うキャビテーションによる破壊を防止するため、タン
タルなどで形成された耐キャビテーション層２０が設け
られており、上述した押さえ部材３０は、この耐キャビ
テーション層２０の上に形成されている。

【００４０】従って、ノズル壁１５の係止板部２９は、
基板１３と一体の押さえ部材３０によって係止され、基
板１３と溝付き板１６とが一体的に接合された状態とな
る。また、隣接するノズル状通路１４は、ノズル壁１５
の先端部の係止板部２９と基板１３の押さえ部材３０と
の結合部分のラビリンス構造によって完全に仕切られて
いるため、クロストークなどの発生も起こらない。

【００４１】なお、本実施例では上述した溝付き板１６
をポリサルフォンにて形成し、この溝付き板１６のノズ
ル壁１５を基板１３に接合するようにしているが、溝付
き板１６のノズル壁１５、あるいはノズル壁１５の先端
部のみをポリサルフォンにて構成し、溝付き板１６の他
の部分をポリサルフォン以外の樹脂やガラスあるいは金
属などで構成することも可能である。

【００４２】このようなインクジェットヘッドの製造方
法の一実施例について、その作業手順を表す図２〜図６
を参照しながら詳細に説明すると、まず、図２に示すよ
うに、基板１３の上にパターン形成される電気熱変換体
１１および電極１２が所定間隔でパターン形成された基
板１３の表面を絶縁性保護層１９で被覆する。

【００４３】次に、図３に示すように、溝付き板１６の
ノズル壁１５が接合される位置にある絶縁性保護層１９
の上に、前述の係止板部２９となるポリサルフォンを主
成分とする接合樹脂層３１を形成する。

【００４４】この接合樹脂層３１は、細粒状のポリサル
フォンをシクロへキサノンなどの有機溶媒で溶融して基
板１３上にスピンコート法にて薄膜形成し、さらにマス
キングした状態でエキシマレーザ光を照射し、ノズル状
通路１４に面する各々の電気熱変換体１１の上方にこれ
らが残留しないように、パターン形成すれば良い。この
接合樹脂層３１の幅寸法Ｗ₁は、ノズル壁１５の先端面
の幅寸法Ｗ₂（図６参照）より大きくする必要がある
が、ノズル状通路１４に面する各々の電気熱変換体１１
の上方に位置しない程度に抑えることが望ましい。

【００４５】絶縁性保護層１９の上に接合樹脂層３１を
形成した後、図４に示すように、これら接合樹脂層３１
を覆うように、前述した押さえ部材３０となる被覆層３
２を形成する。本実施例では、押さえ部材３０を耐キャ
ビテーション層２０と同じ工程で形成するため、基板１
３上にタンタルを被覆層３２として成膜したが、この被
覆層３２として耐キャビテーション層２０と異なる材
料、例えばシリコン系薄膜や感光性樹脂などを用いても
何ら問題はない。

【００４６】被覆層３２を形成した後、図５に示すよう
に、ノズル壁１５の先端部が差し込まれる係止窓部３３
を形成すると共に接合樹脂層３１を覆う以外の余分な被
覆層３２の部分を除去するが、このパターニング処理の
際に、耐キャビテーション層２０を電気熱変換体１１の
直上部分に形成すると良い。係止窓部３３の幅寸法Ｗ₃
は、接合樹脂層３１の幅寸法Ｗ₁よりも小さくする必要
があるが、ノズル壁１５の先端面の幅寸法Ｗ₂よりも多
少大きく、例えば１μｍ程度大きく設定することが望ま
しい。ただし、実用的な寸法公差を考慮した場合にはノ
ズル壁１５の先端面の幅寸法Ｗ₂に対して２, ３μｍ程
度以上大きめにする必要がある。

【００４７】このようにして接合樹脂層３１を囲む押さ
え部材３０を形成した後、図６に示すように、ノズル壁
１５の先端部が係止窓部３３を介して接合樹脂層３１と
接触するように、溝付き板１６と基板１３とを重ね合わ
せ、この状態のまま接合樹脂層３１およびノズル壁１５
の先端部が少なくとも軟化して一体化し得るように、基
板１３を図示しないヒータで加熱する。

