JPH1084156A - レーザ発振器 - Google Patents
レーザ発振器Info
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- JPH1084156A JPH1084156A JP23678596A JP23678596A JPH1084156A JP H1084156 A JPH1084156 A JP H1084156A JP 23678596 A JP23678596 A JP 23678596A JP 23678596 A JP23678596 A JP 23678596A JP H1084156 A JPH1084156 A JP H1084156A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 16
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 15
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 41
- 238000004088 simulation Methods 0.000 abstract description 8
- CYESCLHCWJKRKM-UHFFFAOYSA-N DCPU Natural products NC(=O)NC1=CC=C(Cl)C(Cl)=C1 CYESCLHCWJKRKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光パワーのオーバーシュートを防止して安定
したレーザ出力を得ることのできるようなレーザ発振器
を提供する。 【解決手段】 ＮＣ装置３からのレーザ出力指令信号２
３を受けて発振器制御部５が電圧波形指令信号２５を発
し、これを受けて電源部９が放電電力を発振ヘッド１５
に供給してレーザ光ＬＢを出力する。出力されたレーザ
光ＬＢはレーザ光検出手段１７が検出して比較器１９に
信号を発する。一方、シュミレータ部２１は、前記発振
器制御部５がレーザ出力指令信号２３を受けてから前記
レーザ光検出器１７が検出信号Ｖ2 を発するまでの動作
をシュミレートしてシュミレート信号Ｖ1 を比較器１９
に発する。比較器１９では、前記レーザ光検出器１７の
検出信号Ｖ2 と前記シュミレート信号Ｖ1 の偏差をと
り、この偏差を加算器７が前記電圧波形指令信号２５に
負帰還させて電圧波形指令信号２５を補正する。
したレーザ出力を得ることのできるようなレーザ発振器
を提供する。 【解決手段】 ＮＣ装置３からのレーザ出力指令信号２
３を受けて発振器制御部５が電圧波形指令信号２５を発
し、これを受けて電源部９が放電電力を発振ヘッド１５
に供給してレーザ光ＬＢを出力する。出力されたレーザ
光ＬＢはレーザ光検出手段１７が検出して比較器１９に
信号を発する。一方、シュミレータ部２１は、前記発振
器制御部５がレーザ出力指令信号２３を受けてから前記
レーザ光検出器１７が検出信号Ｖ2 を発するまでの動作
をシュミレートしてシュミレート信号Ｖ1 を比較器１９
に発する。比較器１９では、前記レーザ光検出器１７の
検出信号Ｖ2 と前記シュミレート信号Ｖ1 の偏差をと
り、この偏差を加算器７が前記電圧波形指令信号２５に
負帰還させて電圧波形指令信号２５を補正する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明はレーザ発振器に係
り、さらに詳しくは、電圧波形指令信号の補正をするこ
とにより光パワーの制御を行うレーザ発振器に関するも
のである。
り、さらに詳しくは、電圧波形指令信号の補正をするこ
とにより光パワーの制御を行うレーザ発振器に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】図３を参照するに、従来より光波形指令
を使用するレーザ発振器１０１として特開平４−３５０
