JPH11106971A - 金属薄板の洗浄方法および洗浄装置 - Google Patents
金属薄板の洗浄方法および洗浄装置Info
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- JPH11106971A JPH11106971A JP29344197A JP29344197A JPH11106971A JP H11106971 A JPH11106971 A JP H11106971A JP 29344197 A JP29344197 A JP 29344197A JP 29344197 A JP29344197 A JP 29344197A JP H11106971 A JPH11106971 A JP H11106971A
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Landscapes
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- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 金属薄板の表面から油分がほぼ完全に除去さ
れて、塗布工程へ送られる金属薄板の表面に油分が残留
することがなくなるような洗浄方法を提供する。 【解決手段】 金属薄板１の主面に付着した油分を除去
する工程で、金属薄板が浸漬させられる脱脂槽１０内の
脱脂液１４中の油分濃度を２，０００ｐｐｍ以下に維持
させる。
れて、塗布工程へ送られる金属薄板の表面に油分が残留
することがなくなるような洗浄方法を提供する。 【解決手段】 金属薄板１の主面に付着した油分を除去
する工程で、金属薄板が浸漬させられる脱脂槽１０内の
脱脂液１４中の油分濃度を２，０００ｐｐｍ以下に維持
させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、カラーブラウン
管用のシャドウマスク、トリニトロン（登録商標）管用
のアパーチャグリル、半導体素子用のリードフレームな
どのエッチング製品をフォトエッチング法により製造す
る場合において、素材である金属薄板の主面に水溶性の
感光性レジストを塗布する塗布工程に先立ち、金属薄板
の主面に付着した油分を除去するための金属薄板の洗浄
方法、ならびに、その方法の実施に使用される金属薄板
の洗浄装置に関する。
管用のシャドウマスク、トリニトロン（登録商標）管用
のアパーチャグリル、半導体素子用のリードフレームな
どのエッチング製品をフォトエッチング法により製造す
る場合において、素材である金属薄板の主面に水溶性の
感光性レジストを塗布する塗布工程に先立ち、金属薄板
の主面に付着した油分を除去するための金属薄板の洗浄
方法、ならびに、その方法の実施に使用される金属薄板
の洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】シャドウマスクやアパーチャグリル、リ
ードフレームなどは、一般に、フォトエッチング法を利
用して、長尺の金属薄板をその長手方向へ搬送させなが
ら、金属薄板に対して以下のような各種加工を順次施す
ことにより製造される。例えばシャドウマスクの一連の
製造過程を説明すると、まず、板厚が０．１ｍｍ〜０．
３ｍｍ程度である長尺の金属薄板を脱脂および水洗する
ことにより、金属薄板の主面に付着した油分などを除去
する（洗浄工程）。次に、金属薄板の両主面に感光性を
有するレジスト、例えば牛乳カゼインと重クロム酸アン
モニウムとを含有する水溶性の感光性レジストを塗布し
て乾燥させることにより、金属薄板の両主面に厚みが数
μｍ程度であるレジスト膜を形成する（塗布工程）。続
いて、金属薄板の両主面に形成された各レジスト膜の表
面に所定のパターンを有する各マスク材をそれぞれ密着
させて露光することにより、電子ビーム通過孔に対応す
る多数の孔パターンの画像をレジスト膜に焼き付ける
（焼付工程）。次に、金属薄板の両主面に現像液を吹き
付けることにより、レジスト膜に潜像化している所定の
パターンを現像化させる（現像工程）。次いで、金属薄
板を硬膜液に浸漬させた後、金属薄板に加熱（バーニン
グ）処理を施してレジスト膜を乾燥および硬化させるこ
とにより、金属薄板の両主面に所定のパターンを有する
耐エッチング性のレジスト膜を形成させる（硬膜工
程）。次に、レジスト膜が形成された金属薄板にエッチ
ング液を吹き付けて、金属薄板の主面の、レジスト膜が
被着していない被エッチング面をエッチングすることに
より、金属薄板に電子ビーム通過孔となる多数の透孔を
形成する（エッチング工程）。そして、金属薄板に被着
したレジスト膜を金属薄板の両主面から剥離させる（剥
離工程）。最後に、長尺の金属薄板を切断して、多数の
枚葉形態のシャドウマスクを得る（シャーリング工
程）。
ードフレームなどは、一般に、フォトエッチング法を利
用して、長尺の金属薄板をその長手方向へ搬送させなが
ら、金属薄板に対して以下のような各種加工を順次施す
ことにより製造される。例えばシャドウマスクの一連の
製造過程を説明すると、まず、板厚が０．１ｍｍ〜０．
３ｍｍ程度である長尺の金属薄板を脱脂および水洗する
ことにより、金属薄板の主面に付着した油分などを除去
する（洗浄工程）。次に、金属薄板の両主面に感光性を
有するレジスト、例えば牛乳カゼインと重クロム酸アン
モニウムとを含有する水溶性の感光性レジストを塗布し
て乾燥させることにより、金属薄板の両主面に厚みが数
μｍ程度であるレジスト膜を形成する（塗布工程）。続
いて、金属薄板の両主面に形成された各レジスト膜の表
面に所定のパターンを有する各マスク材をそれぞれ密着
させて露光することにより、電子ビーム通過孔に対応す
る多数の孔パターンの画像をレジスト膜に焼き付ける
（焼付工程）。次に、金属薄板の両主面に現像液を吹き
付けることにより、レジスト膜に潜像化している所定の
パターンを現像化させる（現像工程）。次いで、金属薄
板を硬膜液に浸漬させた後、金属薄板に加熱（バーニン
グ）処理を施してレジスト膜を乾燥および硬化させるこ
とにより、金属薄板の両主面に所定のパターンを有する
耐エッチング性のレジスト膜を形成させる（硬膜工
程）。次に、レジスト膜が形成された金属薄板にエッチ
ング液を吹き付けて、金属薄板の主面の、レジスト膜が
被着していない被エッチング面をエッチングすることに
より、金属薄板に電子ビーム通過孔となる多数の透孔を
形成する（エッチング工程）。そして、金属薄板に被着
したレジスト膜を金属薄板の両主面から剥離させる（剥
離工程）。最後に、長尺の金属薄板を切断して、多数の
枚葉形態のシャドウマスクを得る（シャーリング工
程）。
【０００３】以上のようなシャドウマスクの製造過程に
おいて、洗浄工程では、金属薄板に付着した冷間圧延時
の油や防錆油、汚染物質などを除去するために、界面活
性剤を含むアルカリ性の脱脂液中に金属薄板を浸漬させ
る脱脂処理が行われる。図４は、従来の金属薄板の洗浄
装置の概略構成を示す模式図である。
おいて、洗浄工程では、金属薄板に付着した冷間圧延時
の油や防錆油、汚染物質などを除去するために、界面活
性剤を含むアルカリ性の脱脂液中に金属薄板を浸漬させ
る脱脂処理が行われる。図４は、従来の金属薄板の洗浄
装置の概略構成を示す模式図である。
【０００４】この洗浄装置は、脱脂槽１０および水洗槽
１２を備えている。脱脂槽１０内には、脱脂液１４が収
容されており、水洗槽１２の内部には、多数のスプレイ
ノズル１６を有するスプレイ管１８が配設されている。
そして、シャドウマスク素材である金属薄板１は、複数
本の搬送ローラ２０により長手方向へ連続して搬送さ
れ、脱脂槽１０内の脱脂液１４中に浸漬させられて脱脂
処理された後、水洗槽１２内へ送られ、水洗槽１２内を
通過する間に、スプレイ管１８のスプレイノズル１６か
ら水を吹き付けられて水洗処理される。また、脱脂槽１
０の出口には、一対の液切りローラ２２、２２が配設さ
