JPH11118821A - 加速度センサ体保持ユニット - Google Patents
加速度センサ体保持ユニットInfo
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- JPH11118821A JPH11118821A JP9303655A JP30365597A JPH11118821A JP H11118821 A JPH11118821 A JP H11118821A JP 9303655 A JP9303655 A JP 9303655A JP 30365597 A JP30365597 A JP 30365597A JP H11118821 A JPH11118821 A JP H11118821A
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- acceleration sensor
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- acceleration
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
- G01P2015/084—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass the mass being suspended at more than one of its sides, e.g. membrane-type suspension, so as to permit multi-axis movement of the mass
Landscapes
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 加速度センサ体の特性検査を容易にし、そ
の後の取り扱いも容易にする。 【解決手段】加速度を検出する電極を有する円板状の可
撓部と、前記円板状の可撓部の外周に形成された支持部
と、加速度の作用による力を可撓部に有効に伝達するた
めの重錘体で構成される加速度センサ体、該加速度セン
サ体を収納する凹部と、一端が加速度センサ体を保持す
ると共に加速度センサ体に形成された電極に接続し他端
が回路基板等に接続する複数のリードフレームをインサ
ートモールド成形する。
の後の取り扱いも容易にする。 【解決手段】加速度を検出する電極を有する円板状の可
撓部と、前記円板状の可撓部の外周に形成された支持部
と、加速度の作用による力を可撓部に有効に伝達するた
めの重錘体で構成される加速度センサ体、該加速度セン
サ体を収納する凹部と、一端が加速度センサ体を保持す
ると共に加速度センサ体に形成された電極に接続し他端
が回路基板等に接続する複数のリードフレームをインサ
ートモールド成形する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は加速度の作用方向と
大きさを検出する加速度センサ体の保持ユニットに関す
るものである。
大きさを検出する加速度センサ体の保持ユニットに関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】加速度を検出するセンサとして多くの種
類が開発されている。大きさや検出感度等まちまちであ
るが、用途に応じて使用されている。本発明は加速度の
検出に圧電素子の変形により発生する電荷を利用した加
速度センサに関するものである。
類が開発されている。大きさや検出感度等まちまちであ
るが、用途に応じて使用されている。本発明は加速度の
検出に圧電素子の変形により発生する電荷を利用した加
速度センサに関するものである。
【０００３】図１は従来技術による加速度センサの正面
断面図であり、図２は回路基板部を除いた上面図であ
る。加速度センサの容器である基台１と蓋２は一点鎖線
で示してある。絶縁部材で形成された保持枠３の凹部に
は金属製のセンサ部受台４が固定され、センサ部受台４
の上面には上面に圧電素子６が貼付された金属製の可撓
部材５が貼付されている。、圧電素子６の上面には検出
電極７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ、７ｅが形成されている。
加速度センサの検出回路を構成する電子部品を搭載した
回路基板１０と検出電極７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ、７ｅ
はそれぞれに対応する複数のリードフレーム９により接
