JPH11119006A - 光減衰多層膜、及び光送信モジュ−ル - Google Patents
光減衰多層膜、及び光送信モジュ−ルInfo
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- JPH11119006A JPH11119006A JP9278684A JP27868497A JPH11119006A JP H11119006 A JPH11119006 A JP H11119006A JP 9278684 A JP9278684 A JP 9278684A JP 27868497 A JP27868497 A JP 27868497A JP H11119006 A JPH11119006 A JP H11119006A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】光リンク用の光送信モジュ−ルには変調光信号
のＳＮ比を維持しつつ、出射レ−ザ光強度を減衰させる
ことが要求されるが、従来の光減衰膜を用いると反射戻
り光により、信号ノイズが増大してしまうという課題。 【解決手段】光送信モジュ−ルの一部、例えば集光レン
ズにＣｒとＳｉＯ2の交互４層膜にて構成される透過光
減衰、反射光防止の両機能を兼ね備えた膜をコ−ティン
グする。これにより要求仕様を満足する低コストで小型
の光送信モジュ−ルを実現することができる。
のＳＮ比を維持しつつ、出射レ−ザ光強度を減衰させる
ことが要求されるが、従来の光減衰膜を用いると反射戻
り光により、信号ノイズが増大してしまうという課題。 【解決手段】光送信モジュ−ルの一部、例えば集光レン
ズにＣｒとＳｉＯ2の交互４層膜にて構成される透過光
減衰、反射光防止の両機能を兼ね備えた膜をコ−ティン
グする。これにより要求仕様を満足する低コストで小型
の光送信モジュ−ルを実現することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、透過光減
衰と反射光抑制・防止の機能を兼ね備えた光学多層膜と
して利用可能な、光減衰多層膜、及び光送信モジュ−ル
に関するものである。
衰と反射光抑制・防止の機能を兼ね備えた光学多層膜と
して利用可能な、光減衰多層膜、及び光送信モジュ−ル
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】最近になってコンピュ−タの急速な普及
に伴い、通信の高速化が強く要求されており、光ＬＡＮ
（光によるロ−カルエリア通信網）の民製化が進められ
つつある。これはコンピュ−タ間や、コンピュ−タとプ
リンタやハ−ドディスクなどの周辺機器間を光ファイバ
リンクで結び高速にデ−タのやりとりを行うものであ
る。
に伴い、通信の高速化が強く要求されており、光ＬＡＮ
（光によるロ−カルエリア通信網）の民製化が進められ
つつある。これはコンピュ−タ間や、コンピュ−タとプ
リンタやハ−ドディスクなどの周辺機器間を光ファイバ
リンクで結び高速にデ−タのやりとりを行うものであ
る。
【０００３】図１０はこのような光ＬＡＮに用いられる
光送信モジュールの一例を示している。以下、同図に示
す光送信モジュールについて説明する。
光送信モジュールの一例を示している。以下、同図に示
す光送信モジュールについて説明する。
【０００４】即ち、同図にしめすように、レーザダイオ
ード１は直接変調され、発光部（発光源）２から変調光
が出射される。出射された光は集光レンズ３を経ること
によって絞り込まれ、光ファイバ８内に導かれる。集光
レンズ３はレンズホルダ４に固定され、また、光ファイ
バ８はフェルール７とともにフェルールホルダ６から着
脱することができる。また、光軸調整用ホルダ５および
フェルールホルダ６を用いることで、光が効率良く光フ
ァイバ８に導かれるように光軸調整することができる。
ード１は直接変調され、発光部（発光源）２から変調光
が出射される。出射された光は集光レンズ３を経ること
によって絞り込まれ、光ファイバ８内に導かれる。集光
レンズ３はレンズホルダ４に固定され、また、光ファイ
バ８はフェルール７とともにフェルールホルダ６から着
脱することができる。また、光軸調整用ホルダ５および
フェルールホルダ６を用いることで、光が効率良く光フ
ァイバ８に導かれるように光軸調整することができる。
【０００５】また、フェルール７の外径およびフェルー
ルホルダー６の内径は、高精度に加工されているため、
光ファイバー８をフェルール７とともに着脱を繰り返し
ても確に位置決めできるため、着脱による、光ファイバ
８に導入される光量変動を抑制することができる。
ルホルダー６の内径は、高精度に加工されているため、
光ファイバー８をフェルール７とともに着脱を繰り返し
ても確に位置決めできるため、着脱による、光ファイバ
８に導入される光量変動を抑制することができる。
【０００６】このような光送信モジュールを用いればＧ
ｂｉｔ／ｓｅｃ オーダーの高速通信が可能であるとと
もに、光ファイバを着脱することが可能であるため、非
常にフレキシビリテイの高いネットワークを構築するこ
とができる。
ｂｉｔ／ｓｅｃ オーダーの高速通信が可能であるとと
もに、光ファイバを着脱することが可能であるため、非
常にフレキシビリテイの高いネットワークを構築するこ
とができる。
【０００７】レ−ザダイオ−ドから出射される、直接変
調光はレンズで集光され光ファイバ内に導かれる。これ
によりＧｂｉｔ／ｓｅｃオ−ダ−の高速通信が可能であ
るとともに光ファイバが着脱可能であるため、非常にフ
レキシビリティの高いネットワ−クを構築することがで
きる。
調光はレンズで集光され光ファイバ内に導かれる。これ
によりＧｂｉｔ／ｓｅｃオ−ダ−の高速通信が可能であ
るとともに光ファイバが着脱可能であるため、非常にフ
レキシビリティの高いネットワ−クを構築することがで
きる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この光
送信モジュ−ルには、出射されるレ−ザ光の強度を、レ
−ザ本来の光強度よりも落とす工夫が必要となる。これ
は光ファイバ着脱時にレ−ザ光が直接外部に放出される
可能性があり、目に対する安全性を確保するためであ