れており、この一対の液切りローラ２２、２２により、
脱脂槽１０から搬出される金属薄板１に付着した脱脂液
を搾り取って、脱脂液が脱脂槽１０外へ持ち出されない
ようにしている。水洗槽１２で水洗処理された金属薄板
１は、水洗槽１２の後段側に設置された図示しないレジ
スト塗布装置へ送られる。
１２を備えている。脱脂槽１０内には、脱脂液１４が収
容されており、水洗槽１２の内部には、多数のスプレイ
ノズル１６を有するスプレイ管１８が配設されている。
そして、シャドウマスク素材である金属薄板１は、複数
本の搬送ローラ２０により長手方向へ連続して搬送さ
れ、脱脂槽１０内の脱脂液１４中に浸漬させられて脱脂
処理された後、水洗槽１２内へ送られ、水洗槽１２内を
通過する間に、スプレイ管１８のスプレイノズル１６か
ら水を吹き付けられて水洗処理される。また、脱脂槽１
０の出口には、一対の液切りローラ２２、２２が配設さ
れており、この一対の液切りローラ２２、２２により、
脱脂槽１０から搬出される金属薄板１に付着した脱脂液
を搾り取って、脱脂液が脱脂槽１０外へ持ち出されない
ようにしている。水洗槽１２で水洗処理された金属薄板
１は、水洗槽１２の後段側に設置された図示しないレジ
スト塗布装置へ送られる。
【０００５】また、脱脂槽１０内へは調合槽２４で調合
された脱脂新液が調合槽２４から補充されるようになっ
ている。一方、金属薄板１の脱脂処理に使用され金属薄
板１から取り去った油分を含む脱脂液の一部は、脱脂槽
１０からオーバーフローし、そのオーバーフローした脱
脂液を受け入れるための受槽２６が設けられている。受
槽２６内へ流れ込んだ含油脱脂液２８は、受槽２６内に
おいて長時間静置され、比重差により油分が分離され
る。そして、受槽２６内で比重差により浮上した油分
は、受槽２６からオーバーフローし、そのオーバーフロ
ーした油分を受け入れるための油槽３０が受槽２６に連
設されている。油槽３０内へ流入した油分３２は、ドラ
ム缶３４内に回収され、また、受槽２６内で油分が分離
された使用済み脱脂液は、排水管６０を通って浄水場へ
送られていた。
された脱脂新液が調合槽２４から補充されるようになっ
ている。一方、金属薄板１の脱脂処理に使用され金属薄
板１から取り去った油分を含む脱脂液の一部は、脱脂槽
１０からオーバーフローし、そのオーバーフローした脱
脂液を受け入れるための受槽２６が設けられている。受
槽２６内へ流れ込んだ含油脱脂液２８は、受槽２６内に
おいて長時間静置され、比重差により油分が分離され
る。そして、受槽２６内で比重差により浮上した油分
は、受槽２６からオーバーフローし、そのオーバーフロ
ーした油分を受け入れるための油槽３０が受槽２６に連
設されている。油槽３０内へ流入した油分３２は、ドラ
ム缶３４内に回収され、また、受槽２６内で油分が分離
された使用済み脱脂液は、排水管６０を通って浄水場へ
送られていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の洗浄
装置のように、脱脂槽１０からオーバーフローした含油
脱脂液２８を受槽２６内で長時間静置させて比重差によ
り油分を分離する方式では、受槽２６の容量的制約や分
離時間の長さから、受槽２６での処理能力に限界があ
る。このため、脱脂槽１０からオーバーフローさせる脱
脂液の量を或る程度以上に多くすることができず、した
がって、調合槽２４から脱脂槽１０へ補充される脱脂新
液の量も或る程度以上には多くすることができない。こ
の結果、従来の洗浄装置では、脱脂槽１０内の脱脂液１
４中の油分濃度が５，０００ｐｐｍ程度まで上昇してい
た。
装置のように、脱脂槽１０からオーバーフローした含油
脱脂液２８を受槽２６内で長時間静置させて比重差によ
り油分を分離する方式では、受槽２６の容量的制約や分
離時間の長さから、受槽２６での処理能力に限界があ
る。このため、脱脂槽１０からオーバーフローさせる脱
脂液の量を或る程度以上に多くすることができず、した
がって、調合槽２４から脱脂槽１０へ補充される脱脂新
液の量も或る程度以上には多くすることができない。こ
の結果、従来の洗浄装置では、脱脂槽１０内の脱脂液１
４中の油分濃度が５，０００ｐｐｍ程度まで上昇してい
た。
【０００７】しかしながら、脱脂槽１０内の脱脂液１４
中の油分濃度が５，０００ｐｐｍ程度に上昇すると、金
属薄板１の脱脂性が非常に悪くなり、洗浄工程後に金属
薄板の表面に、金属粉を含んだ油滴のような異物が残留
することになる。この結果、金属薄板表面と残留異物と
の間に異極間電位差が生じるなどして、金属薄板の表面
に点錆が発生し、シャドウマスク製品に「黒ピン」や
「白ピン」と呼ばれる透孔の形状不良が発生する原因と
なる。また、洗浄工程に続いて行われる塗布工程におい
て、例えば牛乳カゼインと重クロム酸アンモニウムとか
らなる水溶性の感光性レジストを金属薄板の表面に塗布
したときに、残留油分がレジストを円形状にはじいて、
その円形部分だけ金属薄板の表面にレジストが塗布され
ない「ハジキ」と呼ばれる塗布不良が発生することにな
る。さらに、金属薄板上の残留油分や金属薄板の表面に
付着した脱脂液中に高濃度に含まれた油分が脱脂槽１０
から持ち出されると、特にエマルジョン状態の油分は、
水洗槽１２内での水洗処理によっても金属薄板の表面か
ら除去することが困難であり、そのままレジスト塗布装
置のレジストタンク内へ持ち込まれて、レジストを汚染
する原因となる。
中の油分濃度が５，０００ｐｐｍ程度に上昇すると、金
属薄板１の脱脂性が非常に悪くなり、洗浄工程後に金属
薄板の表面に、金属粉を含んだ油滴のような異物が残留
することになる。この結果、金属薄板表面と残留異物と
の間に異極間電位差が生じるなどして、金属薄板の表面
に点錆が発生し、シャドウマスク製品に「黒ピン」や
「白ピン」と呼ばれる透孔の形状不良が発生する原因と
なる。また、洗浄工程に続いて行われる塗布工程におい
て、例えば牛乳カゼインと重クロム酸アンモニウムとか
らなる水溶性の感光性レジストを金属薄板の表面に塗布
したときに、残留油分がレジストを円形状にはじいて、
その円形部分だけ金属薄板の表面にレジストが塗布され
ない「ハジキ」と呼ばれる塗布不良が発生することにな
る。さらに、金属薄板上の残留油分や金属薄板の表面に
付着した脱脂液中に高濃度に含まれた油分が脱脂槽１０
から持ち出されると、特にエマルジョン状態の油分は、
水洗槽１２内での水洗処理によっても金属薄板の表面か
ら除去することが困難であり、そのままレジスト塗布装
置のレジストタンク内へ持ち込まれて、レジストを汚染
する原因となる。
【０００８】また、受槽２６内での比重差による油分の
分離方式では、鉱物油等がエマルジョン状態となった油
分や溶解型の動植物油、エステル油などの油分は、脱脂
液から分離することが困難であり、これらの油分を含ん
だままの脱脂液が排水管６０を通って浄水場へ流れる。
また、受槽２６の容量を超える脱脂液が、脱脂槽１０か
ら受槽２６内へ流れ込んできた場合には、受槽２６内で
油分が十分に分離されないで、受槽２６から脱脂液が油
分の多い状態のままで浄水場へ流れる。このため、浄水
場では、中和剤による中和処理と活性汚泥による微生物
処理とを日常的に行う必要があった。
分離方式では、鉱物油等がエマルジョン状態となった油
分や溶解型の動植物油、エステル油などの油分は、脱脂
液から分離することが困難であり、これらの油分を含ん
だままの脱脂液が排水管６０を通って浄水場へ流れる。
また、受槽２６の容量を超える脱脂液が、脱脂槽１０か
ら受槽２６内へ流れ込んできた場合には、受槽２６内で
油分が十分に分離されないで、受槽２６から脱脂液が油
分の多い状態のままで浄水場へ流れる。このため、浄水
場では、中和剤による中和処理と活性汚泥による微生物
処理とを日常的に行う必要があった。
【０００９】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、脱脂槽内の脱脂液の脱脂性が十分に
維持されて、洗浄工程後において、金属薄板の表面に点