続されている。可撓部材５が変形可能なのはセンサ部受
台４に穿たれた穴４ａの内径部内であるが、重錘体８は
中心が穴４ａの中心に一致するように可撓部材５に固定
されている。このような加速度センサは特開平５−２６
７４４号公報に開示されている。
断面図であり、図２は回路基板部を除いた上面図であ
る。加速度センサの容器である基台１と蓋２は一点鎖線
で示してある。絶縁部材で形成された保持枠３の凹部に
は金属製のセンサ部受台４が固定され、センサ部受台４
の上面には上面に圧電素子６が貼付された金属製の可撓
部材５が貼付されている。、圧電素子６の上面には検出
電極７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ、７ｅが形成されている。
加速度センサの検出回路を構成する電子部品を搭載した
回路基板１０と検出電極７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ、７ｅ
はそれぞれに対応する複数のリードフレーム９により接
続されている。可撓部材５が変形可能なのはセンサ部受
台４に穿たれた穴４ａの内径部内であるが、重錘体８は
中心が穴４ａの中心に一致するように可撓部材５に固定
されている。このような加速度センサは特開平５−２６
７４４号公報に開示されている。
【０００４】図３は従来技術による加速度センサの正面
図であり、図４は蓋を除いた上面図である。加速度セン
サの容器である基台１１に一点鎖線で示してある蓋１２
が抵抗溶接等で固定されている。加速度センサの検出回
路を構成する電子部品を搭載した回路基板２０の上面に
はセンサ支持部１４、検出電極７ａ、７ｂ、７ｃ、７
ｄ、７ｅが形成されている可撓部１５、重錘体１８で構
成されるセンサ部が搭載されている。センサ部は好まし
くはＰＺＴ等の圧電セラミックスで一体に形成されてい
る。回路基板２０と検出電極７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ、
７ｅはリードフレーム１９により接続されている。可撓
部材１５が変形可能なのはセンサ支持部１４の穴１４ａ
の内径部内であるが、重錘体１８は中心が穴４ａの中心
に一致するように可撓部材１５に固定されている。この
ような加速度センサは特開平８−３５９８１号公報に開
示されている。
図であり、図４は蓋を除いた上面図である。加速度セン
サの容器である基台１１に一点鎖線で示してある蓋１２
が抵抗溶接等で固定されている。加速度センサの検出回
路を構成する電子部品を搭載した回路基板２０の上面に
はセンサ支持部１４、検出電極７ａ、７ｂ、７ｃ、７
ｄ、７ｅが形成されている可撓部１５、重錘体１８で構
成されるセンサ部が搭載されている。センサ部は好まし
くはＰＺＴ等の圧電セラミックスで一体に形成されてい
る。回路基板２０と検出電極７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ、
７ｅはリードフレーム１９により接続されている。可撓
部材１５が変形可能なのはセンサ支持部１４の穴１４ａ
の内径部内であるが、重錘体１８は中心が穴４ａの中心
に一致するように可撓部材１５に固定されている。この
ような加速度センサは特開平８−３５９８１号公報に開
示されている。
【０００５】図５は可撓部と重錘体が一体に形成された
センサ部１５’とセンサ支持部１４で構成された加速度
センサ体の断面図であり、図６は上面図である。検出電
極群１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄ、１７ｅが形成さ
れている。図７は可撓部、重錘体、支持部が一体に形成
された加速度センサ体２１の断面図である。加速度セン
サ体の下面には一面に電極１７ｆが形成されている。図
８は加速度センサ体を斜め上から見た斜視図と斜め下か
ら見た斜視図である。
センサ部１５’とセンサ支持部１４で構成された加速度
センサ体の断面図であり、図６は上面図である。検出電
極群１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄ、１７ｅが形成さ
れている。図７は可撓部、重錘体、支持部が一体に形成
された加速度センサ体２１の断面図である。加速度セン
サ体の下面には一面に電極１７ｆが形成されている。図
８は加速度センサ体を斜め上から見た斜視図と斜め下か
ら見た斜視図である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】図１においてはセンサ
部をセンサ受台に直接固定している。図３では加速度セ
