JPH11140694A - ウエハのメッキ用治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電気抵抗を小さくでき、配線収納スペースが
不要でコンパクト化が図れるウエハのメッキ用治具を提
供する。 【解決手段】 ウエハ１００の上下面を挟持する第一保
持部材１０及び第二保持部材４０を具備する。第二保持
部材４０はアルミニウム製の導電体をフッ素樹脂製の誘
電体でコーティングして構成されている。第二保持部材
４０はウエハ１００の電解メッキを施す面を露出する開
口４１と、開口４１の周囲に取り付けられるシールパッ
キン４３と、シールパッキン４３を介して第二保持部材
４０の導電体と導通するように取り付けられるウエハ通
電用の通電部材６０とを有して構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はウエハを固定してそ
の表面に電解メッキを行なうのに用いるウエハのメッキ
用治具に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ウエハ表面に電解メッキを施す場合、ウ
エハを電解メッキ液に浸漬すると同時に、ウエハ表面に
形成した導電膜に通電ピンを接触させて該導電膜に電流
を流す必要があり、このためウエハのメッキ用治具が使
用されている。

【０００３】図２はこの種の従来のウエハのメッキ用治
具を示す図であり、同図（ａ）は斜視図（開いた状
態）、同図（ｂ）は側断面図（閉じた状態）、同図
（ｃ）は同図（ｂ）のＣ部分の拡大図である。

【０００４】即ちこの治具は、ウエハ１００の表裏面を
挟持する第一，第二保持部材１１０，１４０を具備し、
両者の一辺をヒンジ１３１によって開閉自在に接続し、
第二保持部材１４０に設けた開口１４１の周囲にリング
状にシールパッキン１４３を取り付け、シールパッキン
１４３の部分に通電ピン１４５を３か所取り付けて構成
されている。

【０００５】各通電ピン１４５は第二保持部材１４０に
設けた図示しないリング状の配線収納溝内に配線された
金属線１４７によって接続され、何れか１本の通電ピン
１４５に接続された１本の配線１４９が第二保持部材１
４０に設けた貫通孔１５１（同図（ｃ）参照）を通して
外部に引き出されている。

【０００６】そして同図（ａ）に示す第一保持部材１１
０の凹部１１１内にウエハ１００を収納して第二保持部
材１４０をその上に被せて挟持することで、同図（ｂ）
に示すようにウエハ１００の周囲をシールパッキン１４
３にて押え、同時にウエハ１００表面の図示しない導電
膜に通電ピン１４５の先端を当接して通電可能とする。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
例のように各通電ピン１４５に電流を流す方法として金
属線１４７によって接続する方法を用いた場合、金属線
１４７を第二保持部材１４０に設けた配線収納溝内に収
めるため金属線１４７の太さを太くできず、その電気抵
抗が無視できない場合が生じる。

【０００８】また第二保持部材１４０に金属線１４７及
び金属線１４７と通電ピン１４５の接続部を収納する収
納スペースとなる配線収納溝が必要なため、第二保持部
材１４０の厚みの薄型化が阻害される。特に通電ピン１
４５の本数が多くなると金属線１４７の数及び接続部の
数が増えるのでなおさらである。

【０００９】本発明は上述の点に鑑みてなされたもので
ありその目的は、電気抵抗を小さくでき、配線収納スペ
ースが不要でコンパクト化が図れるウエハのメッキ用治
具を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め本発明は、ウエハをその電解メッキを施す面を露出す
るように保持するウエハのメッキ用治具において、前記
ウエハのメッキ用治具はウエハの表裏面を挟持する第一
保持部材及び第二保持部材を具備し、前記第二保持部材
はその表面に露出する導電体を絶縁体でコーティングす
るとともに、ウエハの電解メッキを施す面を露出する開
口と、該開口の周囲に取り付けられるシールパッキン
と、該シールパッキンを介して第二保持部材の導電体と
導通するように取り付けられるウエハ通電用の通電部材
とを有して構成することとした。また前記第二保持部材
はアルミニウム製の導電体表面を絶縁体でコーティング
して構成した。また前記第二保持部材にコーティングさ
れる絶縁体はフッ素樹脂とした。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて詳細に説明する。図１は本発明の一実施形態に
かかるウエハのメッキ用治具を示す図であり、同図
（ａ）は斜視図（開いた状態）、同図（ｂ）は側断面図
（閉じた状態）、同図（ｃ）は同図（ｂ）のＡ部分の拡
大図である。

