JPH1073702A - 反射防止膜を有する光学部材 - Google Patents
反射防止膜を有する光学部材Info
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- JPH1073702A JPH1073702A JP9171837A JP17183797A JPH1073702A JP H1073702 A JPH1073702 A JP H1073702A JP 9171837 A JP9171837 A JP 9171837A JP 17183797 A JP17183797 A JP 17183797A JP H1073702 A JPH1073702 A JP H1073702A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高温状態でもクラックが発生しにくく、且つ
優れた反射防止性能を持った反射防止膜を有する光学部
材を提供する。 【解決手段】 合成樹脂基板上に、少なくとも、酸化タ
ンタル（Ｔａ2Ｏ5）と酸化チタン（ＴｉＯ2）との混合
膜と、前記混合膜より屈折率の低い低屈折率膜とを有す
る反射防止膜を設けたことを特徴とする反射防止膜を有
する光学部材である。
優れた反射防止性能を持った反射防止膜を有する光学部
材を提供する。 【解決手段】 合成樹脂基板上に、少なくとも、酸化タ
ンタル（Ｔａ2Ｏ5）と酸化チタン（ＴｉＯ2）との混合
膜と、前記混合膜より屈折率の低い低屈折率膜とを有す
る反射防止膜を設けたことを特徴とする反射防止膜を有
する光学部材である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は反射防止膜を有する
光学部材に係わり、更に詳しくは、合成樹脂基板の上に
少なくとも混合膜を１層有する光学部材に関する。
光学部材に係わり、更に詳しくは、合成樹脂基板の上に
少なくとも混合膜を１層有する光学部材に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、合成樹脂を基板として、基板
の上に表面反射を減少させる反射防止膜を有する光学部
材が知られており、この反射防止膜を有する光学部材は
カメラやビデオカメラ等に搭載され使用されている。な
お、基板としての合成樹脂はアクリル樹脂、ポリカーボ
ネート樹脂等が使用されている。特に基板が合成樹脂か
ら成る反射防止膜を有する光学部材は合成樹脂の耐熱性
が光学ガラスよりも低いことから、真空中での加熱蒸着
手段が適用できないので、合成樹脂基板と反射防止膜と
の密着性が悪く、また、反射防止膜にクラックが入りや
すいといった問題がある。
の上に表面反射を減少させる反射防止膜を有する光学部
材が知られており、この反射防止膜を有する光学部材は
カメラやビデオカメラ等に搭載され使用されている。な
お、基板としての合成樹脂はアクリル樹脂、ポリカーボ
ネート樹脂等が使用されている。特に基板が合成樹脂か
ら成る反射防止膜を有する光学部材は合成樹脂の耐熱性
が光学ガラスよりも低いことから、真空中での加熱蒸着
手段が適用できないので、合成樹脂基板と反射防止膜と
の密着性が悪く、また、反射防止膜にクラックが入りや
すいといった問題がある。
【０００３】この反射防止膜を形成した光学部材にクラ
ックが入りやすい理由として、反射防止膜内に残存する
応力が原因であることが一般に知られている。このクラ
ックを入り難くするため、例えば文献「光学薄膜」
（Ｈ．Ａ．Ｍａｃｌｅｏｄ著、小倉繁太郎他訳Ｐ４５
８）に記載されているように、反射防止膜を形成する膜
内の応力を減少させるために、膜内に数％の不純物を意
図的に混入させる方法がある。更に、詳しくはＰｕｌｋ
ｅｒは光学薄膜の応力と膜の微細構造との関係について
研究を行っており、応力の測定とモデルからの計算レベ
ルの間で良い一致が得られたが、不純物が少量でも存在
すると応力に大きく影響し、また不純物は柱状構造の膜
の結晶粒界に集まり、隣接する粒界間が互いに引き合う
力が減じて結果として応力を減少させ、更にふっ化マグ
ネシウム膜の応力は約４ｍｏｌ％の少量のふっ化カルシ
ウムの存在によって約５０％まで減少することが記載さ
れている。
ックが入りやすい理由として、反射防止膜内に残存する
応力が原因であることが一般に知られている。このクラ
ックを入り難くするため、例えば文献「光学薄膜」
（Ｈ．Ａ．Ｍａｃｌｅｏｄ著、小倉繁太郎他訳Ｐ４５
８）に記載されているように、反射防止膜を形成する膜
内の応力を減少させるために、膜内に数％の不純物を意
図的に混入させる方法がある。更に、詳しくはＰｕｌｋ
ｅｒは光学薄膜の応力と膜の微細構造との関係について
研究を行っており、応力の測定とモデルからの計算レベ
ルの間で良い一致が得られたが、不純物が少量でも存在
すると応力に大きく影響し、また不純物は柱状構造の膜
の結晶粒界に集まり、隣接する粒界間が互いに引き合う
力が減じて結果として応力を減少させ、更にふっ化マグ
ネシウム膜の応力は約４ｍｏｌ％の少量のふっ化カルシ
ウムの存在によって約５０％まで減少することが記載さ
れている。
【０００４】上記の考え方に基づき、混合膜を用いた反
射防止膜を有する光学部材が開示されている。例えば、
ＺｒＯ2とＴｉＯ2との混合膜、又はＺｒＯ2とＴｉＯ2と
の混合膜を用いた反射防止膜を有する光学部材が知られ
ている（特開平４−１８１９０２号参照）。
射防止膜を有する光学部材が開示されている。例えば、
ＺｒＯ2とＴｉＯ2との混合膜、又はＺｒＯ2とＴｉＯ2と
の混合膜を用いた反射防止膜を有する光学部材が知られ
ている（特開平４−１８１９０２号参照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この混
合膜を用いた反射防止膜を有する光学部材では、高温
（例えば７０℃）状態で保存すると、反射防止膜にクラ
ックが生じてしまい、充分なクラック防止効果は得られ
なかった。
合膜を用いた反射防止膜を有する光学部材では、高温
（例えば７０℃）状態で保存すると、反射防止膜にクラ
ックが生じてしまい、充分なクラック防止効果は得られ
なかった。
【０００６】本発明の目的は上記の課題に鑑みなされた
もので、高温状態でもクラックが発生しにくく、且つ優
れた反射防止性能を持った反射防止膜を有する光学部材
を提供することにある。
もので、高温状態でもクラックが発生しにくく、且つ優
れた反射防止性能を持った反射防止膜を有する光学部材
を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的は下記のよう
な構成により達成する。即ち、請求項１は、合成樹脂基
板上に、少なくとも、酸化タンタル（Ｔａ2Ｏ5）と酸化
