JPH11200096A - ウエハのメッキ用治具 - Google Patents
ウエハのメッキ用治具Info
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- JPH11200096A JPH11200096A JP31236298A JP31236298A JPH11200096A JP H11200096 A JPH11200096 A JP H11200096A JP 31236298 A JP31236298 A JP 31236298A JP 31236298 A JP31236298 A JP 31236298A JP H11200096 A JPH11200096 A JP H11200096A
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Landscapes
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 電気抵抗を小さくでき、取り付け作業が容易
で、容易に通電ピンの位置や本数の変更が可能で、配線
等の収納スペースが不要でコンパクト化が図れるウエハ
のメッキ用治具を提供する。 【解決手段】 ウエハ１００の表裏面を挟持する第一保
持部材１０及び第二保持部材４０を具備する。第二保持
部材４０はウエハ１００の電解メッキを施す面を露出す
る開口４１を有するとともに、開口４１の周囲の第一保
持部材１０及び第二保持部材４０の間にシールパッキン
４３を設け、シールパッキン４３でメッキ液の浸入しな
い領域Ｂを形成し、さらに領域Ｂの部分には通電部材６
０−１を取り付ける。通電部材６０−１は第二保持部材
４０側に取り付けられるリング状の導通部６１−１と導
通部６１−１から第一保持部材１０側に向けて突出して
ウエハ１００に当接する通電ピン６３−１とによって構
成する。
で、容易に通電ピンの位置や本数の変更が可能で、配線
等の収納スペースが不要でコンパクト化が図れるウエハ
のメッキ用治具を提供する。 【解決手段】 ウエハ１００の表裏面を挟持する第一保
持部材１０及び第二保持部材４０を具備する。第二保持
部材４０はウエハ１００の電解メッキを施す面を露出す
る開口４１を有するとともに、開口４１の周囲の第一保
持部材１０及び第二保持部材４０の間にシールパッキン
４３を設け、シールパッキン４３でメッキ液の浸入しな
い領域Ｂを形成し、さらに領域Ｂの部分には通電部材６
０−１を取り付ける。通電部材６０−１は第二保持部材
４０側に取り付けられるリング状の導通部６１−１と導
通部６１−１から第一保持部材１０側に向けて突出して
ウエハ１００に当接する通電ピン６３−１とによって構
成する。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はウエハを固定してそ
の表面に電解メッキを行なうのに用いるウエハのメッキ
用治具に関するものである。
の表面に電解メッキを行なうのに用いるウエハのメッキ
用治具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ウエハ表面に電解メッキを施す場合、ウ
エハを電解メッキ液に浸漬すると同時に、ウエハ表面に
形成した導電膜に通電ピンを接触させて該導電膜に電流
を流す必要があり、このためウエハのメッキ用治具が使
用されている。
エハを電解メッキ液に浸漬すると同時に、ウエハ表面に
形成した導電膜に通電ピンを接触させて該導電膜に電流
を流す必要があり、このためウエハのメッキ用治具が使
用されている。
【０００３】図５はこの種の従来のウエハのメッキ用治
具を示す図であり、同図（ａ）は斜視図（開いた状
態）、同図（ｂ）は側断面図（閉じた状態）、同図
（ｃ）は同図（ｂ）のＣ部分の拡大図である。
具を示す図であり、同図（ａ）は斜視図（開いた状
