JPH11132855A - 焦電型赤外線センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は焦電体により赤外線を検出する焦電
型赤外線センサに関するものであり、周囲の温度変化に
対し誤報がない焦電型赤外線センサを実現することを目
的とする。 【解決手段】 開口部２を有する封止体１と、この封止
体１の開口部２に封着された赤外線入射窓３と、Ｍｇｏ
単結晶基板５と、この基板５上に下部電極６ａ，６ｂを
設け、この下部電極６ａ，６ｂ上に同一形状の焦電体７
ａ，７ｂを設け、この焦電体７ａ，７ｂ上に赤外線吸収
効果を有する受光電極８ａ，８ｂを設けた赤外線検出部
４と、上記赤外線検出部４が接する基板の表層部に有す
る空洞１１と、上記赤外線検出部４を保持し、引き出し
電極を有する固定台１３より構成され、上記赤外線検出
部４の曲げの中立軸１９が焦電体７ａ，７ｂの膜厚のほ
ぼ半分の厚さに存在する構成を有している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は焦電体により赤外線
を検出する焦電型赤外線センサに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、焦電型赤外線センサは非接触で物
体の検知や温度検出ができる点を活かして、電子レンジ
の調理物の温度測定、エアコンの室内温度制御、あるい
は自動ドア、警報装置での人体検知等に利用されてお
り、今後その利用範囲は拡大していくと見られる。

【０００３】焦電型赤外線センサは、ＬｉＴａＯ₃結晶
等の焦電効果を利用したものである。焦電体は自発分極
を有しており常に表面電荷が発生しているが、大気中に
おける定常状態では大気中の電荷と結びついて電気的に
中性を保っている。これに赤外線が入射すると焦電体の
温度が変化し、これに伴い表面の電荷状態も中性状態が
壊れて変化する。この時表面に発生する電荷を検出し、
赤外線入射量を測定するのが赤外線センサである。一般
に物体はその温度に応じた赤外線を放出しており、この
焦電型赤外線センサを用いることにより物体の存在や温
度を検知できる。

【０００４】図１２は従来の焦電型赤外線センサを示す
概略図を示す。図１２において封止体１は外乱光や電磁
ノイズを遮断するものであり、例えばＦｅまたはコバー
ルまたはＳｉにより構成される。上記封止体１は開口部
２を有し、赤外線を上記封止体１に導く入り口となる。
赤外線入射窓３は上記開口部２に取り付けられており、
赤外線を透過し上記封止体１内に導くものであり、例え
ばＳｉまたは表面にＧｅおよびＺｎＳで作成されたフィ
ルタが設けられたＳｉにより構成されている。

【０００５】赤外線検出部４は図１３，図１４に示すよ
うにデュアルエレメントタイプの場合で、（１００）Ｍ
ｇｏ単結晶基板５上にＰｔにより膜厚２００ｎｍの下部
電極６ａ，６ｂを設け、この下部電極６ａ，６ｂ上に同
一形状の膜厚２μｍのランタンを含有したチタン酸鉛を
材料とする焦電体７ａ，７ｂを設け、この焦電体７ａ，
７ｂ上に赤外線吸収効果を有する膜厚２０ｎｍ受光電極
８ａ，８ｂが設けられており、この受光電極８ａ，８ｂ
の極性は逆極性となるように接続されている。最表面に
は上記受光電極８ａ，８ｂを保護するためにポリイミド
で保護膜９を膜厚１μｍに形成し、下部電極６ａ，６ｂ
と受光電極８ａ，８ｂの間には層間絶縁のため絶縁膜１
０を設け、上記赤外線検出部４が接する基板の表層部に
空洞１１を有し、空洞１１を作成するために赤外線検出
部４の周りにエッチング穴１２を有した構成である。ま
た赤外線検出部４は、引き出し電極を有する固定台１３
に保持されている。