７８号公報に示されるものがある。すなわち、ＮＣ装置
１０３から発せられた周波数、デューティ、振幅等の指
令を第一の信号処理部１０５が光波形指令信号１０７に
変換して加算器１０９を経て第二の信号処理部１１１に
伝達する。
を使用するレーザ発振器１０１として特開平４−３５０
７８号公報に示されるものがある。すなわち、ＮＣ装置
１０３から発せられた周波数、デューティ、振幅等の指
令を第一の信号処理部１０５が光波形指令信号１０７に
変換して加算器１０９を経て第二の信号処理部１１１に
伝達する。
【０００３】第二の信号処理部１１１では光波形指令信
号１０７を電圧波形指令信号１１３に変換し、電源部１
１５に送られる。この電源部１１５は、ＤＣＰＵ１１７
とＲＦＰＵ１１９から構成されており、ＤＣＰＵ１１７
では商用電源からＤＣ可変電圧を得てパルス変調等を行
う。
号１０７を電圧波形指令信号１１３に変換し、電源部１
１５に送られる。この電源部１１５は、ＤＣＰＵ１１７
とＲＦＰＵ１１９から構成されており、ＤＣＰＵ１１７
では商用電源からＤＣ可変電圧を得てパルス変調等を行
う。
【０００４】さらに、ＲＦＰＵ１１９はＤＣ電圧からＲ
Ｆ（高周波交流）および高圧への変換を行い、発振ヘッ
ド１２１からレーザ光ＬＢを発する。発振ヘッド１２１
から発せられたレーザ光ＬＢは光センサ１２３で検出さ
れて光出力検出信号Ｖ2 が比較器１２５に送られる。こ
の光出力検出信号Ｖ2 は、光波形指令から電圧波指令へ
変換する遅れＴ1 と、電圧波形指令から放電までの遅れ
とベース放電の時間による遅れＴ2 （図５参照）を有し
ている。
Ｆ（高周波交流）および高圧への変換を行い、発振ヘッ
ド１２１からレーザ光ＬＢを発する。発振ヘッド１２１
から発せられたレーザ光ＬＢは光センサ１２３で検出さ
れて光出力検出信号Ｖ2 が比較器１２５に送られる。こ
の光出力検出信号Ｖ2 は、光波形指令から電圧波指令へ
変換する遅れＴ1 と、電圧波形指令から放電までの遅れ
とベース放電の時間による遅れＴ2 （図５参照）を有し
ている。
【０００５】一方、第一の信号処理部１０５からの光波
形指令信号１０７は、光センサ１２３の遅れ（数１００
ｍｓ）と同じ遅れを持つＣＲフィルター１２７により前
記光センサ１２３の応答特性に合せられたレーザ出力指
令信号Ｖ1 が比較器１２５へ送られる。
形指令信号１０７は、光センサ１２３の遅れ（数１００
ｍｓ）と同じ遅れを持つＣＲフィルター１２７により前
記光センサ１２３の応答特性に合せられたレーザ出力指
令信号Ｖ1 が比較器１２５へ送られる。
【０００６】比較器１２５は入力された光センサ１２３
からのフィードバック信号である光出力検出信号Ｖ2 と
ＣＲフィルター１２７からのレーザ出力指令信号Ｖ1 と
の偏差を算出し、加算器１０９により第一の信号処理部
１０５からの光波形指令信号に加算されてこれを補正し
て第二の信号処理部１１１を経て電源部１１５へ送るこ
とにより光パワーを制御する。
からのフィードバック信号である光出力検出信号Ｖ2 と
ＣＲフィルター１２７からのレーザ出力指令信号Ｖ1 と
の偏差を算出し、加算器１０９により第一の信号処理部
１０５からの光波形指令信号に加算されてこれを補正し
て第二の信号処理部１１１を経て電源部１１５へ送るこ
とにより光パワーを制御する。
【０００７】次ぎに、図４を参照するに、光波形指令を
使用しないレーザ発振器１３１が示されている。なお、
前述の図３に示したレーザ発振器１０１と共通の部位に
は共通の符号を付すこととする。
使用しないレーザ発振器１３１が示されている。なお、
前述の図３に示したレーザ発振器１０１と共通の部位に
は共通の符号を付すこととする。
【０００８】このレーザ発振器１２９では、ＮＣ装置１
０３から周波数、デューティ、振幅等のレーザ出力指令
信号１３１が発振器制御部１３３に発せられると、発振
器制御部１３３の第一の信号処理部１３５で前記レーザ
出力指令信号１３１を光波形指令信号に変換して第二の
信号処理部１３７に伝達し、第二の信号処理部１３７が