る。特にファイバチャンネル規格においては安全基準
上、出力が制限される。
送信モジュ−ルには、出射されるレ−ザ光の強度を、レ
−ザ本来の光強度よりも落とす工夫が必要となる。これ
は光ファイバ着脱時にレ−ザ光が直接外部に放出される
可能性があり、目に対する安全性を確保するためであ
る。特にファイバチャンネル規格においては安全基準
上、出力が制限される。
【０００９】光を減衰させる手段として、一つはレ−ザ
そのものの発光強度を落とす方法がある。しかし、一般
に発光強度をある程度高めないと、レ−ザの高速応答性
が劣化し、これを補償するには回路面で多くの工夫が必
要で結果的に高コストとなる。
そのものの発光強度を落とす方法がある。しかし、一般
に発光強度をある程度高めないと、レ−ザの高速応答性
が劣化し、これを補償するには回路面で多くの工夫が必
要で結果的に高コストとなる。
【００１０】最も良いと考えられるのは、送信モジュ−
ルのレ−ザと光ファイバ間に、光を減衰する膜を設ける
方法で、比較的少ないコストアップで実現できる可能性
がある。
ルのレ−ザと光ファイバ間に、光を減衰する膜を設ける
方法で、比較的少ないコストアップで実現できる可能性
がある。
【００１１】従来より、光減衰膜は各種光学機器におい
て広く用いられている。通常、膜材料として金属膜を用
い、その吸収によって光を減衰させるが、用途として主
に波長に対し透過率、反射率が一定になることが要求さ
れる。図１１は代表的な金属膜材料であるニクロム（Ｎ
ｉ８０％、Ｃｒ２０％）を用いたＮＤフィルタ（Neutra
l Density Filter）の光学特性を示す。このように広い
波長域で透過率、反射率を一定にすることができる。ま
た、ニクロム膜厚を変えることにより、透過減衰量を自
由に制御することができる。（参考文献：「光・薄膜技
術マニュアル」、オプトロニクス社、ページ．２６５） しかし、従来の光減衰膜は任意の透過光量を得ることが
主な目的であり、反射光を防止することは考えていな
い。このような膜を光送信モジュ−ルの光路内にコ−テ
ィングした場合、膜面に対しほぼ垂直にレ−ザ光が入射
すると、膜からの反射光がレ−ザ−ダイオ−ドに逆戻り
してレ−ザの発振が不安定となり光信号のＳＮ比が劣化
してしまう。また、膜面を傾けて反射光がレ−ザダイオ
−ドに戻らないようにしようとするとレ−ザダイオ−ド
と膜の間にある程度の距離を設ける必要があり、結果と
してモジュ−ル全体が大型化してしまう。
て広く用いられている。通常、膜材料として金属膜を用
い、その吸収によって光を減衰させるが、用途として主
に波長に対し透過率、反射率が一定になることが要求さ
れる。図１１は代表的な金属膜材料であるニクロム（Ｎ
ｉ８０％、Ｃｒ２０％）を用いたＮＤフィルタ（Neutra
l Density Filter）の光学特性を示す。このように広い
波長域で透過率、反射率を一定にすることができる。ま
た、ニクロム膜厚を変えることにより、透過減衰量を自
由に制御することができる。（参考文献：「光・薄膜技
術マニュアル」、オプトロニクス社、ページ．２６５） しかし、従来の光減衰膜は任意の透過光量を得ることが
主な目的であり、反射光を防止することは考えていな
い。このような膜を光送信モジュ−ルの光路内にコ−テ
ィングした場合、膜面に対しほぼ垂直にレ−ザ光が入射
すると、膜からの反射光がレ−ザ−ダイオ−ドに逆戻り
してレ−ザの発振が不安定となり光信号のＳＮ比が劣化
してしまう。また、膜面を傾けて反射光がレ−ザダイオ
−ドに戻らないようにしようとするとレ−ザダイオ−ド
と膜の間にある程度の距離を設ける必要があり、結果と
してモジュ−ル全体が大型化してしまう。
【００１２】したがって従来の光減衰膜では、光送信モ
ジュ−ルを小型化できないという課題を有していた。
ジュ−ルを小型化できないという課題を有していた。
【００１３】本発明は、従来のこのような課題を考慮
し、光を所定の光量に減衰するとともに反射抑制又は防
止の機能も兼ね備えた光減衰多層膜、及びその光減衰多
層膜を用いた光送信モジュ−ルを提供することを目的と
する。
し、光を所定の光量に減衰するとともに反射抑制又は防
止の機能も兼ね備えた光減衰多層膜、及びその光減衰多
層膜を用いた光送信モジュ−ルを提供することを目的と
する。
【００１４】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の本発明
は、Ｃｒ、ＮｉＣｒ、又はＧｅを含む第１の膜と、Ｓｉ
Ｏ2又はＭｇＦ2を含む第２の膜とを積層した光減衰多層
膜である。
は、Ｃｒ、ＮｉＣｒ、又はＧｅを含む第１の膜と、Ｓｉ
Ｏ2又はＭｇＦ2を含む第２の膜とを積層した光減衰多層
膜である。
【００１５】請求項２記載の本発明は、Ｇｅを含む第１
の膜と、屈折率が１．３〜２．３の誘電体膜とを積層し
た光減衰多層膜である。
の膜と、屈折率が１．３〜２．３の誘電体膜とを積層し
た光減衰多層膜である。
【００１６】請求項３記載の本発明は、上記第１の膜
は、Ｃｒ又はＮｉＣｒを含む膜であり、前記第１及び前
記第２の膜が、交互に積層されて４層構造をなしている
求項１記載の光減衰多層膜である。
は、Ｃｒ又はＮｉＣｒを含む膜であり、前記第１及び前
記第２の膜が、交互に積層されて４層構造をなしている
求項１記載の光減衰多層膜である。
【００１７】請求項４記載の本発明は、上記第１の膜
は、Ｇｅを含む膜であり、前記第１及び前記第２の膜
が、交互に積層されて６層構造をなしている請求項１記
載の光減衰多層膜である。
は、Ｇｅを含む膜であり、前記第１及び前記第２の膜
が、交互に積層されて６層構造をなしている請求項１記
載の光減衰多層膜である。
【００１８】請求項５記載の本発明は、レーザ光を出射
する発光源と、前記出射されたレーザー光を集光する集
光レンズと、光送信路を着脱する光送信路着脱部と、前
記発光源と前記光送信路着脱部との間に設けられた請求
項１〜４の何れか一つに記載の光減衰多層膜と備えた光
送信モジュ−ルである。
する発光源と、前記出射されたレーザー光を集光する集
光レンズと、光送信路を着脱する光送信路着脱部と、前
記発光源と前記光送信路着脱部との間に設けられた請求
項１〜４の何れか一つに記載の光減衰多層膜と備えた光