錆が発生する原因となるような異物が金属薄板の表面に
残留することがなく、また、洗浄工程に続いて行われる
塗布工程で水溶性の感光性レジストの、「ハジキ」と呼
ばれるような塗布不良が発生する原因となる油分が金属
薄板の表面に残留することがなく、さらに、レジスト塗
布装置のレジストタンク内のレジストの汚染の原因とな
るような、金属薄板上の残留油分や金属薄板の表面に付
着した脱脂液中の含有油分が、脱脂槽から持ち出される
ことがない金属薄板の洗浄方法を提供することを目的と
し、また、そのような洗浄方法を好適に実施することが
できる金属薄板の洗浄装置を提供すること、ならびに、
前記洗浄方法を好適に実施することができ、さらに、装
置から排出される廃液を無くしもしくはその量を減少さ
せて、浄水場での排水処理を不要にしもしくはその負荷
を低減させることができる金属薄板の洗浄装置を提供す
ることを目的とする。
されたものであり、脱脂槽内の脱脂液の脱脂性が十分に
維持されて、洗浄工程後において、金属薄板の表面に点
錆が発生する原因となるような異物が金属薄板の表面に
残留することがなく、また、洗浄工程に続いて行われる
塗布工程で水溶性の感光性レジストの、「ハジキ」と呼
ばれるような塗布不良が発生する原因となる油分が金属
薄板の表面に残留することがなく、さらに、レジスト塗
布装置のレジストタンク内のレジストの汚染の原因とな
るような、金属薄板上の残留油分や金属薄板の表面に付
着した脱脂液中の含有油分が、脱脂槽から持ち出される
ことがない金属薄板の洗浄方法を提供することを目的と
し、また、そのような洗浄方法を好適に実施することが
できる金属薄板の洗浄装置を提供すること、ならびに、
前記洗浄方法を好適に実施することができ、さらに、装
置から排出される廃液を無くしもしくはその量を減少さ
せて、浄水場での排水処理を不要にしもしくはその負荷
を低減させることができる金属薄板の洗浄装置を提供す
ることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
金属薄板の主面に水溶性の感光性レジストを塗布する塗
布工程に先立ち、金属薄板を脱脂液中に浸漬させて、金
属薄板の主面に付着した油分を除去する金属薄板の洗浄
方法において、前記脱脂液中の油分濃度を２，０００ｐ
ｐｍ以下に維持させることを特徴とする。
金属薄板の主面に水溶性の感光性レジストを塗布する塗
布工程に先立ち、金属薄板を脱脂液中に浸漬させて、金
属薄板の主面に付着した油分を除去する金属薄板の洗浄
方法において、前記脱脂液中の油分濃度を２，０００ｐ
ｐｍ以下に維持させることを特徴とする。
【００１１】請求項２に係る発明は、請求項１記載の洗
浄方法において、脱脂液の温度を５０℃〜６５℃の範囲
内に調節することを特徴とする。
浄方法において、脱脂液の温度を５０℃〜６５℃の範囲
内に調節することを特徴とする。
【００１２】請求項３に係る発明は、請求項１または請
求項２記載の洗浄方法において、金属薄板を脱脂液中に
浸漬させる時間を６０秒〜１２０秒の範囲内とすること
を特徴とする。
求項２記載の洗浄方法において、金属薄板を脱脂液中に
浸漬させる時間を６０秒〜１２０秒の範囲内とすること
を特徴とする。
【００１３】請求項４に係る発明は、請求項１ないし請
求項３のいずれかに記載の洗浄方法において、金属薄板
を脱脂液中に浸漬させた後に金属薄板を水洗することを
特徴とする。
求項３のいずれかに記載の洗浄方法において、金属薄板
を脱脂液中に浸漬させた後に金属薄板を水洗することを
特徴とする。
【００１４】請求項５に係る発明は、請求項１ないし請
求項４のいずれかに記載の洗浄方法において、金属薄板
を脱脂液中に浸漬させる前に金属薄板を温湯中に浸漬さ
せることを特徴とする。
求項４のいずれかに記載の洗浄方法において、金属薄板
を脱脂液中に浸漬させる前に金属薄板を温湯中に浸漬さ
せることを特徴とする。
【００１５】請求項６に係る発明は、脱脂液が貯留され
た脱脂槽を有し、金属薄板の主面に水溶性の感光性レジ
ストを塗布する塗布工程に先立ち、金属薄板を前記脱脂
槽内の脱脂液中に浸漬させて、金属薄板の主面に付着し
た油分を除去する金属薄板の洗浄装置において、前記脱
脂槽内の脱脂液中の油分濃度が２，０００ｐｐｍ以下に
維持されるように調整する油分濃度調整手段を設けたこ
とを特徴とする。
た脱脂槽を有し、金属薄板の主面に水溶性の感光性レジ
ストを塗布する塗布工程に先立ち、金属薄板を前記脱脂
槽内の脱脂液中に浸漬させて、金属薄板の主面に付着し
た油分を除去する金属薄板の洗浄装置において、前記脱
脂槽内の脱脂液中の油分濃度が２，０００ｐｐｍ以下に
維持されるように調整する油分濃度調整手段を設けたこ
とを特徴とする。
【００１６】請求項７に係る発明は、請求項６記載の洗
浄装置において、脱脂槽内に貯留された脱脂液の一部を
脱脂槽外へ流出させて、その流出した脱脂液を再び脱脂
槽内へ戻す循環経路を設け、その循環経路の途中に、脱
脂槽外へ流出した脱脂液中の油分を除去する油水分離手
段を介設し、その油水分離手段により脱脂液中から分離
された油分を回収する油分回収手段を設けて、上記した
油分濃度調整手段を構成したことを特徴とする。
浄装置において、脱脂槽内に貯留された脱脂液の一部を
脱脂槽外へ流出させて、その流出した脱脂液を再び脱脂
槽内へ戻す循環経路を設け、その循環経路の途中に、脱
脂槽外へ流出した脱脂液中の油分を除去する油水分離手
段を介設し、その油水分離手段により脱脂液中から分離
された油分を回収する油分回収手段を設けて、上記した
油分濃度調整手段を構成したことを特徴とする。
【００１７】請求項８に係る発明は、請求項６または請
求項７記載の洗浄装置において、脱脂槽内に貯留された
脱脂液の温度を５０℃〜６５℃の範囲内に調節する温度
調節手段を設けたことを特徴とする。
求項７記載の洗浄装置において、脱脂槽内に貯留された
脱脂液の温度を５０℃〜６５℃の範囲内に調節する温度
調節手段を設けたことを特徴とする。
【００１８】請求項９に係る発明は、請求項６ないし請
求項８のいずれかに記載の洗浄装置において、金属薄板
を脱脂槽内の脱脂液中に浸漬させる時間を６０秒〜１２
０秒の範囲内に制御する浸漬時間制御手段を設けたこと
を特徴とする。
求項８のいずれかに記載の洗浄装置において、金属薄板
を脱脂槽内の脱脂液中に浸漬させる時間を６０秒〜１２
０秒の範囲内に制御する浸漬時間制御手段を設けたこと
を特徴とする。
【００１９】請求項１０に係る発明は、請求項６ないし
請求項９記載のいずれかに記載の洗浄装置において、脱
脂槽内の脱脂液中に浸漬させられた後の金属薄板を水洗
する水洗手段を設けたことを特徴とする。
請求項９記載のいずれかに記載の洗浄装置において、脱
脂槽内の脱脂液中に浸漬させられた後の金属薄板を水洗
する水洗手段を設けたことを特徴とする。
【００２０】請求項１１に係る発明は、請求項６ないし
請求項１０のいずれかに記載の洗浄装置において、温湯
が貯留された温湯槽を設け、その温湯槽内の温湯中に、
脱脂槽内の脱脂液中に浸漬させられる前の金属薄板が浸
漬させられるようにしたことを特徴とする。
請求項１０のいずれかに記載の洗浄装置において、温湯
が貯留された温湯槽を設け、その温湯槽内の温湯中に、
脱脂槽内の脱脂液中に浸漬させられる前の金属薄板が浸
漬させられるようにしたことを特徴とする。
【００２１】請求項１に係る発明の金属薄板の洗浄方法
によると、脱脂槽内の脱脂液の脱脂性が十分に維持され
るため、脱脂槽内の脱脂液中に浸漬させられて脱脂処理
された金属薄板は、その表面から油分がほぼ完全に除去
されて、塗布工程へ送られる金属薄板の表面に油分が残
留することはなくなる。
によると、脱脂槽内の脱脂液の脱脂性が十分に維持され
るため、脱脂槽内の脱脂液中に浸漬させられて脱脂処理
された金属薄板は、その表面から油分がほぼ完全に除去
されて、塗布工程へ送られる金属薄板の表面に油分が残
留することはなくなる。
【００２２】請求項２に係る発明の洗浄方法では、脱脂