【００１２】同図に示すようにこの治具は、ウエハ１０
０の表裏面を挟持する第一，第二保持部材１０，４０を
具備し、両者の一辺をヒンジ３１によって開閉自在に接
続して構成されている。以下各構成部材について説明す
る。

【００１３】第一保持部材１０は長方形状の平板であっ
て、その中央にウエハ１００を収納する凹部１１を設け
て構成されている。この第一保持部材１０はその全体を
絶縁体で構成しても良いし、導電体表面に絶縁体をコー
ティングして構成しても良い。

【００１４】一方第二保持部材４０は、前記凹部１１に
対向する位置に開口４１を設け、且つ該開口４１の周囲
にこれを囲むようにリング状のシールパッキン４３を取
り付け、さらにシールパッキン４３の内部に３つの通電
部材（通電ピン）６０を取り付けて構成されている。

【００１５】そしてこの第二保持部材４０は、導電体で
あるアルミニウム板の表面全体を絶縁体であるフッ素樹
脂〔例えばＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）〕
によってコーティングすることで絶縁して構成されてい
る。また第二保持部材４０の上部には、第二保持部材４
０を構成する導電体と導通するように配線４９が接続さ
れている。

【００１６】一方シールパッキン４３は断面「コ」字状
であって、その両端辺４３ａ，４３ｂがウエハ１００の
表面と第一保持部材１０の表面とにそれぞれ当接するよ
うに形成されている。

【００１７】また第二保持部材４０のシールパッキン４
３が当接している面の所定位置（３カ所）には図１
（ｃ）に示すように突起４７が突出して設けられてお
り、該突起４７はシールパッキン４３に設けた貫通孔４
５を貫通している。

【００１８】そして突起４７の先端面４７ａはコーティ
ングされた絶縁体が剥がされて内部の導電体が露出して
おり、該先端面４７ａにはＬ字状に折り曲げられた金属
板製の通電部材６０がネジ６５によって固定されてい
る。つまり通電部材６０はシールパッキン４３を介して
第二保持部材４０を構成する導電体と導通するように取
り付けられている。

【００１９】この通電部材６０はこの実施形態では図１
（ａ）に示すように３か所取り付けられているが、必要
に応じてそれ以外の数としても良い。通電部材６０はそ
の数が多いほどウエハ１００の全面を均一にメッキする
ことができて好適であるが、本発明によれば通電部材６
０を多数個取り付けても、前記図２に示す従来例のよう
に各通電ピン１４５に金属線１４７を接続する必要がな
く、それぞれの場所に設けた突起４７に通電部材６０を
固定するだけで良いので、その取付作業が容易に行なえ
る。

【００２０】また金属線１４７を用いないので電気抵抗
が大きくなる恐れもない。

【００２１】また図２に示す従来例のように金属線１４
７を収納する配線収納溝が必要ないので、第二保持部材
４０の厚みを薄くできコンパクト化が図れる。

【００２２】また各通電部材６０はそれぞれ独立して第
二保持部材４０に取り付けられているので、複数箇所に
設けた突起４７の内、必要な突起４７にのみ通電部材６
０を取り付けたり、又は必要に応じて取り外したりする
ことで、通電部材６０の数及び取付位置を簡単に変更す
ることができる。

【００２３】次にこの治具の使用方法を説明する。即ち
図１（ａ）に示す第一保持部材１０の凹部１１内にウエ
ハ１００を収納して第二保持部材４０をその上に被せて
挟持し、図１（ｂ）に示すようにウエハ１００の周囲を
シールパッキン４３によって押え、同時にウエハ１００
表面の図示しない導電膜に通電部材６０の先端を当接し
て通電可能とする。第一，第二保持部材１０，４０間の
固定は、第一保持部材１０の辺１３と第二保持部材４０
の辺５５間を「コ」字状の固定具７０でくわえることに
よって行なう。

【００２４】そしてこの治具を電解メッキ液中に浸漬
し、電解メッキ液中に設置した図示しないアノードと前
記配線４９間に通電すれば、ウエハ１００の開口４１か
ら露出している表面が電解メッキされる。なおシールパ
ッキン４３のシールによって通電部材６０の部分には電
解メッキ液は触れない。