態）、同図（ｂ）は側断面図（閉じた状態）、同図
（ｃ）は同図（ｂ）のＣ部分の拡大図である。
【０００４】即ちこの治具は、ウエハ１００の表裏面を
挟持する第一，第二保持部材１１０，１４０を具備し、
両者の一辺をヒンジ１３１によって開閉自在に接続し、
第二保持部材１４０に設けた開口１４１の周囲にリング
状にシールパッキン１４３を取り付け、シールパッキン
１４３の部分に通電ピン１４５を３か所取り付けて構成
されている。
挟持する第一，第二保持部材１１０，１４０を具備し、
両者の一辺をヒンジ１３１によって開閉自在に接続し、
第二保持部材１４０に設けた開口１４１の周囲にリング
状にシールパッキン１４３を取り付け、シールパッキン
１４３の部分に通電ピン１４５を３か所取り付けて構成
されている。
【０００５】各通電ピン１４５は第二保持部材１４０に
設けた図示しないリング状の収納溝内に配線された金属
線１４７によって接続され、何れか１本の通電ピン１４
５に接続された１本の配線１４９が第二保持部材１４０
に設けた貫通孔１５１（同図（ｃ）参照）を通して外部
に引き出されている。
設けた図示しないリング状の収納溝内に配線された金属
線１４７によって接続され、何れか１本の通電ピン１４
５に接続された１本の配線１４９が第二保持部材１４０
に設けた貫通孔１５１（同図（ｃ）参照）を通して外部
に引き出されている。
【０００６】そして同図（ａ）に示す第一保持部材１１
０の凹部１１１内にウエハ１００を収納して第二保持部
材１４０をその上に被せて挟持し、同図（ｂ）に示すよ
うにウエハ１００の周囲をシールパッキン１４３にて押
え、同時にウエハ１００表面の図示しない導電膜に通電
ピン１４５の先端を当接して通電可能とする。
０の凹部１１１内にウエハ１００を収納して第二保持部
材１４０をその上に被せて挟持し、同図（ｂ）に示すよ
うにウエハ１００の周囲をシールパッキン１４３にて押
え、同時にウエハ１００表面の図示しない導電膜に通電
ピン１４５の先端を当接して通電可能とする。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
例のように各通電ピン１４５に電流を流す方法として金
属線１４７によって接続する方法を用いた場合、金属線
１４７を第二保持部材１４０に設けた収納溝内に収める
ため金属線１４７の太さを細くしなければならず、その
電気抵抗が無視できない場合が生じる。
例のように各通電ピン１４５に電流を流す方法として金
属線１４７によって接続する方法を用いた場合、金属線
１４７を第二保持部材１４０に設けた収納溝内に収める
ため金属線１４７の太さを細くしなければならず、その
電気抵抗が無視できない場合が生じる。
【０００８】また各通電ピン１４５に金属線１４７を接
続する必要があるのでその接続作業が煩雑である。通電
ピン１４５の本数が多くなるとなおさらである。
続する必要があるのでその接続作業が煩雑である。通電
ピン１４５の本数が多くなるとなおさらである。
【０００９】また各種ウエハに対応するためには通電ピ
ンの位置や数を変更する必要があるが、これを容易に行
なうことはできない。
ンの位置や数を変更する必要があるが、これを容易に行
なうことはできない。
【００１０】また第二保持部材１４０に金属線１４７を
収納するスペースとなる収納溝が必要なため、第二保持
部材１４０の厚みの薄型化が阻害される。
収納するスペースとなる収納溝が必要なため、第二保持
部材１４０の厚みの薄型化が阻害される。
【００１１】本発明は上述の点に鑑みてなされたもので
ありその目的は、電気抵抗を小さくでき、取り付け作業
が容易で、容易に通電ピンの位置や本数の変更が可能
で、配線等の収納スペースが不要でコンパクト化が図れ
るウエハのメッキ用治具を提供することにある。
ありその目的は、電気抵抗を小さくでき、取り付け作業
が容易で、容易に通電ピンの位置や本数の変更が可能