光波形指令信号を電圧波形指令信号１１３に変換する。
この電圧波形指令信号１１３は加算器１０９を経て電源
部１１５のＤＣＰＵ１１７に伝達される。
０３から周波数、デューティ、振幅等のレーザ出力指令
信号１３１が発振器制御部１３３に発せられると、発振
器制御部１３３の第一の信号処理部１３５で前記レーザ
出力指令信号１３１を光波形指令信号に変換して第二の
信号処理部１３７に伝達し、第二の信号処理部１３７が
光波形指令信号を電圧波形指令信号１１３に変換する。
この電圧波形指令信号１１３は加算器１０９を経て電源
部１１５のＤＣＰＵ１１７に伝達される。
【０００９】ＤＣＰＵ１１７は商用電源からＤＣ可変電
圧を得てパルス変調等を行い、さらにＲＦＰＵ１１９で
ＤＣ電圧からＲＦ（高周波交流）および高圧への変換を
行い、発振ヘッド１２１からレーザ光ＬＢを発する。こ
のレーザ光ＬＢを光センサ１２３が検出して光出力検出
信号Ｖ2 を比較器１２５に送る。
圧を得てパルス変調等を行い、さらにＲＦＰＵ１１９で
ＤＣ電圧からＲＦ（高周波交流）および高圧への変換を
行い、発振ヘッド１２１からレーザ光ＬＢを発する。こ
のレーザ光ＬＢを光センサ１２３が検出して光出力検出
信号Ｖ2 を比較器１２５に送る。
【００１０】一方、発振器制御部１３３からの電圧波形
指令信号１１３はシュミレータ１３９にも送られ、さら
に比較器１２５に送られて光センサ１２３からの光出力
検出信号Ｖ2 との偏差をとり加算器１０９へ送られ負信
号として電圧波形指令信号１１３に加算されてこれを補
正して電源部１１５へ送ることにより光パワーを制御す
る。
指令信号１１３はシュミレータ１３９にも送られ、さら
に比較器１２５に送られて光センサ１２３からの光出力
検出信号Ｖ2 との偏差をとり加算器１０９へ送られ負信
号として電圧波形指令信号１１３に加算されてこれを補
正して電源部１１５へ送ることにより光パワーを制御す
る。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図５を
参照するに、先に示したレーザ発振器１０１において
は、ＣＲフィルター１２７から比較器１２５への信号Ｖ
1 が、第二の信号処理部１１１等の遅れＴ1 （数１０〜
数ｍｓ）により光パワーが出力されていない状態から立
上がってしまい誤った補正をかけてオーバーシュート
（Ｖ1 −Ｖ2 分が加わる）による加工不良を生じるおそ
れがある。また、このオーバーシュートを抑制するため
にゲインを落とすと光パワーの安定性が低下するという
問題がある。
参照するに、先に示したレーザ発振器１０１において
は、ＣＲフィルター１２７から比較器１２５への信号Ｖ
1 が、第二の信号処理部１１１等の遅れＴ1 （数１０〜
数ｍｓ）により光パワーが出力されていない状態から立
上がってしまい誤った補正をかけてオーバーシュート
（Ｖ1 −Ｖ2 分が加わる）による加工不良を生じるおそ
れがある。また、このオーバーシュートを抑制するため
にゲインを落とすと光パワーの安定性が低下するという
問題がある。
【００１２】また、次いで示したレーザ発振器１２９で
は、前述のレーザ発振器１０１と異なリ第二の信号処理
部１１１が閉ループ内になく、電圧波形指令信号１１３
からベース放電までの遅れもシュミレートできるので前
記したような問題はないものの、シュミレータ１３９を
アナログ回路で構成した場合に、レーザ発振器１２９ご
との特性に合うように手動で調整しなければならず、ま
た調整箇所が多いため面倒である。
は、前述のレーザ発振器１０１と異なリ第二の信号処理
部１１１が閉ループ内になく、電圧波形指令信号１１３
からベース放電までの遅れもシュミレートできるので前
記したような問題はないものの、シュミレータ１３９を
アナログ回路で構成した場合に、レーザ発振器１２９ご
との特性に合うように手動で調整しなければならず、ま
た調整箇所が多いため面倒である。
【００１３】シュミレータ１３９をデジタルで構成した
場合には、調整化を自動化することができるものの処理
