JPH1080854A - 糸鋸引き装置 - Google Patents

糸鋸引き装置

Info

Publication number
JPH1080854A
JPH1080854A JP9147046A JP14704697A JPH1080854A JP H1080854 A JPH1080854 A JP H1080854A JP 9147046 A JP9147046 A JP 9147046A JP 14704697 A JP14704697 A JP 14704697A JP H1080854 A JPH1080854 A JP H1080854A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
yarn
thread
layer
fixed
support table
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9147046A
Other languages
English (en)
Inventor
Charles Hauser
オゼール シャルル
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Publication of JPH1080854A publication Critical patent/JPH1080854A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
    • B28D5/0088—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work the supporting or holding device being angularly adjustable
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
    • B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
    • B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
    • B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
    • B23D57/0061—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of devices for guiding or feeding saw wires

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Sawing (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 回転支持テーブルに固有の不便が避けら
れ、より強固でより堅牢な、必要空間の小さい、調節が
もっと容易で、製造コストがより低い糸鋸引き装置を提
供する。 【解決手段】 全体が基礎１７によって維持され支持テ
ーブル３に固定された鋸引き加工品に対して当接して往
復または連続運動によって移動することのできる平行な
糸層２を有し、該糸層２を角度方向に移動させ、鋸引き
加工品１に対する回転性を付与する手段として板１３や
ネジ式の機構１６を具備する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
【０００２】本発明は糸鋸引き装置に関し、詳細には、
少なくとも２本の糸案内円筒の間に張られ、糸層の糸の
間の間隔を決定する前記糸案内円筒の表面に刻まれた溝
によってその位置に維持された糸層から成り、糸が支持
テーブルの上に固定された鋸引き加工品に対して当接し
て往復または連続運動によって移動することのできる糸
鋸引き装置に関するものである。
【０００３】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
【０００４】従来の装置において、鋸引き区域は平行に
配置された円筒の全体で構成される。糸案内と呼ばれる