【００４８】この加熱方法としては、適度なエネルギー
密度のＹＡＧレーザをこれらの接合部分に照射したり、
あらかじめ電気熱変換体１１と同様な発熱体を接合樹脂
層３１の下方に位置するように基板１３に設けておき、
これに通電して発熱させるこものであっても良い。接合
樹脂層３１とノズル壁１５の先端部との好ましい加熱状
態は、ノズル壁１５の先端面および接合樹脂層３１のみ
が溶融し、押さえ部材３０よりも上方に位置するノズル
壁１５の部分が溶融変形しないことである。

【００４９】しかる後、接合部分に対する加熱を停止し
て冷却あるいは自然放熱を行うことで、図１に示した構
造のインクジェットヘッドが得られる。

【００５０】上述した実施例では、ノズル壁１５の先端
面と接合樹脂層３１とを突き合わせた状態でこれらの接
合部分を加熱するようにしたが、予め接合樹脂層３１を
加熱して軟化あるいは溶融させておき、この状態にてノ
ズル壁１５の先端面を接合樹脂層３１に突き合わせるよ
うにしても良い。また、押さえ部材３０よりも上方に位
置するノズル壁１５の部分が溶融変形しにくくなるよう
に、ノズル壁１５の先端部に段部を形成することも有効
である。

【００５１】このような本発明によるインクジェットヘ
ッドの製造方法の他の実施例の製造手順を図７および図
８に示すが、先の実施例と同一機能の部分には、これと
同一符号を記して重複する説明は省略するものとする。

【００５２】すなわち、図７に示すように、溝付き板１
６のノズル壁１５の先端部には、段付き突起３４が形成
されており、この段付き突起３４の部分が係止窓部３３
に差し込まれ、その先端面が押さえ部材３０に保持され
た接合樹脂層３１に押し当てられるようになっている。
そして、この段付き突起３４の先端と接合樹脂層３１と
を突き合わせた状態でこれらを加熱し、図８に示すよう
に、ノズル壁１５と接合樹脂層３１である係止板部２９
とを段付き突起３４を介して一体的に接合する。

【００５３】このように、幅寸法の小さい段付き突起３
４を介してノズル壁１５と接合樹脂層３１とを接合する
ようにしたので、これらの加熱時に段付き突起３４の軟
化溶融が促進され、短時間でこれらの接合を完了するこ
とができる上、押さえ部材３０よりも上方に位置するノ
ズル壁１５の部分の溶融変形を防止することができる。

【００５４】上述した実施例では、接合樹脂層３１をノ
ズル壁１５の先端部に接合するようにしたが、ノズル壁
１５の先端部を溶融拡散させて図１に示す係止板部２９
を形成するようにしても良い。

【００５５】このような本発明によるインクジェットヘ
ッドの製造方法の別な実施例の製造手順を図９〜図１２
に示すが、先の実施例と同一機能の部分には、これと同
一符号を記して重複する説明は省略するものとする。

【００５６】すなわち、図９に示すように、係止窓部３
３を有する押さえ部材３０を形成し、この押さえ部材３
０の内側を先の接合樹脂層３１と同様の肉盛層３５で充
填状態にしておく。この肉盛層３５を構成する樹脂とし
ては、溝付き板１６と同じポリサルフォンの他に、アセ
トンなどのケトン類や、アルコール、アルカリ溶液にて
溶融あるいは分解可能な感光性樹脂を用いることができ
る。

【００５７】次に、図１０に示すように、この肉盛層３
５を溶剤などを用いて洗浄除去する。本実施例では、先
の二つの実施例に対して新たに洗浄工程を必要とする
が、押さえ部材３０に保持された接合樹脂層３１が使用
中にインクに侵されたり、あるいはその加熱溶融時に押
さえ部材３０を越えて溢流するような虞がないため、肉
盛層３５を構成する樹脂の選択範囲を拡げることができ
る。

【００５８】一方、図１１に示すように、溝付き板１６
のノズル壁１５の先端部の幅方向両側に先の係止板部２
９となる一対の角部３６を相隔てて形成し、これを係止
窓部３３から押さえ部材３０の内側に差し込み、基板１
３の絶縁性保護層１９に押し当てる。

【００５９】この状態にて、角部３６を加熱軟化させつ
つ基板１３の絶縁性保護層１９に押し当てることによ
り、図１２に示すように角部３６をそれぞれ押さえ部材
３０内で押し広げ、押さえ部材３０に係止する係止板部
２９を形成する。