送信モジュ−ルである。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を用いて説明する。
て図面を用いて説明する。
【００２０】（実施の形態１）ここでは、本発明にかか
る第１の実施の形態について図１〜図４を参照しながら
説明する。
る第１の実施の形態について図１〜図４を参照しながら
説明する。
【００２１】図１は、集光レンズ３（図４参照）のレ−
ザダイオ−ド１側の面にコ−ティングされている光減衰
多層膜９の断面図を示している。尚、図４については、
後述する。
ザダイオ−ド１側の面にコ−ティングされている光減衰
多層膜９の断面図を示している。尚、図４については、
後述する。
【００２２】即ち、本実施の形態の多層膜は、レンズ３
の上に、第１層（Ｃｒ膜）１０１、第２層（ＳｉＯ
2膜）１０２、第３層（Ｃｒ膜）１０３、 第４層（Ｓｉ
Ｏ2膜）１０４の順番に形成されている。
の上に、第１層（Ｃｒ膜）１０１、第２層（ＳｉＯ
2膜）１０２、第３層（Ｃｒ膜）１０３、 第４層（Ｓｉ
Ｏ2膜）１０４の順番に形成されている。
【００２３】同図に示すとおり、本実施の形態の多層膜
は、非常に簡単な膜構成であり生産性に優れるものであ
る。
は、非常に簡単な膜構成であり生産性に優れるものであ
る。
【００２４】レンズ３の硝材はＳＦ８（屈折率１．７８
５）を用いており、これに表１に示す多層膜が設けられ
ている。この膜構成は波長７９０ｎｍのレ−ザ光が紙面
上方から入射することを想定したものである。
５）を用いており、これに表１に示す多層膜が設けられ
ている。この膜構成は波長７９０ｎｍのレ−ザ光が紙面
上方から入射することを想定したものである。
【００２５】
【表１】
【００２６】次に、表１の多層膜の形成方法について、
図２を参照しなから説明する。
図２を参照しなから説明する。
【００２７】図２は膜形成に用いた真空蒸着装置の概略
図を示している。
図を示している。
【００２８】レンズ１００を超音波洗浄したのち、真空
蒸着装置（真空チャンバ）２０１内にセッティングし
て、真空ポンプ２０４により真空引きを行う。真空引き
をしながらヒ−タ２０２によりレンズ１００を３００℃
に加熱制御する。真空度が５×１０-6tｏｒｒに到達し
てから、電子銃２０３により蒸着材料であるＣｒ、Ｓｉ
Ｏ2を交互に加熱融解して蒸着を実施した。このとき、
各層の膜厚制御、成膜レ−ト制御は水晶センサ（インフ
ィコン社製、ＩＣ６０００）２０５により行い、Ｃｒ、
ＳｉＯ2の成膜レ−トはそれぞれ１オングストローム／
ｓｅｃ、３オングストローム／ｓｅｃとした。
蒸着装置（真空チャンバ）２０１内にセッティングし
て、真空ポンプ２０４により真空引きを行う。真空引き
をしながらヒ−タ２０２によりレンズ１００を３００℃
に加熱制御する。真空度が５×１０-6tｏｒｒに到達し
てから、電子銃２０３により蒸着材料であるＣｒ、Ｓｉ
Ｏ2を交互に加熱融解して蒸着を実施した。このとき、
各層の膜厚制御、成膜レ−ト制御は水晶センサ（インフ
ィコン社製、ＩＣ６０００）２０５により行い、Ｃｒ、
ＳｉＯ2の成膜レ−トはそれぞれ１オングストローム／
ｓｅｃ、３オングストローム／ｓｅｃとした。
【００２９】図３はこのようにして得られた表１の光減
衰膜の光学特性を示している。図３（ａ）は透過率の波
長依存性、図３（ｂ）は反射率の波長依存性を示してい
る。測定はレンズにコ−ティングする際、同時に膜形成
されたモニタ用の平板ガラスサンプルにて行った。
衰膜の光学特性を示している。図３（ａ）は透過率の波
長依存性、図３（ｂ）は反射率の波長依存性を示してい
る。測定はレンズにコ−ティングする際、同時に膜形成
されたモニタ用の平板ガラスサンプルにて行った。
【００３０】このように目標波長の７９０ｎｍにおい
て、透過率２２％、反射率３％の光減衰膜が得られた。
波長７９０±５０ｎｍに対し、透過率、反射率はほぼ一
定であり、このことは通常±１５ｎｍ程度であるレ−ザ
の波長ばらつきに十分たえられるものであることを示し
ている。また入射角度に対しても０±１０°以上の範囲
で透過率、反射率はほぼ一定であり、レ−ザ光の発散、
レンズ面の曲がりによる入射角の変化にも十分対応でき
るものである。
て、透過率２２％、反射率３％の光減衰膜が得られた。
波長７９０±５０ｎｍに対し、透過率、反射率はほぼ一
定であり、このことは通常±１５ｎｍ程度であるレ−ザ
の波長ばらつきに十分たえられるものであることを示し
ている。また入射角度に対しても０±１０°以上の範囲
で透過率、反射率はほぼ一定であり、レ−ザ光の発散、
レンズ面の曲がりによる入射角の変化にも十分対応でき
るものである。
【００３１】このような膜形成実験を数回行って光学特
性の再現性を検討したところ、バッチ間、バッチ内を合
わせた透過率の変動量は２％以内に抑えられていること
が確認できた。
性の再現性を検討したところ、バッチ間、バッチ内を合
わせた透過率の変動量は２％以内に抑えられていること
が確認できた。
【００３２】また、８０℃、−２０℃のヒ−トショック
試験、８５℃、９５％ＲＨの高温高湿試験前後で膜の外
観、光学特性とも全く変化していないことが確認でき
た。
試験、８５℃、９５％ＲＨの高温高湿試験前後で膜の外
観、光学特性とも全く変化していないことが確認でき
た。
【００３３】このようにして光減衰膜をコ−ティングし
たレンズを図４（ａ）に示す光送信モジュ−ルに組み込
み込んだ。以下に、図４（ａ）を参照しながら、本実施
の形態の光減衰膜を用いた光送信モジュールの例につい
て説明する。
たレンズを図４（ａ）に示す光送信モジュ−ルに組み込
み込んだ。以下に、図４（ａ）を参照しながら、本実施
の形態の光減衰膜を用いた光送信モジュールの例につい
て説明する。
【００３４】レーザダイオード１は直接変調され、発光
部（発光源）２から変調光が出射される。出射された光
は集光レンズ３を経ることによって絞り込まれ、光ファ
イバ８内に導かれる。
部（発光源）２から変調光が出射される。出射された光
は集光レンズ３を経ることによって絞り込まれ、光ファ
イバ８内に導かれる。
【００３５】集光レンズ３には、光減衰膜９がコーティ
ングされているため、これによる吸収で、集光レンズ３
の透過光は所定光量にまで減衰される。また、光減衰膜
９は反射防止、抑制機能も兼ね備えているため、レーザ