これらの円筒は層の糸間間隔、薄片の厚みを決定する溝
が刻まれている。鋸引き加工品は糸層に対して垂直に移
動する支持テーブルの上に固定されている。移動速度が
切断速度を決定する。糸の交換とその張力の制御は鋸引
き区域自体の外に位置づけられた糸管理区域と呼ばれる
部分の中で行われる。切断を支配する要因は、糸の上に
固定された研磨剤、または泥状液の形で供給される遊離
研磨剤である。糸は運搬の役割しか果たさない。
【０００５】鋸引き加工品を薄片に切断するとき、張ら
れた糸は糸案内円筒によって誘導されると同時に牽引さ
れる。一般的に合成材料層を備えたこれらの円筒には溝
が刻まれ、溝の幾何と寸法は高い精度を持たなければな
らない。くわえて、鋸引き加工品が単結晶であるとき、
鋸引き方向が、したがって、単結晶自体に対する、また
結果的に鋸引き加工品の支持テーブルに対する糸の方向
も大きな重要性を持つ。大きな精度を得るために、層の
糸に対して支持テーブルを調節する装置が一般的に備え
られ、機械と支持テーブルの間に配置された回転が調節
自在な回転台の形で実現される。このとき支持テーブル
は回転テーブルになる。たいていの場合、この回転は微
調整に用いられ、主たる方向付けは糸鋸引き装置の外部
で実現されるので、微調整はほとんど数度を越えること
がない。研磨剤によって汚染された環境内での精度の高
い、遊びのない回転台の実現には、特にその保護の面
で、いくつかの困難がある。さらに、鋸引き加工品の下
に位置づけられた機械的要素が重なることによって糸鋸
引き装置の剛性、したがって、全体的精度が低下する。
支持テーブルに対して糸を方向づけるための機械的回転
要素の挿入のための場所が糸鋸引き装置の高さ、重量と
全体的必要空間を増やし、また部品数が増えるためにそ
の設置と輸送の困難さ、製造コストも増加する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
【０００７】本発明の目的はこれらの不便を解消するこ
とにあり、そのために糸鋸引き装置が支持テーブルに対
して糸層を角度方向に向け、前記糸層に支持テーブルに
対する、したがって、鋸引き加工品に対する回転機能を
与えるための手段を備えることによって特徴づけられ
る。
【０００８】これらの特徴によって糸鋸引き装置の高さ
と全体的必要空間を小さくすることができる。装置の輸
送と据え付けは容易になる。製造価格と部品数は低く押
さえながら、より使いやすく、もっと堅い、すなわちも
っと堅牢な全体を得ることができる。
【０００９】一般的に、支持テーブルと糸層の間の方向
合わせは３つの異なる仕方で実現できる。
【００１０】１）固定された糸層に対して支持テーブル
を方向付ける。回転テーブルを使用。 ２）固定された支持テーブルに対して糸層を方向付け
る。回転する糸層を使用。 ３）両者とも別個に調節自在な、支持テーブルを糸層に
対して方向付ける。回転テーブルと回転糸層を同時に使
用する。
【００１１】１）の場合が既知の装置に相当する。３）
の場合には、最初の２つの方法の短所を兼ね備えている
ので全く利点がない。
【００１２】反対に、一般的に大きな補正を必要としな
い方向合わせについて、２）の場合には固定テーブルに
対して糸層の整列が実現されるので、回転糸層の新規な
設計構想であり、例えば、鋸引き加工品に隣接する糸案
内の１つを軸方向に摺動させて、糸層自体の回転によっ
て実現できる。隣接する糸案内の１つのこの摺動が糸層
の方向の回転を引き起こし、それによって支持テーブル
との整列を可能にする。糸案内の１つの軸方向摺動は、
例えば、糸案内に心出ししたネジによって機械的、手
動、または電気的に、あるいは対応するジャッキによっ
て油圧また空力で実行することができる。支持テーブル
は回転糸層に垂直な軸に沿って移動し、支持テーブルに
対する回転糸層の方向の調節は、したがって、糸鋸引き
装置の固定部分内に組み込まれ、支持テーブルの移動軸
に平行な方向に沿って向けられた単一または二重の光学
系またはビデオシステムによって容易に制御される。好
適には、光学系の２枚の対物レンズまたはビデオシステ
ムの２台のカメラは仕事の最終位置内の回転糸層の糸の
