JPH1093163A - 金属蒸気レ−ザ装置 - Google Patents
金属蒸気レ−ザ装置Info
- Publication number
- JPH1093163A JPH1093163A JP24636596A JP24636596A JPH1093163A JP H1093163 A JPH1093163 A JP H1093163A JP 24636596 A JP24636596 A JP 24636596A JP 24636596 A JP24636596 A JP 24636596A JP H1093163 A JPH1093163 A JP H1093163A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal vapor
- insulating tube
- laser device
- vapor
- temperature
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】この発明は、金属蒸気源の消費を抑制した金属
蒸気レ−ザ装置を提供することを目的とする。 【解決手段】この発明の金属蒸気レ−ザ装置は、金属蒸
気を保つための絶縁管５と、この絶縁管の両端部に設け
られた放電用電極３と、この放電用電極および絶縁管を
覆うように設けられた断熱材２と、絶縁管内に配設され
た金属蒸気源６とを具備し、放電用電極の近傍に温度低
下を防止するヒ−タ１が設けられ、このヒ−タの近傍で
絶縁管内に金属蒸気の拡散を防止する蒸気拡散防止板４
が配設され、この蒸気拡散防止板に金属蒸気源が載置さ
れてなり、ヒータにて管軸方向に沿う温度分布が蒸気拡
散防止板の領域で部分的に低温となる分布となるように
したことにより、上記の目的を達成することが出来る。
蒸気レ−ザ装置を提供することを目的とする。 【解決手段】この発明の金属蒸気レ−ザ装置は、金属蒸
気を保つための絶縁管５と、この絶縁管の両端部に設け
られた放電用電極３と、この放電用電極および絶縁管を
覆うように設けられた断熱材２と、絶縁管内に配設され
た金属蒸気源６とを具備し、放電用電極の近傍に温度低
下を防止するヒ−タ１が設けられ、このヒ−タの近傍で
絶縁管内に金属蒸気の拡散を防止する蒸気拡散防止板４
が配設され、この蒸気拡散防止板に金属蒸気源が載置さ
れてなり、ヒータにて管軸方向に沿う温度分布が蒸気拡
散防止板の領域で部分的に低温となる分布となるように
したことにより、上記の目的を達成することが出来る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、金属蒸気レ−ザ
装置に関する。
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、金属蒸気レ−ザ装置は図３の
（ａ）に示すように構成され、円筒状のセラミックから
なる絶縁管５内に金属蒸気源６が設けられ、絶縁管５の
両端部にはそれぞれ円筒状の放電用電極３，３が取付け
られている。そして、絶縁管５および放電用電極３，３
は断熱材２で覆われている。
（ａ）に示すように構成され、円筒状のセラミックから
なる絶縁管５内に金属蒸気源６が設けられ、絶縁管５の
両端部にはそれぞれ円筒状の放電用電極３，３が取付け
られている。そして、絶縁管５および放電用電極３，３
は断熱材２で覆われている。
【０００３】動作時には、絶縁管５内にバッファガスを
注入した後、放電用電極３，３間に高電圧を印加して放
電させることで得られる放電エネルギにより絶縁管５内
を高温とさせ、断熱材２により金属蒸気源６の金属の融
点以上に保温することで金属蒸気を得ている。この金属
蒸気がバッファガスの放電エネルギにより励起し、この
金属蒸気の励起光が一対のミラ−で共振することでレ−
ザ発振を行っている。
注入した後、放電用電極３，３間に高電圧を印加して放
電させることで得られる放電エネルギにより絶縁管５内
を高温とさせ、断熱材２により金属蒸気源６の金属の融