槽内の脱脂液の脱脂性がより高まり、金属薄板の脱脂処
理の効率がより良くなる。
槽内の脱脂液の脱脂性がより高まり、金属薄板の脱脂処
理の効率がより良くなる。
【００２３】請求項３に係る発明の洗浄方法では、金属
薄板の脱脂処理が良好に行われて、金属薄板の表面から
十分に油分が除去される。
薄板の脱脂処理が良好に行われて、金属薄板の表面から
十分に油分が除去される。
【００２４】請求項４に係る発明の洗浄方法では、脱脂
槽から搬出された金属薄板の表面に付着した汚染物質が
金属薄板表面から除去される。
槽から搬出された金属薄板の表面に付着した汚染物質が
金属薄板表面から除去される。
【００２５】請求項５に係る発明の洗浄方法では、金属
薄板を温湯中に浸漬させることにより、金属薄板の表面
から比較的除去しやすい油分や汚染物質が除去されるの
で、その後に金属薄板を脱脂液中に浸漬させたときに、
脱脂液によって金属薄板の表面から除去すべき油分の量
が減少して、脱脂液中の油分濃度の上昇の程度が小さく
なり、このため、脱脂液中の油分濃度を２，０００ｐｐ
ｍ以下に維持させることがより容易になる。
薄板を温湯中に浸漬させることにより、金属薄板の表面
から比較的除去しやすい油分や汚染物質が除去されるの
で、その後に金属薄板を脱脂液中に浸漬させたときに、
脱脂液によって金属薄板の表面から除去すべき油分の量
が減少して、脱脂液中の油分濃度の上昇の程度が小さく
なり、このため、脱脂液中の油分濃度を２，０００ｐｐ
ｍ以下に維持させることがより容易になる。
【００２６】請求項６に係る発明の金属薄板の洗浄装置
を使用すると、油分濃度調整手段により、脱脂槽内の脱
脂液中の油分濃度が２，０００ｐｐｍ以下に維持される
ように調整されるので、脱脂槽内の脱脂液の脱脂性が十
分に維持され、このため、脱脂槽内の脱脂液中に浸漬さ
せられて脱脂処理された金属薄板は、その表面から油分
がほぼ完全に除去されて、塗布工程へ送られる金属薄板
の表面に油分が残留することはなくなる。
を使用すると、油分濃度調整手段により、脱脂槽内の脱
脂液中の油分濃度が２，０００ｐｐｍ以下に維持される
ように調整されるので、脱脂槽内の脱脂液の脱脂性が十
分に維持され、このため、脱脂槽内の脱脂液中に浸漬さ
せられて脱脂処理された金属薄板は、その表面から油分
がほぼ完全に除去されて、塗布工程へ送られる金属薄板
の表面に油分が残留することはなくなる。
【００２７】請求項７に係る発明の洗浄装置では、脱脂
槽内の脱脂液は、循環経路を通って循環させられ、か
つ、循環経路の途中に介設された油水分離手段によって
油分が除去された後に脱脂槽内へ戻されることにより、
油分濃度が２，０００ｐｐｍ以下に維持される。そし
て、この洗浄装置では、脱脂液が循環使用されるので、
洗浄装置から浄水場へ廃液を流さなくてよくなる。
槽内の脱脂液は、循環経路を通って循環させられ、か
つ、循環経路の途中に介設された油水分離手段によって
油分が除去された後に脱脂槽内へ戻されることにより、
油分濃度が２，０００ｐｐｍ以下に維持される。そし
て、この洗浄装置では、脱脂液が循環使用されるので、
洗浄装置から浄水場へ廃液を流さなくてよくなる。
【００２８】請求項８に係る発明の洗浄装置では、温度
調節手段により、脱脂槽内の脱脂液の温度が５０℃〜６
５℃の範囲内に調節されるので、脱脂槽内の脱脂液の脱
脂性がより高まり、金属薄板の脱脂処理の効率がより良
くなる。
調節手段により、脱脂槽内の脱脂液の温度が５０℃〜６
５℃の範囲内に調節されるので、脱脂槽内の脱脂液の脱
脂性がより高まり、金属薄板の脱脂処理の効率がより良
くなる。
【００２９】請求項９に係る発明の洗浄装置では、浸漬
時間制御手段により、金属薄板を脱脂槽内の脱脂液中に
浸漬させる時間が６０秒〜１２０秒の範囲内に制御され
るので、金属薄板の脱脂処理が良好に行われて、金属薄
板の表面から十分に油分が除去される。
時間制御手段により、金属薄板を脱脂槽内の脱脂液中に
浸漬させる時間が６０秒〜１２０秒の範囲内に制御され
るので、金属薄板の脱脂処理が良好に行われて、金属薄
板の表面から十分に油分が除去される。
【００３０】請求項１０に係る発明の洗浄装置では、水
洗手段によって金属薄板が水洗されることにより、脱脂
槽から搬出された金属薄板の表面に付着した汚染物質が
金属薄板表面から除去される。
洗手段によって金属薄板が水洗されることにより、脱脂
槽から搬出された金属薄板の表面に付着した汚染物質が
金属薄板表面から除去される。
【００３１】請求項１１に係る発明の洗浄装置では、温
湯槽内の温湯中に金属薄板が浸漬させられることによ
り、金属薄板の表面から比較的除去しやすい油分や汚染
物質が除去されるので、その後に金属薄板を脱脂液中に
浸漬させたときに、脱脂液によって金属薄板の表面から
除去すべき油分の量が減少して、脱脂液中の油分濃度の
上昇の程度が小さくなり、このため、油分濃度調整手段
により脱脂液中の油分濃度を２，０００ｐｐｍ以下に維
持させることがより容易になる。
湯槽内の温湯中に金属薄板が浸漬させられることによ
り、金属薄板の表面から比較的除去しやすい油分や汚染
物質が除去されるので、その後に金属薄板を脱脂液中に
浸漬させたときに、脱脂液によって金属薄板の表面から
除去すべき油分の量が減少して、脱脂液中の油分濃度の
上昇の程度が小さくなり、このため、油分濃度調整手段
により脱脂液中の油分濃度を２，０００ｐｐｍ以下に維
持させることがより容易になる。
【００３２】
【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
について図１ないし図３を参照しながら説明する。
について図１ないし図３を参照しながら説明する。
【００３３】図１は、この発明に係る金属薄板の洗浄方
法を実施するのに使用される洗浄装置の概略構成を示す
模式図である。図１において、図４に示した従来の洗浄
装置と共通する構成については、それぞれの構成要素に
同一の符号を付して、その説明を省略する。
法を実施するのに使用される洗浄装置の概略構成を示す
模式図である。図１において、図４に示した従来の洗浄
装置と共通する構成については、それぞれの構成要素に
同一の符号を付して、その説明を省略する。
【００３４】図１に示した洗浄装置には、油水分離装置
３６が設けられており、この油水分離装置３６は、脱脂
槽１０からオーバーフローした含油脱脂液２８を貯留す
る受槽２６と流路接続している。そして、受槽２６内に
おいて比重差により油分の一部が分離された後の、未だ
油分を含んだ脱脂液が、受槽２６からポンプ（図示せ
ず）によって油水分離装置３６へ送られるようになって
いる。なお、受槽２６内で比重差により浮上した油分
は、従来の装置と同様に、受槽２６からオーバーフロー
して油槽３０へ流入する。受槽２６から油水分離装置３
６へ送られた油分を含んだ脱脂液は、油水分離装置３６
により油分と油分が除去された再生液とに分離される。
油水分離装置３６は、油槽３０および脱脂槽１０とそれ
ぞれ配管によって接続されている。そして、油水分離装
置３６において脱脂液から分離された油分が、油水分離
装置３６からポンプ（図示せず）によって油槽３０内へ
送られ、一方、油分が除去された後の再生液が、油水分
離装置３６からポンプ３８によって脱脂槽１０内へ送ら
れるようになっている。なお、受槽２６からオーバーフ
ローして油槽３０内へ流入した油分３２および油水分離
装置３６から送液されて油槽３０内へ流入した油分３２
は、従来の装置と同様に、ドラム缶３４内に回収され
る。
３６が設けられており、この油水分離装置３６は、脱脂
槽１０からオーバーフローした含油脱脂液２８を貯留す
る受槽２６と流路接続している。そして、受槽２６内に
おいて比重差により油分の一部が分離された後の、未だ
油分を含んだ脱脂液が、受槽２６からポンプ（図示せ
ず）によって油水分離装置３６へ送られるようになって
いる。なお、受槽２６内で比重差により浮上した油分
は、従来の装置と同様に、受槽２６からオーバーフロー