チタン（ＴｉＯ2）との混合膜と、前記混合膜より屈折
率の低い低屈折率膜とを有する反射防止膜を設けたこと
を特徴とする反射防止膜を有する光学部材。
な構成により達成する。即ち、請求項１は、合成樹脂基
板上に、少なくとも、酸化タンタル（Ｔａ2Ｏ5）と酸化
チタン（ＴｉＯ2）との混合膜と、前記混合膜より屈折
率の低い低屈折率膜とを有する反射防止膜を設けたこと
を特徴とする反射防止膜を有する光学部材。
【０００８】ここで、合成樹脂は光学用合成樹脂であれ
ばよく、例えばアクリル樹脂（ＰＭＭＡ）又はポリカー
ボネート樹脂（ＰＣ）等で以下同じである。
ばよく、例えばアクリル樹脂（ＰＭＭＡ）又はポリカー
ボネート樹脂（ＰＣ）等で以下同じである。
【０００９】請求項２は、前記混合膜は、重量比で０．
５〜３０ｗｔ％の酸化チタン（ＴｉＯ2）を含有するこ
とを特徴とする請求項１に記載の反射防止膜を有する光
学部材。
５〜３０ｗｔ％の酸化チタン（ＴｉＯ2）を含有するこ
とを特徴とする請求項１に記載の反射防止膜を有する光
学部材。
【００１０】この重量比の限界値を外れると、クラック
が発生し易くなる。
が発生し易くなる。
【００１１】請求項３は、前記混合膜は、重量比で１〜
５ｗｔ％の酸化チタン（ＴｉＯ2）を含有することを特
徴とする請求項１に記載の反射防止膜を有する光学部
材。
５ｗｔ％の酸化チタン（ＴｉＯ2）を含有することを特
徴とする請求項１に記載の反射防止膜を有する光学部
材。
【００１２】この範囲の重量比とすることでより高い高
温まで、クラックの発生を防止できる。
温まで、クラックの発生を防止できる。
【００１３】請求項４は、前記反射防止膜が、合成樹脂
基板側より第１層、第２層とし、下記の条件を満足する
２層のみから構成されることを特徴とする請求項１から
請求項３のいずれか１項に記載の反射防止膜を有する光
学部材。
基板側より第１層、第２層とし、下記の条件を満足する
２層のみから構成されることを特徴とする請求項１から
請求項３のいずれか１項に記載の反射防止膜を有する光
学部材。
【００１４】 第１層：混合膜 １．９０≦ｎ1≦２．１０ ０．０３λ0≦ｎ1ｄ1≦０．１０λ0 第２層：低屈折率膜 １．３６≦ｎ2≦１．４８ ０．２８λ0≦ｎ2ｄ2≦０．４λ0 但し、 ｎi：反射防止膜材の屈折率（ｉ＝正の整数） ｄi：各層の幾何学的膜厚（ｉ＝正の整数） λ0：設計波長 請求項５は、以下の条件を満足することを特徴とする請
求項４に記載の反射防止膜を有する光学部材。
求項４に記載の反射防止膜を有する光学部材。
【００１５】７ｎｍ≦ｄ1≦２７ｎｍ ９６ｎｍ≦ｄ2≦１５０ｎｍ この限界値を外れると反射防止性能が低下する。
【００１６】請求項６は、前記第２層は、酸化シリコン
（ＳｉＯ2）又はふっ化マグネシウム（ＭｇＦ2）を含有
するものであることを特徴とする請求項４または請求項
５に記載の反射防止膜を有する光学部材。
（ＳｉＯ2）又はふっ化マグネシウム（ＭｇＦ2）を含有
するものであることを特徴とする請求項４または請求項
５に記載の反射防止膜を有する光学部材。
【００１７】請求項７は、前記反射防止膜が、合成樹脂
基板側より第１層から第３層とし、下記の条件を満足す
る３層のみから構成されることを特徴とする請求項１か
ら請求項３のいずれか１項に記載の反射防止膜を有する
光学部材。
基板側より第１層から第３層とし、下記の条件を満足す
る３層のみから構成されることを特徴とする請求項１か
ら請求項３のいずれか１項に記載の反射防止膜を有する
光学部材。
【００１８】 第１層：低屈折率膜 １．３６≦ｎ1≦１．４８ ０．１０λ0≦ｎ1ｄ1≦０．６０λ0 第２層：混合膜 １．９０≦ｎ2≦２．１０ ０．０３λ0≦ｎ2ｄ2≦０．１０λ0 第３層：低屈折率膜 １．３６≦ｎ3≦１．４８ ０．２８λ0≦ｎ3ｄ3≦０．４０λ0 但し、 ｎi：反射防止膜材の屈折率（ｉ＝正の整数） ｄi：各層の幾何学的膜厚（ｉ＝正の整数） λ0：設計波長 この限界値を外れると、反射防止性能が低下する。
【００１９】請求項８は、以下の条件を満足することを
特徴とする請求項７に記載の反射防止膜を有する光学部
材。
特徴とする請求項７に記載の反射防止膜を有する光学部
材。
【００２０】３４ｎｍ≦ｄ1≦２２５ｎｍ ７ｎｍ≦ｄ2≦２７ｎｍ ９６ｎｍ≦ｄ3≦１５０ｎｍ この限界値を外れると、反射防止性能が低下する。
【００２１】請求項９は、前記第１層または第３層は、
酸化シリコン（ＳｉＯ2）又はふっ化マグネシウム（Ｍ
ｇＦ2）を含有することを特徴とする請求項７または請
求項８に記載の反射防止膜を有する光学部材。
酸化シリコン（ＳｉＯ2）又はふっ化マグネシウム（Ｍ
ｇＦ2）を含有することを特徴とする請求項７または請
求項８に記載の反射防止膜を有する光学部材。
【００２２】請求項１０は、前記反射防止膜が、合成樹
脂基板側より第１層から第４層とし、下記の条件を満足
する４層のみから構成されることを特徴とする請求項１
から請求項３のいずれか１項に記載の反射防止膜を有す
る光学部材。
脂基板側より第１層から第４層とし、下記の条件を満足
する４層のみから構成されることを特徴とする請求項１
から請求項３のいずれか１項に記載の反射防止膜を有す
る光学部材。
【００２３】 第１層：混合膜 １．９０≦ｎ1≦２．１０ ０．０２λ0≦ｎ1ｄ1≦０．１５λ0 第２層：低屈折率膜 １．３６≦ｎ2≦１．４８ ０．０３λ0≦ｎ2ｄ2≦０．１８λ0 第３層：混合膜 １．９０≦ｎ3≦２．１０ ０．０９λ0≦ｎ3ｄ3≦０．３２λ0 第４層：低屈折率膜 １．３６≦ｎ4≦１．４８ ０．２２λ0≦ｎ4ｄ4≦０．４０λ0 但し、 ｎi：反射防止膜材の屈折率（ｉ＝正の整数） ｄi：各層の幾何学的膜厚（ｉ＝正の整数） λ0：設計波長 この限界値を外れると、反射防止性能が低下する。
【００２４】請求項１１は、以下の条件を満足すること
を特徴とする請求項１０に記載の反射防止膜を有する光
学部材。
を特徴とする請求項１０に記載の反射防止膜を有する光
学部材。
【００２５】４ｎｍ≦ｄ1≦４１ｎｍ １１ｎｍ≦ｄ2≦６８ｎｍ ２２ｎｍ≦ｄ3≦８６ｎｍ ７５ｎｍ≦ｄ4≦１５０ｎｍ この限界値を外れると反射防止性能が低下する。
【００２６】請求項１２は、前記第２層または第４層
は、酸化シリコン（ＳｉＯ2）又はふっ化マグネシウム
（ＭｇＦ2）を含有することを特徴とする請求項１０ま
たは請求項１１に記載の反射防止膜を有する光学部材。
は、酸化シリコン（ＳｉＯ2）又はふっ化マグネシウム
（ＭｇＦ2）を含有することを特徴とする請求項１０ま
たは請求項１１に記載の反射防止膜を有する光学部材。
【００２７】請求項１３は、前記反射防止膜が、合成樹
脂基板側より第１層から第５層とし、下記の条件を満足
する５層のみから構成されることを特徴とする請求項１
から請求項３のいずれか１項に記載の反射防止膜を有す