ンサ体を直接回路基板に搭載している。センサ部や加速
度センサ体を単体で扱う思想がなく、それぞれセンサ
部、加速度センサ体を組立ててからでないと特性の検査
等ができなかった。組立後の検査であるとセンサ特性が
不良の場合、組立工数と組立部品がすべて無駄になる。
部をセンサ受台に直接固定している。図３では加速度セ
ンサ体を直接回路基板に搭載している。センサ部や加速
度センサ体を単体で扱う思想がなく、それぞれセンサ
部、加速度センサ体を組立ててからでないと特性の検査
等ができなかった。組立後の検査であるとセンサ特性が
不良の場合、組立工数と組立部品がすべて無駄になる。
【０００７】特性検査用の治具を作成しプローブ等で電
極と接続してセンサ部、加速度センサ体の検査をする
と、特性検査用の治具もろとも加速度を作用させて検査
しなければならず、大掛かりな検査装置が必要であっ
た。また、特性検査終了後センサ単品で扱うので取り扱
いに注意を要し、組立後に不良になってしまうことも少
なからず発生する。
極と接続してセンサ部、加速度センサ体の検査をする
と、特性検査用の治具もろとも加速度を作用させて検査
しなければならず、大掛かりな検査装置が必要であっ
た。また、特性検査終了後センサ単品で扱うので取り扱
いに注意を要し、組立後に不良になってしまうことも少
なからず発生する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】加速度を検出する電極を
有する円板状の可撓部と、前記円板状の可撓部の外周に
形成された支持部と、加速度の作用による力を可撓部に
有効に伝達するための重錘体で構成される加速度センサ
体、該加速度センサ体を収納する凹部と、一端が加速度
センサ体を保持すると共に加速度センサ体に形成された
電極に接続し他端が回路基板等に接続する複数のリード
フレームをインサートモールド成形する。
有する円板状の可撓部と、前記円板状の可撓部の外周に
形成された支持部と、加速度の作用による力を可撓部に
有効に伝達するための重錘体で構成される加速度センサ
体、該加速度センサ体を収納する凹部と、一端が加速度
センサ体を保持すると共に加速度センサ体に形成された
電極に接続し他端が回路基板等に接続する複数のリード
フレームをインサートモールド成形する。
【０００９】
【発明の実施の形態】図９は本発明の一実施形態である
加速度センサ体保持ユニットの斜視図である。図１０は
正面断面図であり、図１１は上面図である。加速度セン
サ体保持ユニット３０は６つのリードフレーム３２〜３
７とモールド樹脂で形成された基台３１で構成されてい
る。加速度センサ体保持ユニット３０には加速度センサ
体を位置決め収納する凹部３１ａが形成されている。各
リードフレームはセンサの電極と接合されるｂ部と基台
３１にモールドされている部分と基台３から飛び出して
いて回路基板または加速度センサ体保持ユニット用ソケ
ット等に接続するａ部とで構成されている。
加速度センサ体保持ユニットの斜視図である。図１０は
正面断面図であり、図１１は上面図である。加速度セン
サ体保持ユニット３０は６つのリードフレーム３２〜３
７とモールド樹脂で形成された基台３１で構成されてい
る。加速度センサ体保持ユニット３０には加速度センサ
体を位置決め収納する凹部３１ａが形成されている。各
リードフレームはセンサの電極と接合されるｂ部と基台
３１にモールドされている部分と基台３から飛び出して
いて回路基板または加速度センサ体保持ユニット用ソケ
ット等に接続するａ部とで構成されている。
【００１０】図８で説明した加速度センサ体２１を加速
度センサ体保持ユニット３０に組み込むと、各電極に対
して各リードフレームのｂ部が１７ａ−３２ｂ、１７ｂ
−３３ｂ、１７ｃ−３４ｂ、１７ｄ−３５ｂ、１７ｅ−
３６ｂ、１７ｆ−３７ｂの様に対応している。加速度セ
ンサ体２１は、基台３１の凹部３１ａの上面３１ｂと５
つのリードフレームのｂ部３２ｂ〜３６ｂで挟持され上
下方向が拘束される。各電極とリードフレームのｂ部は
導電接着剤により電気的に接続される。加速度センサ体
２１の側面は基台の凹部３１ａの側面で位置決めされ拘
束される。これにより加速度センサ体２１は加速度セン
サ保持ユニット３０で完全に保持され導通が取られる。
度センサ体保持ユニット３０に組み込むと、各電極に対
して各リードフレームのｂ部が１７ａ−３２ｂ、１７ｂ
−３３ｂ、１７ｃ−３４ｂ、１７ｄ−３５ｂ、１７ｅ−
３６ｂ、１７ｆ−３７ｂの様に対応している。加速度セ
ンサ体２１は、基台３１の凹部３１ａの上面３１ｂと５
つのリードフレームのｂ部３２ｂ〜３６ｂで挟持され上
