JPH11106043A - ウエハ搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】カセット内のウエハ位置を光センサを用いて検
出している場合には、平均寿命以外の要因で光センサの
動作保証期間以内に光量低下が生じウエハの位置検出が
できなくなることがある。 【解決手段】センサ機構の上昇経路途中、かつセンサに
よるウエハ検出前の位置に、光センサの光軸を遮断する
減光フィルタを設け、減光フィルタを通過する光センサ
の光量に基づき光センサの消耗（劣化）度合を判断す
る。消耗（劣化）度合に応じて交換時期を判断する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造設備の
ウエハ搬送装置に係わり、特にウエハを収納する収納容
器内のウエハの位置やウエハの有無を検出するウエハ検
出装置を備えたウエハ搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造設備においては、本来の処理
を行う処理装置（例えばウエハにプラズマエッチング等
の処理を行う基板処理装置）の外部にウエハの搬出入を
行う搬出入部が設けてある。図５に搬出入部の概略レイ
アウトを示す。

【０００３】図５に示すように、基板処理装置１の外部
にウエハ搬送部２が設けてある。ウエハ搬送部２は、ウ
エハ３を収納するカセット４（収納容器）を載置する複
数のカセット載置台５と、ウエハ３の偏心量を検出し位
置合わせを行うセンタリングユニット６を設けたウエハ
待機部２ａと、ウエハ３を搬送する搬送ロボット８が移
動する中継部２ｂとを含む。カセット載置台５が位置す
るウエハ待機部２ａにはセンサ昇降孔７ａ，７ｂが設け
てある。中継部２ｂは、基板処理装置１とウエハ待機部
２ａとの間にある。中継部２ｂに位置する搬送ロボット
８は、各カセット載置台５とセンタリングユニット６と
の間を横方向に移動可能であり、またカセット４内の最
下部から最上部まで上下動可能な構造を有している。搬
送ロボット８の動作はコントローラ９により制御されて
いる。

【０００４】搬送ロボット８は基板処理装置１に面した
カセット４の前面に移動してウエハ３を取り出し、セン
タリングユニット６に搬送する。センタリングユニット
６で中心位置合せを行ったウエハ３は、再び搬送ロボッ
ト８が取り出し搬入口１ａから基板処理装置１内に搬送
する。また、基板処理装置１において処理が終了したウ
エハ３は搬出口１ｂから搬送ロボット８が取り出し、カ
セット内の元の位置に収納する。

【０００５】カセット４は内側周縁に設けた溝によりウ
エハ径に応じた所定の上下方向間隔でウエハ３を水平に
収納している。搬送ロボット８は例えばＵ字型のハンド
先端部をカセット４内のウエハ間に挿入し、ハンド上に
ウエハ３を保持してカセット４内から取り出す。カセッ
ト４の内側に設けた溝は周縁部に若干ゆとりを持ってウ
エハ３を収納するように設けられているため、ウエハ３
は厳密に水平に収納されているとはいえず、前工程での
収納状態によってはカセット前面（搬送ロボット８に対
向する側）から見て若干斜めに収納されているものもあ
る。すなわち、ウエハ同士の間隔は厳密に一定ではな
い。搬送ロボット８がウエハ３を破損することなくウエ
ハ間にハンドを挿入するためには、個々のカセット４に
おけるウエハ３の収納位置を検出する必要がある。カセ
ット４内のウエハ位置を検出するウエハ検出装置の概略
を以下説明する。

【０００６】図６はカセット載置台下部に設けたウエハ
検出装置の概略図である。図６に示すように、カセット
載置台５はウエハ待機部２ａの底部１１ａ及び壁部１１
ｂにより固定して保持されている。底部１１ａにはボー
ルネジ１２が設けてある。ボールネジ１２の下端に設け
たプーリ１３はベルト１４によってプーリ１５，１６と
連動している。プーリ１５，１６にはそれぞれエンコー
ダ１７、モータ１８が設けてある。ウエハ待機部２ａの
壁部１１ｂにはガイドレール１９が垂直方向に設けてあ
り、ガイドレール１９には上下移動可能なガイド２０が
結合されている。ガイド２０の他端にはプレート２１が
固定してある。ガイド２０をボールネジ１２が貫通して
いる。プレート２１の端にはプレート２２，２３が固定
して設けてあり、プレート２２とプレート２３の上端に
はそれぞれ発光側素子２４と受光側素子２５が対向して
設けてある。以下、発光側素子２４と受光側素子２５を
合わせて光センサと呼ぶ。