【００６０】ところで、図２〜図８に示した実施例にお
いて、係止板部２９となる接合樹脂層３１と、溝付き板
１６のノズル壁１５の先端部とが異種材料で構成されて
いる場合、これらを加熱しても化学的に一体化せず、十
分な接合強度を得られなくなる虞がある。このような場
合、本発明によるインクジェットヘッドの製造方法のさ
らに他の実施例の製造手順を図１３および図１４に示す
方法も有効であるが、先の実施例と同一機能の部分に
は、これと同一符号を記して重複する説明は省略するも
のとする。

【００６１】すなわち、図１３に示すように、係止窓部
３３から接合樹脂層３１が露出するように、押さえ部材
３０を基板１３の絶縁性保護層１９に形成する一方、溝
付き板１６のノズル壁１５の先端部の幅方向両側に先の
係止板部２９となる一対の角部３６を相隔てて形成し、
これを係止窓部３３から押さえ部材３０の内側に差し込
み、基板１３の絶縁性保護層１９に押し当てる。

【００６２】この状態にて、角部３６および接合樹脂層
３１を加熱軟化させつつ基板１３の絶縁性保護層１９に
押し当てることにより、図１４に示すように角部３６を
それぞれ押さえ部材３０内で押し広げ、押さえ部材３０
に係止する係止板部２９を形成し、これらの間に接合樹
脂層３１を回り込ませ、隙間を接合樹脂にて充填状態に
する。

【００６３】これにより、固化した状態では、押さえ部
材３０内が隙間なく係止板部２９と接合樹脂とで充填さ
れた状態となり、極めて大きな接合強度を発生させるこ
とができる。この場合、接合樹脂は接着剤としても機能
した状態となる。

【００６４】なお、加熱に伴って溝付き板１６のノズル
壁１５に不要な変形を起こさせないため、接合樹脂層３
１を構成する樹脂材料の転移点温度は、溝付き板１６の
転移点以下であることが好ましく、特に、溝付き板１６
の軟化点温度以下であることが望ましい。

【００６５】上述した各実施例では、ノズル壁１５の先
端部に係止板部２９を形成した状態とし、この係止板部
２９と機械的に係合する押さえ部材３０を用いてノズル
壁１５の先端部と基板１３とを接合するようにしたが、
より簡単な構造で同様な効果を得ることも可能である。

【００６６】このような本発明によるインクジェットヘ
ッドの製造方法の別な実施例の製造手順を図１５および
図１６に示すが、先の実施例と同一機能の部分には、こ
れと同一符号を記して重複する説明は省略するものとす
る。

【００６７】すなわち、先の実施例の図２〜図４と同様
にして被覆層３２を基板１３上に形成するが、接合樹脂
層３１の幅寸法は、ノズル壁１５の先端部の幅寸法より
もやや大きめの前記Ｗ₃に設定されている。そして、図
１５に示すように、この接合樹脂層３１全体が露出する
ように被覆層３２のエッチングを行い、接合樹脂層３１
の幅方向両側に被覆層３２による堰部３７を形成する。

【００６８】そして、図１６に示すように、堰部３７で
挟まれた接合樹脂層３１にノズル壁１５の先端を押し当
て、この状態にて接合樹脂層３１を加熱溶融させ、堰部
３７とノズル壁１５の先端側壁部分との間に接合樹脂層
３１の接合樹脂を回り込ませ、これらを一体的に接合す
る。この時、堰部３７は溶融した接合樹脂層３１の接合
樹脂がノズル状通路１４側へ溢流するのを防ぐと共にノ
ズル壁１５と接合樹脂との接触面積を増やすように機能
する。

【００６９】本実施例は、ノズル状通路１４の配列間隔
が短く、接合樹脂層３１の幅寸法を大きくすることがで
きないような場合に好適である。上述した堰部３７を物
理化学的に変質させることにより、結合力をさらに増大
させることも可能である。

【００７０】このような本発明によるインクジェットヘ
ッドの接合部分の断面構造を図１７に示すが、先の実施
例と同一機能の部分には、これと同一符号を記して重複
する説明は省略するものとする。

【００７１】すなわち、図１６に示す状態からさらに堰
部３７の加熱を行い、この堰部３７を構成する材料の結
晶粒を成長させて物理的な変形を行わせ、堰部３７を変
質部３８に変えることによって、より大きな接合力を得
るようにしている。