に時間を要し、前述の場合と逆に光センサ１２３の信号
１４１の方がシュミレータ１３９の出力よりも先に立上
がり、誤った補正を行うおそれがある。
場合には、調整化を自動化することができるものの処理
に時間を要し、前述の場合と逆に光センサ１２３の信号
１４１の方がシュミレータ１３９の出力よりも先に立上
がり、誤った補正を行うおそれがある。
【００１４】この発明の目的は、以上のような従来の技
術に着目してなされたものであり、光パワーのオーバー
シュートを防止して安定したレーザ出力を得ることので
きるようなレーザ発振器を提供することにある。
術に着目してなされたものであり、光パワーのオーバー
シュートを防止して安定したレーザ出力を得ることので
きるようなレーザ発振器を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１による発明のレーザ発振器は、ＮＣ装置
からのレーザ出力指令信号を受けて電圧波形指令信号に
変換する発振器制御部と、この発振器制御部からの電圧
波形指令信号を受けて放電電力を供給する電源部と、こ
の電源部からの電力によりレーザ光を発する発振ヘッド
を有し、前記発振ヘッドからのレーザ光を検出するレー
ザ光検出器と、前記発振器制御部がレーザ出力指令信号
を受けてから前記レーザ光検出器が検出信号を発するま
での動作をシュミレートするシュミレータ部と、前記シ
ュミレータ部からのシュミレータ信号と前記レーザ光検
出器からの信号との偏差をとる比較器と、この比較器か
らの偏差を前記電圧波形指令信号に負帰還させて前記電
圧波形指令信号を補正する加算器と、を備えてなること
を特徴とするものである。
めに、請求項１による発明のレーザ発振器は、ＮＣ装置
からのレーザ出力指令信号を受けて電圧波形指令信号に
変換する発振器制御部と、この発振器制御部からの電圧
波形指令信号を受けて放電電力を供給する電源部と、こ
の電源部からの電力によりレーザ光を発する発振ヘッド
を有し、前記発振ヘッドからのレーザ光を検出するレー
ザ光検出器と、前記発振器制御部がレーザ出力指令信号
を受けてから前記レーザ光検出器が検出信号を発するま
での動作をシュミレートするシュミレータ部と、前記シ
ュミレータ部からのシュミレータ信号と前記レーザ光検
出器からの信号との偏差をとる比較器と、この比較器か
らの偏差を前記電圧波形指令信号に負帰還させて前記電
圧波形指令信号を補正する加算器と、を備えてなること
を特徴とするものである。
【００１６】従って、ＮＣ装置からのレーザ出力指令信
号を受けて発振器制御部が電圧波形指令信号を発し、こ
の電圧波形指令信号を受けて電源部が放電電力を発振ヘ
ッドに供給してレーザ光を出力する。レーザ光検出手段
が出力されたレーザ光を検出して比較器に信号を発す
る。一方、シュミレータ部は、前記発振器制御部がレー
ザ出力指令信号を受けてから前記レーザ光検出器が検出
信号を発するまでの動作をシュミレートしてシュミレー
ト信号を比較器に発する。比較器が前記レーザ光検出器
の検出信号と前記シュミレート信号の偏差をとり、この
偏差を加算器が前記電圧波形指令信号に負帰還させて電
圧波形指令信号を補正する。
号を受けて発振器制御部が電圧波形指令信号を発し、こ
の電圧波形指令信号を受けて電源部が放電電力を発振ヘ
ッドに供給してレーザ光を出力する。レーザ光検出手段
が出力されたレーザ光を検出して比較器に信号を発す
る。一方、シュミレータ部は、前記発振器制御部がレー
ザ出力指令信号を受けてから前記レーザ光検出器が検出
信号を発するまでの動作をシュミレートしてシュミレー
ト信号を比較器に発する。比較器が前記レーザ光検出器
の検出信号と前記シュミレート信号の偏差をとり、この
偏差を加算器が前記電圧波形指令信号に負帰還させて電
圧波形指令信号を補正する。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態の例
を図面に基づいて説明する。
を図面に基づいて説明する。