【０００７】図５に示すコントローラ９によりモータ１
８を駆動すると、プーリ１６とベルト１４を介してボー
ルネジ１２が回転し、ガイド２０がガイドレール１９に
沿って上下動する。すると、ガイド２０により固定保持
されているプレート２１，２２，２３（以下、センサ保
持機構とする）が上下動する。センサ保持機構が上昇す
るとプレート２２に設けた発光側素子２４はセンサ昇降
孔７ａ（図５）からウエハ待機部２ａ上面に突出する。
プレート２３に設けた受光側素子２５も同様にセンサ昇
降孔７ｂからウエハ待機部２ａ上面に突出する。プレー
ト２２，２３に設けた光センサの光軸のカセット載置台
５に対する位置（高さ）はエンコーダ１７からの出力信
号により算出することができる。光センサとセンサ保持
機構とを併せてセンサ機構と呼ぶ。

【０００８】図７は図５及び図６に示す従来例における
ウエハ検出装置において、センサ機構の出力信号に基づ
いてウエハ位置を検出するための各部の信号波形図であ
る。なお、図６においては光センサを複数（２組）設け
ており光軸も２本となっているが、説明の便宜上、光軸
を１本として説明を簡略化する。

【０００９】図７に示すように、センサ保持機構の上昇
基準位置をモータ１８の駆動原点とし、モータ１８の駆
動に応じて得られるエンコーダの出力信号（ＯＮ，ＯＦ
Ｆ）から、上昇基準位置に対するセンサ保持機構の位置
を得ることができる。また、センサ機構の光センサ出力
信号は、受光及び遮光の状態を示す。光センサ出力信号
からカセット載置台５の下面及び上面位置とカセット４
に保持したウエハ位置を知ることができる。図では、光
センサ出力信号を反転してウエハ位置信号を得ている。
従ってコントローラ９においては、ウエハ位置信号を用
いてウエハ位置検出や、ウエハ枚数、ウエハの有無の検
出等を行うことができる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】上記のような透過式光
センサを用いてウエハ位置を検出する場合には、光セン
サの光軸のウエハによる物理的な遮断状況を受光側素子
の出力により判断する。反射式を用いた場合でも、やは
りウエハにより反射した光を受光側素子により検出す
る。光センサの種類に関らず発光側素子、受光側素子が
正常に動作することがウエハ位置検出のためには必要不
可欠である。しかしながら、光センサ、特に発光側素子
は何らかの原因によってその性質が低下することがあ
る。

【００１１】たとえば、発光側素子の光量低下により光
センサが正常に動作せずウエハの位置検出ができない場
合がある。この場合搬送ロボットは停止せざるを得ず、
基板処理装置へのウエハの搬入が停止するため工程が中
断してしまう。平均寿命による光量不足に対しては定期
的に光センサを交換することにより対応可能である。し
かし、電気的過負荷や静電気、温度、湿度、機械的なス
トレス等がある場合、光センサの性質がこれらにより平
均寿命より早期に劣化する。光センサの使用環境によっ
ては寿命期間内（動作保証期限内）であっても光量低下
が生じることがある。

【００１２】本発明の目的は、カセット等の収納容器に
収納されたウエハの位置検出や、ウエハ枚数あるいはウ
エハの有無の検出を行う光センサの故障（異常）を自動
的に検出することができるウエハ搬送装置を提供するこ
とにある。

【００１３】本発明の他の目的は、光センサの消耗（劣
化）度合に応じて交換時期を判断する制御手段を備えた
ウエハ搬送装置を提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の特徴とするところは、ウエハを収納する収納
容器を上部に載置する載置台と、該収納容器からウエハ
を搬出入するロボットハンドと、該収納容器内のウエハ
を検出するための光センサを有するセンサ機構と、載置
台の下方から収納容器の上面までセンサ機構を上下動す
る駆動機構とを有し、センサ機構の上下動により光セン
サが上下動し収納容器内のウエハ位置を検出するウエハ
検出手段とを有しているウエハ搬送装置において、該セ
ンサ機構の上昇途中ウエハ検出前の位置に、該光センサ
の光軸を遮断する箇所に設けた減光フィルタと、該減光
フィルタを通過した光の光センサ出力に基づき光センサ
の消耗（劣化）度合を判断し、消耗（劣化）度合に応じ
て交換時期を判断する機能を有する制御手段とを設けた
ことにある。