方向に平行な方向に位置づけられる。
【００１３】回転テーブルの使用によって制御光学系ま
たはビデオシステムを糸鋸引き装置の固定部分内に容易
に組み込むことはできない。前者は回転部分内に組み込
まなければならないので、構造がかなり複雑になる。
【００１４】本発明による糸鋸引き装置は、回転糸層の
設計構想によって、糸層の回転を実施して支持テーブル
に対して糸層を方向付け、それによって回転テーブルに
対して必要な機械部品の数を減らし、糸鋸引き装置の剛
性を高めながら全体の複雑性を低下させることを可能に
する。くわえて、制御光学系やビデオシステムを恒久的
に組み込むことによって調節過誤のおそれを最低に押さ
えて作業者の仕事を容易にすることができる。
【００１５】したがって、回転糸層設計構想を用いるこ
とによって高い生産性、剛性の向上によって改善された
平均精度を有し、回転糸層の回転によって支持テーブル
の整列を容易に調節することのできる糸鋸引き装置が実
現できる。
【００１６】その他の利点は付属の請求の範囲に記載の
特徴と、各種の実施態様を概略的に、また例として説明
する図面によって本発明をもっと詳細に示す後述の説明
から明らかになるだろう。
【００１７】
【実施例】
【００１８】図１は第１の実施態様の全体図である。図
２は図１の糸層と鋸引き部品の図である。図３は図１の
糸案内円筒を横断する詳細断面図である。図４は第２の
実施態様の全体図である。図５は第３の実施態様の全体
図である。図６は従来の装置の全体図である。図７は図
６に示す従来の装置における糸層と鋸引き部品の図であ
る。
【００１９】図１において、鋸引き加工品１は糸案内円
筒４、５によって支えられた糸層２に当接している。そ
の上に鋸引き加工品１が固定された支持テーブル３は方
向６に沿って移動する。糸案内円筒４は固定され、一方
糸案内円筒５は軸方向に移動して鋸引き加工品１に対し
て回転糸層２を角度方向に回転させる。
【００２０】図６は従来の、現在心出し手段として使用
されている回転支持テーブルの原理を全体として示して
いる。鋸引き加工品１は固定糸案内円筒４によって支え
られた糸層２に対して当接している。回転台７は支持テ
ーブル３と鋸引き加工品１の間に挟まれている。その上
に回転台７と鋸引き加工品１が固定された支持テーブル
３は方向６に沿って移動する。鋸引き加工品１は回転台
７によって角度ａだけその軸上で回転できる。
【００２１】図２は本発明の原理を実現する１つの可能
性を上から見たところの概略を示している。回転糸層２
は固定糸案内円筒４に対して調節自在な糸案内円筒５を
移動することによって角度ａだけ角度を調節することが
できる。鋸引き加工品１は固定されている。
【００２２】図７は今日使用されている従来の原理を上
から見た図の概略を示している。回転支持テーブル上に
取り付けた鋸引き加工品１は固定糸案内円筒４によって
維持された固定糸層２に対して角度ａだけ回転すること
ができる。
【００２３】図３の長手方向断面は回転糸層の調節のた
めの糸案内円筒５の一つの軸方向移動を可能にする機構
の例を示している。糸案内円筒５は軸受９を介して固定
軸８の周囲を回転するように取り付けられている。固定
軸支承１０は糸鋸引き装置の基礎（図示されていない）
に固定され、固定軸８のネジ付き部分と協動するネジ付
きの固定フランジ１１と、締め付けナット１２と固定軸
８の位置、したがって、糸案内５の位置調節を可能にす
る角張った板１３の末端とから成る。他方、固定軸８は
基礎と一体のフランジ２１内に維持されるが、フランジ
２１の中を軸方向に摺動することができる。正方形の末
端１３は、あらゆる調節手段２２、例えば、キーによっ
て手動で、電動機によって電気的に、さらにまた空気圧
または油圧手段によって糸層の角度調節のために回転さ
せることができる。調節の後、締め付けナット１２はネ
ジ付き固定フランジ１１に押しつけられて固定軸８はそ
の調節された軸方向位置内に固定される。
【００２４】図４に示した実施態様において、糸案内円
筒４は板１３の上に固定されている。板１３は糸層２に
垂直な軸１５を中心に蝶番１４によって回転できる。ネ
ジ式の機構１６によって鋸引き加工品１とともに固定支