【００７２】本実施例では、堰部３７としてアルミニウ
ム薄膜をパターニングすることで得ているが、アルミニ
ウムのスパッタリング膜は、約３００℃に維持すること
で、表面形状が非可逆的に変形成長することが経験的に
知られている。この場合、溝付き板１６はノズル壁１５
と共にそのガラス転移点温度が堰部３７の結晶成長温度
以上となる材料、例えばガラスにて形成することが好ま
しく、さらに電極１２としてはアルミニウム以外の材
料、例えば金などを用いることが望ましい。

【００７３】上述した実施例では、加熱によって堰部３
７の変質を行わせるようにしたが、この堰部３７を構成
する材料によっては、これを非可逆的に膨潤させる溶剤
による浸漬工程を用いることも可能であり、逆にノズル
壁１５の先端部を非可逆的に変質させるようにしても良
い。

【００７４】上述の如きインクジェットヘッドを用いた
本発明によるインクジェットカートリッジの一実施例の
外観を図１８に示す。すなわち、本実施例におけるイン
クジェットカートリッジ４０は、シリアルタイプのもの
であり、インクジェットヘッド１０と、インク供給管４
１と、インクを収容するインクタンク４２と、このイン
クタンク４２内を密閉する蓋部材４３とで主要部が構成
されている。

【００７５】インクを吐出するための多数の吐出口２４
が形成されたインクジェットヘッド１０は、先の図１に
部分的に示した実施例に対応したものであり、インク
は、インクタンク４２からインク供給管４１を介して溝
付き板１６と基板１３とで形成される図示しない共通イ
ンク室へと導かれるようになっている。

【００７６】本実施例におけるインクジェットカートリ
ッジ４０は、インクジェットヘッド１０とインクタンク
４２とを一体的に形成したものであるが、このインクジ
ェットヘッド１０に対し、インクタンク４２側を交換可
能に連結した構造を採用するようにしても良い。

【００７７】上述したインクジェットカートリッジ４０
を用いた本発明によるインクジェット装置の一実施例の
外観を図１９に示す。すなわち、本実施例のインクジェ
ット装置５０の紙送りモータ５１によって駆動回転する
プラテンローラ５２と平行に配設された一対の案内棒５
３には、キャリッジ５４が摺動自在に保持されている。
また、案内棒５３の両端側に回転自在に取り付けられた
一対のプーリ５５, ５６には、走査ワイヤ５７が案内棒
５３と平行に巻き掛けられ、その両端部がキャリッジ５
４に連結されている。一方のプーリ５５には、キャリッ
ジ駆動モータ５８が連結され、このキャリッジ駆動モー
タ５８の正逆転によって、キャリッジ５４は案内棒５３
に案内されながらプラテンローラ５２に沿ってその長手
方向に走査移動するようになっている。

【００７８】前記キャリッジ５４には、図１８に示した
インクジェットカートリッジ４０が着脱操作レバー５９
を介して交換可能に位置決め状態で搭載され、インクジ
ェットヘッド１０の吐出口２４がプラテンローラ５２に
巻き付けられた紙などのプリント媒体７０と所定の間隙
を以て対向する。また、インクジェットヘッド１０に
は、キャリッジ５４に連結されたフレキシブルケーブル
６０を介して適宜のデータ供給源からのデータに応じた
インクの吐出信号が供給される。そして、紙送りモータ
５１によるプリント媒体７０の送り動作と、キャリッジ
駆動モータ５８によるキャリッジ５４の走査移動とによ
り、プリント媒体７０の所定箇所に所望のデータをプリ
ントすることができる。

【００７９】なお、インクジェットカートリッジ４０
は、使用するインクの色などに応じて１つ以上（図示例
では２つ）をキャリッジ５４に搭載することができるよ
うになっている。また、上述したインクジェットヘッド
１０として、シリアルタイプのものを採用したが、フル
ラインタイプのインクジェットヘッドを用いたインクジ
ェットカートリッジや、そのインクジェット装置にも適
用することができる。

【００８０】

【発明の効果】本発明によると、基板と溝付き板のノズ
ル壁の先端部とを簡単な工程によって機械的に高強度に
結合することができる。

【００８１】また、これによって溝付き板と基板とを機
械的に高強度に結合したインクジェットヘッドおよびこ
のインクジェットヘッドを用いたインクジェットカート
リッジおよびこのインクジェットヘッドを搭載したイン
クジェット装置を得ることができる。