る光学部材。
脂基板側より第１層から第５層とし、下記の条件を満足
する５層のみから構成されることを特徴とする請求項１
から請求項３のいずれか１項に記載の反射防止膜を有す
る光学部材。
【００２８】 第１層：低屈折率膜 １．３６≦ｎ1≦１．４８ ０．１０λ0≦ｎ1ｄ1≦０．６０λ0 第２層：混合膜 １．９０≦ｎ2≦２．１０ ０．０２λ0≦ｎ2ｄ2≦０．１５λ0 第３層：低屈折率膜 １．３６≦ｎ3≦１．４８ ０．０３λ0≦ｎ3ｄ3≦０．１８λ0 第４層：混合膜 １．９０≦ｎ4≦２．１０ ０．０９λ0≦ｎ4ｄ4≦０．３２λ0 第５層：低屈折率膜 １．３６≦ｎ5≦１．４８ ０．２２λ0≦ｎ5ｄ5≦０．４０λ0 但し、 ｎi：反射防止膜材の屈折率（ｉ＝正の整数） ｄi：各層の幾何学的膜厚（ｉ＝正の整数） λ0：設計波長 この限界値を外れると、反射防止性能が低下する。
【００２９】請求項１４は、以下の条件を満足すること
を特徴とする請求項１３に記載の反射防止膜を有する光
学部材。
を特徴とする請求項１３に記載の反射防止膜を有する光
学部材。
【００３０】３４ｎｍ≦ｄ1≦２２５ｎｍ ４ｎｍ≦ｄ2≦４１ｎｍ １１ｎｍ≦ｄ3≦６８ｎｍ ２２ｎｍ≦ｄ4≦８６ｎｍ ７５ｎｍ≦ｄ5≦１５０ｎｍ この限界値を外れると反射防止性能が低下する。
【００３１】請求項１５は、前記第１層、第３層または
第５層は、酸化シリコン（ＳｉＯ2）又はふっ化マグネ
シウム（ＭｇＦ2）を含有することを特徴とする請求項
１３または請求項１４に記載の反射防止膜を有する光学
部材。
第５層は、酸化シリコン（ＳｉＯ2）又はふっ化マグネ
シウム（ＭｇＦ2）を含有することを特徴とする請求項
１３または請求項１４に記載の反射防止膜を有する光学
部材。
【００３２】請求項１６は、前記反射防止膜が、合成樹
脂基板側より第１層から第６層とし、以下の条件を満足
する６層のみから構成されることを特徴とする請求項１
から請求項３のいずれか１項に記載の反射防止膜を有す
る光学部材。
脂基板側より第１層から第６層とし、以下の条件を満足
する６層のみから構成されることを特徴とする請求項１
から請求項３のいずれか１項に記載の反射防止膜を有す
る光学部材。
【００３３】 第１層：中間屈折率膜 １．５８≦ｎ1≦１．６２ ０．０５λ0≦ｎ1ｄ1≦０．３０λ0 第２層：低屈折率膜 １．３６≦ｎ2≦１．４８ ０．１０λ0≦ｎ2ｄ2≦０．６０λ0 第３層：混合膜 １．９０≦ｎ3≦２．１０ ０．０２λ0≦ｎ3ｄ3≦０．０８λ0 第４層：低屈折率膜 １．３６≦ｎ4≦１．４８ ０．１０λ0≦ｎ4ｄ4≦０．１８λ0 第５層：混合膜 １．９０≦ｎ5≦２．１０ ０．０９λ0≦ｎ5ｄ5≦０．３５λ0 第６層：低屈折率膜 １．３６≦ｎ6≦１．４８ ０．２８λ0≦ｎ6ｄ6≦０．４０λ0 但し、 ｎi：反射防止膜材の屈折率（ｉ＝正の整数） ｄi：各層の幾何学的膜厚（ｉ＝正の整数） λ0：設計波長 この限界値を外れると、反射防止性能が低下する。
【００３４】請求項１７は、以下の条件を満足すること
を特徴とする請求項１６に記載の反射防止膜を有する光
学部材。
を特徴とする請求項１６に記載の反射防止膜を有する光
学部材。
【００３５】１５ｎｍ≦ｄ1≦９７ｎｍ ３４ｎｍ≦ｄ2≦２２５ｎｍ ４ｎｍ≦ｄ3≦２２ｎｍ ３４ｎｍ≦ｄ4≦６８ｎｍ ２２ｎｍ≦ｄ5≦９４ｎｍ ９６ｎｍ≦ｄ6≦１５０ｎｍ この限界値を外れると反射防止性能が低下する。
【００３６】請求項１８は、前記第２層は、酸化シリコ
ン（ＳｉＯ2）又はふっ化マグネシウム（ＭｇＦ2）を含
有することを特徴とする請求項１６または請求項１７に
記載の反射防止膜を有する光学部材。
ン（ＳｉＯ2）又はふっ化マグネシウム（ＭｇＦ2）を含
有することを特徴とする請求項１６または請求項１７に
記載の反射防止膜を有する光学部材。
【００３７】または、請求項１９は、前記第１層は、酸
化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）を含有することを特徴とす
る請求項１６から請求項１８のいずれか１項に記載の反
射防止膜を有する光学部材。
化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）を含有することを特徴とす
る請求項１６から請求項１８のいずれか１項に記載の反
射防止膜を有する光学部材。
【００３８】
【実施例】以下、本発明に係わる実施例を説明する。な
お、酸化タンタル（Ｔａ2Ｏ5）に対する酸化チタン（Ｔ
ｉＯ2）の重量比は図２の混合膜の重量比と屈折率の相
関図より換算される。
お、酸化タンタル（Ｔａ2Ｏ5）に対する酸化チタン（Ｔ
ｉＯ2）の重量比は図２の混合膜の重量比と屈折率の相
関図より換算される。
【００３９】（実験装置）反射防止膜の製膜法は真空蒸
着法を用い、真空槽内を２．０×１０-3Ｐａまで排気
し、電子銃により材料を加熱、蒸発させ、製膜を行っ
た。なお、製膜中は、反応ガスとして酸素ガスを全圧で
１．５×１０-2Ｐａになるまで導入し、又基板は特に加
熱しないで蒸着を行った。酸化タンタル（Ｔａ2Ｏ5）と
酸化チタン（ＴｉＯ2）の混合膜の製作は、本実施例で
は単独の材料を所望の重量比で混合し、一度溶融して冷
却させたものを砕いて蒸発材料として使用した。得られ
た光学部材を６０℃，９０％ＲＨの環境下に２４０時間
放置した時、及び７０℃（乾燥）の環境下に８時間放置
した。なお、単独の材料を別の蒸発源で蒸発させ（二元
同時蒸着）、蒸発速度を調整することで所望の混合膜を
実現させても良い。
着法を用い、真空槽内を２．０×１０-3Ｐａまで排気
し、電子銃により材料を加熱、蒸発させ、製膜を行っ
た。なお、製膜中は、反応ガスとして酸素ガスを全圧で
１．５×１０-2Ｐａになるまで導入し、又基板は特に加
熱しないで蒸着を行った。酸化タンタル（Ｔａ2Ｏ5）と
酸化チタン（ＴｉＯ2）の混合膜の製作は、本実施例で
は単独の材料を所望の重量比で混合し、一度溶融して冷
却させたものを砕いて蒸発材料として使用した。得られ
た光学部材を６０℃，９０％ＲＨの環境下に２４０時間
放置した時、及び７０℃（乾燥）の環境下に８時間放置
した。なお、単独の材料を別の蒸発源で蒸発させ（二元
同時蒸着）、蒸発速度を調整することで所望の混合膜を
実現させても良い。
【００４０】（評価方法）評価項目はクラックで、クラ
ックの評価方法は反射式光学顕微鏡（４０倍）により目
視で検査した。
ックの評価方法は反射式光学顕微鏡（４０倍）により目
視で検査した。
【００４１】実施例、比較例のクラックの評価尺度は下
記の通りである。
記の通りである。
【００４２】 ○； クラック発生せず △； 薄いスジ状のクラックが発生する ×； 亀甲状のクラックが発生する。
【００４３】膜厚の測定方法は、膜厚試料（被分析物）
