JPH11101995A - 波長変換レーザー - Google Patents

波長変換レーザー

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JPH11101995A
JPH11101995A JP9261960A JP26196097A JPH11101995A JP H11101995 A JPH11101995 A JP H11101995A JP 9261960 A JP9261960 A JP 9261960A JP 26196097 A JP26196097 A JP 26196097A JP H11101995 A JPH11101995 A JP H11101995A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 固体レーザー結晶を光によってポンピング
し、それにより発せられた固体レーザービームを、共振
器内に配した非線形光学結晶により波長変換するレーザ
ーにおいて、周期ドメイン反転構造を有する非線形光学
結晶を用いても、高品位なビーム特性や良好な立ち上が
り特性が得られるようにする。 【解決手段】 固体レーザービーム18を波長変換する非
線形光学結晶15の+c面15aと−c面15bのそれぞれ
の、少なくとも固体レーザービーム光路の近傍部分を、
金属コート40等によって互いに電気的に接続する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、波長変換機能を備
えた固体レーザーに関し、特に詳細には、周期ドメイン
反転構造を有する非線形光学結晶により波長変換する波
長変換レーザーに関するものである。
【0002】
【従来の技術】例えば特開昭62-189783 号に示されるよ
うに、ネオジウム(Nd)が添加された固体レーザー結
晶を半導体レーザー等から発せられた光によってポンピ
ングする固体レーザーが公知となっている。またこの種
の固体レーザーにおいては、より短波長のレーザービー
ムを得るために、その共振器内に非線形光学材料の結晶
(非線形光学結晶)からなる光波長変換素子を配置し
て、固体レーザービームを第2高調波等に波長変換する
ことも広く行なわれている。
【0003】ところで上述の光波長変換素子として、例
えば特開平5-5920号に示されているように、強誘電体か
らなる非線形光学結晶の自発分極(ドメイン)を周期的
に反転させた領域を設けたものが知られている。このよ
うな光波長変換素子を用いる場合は、ドメイン反転部の
周期Λを、 Λc=2π/{β(2ω)−2β(ω)} ……(1) ただしβ(2ω)は第2高調波の伝搬定数 β(ω)は基本波の伝搬定数 で与えられるコヒーレント長Λcの整数倍になるように
設定することで、基本波と第2高調波との位相整合を取
ることができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この周期ドメ
イン反転構造を有する非線形光学結晶を用いる従来の波
長変換レーザーにおいては、ビーム特性が悪い、立ち上
がりが遅い、といった問題が認められている。
【0005】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
であり、周期ドメイン反転構造を有する非線形光学結晶
を用いても、高品位なビーム特性や良好な立ち上がり特
性が得られる波長変換レーザーを提供することを目的と
する。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明による第1の波長
変換レーザーは、前述したようにレーザー結晶を光によ
って励起し、それによって発せられた固体レーザービー
ムを、共振器内に配した周期ドメイン反転構造を有する
非線形光学結晶により波長変換する波長変換レーザーに
おいて、非線形光学結晶の+c面と−c面のそれぞれ
の、少なくとも固体レーザービーム光路の近傍部分が、
互いに電気的に接続されていることを特徴とするもので
ある。
【0007】また本発明による第2の波長変換レーザー
は、上記と同様にレーザー結晶を光によって励起し、そ
れによって発せられた固体レーザービームを、共振器内
に配した周期ドメイン反転構造を有する非線形光学結晶