【００１５】本発明の他の特徴とするところは、上記制
御手段が、減光フィルタを通過した光の光センサ出力に
基づき収納容器に収納したウエハ全数を検出可能か否か
判断するとともに、ウエハ全数を検出できない場合に光
センサの交換を判断する機能を有することにある。

【００１６】

【発明の実施の形態】図１乃至図４を用いて本発明の一
実施形態によるウエハ搬送装置を説明する。

【００１７】図１は本実施例におけるウエハ搬送装置の
カセット載置台下部の一例を示す図であり、図６に示す
従来例と同一部分には同一符号を付け説明は省略する。

【００１８】図２は本実施形態における各部の信号波形
図である。従来例と同様に図１においては光センサを複
数（２組）設けて光軸も２本となっているが、説明の便
宜上、光軸を１本として説明を簡略化する。

【００１９】図１に示すように、カセット載置台５の下
部であって光センサの上下動開始位置より上方に減光フ
ィルタ３０がセンサ機構の移動経路に沿って数種類設け
てある。本実施例では、例えば、減光率６０％，４０
％，２０％のフィルタ３１，３２，３３を縦方向に設け
ている。減光フィルタ３０における数値はフィルタ通過
後の光量の減少率を示しており、減光率６０％のフィル
タ３１を通過すると光量が６０％減少し、フィルタ通過
前の光量を１００とした場合には通過後の光量が４０に
なることを示している。減光率の数値が大きいほどフィ
ルタ通過後の光量が減少する。

【００２０】従来例と同様に上昇基準位置を駆動原点と
してセンサ保持機構（プレート２１，２２，２３）が上
昇すると、プレート２２，２３に設けた光センサの光軸
が、まず減光率６０％のフィルタ３１を通過し、次いで
減光率４０％のフィルタ３２，減光率２０％のフィルタ
３３の順に通過する。更に、センサ保持機構が上昇する
と、カセット載置台５の端面により光軸が遮断された
後、カセット載置台５上方において図示を省略したカセ
ット４内のウエハ位置を検出する。図１はカセット載置
台５上方までセンサ保持機構が上昇した状態を示してい
る。

【００２１】以下、最も性能劣化が生じ易い発光側素子
の性能を確認しつつ、ウエハの位置検出を行う手順を説
明する。光センサは受光側素子の出力信号が閾値より上
であればＯＮ、下であればＯＦＦの２値信号を出力する
ものとする。発光側素子２４の発光量が正常である場
合、光軸がフィルタ３０を通過していてもカセット載置
台５端面により遮光されるまでの光センサ出力信号は常
時ＯＮである。しかし、発光側素子２４の発光量が何ら
かの原因で低下していると、例えば図２に示すように、
光センサ出力信号が減光率６０％のフィルタ３１通過時
にＯＦＦとなる。若干の発光量低下であれば減光率４０
％のフィルタ３２と減光率２０％のフィルタ３３通過時
には光センサ出力信号はＯＮとなる。すなわち、受光側
素子２５により受光はできるが発光側素子２４の発光量
が低下していることがわかる。

【００２２】図３及び図４を用いて図１及び図２に示す
実施形態におけるコントローラにおける制御内容を説明
する。

【００２３】あらかじめカセット載置台５にはカセット
載置台５の個数（ここでは３ケ）に応じて番地番号を１
から付与してあり、コントローラは個々のカセット載置
台５に応じて以下の処理を並行して行う。説明の便宜
上、カセット載置台５の番地番号１を例に取り説明す
る。また、図中の符号Ｓはステップの略であり符号「Ｓ
１」はステップ１を示している。

【００２４】まず、「ＳＴＡＲＴ」で番地番号１を選択
し、ステップ１で次カセット情報「ＮＥＸＴ」に１を代
入する。次カセット情報「ＮＥＸＴ」が１の場合はカセ
ット載置台５にカセット４が載置可能なことを示してい
る。ステップ２において「ＮＥＸＴ＝１」、すなわち次
カセット載置可能かどうか判別し、可能であればステッ
プ３に進む。