ーの発光源２への戻り光はほとんどない。集光レンズ３
はレンズホルダ４に固定されている。
ングされているため、これによる吸収で、集光レンズ３
の透過光は所定光量にまで減衰される。また、光減衰膜
９は反射防止、抑制機能も兼ね備えているため、レーザ
ーの発光源２への戻り光はほとんどない。集光レンズ３
はレンズホルダ４に固定されている。
【００３６】また、光ファイバ８はフェルール７ととも
にフェルールホルダ６から着脱することができる。ま
た、光軸調整用ホルダ５およびフェルールホルダ６を用
いることで、光が効率良く光ファイバ８に導かれるよう
に光軸調整することができる。
にフェルールホルダ６から着脱することができる。ま
た、光軸調整用ホルダ５およびフェルールホルダ６を用
いることで、光が効率良く光ファイバ８に導かれるよう
に光軸調整することができる。
【００３７】また、フェルール７の外径およびフェルー
ルホルダ６の内径は高精度に加工されているため、光フ
ァイバー８をフェルール７とともに着脱を繰り返しても
正確に位置決めできるため、着脱による、光ファイバ８
に導入される光量変動を抑制することができる。
ルホルダ６の内径は高精度に加工されているため、光フ
ァイバー８をフェルール７とともに着脱を繰り返しても
正確に位置決めできるため、着脱による、光ファイバ８
に導入される光量変動を抑制することができる。
【００３８】以上のような構成の光送信モジュールを使
って、光信号の伝送実験を行ったところ、ＳＮ比の低下
は全くみられず、良好な性能が得られていることが確認
できた。また、送信モジュールから放出されるレーザー
光の強度は安全なレベルにまで減衰されていることがわ
かった。
って、光信号の伝送実験を行ったところ、ＳＮ比の低下
は全くみられず、良好な性能が得られていることが確認
できた。また、送信モジュールから放出されるレーザー
光の強度は安全なレベルにまで減衰されていることがわ
かった。
【００３９】すなわち、本実施の形態の光減衰膜が光送
信モジュ−ル用として非常に有効であることが実証され
た。
信モジュ−ル用として非常に有効であることが実証され
た。
【００４０】なお、信頼性の観点からいえば本実施の形
態のように膜形成時に基板加熱を行うほうが望ましい
が、常温下でコ−ティングを行うことも可能であり、各
種ガラス系のレンズはもとより、プラスチックよりなる
レンズに対しても適用することができる。また少なくと
もレンズの屈折率が１．４〜１．８の範囲で同じ膜構成
でも透過率、反射率はほとんど変化しない。
態のように膜形成時に基板加熱を行うほうが望ましい
が、常温下でコ−ティングを行うことも可能であり、各
種ガラス系のレンズはもとより、プラスチックよりなる
レンズに対しても適用することができる。また少なくと
もレンズの屈折率が１．４〜１．８の範囲で同じ膜構成
でも透過率、反射率はほとんど変化しない。
【００４１】また、本発明のように光減衰膜をレンズに
コ−ティングすることがモジュ−ルの小型化、低コスト
化には望ましいが、レ−ザダイオ−ドと光ファイバ間の
光路途中であればレンズ以外の部分にコ−ティングして
もよい。例えば、図４（ｂ）に示すようにレ−ザ発光部
２と集光レンズ３の間にガラス板１０を設けて、これの
レ−ザダイオ−ド１側に減衰膜９をコ−ティングしても
よい。尚、図４（ｂ）では、図４（ａ）と同じものには
同じ符号を付した。
コ−ティングすることがモジュ−ルの小型化、低コスト
化には望ましいが、レ−ザダイオ−ドと光ファイバ間の
光路途中であればレンズ以外の部分にコ−ティングして
もよい。例えば、図４（ｂ）に示すようにレ−ザ発光部
２と集光レンズ３の間にガラス板１０を設けて、これの
レ−ザダイオ−ド１側に減衰膜９をコ−ティングしても
よい。尚、図４（ｂ）では、図４（ａ）と同じものには
同じ符号を付した。
【００４２】また、膜形成方法についても蒸着に限るも
のでなく、例えばスパッタを用いてもよい。
のでなく、例えばスパッタを用いてもよい。
【００４３】また、必要に応じて、光減衰膜のコ−ト面
の対向面にＭｇＦ2膜などの反射防止膜を形成してもよ
い。
の対向面にＭｇＦ2膜などの反射防止膜を形成してもよ
い。
【００４４】本実施の形態においては透過率が２０％程
度の光減衰膜について説明したが、より詳細な検討を行
った結果、Ｃｒの膜厚を増減させることによって透過率
の調整が可能である。表１の４層からなる多層膜におい
て第１層、第３層のＣｒ膜厚を同じ膜厚として１〜８ｎ
ｍまで変化させると、反射率を３％以下にでき、かつ透
過率を６５〜８％の範囲で自由に設定できることがわか
った。さらにＳｉＯ2層の膜厚に対しても表１のように
限定されるものでなく、第２層の膜厚が６７〜２００ｎ
ｍ、第４層の膜厚が８０〜１７５ｎｍの範囲にあれば透
過減衰、反射防止の効果を両立することができることを
確認した。さらに膜材料としてＳｉＯ2の代わりにＭｇ
Ｆ2を用いても良好な性能が得られることを確認した。 （実施の形態２）本発明における第２の実施の形態につ
いて図面を示しながら説明する。
度の光減衰膜について説明したが、より詳細な検討を行
った結果、Ｃｒの膜厚を増減させることによって透過率
の調整が可能である。表１の４層からなる多層膜におい
て第１層、第３層のＣｒ膜厚を同じ膜厚として１〜８ｎ
ｍまで変化させると、反射率を３％以下にでき、かつ透
過率を６５〜８％の範囲で自由に設定できることがわか
った。さらにＳｉＯ2層の膜厚に対しても表１のように
限定されるものでなく、第２層の膜厚が６７〜２００ｎ
ｍ、第４層の膜厚が８０〜１７５ｎｍの範囲にあれば透
過減衰、反射防止の効果を両立することができることを
確認した。さらに膜材料としてＳｉＯ2の代わりにＭｇ
Ｆ2を用いても良好な性能が得られることを確認した。 （実施の形態２）本発明における第２の実施の形態につ
いて図面を示しながら説明する。
【００４５】図５は、集光レンズ３（図４参照）のレ−
ザダイオ−ド１側の面にコ−ティングされている光減衰
多層膜９の断面図を示している。
ザダイオ−ド１側の面にコ−ティングされている光減衰
多層膜９の断面図を示している。
【００４６】即ち、本実施の形態の多層膜は、レンズ３
の上に、第１層（ＮｉＣｒ膜）５０１、 第２層（Ｓｉ