で、配線等の収納スペースが不要でコンパクト化が図れ
るウエハのメッキ用治具を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め本発明は、ウエハをその電解メッキを施す面を露出す
るように保持するウエハのメッキ用治具において、前記
ウエハのメッキ用治具はウエハの表裏面を挟持する第一
保持部材及び第二保持部材を具備し、第二保持部材はウ
エハの電解メッキを施す面を露出する開口を有するとと
もに、該開口の周囲に少なくとも第二保持部材とウエハ
とに当接するシール部材を設け、該シール部材でメッキ
液の浸入しない領域を形成し、さらに該領域の部分には
通電部材を取り付け、前記通電部材は前記第二保持部材
側に取り付けられるリング状の導通部と該導通部から第
一保持部材側に向けて突出してウエハに当接する通電ピ
ンとによって構成されていることを特徴とする。ここで
前記シール部材は、通電部材の内周側と外周側とをシー
ルすることでその間の部分にメッキ液の浸入しない領域
を形成する構造としたことを特徴とする。また前記シー
ル部材は、通電部材の内周側のみをシールすることでそ
の該シールの外周側の部分にメッキ液の浸入しない領域
を形成する構造としたことを特徴とする。一方前記通電
部材は、リング状の金属板からなる導通部の内周辺又は
外周辺から突出する通電ピンを折り曲げて構成されてい
ることを特徴とする。また前記通電部材は、その導通部
と通電ピンとが一体成型品によって構成されているか又
は両者を接合一体化することによって構成されているこ
とを特徴とする。また前記通電部材は、帯板からなる導
通部の一方の辺から通電ピンを突出させたものを筒状に
巻くことで構成されていることを特徴とする。また前記
通電ピンは、第一保持部材と第二保持部材間に挟持した
ウエハの表面に弾性を持って押し付けられる形状に構成
されていることを特徴とする。また前記通電ピンは、複
数箇所で折り曲げられることによって通電ピンの先端部
分と根元部分を結ぶ線が第一保持部材と第二保持部材間
に挟持したウエハの表面に対してほぼ垂直となるように
構成されていることを特徴とする。また前記通電ピンの
少なくともウエハに当接する部分が、導電性の弾性体で
構成されていることを特徴とする。
め本発明は、ウエハをその電解メッキを施す面を露出す
るように保持するウエハのメッキ用治具において、前記
ウエハのメッキ用治具はウエハの表裏面を挟持する第一
保持部材及び第二保持部材を具備し、第二保持部材はウ
エハの電解メッキを施す面を露出する開口を有するとと
もに、該開口の周囲に少なくとも第二保持部材とウエハ
とに当接するシール部材を設け、該シール部材でメッキ
液の浸入しない領域を形成し、さらに該領域の部分には
通電部材を取り付け、前記通電部材は前記第二保持部材
側に取り付けられるリング状の導通部と該導通部から第
一保持部材側に向けて突出してウエハに当接する通電ピ
ンとによって構成されていることを特徴とする。ここで
前記シール部材は、通電部材の内周側と外周側とをシー
ルすることでその間の部分にメッキ液の浸入しない領域
を形成する構造としたことを特徴とする。また前記シー
ル部材は、通電部材の内周側のみをシールすることでそ
の該シールの外周側の部分にメッキ液の浸入しない領域
を形成する構造としたことを特徴とする。一方前記通電
部材は、リング状の金属板からなる導通部の内周辺又は
外周辺から突出する通電ピンを折り曲げて構成されてい
ることを特徴とする。また前記通電部材は、その導通部
と通電ピンとが一体成型品によって構成されているか又
は両者を接合一体化することによって構成されているこ
とを特徴とする。また前記通電部材は、帯板からなる導
通部の一方の辺から通電ピンを突出させたものを筒状に
巻くことで構成されていることを特徴とする。また前記
通電ピンは、第一保持部材と第二保持部材間に挟持した
ウエハの表面に弾性を持って押し付けられる形状に構成