【００２５】ステップ３において、作業対象とするカセ
ット載置台５の番地番号１を格納し、該当する番地番号
のモータ１８つまり作業対象のカセット載置台５のモー
タ１８を駆動する。モータ１８の駆動により駆動原点で
ある上昇基準位置からセンサ機構が上昇する。ステップ
４で光センサがカセット載置台５下面まで上昇する。こ
の間に光センサの光ビームは減光フィルタを通過する。
ステップ５において減光率６０％のフィルタ３１通過時
の光センサ出力信号がＯＮかどうか判別する。通過後の
光量が最も少ないフィルタ３１通過時点でＯＮだった場
合には、光センサは正常に動作していると判断し、Ｙの
矢印に従ってステップ６に進み次カセット情報「ＮＥＸ
Ｔ」に１を代入する。

【００２６】次いでステップ７に進み、カセットを作業
対象のカセット載置台に載せ、ステップ８に進む。ステ
ップ８では、更にモータ１８を駆動してカセット載置台
５下面及び上面位置、続いて下段から１枚目、２枚目の
順にウエハ３の位置を検出する。センサ機構は載置した
カセット４の最上段まで上昇してカセット４に収納した
全てのウエハ位置を検出した後で、駆動原点である上昇
基準位置まで下降する。センサ機構が駆動原点に戻ると
ステップ９において搬送ロボット８の動作制御を行う。
ステップ９における搬送ロボット８の動作制御は従来例
と同様であり本発明とは直接関係が無いため詳細な説明
は省略する。ステップ１０においてカセット４に収納さ
れたウエハ全ての処理が終了すると、カセット単位の処
理が終了したと判断してステップ１１において図示しな
い前工程からの処理待ち、つまり未作業のカセットが待
機しているか判別する。未作業のカセットが無ければ一
連の処理を終了する（「ＥＮＤ」に進む）。未作業のカ
セットがある場合にはステップ２に戻る。

【００２７】未作業のカセットがあった場合、ステップ
２からステップ５まで進む。発光側素子２４の光量があ
る程度以上低下している場合には、ステップ５において
減光率６０％のフィルタ３１通過時の出力がＯＦＦにな
り「Ａ」に進む。

【００２８】「Ａ」以下の内容を図４に示す。ステップ
２０において減光率４０％のフィルタ３２通過時の出力
を判別する。出力がＯＮだった場合には、Ｙの矢印に従
ってステップ２１に進み、減光率２０％のフィルタ３３
通過時の出力を判別する。ステップ２１においても出力
がＯＮだった場合には、発光側素子２４の出力が若干低
下しているがウエハ位置検出には影響無い程度の出力低
下であるため、Ｙの矢印に従ってステップ２２で「要交
換」の表示を行いオペレータ（作業者）へ計画点検・保
守の時期を促すと共に、ステップ２３で次カセット情報
「ＮＥＸＴ」に１を代入し、次カセット載置が可能であ
る旨を表し「Ｂ」すなわち、図３に示すステップ７に戻
る。ステップ１１まで進み未作業のカセットが有る場合
には再度ステップ２に戻る。次カセット情報「ＮＥＸ
Ｔ」が１のため、「要交換」の表示はされているが、カ
セットを載置してウエハの処理を行うことはできる。

【００２９】更に発光側素子の発光量低下が進むと、ス
テップ２０において減光率４０％のフィルタ３２通過時
の出力がＯＦＦになり、Ｎの矢印に従ってステップ３１
に進む。ステップ３１で「警告：要交換」の表示を行う
と共に警告のためのアラームをならし、ステップ３２で
減光率２０％のフィルタ３３通過時の出力を判別する。
出力がＯＮであった場合には、発光側素子の出力が相当
低下しており１カセット分のウエハ位置検出には影響無
いが、次のカセット分のウエハ位置検出への影響が生じ
る可能性が有ると判断し、Ｙの矢印に従ってステップ３
３に進み、次カセット情報「ＮＥＸＴ」に０を代入し、
次カセットの載置は不可の旨を表す。その後、「Ｂ」す
なわち図３に示すステップ７に戻る。ステップ７乃至ス
テップ１１でウエハ位置の検出を行い、現在作業中のカ
セットに収納したウエハに対しては処理を完了するが、
ステップ２に戻った時は次カセット情報「ＮＥＸＴ」が
０のためステップ１２に進む。ステップ１２では光セン
サを交換済みかどうか判別し、光センサの交換を行って
いなければステップ１３に進み、番地番号１のカセット
載置台を作業対象からはずし、番地番号が１以外（ここ
では２及び３）のカセット載置台で処理を行う。光セン
サの交換が終了した場合には番地番号１のカセット載置
台を作業対象に戻してステップ３に戻る。