をその反射防止膜に対し垂直に切断し、断面を走査型電
子顕微鏡（ＳＥＭ）で拡大して測定する。
をその反射防止膜に対し垂直に切断し、断面を走査型電
子顕微鏡（ＳＥＭ）で拡大して測定する。
【００４４】屈折率の測定方法は、反射防止膜を形成す
る各層の構成材料をＸ線電子分光法（ＸＰＳ）で分析す
ることで、公知の文献（例えば共立出版、光学薄膜）か
ら検索できる。また、混合膜の屈折率は、（１）Ｘ線電
子分光法で混合膜の構成材料の成分比率を分析し、
（２）各構成材料ごとの屈折率を公知の文献から検索
し、（３）各構成材料ごとの屈折率と成分比の積の総和
をとれば特定できる。
る各層の構成材料をＸ線電子分光法（ＸＰＳ）で分析す
ることで、公知の文献（例えば共立出版、光学薄膜）か
ら検索できる。また、混合膜の屈折率は、（１）Ｘ線電
子分光法で混合膜の構成材料の成分比率を分析し、
（２）各構成材料ごとの屈折率を公知の文献から検索
し、（３）各構成材料ごとの屈折率と成分比の積の総和
をとれば特定できる。
【００４５】〔実施例Ａ〕本発明の実施例を説明する
と、図１は本発明の実施例の反射防止膜を有する光学部
材の断面図である。図で、反射防止膜を有する光学部材
１は合成樹脂基板２と、反射防止膜層３で構成され、反
射防止膜層３は混合膜からなる第１層３２と低屈折率膜
からなる第２層３１で構成されている。
と、図１は本発明の実施例の反射防止膜を有する光学部
材の断面図である。図で、反射防止膜を有する光学部材
１は合成樹脂基板２と、反射防止膜層３で構成され、反
射防止膜層３は混合膜からなる第１層３２と低屈折率膜
からなる第２層３１で構成されている。
【００４６】（サンプルの作成）実施例Ａのサンプルは
サンプル実施例１とサンプル比較例１，２，３で、合成
樹脂基板の材料、反射防止膜材、光学膜厚、層構成は表
１に示す。
サンプル実施例１とサンプル比較例１，２，３で、合成
樹脂基板の材料、反射防止膜材、光学膜厚、層構成は表
１に示す。
【００４７】
【表１】
【００４８】（試験結果）上記サンプルの結果を表２に
示す。また、分光反射率計による反射防止膜を有する光
学部材の分光反射率（分光特性）を図３に示す。
示す。また、分光反射率計による反射防止膜を有する光
学部材の分光反射率（分光特性）を図３に示す。
【００４９】
【表２】
【００５０】表２より、サンプル実施例１とサンプル比
較例１，２，３には６０℃，９０％ＲＨ高温条件下に２
４０時間保存した場合はクラックに対し有意差は出ない
が、７０℃（乾燥）の保存下における膜のクラックが本
発明のサンプル実施例１のみ耐え得るという結果を得
た。
較例１，２，３には６０℃，９０％ＲＨ高温条件下に２
４０時間保存した場合はクラックに対し有意差は出ない
が、７０℃（乾燥）の保存下における膜のクラックが本
発明のサンプル実施例１のみ耐え得るという結果を得
た。
【００５１】〔実施例Ｂ〕実施例Ｂのサンプルはサンプ
ル実施例２、サンプル比較例４，５，６で、合成樹脂基
板の材料、反射防止膜材、光学膜厚、層構成は表３に示
す。
ル実施例２、サンプル比較例４，５，６で、合成樹脂基
板の材料、反射防止膜材、光学膜厚、層構成は表３に示
す。
【００５２】
【表３】
【００５３】（試験結果）上記サンプルの結果を表４に
示す。また、分光反射率計による反射防止膜を有する光
学部材の分光反射率（分光特性）を図４に示す。
示す。また、分光反射率計による反射防止膜を有する光
学部材の分光反射率（分光特性）を図４に示す。
【００５４】
【表４】
【００５５】表４より、試験結果については、サンプル
実施例２とサンプル比較例４，５，６には６０℃，９０
％ＲＨ高温条件下に２４０時間保存した場合はクラック
に対し有意差は出ないが、７０℃（乾燥）の保存下にお
ける膜のクラックが本発明のサンプル実施例２のみ耐え
得るという結果を得た。
実施例２とサンプル比較例４，５，６には６０℃，９０
％ＲＨ高温条件下に２４０時間保存した場合はクラック
に対し有意差は出ないが、７０℃（乾燥）の保存下にお
ける膜のクラックが本発明のサンプル実施例２のみ耐え
得るという結果を得た。
【００５６】〔実施例Ｃ〕実施例Ｃのサンプルはサンプ
ル実施例３、サンプル比較例７，８，９で、合成樹脂基
板の材料、反射防止膜材、光学膜厚、層構成は表５に示
す。
ル実施例３、サンプル比較例７，８，９で、合成樹脂基
板の材料、反射防止膜材、光学膜厚、層構成は表５に示
す。
【００５７】
【表５】
【００５８】（試験結果）上記サンプルの結果を表６に
示す。また、分光反射率計による反射防止膜を有する光
学部材の分光反射率（分光特性）を図５に示す。
示す。また、分光反射率計による反射防止膜を有する光
学部材の分光反射率（分光特性）を図５に示す。
【００５９】
【表６】
【００６０】表６より、試験結果については、サンプル
実施例３とサンプル比較例７，８，９には６０℃，９０
％ＲＨ高温条件下に２４０時間保存した場合はクラック
に対し有意差は出ないが、７０℃（乾燥）の保存下にお
ける膜のクラックが本発明のサンプル実施例３のみ耐え
得るという結果を得た。
実施例３とサンプル比較例７，８，９には６０℃，９０
％ＲＨ高温条件下に２４０時間保存した場合はクラック
に対し有意差は出ないが、７０℃（乾燥）の保存下にお
ける膜のクラックが本発明のサンプル実施例３のみ耐え
得るという結果を得た。
【００６１】〔実施例Ｄ〕実施例Ｄのサンプルはサンプ
ル実施例４、サンプル比較例１０，１１，１２で、合成
樹脂基板の材料、反射防止膜材、光学膜厚、層構成は表
７に示す。
ル実施例４、サンプル比較例１０，１１，１２で、合成
樹脂基板の材料、反射防止膜材、光学膜厚、層構成は表
７に示す。
【００６２】
【表７】
【００６３】（試験結果）上記サンプルの結果を表８に
示す。また、分光反射率計による反射防止膜を有する光
学部材の分光反射率（分光特性）を図６に示す。
示す。また、分光反射率計による反射防止膜を有する光
学部材の分光反射率（分光特性）を図６に示す。
【００６４】
【表８】
【００６５】表８より、試験結果については、サンプル
実施例４とサンプル比較例１０，１１，１２には６０
℃，９０％ＲＨ高温条件下に２４０時間保存した場合は
クラックに対し有意差は出ないが、７０℃（乾燥）の保
存下における膜のクラックが本発明の実施例４サンプル
のみ耐え得るという結果を得た。
実施例４とサンプル比較例１０，１１，１２には６０
℃，９０％ＲＨ高温条件下に２４０時間保存した場合は
クラックに対し有意差は出ないが、７０℃（乾燥）の保
存下における膜のクラックが本発明の実施例４サンプル
のみ耐え得るという結果を得た。
【００６６】〔実施例Ｅ〕実施例Ｅのサンプルはサンプ
ル実施例５、サンプル比較例１３，１４，１５である。