されていることを特徴とする。また前記通電ピンは、複
数箇所で折り曲げられることによって通電ピンの先端部
分と根元部分を結ぶ線が第一保持部材と第二保持部材間
に挟持したウエハの表面に対してほぼ垂直となるように
構成されていることを特徴とする。また前記通電ピンの
少なくともウエハに当接する部分が、導電性の弾性体で
構成されていることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて詳細に説明する。図１は本発明の一実施形態に
かかるウエハのメッキ用治具を示す図であり、同図
（ａ）は斜視図（開いた状態）、同図（ｂ）は側断面図
（閉じた状態）、同図（ｃ）は同図（ｂ）のＡ部分の拡
大図である。
基づいて詳細に説明する。図１は本発明の一実施形態に
かかるウエハのメッキ用治具を示す図であり、同図
（ａ）は斜視図（開いた状態）、同図（ｂ）は側断面図
（閉じた状態）、同図（ｃ）は同図（ｂ）のＡ部分の拡
大図である。
【００１４】同図に示すようにこの治具は、ウエハ１０
０の表裏面を挟持する第一，第二保持部材１０，４０を
具備し、両者の一辺をヒンジ３１によって開閉自在に接
続して構成されている。以下各構成部材について説明す
る。
０の表裏面を挟持する第一，第二保持部材１０，４０を
具備し、両者の一辺をヒンジ３１によって開閉自在に接
続して構成されている。以下各構成部材について説明す
る。
【００１５】第一保持部材１０は長方形状の平板であっ
て、その中央にウエハ１００を収納する凹部１１を設け
て構成されている。
て、その中央にウエハ１００を収納する凹部１１を設け
て構成されている。
【００１６】一方第二保持部材４０は前記凹部１１に対
向する位置に開口４１を設け、且つ該開口４１の周囲に
これを囲むようにリング状のシールパッキン（パッキン
部材）４３を取り付け、さらにシールパッキン４３の中
央に通電部材６０−１を取り付けて構成されている。
向する位置に開口４１を設け、且つ該開口４１の周囲に
これを囲むようにリング状のシールパッキン（パッキン
部材）４３を取り付け、さらにシールパッキン４３の中
央に通電部材６０−１を取り付けて構成されている。
【００１７】ここでシールパッキン４３は断面「コ」字
状であって、その両端辺４３ａ，ｂがウエハ１００の表
面と第一保持部材１０の表面とにそれぞれ当接する寸法
に形成されることで、両端辺４３ａ，ｂの間にメッキ液
の浸入しない領域Ｂを形成している。
状であって、その両端辺４３ａ，ｂがウエハ１００の表
面と第一保持部材１０の表面とにそれぞれ当接する寸法
に形成されることで、両端辺４３ａ，ｂの間にメッキ液
の浸入しない領域Ｂを形成している。
【００１８】次に図２は通電部材６０−１を示す図であ
り、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は側面図である。
同図に示すようにこの通電部材６０−１は１枚の金属板
（例えばステンレス製）で構成されており、具体的に言
えば、リング状で平板状の導通部６１−１の内周辺から
６本の三角形状の通電ピン６３−１を突出し、各通電ピ
ン６３−１を上方向（下方向でも同じ）に折り曲げて構
成されている。なお導通部６１−１には３つの取付孔６
５−１が設けられている。なお導通部６１−１の幅は、
シールパッキン４３の凹部（即ちメッキ液の浸入しない
領域Ｂ）の幅よりも小さく形成されている。
り、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は側面図である。
同図に示すようにこの通電部材６０−１は１枚の金属板
（例えばステンレス製）で構成されており、具体的に言
えば、リング状で平板状の導通部６１−１の内周辺から
６本の三角形状の通電ピン６３−１を突出し、各通電ピ
ン６３−１を上方向（下方向でも同じ）に折り曲げて構