【０００６】ここで赤外線検出部４の曲げの中立軸は焦
電体７ａ，７ｂの膜厚の半分より０．１５μｍ程度下部
電極６ａ，６ｂ側にずれている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】この焦電型赤外線セン
サは、照明や空調機器等の家庭商品に用いられるため周
囲の温度変化に対し、赤外線検出部４の電荷の突発的放
電による誤報がないことが強く求められている。ＬｉＴ
ａＯ₃結晶等を材料とする焦電体７ａ，７ｂは圧電体で
もあるため周囲の温度変化に対し、赤外線検出部４が熱
応力を受け曲げが生じると、焦電体７ａ，７ｂ内部には
曲げによる引張応力により生じる圧電電流と、圧縮応力
により生じる圧電電流が発生する。この時、引張応力お
よび圧縮応力は赤外線検出部４の構成によって決まる焦
電体７ａ，７ｂの中立軸からの距離によるため、中立軸
が焦電体７ａ，７ｂの膜厚の半分の厚さの位置でない場
合は引張応力と圧縮応力の合成により生じる圧電電流に
より、電荷の突発的放電が発生することになる。

【０００８】本発明はこのような家庭商品に用いられる
ように周囲の温度変化に対し誤報がない焦電型赤外線セ
ンサを提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明は、赤外線検出部の曲げの中立軸が焦電体の膜
厚のほぼ半分の厚さとしたものである。

【００１０】この発明によれば家庭商品に用いられるよ
うに周囲の温度変化に対し、誤報がない焦電型赤外線セ
ンサを提供することができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１記載の発明は、
少なくとも開口部を有する封止体と、この封止体の開口
部に封着された赤外線入射窓と、少なくとも単結晶から
なる基板と、この基板上に設けた下部電極上に同一形状
の焦電体を設けかつこの焦電体上に赤外線吸収効果を有
する受光電極を設けた赤外線検出部と、この赤外線検出
部が接する基板の表層部に設けた空洞と、上記赤外線検
出部を保持し引き出し電極を有する固定台より構成さ
れ、上記赤外線検出部の曲げの中立軸が焦電体の膜厚の
ほぼ半分の厚さに存在するものであり、これにより、周
囲の温度変化に対し赤外線検出部が熱応力を受け曲げが
生じた場合でも、曲げの中立軸が焦電体の膜厚の半分の
位置にあるため、曲げによる引張応力により生じる圧電
電流と、圧縮応力により生じる圧電電流の絶対値が同一
となるため内部的にキャンセルされ、結果圧電による電
荷の突発的放電が発生しないという作用を有する。

【００１２】請求項２に記載の発明は、少なくとも開口
部を有する封止体と、この封止体の開口部に封着された
赤外線入射窓と、少なくとも単結晶からなる基板と、こ
の基板上に設けた複数個の下部電極上に同一形状で複数
個の焦電体を設けかつこの焦電体上に赤外線吸収効果を
有する複数個の受光電極を設けてこの受光電極の極性が
逆極性となるように接続された赤外線検出部と、上記赤
外線検出部が接する基板の表層部に設けた空洞と、上記
赤外線検出部を保持し引き出し電極を有する固定台より
構成され、上記空洞の底面と下部電極の間隔がほぼ一定
であるもので、赤外線検出部の裏面から空洞の底面への
熱放射は距離の累乗に反比例する関係にあり、極性が逆
極性である各素子から空洞の底面までの距離が等距離で
あれば各素子からの熱放射が均一となるため各素子の温
度が均一となり、素子の温度上昇が同一となる。これに
より、周囲の温度変化に対し、逆極性で発生する焦電電
流の絶対値が同一となるため内部的にキャンセルされ、
結果電荷の突発的放電が発生しないという作用を有す
る。

【００１３】請求項３に記載の発明は、少なくとも開口
部を有する封止体と、この封止体の開口部に封着された
赤外線入射窓と、少なくとも単結晶からなる基板と、こ
の基板上に設けた複数個の下部電極上に同一形状で複数
個の焦電体を設けかつこの焦電体上に赤外線吸収効果を
有する複数個の受光電極を設けてこの受光電極の極性が
逆極性となるように接続された赤外線検出部と、この赤
外線検出部が接する基板の表層部に設けた空洞と、上記
赤外線検出部を保持し引き出し電極を有する固定台より
構成され、上記空洞が上記基板の裏面に貫通しているも
ので、赤外線検出部の裏面から空洞の底面への熱放射は
距離の累乗に反比例する関係にあり、空洞が基板の裏面
に貫通していることにより、熱放射量は非常に小さくな
り、極性が逆極性である各素子からの熱放射が均一とな
るため各素子の温度が均一となり、素子の温度上昇が同
一となる。これにより、周囲の温度変化に対し、逆極性
で発生する焦電電流の絶対値が同一となるため内部的に
キャンセルされ、結果電荷の突発的放電が発生しないと
いう作用を有する。