合成樹脂基板の材料、反射防止膜材、光学膜厚、層構成
は表９に示す。
ル実施例５、サンプル比較例１３，１４，１５である。
合成樹脂基板の材料、反射防止膜材、光学膜厚、層構成
は表９に示す。
【００６７】
【表９】
【００６８】（試験結果）上記サンプルの結果を表１０
に示す。また、分光反射率計による反射防止膜を有する
光学部材の分光反射率（分光特性）を図７に示す。
に示す。また、分光反射率計による反射防止膜を有する
光学部材の分光反射率（分光特性）を図７に示す。
【００６９】
【表１０】
【００７０】表１０より、試験結果については，サンプ
ル実施例５とサンプル比較例１３，１４，１５には６０
℃，９０％ＲＨ高温条件下に２４０時間保存した場合は
クラックに対し有意差は出ないが、７０℃（乾燥）の保
存下における膜のクラックが本発明のサンプル実施例５
のみ耐え得るという結果を得た。
ル実施例５とサンプル比較例１３，１４，１５には６０
℃，９０％ＲＨ高温条件下に２４０時間保存した場合は
クラックに対し有意差は出ないが、７０℃（乾燥）の保
存下における膜のクラックが本発明のサンプル実施例５
のみ耐え得るという結果を得た。
【００７１】〔実施例Ｆ〕実施例Ｆのサンプルはサンプ
ル実施例６、サンプル比較例１６，１７，１８である。
合成樹脂基板の材料、反射防止膜材、光学膜厚、層構成
は表１１に示す。
ル実施例６、サンプル比較例１６，１７，１８である。
合成樹脂基板の材料、反射防止膜材、光学膜厚、層構成
は表１１に示す。
【００７２】
【表１１】
【００７３】（試験結果）上記サンプルの結果を表１２
に示す。また、分光反射率計による反射防止膜を有する
光学部材の分光反射率（分光特性）を図８に示す。
に示す。また、分光反射率計による反射防止膜を有する
光学部材の分光反射率（分光特性）を図８に示す。
【００７４】
【表１２】
【００７５】表１２より、試験結果については、サンプ
ル実施例６とサンプル比較例１６，１７，１８では有意
差は出ないが、７０℃（乾燥）の保存下における膜のク
ラックが本発明のサンプル実施例６のみ耐え得るという
結果を得た。
ル実施例６とサンプル比較例１６，１７，１８では有意
差は出ないが、７０℃（乾燥）の保存下における膜のク
ラックが本発明のサンプル実施例６のみ耐え得るという
結果を得た。
【００７６】〔実施例Ｇ〕実施例Ｇのサンプルはサンプ
ル実施例７、サンプル比較例１９，２０，２１である。
合成樹脂基板の材料、反射防止膜材、光学膜厚、層構成
は表１３に示す。
ル実施例７、サンプル比較例１９，２０，２１である。
合成樹脂基板の材料、反射防止膜材、光学膜厚、層構成
は表１３に示す。
【００７７】
【表１３】
【００７８】（試験結果）上記サンプルの結果を表１４
に示す。また、分光反射率計による反射防止膜を有する
光学部材の分光反射率（分光特性）を図９に示す。
に示す。また、分光反射率計による反射防止膜を有する
光学部材の分光反射率（分光特性）を図９に示す。
【００７９】
【表１４】
【００８０】表１４より、試験結果については、サンプ
ル実施例７とサンプル比較例１９，２０，２１では有意
差は出ないが、７０℃（乾燥）の保存下における膜のク
ラックが本発明のサンプル実施例７のみ耐え得るという
結果を得た。
ル実施例７とサンプル比較例１９，２０，２１では有意
差は出ないが、７０℃（乾燥）の保存下における膜のク
ラックが本発明のサンプル実施例７のみ耐え得るという
結果を得た。
【００８１】〔実施例Ｈ〕実施例Ｈのサンプルはサンプ
ル実施例７，８，９、サンプル比較例２２である。合成
樹脂基板の材料、反射防止膜材、光学膜厚、層構成は表
１５、表１６に示す。
ル実施例７，８，９、サンプル比較例２２である。合成
樹脂基板の材料、反射防止膜材、光学膜厚、層構成は表
１５、表１６に示す。
【００８２】
【表１５】
【００８３】
【表１６】
【００８４】（試験結果）上記サンプルの結果を表１７
に示す。また、分光反射率計による反射防止膜を有する
光学部材の分光反射率（分光特性）を図１０に示す。
に示す。また、分光反射率計による反射防止膜を有する
光学部材の分光反射率（分光特性）を図１０に示す。
【００８５】
【表１７】
【００８６】表１７より、試験結果については、サンプ
ル実施例７，８，９とサンプル比較例２２では有意差は
出ないが、７０℃（乾燥）保存下における膜のクラック
が本発明のサンプル実施例７，８，９のみ耐え得るとい
う結果を得た。以上のことにより、クラックが発生しな
いための酸化チタン（ＴｉＯ2）の混合比は重量比で
０．５から３０ｗｔ％の範囲内であることが判明した。
ル実施例７，８，９とサンプル比較例２２では有意差は
出ないが、７０℃（乾燥）保存下における膜のクラック
が本発明のサンプル実施例７，８，９のみ耐え得るとい
う結果を得た。以上のことにより、クラックが発生しな
いための酸化チタン（ＴｉＯ2）の混合比は重量比で
０．５から３０ｗｔ％の範囲内であることが判明した。
【００８７】また、８０℃（乾燥）の保存下での試験結
果では、実施例８、９についてクラックが発生し、実施
例７についてはこの条件によってもクラックは発生しな
かった。よって、より高温で使用する場合においては、
酸化チタン（ＴｉＯ2）の混合比は重量比で１から５ｗ
ｔ％の範囲内とするのが望ましい。
果では、実施例８、９についてクラックが発生し、実施
例７についてはこの条件によってもクラックは発生しな
かった。よって、より高温で使用する場合においては、
酸化チタン（ＴｉＯ2）の混合比は重量比で１から５ｗ
ｔ％の範囲内とするのが望ましい。
【００８８】なお、以上の例では合成樹脂基板として、
ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリカーボネ
ート（ＰＣ）などの代表的な合成樹脂を使用した例を示
したが、当該分野で使用されている合成樹脂であれば他
の合成樹脂でも良く、特に限定されない。
ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリカーボネ
ート（ＰＣ）などの代表的な合成樹脂を使用した例を示
したが、当該分野で使用されている合成樹脂であれば他
の合成樹脂でも良く、特に限定されない。
【００８９】なお、本発明の実施例では真空蒸着法を用
いた製膜を行ったが、イオンプレーティング法、スパッ
タリング法等を使用しても良い。
いた製膜を行ったが、イオンプレーティング法、スパッ
タリング法等を使用しても良い。
【００９０】
【発明の効果】以上のように構成したので下記の効果を
奏する。即ち、請求項１に記載の発明によれば、合成樹
脂基板上に、少なくとも、酸化タンタル（Ｔａ2Ｏ5）と
酸化チタン（ＴｉＯ2）との混合膜と、前記混合膜より
屈折率の低い低屈折率膜とを有する反射防止膜を設けた