下方向が拘束される。各電極とリードフレームのｂ部は
導電接着剤により電気的に接続される。加速度センサ体
２１の側面は基台の凹部３１ａの側面で位置決めされ拘
束される。これにより加速度センサ体２１は加速度セン
サ保持ユニット３０で完全に保持され導通が取られる。
【００１１】加速度センサユニット３０に保持された加
速度センサ体２１は加速度センサ体ユニット３０のリー
ドフレームの端子部であるａ部を回路基板または加速度
センサ保持ユニット用ソケットに差し込むことで特性の
検査をすることが可能である。単品での特性検査におい
ては着脱が容易な加速度センサ保持ユニット用ソケット
を使用することが望ましい。
速度センサ体２１は加速度センサ体ユニット３０のリー
ドフレームの端子部であるａ部を回路基板または加速度
センサ保持ユニット用ソケットに差し込むことで特性の
検査をすることが可能である。単品での特性検査におい
ては着脱が容易な加速度センサ保持ユニット用ソケット
を使用することが望ましい。
【００１２】本実施形態では加速度センサ体保持ユニッ
ト３０の外形を円形にしてあるので小型化ができるが、
デュアルラインパッケージのような各型にすることも可
能であり、そうすることで既存のＩＣソケットを使用す
ることができるようになる。いずれにしても、リードフ
レーム３２〜３７を適宜所望の形状に加工しインサート
モールドすることで、既存技術により容易に量産するこ
とができる。
ト３０の外形を円形にしてあるので小型化ができるが、
デュアルラインパッケージのような各型にすることも可
能であり、そうすることで既存のＩＣソケットを使用す
ることができるようになる。いずれにしても、リードフ
レーム３２〜３７を適宜所望の形状に加工しインサート
モールドすることで、既存技術により容易に量産するこ
とができる。
【００１３】今まで可撓部、重錘体、支持部が一体型の
加速度センサ体で説明したが、図２の構造の加速度セン
サでもセンサ受台４を絶縁部材にし、可撓基板５、圧電
素子６、重錘体８を一体化し電極形状を変えれば同様に
応用できることは言うまでもない。
加速度センサ体で説明したが、図２の構造の加速度セン
サでもセンサ受台４を絶縁部材にし、可撓基板５、圧電
素子６、重錘体８を一体化し電極形状を変えれば同様に
応用できることは言うまでもない。
【００１４】
【発明の効果】加速度を検出する電極を有する円板状の
可撓部と、前記円板状の可撓部の外周に形成された支持
部と、加速度の作用による力を可撓部に有効に伝達する
ための重錘体で構成される加速度センサ体、該加速度セ
ンサ体を収納する凹部と、一端が加速度センサ体を保持
すると共に加速度センサ体に形成された電極に接続し他
端が回路基板等に接続する複数のリードフレームをイン
サートモールド成形した加速度センサ体保持ユニットに
加速度センサ体を組み込むことにより、加速度センサ体
保持ユニット単体で特性検査やその後の取り扱いが可能
となり、次のような効果がでる。
可撓部と、前記円板状の可撓部の外周に形成された支持
部と、加速度の作用による力を可撓部に有効に伝達する
ための重錘体で構成される加速度センサ体、該加速度セ
ンサ体を収納する凹部と、一端が加速度センサ体を保持
すると共に加速度センサ体に形成された電極に接続し他
端が回路基板等に接続する複数のリードフレームをイン
サートモールド成形した加速度センサ体保持ユニットに
加速度センサ体を組み込むことにより、加速度センサ体
保持ユニット単体で特性検査やその後の取り扱いが可能
となり、次のような効果がでる。
【００１５】加速度センサ保持ユニットだけで加速度セ
ンサ体の特性検査が可能なので、加速度センサ体の評価
を早期にでき、不良による損失を少なくできる。加速度
センサ体単体の検査治具等が不要となり、特性検査装置
をコンパクトにすることができた。
ンサ体の特性検査が可能なので、加速度センサ体の評価
を早期にでき、不良による損失を少なくできる。加速度
センサ体単体の検査治具等が不要となり、特性検査装置
をコンパクトにすることができた。
【００１６】特性評価後の取り扱いが容易になり、搬
送、組立等で加速度センサが不良になる可能性が大幅に
減少した。
送、組立等で加速度センサが不良になる可能性が大幅に
減少した。
【００１７】リードフレームが加速度センサ体ユニット
に一体化されているので電極への接続が容易になり組立
作業工数を低減することができた。
に一体化されているので電極への接続が容易になり組立
作業工数を低減することができた。
【図１】従来技術による加速度センサの正面断面図
【図２】図１の回路基板部を除いた上面図