【００１４】請求項４に記載の発明は、少なくとも開口
部を有する封止体と、この封止体の開口部に封着された
赤外線入射窓と、上記封止体に内蔵され少なくとも焦電
体の上面、下面に受光電極、下部電極を有する赤外線検
出部と、この赤外線検出部を保持し引き出し電極を有す
る固定台により構成され、上記封止体の熱容量が上記固
定台の熱容量とほぼ同等であるものであり、熱容量が同
等であれば周囲の温度変化に対し、封止体、固定台とも
同一の温度変化を示すので、周囲の温度変化に対し固定
台上に保持された赤外線検出部と封止体の温度差が無く
なる。これより、赤外線検出部と封止体の温度差から生
じる焦電電流が発生することがなくなり、結果電荷の突
発的放電が発生しないという作用を有する。

【００１５】請求項５に記載の発明は、開口部を有する
封止体と、この封止体の開口部に封着された赤外線入射
窓と、上記封止体に内蔵され少なくとも焦電体の上面、
下面に受光電極、下部電極を有する赤外線検出部と、こ
の赤外線検出部を保持し引き出し電極を有する固定台よ
り構成され、上記封止体の外周に断熱体を有するもので
あり、周囲の急激な温度変化、揺らぎに対し、断熱体が
封止体にその温度変化をほとんど伝達しなくなるため、
封止体の温度変化がなくなる。これより、赤外線検出部
と封止体の温度差から生じる焦電電流が発生することが
なくなり、結果電荷の突発的放電が発生しないという作
用を有する。

【００１６】請求項６に記載の発明は、空洞の内面に
金、白金、銀、銅、黄銅、アルミ、亜鉛、スズ、鉛、ニ
ッケル、タングステンの少なくとも１種類を主成分とす
る低放射率の光沢膜を形成しているものであり、空洞の
内面への熱吸収量は内面の放射率に比例するため、極性
が逆極性である各素子からの熱放射がほとんどなくなり
各素子の温度が均一となり、素子の温度上昇が同一とな
る。これにより、周囲の温度変化に対し、逆極性で発生
する焦電電流の絶対値が同一となるため内部的にキャン
セルされ、結果電荷の突発的放電が発生しないという作
用を有する。

【００１７】以下、本発明の実施の形態について、図面
を参照しながら説明する。 （実施の形態１）図１は本発明の第１の実施の形態にお
ける焦電型赤外線センサの概略図、図２は赤外線検出部
の平面図、図３は同断面図を示すものである。図１〜図
３において封止体１は外乱光や電磁ノイズを遮断するも
のであり、例えばＦｅまたはコバールまたはＳｉにより
構成される。上記封止体１には開口部２を有し、赤外線
を上記封止体１に導く入り口となる。赤外線入射窓３は
上記開口部２に取り付けられており、赤外線を透過し上
記封止体１内に導くものであり、例えばＳｉまたは表面
にＧｅおよびＺｎＳで作成されたフィルタが設けられた
Ｓｉにより構成されている。

【００１８】赤外線検出部４はデュアルエレメントタイ
プの場合で、（１００）Ｍｇｏ単結晶基板５上にＰｔに
より下部電極６ａ，６ｂを設け、この下部電極６ａ，６
ｂ上に同一形状の焦電体７ａ，７ｂを設け、この焦電体
７ａ，７ｂ上に赤外線吸収効果を有する受光電極８ａ，
８ｂが設けられており、この受光電極８ａ，８ｂの極性
は逆極性となるように接続されている。最表面には上記
受光電極８ａ，８ｂを保護するためにポリイミドで保護
膜９を形成し、下部電極６ａ，６ｂと受光電極８ａ，８
ｂの間には層間絶縁のため絶縁膜１０を設け、上記赤外
線検出部４が接する基板の表層部に空洞１１を有し、こ
の空洞１１を作成するために赤外線検出部４の周りにエ
ッチング穴１２を有した構成である。ここで下部電極６
ａ，６ｂ、集電体７ａ，７ｂ、受光電極８ａ，８ｂ、保
護膜９の膜厚は曲げの中立軸１９が焦電体７ａ，７ｂの
膜厚のほぼ半分の厚さに存在するように構成されてい
る。また赤外線検出部４は、引き出し電極を有する固定
台１３に保持されている。