【００１８】図１には、この発明にかかるレーザ発振器
１が示されている。このレーザ発振器１では、ＮＣ装置
３に発振器制御部５が接続されており、この発振器制御
部５には加算器７を経て電源部９のＤＣＰＵ１１が接続
され、同じく電源部９のＲＦＰＵ１３を経て発振ヘッド
１５が接続されている。
１が示されている。このレーザ発振器１では、ＮＣ装置
３に発振器制御部５が接続されており、この発振器制御
部５には加算器７を経て電源部９のＤＣＰＵ１１が接続
され、同じく電源部９のＲＦＰＵ１３を経て発振ヘッド
１５が接続されている。
【００１９】また、発振ヘッド１５から発せられたレー
ザ光ＬＢを検出するレーザ光検出器としての光センサ１
７が設けられており、この光センサ１７は比較器１９に
接続されている。
ザ光ＬＢを検出するレーザ光検出器としての光センサ１
７が設けられており、この光センサ１７は比較器１９に
接続されている。
【００２０】一方、前記ＮＣ装置３には、ＤＣＰＵ１
１、ＲＦＰＵ１３、発振ヘッド１５、光センサ１７等を
シュミレートしたシュミレータ部２１が接続されてい
る。このシュミレータ部２１は前記比較器１９に接続さ
れ、この比較器１９は前記加算器７に接続されている。
１、ＲＦＰＵ１３、発振ヘッド１５、光センサ１７等を
シュミレートしたシュミレータ部２１が接続されてい
る。このシュミレータ部２１は前記比較器１９に接続さ
れ、この比較器１９は前記加算器７に接続されている。
【００２１】従って、ＮＣ装置３からの周波数、デュー
ティ、振幅等のレーザ出力指令信号２３を発振器制御部
５が電圧波形指令信号２５に変換する。さらに、発振器
制御部５から発せられた電圧波形指令信号２５は加算器
７を経て電源部９に伝達される。
ティ、振幅等のレーザ出力指令信号２３を発振器制御部
５が電圧波形指令信号２５に変換する。さらに、発振器
制御部５から発せられた電圧波形指令信号２５は加算器
７を経て電源部９に伝達される。
【００２２】一方、比較器１９には、前記ＤＣＰＵ１
１、ＲＦＰＵ１３、発振ヘッド１５、光センサ１７のす
べてをシュミレートするシュミレータ部２１からのシュ
ミレート信号Ｖ1 および実際にＤＣＰＵ１１、ＲＦＰＵ
１３、発振ヘッド１５、光センサ１７のすべてを経てき
た前記光センサ１７からの信号Ｖ2 が入力され、その差
を前記加算器７に加えることにより前記電圧波形指令信
号２５を補正して、光パワーを制御する。前記シュミレ
ータ部２１では、予め発振器制御部５に読み込まれてい
る開ループ特性データ（振幅指令に対する電圧波形振幅
指令）に基づいてシュミレート信号Ｖ1 を出力する。
１、ＲＦＰＵ１３、発振ヘッド１５、光センサ１７のす
べてをシュミレートするシュミレータ部２１からのシュ
ミレート信号Ｖ1 および実際にＤＣＰＵ１１、ＲＦＰＵ
１３、発振ヘッド１５、光センサ１７のすべてを経てき
た前記光センサ１７からの信号Ｖ2 が入力され、その差
を前記加算器７に加えることにより前記電圧波形指令信
号２５を補正して、光パワーを制御する。前記シュミレ
ータ部２１では、予め発振器制御部５に読み込まれてい
る開ループ特性データ（振幅指令に対する電圧波形振幅
指令）に基づいてシュミレート信号Ｖ1 を出力する。
【００２３】図２を参照するに、光センサ１７からの信
号Ｖ2 はレーザ出力指令信号２３が発振器制御部５へき
てから放電までに要する時間とベース放電を加えた時間
ＴDだけ発振器制御部５からの電圧波形指令信号２５よ
りも遅れて立上がるので、シュミレータ部２１からのシ
ュミレート信号Ｖ1 を同様にレーザ出力指令信号２３が
発振器制御部５へきてから放電までの時間とベース放電
を加えた時間だけ遅れて立上げるようにしてＶ1 とＶ2
を同期させる。
号Ｖ2 はレーザ出力指令信号２３が発振器制御部５へき
てから放電までに要する時間とベース放電を加えた時間
ＴDだけ発振器制御部５からの電圧波形指令信号２５よ
りも遅れて立上がるので、シュミレータ部２１からのシ
ュミレート信号Ｖ1 を同様にレーザ出力指令信号２３が
