JPH1092902A - ウエハ飛び出し防止機構を有するキャリアエレベータ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 キャリア内に収容されたウエハの飛出しを効
果的に防止することができるキャリアエレベータ装置を
提供する。 【解決手段】 キャリアエレベータ装置は、基準ベース
９ａと、基準ベース９ａに対して垂直方向に移動可能に
設けられたキャリア基準ベース１０ａと、キャリア基準
ベース１０ａを垂直方向に移動させる駆動機構２０と、
キャリア基準ベースに回動自在に取付けられたキャリア
支持体３と、キャリア支持体３を傾斜位置で保持する傾
斜ストッパ６と、キャリア支持体を水平位置に保持する
水平ストッパ７とを有している。まず、キャリア支持体
３にキャリア１が載置され傾斜位置にセットされる。次
に、キャリア基準ベース１０ａが上昇し、この上昇に伴
い、キャリア支持体３は傾斜ストッパ６に支持されたま
ま回動し水平状態へと移行する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、キャリアに収納さ
れたウエハを処理装置に装荷するためのローディング装
置の一部をなすキャリアエレベータ装置に係り、とりわ
けキャリアからのウエハの飛び出しを防止する機構を備
えたキャリアエレベータ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造ラインにおいて、ウエハ２は
ポリプロピレン製等の箱体からなるキャリア１内に複数
枚が収納された状態で各処理工程間を搬送される。各処
理工程（蒸着工程、エッチング工程等）の処理装置入口
にはローディング装置が設けられ、このローディング装
置により各工程用の処理装置内にウエハ２が装荷される
ようになっている。ローディング装置の入口側には、通
常、図４、図５または図６に示すようなキャリアエレベ
ータ装置が設けられている。キャリアエレベータ装置は
モータとボールネジからなる駆動機構１２０を有してお
り、キャリア１は、駆動機構１２０により、その取出口
１ｃが真横を向くようにキャリア支持体１０３にセット
され、搬送モジュール（図示せず）がキャリア内に収容
されたウエハを取出すことができるような位置まで上方
に向けて運搬されるようになっている。

【０００３】ところでキャリア１をキャリア支持体１０
３にセットする場合、キャリア１からのウエハ２の飛び
出し（位置ずれ）が従来から問題となっている。このよ
うなウエハ２の飛び出しが発生すると、次処理モジュー
ル、例えば搬送モジュール１２に引き渡す際、およびオ
リフラ合わせの際においてセンターずれが発生し、トラ
ブルの原因となる。

【０００４】図４には、最も一般的な構造を有するキャ
リアエレベータ装置が示されている。図４に示すキャリ
アエレベータ装置は、使用者が、取出口１ｃが搬送モジ
ュール（図示せず）の方向（図４右側）、すなわち真横
を向くように、ウエハ２が収容されたキャリア１をキャ
リア支持体１０３上に載置するものである。しかし、図
５に示すキャリアエレベータ装置においては、キャリア
１をキャリア支持体１０３上に載置した後、キャリア支
持体１０３が真横を向くように回動させた時、回動作業
を少しでも雑に行うと、ウエハ２の飛び出しが発生して
しまう。

【０００５】また、図５に示すキャリアエレベータ装置
は、キャリア支持体１０３をＬ字型とするとともに回転
機構１０５により回動自在としたものである。このキャ
リアエレベータ装置が使用される場合、使用者は、図５
（ａ）に示すように、取出口１ｃが真上を向くようにキ
ャリア１をＬ字型のキャリア支持体１０３上に載置し、
その後使用者は、図５（ｂ）に示すように、手動でキャ
リア支持体１０３を回動させ、キャリア１の取出口１ｃ
が真横を向くようにする。このようにすれば、キャリア
１をキャリア支持体１０３上に載置する際には、ウエハ
２は重力によりキャリア１の底面１ｂに支持されるため
ウエハ２の飛び出しが発生するおそれはない。しかし、
キャリア支持体１１０の回転を少しでも雑に行うと、キ
ャリア１の取出口１ｃが真横を向く際に、ウエハ２の飛
び出しが発生するおそれがある。

【０００６】この問題を解決するため、キャリア支持体
１０３を専用のモーターにより回動させるようにしたも
のもある。しかし、専用のモーターを設けると、キャリ
アエレベータ装置全体をコンパクトにすることが困難と
なり、また構造が複雑化する。さらに、キャリアエレベ
ータ装置の製造コストも増加するという問題もある。