【００１９】以上のように構成された焦電型赤外線セン
サについて、その製造方法を以下に説明する。まず、基
板として（１００）Ｍｇｏ単結晶基板５を用いる。そし
て、下部電極６ａ，６ｂを形成する工程として（１０
０）Ｍｇｏ単結晶基板５上に２００ｎｍ程度の膜厚を有
するＰｔ薄膜をスパッタリング法で形成する。次に焦電
体７ａ，７ｂを形成する工程として下部電極６ａ，６ｂ
上に焦電体７ａ，７ｂとして膜厚２μｍのランタンを含
有したチタン酸鉛を高周波マグネトロンスパッタリング
法で形成する。次にフォトリソグラフィ法とエッチング
法で焦電体７ａ，７ｂを所定の形状にパターニングす
る。次にフォトリソグラフィ法とエッチング法で下部電
極６ａ，６ｂを所定の形状にパターニングする。次にフ
ォトリソグラフィ法でポリイミドからなる層間絶縁のた
めの絶縁膜１０を焦電体７ａ，７ｂを除いた部分が残る
ようにパターニングする。

【００２０】次に赤外線吸収膜上の少なくとも一部に、
２０ｎｍ程度の膜厚を有する赤外光の反射率が小さく吸
収効果の大きいＮｉＣｒ薄膜をスパッタリング法で形成
し、続いてフォトリソグラフィ法により所定のほぼ同じ
形状にパターニングする。次にフォトリソグラフィ法で
受光電極８ａ，８ｂを保護するため４．３μｍ程度の膜
厚を有するポリイミドからなる受光電極８ａ，８ｂを保
護するための保護膜９を受光電極８ａ，８ｂが覆われる
ようにパターニングする。

【００２１】最後に、空洞１１を形成する工程として初
めにフォトリソグラフィ法によりエッチング穴１２を介
してエッチング液を注入して、上記（１００）Ｍｇｏ単
結晶基板５に上記下部電極６ａ，６ｂと接する側より空
洞１１を形成する。

【００２２】合成体の曲げの中立軸１９は、ｉ番目の構
成体の断面積、ヤング率をそれぞれＡｉ，Ｅｉ、合成体
の最表面からの距離をｙとすると、Σ（Ｅｉ∫ｙｄＡ
ｉ）／Σ（ＥｉＡｉ）で与えられる。ここで、ポリイミ
ド、ＮｉＣｒ、焦電体、Ｐｔのヤング率はそれぞれ約
０．０３，２．１，１．０，２．１×１０⁴［kg/mm²］
であるから、上式にあてはめると、保護膜９の最表面か
ら約４．１μｍ、つまり焦電体７ａ，７ｂの膜厚のほぼ
半分の厚さに存在している。

【００２３】これにより、周囲の温度変化に対し、曲げ
による引張応力により生じる圧電電流と、圧縮応力によ
り生じる圧電電流の絶対値が同一となるため内部的にキ
ャンセルされ、結果圧電による電荷の突発的放電が発生
しないという作用を有する。

【００２４】尚、保護膜９、受光電極８ａ，８ｂ、集電
体７ａ，７ｂ、下部電極６ａ，６ｂの膜厚をそれぞれ０
〜１０μｍ，１０〜３００ｎｍ，１〜１０μｍ，１０〜
３００ｎｍの範囲内で、赤外線検出部４の中立軸１９と
して、上式より得られる結果が焦電体７ａ，７ｂの膜厚
のほぼ半分の厚さになるような膜厚構成でも同様の結果
が得られることは言うまでもない。

【００２５】尚、赤外線検出部４の構成が保護膜９、受
光電極８ａ，８ｂ、焦電体７ａ，７ｂ、下部電極６ａ，
６ｂの構成であっても、その中立軸１９が焦電体７ａ，
７ｂの膜厚のほぼ半分の厚さになるような膜厚構成でも
同様の結果が得られることは言うまでもない。

【００２６】（実施の形態２）以下本発明の第２の実施
の形態について、図面を参照しながら説明する。図４は
本発明の第２の実施の形態における焦電型赤外線センサ
の赤外線検出部を示す平面図、図５は同断面図である。