により波長変換する波長変換レーザーにおいて、非線形
光学結晶の+c面と−c面の一方の、少なくとも固体レ
ーザービーム光路の近傍部分に絶縁層を介して導電性材
料が取り付けられ、非線形光学結晶の+c面と−c面の
他方の、少なくとも固体レーザービーム光路の近傍部分
と上記導電性材料とが電気的に接続されていることを特
徴とするものである。
【0008】また本発明による第3の波長変換レーザー
は、上記と同様にレーザー結晶を光によって励起し、そ
れによって発せられた固体レーザービームを、共振器内
に配した周期ドメイン反転構造を有する非線形光学結晶
により波長変換する波長変換レーザーにおいて、非線形
光学結晶の+c面と−c面のそれぞれの、少なくとも固
体レーザービーム光路の近傍部分に絶縁層を介して導電
性材料が取り付けられ、これらの導電性材料が互いに電
気的に接続されていることを特徴とするものである。
【0009】
【発明の効果】上述のように、非線形光学結晶の+c面
と−c面の固体レーザービーム光路の近傍部分を直接的
に、あるいは絶縁層を介して電気的に接続しておくと、
後に具体例を示す通り、高品位なビーム特性や良好な立
ち上がり特性が得られるようになる。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図1は、本発明の1つの実
施形態であるレーザーダイオード励起固体レーザーの側
面形状を示すものである。
【0011】このレーザーダイオードポンピング固体レ
ーザーは、励起光としてのレーザービーム10を発する半
導体レーザー11と、発散光であるレーザービーム10を集
光する集光レンズ12と、ネオジウム(Nd)がドープさ
れた固体レーザー媒質であるYVO4 結晶(Nd:YV
4 結晶)13と、このNd:YVO4 結晶13の前方側
(半導体レーザー11と反対側)に配された共振器ミラー
14とを有している。
【0012】またNd:YVO4 結晶13と共振器ミラー
14との間には、Nd:YVO4 結晶13側から順にブリュ
ースタ板17、周期ドメイン反転構造を有する非線形光学
材料であるMgO:LiNbO3 (MgOがドープされ
たLiNbO3 )結晶15、エタロン16が配設されてい
る。Nd:YVO4 結晶13、MgO:LiNbO3 結晶
15、エタロン16、ブリュースタ板17および共振器ミラー
14は銅製のブロック21(図1では形状を簡略化してあ
る)に接着固定され、板状のベースプレート30およびペ
ルチェ素子31を介してパッケージベース32に固定されて
いる。
【0013】なお、共振器部に取り付けられたサーミス
タ33により共振器内の温度が検出され、温度制御回路
(図示せず)によりこの検出温度が所定の温度となるよ
うにペルチェ素子31の電流が調節されて、共振器内の温
度が所定温度に維持される。
【0014】半導体レーザー11は中心波長809 nmのレ
ーザービーム10を発するものであり、ホルダー20に圧入
固定されている。またエタロン16は厚さ0.3 mmの石英
板からなり、その1つの光透過面が銅製のエタロンホル
ダー(図示せず)に接着固定された上で、光軸に対して
45′傾けて配置されている。ブリュースタ板17は、厚さ
0.385mmの石英板からなる。
【0015】Nd:YVO4 結晶13は、入射したレーザ
ービーム10によってネオジウムイオンが励起されること
により、波長1064nmの光を発する。Nd:YVO4
晶13の入射端面13aには、波長1064nmの光は良好に反
射させる(反射率99.9%以上)一方、波長809 nmの励
起用レーザービーム10は良好に透過させる(透過率93%
以上)コーティングが施されている。またこのNd:Y
VO4 結晶13の他の端面には、波長1064nmの光を良好
に透過させるコーティングが施されている。
【0016】一方共振器ミラー14のミラー面14aには、
波長1064nmの光は良好に反射させ(反射率99.9%以
上)、下記の波長532 nmの光は透過させる(透過率90
%以上)コーティングが施されている。
【0017】したがって、上記波長1064nmの光はそれ
に対する高反射面となっているNd:YVO4 結晶端面
13aとミラー面14aとの間に閉じ込められてレーザー発
振を引き起こし、波長1064nmのレーザービーム18が発