【図３】従来技術による加速度センサの正面図
【図４】図３の蓋を除いた上面図
【図５】可撓部と重錘体が一体に形成された加速度セン
サ体の正面断面図
サ体の正面断面図
【図６】可撓部と重錘体が一体に形成された加速度セン
サ体の上面図
サ体の上面図
【図７】可撓部、重錘体、支持部が一体に形成された加
速度センサ体の正面断面図
速度センサ体の正面断面図
【図８】加速度センサ体を斜め上から見た斜視図と斜め
下から見た斜視図
下から見た斜視図
【図９】加速度センサ体保持ユニットの斜視図
【図１０】加速度センサ体保持ユニットの正面断面図
【図１１】加速度センサ体保持ユニットの上面図
１ 基台 ２ 蓋 ３ 保持枠 ４ センサ部受台 ４ａ 穴 ５ 可撓部材 ６ 圧電素子 ７ａ 電極 ７ｂ 電極 ７ｃ 電極 ７ｄ 電極 ７ｅ 電極 ８ 重錘体 ９ リードフレーム １０ 回路基板 １１ 基台 １２ 蓋 １４ センサ支持部 １４ａ 穴 １５ 可撓部 １５’ 可撓部と重錘体が一体のセンサ部 １７ａ 検出電極 １７ｂ 検出電極 １７ｃ 検出電極 １７ｄ 検出電極 １７ｅ 検出電極 １７ｆ 電極 １８ 重錘体 １９ リードフレーム ２０ 回路基板 ２１ 加速度センサ体 ３０ 加速度センサ体保持ユニット ３１ 基台 ３２〜３７ リードフレーム ３２ａ〜３７ａ リードフレームのａ部 ３２ｂ〜３７ｂ リードフレームのｂ部
Claims (1)
- 【請求項１】 加速度を検出する電極を有する円板状の
可撓部と、前記円板状の可撓部の外周に形成された支持
部と、加速度の作用による力を可撓部に有効に伝達する
ための重錘体で構成される加速度センサ体、該加速度セ
ンサ体を収納する凹部と、一端が加速度センサ体を保持
すると共に加速度センサ体に形成された電極に接続し他
端が回路基板等に接続する複数のリードフレームをイン
サートモールド成形したことを特徴とする加速度センサ
体保持ユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9303655A JPH11118821A (ja) | 1997-10-16 | 1997-10-16 | 加速度センサ体保持ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9303655A JPH11118821A (ja) | 1997-10-16 | 1997-10-16 | 加速度センサ体保持ユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11118821A true JPH11118821A (ja) | 1999-04-30 |
Family
ID=17923635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9303655A Pending JPH11118821A (ja) | 1997-10-16 | 1997-10-16 | 加速度センサ体保持ユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11118821A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011085441A (ja) * | 2009-10-14 | 2011-04-28 | Tamagawa Seiki Co Ltd | 慣性センサを収容するモールド構造およびそれを用いたセンサシステム |
| WO2016194052A1 (ja) * | 2015-05-29 | 2016-12-08 | 新電元工業株式会社 | 半導体装置 |
-
1997
- 1997-10-16 JP JP9303655A patent/JPH11118821A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011085441A (ja) * | 2009-10-14 | 2011-04-28 | Tamagawa Seiki Co Ltd | 慣性センサを収容するモールド構造およびそれを用いたセンサシステム |
| WO2016194052A1 (ja) * | 2015-05-29 | 2016-12-08 | 新電元工業株式会社 | 半導体装置 |
| JPWO2016194052A1 (ja) * | 2015-05-29 | 2017-06-15 | 新電元工業株式会社 | 半導体装置 |
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