【００２７】図４，図５に示す本発明の実施の形態は、
基本的には図１〜図３に示した実施の形態１と同じ構成
であるので、同一構成部分には同一番号を付して詳細な
説明を省略する。実施の形態１と違う点は、空洞１１の
底面と下部電極６ａ，６ｂの間隔２０がほぼ一定である
点である。これは例えばエッチング穴１２を多数個配列
することにより実現する。これにより、周囲の温度変化
に対し、逆極性で発生する焦電電流の絶対値が同一とな
るため内部的にキャンセルされ、結果電荷の突発的放電
が発生しないという作用を有する。

【００２８】（実施の形態３）以下本発明の第３の実施
の形態について、図面を参照しながら説明する。図６は
本発明の第３の実施の形態における焦電型赤外線センサ
の赤外線検出部を示す平面図、図７は同断面図である。

【００２９】図６，図７に示す本発明の実施の形態は、
基本的には図１〜図３に示した実施の形態１と同じ構成
であるので、同一構成部分には同一番号を付して詳細な
説明を省略する。実施の形態１と違う点は、上記空洞１
５が上記（１００）Ｍｇｏ単結晶基板５の裏面に貫通し
ている点である。これにより、周囲の温度変化に対し、
逆極性で発生する焦電電流の絶対値が同一となるため内
部的にキャンセルされ、結果電荷の突発的放電が発生し
ないという作用を有する。

【００３０】（実施の形態４）以下本発明の第４の実施
の形態について、図面を参照しながら説明する。図８，
図９は本発明の第４の実施の形態における焦電型赤外線
センサの赤外線検出部の断面図を示すものである。図
８，図９に示す本発明の実施の形態は、基本的には図１
〜図３，図６，図７に示した実施の形態１と同じ構成で
あるので、同一構成部分には同一番号を付して詳細な説
明を省略する。実施の形態１と違う点は、空洞１１また
は１５の内面に金、白金、銀、銅、黄銅、アルミ、亜
鉛、スズ、鉛、ニッケル、タングステンの少なくとも１
種類を主成分とする低放射率の光沢膜１６を形成した点
である。Ｍｇｏの放射率が０．９に対し、金、白金、
銀、銅、黄銅、アルミ、亜鉛、スズ、鉛、ニッケル、タ
ングステンの放射率はそれぞれ０．０２〜０．０３５，
０．０５〜０．１，０．０１〜０．０３，０．０２，
０．０７，０．０４〜０．０６，０．０２〜０．０３，
０．０５，０．０５〜０．０８，０．０５〜０．０７，
０．０４〜０．０８でと非常に小さい、これにより、周
囲の温度変化に対し、逆極性で発生する焦電電流の絶対
値が同一となるため内部的にキャンセルされ、結果電荷
の突発的放電が発生しないという作用を有する。

【００３１】（実施の形態５）以下本発明の第５の実施
の形態について、図面を参照しながら説明する。図１０
は本発明の第５の実施の形態における焦電型赤外線セン
サの概略図を示すものである。図１０に示す本発明の実
施の形態は、基本的には図１に示した実施の形態１と同
じ構成であるので、同一構成部分には同一番号を付して
詳細な説明を省略する。実施の形態１と違う点は、封止
体１７の熱容量が上記固定台１３の熱容量とほぼ同等で
ある点である。周囲の温度変化に対し、固定台１３上に
保持された赤外線検出部４と封止体１７の温度差が無く
なる。これより、赤外線検出部４と封止体１７の温度差
から生じる焦電電流が発生することがなくなり、結果電
荷の突発的放電が発生しないという作用を有する。

【００３２】（実施の形態６）以下本発明の第６の実施
の形態について、図面を参照しながら説明する。図１１
は本発明の第６の実施の形態における焦電型赤外線セン
サの概略図を示すものである。図１１に示す本発明の実
施の形態は、基本的には図１に示した実施の形態１と同
じ構成であるので、同一構成部分には同一番号を付して
詳細な説明を省略する。実施の形態１と違う点は、上記
封止体１の外周に断熱体１８を有する点である。これよ
り、赤外線検出部４と封止体１の温度差から生じる焦電
電流が発生することがなくなり、結果電荷の突発的放電
が発生しないという作用を有する。

【００３３】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、赤外線検
出部の曲げの中立軸が焦電体の膜厚のほぼ半分の厚さと
したことにより、周囲の温度変化に対し、曲げによる引
張応力により生じる圧電電流と、圧縮応力により生じる
圧電電流の絶対値が同一となるため内部的にキャンセル
され、結果圧電による電荷の突発的放電が発生しないと
いう効果を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１による焦電型赤外線セン
サを示す概略図