して油槽３０へ流入する。受槽２６から油水分離装置３
６へ送られた油分を含んだ脱脂液は、油水分離装置３６
により油分と油分が除去された再生液とに分離される。
油水分離装置３６は、油槽３０および脱脂槽１０とそれ
ぞれ配管によって接続されている。そして、油水分離装
置３６において脱脂液から分離された油分が、油水分離
装置３６からポンプ（図示せず）によって油槽３０内へ
送られ、一方、油分が除去された後の再生液が、油水分
離装置３６からポンプ３８によって脱脂槽１０内へ送ら
れるようになっている。なお、受槽２６からオーバーフ
ローして油槽３０内へ流入した油分３２および油水分離
装置３６から送液されて油槽３０内へ流入した油分３２
は、従来の装置と同様に、ドラム缶３４内に回収され
る。
【００３５】ここで、油水分離装置３６によって処理さ
れた脱脂液中のアルカリ性成分は、ほとんど再生液中へ
移行し、上記したように再生液は脱脂槽１０内へ送られ
て再使用されるが、脱脂液中の界面活性剤成分は、脱脂
のために用いられ油分と共に脱脂液から分離されて油槽
３０内へ送れられるものもある。このため、油水分離装
置３６を通して脱脂液を循環使用すると、脱脂槽１０内
の脱脂液１４中の界面活性剤濃度が低下することになる
ので、その濃度低下を防止して脱脂槽１０内の脱脂液１
４中の界面活性剤濃度を常に同等程度に維持するため
に、調合槽２４において、脱脂液中の界面活性剤成分だ
けが従来と比較して高い濃度となるように脱脂新液を調
合するようにされる。一方、油水分離装置３６から再生
液が脱脂槽１０内へ供給されるので、調合槽２４から脱
脂槽１０内へ供給される脱脂新液の量は、従来に比べて
大幅に減少し、例えば従来の供給量の３分の１以下とさ
れる。
れた脱脂液中のアルカリ性成分は、ほとんど再生液中へ
移行し、上記したように再生液は脱脂槽１０内へ送られ
て再使用されるが、脱脂液中の界面活性剤成分は、脱脂
のために用いられ油分と共に脱脂液から分離されて油槽
３０内へ送れられるものもある。このため、油水分離装
置３６を通して脱脂液を循環使用すると、脱脂槽１０内
の脱脂液１４中の界面活性剤濃度が低下することになる
ので、その濃度低下を防止して脱脂槽１０内の脱脂液１
４中の界面活性剤濃度を常に同等程度に維持するため
に、調合槽２４において、脱脂液中の界面活性剤成分だ
けが従来と比較して高い濃度となるように脱脂新液を調
合するようにされる。一方、油水分離装置３６から再生
液が脱脂槽１０内へ供給されるので、調合槽２４から脱
脂槽１０内へ供給される脱脂新液の量は、従来に比べて
大幅に減少し、例えば従来の供給量の３分の１以下とさ
れる。
【００３６】また、脱脂槽１０内の脱脂液１４の温度
は、５０℃〜６５℃の範囲内とすることにより脱脂性が
良くなる。このため、温度調節器４０を設けておき、そ
の温度調節器４０により、脱脂槽１０内の脱脂液１４の
温度が前記範囲内となるように温度調節するとよい。ま
た、金属薄板１を脱脂槽１０内の脱脂液１４中に浸漬さ
せて脱脂処理する時間は、６０秒〜１２０秒の範囲内に
することが好ましく、そのために、制御器（図示せず）
により、搬送ローラ２０による金属薄板１の搬送速度を
適切に制御するようにすればよい。また、図示していな
いが、脱脂槽１０に電解脱脂装置を付加するようにして
もよい。
は、５０℃〜６５℃の範囲内とすることにより脱脂性が
良くなる。このため、温度調節器４０を設けておき、そ
の温度調節器４０により、脱脂槽１０内の脱脂液１４の
温度が前記範囲内となるように温度調節するとよい。ま
た、金属薄板１を脱脂槽１０内の脱脂液１４中に浸漬さ
せて脱脂処理する時間は、６０秒〜１２０秒の範囲内に
することが好ましく、そのために、制御器（図示せず）
により、搬送ローラ２０による金属薄板１の搬送速度を
適切に制御するようにすればよい。また、図示していな
いが、脱脂槽１０に電解脱脂装置を付加するようにして
もよい。
【００３７】上記したような構成の洗浄装置において、
調合槽２４から脱脂槽１０内への脱脂新液の供給量や、
油水分離装置３６を通して脱脂液を循環させる量を適切
に設定することにより、脱脂槽１０内の脱脂液１４中の
油分濃度が常に２，０００ｐｐｍ以下に維持されるよう
にして、金属薄板１の脱脂処理を行う。このように脱脂
槽１０内の脱脂液１４中の油分濃度が２，０００ｐｐｍ
以下に維持されることにより、脱脂槽１０内の脱脂液１
４は、金属薄板１に対する脱脂性を十分に保持する。し
たがって、脱脂槽１０内の脱脂液１４中に浸漬させられ
て脱脂処理された金属薄板１は、脱脂槽１０から搬出さ
れる際には、その表面に点錆の発生原因となるような異
物が残留していたり塗布工程での「ハジキ」と呼ばれる
塗布不良の発生原因となるような油分が残留したりする
ことがなくなる。また、金属薄板１の表面に油分が残留
してその残留油分が脱脂槽１０から持ち出されたり金属
薄板１の表面に高濃度の油分を含む脱脂液が付着して油
分が脱脂槽１０から持ち出されたりすることがなくなる
ので、金属薄板１を媒介としてレジスト塗布装置のレジ
ストタンク内へ油分が持ち込まれてレジストを汚染す
る、といった心配も無くなる。
調合槽２４から脱脂槽１０内への脱脂新液の供給量や、
油水分離装置３６を通して脱脂液を循環させる量を適切
に設定することにより、脱脂槽１０内の脱脂液１４中の
油分濃度が常に２，０００ｐｐｍ以下に維持されるよう
にして、金属薄板１の脱脂処理を行う。このように脱脂
槽１０内の脱脂液１４中の油分濃度が２，０００ｐｐｍ
以下に維持されることにより、脱脂槽１０内の脱脂液１
４は、金属薄板１に対する脱脂性を十分に保持する。し
たがって、脱脂槽１０内の脱脂液１４中に浸漬させられ
て脱脂処理された金属薄板１は、脱脂槽１０から搬出さ
れる際には、その表面に点錆の発生原因となるような異
物が残留していたり塗布工程での「ハジキ」と呼ばれる
塗布不良の発生原因となるような油分が残留したりする
ことがなくなる。また、金属薄板１の表面に油分が残留
してその残留油分が脱脂槽１０から持ち出されたり金属
薄板１の表面に高濃度の油分を含む脱脂液が付着して油
分が脱脂槽１０から持ち出されたりすることがなくなる
ので、金属薄板１を媒介としてレジスト塗布装置のレジ
ストタンク内へ油分が持ち込まれてレジストを汚染す
る、といった心配も無くなる。
【００３８】なお、図１に示したように油分濃度計４２
を設置しておき、脱脂槽１０内の脱脂液１４をサンプリ
ングしてポンプ（図示せず）により油分濃度計４２へ送
り、その脱脂液中の油分濃度を油分濃度計４２により連
続してあるいは間欠的に測定し、脱脂槽１０内の脱脂液
１４中の油分濃度を常にモニタリングするようにしても
よい。そして、油分濃度計４２からコントローラ４４へ
測定信号を送り、脱脂槽１０内の脱脂液１４中の油分濃
度が２，０００ｐｐｍ以下となるように、コントローラ
４４からポンプ３８へ制御信号を送って、脱脂液の循環
量（脱脂槽１０内への再生液の供給量）を制御するよう
にする。また、図示していないが、油分濃度計４２の測
定濃度に基づいて、調合槽２４から脱脂槽１０内へ供給
される脱脂新液の供給量を制御するようにしてもよい。
を設置しておき、脱脂槽１０内の脱脂液１４をサンプリ
ングしてポンプ（図示せず）により油分濃度計４２へ送
り、その脱脂液中の油分濃度を油分濃度計４２により連
続してあるいは間欠的に測定し、脱脂槽１０内の脱脂液
１４中の油分濃度を常にモニタリングするようにしても
よい。そして、油分濃度計４２からコントローラ４４へ
測定信号を送り、脱脂槽１０内の脱脂液１４中の油分濃
度が２，０００ｐｐｍ以下となるように、コントローラ
４４からポンプ３８へ制御信号を送って、脱脂液の循環
量（脱脂槽１０内への再生液の供給量）を制御するよう
にする。また、図示していないが、油分濃度計４２の測
定濃度に基づいて、調合槽２４から脱脂槽１０内へ供給
される脱脂新液の供給量を制御するようにしてもよい。
【００３９】また、この洗浄装置では、油水分離装置３
６により、鉱物油等がエマルジョン状態となった油分や