点以上に保温することで金属蒸気を得ている。この金属
蒸気がバッファガスの放電エネルギにより励起し、この
金属蒸気の励起光が一対のミラ−で共振することでレ−
ザ発振を行っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の構成では図３の（ｂ）に示すように、断熱材２の端
部に急激な温度勾配が生じることから、金属蒸気源６の
金属蒸気が絶縁管５内から断熱材２両端の低温部へ熱拡
散を起こす。この拡散した金属蒸気が放電用電極３等に
付着すると、実質的な金属蒸気源６の消耗が著しくな
る。この金属蒸気源６の消耗が進むと、絶縁管５内に金
属蒸気が存在しなくなり、この結果、レ−ザ−出力の低
下を引き起こす。
来の構成では図３の（ｂ）に示すように、断熱材２の端
部に急激な温度勾配が生じることから、金属蒸気源６の
金属蒸気が絶縁管５内から断熱材２両端の低温部へ熱拡
散を起こす。この拡散した金属蒸気が放電用電極３等に
付着すると、実質的な金属蒸気源６の消耗が著しくな
る。この金属蒸気源６の消耗が進むと、絶縁管５内に金
属蒸気が存在しなくなり、この結果、レ−ザ−出力の低
下を引き起こす。
【０００５】この発明は以上のような不都合を解決する
ものであり、金属蒸気源の消耗を抑制してレ−ザ−出力
の安定化を図った金属蒸気レ−ザ装置を提供することを
目的とする。
ものであり、金属蒸気源の消耗を抑制してレ−ザ−出力
の安定化を図った金属蒸気レ−ザ装置を提供することを
目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、金属蒸気を
保つための絶縁管と、この絶縁管の両端部に設けられた
放電用電極と、この放電用電極および絶縁管を覆うよう
に設けられた断熱材と、絶縁管内に配設された金属蒸気
源とを具備する金属蒸気レ−ザ装置において、放電用電
極の近傍に温度低下を防止するヒ−タが設けられた金属
蒸気レ−ザ装置である。
保つための絶縁管と、この絶縁管の両端部に設けられた
放電用電極と、この放電用電極および絶縁管を覆うよう
に設けられた断熱材と、絶縁管内に配設された金属蒸気
源とを具備する金属蒸気レ−ザ装置において、放電用電
極の近傍に温度低下を防止するヒ−タが設けられた金属
蒸気レ−ザ装置である。
【０００７】更に、ヒ−タの近傍で絶縁管内に金属蒸気
の拡散を防止する蒸気拡散防止板が配設され、この蒸気
拡散防止板に金属蒸気源が載置されてなり、ヒータにて
管軸方向に沿う温度分布が蒸気拡散防止板の領域で部分
的に低温となる分布となるように構成されている。
の拡散を防止する蒸気拡散防止板が配設され、この蒸気
拡散防止板に金属蒸気源が載置されてなり、ヒータにて
管軸方向に沿う温度分布が蒸気拡散防止板の領域で部分
的に低温となる分布となるように構成されている。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の一実施の形態を詳細に説明する。この発明による金属
蒸気レ−ザ装置は図１（ａ），（ｂ）に示すように構成
され、（ａ）はこの発明の一実施の形態に係る金属蒸気
レ−ザ−装置を示す断面図、（ｂ）は（ａ）の金属蒸気
レ−ザ装置における管内温度と管軸方向の位置との関係
を示すグラフである。
の一実施の形態を詳細に説明する。この発明による金属
蒸気レ−ザ装置は図１（ａ），（ｂ）に示すように構成
され、（ａ）はこの発明の一実施の形態に係る金属蒸気
レ−ザ−装置を示す断面図、（ｂ）は（ａ）の金属蒸気
レ−ザ装置における管内温度と管軸方向の位置との関係
を示すグラフである。
【０００９】即ち、従来例（図３）と同一箇所は同一符
号を付すと、図１（ａ）中の符号５は円筒状の例えばセ
ラミックからなり、金属蒸気を保つための絶縁管であ
る。この絶縁管５の両端部には、それぞれ円筒状の放電
用電極３，３が取付けられている。そして、絶縁管５の
内部を高温に保つために、絶縁管５および放電用電極
３，３は断熱材２で覆われている。