持テーブル３を備えた糸鋸引き装置の基礎１７に対して
板１３を角度ａだけ回転調節することができる。光学ま
たはビデオ設備によって角度ａを調節できる。
【００２５】この設備は好適には基礎１７の上に取り付
けられ、糸層２に平行に移動することができる２つの光
学ビュアー１８または２台のビデオカメラから成る。こ
のように、糸層２の所定の糸に照準を合わせることによ
って、糸層２の固定支持テーブル３に対する角度方向は
２つの光学ビュアー１８または２台のビデオカメラによ
って占められた位置が分かれば正確に調節できる。
【００２６】図５に示された実施態様は固定糸案内円筒
４ならびに、角度が固定されているが、鋸引き加工品１
を糸層２に対して押しつけるために垂直方向６に移動す
ることのできる支持テーブル３から成る。この実施態様
は円筒表面上に備えられた他の溝内に糸をずらすことに
よって少なくとも１つの糸案内円筒４の表面に糸層２の
糸の全体または一部を移動させるための機構２４から成
る。この機構２４は、このために、糸と接触し、駆動ハ
ンドル２６によって糸案内上に側面方向に糸をずらせる
ことのできる櫛２５を備えることができる。この櫛２５
はそれによって糸の一部または全体を同時に移動させる
ことが可能になる。さらに、糸案内円筒の表面上で糸を
一本一本、あるいは糸群ごとに移動を実施するために、
鈎などの手段に代えることもできる。
【００２７】糸案内円筒４の間の糸層２を形成する鋸引
き糸は硬質または異質の材料（例えば、珪素、セラミッ
ク材料、III-V群の元素の化合物、ガドリニウム＝ガリ
ウム・ガーネット、サファイア等）の塊を厚みがおよそ
０．１から５ｍｍの薄片に鋸引きするために直径が０．
１から０．２ｍｍの間に含まれるバネ鋼で構成されてい
る。研磨剤は市販品で、糸に固定された、あるいは泥状
液の中に遊離した形のダイアモンド、炭化珪素、アルミ
ナ、などとすることができる。
【００２８】糸鋸引き装置に組み込まれた回転層の設計
構想によって使用がより簡単で、より硬質の、すなわち
より堅牢な全体を実現することが可能になり、生産され
る部品の品質を犠牲にすることなしに、調節操作の単純
化による最大の性能、生産性と柔軟性を得ることが可能
になる。
【００２９】いうまでもなく、上述の実施態様はいかな
る形でも限定するものではなく、所望のいっさいの変更
が可能であるがそれをもって請求項に記載の範囲を逸脱
することはできない。特に、他の種類の機構による回転
糸層の実現も可能であり、それはその機能によって固定
支持テーブルに対する糸層の回転を実現することができ
る。図４に示した光学またはビデオ設備も図１と図５に
示した実施態様に組み込むことができる。板１３または
櫛２５の角度の移動はいっさいの機械式、電気式、空力
式または油圧式の手段によって実現できる。
【００３０】
【発明の効果】
【００３１】本発明の糸鋸引き装置は、支持テーブルに
対して糸層を角度方向に向け、前記糸層に支持テーブル
に対する、したがって、鋸引き加工品に対する回転機能
を与えるための手段を備えているので、糸鋸引き装置の
高さと全体的必要空間を小さくすることができ、装置の
輸送と据え付けが容易になり、製造価格と部品数を低く
押さえながら、より使いやすく、もっと堅い、すなわち
もっと堅牢な全体を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施態様の全体図である。
【図２】図１の糸層と鋸引き部品の図である。
【図３】図１の糸案内円筒を横断する詳細断面図であ
る。
【図４】第２の実施態様の全体図である。
【図５】第３の実施態様の全体図である。
【図６】従来の装置の全体図である。
【図７】図６に示す従来の装置における糸層と鋸引き部
品の図である。
【符号の説明】
１ 鋸引き加工品 ２ 糸層 ３ 支持テーブル ４ 糸案内円筒 ５ 糸案内円筒 ６ 方向 ７ 回転台 ８ 固定軸 ９ 軸受 １０ 固定軸支承 １１ 固定フランジ １２ 締め付けナット １３ 板 １４ 蝶番 １５ 軸 １６ ネジ式の機構 １７ 基礎 １８ 光学ビューアー ２１ 支承、フランジ ２２ 調節手段 ２４ 機構 ２５ 櫛 ２６ 駆動ハンドル