【００８２】さらに、インクジェットヘッドの吐出性能
に大きく影響するノズル状通路の部分の接合を確実にす
ることで、駆動時の隣接ノズルへの吐出エネルギーのリ
ークを低減し、安定な液滴の吐出が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるインクジェットヘッドの一実施例
の主要部の構造を表す断面図である。

【図２】図３〜図６と共に図１に示したインクジェット
ヘッドの製造手順を表す作業概念図である。

【図３】図２および図４〜図６と共に図１に示したイン
クジェットヘッドの製造手順を表す作業概念図である。

【図４】図２, 図３, 図５, 図６と共に図１に示したイ
ンクジェットヘッドの製造手順を表す作業概念図であ
る。

【図５】図２〜図４および図６と共に図１に示したイン
クジェットヘッドの製造手順を表す作業概念図である。

【図６】図２〜図５と共に図１に示したインクジェット
ヘッドの製造手順を表す作業概念図である。

【図７】図８と共に本発明の他のインクジェットヘッド
の製造手順を表す作業概念図である。

【図８】図７と共に本発明の他のインクジェットヘッド
の製造手順を表す作業概念図である。

【図９】図１０〜図１２と共に本発明の別なインクジェ
ットヘッドの製造手順を表す作業概念図である。

【図１０】図９, 図１１, 図１２と共に本発明の別なイ
ンクジェットヘッドの製造手順を表す作業概念図であ
る。

【図１１】図９, 図１０, 図１２と共に本発明の別なイ
ンクジェットヘッドの製造手順を表す作業概念図であ
る。

【図１２】図９〜図１１と共に本発明の別なインクジェ
ットヘッドの製造手順を表す作業概念図である。

【図１３】図１４と共に本発明のさらに他のインクジェ
ットヘッドの製造手順を表す作業概念図である。

【図１４】図１３と共に本発明のさらに他のインクジェ
ットヘッドの製造手順を表す作業概念図である。

【図１５】図１６と共に本発明のさらに別なインクジェ
ットヘッドの製造手順を表す作業概念図である。

【図１６】図１５と共に本発明のさらに別なインクジェ
ットヘッドの製造手順を表す作業概念図である。

【図１７】本発明のインクジェットヘッドの他の実施例
の主要部の概略構造を表す断面図である。

【図１８】本発明によるインクジェットカートリッジの
一実施例の外観を表す斜視図である。

【図１９】本発明によるインクジェット装置の一実施例
の概略構造を表す破断斜視図である。

【図２０】本発明の対象となったインクジェットヘッド
の一例の外観を表す斜視図である。

【図２１】図２０に示したインクジェットヘッドの内部
構造を表す断面図である。

【図２２】図２１中のXXII−XXII矢視断面図である。

【図２３】図２１中の XXIII−XXIII 矢視断面図であ
る。

【図２４】インクジェットヘッドを構成する基板とノズ
ル壁の先端部との接合形態の一例を表す断面図である。

【符号の説明】

１０インクジェットヘッド１１電気熱変換体１２電極１３基板１４ノズル状通路１５ノズル壁１６溝付き板１７電気回路部１８絶縁層１９絶縁性保護層２０耐キャビテーション層２１共通吐出媒体液室２２液室枠２３吐出媒体供給口２４吐出口２５吐出口板２６係止溝２７溝形成層２８係止部２８２９係止板部３０押さえ部材３１接合樹脂層３２被覆層３３係止窓部３４段付き突起３５肉盛層３６角部３７堰部３８変質部３８４０インクジェットカートリッジ４１インク供給管４２インクタンク４３蓋部材５０インクジェット装置５１紙送りモータ５２プラテンローラ５３案内棒５４キャリッジ５５, ５６プーリ５７走査ワイヤ５８キャリッジ駆動モータ５９着脱操作レバー６０フレキシブルケーブル７０プリント媒体