発振器制御部５へきてから放電までの時間とベース放電
を加えた時間だけ遅れて立上げるようにしてＶ1 とＶ2
を同期させる。
【００２４】以上の結果から、シュミレート信号Ｖ1 を
レーザ出力指令信号２３に対して、レーザ出力指令信号
２３が発振器制御部５へきてから放電までの時間とベー
ス放電を加えた時間ＴD だけ遅らせて出力することによ
り、光センサ１７からの信号と同期させることができる
ので、安定した光パワーの制御ができる。これにより、
光パワーのオーバーシュートによる加工不良を回避する
ことができる。
レーザ出力指令信号２３に対して、レーザ出力指令信号
２３が発振器制御部５へきてから放電までの時間とベー
ス放電を加えた時間ＴD だけ遅らせて出力することによ
り、光センサ１７からの信号と同期させることができる
ので、安定した光パワーの制御ができる。これにより、
光パワーのオーバーシュートによる加工不良を回避する
ことができる。
【００２５】また、開ループ特性データを発振器制御部
５に読み込むことにより、調整の自動化を図ることがで
きる。
５に読み込むことにより、調整の自動化を図ることがで
きる。
【００２６】なお、この発明は前述の実施の形態に限定
されることなく、適宜な変更を行なうことにより、その
他の態様で実施し得るものである。
されることなく、適宜な変更を行なうことにより、その
他の態様で実施し得るものである。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よるレーザ発振器では、ＮＣ装置からのレーザ出力指令
信号を受けて発振器制御部が電圧波形指令信号を発し、
この電圧波形指令信号を受けて電源部が放電電力を発振
ヘッドに供給してレーザ光を出力する。出力されたレー
ザ光はレーザ光検出手段が検出して比較器に信号を発す
る。一方、シュミレータ部は、前記発振器制御部がレー
ザ出力指令信号を受けてから前記レーザ光検出器が検出
信号を発するまでの動作をシュミレートしてシュミレー
ト信号を比較器に発するので、レーザ光検出手段からの
検出信号と同期して比較器に入力される。このため、比
較器では前記レーザ光検出器の検出信号と前記シュミレ
ート信号の偏差をとり、この偏差を加算器が前記電圧波
形指令信号に負帰還させて電圧波形指令信号を補正する
ことにより正確な補正をすることができる。このため、
オーバーシュートによる加工不良を回避することがで
き、安定した出力を得ることができる。
よるレーザ発振器では、ＮＣ装置からのレーザ出力指令
信号を受けて発振器制御部が電圧波形指令信号を発し、
この電圧波形指令信号を受けて電源部が放電電力を発振
ヘッドに供給してレーザ光を出力する。出力されたレー
ザ光はレーザ光検出手段が検出して比較器に信号を発す
る。一方、シュミレータ部は、前記発振器制御部がレー
ザ出力指令信号を受けてから前記レーザ光検出器が検出
信号を発するまでの動作をシュミレートしてシュミレー
ト信号を比較器に発するので、レーザ光検出手段からの
検出信号と同期して比較器に入力される。このため、比
較器では前記レーザ光検出器の検出信号と前記シュミレ
ート信号の偏差をとり、この偏差を加算器が前記電圧波
形指令信号に負帰還させて電圧波形指令信号を補正する
ことにより正確な補正をすることができる。このため、
オーバーシュートによる加工不良を回避することがで
き、安定した出力を得ることができる。
【図１】この発明にかかるレーザ発振器の一実施の形態
を示すブロック構成図である。
を示すブロック構成図である。
【図２】図１中の電圧波形指令とシュミレータ信号と光
センサからの信号との関係を示すグラフである。
センサからの信号との関係を示すグラフである。
【図３】従来の光波形指令を使用するタイプのレーザ発
振器を示すブロック構成図である。
振器を示すブロック構成図である。
【図４】従来の光波形指令を使用しないタイプのレーザ
発振器を示すブロック構成図である。
発振器を示すブロック構成図である。