【０００７】また、図６に示すキャリアエレベータ装置
は、キャリア基準ベース１１０と、キャリア支持体１０
３とを有するものである。キャリア支持体１０３は、キ
ャリア基準ベース１１０とキャリア支持体１０３との間
に設けられた回転機構１０５により揺動できるようにな
っている。このキャリアエレベータ装置においては、ま
ず、図６（ａ）に示すように、傾斜ストッパ１０６によ
りキャリア支持体１０３を傾斜させた状態とし、使用者
がキャリア１の取出口１ｃが斜め上方を向くように、キ
ャリア１をキャリア支持体１０３上に載置する。次い
で、図６（ｂ）に示すように、キャリア基準ベース１１
０は一旦下降し、これによりキャリア支持体１０３は水
平方向を向き、キャリア支持体１０３に載置されたキャ
リア１の取出口１ｃが真横を向くようになる。なお、そ
の後、傾斜ストッパ１０６はキャリア基準ベース１１０
およびキャリア支持体１０３の上昇の邪魔にならない位
置まで後退するようになっている。このようにすれば、
キャリア支持体１０３を傾斜状態から水平方向へとスム
ーズに移行させることができ、キャリア１の取出口１ｃ
が真横を向く際に、ウエハ２の飛び出しが発生するおそ
れはない。

【０００８】しかし、このようにすると、傾斜ストッパ
１０６を水平方向に移動させる手段が必要となりキャリ
アエレベータ装置全体の構造の複雑化や大型化といった
問題がある。さらに、傾斜ストッパ１０６はキャリア支
持体１０３の上面に接触するようになっているため、接
触時にダストが発生した場合、このダストがウエハ２に
付着するおそれもある。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、装置
全体の構造の複雑化や大型化、およびダスト付着といっ
た問題なしに、キャリア１からのウエハ２の飛び出しを
効果的に防止できるキャリアエレベータ装置は得られて
いないのが現状である。

【００１０】本発明は、このようなことを考慮してなさ
れたものであり、キャリア内に収容されたウエハの位置
ずれ及び飛出しを防止することができ、ウエハにダスト
が付着するおそれがなく、キャリアの載置および除去作
業を容易に行うことができるキャリアエレベータ装置を
簡潔な構造により提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、第１の手段は、キャリアエレベータ装置において、
基準ベースと、前記基準ベースに対して垂直方向に移動
可能に設けられたキャリア基準ベースと、前記基準ベー
スに設けられ、前記キャリア基準ベースを垂直方向に移
動させる駆動機構と、前記キャリア基準ベースに回動自
在に取付けられ、第１支持部と前記第１支持部に対して
垂直方向に延びる第２支持部とを有し、少なくとも前記
第１支持部が水平方向を向いた水平位置と前記第１支持
部が垂直方向を向いた垂直位置との間を回動するキャリ
ア支持体と、前記基準ベースに設けられ、前記キャリア
基準ベースが下降位置にある場合、前記キャリア支持体
を前記水平位置と垂直位置との間の傾斜位置で保持する
傾斜ストッパ手段と、前記キャリア基準ベースが上昇し
て前記キャリア支持体が前記傾斜ストッパ手段から離れ
た場合、前記キャリア支持体を水平位置に保持する水平
ストッパ手段とを備えたことを特徴とするものである。

【００１２】この第１の手段によれば、まず、キャリア
支持体の垂直位置でキャリア支持体にキャリアが載置さ
れた後、回動動作によりキャリア支持体が傾斜位置にセ
ットされる。次に、キャリア基準ベースが上昇し、この
上昇に伴い、キャリア支持体は傾斜ストッパ手段と接触
したまま回動し、水平位置へと移行する。キャリア支持
体が水平位置へと移行すると同時に水平ストッパ手段が
キャリア支持体に当接する。さらにキャリア基準ベース
が上昇してキャリア支持体が傾斜ストッパ手段から離れ
た後は、水平ストッパ手段がキャリア支持体を保持す
る。

【００１３】第２の手段は、前記傾斜ストッパ手段は、
前記キャリア支持体が傾斜位置にある場合、前記第１支
持部の底面と当接していること特徴とするものである。

【００１４】この第２の手段によれば、傾斜ストッパ手
段はキャリア支持体の底面と接触してダストが発生して
も、キャリア１に収容されたウエハに影響が及ぶことは
ない。