溶解型の動植物油、エステル油などの油分も脱脂液中か
ら分離することができるので、脱脂槽１０内へ戻される
再生液中には、それらの油分が含まれない。このよう
に、油水分離装置３６から送り出される再生液中には油
分が含まれていないので、図１に示した洗浄装置のよう
に脱脂液を循環使用したりせずに、油水分離装置３６か
ら送り出される再生液の全部または一部を洗浄装置外へ
排出するような場合には、その廃液を中和剤によって中
和処理したり活性汚泥によって微生物処理したりする必
要が無く、そのまま放流しもしくは簡単な浄化処理を行
って放流することができる。また、図１に示した洗浄装
置のように脱脂液を完全に循環させて使用するときは、
洗浄装置から浄水場へ廃液を流さなくてよくなる。
６により、鉱物油等がエマルジョン状態となった油分や
溶解型の動植物油、エステル油などの油分も脱脂液中か
ら分離することができるので、脱脂槽１０内へ戻される
再生液中には、それらの油分が含まれない。このよう
に、油水分離装置３６から送り出される再生液中には油
分が含まれていないので、図１に示した洗浄装置のよう
に脱脂液を循環使用したりせずに、油水分離装置３６か
ら送り出される再生液の全部または一部を洗浄装置外へ
排出するような場合には、その廃液を中和剤によって中
和処理したり活性汚泥によって微生物処理したりする必
要が無く、そのまま放流しもしくは簡単な浄化処理を行
って放流することができる。また、図１に示した洗浄装
置のように脱脂液を完全に循環させて使用するときは、
洗浄装置から浄水場へ廃液を流さなくてよくなる。
【００４０】図２は、金属薄板の洗浄装置の別の構成例
を示す模式図である。この洗浄装置においては、脱脂槽
４６内の脱脂液１４を、脱脂槽４６からオーバーフロー
させ受槽２６を経て油水分離装置３６へ導入するほか、
脱脂槽４６内から直接に油水分離装置３６へ流すように
している。このような構成とすることにより、脱脂液の
循環効率が向上して、脱脂槽４６内の脱脂液１４中の油
分濃度をより低くすることが可能になる。また、この洗
浄装置では、脱脂槽４６の内部が仕切り壁４８によって
複数槽（図示例では２槽）に分割されている。そして、
第２槽５２内へ調合槽２４からの脱脂新液および油水分
離装置３６からの再生液が供給され、第２槽５２からオ
ーバーフローした脱脂液が受槽２６内へ流入するように
なっており、金属薄板１は、最初に第１槽５０内へ導入
され、次いで第２槽５２内へ導かれた後、脱脂槽４６か
ら搬出される。このような構成とすることにより、金属
薄板１の表面に付着した油分の大半は、第１槽５０内の
脱脂液１４中に浸漬させられる間に金属薄板１表面から
除去され、第２槽５２内の脱脂液１４中にはエマルジョ
ン状態の油分などが殆んど含まれなくなり、第２槽５２
内では、脱脂液１４の清浄度が高くなる。このため、金
属薄板１の表面に付着して脱脂槽１０から持ち出される
脱脂液が清浄な状態となるので、水洗槽１２内での水洗
処理が容易になり、この結果、金属薄板１を媒介として
レジスト塗布装置のレジストタンク内へ油分が持ち込ま
れてレジストを汚染する、といったことが無くなる。
を示す模式図である。この洗浄装置においては、脱脂槽
４６内の脱脂液１４を、脱脂槽４６からオーバーフロー
させ受槽２６を経て油水分離装置３６へ導入するほか、
脱脂槽４６内から直接に油水分離装置３６へ流すように
している。このような構成とすることにより、脱脂液の
循環効率が向上して、脱脂槽４６内の脱脂液１４中の油
分濃度をより低くすることが可能になる。また、この洗
浄装置では、脱脂槽４６の内部が仕切り壁４８によって
複数槽（図示例では２槽）に分割されている。そして、
第２槽５２内へ調合槽２４からの脱脂新液および油水分
離装置３６からの再生液が供給され、第２槽５２からオ
ーバーフローした脱脂液が受槽２６内へ流入するように
なっており、金属薄板１は、最初に第１槽５０内へ導入
され、次いで第２槽５２内へ導かれた後、脱脂槽４６か
ら搬出される。このような構成とすることにより、金属
薄板１の表面に付着した油分の大半は、第１槽５０内の
脱脂液１４中に浸漬させられる間に金属薄板１表面から
除去され、第２槽５２内の脱脂液１４中にはエマルジョ
ン状態の油分などが殆んど含まれなくなり、第２槽５２
内では、脱脂液１４の清浄度が高くなる。このため、金
属薄板１の表面に付着して脱脂槽１０から持ち出される
脱脂液が清浄な状態となるので、水洗槽１２内での水洗
処理が容易になり、この結果、金属薄板１を媒介として
レジスト塗布装置のレジストタンク内へ油分が持ち込ま
れてレジストを汚染する、といったことが無くなる。
【００４１】また、図３は、金属薄板の洗浄装置のさら
に別の構成例を示す模式図である。この洗浄装置には、
脱脂槽４６の前段側に、６０℃〜８０℃程度の温度に調
節された温湯５４が貯留された温湯槽５６が配設されて
いる。そして、金属薄板１は、搬送ローラ２０によって
温湯槽５６へ導かれ、温湯槽５６内の温湯５４中に浸漬
させられた後、脱脂槽４６へ搬送され、脱脂槽４６内の
脱脂液１４中に浸漬させられて脱脂処理されるようにな
っている。このような構成とすることにより、温湯槽５
６内の温湯５４中に浸漬させられた金属薄板１の表面か
ら比較的除去しやすい油分や汚染物質が除去され、その
後に金属薄板１が脱脂槽４６内の脱脂液１４中に浸漬さ
せられるので、脱脂槽４６内の脱脂液１４によって金属
薄板１の表面から除去すべき油分の量が減少して、脱脂
液１４中の油分濃度の上昇の程度が小さくなる。このた
め、油水分離装置３６の負担が軽減され、脱脂槽４６内
の脱脂液中の油分濃度を２，０００ｐｐｍ以下に維持さ
せることがより容易になる。また、温湯槽５６内で比重
差により浮上した油分は、温湯槽５６からオーバーフロ
ーして油槽３０内へ流入するようになっている。
に別の構成例を示す模式図である。この洗浄装置には、
脱脂槽４６の前段側に、６０℃〜８０℃程度の温度に調
節された温湯５４が貯留された温湯槽５６が配設されて
いる。そして、金属薄板１は、搬送ローラ２０によって
温湯槽５６へ導かれ、温湯槽５６内の温湯５４中に浸漬
させられた後、脱脂槽４６へ搬送され、脱脂槽４６内の
脱脂液１４中に浸漬させられて脱脂処理されるようにな
っている。このような構成とすることにより、温湯槽５
６内の温湯５４中に浸漬させられた金属薄板１の表面か
ら比較的除去しやすい油分や汚染物質が除去され、その
後に金属薄板１が脱脂槽４６内の脱脂液１４中に浸漬さ
せられるので、脱脂槽４６内の脱脂液１４によって金属
薄板１の表面から除去すべき油分の量が減少して、脱脂
液１４中の油分濃度の上昇の程度が小さくなる。このた
め、油水分離装置３６の負担が軽減され、脱脂槽４６内
の脱脂液中の油分濃度を２，０００ｐｐｍ以下に維持さ
せることがより容易になる。また、温湯槽５６内で比重
差により浮上した油分は、温湯槽５６からオーバーフロ
ーして油槽３０内へ流入するようになっている。
【００４２】
【実施例】次に、具体的な実施例により、この発明に係
る金属薄板の洗浄方法を説明する。
る金属薄板の洗浄方法を説明する。
【００４３】金属薄板１として、幅６３７ｍｍ、板厚
０．２１６ｍｍの長尺のアルミキルド低炭素鋼板からな
るシャドウマスク材を使用し、図１に示した構成の洗浄
装置を使用して金属薄板１を脱脂および水洗処理した
後、金属薄板１の両主面に、牛乳カゼインと重クロム酸
アンモニウムとを含有する水溶性の感光性レジストを浸
漬、引上げ法によって塗布し、感光性レジストが塗布さ
れた金属薄板１を６０℃〜１００℃の温度の乾燥炉内へ
通して、金属薄板１の両主面に厚みが約８μｍ程度であ
るレジスト膜を形成した。
０．２１６ｍｍの長尺のアルミキルド低炭素鋼板からな
るシャドウマスク材を使用し、図１に示した構成の洗浄
装置を使用して金属薄板１を脱脂および水洗処理した
後、金属薄板１の両主面に、牛乳カゼインと重クロム酸
アンモニウムとを含有する水溶性の感光性レジストを浸
漬、引上げ法によって塗布し、感光性レジストが塗布さ