【００２５】本発明にかかるウエハのメッキ用治具は、
バンプメッキ、ダマシーン等、種々の電解メッキに利用
できることは言うまでもない。

【００２６】また上記実施形態では第二保持部材全体を
導電体で構成してその表面に絶縁体をコーティングした
例を示しているが、例えば第二保持部材全体を絶縁体で
構成してその表面に導電体をコーティングし、さらにそ
の表面に絶縁体をコーティングするように構成しても良
い。要は少なくともその表面に露出せしめた導電体を絶
縁体でコーティングするように構成してなる第二保持部
材であればどのような構造のものでも良い。

【００２７】また上記実施形態では第二保持部材４０に
設けた突起４７に通電部材６０を固定したが、通電部材
６０側に突起を設けてこれをシールパッキン４３の貫通
孔４５内に挿入して突起４７のない第二保持部材４０表
面に固定するなど、両者の接続構造には種々の変形が可
能であり、要はシールパッキンを介して第二保持部材に
設けた導電体と導通するように取り付けられるウエハ通
電用の通電部材であれば、どのような構造のものでも良
い。また通電部材もピン形状のものに限られず、他の種
々の形状のものであっても良い。

【００２８】また第二保持部材４０を構成する導電体の
材質は、金属以外であっても導電性の材質のものであれ
ば良い。またコーティングする絶縁体としては、上記実
施形態の他に、塩化ビニル，耐熱塩化ビニル，ポリプロ
ピレン，ポリエーテルサルフォン，ポリエーテルエーテ
ルケトン，ポリカーボネート，ポリエチレン，ポリスチ
レン，ポリフッ化ビニリデン等、各種材質のものが使用
できる。

【００２９】

【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば以下のような優れた効果を有する。 第二保持部材そのものを通電部材への導体として使用
したので、断面積を大きくでき電気抵抗を小さくでき
る。

【００３０】配線が不要なので配線収納スペースが不
要で、たとえ通電部材の数を多くしても治具の大きさは
変わらず、コンパクト化が図れる。

【００３１】通電部材の取り付け作業が容易である。

【００３２】各通電部材はそれぞれ独立して第二保持
部材に取り付けられるので、不要なものはこれを取り付
けなかったり、または容易に取り外すこともでき、通電
部材の数を簡単に変更することができる。

【００３３】第二保持部材全体をアルミニウム製の導
電体で構成したので、導電性が良く、重さも軽いので、
メッキ作業が楽になる。

【００３４】第二保持部材にコーティングする絶縁体
をフッ素樹脂としたので、液切れが良く、次工程へのメ
ッキ液の持ち込みを少なくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態にかかるウエハのメッキ用
治具を示す図であり、同図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）
は側断面図、同図（ｃ）は同図（ｂ）のＡ部分の拡大図
である。

【図２】従来例を示す図であり、同図（ａ）は斜視図、
同図（ｂ）は側断面図、同図（ｃ）は同図（ｂ）のＣ部
分の拡大図である。

【符号の説明】

１０ 第一保持部材 ４０ 第二保持部材 ４１ 開口 ４３ シールパッキン ６０ 通電部材 １００ ウエハ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウエハをその電解メッキを施す面を露出
   するように保持するウエハのメッキ用治具において、 前記ウエハのメッキ用治具はウエハの表裏面を挟持する
   第一保持部材及び第二保持部材を具備し、 前記第二保持部材はその表面に露出する導電体を絶縁体
   でコーティングするとともに、ウエハの電解メッキを施
   す面を露出する開口と、該開口の周囲に取り付けられる
   シールパッキンと、該シールパッキンを介して第二保持
   部材の導電体と導通するように取り付けられるウエハ通
   電用の通電部材とを有して構成されていることを特徴と
   するウエハのメッキ用治具。
2. 【請求項２】 前記第二保持部材はアルミニウム製の導
   電体表面を絶縁体でコーティングして構成されているこ
   とを特徴とする請求項１記載のウエハのメッキ用治具。
3. 【請求項３】 前記第二保持部材にコーティングされる
   絶縁体はフッ素樹脂であることを特徴とする請求項１又
   は２記載のウエハのメッキ用治具。