【図２】同赤外線検出部の平面図

【図３】同断面図

【図４】本発明の実施の形態２による焦電型赤外線セン
サの赤外線検出部を示す平面図

【図５】同断面図

【図６】本発明の実施の形態３による焦電型赤外線セン
サの赤外線検出部を示す平面図

【図７】同断面図

【図８】本発明の実施の形態４による焦電型赤外線セン
サの赤外線検出部の断面図

【図９】同他の例の断面図

【図１０】本発明の実施の形態５による焦電型赤外線セ
ンサを示す概略図

【図１１】本発明の実施の形態６による焦電型赤外線セ
ンサを示す概略図

【図１２】従来の焦電型赤外線センサを示す概略図

【図１３】同赤外線検出部の平面図

【図１４】同断面図

【符号の説明】

１ 封止体 ２ 開口部 ３ 赤外線入射窓 ４ 赤外線検出部 ５ Ｍｇｏ単結晶基板 ６ａ，６ｂ 下部電極 ７ａ，７ｂ 焦電体 ８ａ，８ｂ 受光電極 ９ 保護膜 １０ 絶縁膜 １１ 空洞 １２ 開口部 １３ 固定台 １９ 中立軸

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも開口部を有する封止体と、こ
   の封止体の開口部に封着された赤外線入射窓と、少なく
   とも単結晶からなる基板と、この基板上に設けた下部電
   極上に同一形状の焦電体を設けかつこの焦電体上に赤外
   線吸収効果を有する受光電極を設けた赤外線検出部と、
   この赤外線検出部が接する基板の表層部に設けた空洞
   と、上記赤外線検出部を保持し引き出し電極を有する固
   定台より構成され、上記赤外線検出部の曲げの中立軸が
   焦電体の膜厚のほぼ半分の厚さに存在させた焦電型赤外
   線センサ。
2. 【請求項２】 少なくとも開口部を有する封止体と、上
   記封止体の開口部に封着された赤外線入射窓と、少なく
   とも単結晶からなる基板と、この基板上に設けた複数個
   の下部電極上に同一形状で複数個の焦電体を設けかつこ
   の焦電体上に赤外線吸収効果を有する複数個の受光電極
   を設けてこの受光電極の極性が逆極性となるように接続
   された赤外線検出部と、この赤外線検出部が接する基板
   の表層部に設けた空洞と、上記赤外線検出部を保持し引
   き出し電極を有する固定台より構成され、上記空洞の底
   面と下部電極がほぼ一定の間隔に構成された焦電型赤外
   線センサ。
3. 【請求項３】 少なくとも開口部を有する封止体と、こ
   の封止体の開口部に封着された赤外線入射窓と、少なく
   とも単結晶からなる基板と、この基板上に設けた複数個
   の下部電極上に同一形状で複数個の焦電体を設けかつこ
   の焦電体上に赤外線吸収効果を有する複数個の受光電極
   を設けてこの受光電極の極性が逆極性となるように接続
   された赤外線検出部と、この赤外線検出部が接する基板
   の表層部から基板裏面に貫通している空洞と、上記赤外
   線検出部を保持し引き出し電極を有する固定台より構成
   された焦電型赤外線センサ。
4. 【請求項４】 少なくとも開口部を有する封止体と、こ
   の封止体の開口部に封着された赤外線入射窓と、上記封
   止体に内蔵され少なくとも焦電体の上面、下面に受光電
   極、下部電極を有する赤外線検出部と、この赤外線検出
   部を保持し引き出し電極を有する固定台より構成され、
   上記封止体の熱容量が上記固定台の熱容量とほぼ同等と
   した焦電型赤外線センサ。
5. 【請求項５】 開口部を有する封止体と、この封止体の
   開口部に封着された赤外線入射窓と、上記封止体に内蔵
   され少なくとも焦電体の上面、下面に受光電極、下部電
   極を有する赤外線検出部と、この赤外線検出部を保持し
   引き出し電極を有する固定台より構成され、上記封止体
   の外周に断熱体を設けた焦電型赤外線センサ。
6. 【請求項６】 空洞の内面に金、白金、銀、銅、黄銅、
   アルミ、亜鉛、スズ、鉛、ニッケル、タングステンの少
   なくとも１種類を主成分とする低放射率の光沢膜を形成
   した請求項１〜３のいずれか１つに記載の焦電型赤外線
   センサ。