れた金属薄板１を６０℃〜１００℃の温度の乾燥炉内へ
通して、金属薄板１の両主面に厚みが約８μｍ程度であ
るレジスト膜を形成した。
【００４４】油水分離装置３６としては、ゼオテック
（株）製ＥＵＦ−５型を使用した。また、調合槽２４に
おいては、ライオン（株）製「ライオミックスＭ−５０
４２」の数％溶液に、界面活性剤として朝日化学（株）
製「アサヒクリーナーＥＮ４」を脱脂液に対し４分の１
程度加えて、脱脂新液を調製した。脱脂槽１０内の脱脂
液１４の温度は、６０℃となるように調節した。
（株）製ＥＵＦ−５型を使用した。また、調合槽２４に
おいては、ライオン（株）製「ライオミックスＭ−５０
４２」の数％溶液に、界面活性剤として朝日化学（株）
製「アサヒクリーナーＥＮ４」を脱脂液に対し４分の１
程度加えて、脱脂新液を調製した。脱脂槽１０内の脱脂
液１４の温度は、６０℃となるように調節した。
【００４５】油水分離装置３６を運転している場合と運
転停止している場合とに分けて、金属薄板１の表面にお
ける点錆の発生状況を約３ヵ月間にわたってコイル単位
でモニタリングし、点錆の発生したコイル数を日毎にチ
ェックした。この結果、点錆の発生件数は、油水分離装
置３６を運転しない従来の洗浄方法によった場合には日
平均数件であったが、油水分離装置３６を稼働させて脱
脂処理を行った場合にはほとんど無くなった。
転停止している場合とに分けて、金属薄板１の表面にお
ける点錆の発生状況を約３ヵ月間にわたってコイル単位
でモニタリングし、点錆の発生したコイル数を日毎にチ
ェックした。この結果、点錆の発生件数は、油水分離装
置３６を運転しない従来の洗浄方法によった場合には日
平均数件であったが、油水分離装置３６を稼働させて脱
脂処理を行った場合にはほとんど無くなった。
【００４６】さらに、レジスト膜における「ハジキ」の
発生件数も、従来の洗浄方法によった場合には月平均２
〜４コイル程度であったものが、モニタリング期間中は
皆無であった。
発生件数も、従来の洗浄方法によった場合には月平均２
〜４コイル程度であったものが、モニタリング期間中は
皆無であった。
【００４７】
【発明の効果】請求項１に係る発明の金属薄板の洗浄方
法によると、脱脂槽内の脱脂液の脱脂性が十分に維持さ
れ、脱脂槽内の脱脂液中に浸漬させられて脱脂処理され
た金属薄板の表面から油分がほぼ完全に除去されて、塗
布工程へ送られる金属薄板の表面に油分が残留すること
はなくなるので、金属薄板表面に残留した異物が原因と
なって点錆が発生しシャドウマスク製品に「黒ピン」や
「白ピン」と呼ばれる透孔の形状不良が発生する、とい
ったことがなくなり、また、塗布工程において水溶性の
感光性レジストの「ハジキ」と呼ばれる塗布不良が発生
する、といったことがなくなる。さらに、金属薄板上の
残留油分や金属薄板の表面に付着した脱脂液中に高濃度
に含まれた油分が脱脂槽から持ち出されレジスト塗布装
置のレジストタンク内へ持ち込まれてレジストを汚染す
る、といったこともなくなる。
法によると、脱脂槽内の脱脂液の脱脂性が十分に維持さ
れ、脱脂槽内の脱脂液中に浸漬させられて脱脂処理され
た金属薄板の表面から油分がほぼ完全に除去されて、塗
布工程へ送られる金属薄板の表面に油分が残留すること
はなくなるので、金属薄板表面に残留した異物が原因と
なって点錆が発生しシャドウマスク製品に「黒ピン」や
「白ピン」と呼ばれる透孔の形状不良が発生する、とい
ったことがなくなり、また、塗布工程において水溶性の
感光性レジストの「ハジキ」と呼ばれる塗布不良が発生
する、といったことがなくなる。さらに、金属薄板上の
残留油分や金属薄板の表面に付着した脱脂液中に高濃度
に含まれた油分が脱脂槽から持ち出されレジスト塗布装
置のレジストタンク内へ持ち込まれてレジストを汚染す
る、といったこともなくなる。
【００４８】請求項２に係る発明の洗浄方法では、脱脂
槽内の脱脂液の脱脂性がより高まり、金属薄板の脱脂処
理の効率がより向上する。
槽内の脱脂液の脱脂性がより高まり、金属薄板の脱脂処
理の効率がより向上する。
【００４９】請求項３に係る発明の洗浄方法では、金属
薄板の脱脂処理が良好に行われて、金属薄板の表面から
十分に油分が除去される。
薄板の脱脂処理が良好に行われて、金属薄板の表面から
十分に油分が除去される。
【００５０】請求項４に係る発明の洗浄方法では、脱脂
槽から搬出された金属薄板の表面に付着した汚染物質が
金属薄板表面から除去されて、塗布工程へ送られる金属
薄板の表面が清浄になる。
槽から搬出された金属薄板の表面に付着した汚染物質が
金属薄板表面から除去されて、塗布工程へ送られる金属
薄板の表面が清浄になる。
【００５１】請求項５に係る発明の洗浄方法では、金属
薄板が温湯中に浸漬させられて金属薄板の表面から比較
的除去しやすい油分や汚染物質が除去された後に、金属
薄板が脱脂液中に浸漬させられるため、脱脂液によって
金属薄板の表面から除去すべき油分の量が減少して、脱
脂液中の油分濃度の上昇の程度が小さくなるので、脱脂
液中の油分濃度を２，０００ｐｐｍ以下に維持させるこ
とがより容易になる。
薄板が温湯中に浸漬させられて金属薄板の表面から比較
的除去しやすい油分や汚染物質が除去された後に、金属
薄板が脱脂液中に浸漬させられるため、脱脂液によって
金属薄板の表面から除去すべき油分の量が減少して、脱
脂液中の油分濃度の上昇の程度が小さくなるので、脱脂
液中の油分濃度を２，０００ｐｐｍ以下に維持させるこ
とがより容易になる。
【００５２】請求項６に係る発明の金属薄板の洗浄装置
を使用すると、請求項１に係る発明の洗浄方法を好適に
実施することができるので、脱脂槽内の脱脂液の脱脂性
が十分に維持され、脱脂槽内の脱脂液中に浸漬させられ
て脱脂処理された金属薄板の表面から油分がほぼ完全に
除去されて、塗布工程へ送られる金属薄板の表面に油分
が残留することはなくなる。したがって、金属薄板表面
に残留した異物が原因となって点錆が発生しシャドウマ
スク製品に「黒ピン」や「白ピン」と呼ばれる透孔の形
状不良が発生したり、塗布工程において水溶性の感光性
レジストの「ハジキ」と呼ばれる塗布不良が発生した
り、また、金属薄板上の残留油分や金属薄板の表面に付
着した脱脂液中に高濃度に含まれた油分が脱脂槽から持
ち出されレジスト塗布装置のレジストタンク内へ持ち込
まれてレジストを汚染したりする、といったことが防止
される。
を使用すると、請求項１に係る発明の洗浄方法を好適に
実施することができるので、脱脂槽内の脱脂液の脱脂性
が十分に維持され、脱脂槽内の脱脂液中に浸漬させられ
て脱脂処理された金属薄板の表面から油分がほぼ完全に
除去されて、塗布工程へ送られる金属薄板の表面に油分
が残留することはなくなる。したがって、金属薄板表面
に残留した異物が原因となって点錆が発生しシャドウマ
スク製品に「黒ピン」や「白ピン」と呼ばれる透孔の形
状不良が発生したり、塗布工程において水溶性の感光性
レジストの「ハジキ」と呼ばれる塗布不良が発生した
り、また、金属薄板上の残留油分や金属薄板の表面に付
着した脱脂液中に高濃度に含まれた油分が脱脂槽から持
ち出されレジスト塗布装置のレジストタンク内へ持ち込
まれてレジストを汚染したりする、といったことが防止
される。
【００５３】請求項７に係る発明の洗浄装置では、脱脂
液が循環使用されるため、洗浄装置から浄水場へ廃液を
流さなくてよくなりもしくはその量を減少させることが
できるので、浄水場での排水処理を不要にしもしくはそ
の負荷を低減させることができる。
液が循環使用されるため、洗浄装置から浄水場へ廃液を
流さなくてよくなりもしくはその量を減少させることが
できるので、浄水場での排水処理を不要にしもしくはそ
の負荷を低減させることができる。
【００５４】請求項８に係る発明の洗浄装置では、脱脂
槽内の脱脂液の脱脂性がより高まり、金属薄板の脱脂処
理の効率がより向上する。
槽内の脱脂液の脱脂性がより高まり、金属薄板の脱脂処
理の効率がより向上する。
【００５５】請求項９に係る発明の洗浄装置では、金属