【００１５】第３の手段は、前記キャリア支持体の回動
中心は、前記キャリア支持体の第１支持部と第２支持部
との結合部分の近傍に位置していることを特徴とするも
のである。

【００１６】この第３の手段によれば、キャリア支持体
が水平位置にある場合に比べてキャリア支持体が垂直位
置にある場合、キャリア支持体を使用者に大きく近付け
ることができる。このためキャリア支持体へのキャリア
の載置および除去作業を容易に行うことができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。図１乃至図３は本発明の一
実施形態を示す図である。

【００１８】図１に示すように、キャリアエレベータ装
置は、基準ベース９ａと、基準ベース９ａに対して垂直
方向に移動可能に設けられたキャリア基準ベース１０ａ
と、キャリア基準ベース１０ａを垂直方向に移動させる
駆動機構２０と、キャリア基準ベース１０ａに回動自在
に取付けられたキャリア支持体３と、キャリア支持体３
を傾斜位置で保持する傾斜ストッパ６（傾斜ストッパ手
段）と、キャリア支持体３を水平位置に保持する水平ス
トッパ７（水平ストッパ手段）とを備えている。

【００１９】このうち基準ベース９ａは、図２に示すよ
うに、基準枠体９の天板をなし、キャリアエレベータ装
置のフレーム８に固定されている。また、基準枠体９の
天板、すなわち基準ベース９ａと、基準枠体９の底板９
ｂとの間には、互いに平行に、かつ垂直方向に延びる円
柱形状の一対のガイドレール９ｃが設けられている。こ
れらガイドレール９ｃの両端は基準ベース９ａおよび底
板９ｂにそれぞれ固着されている。

【００２０】また、基準ベース９ａの上方には、板状の
キャリア基準ベース１０ａが設けられており、このキャ
リア基準ベース１０ａは昇降枠体１０の天板をなしてい
る。昇降枠体１０の底面１０ｂには、ガイドレール９ｃ
の各々に沿って移動可能に設けられたガイド部材１０ｃ
が挿着されており、これにより昇降枠体１０はガイドレ
ール９ｃに沿って垂直方向に移動可能となっており、従
ってキャリア基準ベース１０ａは垂直方向に移動可能と
なっている。

【００２１】次に、キャリア基準ベース１０ａを垂直方
向に移動させる駆動機構２０について詳述する。駆動機
構２０は、垂直方向に延びる円柱形状の雄ネジ部材２１
と、雄ネジ部材２１に係合する雌ネジがその内周面に形
成された円筒形状の雌ネジ部材２２と、雄ネジ部材２１
を駆動するステッピングモータ２３とを有している。こ
のうち雄ネジ部材２１は、その両端部が基準枠体９の天
板（基準ベース９ａ）および底板９ｂの中央にそれぞれ
ボールベアリング２４を介して回転自在に装着されてい
る。雌ネジ部材２２は昇降枠体１０のキャリア基準ベー
ス１０ａおよび底面１０ｂの中央に装着されている。ま
た、ステッピングモータ２３は基準枠体９の底板９ｂに
装着されており、このステッピングモータ２３の回転軸
にはプーリ２５が固着されている。また、雄ネジ部材２
１の最下端には、プーリ２６が固着されており、このプ
ーリ２６とプーリ２５との間にはタイミングベルト２７
が掛け渡されている。これによりステッピングモータ２
３を駆動することにより、キャリア基準ベース１０ａを
垂直方向に移動することができるようになっている。

【００２２】また、前述したようにキャリア基準ベース
１０ａの上面には、回転機構５を介してキャリア支持体
３が回動自在に取付けられている。このキャリア支持体
３は、ウエハ２が収容されるキャリア１を載置するため
のものであり、断面略Ｌ字型の形状を有している。キャ
リア支持体３は、キャリア１がこのキャリア支持体３に
載置された場合、収容されたウエハ２の上下面と平行な
キャリア１の側面１ａが当接する第１支持部３ａと、こ
の第１支持部３ａに対して垂直方向に延びキャリア１の
底面１ｂが当接する第２支持部３ｂとを有している。