ので、反射防止性能が良好で、高精度の光学系に適用可
能であり、しかも高温状態でもクラックなどが発生しに
くい光学部材となる。
奏する。即ち、請求項１に記載の発明によれば、合成樹
脂基板上に、少なくとも、酸化タンタル（Ｔａ2Ｏ5）と
酸化チタン（ＴｉＯ2）との混合膜と、前記混合膜より
屈折率の低い低屈折率膜とを有する反射防止膜を設けた
ので、反射防止性能が良好で、高精度の光学系に適用可
能であり、しかも高温状態でもクラックなどが発生しに
くい光学部材となる。
【００９１】請求項２に記載の発明によれば、請求項１
に記載の反射防止膜を有する光学部材で、混合膜は、重
量比で０．５〜３０ｗｔ％の酸化チタン（ＴｉＯ2）を
含有するので、高温状態でもクラックが発生しにくくな
る。
に記載の反射防止膜を有する光学部材で、混合膜は、重
量比で０．５〜３０ｗｔ％の酸化チタン（ＴｉＯ2）を
含有するので、高温状態でもクラックが発生しにくくな
る。
【００９２】請求項３に記載の発明によれば、請求項１
に記載の反射防止膜を有する光学部材で、混合膜は、重
量比で１〜５ｗｔ％の酸化チタン（ＴｉＯ2）を含有す
るので、より高温状態でもクラックが発生しにくくな
る。
に記載の反射防止膜を有する光学部材で、混合膜は、重
量比で１〜５ｗｔ％の酸化チタン（ＴｉＯ2）を含有す
るので、より高温状態でもクラックが発生しにくくな
る。
【００９３】請求項４に記載の発明によれば、請求項１
から３のいずれか１項に記載の反射防止膜を有する光学
部材で、反射防止膜が、請求項４に記載の条件を満足す
る２層のみから構成されるので、反射防止性能が良好
で、高温状態でもクラックが発生しにくく、コスト安
で、生産性が良い。
から３のいずれか１項に記載の反射防止膜を有する光学
部材で、反射防止膜が、請求項４に記載の条件を満足す
る２層のみから構成されるので、反射防止性能が良好
で、高温状態でもクラックが発生しにくく、コスト安
で、生産性が良い。
【００９４】請求項５に記載の発明によれば、請求項４
に記載の反射防止膜を有する光学部材で、さらに請求項
５に記載の各層の層厚条件を満足するので、反射防止性
能が良好である。
に記載の反射防止膜を有する光学部材で、さらに請求項
５に記載の各層の層厚条件を満足するので、反射防止性
能が良好である。
【００９５】請求項６に記載の発明によれば、請求項４
または５に記載の反射防止膜を有する光学部材で、第２
層は、酸化シリコン（ＳｉＯ2）又はふっ化マグネシウ
ム（ＭｇＦ2）を含有するので、反射防止性能が良好で
ある。
または５に記載の反射防止膜を有する光学部材で、第２
層は、酸化シリコン（ＳｉＯ2）又はふっ化マグネシウ
ム（ＭｇＦ2）を含有するので、反射防止性能が良好で
ある。
【００９６】請求項７に記載の発明によれば、請求項１
から３のいずれか１項に記載の反射防止膜を有する光学
部材で、前記反射防止膜が、請求項７に記載の条件を満
足する３層のみから構成されるので、優れた反射防止性
能を持ち、高精度の光学系に適用可能であり、しかも高
温状態でもクラックなどが発生しにくい光学部材とな
る。
から３のいずれか１項に記載の反射防止膜を有する光学
部材で、前記反射防止膜が、請求項７に記載の条件を満
足する３層のみから構成されるので、優れた反射防止性
能を持ち、高精度の光学系に適用可能であり、しかも高
温状態でもクラックなどが発生しにくい光学部材とな
る。
【００９７】請求項８に記載の発明によれば、請求項７
に記載の反射防止膜を有する光学部材で、さらに請求項
８に記載の各層の層厚条件を満足するので、反射防止性
能が良好である。
に記載の反射防止膜を有する光学部材で、さらに請求項
８に記載の各層の層厚条件を満足するので、反射防止性
能が良好である。
【００９８】請求項９に記載の発明によれば、請求項７
または８に記載の反射防止膜を有する光学部材で、第１
層または第３層は、酸化シリコン（ＳｉＯ2）又はふっ
化マグネシウム（ＭｇＦ2）を含有するので、反射防止
性能が良好である。
または８に記載の反射防止膜を有する光学部材で、第１
層または第３層は、酸化シリコン（ＳｉＯ2）又はふっ
化マグネシウム（ＭｇＦ2）を含有するので、反射防止
性能が良好である。
【００９９】請求項１０に記載の発明によれば、請求項
１から３のいずれか１項に記載の反射防止膜を有する光
学部材で、前記反射防止膜が、請求項１０に記載の条件
を満足する４層のみから構成されるので、優れた反射防
止性能を持ち、高精度の光学系に適用可能であり、しか
も高温状態でもクラックなどが発生しにくい光学部材と
なる。
１から３のいずれか１項に記載の反射防止膜を有する光
学部材で、前記反射防止膜が、請求項１０に記載の条件
を満足する４層のみから構成されるので、優れた反射防
止性能を持ち、高精度の光学系に適用可能であり、しか
も高温状態でもクラックなどが発生しにくい光学部材と
なる。
【０１００】請求項１１に記載の発明によれば、請求項
１０に記載の各層の層厚条件を満足する４層のみから構
成されるので、反射防止性能が良好である。
１０に記載の各層の層厚条件を満足する４層のみから構
成されるので、反射防止性能が良好である。
【０１０１】請求項１２に記載の発明によれば、請求項
１０または１１に記載の反射防止膜を有する光学部材
で、前記第２層または第４層は、酸化シリコン（ＳｉＯ
2）又はふっ化マグネシウム（ＭｇＦ2）を含有するもの
であるので、反射防止性能が良好である。
１０または１１に記載の反射防止膜を有する光学部材
で、前記第２層または第４層は、酸化シリコン（ＳｉＯ
2）又はふっ化マグネシウム（ＭｇＦ2）を含有するもの
であるので、反射防止性能が良好である。
【０１０２】請求項１３に記載の発明によれば、請求項
１から３のいずれか１項に記載の反射防止膜を有する光
学部材で、反射防止膜が、請求項１３に記載の条件を満
足する５層のみから構成されるので、反射防止性能が良
好で、高温状態でもクラックが発生しにくく、コスト安
で、生産性が良い。
１から３のいずれか１項に記載の反射防止膜を有する光
学部材で、反射防止膜が、請求項１３に記載の条件を満
足する５層のみから構成されるので、反射防止性能が良
好で、高温状態でもクラックが発生しにくく、コスト安
で、生産性が良い。
【０１０３】請求項１４に記載の発明によれば、請求項
１３に記載の反射防止膜を有する光学部材で、さらに請
求項１４に記載の各層の層厚条件を満足するので、反射
防止性能が良好である。
１３に記載の反射防止膜を有する光学部材で、さらに請
求項１４に記載の各層の層厚条件を満足するので、反射
防止性能が良好である。
【０１０４】請求項１５に記載の発明によれば、請求項
１３または１４に記載の反射防止膜を有する光学部材
で、第１層、第３層または第５層は、酸化シリコン（Ｓ