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 少なくとも２本の糸案内円筒（４）の間
    に張られ、糸層（２）の糸の間の間隔を決定する前記糸
    案内円筒（４）の表面に刻まれた溝によってその位置に
    維持された糸層（２）から成り、糸が支持テーブル
    （３）の上に固定された鋸引き加工品（１）に対して当
    接して往復または連続運動によって移動することが可能
    であり、支持テーブル（３）に対して糸層（２）の角度
    を方向付け、前記糸層（２）に支持テーブル（３）に対
    する、したがって、鋸引き加工品（１）に対する回転機
    能付与手段を備えていることを特徴とする糸鋸引き装
    置。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載の装置において、 回転機能付与手段が板（１３）上に固定された糸案内円
    筒（４）の回転を実施するための機構によって実現さ
    れ、前記板（１３）が糸層（２）に垂直な軸（１５）を
    中心に支持テーブル（３）に対して回転するように取り
    付けられていることを特徴とする糸鋸引き装置。
  3. 【請求項３】 請求項１に記載の装置において、 回転機能付与手段が少なくとも１つの調節自在な糸案内
    円筒（５）の軸方向の移動を実現するための機構によっ
    て実現されることを特徴とする糸鋸引き装置。
  4. 【請求項４】 請求項３に記載の装置において、 軸方向の移動を実現するための前記機構がその周囲に糸
    案内円筒（５）が回転可能に取り付けられた固定軸
    （８）から成り、固定軸（８）がその両端において固定
    軸支承（１０、２１）によって維持され、固定軸支承
    （１０）の少なくとも１つがその一端が作動および調節
    手段（２２）と協動する形状の固定軸（８）のネジ付き
    部分と協動するためのネジ付きの固定フランジ（１１）
    から成り、糸層（２）の方向付けの後固定軸（８）を固
    定するようにネジ付きの固定フランジ（１１）と協動す
    るために締め付けナット（１２）が備えられていること
    を特徴とする糸鋸引き装置。
  5. 【請求項５】 請求項１に記載の装置において、 回転機能付与手段が少なくとも１つの固定糸案内円筒
    （４）の表面上を糸層（２）の全体または一部をずらせ
    るように配置された櫛形の機構によって実現されること
    を特徴とする糸鋸引き装置。
  6. 【請求項６】 請求項１に記載の装置において、 回転機能付与手段が少なくとも１つの固定糸案内円筒
    （４）の表面上で糸層（２）の糸を一本一本、あるいは
    糸群ごとに移動を実施するための機構によって実現され
    ることを特徴とする糸鋸引き装置。
  7. 【請求項７】 請求項１〜５の何れか一つに記載の装置
    において、 回転機能付与手段が手動で、電気的、空気圧または油圧
    で作動することを特徴とする糸鋸引き装置。
  8. 【請求項８】 請求項１〜７の何れか一つに記載の装置
    において、 装置の固定部分に取り付けられた、支持テーブル（３）
    に対して糸層（２）の角度方向を制御するための少なく
    とも１つの光学手段から成ることを特徴とする糸鋸引き
    装置。
  9. 【請求項９】 請求項１〜７の何れか一つに記載の装置
    において、 装置の固定部分に取り付けられた、支持テーブル（３）
    に対して糸層（２）の角度方向を制御するための少なく
    とも１つのビデオカメラから成ることを特徴とする糸鋸
    引き装置。
JP9147046A 1996-05-23 1997-05-22 糸鋸引き装置 Pending JPH1080854A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH01295/96A CH690907A5 (fr) 1996-05-23 1996-05-23 Dispositif de sciage par fil
CH1295/96 1996-05-23