生する。このレーザービーム18はMgO:LiNbO3
結晶15により、タイプIの位相整合が取られた上で、波
長が1/2すなわち532 nmの第2高調波19に変換さ
れ、共振器ミラー14からは主にこの第2高調波19が出射
する。
【0018】なお本例において、Nd:YVO4 結晶13
の厚さは1mmである。またMgO:LiNbO3 結晶
15の長さは2mm、凹面鏡である共振器ミラー14の曲率
半径は50mm、共振器を構成するNd:YVO4 結晶端
面13aとミラー面14aとの間の距離は約11mmである。
【0019】次に、高品位なビーム特性および良好な立
ち上がり特性を得るための構成について説明する。図2
に正面形状を示すように、直方体状とされたMgO:L
iNbO3 結晶15は、2つの光通過面を除く4面、つま
り+c面15a、−c面15bおよびそれらに連続する2つ
の側面が、Taからなる金属コート40によって全面的に
覆われ、この状態で接着剤41により銅製ブロック21に固
定されている。
【0020】したがってMgO:LiNbO3 結晶15の
+c面15aと−c面15bとは、レーザービーム18の光路
(光軸を図中Oで示す)の近傍部分を含む全面が、導電
性材料であるTaによって互いに電気的に接続されてい
る。
【0021】固体レーザーモジュールの個体間でのレー
ザービーム拡がり角ばらつきは、従来装置では一般に15
%pp程度であったのに対し、上記構成を有する本装置に
おいては3%ppまで抑えられた。また立ち上がり時間
は、従来装置では1時間程度であったのに対し、本装置
においては5分まで短縮された。
【0022】なお、MgO:LiNbO3 結晶15の+c
面15aと−c面15bとを電気的に接続するには、上述の
ような金属コート40を用いる代わりに、そのコート範囲
にプロトン交換等の低抵抗化処理を施すようにしてもよ
い。
【0023】次に図3〜5を参照して、本発明の別の実
施形態について説明する。これらの図3〜5は、図2の
構成に代えて用いられ得る構成を示している。なお図3
〜5において、図2中の要素と同等の要素には同番号を
付し、それらについての重複した説明は省略する。
【0024】図3の構成においては、MgO:LiNb
3 結晶15の−c面15bが、非導電性接着剤50により銅
製ブロック21に固定されている。またMgO:LiNb
3結晶15の+c面15aには、レーザービーム18の光路
に沿った部分において、Taからなる金属コート51が形
成されている。そして銅製ブロック21には例えば銅等か
らなる板バネ52の基端部が固定され、この板バネ52の先
端部は上記金属コート51に圧接している。
【0025】つまりこの構成においては、MgO:Li
NbO3 結晶15の−c面15bの、レーザービーム18の光
路に沿った部分を含む全面が、絶縁層である非導電性接
着剤50を介して導電性のブロック21に取り付けられ、M
gO:LiNbO3 結晶15の+c面15aのレーザービー
ム18の光路に沿った部分が金属コート51および板バネ52
を介して、上記ブロック21と電気的に接続されている。
【0026】この図3の構成を図1の固体レーザーに適
用した場合も、固体レーザーモジュールの個体間でのレ
ーザービーム拡がり角ばらつきは、3%ppまで抑えられ
た。また立ち上がり時間も、従来装置の1時間程度に対
し、5分まで短縮された。
【0027】なお、上述のような金属コート51を用いる
代わりに、そのコート範囲にプロトン交換等の低抵抗化
処理を施すようにしてもよい。
【0028】またMgO:LiNbO3 結晶15の−c面
15bの、レーザービーム18の光路に沿った部分に非導電
性接着剤50を配置する代わりに、図4に示すように、空
気層等の気体層60が絶縁層として存在するようにしても
よい。さらには、図3や図4の構成において、ブロック
21に固定されている−c面15bの、少なくともレーザー
ビーム光路近傍に金属コート、もしくはプロトン交換等
の低抵抗化処理を施すようにしてもよい。
【0029】また、MgO:LiNbO3 結晶15の−c
面15bとブロック21との間に絶縁層を介在させずに両者
を固定し、金属コート51、板バネ52およびブロック21に
よって+c面15aと−c面15bとを電気的に接続するよ