ｉＯ2）又はふっ化マグネシウム（ＭｇＦ2）を含有する
ので、高温状態でもクラックが発生しにくく、コスト安
で、生産性も良い。
１３または１４に記載の反射防止膜を有する光学部材
で、第１層、第３層または第５層は、酸化シリコン（Ｓ
ｉＯ2）又はふっ化マグネシウム（ＭｇＦ2）を含有する
ので、高温状態でもクラックが発生しにくく、コスト安
で、生産性も良い。
【０１０５】請求項１６に記載の発明によれば、請求項
１から３のいずれか１項に記載の反射防止膜を有する光
学部材で、反射防止膜が、請求項１６に記載の６層のみ
から構成されるので、反射防止性能が良好で、高温状態
でもクラックが発生しにくく、コスト安で、生産性が良
い。
１から３のいずれか１項に記載の反射防止膜を有する光
学部材で、反射防止膜が、請求項１６に記載の６層のみ
から構成されるので、反射防止性能が良好で、高温状態
でもクラックが発生しにくく、コスト安で、生産性が良
い。
【０１０６】請求項１７に記載の発明によれば、請求項
１６に記載の反射防止膜を有する光学部材で、さらに請
求項１７に記載の各層の層厚条件を満足するので、反射
防止性能が良好である。
１６に記載の反射防止膜を有する光学部材で、さらに請
求項１７に記載の各層の層厚条件を満足するので、反射
防止性能が良好である。
【０１０７】請求項１８に記載の発明によれば、請求項
１６または請求項１７に記載の反射防止膜を有する光学
部材で、第２層は酸化シリコン（ＳｉＯ2）又はふっ化
マグネシウム（ＭｇＦ2）を含有するので、反射防止性
能が良好である。
１６または請求項１７に記載の反射防止膜を有する光学
部材で、第２層は酸化シリコン（ＳｉＯ2）又はふっ化
マグネシウム（ＭｇＦ2）を含有するので、反射防止性
能が良好である。
【０１０８】請求項１９に記載の発明によれば、請求項
１６から請求項１８のいずれか１項に記載の反射防止膜
を有する光学部材で、第１層は、酸化アルミニウム（Ａ
ｌ2Ｏ3）を含有するので、反射防止性能が良好である。
１６から請求項１８のいずれか１項に記載の反射防止膜
を有する光学部材で、第１層は、酸化アルミニウム（Ａ
ｌ2Ｏ3）を含有するので、反射防止性能が良好である。
【図１】本発明の実施例の反射防止膜を有する光学部材
の断面図である。
の断面図である。
【図２】混合膜の重量比と屈折率の相関図を示す図であ
る。
る。
【図３】実施例Ａの反射防止膜を有する光学部材の分光
反射率である。
反射率である。
【図４】実施例Ｂの反射防止膜を有する光学部材の分光
反射率である。
反射率である。
【図５】実施例Ｃの反射防止膜を有する光学部材の分光
反射率である。
反射率である。
【図６】実施例Ｄの反射防止膜を有する光学部材の分光
反射率である。
反射率である。
【図７】実施例Ｅの反射防止膜を有する光学部材の分光
反射率である。
反射率である。
【図８】実施例Ｆの反射防止膜を有する光学部材の分光
反射率である。
反射率である。
【図９】実施例Ｇの反射防止膜を有する光学部材の分光
反射率である。
反射率である。
【図１０】実施例Ｈの反射防止膜を有する光学部材の分
光反射率である。
光反射率である。
１ 反射防止膜を有する光学部材 ２ 合成樹脂基板 ３ 反射防止膜層 ３１ 第２層 ３２ 第１層
Claims (19)
- 【請求項１】 合成樹脂基板上に、少なくとも、酸化タ
ンタル（Ｔａ2Ｏ5）と酸化チタン（ＴｉＯ2）との混合
膜と、前記混合膜より屈折率の低い低屈折率膜とを有す
る反射防止膜を設けたことを特徴とする反射防止膜を有
する光学部材。 - 【請求項２】 前記混合膜は、重量比で０．５〜３０ｗ
ｔ％の酸化チタン（ＴｉＯ2）を含有することを特徴と
する請求項１に記載の反射防止膜を有する光学部材。 - 【請求項３】 前記混合膜は、重量比で１〜５ｗｔ％の
酸化チタン（ＴｉＯ2）を含有することを特徴とする請
求項１に記載の反射防止膜を有する光学部材。 - 【請求項４】 前記反射防止膜が、合成樹脂基板側より
第１層、第２層とし、下記の条件を満足する２層のみか
ら構成されることを特徴とする請求項１から請求項３の
いずれか１項に記載の反射防止膜を有する光学部材。 第１層：混合膜 １．９０≦ｎ1≦２．１０ ０．０３λ0≦ｎ1ｄ1≦０．１０λ0 第２層：低屈折率膜 １．３６≦ｎ2≦１．４８ ０．２８λ0≦ｎ2ｄ2≦０．４λ0 但し、 ｎi：反射防止膜材の屈折率（ｉ＝正の整数） ｄi：各層の幾何学的膜厚（ｉ＝正の整数） λ0：設計波長 - 【請求項５】 以下の条件を満足することを特徴とする
請求項４に記載の反射防止膜を有する光学部材。 ７ｎｍ≦ｄ1≦２７ｎｍ ９６ｎｍ≦ｄ2≦１５０ｎｍ - 【請求項６】 前記第２層は、酸化シリコン（Ｓｉ
Ｏ2）又はふっ化マグネシウム（ＭｇＦ2）を含有するも
のであることを特徴とする請求項４または請求項５に記
載の反射防止膜を有する光学部材。 - 【請求項７】 前記反射防止膜が、合成樹脂基板側より
第１層から第３層とし、下記の条件を満足する３層のみ
から構成されることを特徴とする請求項１から請求項３
のいずれか１項に記載の反射防止膜を有する光学部材。 第１層：低屈折率膜 １．３６≦ｎ1≦１．４８ ０．１０λ0≦ｎ1ｄ1≦０．６０λ0 第２層：混合膜 １．９０≦ｎ2≦２．１０ ０．０３λ0≦ｎ2ｄ2≦０．１０λ0 第３層：低屈折率膜 １．３６≦ｎ3≦１．４８ ０．２８λ0≦ｎ3ｄ3≦０．４０λ0 但し、 ｎi：反射防止膜材の屈折率（ｉ＝正の整数） ｄi：各層の幾何学的膜厚（ｉ＝正の整数） λ0：設計波長 - 【請求項８】 以下の条件を満足することを特徴とする
請求項７に記載の反射防止膜を有する光学部材。 ３４ｎｍ≦ｄ1≦２２５ｎｍ ７ｎｍ≦ｄ2≦２７ｎｍ ９６ｎｍ≦ｄ3≦１５０ｎｍ - 【請求項９】 前記第１層または第３層は、酸化シリコ
ン（ＳｉＯ2）又はふっ化マグネシウム（ＭｇＦ2）を含
有することを特徴とする請求項７または８に記載の反射
防止膜を有する光学部材。 - 【請求項１０】 前記反射防止膜が、合成樹脂基板側よ
り第１層から第４層とし、下記の条件を満足する４層の
みから構成されることを特徴とする請求項１から請求項
３のいずれか１項に記載の反射防止膜を有する光学部
材。 第１層：混合膜 １．９０≦ｎ1≦２．１０ ０．０２λ0≦ｎ1ｄ1≦０．１５λ0 第２層：低屈折率膜 １．３６≦ｎ2≦１．４８ ０．０３λ0≦ｎ2ｄ2≦０．１８λ0 第３層：混合膜 １．９０≦ｎ3≦２．１０ ０．０９λ0≦ｎ3ｄ3≦０．３２λ0 第４層：低屈折率膜 １．３６≦ｎ4≦１．４８ ０．２２λ0≦ｎ4ｄ4≦０．４０λ0 但し、 ｎi：反射防止膜材の屈折率（ｉ＝正の整数） ｄi：各層の幾何学的膜厚（ｉ＝正の整数） λ0：設計波長 - 【請求項１１】 以下の条件を満足することを特徴とす
