JPS61287285A - レ−ザ発振管 - Google Patents
レ−ザ発振管Info
- Publication number
- JPS61287285A JPS61287285A JP12817385A JP12817385A JPS61287285A JP S61287285 A JPS61287285 A JP S61287285A JP 12817385 A JP12817385 A JP 12817385A JP 12817385 A JP12817385 A JP 12817385A JP S61287285 A JPS61287285 A JP S61287285A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser oscillation
- oscillation tube
- laser
- heat pipe
- tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/041—Arrangements for thermal management for gas lasers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
レーザ発振管、特に気体放電レーザ管の効率よい熱除去
に利用する。
に利用する。
従来のレーザ発振管はレーザハンドブック(オーム社、
1989)に示すように、レーザ発振管の冷却には水
冷ジャケットなどを用いていた。しかし、この方法では
冷却装置が必要であり、レーザ装置の移動の点から問題
があった。
1989)に示すように、レーザ発振管の冷却には水
冷ジャケットなどを用いていた。しかし、この方法では
冷却装置が必要であり、レーザ装置の移動の点から問題
があった。
本発明の目的は効率よく冷却するため、ヒートパイプを
装着したレーザ発振管を提供することにある。
装着したレーザ発振管を提供することにある。
本発明はヒートパイプは駆動部分のない熱輸送装置であ
り、ヒートパイプ容器は等温になる特徴がある。このヒ
ートパイプの適用により、レーザ発振管から熱除去する
とともに、レーザ発振管や放電々極を等温にし、熱変形
を防ぐ。
り、ヒートパイプ容器は等温になる特徴がある。このヒ
ートパイプの適用により、レーザ発振管から熱除去する
とともに、レーザ発振管や放電々極を等温にし、熱変形
を防ぐ。
以下、本発明の一実施例を第1図により説明する。本図
はレーザ発振管容器、1内の放電用電極2内にヒートパ
イプ、4を埋めこむ、このレーザ発振管容器1の外部に
除去するため、外部にフィン、3を設置する。フィン、
3が設置された部分は、高電圧の接続部も兼用している
。放電用電極、2の表面に加えられた熱はヒートパイプ
、4により軸方向に均一に輸送され、つぎにフィンによ
りレーザ発振管容器1の外部に伝達される。このような
構造により、放電用電極2の熱変形を防止でき、さらに
効率よく熱を除去できる。第2図は従来のレーザ発振管
であり、第1図と第2図の比較からも理解できるように
、ヒートパイプの設置はレーザ管の構造をそれほど複雑
にするものではない。また、熱除去が促進されるため、
レーザ発振管を小型化しても発振効率が維持される。
はレーザ発振管容器、1内の放電用電極2内にヒートパ
イプ、4を埋めこむ、このレーザ発振管容器1の外部に
除去するため、外部にフィン、3を設置する。フィン、
3が設置された部分は、高電圧の接続部も兼用している
。放電用電極、2の表面に加えられた熱はヒートパイプ
、4により軸方向に均一に輸送され、つぎにフィンによ
りレーザ発振管容器1の外部に伝達される。このような
構造により、放電用電極2の熱変形を防止でき、さらに
効率よく熱を除去できる。第2図は従来のレーザ発振管
であり、第1図と第2図の比較からも理解できるように
、ヒートパイプの設置はレーザ管の構造をそれほど複雑
にするものではない。また、熱除去が促進されるため、
レーザ発振管を小型化しても発振効率が維持される。
第3図は他の実施例を示すものである。本実施例ではヒ
ートパイプをレーザ発振管容器、1内に設置しである。
ートパイプをレーザ発振管容器、1内に設置しである。
レーザ用ガスの放電により放電用電極2の温度が上昇す
るばかりでなく、レーザ発振管容器1も高温になる。レ
ーザ発振管、1の表面積を考えれば、その冷却効果は大
きい。ヒートパイプ、4に伝達された熱はフィン、3に
より空気中に放出される。ヒートパイプ、4は放電用電
極、2および予備放電用電極、5の位置する部分をのぞ
き、第3図に示すような断面形状をとっても、その記能
を発揮する。
るばかりでなく、レーザ発振管容器1も高温になる。レ
ーザ発振管、1の表面積を考えれば、その冷却効果は大
きい。ヒートパイプ、4に伝達された熱はフィン、3に
より空気中に放出される。ヒートパイプ、4は放電用電
極、2および予備放電用電極、5の位置する部分をのぞ
き、第3図に示すような断面形状をとっても、その記能
を発揮する。
第4図は本発明による他の実施例を示すものである。本
図はレーザ発振管の縦断面図である。アノード、9とカ
ソード、10間で放電させる。とくに、細管部8で高温
になるため、細管部、8にヒートパイプ、4を設置し、
熱を外部に放熱する。
図はレーザ発振管の縦断面図である。アノード、9とカ
ソード、10間で放電させる。とくに、細管部8で高温
になるため、細管部、8にヒートパイプ、4を設置し、
熱を外部に放熱する。
したがって、細管部は耐熱性材料を使用する必要ハナく