【００３０】図４に戻る。ステップ３２で判別した減光
率２０％のフィルタ３３通過時の出力がＯＦＦだった場
合にはステップ３３に進み、光センサの交換が終了して
いるかどうかを判別する。光センサが交換済みであれば
ステップ２３に進み、次カセット情報「ＮＥＸＴ」に１
を代入して図３に示すステップ７に戻る。光センサの交
換が終了していなければ次カセットの載置不可と判断し
てステップ３４で次カセット情報「ＮＥＸＴ」に０を代
入し、ウエハの位置は検出せずに「Ｃ」すなわち、ステ
ップ２に戻る。

【００３１】ステップ２で判別をした結果ステップ１２
に進むが、光センサの交換を行っていなければステップ
１３に進んで番地番号１のカセット載置台を作業対象か
らはずし、番地番号１以外（ここでは２及び３）のカセ
ット載置台を利用してウエハの搬送処理を行う。

【００３２】なお、ステップ２０において減光率４０％
のフィルタ３２通過時の出力がＯＮであれば通常はステ
ップ２１で減光率２０％のフィルタ３３の通過後の出力
がＯＦＦになることは無いが、万一出力がＯＦＦであっ
た場合には減光フィルタに何らかの異常が生じていると
判断し、ステップ２４でフィルタエラーとしてステップ
２５に進む。

【００３３】ステップ２５でフィルタの交換を行ってい
るかどうか判別し、交換済みであればステップ２３に進
む。ステップ２５でフィルタの交換を行っていなければ
ステップ２６で次カセット情報「ＮＥＸＴ」に０を代入
し、ステップＣすなわち図３に示すステップ２に戻る。

【００３４】フィルタの交換を行っていなければステッ
プ１３で番地番号１のカセット載置台を作業対象からは
ずし、番地番号１以外（ここでは２及び３）のカセット
載置台を利用してウエハの搬送処理を行う。

【００３５】ちなみに、本実施形態では、減光フィルタ
を三種類設けて、光センサの光軸が減光率６０％のフィ
ルタ３１通過時にＯＦＦになった時点で、コントローラ
５が光センサ交換の表示のみを行い、減光率４０％のフ
ィルタ３２通過時にＯＦＦになった時点で光センサ交換
の表示は行うが１カセットのみ処理を行うものとし、更
に減光率２０％のフィルタ３３通過時にＯＦＦになった
時点では、カセットを載置せず作業対象からはずすもの
としたが、使用する光センサの種類や耐久度などに応じ
て上記減光率以外のフィルタを用いてもよく、フィルタ
の種類が１種類であっても、更に多くの種類であっても
構わない。

【００３６】また、減光率６０％のフィルタ３１通過時
に出力信号がＯＦＦの場合には以下のステップで「要交
換」または「警告：要交換」の表示を行うが、減光率４
０％のフィルタ３２通過時に出力信号がＯＦＦの場合
（発光側素子の出力が相当低下しており１カセット分の
ウエハ検出には影響無いが、次のカセット分のウエハ検
出への影響が生じる可能性が有る場合）には、上述した
ようにアラーム（警告音）を発する他に表示を点滅させ
たり、減光率４０％のフィルタ３３通過時の出力信号が
ＯＮの場合（発光側素子の出力が若干低下しているがウ
エハ検出には影響無い程度の出力低下である場合）に比
べてオペレータ（作業者）の注意を引くようにしてもよ
い。

【００３７】また、本実施形態では、減光フィルタをセ
ンサ保持機構の上昇により減光率の高い順に光センサの
光軸が通過するように設けたが、この順番を変えてもよ
い。この場合、必要に応じて図３及び図４に示すステッ
プの順序を適宜変更してもよい。