成されている。なお導通部６１−１には３つの取付孔６
５−１が設けられている。なお導通部６１−１の幅は、
シールパッキン４３の凹部（即ちメッキ液の浸入しない
領域Ｂ）の幅よりも小さく形成されている。
【００１９】そして図１に示すようにこの通電部材６０
−１に、第二保持部材４０に設けた貫通孔５１を通した
１本の配線４９を接続した上で、この通電部材６０−１
を第二保持部材４０に取り付けたシールパッキン４３中
央のメッキ液の浸入しない領域Ｂ内に挿入し、導通部６
１−１をシールパッキン４３の凹部底面に当接し、前記
３つの取付孔６５−１にネジ７５（図１（ｃ）参照）を
捩じ込むことで固定する。
−１に、第二保持部材４０に設けた貫通孔５１を通した
１本の配線４９を接続した上で、この通電部材６０−１
を第二保持部材４０に取り付けたシールパッキン４３中
央のメッキ液の浸入しない領域Ｂ内に挿入し、導通部６
１−１をシールパッキン４３の凹部底面に当接し、前記
３つの取付孔６５−１にネジ７５（図１（ｃ）参照）を
捩じ込むことで固定する。
【００２０】つまり前記図５に示す従来例のように各通
電ピン１４５に金属線１４７を接続する必要はなく、そ
の取付作業が容易に行なえる。
電ピン１４５に金属線１４７を接続する必要はなく、そ
の取付作業が容易に行なえる。
【００２１】また導通部６１−１はその断面積を大きく
できるので、電気抵抗が大きくなることもない。
できるので、電気抵抗が大きくなることもない。
【００２２】また前記図５に示す従来例のように金属線
１４７を収納するための収納溝が必要ないので、第二保
持部材４０の厚みを薄くできコンパクト化が図れる。
１４７を収納するための収納溝が必要ないので、第二保
持部材４０の厚みを薄くできコンパクト化が図れる。
【００２３】また通電ピン６３−１は金属板を折り曲げ
ただけで構成されているので、６本の通電ピン６３−１
の内、不要なものはこれを大きく折り曲げて下記するウ
エハ１００に接触しないようにすることができ、通電ピ
ン６３−１の数を簡単に変更することができる。
ただけで構成されているので、６本の通電ピン６３−１
の内、不要なものはこれを大きく折り曲げて下記するウ
エハ１００に接触しないようにすることができ、通電ピ
ン６３−１の数を簡単に変更することができる。
【００２４】なお前記通電部材６０−１においてはリン
グ状の導通部６１−１の内周辺側に通電ピン６３−１を
突出させたが、導通部６１−１の外周辺側から突出させ
ても良い。
グ状の導通部６１−１の内周辺側に通電ピン６３−１を
突出させたが、導通部６１−１の外周辺側から突出させ
ても良い。
【００２５】次にこの治具の使用方法を説明する。即ち
図１（ａ）に示す第一保持部材１０の凹部１１内にウエ
ハ１００を収納して第二保持部材４０をその上に被せて
挟持し、図１（ｂ）に示すようにウエハ１００の周囲を
シールパッキン４３にて押え、同時にウエハ１００表面
の図示しない導電膜に通電ピン６３−１の先端を当接し
て通電可能とする。第一，第二保持部材１０，４０間の
固定は、第一保持部材１０の辺１３と第二保持部材４０
の辺５５間を「コ」字状の固定具７０でくわえることに
よって行なう。
図１（ａ）に示す第一保持部材１０の凹部１１内にウエ
ハ１００を収納して第二保持部材４０をその上に被せて
挟持し、図１（ｂ）に示すようにウエハ１００の周囲を
シールパッキン４３にて押え、同時にウエハ１００表面
の図示しない導電膜に通電ピン６３−１の先端を当接し
て通電可能とする。第一，第二保持部材１０，４０間の
固定は、第一保持部材１０の辺１３と第二保持部材４０
の辺５５間を「コ」字状の固定具７０でくわえることに
よって行なう。
【００２６】そしてこの治具を電解メッキ液中に浸漬
し、電解メッキ液中に設置した図示しないアノードと前
記配線４９間に通電すれば、ウエハ１００の露出してい
る表面が電解メッキされる。なお通電ピン６３−１がウ