【００２３】また、キャリア基準ベース１０ａの上面の
図１左側（作業者がキャリア１の載置作業を行う側）に
は、一対のベアリングホルダ５ａが固着されている。こ
れらベアリングホルダ５ａには、それぞれボールベアリ
ング５ｂが装着されている。一方、キャリア支持体３の
第１支持部３ａの底面３ｃの第２支持部３ｂ側（図１に
おける左側）、すなわちキャリア支持体３の第１支持部
３ａと第２支持部３ｂとの結合部分の近傍には、一対の
軸ホルダ５ｃが固着されており、これら軸ホルダ５ｃに
は、回転軸５ｄが固着されている。回転軸５ｃは前述し
たボールベアリング５ｂのインナーレースに挿着されて
いる。これらベアリングホルダ５ａ、ボールベアリング
５ｂ、軸ホルダ５ｃおよび回転軸５ｄにより前述した回
転機構５が構成されている。

【００２４】キャリア支持体３は、回転機構５の回転軸
５ｄを回動中心としてキャリア基準ベース１０ａに対し
て回動自在となっており、キャリア支持体３は、第１支
持部３ａが水平方向を向いた水平位置（図３（ｄ）
（ｅ）参照）から第１支持部３ａが垂直方向を向いた垂
直位置（図３（ｂ）（ｇ）参照）との間を回動できるよ
うになっている。

【００２５】また、基準ベース９の上面の図１右側に
は、傾斜ストッパ６が設けられている。この傾斜ストッ
パ手段６は、基準ベース９ａの上面に固着された支持部
６ｂと、支持部６ｂの上端に回転自在に取付けられたロ
ーラー６ａとからなる。また、キャリア基準ベース１０
ａには傾斜ストッパ６に対応する位置に貫通穴１０ｃが
形成されており、傾斜ストッパ６の支持部６ａはこの貫
通穴１０ｃを貫通して延びている。傾斜ストッパ６はキ
ャリア基準ベース１０ａが下降位置にある場合、キャリ
ア支持体３の第１支持部３ａを傾斜した状態で、すなわ
ちキャリア支持体３を傾斜位置に保持するようになって
いる（図１および図３（ａ）（ｃ）（ｆ）参照）。

【００２６】また、キャリア基準ベース１０ａの図１右
端には、板状の水平ストッパ７（水平ストッパ手段）が
取付けられている。この水平ストッパ７の上面は、キャ
リア支持体３の第１支持部３ａが水平方向を向いた場合
（図３（ｄ）（ｅ）参照）、第１支持部３ａの底面と当
接するようになっており、キャリア支持体３が水平位置
を超えて回動しないようにキャリア支持体３を水平位置
に保持するようになっている。なおこの水平ストッパ７
はキャリア支持体３の第１支持部３ａの底面３ｃの自由
端側（図１右端）に設けてもよい。

【００２７】次に、このような構成からなる本実施形態
の作用について図３（ａ）〜（ｇ）により説明する。

【００２８】図３（ａ）はキャリアエレベータ装置が休
止している状態を示しており、キャリア基準ベース１０
ａは下降位置にあり、かつキャリア支持体３はキャリア
支持体３の第１支持部３ａの底面が傾斜ストッパ６のロ
ーラー６ａに当接した状態で静止している。なお、この
状態で、キャリア支持体３の重心は回転機構５の回転軸
５ａより右側に位置しており、キャリア支持体３は傾斜
ストッパ６に寄掛かっている。

【００２９】キャリアエレベータ装置を使用する場合、
図３（ｂ）に示すように、使用者の手動操作により、キ
ャリア支持体３は、その第１支持部３ａが垂直方向を向
いた垂直位置に向けて回動する。垂直位置となったキャ
リア支持体３は、第１支持部３ａの底面がキャリア基準
ベース１０ａの左側面１０ｄに当接することにより垂直
位置に保持される（図１二点鎖線参照）。

【００３０】次に、複数のウエハ２が収容されたキャリ
ア１が、図３（ｂ）に示すように、キャリア１の底面１
ｂがキャリア支持体３の第２支持部３ｂに当接し、キャ
リア１の側面１ａがキャリア支持体３の第１支持部３ａ
に当接するように、キャリア支持体３に載置される。な
お、この場合キャリア１の取出口１ｃは直上を向き、ウ
エハ２は垂直方向を向いている。