号を付すと、図１（ａ）中の符号５は円筒状の例えばセ
ラミックからなり、金属蒸気を保つための絶縁管であ
る。この絶縁管５の両端部には、それぞれ円筒状の放電
用電極３，３が取付けられている。そして、絶縁管５の
内部を高温に保つために、絶縁管５および放電用電極
３，３は断熱材２で覆われている。
【００１０】更に、この発明では、断熱材２両端の温度
低下を防止するために、放電用電極３，３の近傍にヒ−
タ１，１が設けられ、断熱材２中に埋設されている。ま
た、このヒ−タ１，１の近傍で絶縁管５内には、蒸気拡
散防止板４，４が配設され、この蒸気拡散防止板４，４
上にそれぞれ金属蒸気源６，６が載置されている。つま
り、ヒ−タ１，１にて放電用電極３，３の近傍を加熱す
るとともに温度分布が低温となる箇所に蒸気拡散防止板
４，４が配設されている。この蒸気拡散防止板４，４
は、図２に示すように絶縁管５の内面に沿った湾曲に形
成され、且つ管軸方向に複数の溝４ａが形成されてい
る。
低下を防止するために、放電用電極３，３の近傍にヒ−
タ１，１が設けられ、断熱材２中に埋設されている。ま
た、このヒ−タ１，１の近傍で絶縁管５内には、蒸気拡
散防止板４，４が配設され、この蒸気拡散防止板４，４
上にそれぞれ金属蒸気源６，６が載置されている。つま
り、ヒ−タ１，１にて放電用電極３，３の近傍を加熱す
るとともに温度分布が低温となる箇所に蒸気拡散防止板
４，４が配設されている。この蒸気拡散防止板４，４
は、図２に示すように絶縁管５の内面に沿った湾曲に形
成され、且つ管軸方向に複数の溝４ａが形成されてい
る。
【００１１】動作時には、絶縁管５内に充填されるバッ
ファガスが放電を繰り返す毎に、断熱材２内が高温とな
り、断熱材２内が金属蒸気源６，６の融点以上の温度と
なる。そこで、絶縁管５の両端をヒ−タ１，１で熱し
て、管軸方向に沿う温度分布を図１の（ｂ）に示すよう
に、従来よりも均一化するとともに、更に蒸気拡散防止
板４，４の領域で部分的に低温にする（位置ｍ，ｎ）。
この温度分布では、絶縁管５内の金属蒸気源６，６から
の金属蒸気は蒸気拡散防止板４，４に集中し、バッファ
ガスが一定であるため、ある濃度以上に達すると液化が
生じる。この液化した金属蒸気源６，６の金属が蒸気拡
散防止板４，４へ付着する。付着した励起用金属は蒸気
拡散防止板４，４上の溝４ａ等の毛細管現象により、絶
縁管５内の高温部に戻り再び蒸気となる。以上の結果、
金属蒸気源６，６の金属の消耗を相当抑制することが出
来る。
ファガスが放電を繰り返す毎に、断熱材２内が高温とな
り、断熱材２内が金属蒸気源６，６の融点以上の温度と
なる。そこで、絶縁管５の両端をヒ−タ１，１で熱し
て、管軸方向に沿う温度分布を図１の（ｂ）に示すよう
に、従来よりも均一化するとともに、更に蒸気拡散防止
板４，４の領域で部分的に低温にする（位置ｍ，ｎ）。
この温度分布では、絶縁管５内の金属蒸気源６，６から
の金属蒸気は蒸気拡散防止板４，４に集中し、バッファ
ガスが一定であるため、ある濃度以上に達すると液化が
生じる。この液化した金属蒸気源６，６の金属が蒸気拡
散防止板４，４へ付着する。付着した励起用金属は蒸気
拡散防止板４，４上の溝４ａ等の毛細管現象により、絶
縁管５内の高温部に戻り再び蒸気となる。以上の結果、
金属蒸気源６，６の金属の消耗を相当抑制することが出
来る。
【００１２】
【発明の効果】この発明によれば、放電用電極の近傍に
ヒ−タが設けられているので、管軸方向に沿う温度分布
が均一化され、更に蒸気拡散防止板を付加すれば、その
領域で部分的に低温となる分布となるので、金属蒸気源
からの金属蒸気が放電用電極等へ付着することが抑制さ
れる。その結果、金属蒸気源の消耗を抑制して長時間安
定に運転することが可能となる。
ヒ−タが設けられているので、管軸方向に沿う温度分布
が均一化され、更に蒸気拡散防止板を付加すれば、その
領域で部分的に低温となる分布となるので、金属蒸気源
からの金属蒸気が放電用電極等へ付着することが抑制さ