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】液滴を吐出するための吐出エネルギー発
生手段を有する基板と、この基板の前記吐出エネルギー
発生手段が形成された側の面に重ね合わされると共に前
記吐出エネルギー発生手段を囲むノズル壁が形成された
溝付き板とを具え、この溝付き板の前記ノズル壁の先端
部と前記基板の前記吐出エネルギー発生手段が形成され
た側の面とを相互に接合してなるインクジェットヘッド
であって、前記ノズル壁の先端部に近接して前記基板の前記吐出エ
ネルギー発生手段が形成された側の面に突設される堰部
と、この堰部と前記ノズル壁の先端部との間に介在する接合
樹脂とを有することを特徴とするインクジェットヘッ
ド。
【請求項２】液滴を吐出するための吐出エネルギー発
生手段を有する基板と、この基板の前記吐出エネルギー
発生手段が形成された側の面に重ね合わされると共に前
記吐出エネルギー発生手段を囲むノズル壁が形成された
溝付き板とを具え、この溝付き板の前記ノズル壁の先端
部と前記基板の前記吐出エネルギー発生手段が形成され
た側の面とを相互に接合してなるインクジェットヘッド
であって、前記ノズル壁の先端部から前記基板の前記吐出エネルギ
ー発生手段が形成された側の面に沿って突出する第一の
係止部と、この第一の係止部に対して重なり合うように前記基板の
前記吐出エネルギー発生手段が形成された側の面に突設
された第二の係止部と、これら第一の係止部と第二の係止部との間に介在する接
合樹脂とを有することを特徴とするインクジェットヘッ
ド。
【請求項３】前記ノズル壁の先端部および前記接合樹
脂は、熱可塑性樹脂にて構成されていることを特徴とす
る請求項１または請求項２に記載のインクジェットヘッ
ド。
【請求項４】前記ノズル壁の先端部および前記接合樹
脂は、同一の樹脂にて構成されていることを特徴とする
請求項１から請求項３の何れかに記載のインクジェット
ヘッド。
【請求項５】前記基板は、前記接合樹脂を加熱溶融す
るための熱エネルギー発生手段をさらに有することを特
徴とする請求項１から請求項４の何れかに記載のインク
ジェットヘッド。
【請求項６】吐出媒体の液滴を吐出するための吐出エ
ネルギー発生手段を有する基板と、この基板の前記吐出
エネルギー発生手段が形成された側の面に重ね合わされ
ると共に前記吐出エネルギー発生手段を囲むノズル壁が
形成された溝付き板とを相互に接合してなるインクジェ
ットヘッドと、このインクジェットヘッドに供給するた
めの前記吐出媒体を蓄える吐出媒体タンクとを具えたイ
ンクジェットカートリッジであって、前記インクジェットヘッドは、前記ノズル壁の先端部に
近接して前記基板の前記吐出エネルギー発生手段が形成
された側の面に突設される堰部と、この堰部と前記ノズ
ル壁の先端部との間に介在する接合樹脂とを有すること
を特徴とするインクジェットカートリッジ。
【請求項７】吐出媒体の液滴を吐出するための吐出エ
ネルギー発生手段を有する基板と、この基板の前記吐出
エネルギー発生手段が形成された側の面に重ね合わされ
ると共に前記吐出エネルギー発生手段を囲むノズル壁が
形成された溝付き板とを相互に接合してなるインクジェ
ットヘッドと、このインクジェットヘッドに供給するた
めの前記吐出媒体を蓄える吐出媒体タンクとを具えたイ
ンクジェットカートリッジであって、前記インクジェットヘッドは、前記ノズル壁の先端部か
ら前記基板の前記吐出エネルギー発生手段が形成された
側の面に沿って突出する第一の係止部と、この第一の係
止部に対して重なり合うように前記基板の前記吐出エネ
ルギー発生手段が形成された側の面に突設された第二の
係止部と、これら第一の係止部と第二の係止部との間に
介在する接合樹脂とを有することを特徴とするインクジ
ェットカートリッジ。
【請求項８】前記吐出媒体は、インクおよび／または
プリント媒体に吐出されるこのインクの特性を調整する
処理液であることを特徴とする請求項６または請求項７
に記載のインクジェットカートリッジ。
【請求項９】液滴を吐出するための吐出エネルギー発
生手段を有する基板と、この基板の前記吐出エネルギー
発生手段が形成された側の面に重ね合わされると共に前
記吐出エネルギー発生手段を囲むノズル壁が形成された
溝付き板とを相互に接合してなるインクジェットヘッド
の取り付け部を具えたインクジェット装置であって、前記インクジェットヘッドは、前記ノズル壁の先端部に