【００３１】次に、図３（ｃ）に示すように、使用者の
手動操作により、第１支持部３ａの底面が傾斜ストッパ
６のローラー６ａに当接するようになるまで、キャリア
支持体３が回動軸５ａを中心として回動する。すなわ
ち、キャリア支持体３は垂直位置と水平位置との中間の
傾斜位置となる。このようにキャリア支持体３が傾斜位
置となった場合、キャリア１、ウエハ２およびキャリア
支持体３全体の重心位置は、回転機構５の回動軸５ａよ
り傾斜ストッパ６側に位置しており、キャリア支持体３
は傾斜ストッパ６に寄掛かった状態で静止する。この場
合、キャリア１に収容されたウエハ２は、その自重によ
りキャリア１の底面１ｂに支持されたままキャリア１内
の所定位置に保持される。このためキャリア１内におけ
るウエハ２の位置ずれが発生することはない。また、キ
ャリア支持体３は、第１支持部３ａの底面３ｃにおいて
傾斜ストッパ６のローラー６ａに当接するようになって
いるため、万一キャリア支持体３と傾斜ストッパ６が当
接してダストが発生した場合でも、キャリア１に収容さ
れたウエハ２がダストの影響を受けることはない。

【００３２】次に、駆動機構２０が作動し、キャリア基
準ベース１０ａが上方に移動する。このキャリア基準ベ
ース１０ａの上方への移動に伴い、キャリア支持体３の
第１支持部３ａが、傾斜ストッパ６のローラー６ａに支
持されたまま回転機構５側（図中左側）のみが上昇し、
キャリア支持体３は、第１支持部３ａが水平方向を向い
た水平位置へ向かって回動する。そして、図３（ｄ）に
示すように、キャリア支持体３が水平位置となった時、
第１支持部３ａの底面が水平ストッパ７に当接する。な
お、キャリア支持体３が水平位置となった時、キャリア
１の取出口１ｃは水平方向を向き、キャリア１に収容さ
れたウエハ２は水平方向を向く。この場合、キャリア支
持体３はボールベアリング５ｂと回動軸５ａとを有する
回転機構５を中心として回動し、キャリア支持体３の第
１支持部３ａは傾斜ストッパ６のローラー６ａを支点と
して旋回するようになっており、かつ駆動機構２０はモ
ータとボールねじからなり極めてスムーズに作用するた
め、キャリア支持体３の回動作用は極めてスムーズに行
われる。このため、キャリア支持体３が傾斜位置から水
平位置まで回動する過程、とりわけ水平位置となる瞬間
において、キャリア支持体３に載置されたキャリア１に
収容されたウエハ２が、キャリア１から飛び出したりキ
ャリア１内で位置ずれを起こすことはない。

【００３３】次に、図３（ｅ）に示すように、キャリア
基準ベース１０ａをさらに上方に移動させてゆくと、キ
ャリア支持体３の第１支持部３ａは、傾斜ストッパ６の
ローラー６ａから離間し、水平ストッパ７により水平方
向に支持された状態でキャリア基準ベース１０ａととも
に上昇する。すなわちこの場合、水平ストッパ７はキャ
リア支持体３が水平位置を超えて回動することを防止す
る手段として機能している。そしてキャリア基準ベース
１０ａをさらに上方に移動させてゆくと、キャリア支持
体３に載置されたキャリア１の取出口１ｃが搬送モジュ
ール１２に相対する。そして搬送モジュール１２は、キ
ャリア１内のウエハ２を抜き取り、図示しない処理装置
に引き渡す。さらに、駆動機構２０によりキャリア基準
ベース１０ａが段階的に上昇し、搬送モジュール１２は
その都度キャリア１内のウエハ２を一枚ずつ抜き取り、
図示しない処理装置に引き渡してゆく。

【００３４】キャリア１内のウエハ２が空になると、キ
ャリア基準ベース１０ａが下降してゆき、図３（ｆ）に
示すように、キャリア基準ベース１０ａが下降位置に至
ると、キャリア支持体３の第１支持部３ａが傾斜ストッ
パ６のローラー６ａに当接し、キャリア支持体３は傾斜
位置となる。

【００３５】次に、使用者の手動操作により、キャリア
支持体３は垂直位置へと回動する。図３（ｇ）に示すよ
うに、キャリア支持体３が垂直位置となると、使用者は
キャリア支持体３上に載置された空のキャリアを取り除
く。この状態は、図３（ｂ）と同一の状態であり、その
後、必要に応じて図３（ｂ）〜（ｇ）に示す工程が繰り
返される。