る請求項１０に記載の反射防止膜を有する光学部材。 ４ｎｍ≦ｄ1≦４１ｎｍ １１ｎｍ≦ｄ2≦６８ｎｍ ２２ｎｍ≦ｄ3≦８６ｎｍ ７５ｎｍ≦ｄ4≦１５０ｎｍ - 【請求項１２】 前記第２層または第４層は、酸化シリ
コン（ＳｉＯ2）又はふっ化マグネシウム（ＭｇＦ2）を
含有することを特徴とする請求項１０または請求項１１
に記載の反射防止膜を有する光学部材。 - 【請求項１３】 前記反射防止膜が、合成樹脂基板側よ
り第１層から第５層とし、下記の条件を満足する５層の
みから構成されることを特徴とする請求項１から請求項
３のいずれか１項に記載の反射防止膜を有する光学部
材。 第１層：低屈折率膜 １．３６≦ｎ1≦１．４８ ０．１０λ0≦ｎ1ｄ1≦０．６０λ0 第２層：混合膜 １．９０≦ｎ2≦２．１０ ０．０２λ0≦ｎ2ｄ2≦０．１５λ0 第３層：低屈折率膜 １．３６≦ｎ3≦１．４８ ０．０３λ0≦ｎ3ｄ3≦０．１８λ0 第４層：混合膜 １．９０≦ｎ4≦２．１０ ０．０９λ0≦ｎ4ｄ4≦０．３２λ0 第５層：低屈折率膜 １．３６≦ｎ5≦１．４８ ０．２２λ0≦ｎ5ｄ5≦０．４０λ0 但し、 ｎi：反射防止膜材の屈折率（ｉ＝正の整数） ｄi：各層の幾何学的膜厚（ｉ＝正の整数） λ0：設計波長 - 【請求項１４】 以下の条件を満足することを特徴とす
る請求項１３に記載の反射防止膜を有する光学部材。 ３４ｎｍ≦ｄ1≦２２５ｎｍ ４ｎｍ≦ｄ2≦４１ｎｍ １１ｎｍ≦ｄ3≦６８ｎｍ ２２ｎｍ≦ｄ4≦８６ｎｍ ７５ｎｍ≦ｄ5≦１５０ｎｍ - 【請求項１５】 前記第１層、第３層または第５層は、
酸化シリコン（ＳｉＯ2）又はふっ化マグネシウム（Ｍ
ｇＦ2）を含有することを特徴とする請求項１３または
請求項１４に記載の反射防止膜を有する光学部材。 - 【請求項１６】 前記反射防止膜が、合成樹脂基板側よ
り第１層から第６層とし、以下の条件を満足する６層の
みから構成されることを特徴とする請求項１から請求項
３のいずれか１項に記載の反射防止膜を有する光学部
材。 第１層：中間屈折率膜 １．５８≦ｎ1≦１．６２ ０．０５λ0≦ｎ1ｄ1≦０．３０λ0 第２層：低屈折率膜 １．３６≦ｎ2≦１．４８ ０．１０λ0≦ｎ2ｄ2≦０．６０λ0 第３層：混合膜 １．９０≦ｎ3≦２．１０ ０．０２λ0≦ｎ3ｄ3≦０．０８λ0 第４層：低屈折率膜 １．３６≦ｎ4≦１．４８ ０．１０λ0≦ｎ4ｄ4≦０．１８λ0 第５層：混合膜 １．９０≦ｎ5≦２．１０ ０．０９λ0≦ｎ5ｄ5≦０．３５λ0 第６層：低屈折率膜 １．３６≦ｎ6≦１．４８ ０．２８λ0≦ｎ6ｄ6≦０．４０λ0 但し、 ｎi：反射防止膜材の屈折率（ｉ＝正の整数） ｄi：各層の幾何学的膜厚（ｉ＝正の整数） λ0：設計波長 - 【請求項１７】 以下の条件を満足することを特徴とす
る請求項１６に記載の反射防止膜を有する光学部材。 １５ｎｍ≦ｄ1≦９７ｎｍ ３４ｎｍ≦ｄ2≦２２５ｎｍ ４ｎｍ≦ｄ3≦２２ｎｍ ３４ｎｍ≦ｄ4≦６８ｎｍ ２２ｎｍ≦ｄ5≦９４ｎｍ ９６ｎｍ≦ｄ6≦１５０ｎｍ - 【請求項１８】 前記第２層は、酸化シリコン（ＳｉＯ
2）又はふっ化マグネシウム（ＭｇＦ2）を含有すること
を特徴とする請求項１６または請求項１７に記載の反射
防止膜を有する光学部材。 - 【請求項１９】 前記第１層は、酸化アルミニウム（Ａ
ｌ2Ｏ3）を含有することを特徴とする請求項１６から請
求項１８のいずれか１項に記載の反射防止膜を有する光
学部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9171837A JPH1073702A (ja) | 1996-06-27 | 1997-06-27 | 反射防止膜を有する光学部材 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8-167430 | 1996-06-27 | ||
| JP16743096 | 1996-06-27 | ||
| JP9171837A JPH1073702A (ja) | 1996-06-27 | 1997-06-27 | 反射防止膜を有する光学部材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1073702A true JPH1073702A (ja) | 1998-03-17 |
Family
ID=26491478
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9171837A Pending JPH1073702A (ja) | 1996-06-27 | 1997-06-27 | 反射防止膜を有する光学部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1073702A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0994368A3 (en) * | 1998-10-13 | 2000-05-03 | Nikon Corporation | Anti-reflective films, optical elements and reduction-projection exposure apparatus utilizing same |
| JP2002286903A (ja) * | 2001-03-27 | 2002-10-03 | Konica Corp | 光学部材及び撮像レンズ |
| JP2012256024A (ja) * | 2011-05-16 | 2012-12-27 | Dexerials Corp | 位相差素子 |
-
1997
- 1997-06-27 JP JP9171837A patent/JPH1073702A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0994368A3 (en) * | 1998-10-13 | 2000-05-03 | Nikon Corporation | Anti-reflective films, optical elements and reduction-projection exposure apparatus utilizing same |
| JP2002286903A (ja) * | 2001-03-27 | 2002-10-03 | Konica Corp | 光学部材及び撮像レンズ |
| JP2012256024A (ja) * | 2011-05-16 | 2012-12-27 | Dexerials Corp | 位相差素子 |
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