Ｏ2膜）５０２、第３層（ＮｉＣｒ膜）５０３、 第４層
（ＳｉＯ2膜）５０４の順番に形成されている。
の上に、第１層（ＮｉＣｒ膜）５０１、 第２層（Ｓｉ
Ｏ2膜）５０２、第３層（ＮｉＣｒ膜）５０３、 第４層
（ＳｉＯ2膜）５０４の順番に形成されている。
【００４７】同図に示すとおり、本実施の形態の多層膜
は、非常に簡単な膜構成であり生産性に優れるものであ
る。
は、非常に簡単な膜構成であり生産性に優れるものであ
る。
【００４８】レンズの硝材はＳＦ８（屈折率１．７８
５）を用いており、これに表２に示す多層膜が設けられ
ている。ＮｉＣｒはＮｉ８０％、Ｃｒ２０％の組成比を
もつものである。この膜構成は波長７９０ｎｍのレ−ザ
光が紙面上方より入射することを想定したものである。
５）を用いており、これに表２に示す多層膜が設けられ
ている。ＮｉＣｒはＮｉ８０％、Ｃｒ２０％の組成比を
もつものである。この膜構成は波長７９０ｎｍのレ−ザ
光が紙面上方より入射することを想定したものである。
【００４９】
【表２】
【００５０】表２の多層膜の形成方法については実施の
形態１にて述べた方法とほとんど同じであるので省略す
る。
形態１にて述べた方法とほとんど同じであるので省略す
る。
【００５１】図６は実際に形成した表２の光減衰膜の光
学特性を示している。図６（ａ）は透過率の波長依存
性、図６（ｂ）は反射率の波長依存性を示している。測
定はレンズにコ−ティングする際、同時に膜形成された
モニタ用の平板ガラスサンプルにて行った。
学特性を示している。図６（ａ）は透過率の波長依存
性、図６（ｂ）は反射率の波長依存性を示している。測
定はレンズにコ−ティングする際、同時に膜形成された
モニタ用の平板ガラスサンプルにて行った。
【００５２】このように目標波長の７９０ｎｍにおい
て、透過率２１％、反射率３％の光減衰膜が得られた。
波長７９０±５０ｎｍに対し、透過率、反射率はほぼ一
定であり、これより通常±１５ｎｍ程度であるレ−ザの
波長ばらつきに十分たえられるものである。また入射角
度に対しても０±１０°以上の範囲で透過率、反射率は
ほぼ一定であり、レ−ザ光の発散、レンズ面の曲がりに
よる入射角度の変化にも十分対応できるものである。
て、透過率２１％、反射率３％の光減衰膜が得られた。
波長７９０±５０ｎｍに対し、透過率、反射率はほぼ一
定であり、これより通常±１５ｎｍ程度であるレ−ザの
波長ばらつきに十分たえられるものである。また入射角
度に対しても０±１０°以上の範囲で透過率、反射率は
ほぼ一定であり、レ−ザ光の発散、レンズ面の曲がりに
よる入射角度の変化にも十分対応できるものである。
【００５３】このような膜形成実験を数回行って光学特
性の再現性を検討したところ、バッチ間、バッチ内を合
わせた透過率の変動量は２％以内に抑えられていること
が確認できた。
性の再現性を検討したところ、バッチ間、バッチ内を合
わせた透過率の変動量は２％以内に抑えられていること
が確認できた。
【００５４】また、８０℃、−２０℃のヒ−トショック
試験、８５℃、９５％ＲＨの高温高湿試験前後で膜の外
観、光学特性とも全く変化していないことが確認でき
た。
試験、８５℃、９５％ＲＨの高温高湿試験前後で膜の外
観、光学特性とも全く変化していないことが確認でき
た。
【００５５】このようにして光減衰膜をコ−ティングし
たレンズを図４（ａ）に示す光送信モジュ−ルに組み込
み、光信号の伝送実験を行ったところ、ＳＮ比の低下は
全くみられず、良好な性能が得られていることが確認で
きた。また送信モジュ−ルから放出されるレ−ザ光の強
度は安全なレベルにまで減衰されていることがわかっ
た。
たレンズを図４（ａ）に示す光送信モジュ−ルに組み込
み、光信号の伝送実験を行ったところ、ＳＮ比の低下は
全くみられず、良好な性能が得られていることが確認で
きた。また送信モジュ−ルから放出されるレ−ザ光の強
度は安全なレベルにまで減衰されていることがわかっ
た。
【００５６】すなわち、本実施の形態の光減衰膜が光送
信モジュ−ル用として非常に有効であることが実証され
た。
信モジュ−ル用として非常に有効であることが実証され
た。
【００５７】なお、信頼性の観点からいえば本実施の形
態のように膜形成時に基板加熱を行うほうが望ましい
が、常温下でコ−ティングを行うことも可能であり、各
種ガラス系のレンズはもとより、プラスチックよりなる
レンズに対しても適用することができる。また少なくと
もレンズの屈折率が１．４〜１．８の範囲で同じ膜構成
でも透過率、反射率はほとんど変化しない。
態のように膜形成時に基板加熱を行うほうが望ましい
が、常温下でコ−ティングを行うことも可能であり、各
種ガラス系のレンズはもとより、プラスチックよりなる
レンズに対しても適用することができる。また少なくと
もレンズの屈折率が１．４〜１．８の範囲で同じ膜構成
でも透過率、反射率はほとんど変化しない。
【００５８】本実施例のＮｉＣｒ組成（Ｎｉ８０％、Ｃ
ｒ２０％）は電気抵抗材料としてよく用いられているも
ので安価であり最も望ましい。しかし、各層の膜厚の最
適化をすれば、少なくともＮｉの比率が０〜８０％の範
囲で要求特性を実現できる。
ｒ２０％）は電気抵抗材料としてよく用いられているも
ので安価であり最も望ましい。しかし、各層の膜厚の最
適化をすれば、少なくともＮｉの比率が０〜８０％の範
囲で要求特性を実現できる。
【００５９】また本実施の形態のＮｉＣｒについてもＣ
ｒと同様、膜厚を増減させることによって透過率の調整
が可能であり、ＳｉＯ2層の膜厚に対しても表２のよう
に限定されるものでなく、第２層の膜厚が６７〜２００
ｎｍ、第４層の膜厚が８０〜１７５ｎｍの範囲にあれば
透過減衰、反射防止の効果を両立することを確認した。
さらに膜材料としてＳｉＯ2の代わりにＭｇＦ2を用いて
も良好な性能が得られることを確認した。
ｒと同様、膜厚を増減させることによって透過率の調整
が可能であり、ＳｉＯ2層の膜厚に対しても表２のよう
に限定されるものでなく、第２層の膜厚が６７〜２００
ｎｍ、第４層の膜厚が８０〜１７５ｎｍの範囲にあれば
透過減衰、反射防止の効果を両立することを確認した。
さらに膜材料としてＳｉＯ2の代わりにＭｇＦ2を用いて
も良好な性能が得られることを確認した。
【００６０】また、本発明のように光減衰膜をレンズに