【００３６】以上説明したように、本実施形態によれ
ば、キャリア支持体３を一旦傾斜位置に停止させ、その
後、モータおよびボールネジからなる駆動機構２０によ
り、キャリア支持体３を滑らかに水平状態に移行させる
ようになっているため、キャリア１内に収容されたウエ
ハ２の飛び出し（位置ずれ）を防止することができる。

【００３７】また、キャリア支持体の傾斜位置から水平
位置への移行および水平位置から傾斜位置への移行は、
キャリア基準ベース１０ａの昇降作用に連動して行われ
るため、キャリア支持体３を回動させるために特別な駆
動装置を設ける必要がない。

【００３８】また、キャリア支持体３の回動中心である
回転機構５の回転軸５ａは、キャリア支持体３の第１支
持部３ａの底面３ｃの第２支持部３ｂ側、かつキャリア
基準ベース１０ａの左側（作業者がキャリア１の載置作
業を行う側）に位置しているため、キャリア支持体３を
図３（ａ）に示す状態から図３（ｂ）に示す状態へと回
動させた場合、キャリア支持体３は大きく使用者側（図
３（ｂ）左側）に移動する。このため、複数のキャリア
エレベータ装置が図３奥行き方向に互いに近接して配置
されている場合でも、隣接するキャリアエレベータ装置
の作動状態にかかわらず、キャリア支持体３上へキャリ
ア１を載置したりキャリア支持体３上からキャリア１を
除去する作業を容易に行うことができる。とりわけ、重
量の重い８インチキャリアをキャリア支持体３上に載置
する場合、使用者は両手を使って作業を行うことになる
が、このような場合でも、キャリア支持体３が大きく使
用者側に移動するようになっているため、容易に載置作
業および除去作業を行うことができる。

【００３９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
キャリアの載置および除去作業を容易に行うことがで
き、キャリア内に収容されたウエハの位置ずれ及び飛出
しを防止することができるキャリアエレベータ装置を簡
潔な構造により得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるキャリアエレベータ装置の構成を
示す側面図。

【図２】図１におけるＡ−Ａ断面を示す図。

【図３】本発明によるキャリアエレベータ装置の作用を
示す図。

【図４】従来のキャリアエレベータ装置の構成概略およ
び作用を示す図。

【図５】従来のキャリアエレベータ装置の構成概略およ
び作用を示す図。

【図６】従来のキャリアエレベータ装置の構成概略およ
び作用を示す図。

【符号の説明】

３ キャリア支持体 ３ａ 第１支持部 ３ｂ 第２支持部 ５ 回転機構 ６ 傾斜ストッパ ７ 水平ストッパ ９ａ 基準ベース １０ａ キャリア基準ベース

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基準ベースと、 前記基準ベースに対して垂直方向に移動可能に設けられ
   たキャリア基準ベースと、 前記基準ベースに設けられ、前記キャリア基準ベースを
   垂直方向に移動させる駆動機構と、 前記キャリア基準ベースに回動自在に取付けられ、第１
   支持部と前記第１支持部に対して垂直方向に延びる第２
   支持部とを有し、少なくとも前記第１支持部が水平方向
   を向いた水平位置と前記第１支持部が垂直方向を向いた
   垂直位置との間を回動するキャリア支持体と、 前記基準ベースに設けられ、前記キャリア基準ベースが
   下降位置にある場合、前記キャリア支持体を前記水平位
   置と垂直位置との間の傾斜位置で保持する傾斜ストッパ
   手段と、 前記キャリア基準ベースが上昇して前記キャリア支持体
   が前記傾斜ストッパ手段から離れた場合、前記キャリア
   支持体を水平位置に保持する水平ストッパ手段と、を備
   えたことを特徴とするキャリアエレベータ装置。
2. 【請求項２】前記傾斜ストッパ手段は、前記キャリア支
   持体が傾斜位置にある場合、前記第１支持部の底面と当
   接していること特徴とする請求項１記載のキャリアエレ
   ベータ装置。
3. 【請求項３】前記キャリア支持体の回動中心は、前記キ
   ャリア支持体の第１支持部と第２支持部との結合部分の
   近傍に位置していることを特徴とする請求項１記載のキ
   ャリアエレベータ装置。