うにしてもよい。
【0030】図5の構成においては、MgO:LiNb
3 結晶15の−c面15bが、非導電性接着剤50により銅
製ブロック21に固定されている。またMgO:LiNb
3結晶15の+c面15aには、非導電性接着剤70により
銅板71が接着されている。そしてこの銅板71と銅製ブロ
ック21とが、導電性接着剤72により電気的に接続されて
いる。
【0031】この図5の構成を図1の固体レーザーに適
用した場合も、固体レーザーモジュールの個体間でのレ
ーザービーム拡がり角ばらつき、および立ち上がり時間
は、既述の実施形態におけるのと同様であった。
【0032】なお図5の構成において、非導電性接着剤
50および70の少なくとも一方を省いても、上記と同様の
効果を得ることができる。また図5の構成において、+
c面15aおよび/または−c面15bの、少なくともレー
ザービーム光路近傍に金属コート、もしくはプロトン交
換等の低抵抗化処理を施すようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態による波長変換レーザーを
示す概略側面図
【図2】上記波長変換レーザーの要部を示す正面図
【図3】本発明の別の実施形態による波長変換レーザー
の要部を示す斜視図
【図4】本発明のさらに異なる実施形態による波長変換
レーザーの要部を示す正面図
【図5】本発明のさらに異なる実施形態による波長変換
レーザーの要部を示す正面図
【符号の説明】
10 レーザービーム(ポンピング光) 11 半導体レーザー 12 集光レンズ 13 Nd:YVO4 結晶 14 共振器ミラー 15 MgO:LiNbO3 結晶 15a MgO:LiNbO3 結晶の+c面 15b MgO:LiNbO3 結晶の−c面 16 エタロン 17 ブリュースタ板 18 固体レーザービーム(基本波) 19 第2高調波 20 ホルダー 21 銅製ブロック 30 ベースプレート 31 ペルチェ素子 33 サーミスタ 40 金属コート 41 接着剤 50 非導電性接着剤 51 金属コート 52 板バネ 60 気体層 70 非導電性接着剤 71 銅板 72 導電性接着剤

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザー結晶を光によって励起し、それ
    によって発せられた固体レーザービームを、共振器内に
    配した周期ドメイン反転構造を有する非線形光学結晶に
    より波長変換する波長変換レーザーにおいて、 前記非線形光学結晶の+c面と−c面のそれぞれの、少
    なくとも固体レーザービーム光路の近傍部分が互いに電
    気的に接続されていることを特徴とする波長変換レーザ
    ー。
  2. 【請求項2】 レーザー結晶を光によって励起し、それ
    によって発せられた固体レーザービームを、共振器内に
    配した周期ドメイン反転構造を有する非線形光学結晶に
    より波長変換する波長変換レーザーにおいて、 前記非線形光学結晶の+c面と−c面の一方の、少なく
    とも固体レーザービーム光路の近傍部分に絶縁層を介し
    て導電性材料が取り付けられ、 前記非線形光学結晶の+c面と−c面の他方の、少なく
    とも固体レーザービーム光路の近傍部分と前記導電性材
    料とが電気的に接続されていることを特徴とする波長変
    換レーザー。
  3. 【請求項3】 レーザー結晶を光によって励起し、それ
    によって発せられた固体レーザービームを、共振器内に
    配した周期ドメイン反転構造を有する非線形光学結晶に
    より波長変換する波長変換レーザーにおいて、 前記非線形光学結晶の+c面と−c面のそれぞれの、少
    なくとも固体レーザービーム光路の近傍部分に絶縁層を
    介して導電性材料が取り付けられ、 これらの導電性材料が互いに電気的に接続されているこ
    とを特徴とする波長変換レーザー。
  4. 【請求項4】 前記周期ドメイン反転構造を有する非線
    形光学結晶がMgO:LiNbO3 結晶であることを特
    徴とする請求項1から3いずれか1項記載の波長変換レ
    ーザー。
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