近接して前記基板の前記吐出エネルギー発生手段が形成
された側の面に突設される堰部と、この堰部と前記ノズ
ル壁の先端部との間に介在する接合樹脂とを有すること
を特徴とするインクジェット装置。
【請求項１０】液滴を吐出するための吐出エネルギー
発生手段を有する基板と、この基板の前記吐出エネルギ
ー発生手段が形成された側の面に重ね合わされると共に
前記吐出エネルギー発生手段を囲むノズル壁が形成され
た溝付き板とを相互に接合してなるインクジェットヘッ
ドの取り付け部を具えたインクジェット装置であって、前記インクジェットヘッドは、前記ノズル壁の先端部か
ら前記基板の前記吐出エネルギー発生手段が形成された
側の面に沿って突出する第一の係止部と、この第一の係
止部に対して重なり合うように前記基板の前記吐出エネ
ルギー発生手段が形成された側の面に突設された第二の
係止部と、これら第一の係止部と第二の係止部との間に
介在する接合樹脂とを有することを特徴とするインクジ
ェット装置。
【請求項１１】前記インクジェットヘッドの取り付け
部は、前記インクジェットヘッドから液滴が吐出される
プリント媒体の搬送方向と交差する方向に走査移動可能
であることを特徴とする請求項９または請求項１０に記
載のインクジェット装置。
【請求項１２】液滴を吐出するための吐出エネルギー
発生手段を有する基板と、この基板の前記吐出エネルギ
ー発生手段が形成された側の面に重ね合わされると共に
前記吐出エネルギー発生手段を囲むノズル壁が形成され
た溝付き板とを具え、この溝付き板の前記ノズル壁の先
端部と前記基板の前記吐出エネルギー発生手段が形成さ
れた側の面とを相互に接合するインクジェットヘッドの
製造方法において、前記基板の前記吐出エネルギー発生手段が形成された側
の面の前記ノズル壁の先端部が重ね合わされる部分に樹
脂層を形成するステップと、この樹脂層を覆う被覆層を前記基板の前記吐出エネルギ
ー発生手段が形成された側の面に形成するステップと、前記ノズル壁の前記先端面と対応した形状に前記被覆層
の一部を除去して前記樹脂層を露出させるステップと、露出した前記樹脂層に前記ノズル壁の先端部を押し付け
つつ前記樹脂層を加熱溶融させて前記ノズル壁の先端部
と前記被覆層との間に前記樹脂層を構成する樹脂を介在
させるステップとを具えたことを特徴とするインクジェ
ットヘッドの製造方法。
【請求項１３】前記樹脂層を加熱溶融させた後に前記
被覆層を非可逆的に変質させるステップをさらに具えた
ことを特徴とする請求項１２に記載のインクジェットヘ
ッドの製造方法。
【請求項１４】前記被覆層の変質は、これを加熱保持
することによって生ずるものであることを特徴とする請
求項１３に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１５】前記ノズル壁の先端部および前記樹脂
層を構成する樹脂の少なくとも一方は、熱可塑性樹脂に
て構成されていることを特徴とする請求項１２から請求
項１４の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方
法。
【請求項１６】前記ノズル壁の先端部と前記樹脂層と
は、同一の樹脂にて構成されていることを特徴とする請
求項１２から請求項１５の何れかに記載のインクジェッ
トヘッドの製造方法。
【請求項１７】前記基板は、前記樹脂層を加熱するた
めの熱エネルギー発生手段を有することを特徴とする請
求項１２から請求項１６の何れかに記載のインクジェッ
トヘッドの製造方法。
【請求項１８】液滴を吐出するための吐出エネルギー
発生手段を有する基板と、この基板の前記吐出エネルギ
ー発生手段が形成された側の面に重ね合わされると共に
前記吐出エネルギー発生手段を囲むノズル壁が形成され
た溝付き板とを具え、この溝付き板の前記ノズル壁の先
端部と前記基板の前記吐出エネルギー発生手段が形成さ
れた側の面とを相互に接合するインクジェットヘッドの
製造方法において、前記基板の前記吐出エネルギー発生手段が形成された側
の面の前記ノズル壁の先端部が重ね合わされる部分に前
記ノズル壁の先端面よりも広い面積の接合樹脂層を形成
するステップと、この接合樹脂層を覆う被覆層を前記基板の前記吐出エネ
ルギー発生手段が形成された側の面に形成するステップ
と、前記ノズル壁の前記先端面と対応した形状に前記被覆層
の一部を除去して前記接合樹脂層の一部を露出させるス
テップと、前記接合樹脂層の露出部分と前記ノズル壁の先端部とを