れる。その結果、金属蒸気源の消耗を抑制して長時間安
定に運転することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）はこの発明の一実施の形態に係る金属蒸
気レ−ザ装置を示す断面図、（ｂ）は（ａ）の金属蒸気
レ−ザ装置における管内温度と管軸方向の位置との関係
を示すグラフ。
気レ−ザ装置を示す断面図、（ｂ）は（ａ）の金属蒸気
レ−ザ装置における管内温度と管軸方向の位置との関係
を示すグラフ。
【図２】この発明の金属蒸気レ−ザ装置で用いる蒸気拡
散防止板を示す斜視図。
散防止板を示す斜視図。
【図３】（ａ）は従来の金属蒸気レ−ザ装置を示す断面
図、（ｂ）は（ａ）の金属蒸気レ−ザ装置における管内
温度と管軸方向の位置との関係を示すグラフ。
図、（ｂ）は（ａ）の金属蒸気レ−ザ装置における管内
温度と管軸方向の位置との関係を示すグラフ。
１…ヒ−タ、２…断熱材、３…放電用電極、４…蒸気拡
散防止板、５…絶縁管、６…金属蒸気源。
散防止板、５…絶縁管、６…金属蒸気源。
フロントページの続き (72)発明者 福田 誠 神奈川県川崎市川崎区日進町７番地１ 東 芝電子エンジニアリング株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 金属蒸気を保つための絶縁管と、この絶
縁管の両端部に設けられた放電用電極と、この放電用電
極および上記絶縁管を覆うように設けられた断熱材と、
上記絶縁管内に配設された金属蒸気源とを具備する金属
蒸気レ−ザ装置において、 上記放電用電極の近傍に温度低下を防止するヒ−タが設
けられたことを特徴とする金属蒸気レ−ザ装置。 - 【請求項２】 上記ヒ−タの近傍で上記絶縁管内に金属
蒸気の拡散を防止する蒸気拡散防止板が配設され、この
蒸気拡散防止板に上記金属蒸気源が載置されてなり、上
記ヒータにて管軸方向に沿う温度分布が上記蒸気拡散防
止板の領域で部分的に低温となる分布となるようにした
ことを特徴とする請求項１記載の金属蒸気レ−ザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24636596A JPH1093163A (ja) | 1996-09-18 | 1996-09-18 | 金属蒸気レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24636596A JPH1093163A (ja) | 1996-09-18 | 1996-09-18 | 金属蒸気レ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1093163A true JPH1093163A (ja) | 1998-04-10 |
Family
ID=17147475
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24636596A Pending JPH1093163A (ja) | 1996-09-18 | 1996-09-18 | 金属蒸気レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1093163A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20230086112A (ko) * | 2021-12-08 | 2023-06-15 | 한국과학기술원 | 증기 셀 |
-
1996
- 1996-09-18 JP JP24636596A patent/JPH1093163A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20230086112A (ko) * | 2021-12-08 | 2023-06-15 | 한국과학기술원 | 증기 셀 |
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