【００３８】光センサの出力がＯＮ／ＯＦＦの２値であ
る場合を説明したが、連続的アナログ出力を発生する光
センサを用いることもできる。この場合は、光センサの
出力をコントローラで適当な閾値と比較し、上述のＯ
Ｎ、ＯＦＦに対応する信号を形成すればよい。

【００３９】以上述べたように、本実施形態によれば、
減光フィルタを設けたことによりウエハ位置を検出する
前にカセット載置台に設けた光センサの光量低下を把握
することができるため、光センサの交換表示が出たカセ
ット載置台にはカセットを載置せず、それ以外のカセッ
ト載置台を利用してウエハの搬送処理を行うことができ
る。また、光量低下の度合に応じて光センサの交換表示
が出るため光センサの交換を計画的に行うことができる
とともに、光量低下の度合に応じてカセットに収納した
ウエハの位置検出を行うか否か決定することができるた
め、一つのカセットに収納したウエハの位置検出中に作
業が停止することを防止できる。従って、一つのカセッ
ト単位で処理を終了させることができる。

【００４０】

【発明の効果】本発明によれば、センサ機構の上昇途中
かつカセットより下の位置で光センサの光軸が減光フィ
ルタを通り、減光フィルタを通過する光ビームの光量に
基づき光センサの消耗（劣化）度合を判断するととも
に、消耗（劣化）度合に応じて交換時期を判断すること
により、収納容器内のウエハを検出する前に光センサの
故障（異常）を検知して光センサを交換することがで
き、ウエハ搬送ロボット自体の動作や基板処理装置の処
理までも停止することが無いウエハ搬送装置を得ること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態におけるウエハ位置検出装
置の概略図である。

【図２】図１に示す一実施形態における各部の信号波形
図である。

【図３】図１乃至図２に示す一実施形態におけるコント
ローラの制御内容を示すフローチャートである。

【図４】図１乃至図２に示す一実施形態におけるコント
ローラの制御内容を示すフローチャートである。

【図５】従来の基板処理装置の概略レイアウトを示す図
である。

【図６】図５に示す基板処理装置におけるウエハ位置検
出手段を示す図である。

【図７】図５及び図６に示す従来例におけるウエハ検出
装置各部の信号波形図である。

【符号の説明】

１…基板処理装置 １ａ…搬入口 １
ｂ…搬出口 ２…ウエハ搬送部 ２ａ…ウエハ待機部 ２
ｂ…中継部 ３…ウエハ ４…カセット ５…カセット載置台 ６…センタリングユニット ７ａ，７ｂ…センサ昇降孔 ８…搬送ロボット ９…
コントローラ １１ａ…底部 １１ｂ…壁部 １２…ボールネジ １３，１５，１６…プーリ １４…ベルト １７…エンコーダ
１８…モータ １９…ガイドレール ２０…ガイド ２１，２２，２３…プレート ２４…発光側素子 ２５…受光側素子 ３０…減光フィルタ ３１…減光率６０％のフィ
ルタ ３２…減光率４０％のフィルタ ３３…減光率２
０％のフィルタ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ウエハを収納する収納容器を上部に載置す
   る載置台と、 該収納容器からウエハを搬出入するロボットハンドと、
   該収納容器内のウエハを検出するための光センサを有す
   るセンサ機構と、載置台の下方から収納容器の上面まで
   センサ機構を上下動する駆動機構とを有し、センサ機構
   の上下動により光センサが上下動し収納容器内のウエハ
   位置を検出するウエハ検出手段とを有しているウエハ搬
   送装置において、 該センサ機構の上昇途中ウエハ検出前の位置に、該光セ
   ンサの光軸を遮断する箇所に設けた減光フィルタと、 該減光フィルタを通過した光の光センサ出力に基づき光
   センサの消耗（劣化）度合を判断し、消耗（劣化）度合
   に応じて交換時期を判断する機能を有する制御手段とを
   設けたことを特徴とするウエハ搬送装置。
2. 【請求項２】請求項１に記載のウエハ搬送装置におい
   て、該制御手段が、減光フィルタを通過した光の光セン
   サ出力に基づき収納容器に収納したウエハ全数を検出可
   能か否か判断するとともに、ウエハ全数を検出できない
   場合に光センサの交換を判断する機能を有することを特
   徴とするウエハ搬送装置。