当接させた状態でこれらを加熱し、前記接合樹脂層と前
記ノズル壁の先端部とを接合するステップとを具えたこ
とを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１９】前記ノズル壁の先端部および前記接合
樹脂層を構成する接合樹脂の少なくとも一方は、熱可塑
性樹脂にて構成されていることを特徴とする請求項１８
に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２０】前記ノズル壁の先端部と前記接合樹脂
層とは、同一の樹脂にて構成されていることを特徴とす
る請求項１８または請求項１９に記載のインクジェット
ヘッドの製造方法。
【請求項２１】前記基板は、前記ノズル壁の先端部と
前記接合樹脂層との接合部分を加熱するための熱エネル
ギー発生手段を有することを特徴とする請求項１８から
請求項２０の何れかに記載のインクジェットヘッドの製
造方法。
【請求項２２】液滴を吐出するための吐出エネルギー
発生手段を有する基板と、この基板の前記吐出エネルギ
ー発生手段が形成された側の面に重ね合わされると共に
前記吐出エネルギー発生手段を囲むノズル壁が形成され
た溝付き板とを具え、この溝付き板の前記ノズル壁の先
端部と前記基板の前記吐出エネルギー発生手段が形成さ
れた側の面とを相互に接合するインクジェットヘッドの
製造方法において、前記基板の前記吐出エネルギー発生手段が形成された側
の面の前記ノズル壁の先端部が重ね合わされる部分に前
記ノズル壁の先端面よりも広い面積の肉盛層を形成する
ステップと、この肉盛層を覆う被覆層を前記基板の前記吐出エネルギ
ー発生手段が形成された側の面に形成するステップと、前記ノズル壁の前記先端面と対応した形状に前記被覆層
の一部を除去して前記肉盛層の一部を露出させる係止窓
部を形成するステップと、前記係止窓部から前記被覆層内の前記肉盛層を除去する
ステップと、前記ノズル壁の先端部を前記係止窓部から前記被覆層内
に押し込み、このノズル壁の先端部をその塑性変形を伴
って前記被覆層内で押し拡げるステップとを具えたこと
を特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２３】前記ノズル壁の先端部は、熱可塑性樹
脂にて構成されていることを特徴とする請求項２２に記
載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２４】液滴を吐出するための吐出エネルギー
発生手段を有する基板と、この基板の前記吐出エネルギ
ー発生手段が形成された側の面に重ね合わされると共に
前記吐出エネルギー発生手段を囲むノズル壁が形成され
た溝付き板とを具え、この溝付き板の前記ノズル壁の先
端部と前記基板の前記吐出エネルギー発生手段が形成さ
れた側の面とを相互に接合するインクジェットヘッドの
製造方法において、前記基板の前記吐出エネルギー発生手段が形成された側
の面の前記ノズル壁の先端部が重ね合わされる部分に前
記ノズル壁の先端面よりも広い面積の樹脂層を形成する
ステップと、この樹脂層を覆う被覆層を前記基板の前記吐出エネルギ
ー発生手段が形成された側の面に形成するステップと、前記ノズル壁の前記先端面と対応した形状に前記被覆層
の一部を除去して前記樹脂層の一部を露出させる係止窓
部を形成するステップと、前記ノズル壁の先端部を前記係止窓部から前記樹脂層に
押し込むと共にこの樹脂層を加熱溶融させ、前記ノズル
壁の先端部をその塑性変形を伴って前記被覆層内で押し
拡げつつ当該ノズル壁の先端部と前記被覆層との間に前
記樹脂層を構成する樹脂を回り込ませるステップとを具
えたことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方
法。
【請求項２５】前記ノズル壁の先端部および前記樹脂
層を構成する樹脂の少なくとも一方は、熱可塑性樹脂に
て構成されていることを特徴とする請求項２４に記載の
インクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２６】前記ノズル壁の先端部と前記樹脂層と
は、同一の樹脂にて構成されていることを特徴とする請
求項２４または請求項２５に記載のインクジェットヘッ
ドの製造方法。
【請求項２７】前記基板は、前記樹脂層を加熱するた
めの熱エネルギー発生手段を有することを特徴とする請
求項２４から請求項２６の何れかに記載のインクジェッ
トヘッドの製造方法。