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1080854A true JPH1080854A (ja) 1998-03-31

Family

ID=4207094

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9147046A Pending JPH1080854A (ja) 1996-05-23 1997-05-22 糸鋸引き装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5913305A (ja)
EP (1) EP0808701B1 (ja)
JP (1) JPH1080854A (ja)
CH (1) CH690907A5 (ja)
DE (1) DE69717536T2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010023225A (ja) * 2008-06-20 2010-02-04 Komatsu Ntc Ltd ワイヤソー

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6371101B1 (en) * 1997-05-07 2002-04-16 Hct Shaping Systems Sa Slicing device using yarn for cutting thin wafers using the angular intersection of at least two yarn layers
US6333377B1 (en) * 1999-03-08 2001-12-25 A&A Material Corporation Ingot support device for slicing silicon
JP4659326B2 (ja) 2000-05-31 2011-03-30 エムイーエムシー・エレクトロニック・マテリアルズ・ソシエタ・ペル・アチオニ 複数の半導体インゴットをスライスするワイヤソー及びプロセス
CH697024A5 (fr) * 2000-09-28 2008-03-31 Hct Shaping Systems Sa Dispositif de sciage par fil.
DE10052154A1 (de) * 2000-10-20 2002-05-08 Freiberger Compound Mat Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Trennen von Einkristallen, Justiervorrichtung und Testverfahren zum Ermitteln einer Orientierung eines Einkristalls für ein derartiges Verfahren
JP2003071703A (ja) * 2001-09-05 2003-03-12 Seiko Instruments Inc 多段式微小孔加工方法および装置
JP4874262B2 (ja) * 2004-12-10 2012-02-15 フライベルガー・コンパウンド・マテリアルズ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング ワイヤーソーイング方法
CN101687306B (zh) * 2007-06-27 2012-05-30 三菱电机株式会社 多线锯以及坯料切断方法
US20100126488A1 (en) * 2008-11-25 2010-05-27 Abhaya Kumar Bakshi Method and apparatus for cutting wafers by wire sawing
IT1393227B1 (it) * 2009-02-27 2012-04-11 Bidese Dispositivo di protezione per macchine multifilo per il taglio di materiali lapidei, nonche' macchina multiutensile comprendente tale dispositivo.
WO2011020109A2 (en) 2009-08-14 2011-02-17 Saint-Gobain Abrasives, Inc. Abrasive articles including abrasive particles bonded to an elongated body, and methods of forming thereof
JP5542938B2 (ja) 2009-08-14 2014-07-09 サンーゴバン アブレイシブズ，インコーポレイティド 細長い物体に結合させた研磨粒子を含む研磨物品
TW201507812A (zh) 2010-12-30 2015-03-01 聖高拜磨料有限公司 磨料物品及形成方法
CN103857494B (zh) 2011-09-16 2017-07-11 圣戈班磨料磨具有限公司 研磨制品和形成方法
EP2760638A4 (en) 2011-09-29 2015-05-27 Saint Gobain Abrasives Inc GRINDING WITH LONG-TERMINATED BEARING BODY COMPRISED WITH A SHOCK-LINKED GRINDING PART AND METHOD OF MANUFACTURING THEREOF
CN102626805A (zh) * 2012-02-14 2012-08-08 上海五同机械制造有限公司 一种线切割机工作台
KR101385665B1 (ko) * 2012-04-27 2014-04-21 한국생산기술연구원 잉곳의 스윙 중심축의 정렬이 용이하도록 구조가 개선된 잉곳 스윙방식의 와이어 쏘
EP2664402A1 (en) * 2012-05-18 2013-11-20 Meyer Burger AG Wire saw and process for cutting work pieces, in particular work pieces of hard and brittle material
TWI474889B (zh) 2012-06-29 2015-03-01 聖高拜磨料有限公司 研磨物品及形成方法
TW201402274A (zh) 2012-06-29 2014-01-16 聖高拜磨料有限公司 研磨物品及形成方法
TWI477343B (zh) 2012-06-29 2015-03-21 Saint Gobain Abrasives Inc 研磨物品及形成方法
TW201404527A (zh) 2012-06-29 2014-02-01 聖高拜磨料有限公司 研磨物品及形成方法
TW201441355A (zh) 2013-04-19 2014-11-01 聖高拜磨料有限公司 研磨製品及其形成方法
DE102013219900B3 (de) * 2013-10-01 2015-02-26 Siltronic Ag Verfahren zum Rillieren der Drahtführungsrollen für Drahtsägen zum Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück
EP2933049A1 (en) * 2014-04-17 2015-10-21 Applied Materials Switzerland Sàrl Wire guide monitoring device and method for monitoring a wire guide
US9205572B1 (en) * 2014-05-28 2015-12-08 National Tsing Hua University Ingot cutting method capable of reducing wafer damage percentage
EP3098008A1 (en) * 2015-05-29 2016-11-30 Meyer Burger AG Method of disposing a cutting wire
TWI621505B (zh) 2015-06-29 2018-04-21 聖高拜磨料有限公司 研磨物品及形成方法
CN105235077B (zh) * 2015-09-30 2016-11-23 浙江辉弘光电能源有限公司 一种金刚线切割机用轴辊固定装置
US11276577B2 (en) * 2019-03-21 2022-03-15 Samuel Messinger Longitudinal silicon ingot slicing apparatus
CN111251158A (zh) * 2020-03-26 2020-06-09 义乌工商职业技术学院 一种建筑工程用瓷砖切断装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3831576A (en) * 1971-11-22 1974-08-27 Motorola Inc Machine and method for cutting brittle materials using a reciprocating cutting wire
JPH0626787B2 (ja) * 1987-06-15 1994-04-13 日本鉱業株式会社 切断装置における傾き検出方法
JP2673544B2 (ja) * 1988-06-14 1997-11-05 株式会社日平トヤマ 脆性材料の切断方法
JP2516717B2 (ja) * 1991-11-29 1996-07-24 信越半導体株式会社 ワイヤソ―及びその切断方法
JP2639270B2 (ja) * 1991-12-19 1997-08-06 住友金属工業株式会社 ワイヤソーによる切断方法
CH690845A5 (de) * 1994-05-19 2001-02-15 Tokyo Seimitsu Co Ltd Verfahren zum Positionieren eines Werkstücks und Vorrichtung hierfür.
JP3427956B2 (ja) * 1995-04-14 2003-07-22 信越半導体株式会社 ワイヤーソー装置
JP3187295B2 (ja) * 1995-08-31 2001-07-11 株式会社日平トヤマ ワイヤソー装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010023225A (ja) * 2008-06-20 2010-02-04 Komatsu Ntc Ltd ワイヤソー