コ−ティングすることがモジュ−ルの小型化、低コスト
化には望ましいが、レ−ザダイオ−ドと光ファイバ間の
光路途中であればレンズ以外の部分にコ−ティングして
もよい。例えば図４（ｂ）に示すようにレ−ザと集光レ
ンズの間にガラス板を設けて、これのレ−ザダイオ−ド
側に減衰膜をコ−ティングしてもよい。
コ−ティングすることがモジュ−ルの小型化、低コスト
化には望ましいが、レ−ザダイオ−ドと光ファイバ間の
光路途中であればレンズ以外の部分にコ−ティングして
もよい。例えば図４（ｂ）に示すようにレ−ザと集光レ
ンズの間にガラス板を設けて、これのレ−ザダイオ−ド
側に減衰膜をコ−ティングしてもよい。
【００６１】また、膜形成方法についても蒸着に限るも
のでなく、例えばスパッタを用いてもよい。
のでなく、例えばスパッタを用いてもよい。
【００６２】また、必要に応じて、光減衰膜のコ−ト面
の対向面にＭｇＦ2膜などの反射防止膜を形成してもよ
い。
の対向面にＭｇＦ2膜などの反射防止膜を形成してもよ
い。
【００６３】（実施の形態３）本発明における第３の実
施の形態について図面を示しながら説明する。
施の形態について図面を示しながら説明する。
【００６４】図７は集光レンズ３（図４参照）のレ−ザ
ダイオ−ド１側の面にコ−ティングされている光減衰多
層膜の断面図を示している。
ダイオ−ド１側の面にコ−ティングされている光減衰多
層膜の断面図を示している。
【００６５】即ち、本実施の形態の多層膜は、レンズ３
の上に、第１層（Ｇｅ膜）７０１、第２層（ＳｉＯ
2膜）７０２、第３層（Ｇｅ膜）７０３、 第４層（Ｓｉ
Ｏ2膜）７０４、第５層（Ｇｅ膜）７０５、 第６層（Ｓ
ｉＯ2膜）７０６の順番に形成されている。
の上に、第１層（Ｇｅ膜）７０１、第２層（ＳｉＯ
2膜）７０２、第３層（Ｇｅ膜）７０３、 第４層（Ｓｉ
Ｏ2膜）７０４、第５層（Ｇｅ膜）７０５、 第６層（Ｓ
ｉＯ2膜）７０６の順番に形成されている。
【００６６】同図に示すとおり、本実施の形態の多層膜
は、非常に簡単な膜構成であり生産性に優れるものであ
る。
は、非常に簡単な膜構成であり生産性に優れるものであ
る。
【００６７】レンズの硝材はＢＫ７（屈折率１．５１）
を用いており、これに表３に示す多層膜が設けられてい
る。この膜構成は波長７９０ｎｍのレ−ザ光が紙面上方
から入射することを想定したものである。
を用いており、これに表３に示す多層膜が設けられてい
る。この膜構成は波長７９０ｎｍのレ−ザ光が紙面上方
から入射することを想定したものである。
【００６８】
【表３】
【００６９】表３の多層膜の形成方法については実施の
形態１にて述べた方法とほとんど同じであるので省略す
る。
形態１にて述べた方法とほとんど同じであるので省略す
る。
【００７０】図８は実際に形成した表３の光減衰膜の光
学特性を示している。図８（ａ）は透過率の波長依存
性、図８（ｂ）は反射率の波長依存性を示している。測
定はレンズにコ−ティングする際、同時に膜形成された
モニタ用の平板ガラスサンプルにて行った。
学特性を示している。図８（ａ）は透過率の波長依存
性、図８（ｂ）は反射率の波長依存性を示している。測
定はレンズにコ−ティングする際、同時に膜形成された
モニタ用の平板ガラスサンプルにて行った。
【００７１】このように目標波長の７９０ｎｍにおい
て、透過率１９％、反射率３％の光減衰膜が得られた。
通常±１５ｎｍ程度であるレ−ザの波長ばらつきに十分
たえられるものである。また入射角度に対しても０±１
０°以上の範囲で透過率、反射率はほぼ一定であり、レ
−ザ光の発散、レンズ面の曲がりによる入射角度の変化
にも十分対応できるものである。
て、透過率１９％、反射率３％の光減衰膜が得られた。
通常±１５ｎｍ程度であるレ−ザの波長ばらつきに十分
たえられるものである。また入射角度に対しても０±１
０°以上の範囲で透過率、反射率はほぼ一定であり、レ
−ザ光の発散、レンズ面の曲がりによる入射角度の変化
にも十分対応できるものである。
【００７２】このような膜形成実験を数回行って光学特
性の再現性を検討したところ、バッチ間、バッチ内を合
わせた透過率の変動量は２％以内に抑えられていること
が確認できた。
性の再現性を検討したところ、バッチ間、バッチ内を合
わせた透過率の変動量は２％以内に抑えられていること
が確認できた。
【００７３】また、８０℃、−２０℃のヒ−トショック
試験、８５℃、９５％ＲＨの高温高湿試験前後で膜の外
観、光学特性とも全く変化していないことが確認でき
た。
試験、８５℃、９５％ＲＨの高温高湿試験前後で膜の外
観、光学特性とも全く変化していないことが確認でき
た。
【００７４】このようにして光減衰膜をコ−ティングし
たレンズを図４（ａ）に示す光送信モジュ−ルに組み込
み、光信号の伝送実験を行ったところ、ＳＮ比の低下は
全くみられず、良好な性能が得られていることが確認で
きた。また送信モジュ−ルから放出されるレ−ザ光の強
度は安全なレベルにまで減衰されていることがわかっ
た。
たレンズを図４（ａ）に示す光送信モジュ−ルに組み込
み、光信号の伝送実験を行ったところ、ＳＮ比の低下は
全くみられず、良好な性能が得られていることが確認で
きた。また送信モジュ−ルから放出されるレ−ザ光の強
度は安全なレベルにまで減衰されていることがわかっ
た。
【００７５】すなわち、本実施の形態の光減衰膜が光送
信モジュ−ル用として非常に有効であることが実証され
た。
信モジュ−ル用として非常に有効であることが実証され
た。
【００７６】なお、信頼性の観点からいえば本実施の形
態のように膜形成時に基板加熱を行うほうが望ましい
が、常温下でコ−ティングを行うことも可能であり、各
種ガラス系のレンズはもとより、プラスチックよりなる
レンズに対しても適用することができる。また少なくと
もレンズの屈折率が１．４〜１．８の範囲で同じ膜構成
でも透過率、反射率はほとんど変化しない。
態のように膜形成時に基板加熱を行うほうが望ましい
が、常温下でコ−ティングを行うことも可能であり、各
種ガラス系のレンズはもとより、プラスチックよりなる
レンズに対しても適用することができる。また少なくと
もレンズの屈折率が１．４〜１．８の範囲で同じ膜構成
でも透過率、反射率はほとんど変化しない。