、安価なレーザ発振管を提供できる。
、安価なレーザ発振管を提供できる。
本発明によれば、レーザ発振管の一部にヒートパイプを
装着、内蔵あるいは接続することにより、効率よくレー
ザ発振管を冷却でき、レーザの出力上昇、あるいはレー
ザ発振管の小型化がはがれる。
装着、内蔵あるいは接続することにより、効率よくレー
ザ発振管を冷却でき、レーザの出力上昇、あるいはレー
ザ発振管の小型化がはがれる。
第1図は本発明の一実施例のレーザ発振管の横断面図、
第2図は従来のレーザ発振管の横断面図、第3図は本発
明による他の実施例のレーザ発振管の横断面図、第4図
は本発明による他の実施例のレーザ発振管の縦断面図で
ある。 1・・・レーザ発振管容器、2・・・放電用電極、3・
・・フィン、4・・・ヒートパイプ、7・・・ソレノイ
ド、8・・・細管部。
・σ≧パ) 代理人 弁理士 小川勝馬 −″ 第4図
第2図は従来のレーザ発振管の横断面図、第3図は本発
明による他の実施例のレーザ発振管の横断面図、第4図
は本発明による他の実施例のレーザ発振管の縦断面図で
ある。 1・・・レーザ発振管容器、2・・・放電用電極、3・
・・フィン、4・・・ヒートパイプ、7・・・ソレノイ
ド、8・・・細管部。
・σ≧パ) 代理人 弁理士 小川勝馬 −″ 第4図
Claims (1)
- 1、単一気体あるいは混合気体の放電により発振する気
体レーザにおいて、放電用電極をヒートパイプで冷却す
ることを特徴としたレーザ発振管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12817385A JPS61287285A (ja) | 1985-06-14 | 1985-06-14 | レ−ザ発振管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12817385A JPS61287285A (ja) | 1985-06-14 | 1985-06-14 | レ−ザ発振管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61287285A true JPS61287285A (ja) | 1986-12-17 |
Family
ID=14978212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12817385A Pending JPS61287285A (ja) | 1985-06-14 | 1985-06-14 | レ−ザ発振管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61287285A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61190164U (ja) * | 1985-05-20 | 1986-11-27 | ||
| US5113407A (en) * | 1989-05-29 | 1992-05-12 | Fanuc Ltd. | Discharge tube for laser oscillator |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56135987A (en) * | 1980-03-28 | 1981-10-23 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Gas laser device |
| JPS5864082A (ja) * | 1981-10-14 | 1983-04-16 | Komatsu Ltd | ガスレ−ザ装置 |
| JPS5864079A (ja) * | 1981-10-14 | 1983-04-16 | Komatsu Ltd | ガスレ−ザ装置 |
| JPS60951B2 (ja) * | 1980-12-26 | 1985-01-11 | 富士通株式会社 | 半導体装置 |
-
1985
- 1985-06-14 JP JP12817385A patent/JPS61287285A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56135987A (en) * | 1980-03-28 | 1981-10-23 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Gas laser device |
| JPS60951B2 (ja) * | 1980-12-26 | 1985-01-11 | 富士通株式会社 | 半導体装置 |
| JPS5864082A (ja) * | 1981-10-14 | 1983-04-16 | Komatsu Ltd | ガスレ−ザ装置 |
| JPS5864079A (ja) * | 1981-10-14 | 1983-04-16 | Komatsu Ltd | ガスレ−ザ装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61190164U (ja) * | 1985-05-20 | 1986-11-27 | ||
| US5113407A (en) * | 1989-05-29 | 1992-05-12 | Fanuc Ltd. | Discharge tube for laser oscillator |
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