薄板の脱脂処理が良好に行われて、金属薄板の表面から
十分に油分が除去される。
薄板の脱脂処理が良好に行われて、金属薄板の表面から
十分に油分が除去される。
【００５６】請求項１０に係る発明の洗浄装置では、脱
脂槽から搬出された金属薄板の表面に付着した汚染物質
が金属薄板表面から除去されて、塗布工程へ送られる金
属薄板の表面が清浄になる。
脂槽から搬出された金属薄板の表面に付着した汚染物質
が金属薄板表面から除去されて、塗布工程へ送られる金
属薄板の表面が清浄になる。
【００５７】請求項１１に係る発明の洗浄装置では、金
属薄板が温湯槽内の温湯中に浸漬させられて金属薄板の
表面から比較的除去しやすい油分や汚染物質が除去され
た後に、金属薄板が脱脂槽内の脱脂液中に浸漬させられ
るため、脱脂液によって金属薄板の表面から除去すべき
油分の量が減少して、脱脂液中の油分濃度の上昇の程度
が小さくなるので、油分濃度調整手段によって脱脂槽内
の脱脂液中の油分濃度を２，０００ｐｐｍ以下に維持さ
せることがより容易になる。
属薄板が温湯槽内の温湯中に浸漬させられて金属薄板の
表面から比較的除去しやすい油分や汚染物質が除去され
た後に、金属薄板が脱脂槽内の脱脂液中に浸漬させられ
るため、脱脂液によって金属薄板の表面から除去すべき
油分の量が減少して、脱脂液中の油分濃度の上昇の程度
が小さくなるので、油分濃度調整手段によって脱脂槽内
の脱脂液中の油分濃度を２，０００ｐｐｍ以下に維持さ
せることがより容易になる。
【図１】この発明に係る金属薄板の洗浄方法を実施する
のに使用される洗浄装置の概略構成を示す模式図であ
る。
のに使用される洗浄装置の概略構成を示す模式図であ
る。
【図２】金属薄板の洗浄装置の別の構成例を示す模式図
である。
である。
【図３】金属薄板の洗浄装置のさらに別の構成例を示す
模式図である。
模式図である。
【図４】従来の金属薄板の洗浄装置の概略構成を示す模
式図である。
式図である。
１ 金属薄板 １０、４６ 脱脂槽 １２ 水洗槽 １４ 脱脂液 ２４ 調合槽 ２６ 受槽 ２８ 含油脱脂液 ３０ 油槽 ３２ 油分 ３６ 油水分離装置 ３８ ポンプ ４０ 温度調節器 ４２ 油分濃度計 ４４ コントローラ ４８ 仕切り壁 ５０ 第１槽 ５２ 第２槽 ５４ 温湯 ５６ 温湯槽
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｊ 9/14 Ｈ０１Ｊ 9/14 Ｈ
Claims (11)
- 【請求項１】 金属薄板の主面に水溶性の感光性レジス
トを塗布する塗布工程に先立ち、金属薄板を脱脂液中に
浸漬させて、金属薄板の主面に付着した油分を除去する
金属薄板の洗浄方法において、 前記脱脂液中の油分濃度を２，０００ｐｐｍ以下に維持
させることを特徴とする金属薄板の洗浄方法。 - 【請求項２】 脱脂液の温度が５０℃〜６５℃の範囲内
に調節される請求項１記載の金属薄板の洗浄方法。 - 【請求項３】 金属薄板を脱脂液中に浸漬させる時間が
６０秒〜１２０秒の範囲内である請求項１または請求項
２記載の金属薄板の洗浄方法。 - 【請求項４】 金属薄板を脱脂液中に浸漬させた後に、
金属薄板が水洗される請求項１ないし請求項３のいずれ
かに記載の金属薄板の洗浄方法。 - 【請求項５】 金属薄板を脱脂液中に浸漬させる前に、
金属薄板が温湯中に浸漬させられる請求項１ないし請求
項４のいずれかに記載の金属薄板の洗浄方法。 - 【請求項６】 脱脂液が貯留された脱脂槽を有し、金属
薄板の主面に水溶性の感光性レジストを塗布する塗布工
程に先立ち、金属薄板を前記脱脂槽内の脱脂液中に浸漬
させて、金属薄板の主面に付着した油分を除去する金属
薄板の洗浄装置において、 前記脱脂槽内の脱脂液中の油分濃度が２，０００ｐｐｍ
以下に維持されるように調整する油分濃度調整手段を設
けたことを特徴とする金属薄板の洗浄装置。 - 【請求項７】 油分濃度調整手段が、 脱脂槽内に貯留された脱脂液の一部を脱脂槽外へ流出さ
せて、その流出した脱脂液を再び脱脂槽内へ戻す循環経
路と、 この循環経路の途中に介設され、脱脂槽外へ流出した脱
脂液中の油分を除去する油水分離手段と、 この油水分離手段により脱脂液中から分離された油分を
回収する油分回収手段とを備えて構成された請求項６記
載の金属薄板の洗浄装置。 - 【請求項８】 脱脂槽内に貯留された脱脂液の温度を５
０℃〜６５℃の範囲内に調節する温度調節手段が設けら
れた請求項６または請求項７記載の金属薄板の洗浄装
置。 - 【請求項９】 金属薄板を脱脂槽内の脱脂液中に浸漬さ
せる時間を６０秒〜１２０秒の範囲内に制御する浸漬時
間制御手段が設けられた請求項６ないし請求項８のいず
れかに記載の金属薄板の洗浄装置。 - 【請求項１０】 脱脂槽内の脱脂液中に浸漬させられた
後の金属薄板を水洗する水洗手段が設けられた請求項６
ないし請求項９記載のいずれかに記載の金属薄板の洗浄
装置。 - 【請求項１１】 温湯が貯留され、脱脂槽内の脱脂液中
に浸漬させられる前の金属薄板を温湯中に浸漬させる温
湯槽が設けられた請求項６ないし請求項１０のいずれか
に記載の金属薄板の洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29344197A JPH11106971A (ja) | 1997-10-08 | 1997-10-08 | 金属薄板の洗浄方法および洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29344197A JPH11106971A (ja) | 1997-10-08 | 1997-10-08 | 金属薄板の洗浄方法および洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11106971A true JPH11106971A (ja) | 1999-04-20 |
Family
ID=17794814
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29344197A Pending JPH11106971A (ja) | 1997-10-08 | 1997-10-08 | 金属薄板の洗浄方法および洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11106971A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100908698B1 (ko) * | 2002-09-09 | 2009-07-22 | 주식회사 포스코 | 연속소둔라인 청정설비의 알칼리탱크 침지 스프레이전환장치 |
| JP2016203038A (ja) * | 2015-04-16 | 2016-12-08 | 三菱電機株式会社 | 洗浄装置 |
| CN112756322A (zh) * | 2020-12-29 | 2021-05-07 | 茌平阳之光亲水箔有限公司 | 一种多层级亲水箔脱脂槽用清洗装置 |
-
1997
- 1997-10-08 JP JP29344197A patent/JPH11106971A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100908698B1 (ko) * | 2002-09-09 | 2009-07-22 | 주식회사 포스코 | 연속소둔라인 청정설비의 알칼리탱크 침지 스프레이전환장치 |
| JP2016203038A (ja) * | 2015-04-16 | 2016-12-08 | 三菱電機株式会社 | 洗浄装置 |
| CN112756322A (zh) * | 2020-12-29 | 2021-05-07 | 茌平阳之光亲水箔有限公司 | 一种多层级亲水箔脱脂槽用清洗装置 |
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