【００７７】本実施の形態のＧｅについてもＣｒやＮｉ
Ｃｒと同様、膜厚を増減させることによって透過率の調
整が可能であり、ＳｉＯ2層の膜厚に対しても表３のよ
うに限定されるものでなく、第２層の膜厚が１６０〜２
００ｎｍ、第４層の膜厚が１６０〜２００ｎｍ、第６層
の膜厚が７５〜１１０ｎｍの範囲にあれば透過減衰、反
射防止の効果を両立することができる。
Ｃｒと同様、膜厚を増減させることによって透過率の調
整が可能であり、ＳｉＯ2層の膜厚に対しても表３のよ
うに限定されるものでなく、第２層の膜厚が１６０〜２
００ｎｍ、第４層の膜厚が１６０〜２００ｎｍ、第６層
の膜厚が７５〜１１０ｎｍの範囲にあれば透過減衰、反
射防止の効果を両立することができる。
【００７８】また、本発明のように光減衰膜をレンズに
コ−ティングすることがモジュ−ルの小型化、低コスト
化には望ましいが、レ−ザダイオ−ドと光ファイバ間の
光路途中であれば必ずしもレンズ以外の部分にコ−ティ
ングしてもよい。例えば図４（ｂ）のようにレ−ザと集
光レンズの間にガラス板を設けて、これのレ−ザダイオ
−ド側に減衰膜をコ−ティングしてもよい。
コ−ティングすることがモジュ−ルの小型化、低コスト
化には望ましいが、レ−ザダイオ−ドと光ファイバ間の
光路途中であれば必ずしもレンズ以外の部分にコ−ティ
ングしてもよい。例えば図４（ｂ）のようにレ−ザと集
光レンズの間にガラス板を設けて、これのレ−ザダイオ
−ド側に減衰膜をコ−ティングしてもよい。
【００７９】また、膜形成方法についても蒸着に限るも
のでなく、例えばスパッタを用いてもよい。
のでなく、例えばスパッタを用いてもよい。
【００８０】また、必要に応じて、光減衰膜のコ−ト面
の対向面にＭｇＦ２膜などの反射防止膜を形成してもよ
い。
の対向面にＭｇＦ２膜などの反射防止膜を形成してもよ
い。
【００８１】さらに詳細な検討を行った結果、本実施の
形態のように金属膜としてＧｅを用いた場合、各層の膜
厚を適切に設定すれば屈折率が１．３〜２．３の誘電体
に対し、透過減衰、兼反射防止の光学特性を実現できる
ことがわかった。一例として誘電体としてＡｌ2Ｏ3、又
はＴｉＯ2を用いた場合の膜構成を表４、表５に示す
形態のように金属膜としてＧｅを用いた場合、各層の膜
厚を適切に設定すれば屈折率が１．３〜２．３の誘電体
に対し、透過減衰、兼反射防止の光学特性を実現できる
ことがわかった。一例として誘電体としてＡｌ2Ｏ3、又
はＴｉＯ2を用いた場合の膜構成を表４、表５に示す
【００８２】。
【表４】
【００８３】
【表５】
【００８４】図９は実際に形成した表４、５の光減衰膜
の光学特性を示している。図９（ａ）は透過率の波長依
存性、図９（ｂ）は反射率の波長依存性を示している。
の光学特性を示している。図９（ａ）は透過率の波長依
存性、図９（ｂ）は反射率の波長依存性を示している。
【００８５】これらの膜構成を持つ光減衰膜においても
光学特性上、信頼性上の問題は全くなく、光送信モジュ
−ルに組み込んで行った伝送実験においても良好な評価
結果が得られ、有効性を実証することができた。
光学特性上、信頼性上の問題は全くなく、光送信モジュ
−ルに組み込んで行った伝送実験においても良好な評価
結果が得られ、有効性を実証することができた。
【００８６】以上のように、従来にない透過減衰と反射
防止を兼ね備えた本発明の光減衰多層膜を光送信モジュ
−ルに組み入れることにより、光信号の伝送に何らの悪
影響を与えることなく、モジュ−ルから放出されるレ−
ザ光強度を人体に安全なレベルにまで減衰させることが
できる。他の手段に比べ格段に低コストで実現できると
ともに大量生産ができ、光送信モジュ−ルのコストダウ
ンと小型化に大きく寄与するものである。
防止を兼ね備えた本発明の光減衰多層膜を光送信モジュ
−ルに組み入れることにより、光信号の伝送に何らの悪
影響を与えることなく、モジュ−ルから放出されるレ−
ザ光強度を人体に安全なレベルにまで減衰させることが
できる。他の手段に比べ格段に低コストで実現できると
ともに大量生産ができ、光送信モジュ−ルのコストダウ
ンと小型化に大きく寄与するものである。
【００８７】尚、本発明の光減衰多層膜は、上記実施の
形態では、第１の膜と第２の膜の４層構造であり性能上
望ましいが、これに限らずたとえば、２層構造や３層構
造等でもかまわない。この場合でも、透過光減衰と反射
光抑制・防止の機能を兼ね備えた光学多層膜を構成する
ことが出来る。
形態では、第１の膜と第２の膜の４層構造であり性能上
望ましいが、これに限らずたとえば、２層構造や３層構
造等でもかまわない。この場合でも、透過光減衰と反射
光抑制・防止の機能を兼ね備えた光学多層膜を構成する
ことが出来る。
【００８８】又、本発明の光減衰多層膜は、上記実施の
形態では、６層構造であり性能上望ましいが、これに限
らず例えば、２層以上の構造であれば、透過光減衰と反
射光抑制・防止の機能を兼ね備えた光学多層膜を構成す
ることが出来る。
形態では、６層構造であり性能上望ましいが、これに限
らず例えば、２層以上の構造であれば、透過光減衰と反
射光抑制・防止の機能を兼ね備えた光学多層膜を構成す
ることが出来る。
【００８９】
【発明の効果】以上述べたところから明らかなように本
発明は、光を所定の光量に減衰するとともに反射抑制又
は防止の機能も兼ね備えた光減衰多層膜を提供出来ると
言う長所を有する。
発明は、光を所定の光量に減衰するとともに反射抑制又
は防止の機能も兼ね備えた光減衰多層膜を提供出来ると
言う長所を有する。
【００９０】又、本発明は、光送信モジュールをより一
層小型化出来ると言う長所を有する。
層小型化出来ると言う長所を有する。
【図１】本発明の第１の実施の形態である光送信モジュ
−ル用光減衰膜の断面図
−ル用光減衰膜の断面図
【図２】膜形成に用いた真空蒸着装置の概略図
【図３】（ａ）、（ｂ）：本発明の第１の実施の形態で
ある光減衰膜の光学特性図
ある光減衰膜の光学特性図
【図４】（ａ）：本発明の第２の実施の形態における集
光レンズに光減衰膜をコートした光送信モジュ−ルの概
略図 （ｂ）：同実施の形態におけるガラス板に光減衰膜をコ
ートした光送信モジュ−ルの概略図
光レンズに光減衰膜をコートした光送信モジュ−ルの概
略図 （ｂ）：同実施の形態におけるガラス板に光減衰膜をコ