エハ１００表面に当接している部分、即ちメッキ液の浸
入しない領域Ｂはシールパッキン４３によってシールさ
れ電解メッキ液は触れない。
し、電解メッキ液中に設置した図示しないアノードと前
記配線４９間に通電すれば、ウエハ１００の露出してい
る表面が電解メッキされる。なお通電ピン６３−１がウ
エハ１００表面に当接している部分、即ちメッキ液の浸
入しない領域Ｂはシールパッキン４３によってシールさ
れ電解メッキ液は触れない。
【００２７】次に図３は本発明に用いる他の構造の通電
部材６０−２を示す図であり、同図（ａ）は平面図、同
図（ｂ）は側面図である。同図に示す通電部材６０−２
は、リング状の金属板（例えばステンレス製）からなる
導通部６１−２をプレス加工することによって、該導通
部６１−２の表面から６本の円錐状の通電ピン６３−２
を突出させて構成されている。つまり導通部６１−２と
通電ピン６３−２とを一体成型品で構成するので、その
製造が容易に行なえる。
部材６０−２を示す図であり、同図（ａ）は平面図、同
図（ｂ）は側面図である。同図に示す通電部材６０−２
は、リング状の金属板（例えばステンレス製）からなる
導通部６１−２をプレス加工することによって、該導通
部６１−２の表面から６本の円錐状の通電ピン６３−２
を突出させて構成されている。つまり導通部６１−２と
通電ピン６３−２とを一体成型品で構成するので、その
製造が容易に行なえる。
【００２８】なお導通部６１−２と通電ピン６３−２と
をそれぞれ別々に製造しておいて、溶接等によって両者
を接合一体化して通電部材６０−２を構成しても良い。
をそれぞれ別々に製造しておいて、溶接等によって両者
を接合一体化して通電部材６０−２を構成しても良い。
【００２９】次に図４は本発明に用いる他の構造の通電
部材６０−３を示す図であり、同図（ａ）は平面図、同
図（ｂ）は側面図、同図（ｃ）は展開図である。同図に
示す通電部材６０−３は、金属製（例えばステンレス
製）の帯板からなる導通部６１−３の一方の辺から６本
の三角形状の通電ピン６３−３を突出させ、他方の辺か
ら取付孔６５−３を具備する６本の矩形状の固定板６７
−３を突出したものを用意し、固定板６７−３を一方の
方向に折り曲げた後に、導通部６１−３を筒状に巻い
て、そのまま図１に示すシールパッキン４３の凹部内に
挿入して各取付孔６５−３にネジ７５（図１（ｃ）参
照）を捩じ込むことで固定するように構成されている。
なお各固定板６７−３をネジ７５によって固定するの
で、筒状に巻いた導通部６１−３の両端の接合する部分
は、特に固定する必要はない。
部材６０−３を示す図であり、同図（ａ）は平面図、同
図（ｂ）は側面図、同図（ｃ）は展開図である。同図に
示す通電部材６０−３は、金属製（例えばステンレス
製）の帯板からなる導通部６１−３の一方の辺から６本
の三角形状の通電ピン６３−３を突出させ、他方の辺か
ら取付孔６５−３を具備する６本の矩形状の固定板６７
−３を突出したものを用意し、固定板６７−３を一方の
方向に折り曲げた後に、導通部６１−３を筒状に巻い
て、そのまま図１に示すシールパッキン４３の凹部内に
挿入して各取付孔６５−３にネジ７５（図１（ｃ）参
照）を捩じ込むことで固定するように構成されている。
なお各固定板６７−３をネジ７５によって固定するの
で、筒状に巻いた導通部６１−３の両端の接合する部分
は、特に固定する必要はない。
【００３０】この通電ピン６３−３の場合も、不要なも
のはこれを大きく折り曲げてウエハ１００に接触しない
ようにすることができ、通電ピン６３−３の数を簡単に
変更することができる。
のはこれを大きく折り曲げてウエハ１００に接触しない
ようにすることができ、通電ピン６３−３の数を簡単に
変更することができる。
【００３１】さらにこの通電部材６０−３の場合、帯板
状の導通部６１−３を円筒状に曲げることで製作するの
で、その加工が容易であり、また曲げの量を変えてその