Also Published As

Publication number Publication date
EP0808701B1 (fr) 2002-12-04
EP0808701A2 (fr) 1997-11-26
US5913305A (en) 1999-06-22
DE69717536D1 (de) 2003-01-16
CH690907A5 (fr) 2001-02-28
DE69717536T2 (de) 2003-08-21
EP0808701A3 (fr) 1998-04-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5913305A (en) Cutting device with wires
EP0594864B1 (en) Apparatus for cutting glass plate
JP3984655B2 (ja) 少なくとも２層の糸の角交差を利用した薄片カット用の糸によるスライス装置
JP4140987B2 (ja) 糸鋸引き装置
US7387118B2 (en) Wire saw
CZ283541B6 (cs) Způsob řezání ingotů z tvrdých materiálů na desky a pila k provádění tohoto způsobu
GB2300586A (en) Sheet slitting apparatus
CA2503632C (en) Transporting roller for webs of material
KR19990007260A (ko) 와이어 소에 사용되는 장력조절기구
US6179909B1 (en) Work crystal orientation adjusting method and apparatus
US6067976A (en) Wafer cut method with wire saw apparatus and apparatus thereof
US5921162A (en) Incline disc variable target size sawguides for circular gang saws
JPH11198018A (ja) 固定砥粒付エンドレスワイヤソー
JPH09216223A (ja) 糸鋸引き装置
US3702604A (en) Work mounting mechanism in slicing machine
JPH11165250A (ja) ワイヤソー
EP2586555A1 (en) Modular wafering concept for wafering plant
EP2633937A1 (en) Holding device
US6782883B2 (en) Cutting device for breaking fragile materials such as semiconductor wafers or the like
JPH11245159A (ja) ワイヤソーのトラバース装置
JPH11147218A (ja) ワイヤソー
JP2000263413A (ja) ワイヤソー
JP3300774B2 (ja) インキ供給装置
JPH10337648A (ja) ワイヤソー
JP2000218510A (ja) 固定砥粒ワイヤソー

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040519

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070117

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070123

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20070626