ートした光送信モジュ−ルの概略図
【図５】本発明の第２の実施の形態である光送信モジュ
−ル用光減衰膜の断面図
−ル用光減衰膜の断面図
【図６】（ａ）：本発明の第２の実施の形態である光減
衰膜の透過率の波長依存性を示す光学特性図 （ｂ）：同実施の形態である光減衰膜の反射率の波長依
存性を示す光学特性図
衰膜の透過率の波長依存性を示す光学特性図 （ｂ）：同実施の形態である光減衰膜の反射率の波長依
存性を示す光学特性図
【図７】本発明の第２の実施の形態である光送信モジュ
−ル用光減衰膜の断面図
−ル用光減衰膜の断面図
【図８】（ａ）：本発明の第３の実施の形態で誘電体に
ＳｉＯ2を用いたときの光減衰膜の透過率の波長依存性
を示す光学特性図 （ｂ）：同実施の形態で誘電体にＳｉＯ2を用いたとき
の光減衰膜の反射率の波長依存性を示す光学特性図
ＳｉＯ2を用いたときの光減衰膜の透過率の波長依存性
を示す光学特性図 （ｂ）：同実施の形態で誘電体にＳｉＯ2を用いたとき
の光減衰膜の反射率の波長依存性を示す光学特性図
【図９】（ａ）：本発明の第３の実施の形態で誘電体に
Ａｌ2Ｏ3、又はＴｉＯ2を用いたときの光減衰膜の透過
率の波長依存性を示す光学特性図 （ｂ）：本発明の第３の実施の形態で誘電体にＡｌ
2Ｏ3、又はＴｉＯ2を用いたときの光減衰膜の反射率の
波長依存性を示す光学特性図
Ａｌ2Ｏ3、又はＴｉＯ2を用いたときの光減衰膜の透過
率の波長依存性を示す光学特性図 （ｂ）：本発明の第３の実施の形態で誘電体にＡｌ
2Ｏ3、又はＴｉＯ2を用いたときの光減衰膜の反射率の
波長依存性を示す光学特性図
【図１０】従来の光送信モジュ−ルの概略図
【図１１】従来の代表的な光減衰膜の光学特性を示す図
１ レーザダイオード ２ 発光部 ３ 集光レンズ ４ レンズホルダ ５ 光軸調整用ホルダ ６ フェルールホルダ ７ フェルール ８ 光ファイバ ９ 光減衰膜 １０ ガラス板 １０１ 第１層（Ｃｒ膜） １０２ 第２層（ＳｉＯ2膜） １０３ 第３層（Ｃｒ膜） １０４ 第４層（ＳｉＯ2膜）
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｇ０２Ｂ 6/42 Ｈ０１Ｓ 3/18 Ｈ０１Ｓ 3/18 Ｇ０２Ｂ 1/10 Ａ
Claims (7)
- 【請求項１】 Ｃｒ、ＮｉＣｒ又はＧｅを含む第１の膜
と、ＳｉＯ2又はＭｇＦ2を含む第２の膜とを積層したこ
とを特徴とする光減衰多層膜。 - 【請求項２】 Ｇｅを含む第１の膜と、屈折率が１．３
〜２．３の誘電体膜とを積層したことを特徴とする光減
衰多層膜。 - 【請求項３】 前記第１の膜は、Ｃｒ又はＮｉＣｒを含
む膜であり、前記第１及び前記第２の膜が、交互に積層
されて４層構造をなしていることを特徴とする請求項１
記載の光減衰多層膜。 - 【請求項４】 前記第１の膜は、Ｇｅを含む膜であり、
前記第１及び前記第２の膜が、交互に積層されて６層構
造をなしていることを特徴とする請求項１記載の光減衰
多層膜。 - 【請求項５】 レーザ光を出射する発光源と、 前記出射されたレーザー光を集光する集光レンズと、 光送信路を着脱する光送信路着脱部と、 前記発光源と前記光送信路着脱部との間に設けられた請
求項１〜４の何れか一つに記載の光減衰多層膜と、備え
たことを特徴とする光送信モジュ−ル。 - 【請求項６】 前記光減衰多層膜は、前記集光レンズに
コ−ティングされていることを特徴とする請求項５記載
の光送信モジュ−ル。 - 【請求項７】 前記光減衰多層膜は、前記レ−ザ光が空
気層側から入射するように配置されたことを特徴とする
請求項５又は６記載の光送信モジュ−ル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9278684A JPH11119006A (ja) | 1997-10-13 | 1997-10-13 | 光減衰多層膜、及び光送信モジュ−ル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9278684A JPH11119006A (ja) | 1997-10-13 | 1997-10-13 | 光減衰多層膜、及び光送信モジュ−ル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11119006A true JPH11119006A (ja) | 1999-04-30 |
Family
ID=17600739
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9278684A Withdrawn JPH11119006A (ja) | 1997-10-13 | 1997-10-13 | 光減衰多層膜、及び光送信モジュ−ル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11119006A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004145250A (ja) * | 2002-08-27 | 2004-05-20 | Sharp Corp | 双方向光通信モジュール |
| JP2006058854A (ja) * | 2004-07-20 | 2006-03-02 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 吸収型多層膜ｎｄフィルター |
| JP2006178395A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-07-06 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 吸収型多層膜ｎｄフィルター |
| US7394952B1 (en) | 2005-01-18 | 2008-07-01 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Optical transmission device and optical module |
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