【図５】従来のレーザ発振器における各信号の関係を示
すグラフである。
すグラフである。
１ レーザ発振器 ３ ＮＣ装置 ５ 発振器制御部 ７ 加算器 ９ 電源部 １５ 発振ヘッド １７ 光センサ（レーザ光検出器） １９ 比較器 ２１ シュミレータ部 ２３ レーザ出力指令信号 ２５ 電圧波形指令信号
Claims (1)
- 【請求項１】 ＮＣ装置からのレーザ出力指令信号を受
けて電圧波形指令信号に変換する発振器制御部と、この
発振器制御部からの電圧波形指令信号を受けて放電電力
を供給する電源部と、この電源部からの電力によりレー
ザ光を発する発振ヘッドを有し、前記発振ヘッドからの
レーザ光を検出するレーザ光検出器と、前記発振器制御
部がレーザ出力指令信号を受けてから前記レーザ光検出
器が検出信号を発するまでの動作をシュミレートするシ
ュミレータ部と、前記シュミレータ部からのシュミレー
タ信号と前記レーザ光検出器からの信号との偏差をとる
比較器と、この比較器からの偏差を前記電圧波形指令信
号に負帰還させて前記電圧波形指令信号を補正する加算
器と、を備えてなることを特徴とするレーザ発振器。
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|---|---|---|---|
| JP23678596A JP3616205B2 (ja) | 1996-09-06 | 1996-09-06 | レーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP23678596A JP3616205B2 (ja) | 1996-09-06 | 1996-09-06 | レーザ発振器 |
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| JP3616205B2 JP3616205B2 (ja) | 2005-02-02 |
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ID=17005766
Family Applications (1)
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| Country | Link |
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| JP (1) | JP3616205B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001287059A (ja) * | 2000-04-10 | 2001-10-16 | Amada Eng Center Co Ltd | レーザ加工機の加工不良検出方法およびその装置 |
| EP1375052A1 (en) * | 2002-06-21 | 2004-01-02 | Fanuc Ltd | Laser machining apparatus |
| WO2024052998A1 (ja) * | 2022-09-06 | 2024-03-14 | ファナック株式会社 | レーザ発振器及びレーザ加工装置 |
-
1996
- 1996-09-06 JP JP23678596A patent/JP3616205B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| EP1375052A1 (en) * | 2002-06-21 | 2004-01-02 | Fanuc Ltd | Laser machining apparatus |
| US6818856B2 (en) | 2002-06-21 | 2004-11-16 | Fanuc Ltd | Laser machining apparatus |
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