円周長さを調節することでサイズの異なるウエハ１００
に対しても同じ通電部材６０−３が使用できるので、通
電部材６０−３の種類を少なくすることができる。
状の導通部６１−３を円筒状に曲げることで製作するの
で、その加工が容易であり、また曲げの量を変えてその
円周長さを調節することでサイズの異なるウエハ１００
に対しても同じ通電部材６０−３が使用できるので、通
電部材６０−３の種類を少なくすることができる。
【００３２】ところで上記各実施形態にかかる構造の通
電部材６０−１〜３は、通電ピン６３−１〜３自体の弾
性が小さいため、ウエハ１００と強い接触を得るには適
しているが、押し付け力を過度に大きくするとウエハ１
００の表面に損傷を与える可能性がある。以下の実施形
態は通電ピン自体に弾性を持たせ、ウエハ１００への押
し付け力が過大とならないように構成したものである。
電部材６０−１〜３は、通電ピン６３−１〜３自体の弾
性が小さいため、ウエハ１００と強い接触を得るには適
しているが、押し付け力を過度に大きくするとウエハ１
００の表面に損傷を与える可能性がある。以下の実施形
態は通電ピン自体に弾性を持たせ、ウエハ１００への押
し付け力が過大とならないように構成したものである。
【００３３】図６は本発明に用いる他の構造の通電部材
６０−４を示す図であり、同図（ａ）は平面図、同図
（ｂ）は側面図である。この通電部材６０−４も図２に
示す通電部材６０−１と同様に、リング状で平板状の導
通部６１−４の内周辺から８本の略三角形状の通電ピン
６３−４を突出し、各通電ピン６３−４を上方向（下方
向でも同じ）に折り曲げて構成されている。そして図２
に示す通電部材６０−１と相違する点は、通電ピン６３
−４の折り曲げ角度を導通部６１−４に対して直角とせ
ず、それよりも小さい角度とすることで、導通部６１−
４の面に対して斜めに傾斜するようにした点である。
６０−４を示す図であり、同図（ａ）は平面図、同図
（ｂ）は側面図である。この通電部材６０−４も図２に
示す通電部材６０−１と同様に、リング状で平板状の導
通部６１−４の内周辺から８本の略三角形状の通電ピン
６３−４を突出し、各通電ピン６３−４を上方向（下方
向でも同じ）に折り曲げて構成されている。そして図２
に示す通電部材６０−１と相違する点は、通電ピン６３
−４の折り曲げ角度を導通部６１−４に対して直角とせ
ず、それよりも小さい角度とすることで、導通部６１−
４の面に対して斜めに傾斜するようにした点である。
【００３４】図７はこの通電部材６０−４をメッキ用治
具に取り付けたときの要部拡大断面図（図１（ｃ）に相
当する部分）である。なお図７において図１（ｃ）と同
一部分には同一符号を付してその詳細な説明を省略す
る。同図に示すように通電ピン６３−４は、ウエハ１０
０の表面に対して斜めに傾いた状態で接触するので、通
電ピン６３−４自体に弾性が生じる。従ってウエハ１０
０への押し付け力が過度になることはなく、ウエハ１０
０の表面に損傷を与える恐れも生じない。
具に取り付けたときの要部拡大断面図（図１（ｃ）に相
当する部分）である。なお図７において図１（ｃ）と同
一部分には同一符号を付してその詳細な説明を省略す
る。同図に示すように通電ピン６３−４は、ウエハ１０
０の表面に対して斜めに傾いた状態で接触するので、通
電ピン６３−４自体に弾性が生じる。従ってウエハ１０
０への押し付け力が過度になることはなく、ウエハ１０
０の表面に損傷を与える恐れも生じない。
【００３５】なおこの通電部材６０−４の形状によれ
ば、通電ピン６３−４が斜めに突出してその取り付けス
ペースが大きくなるので、該取り付けスペースを確保し
易いようにするため、シールパッキンを１つの部材で構
成する代わりに、この実施形態のように外側のリング形
状の第一シールパッキン（シール部材）４３′−１と、
内側のリング形状の第二シールパッキン（シール部材）
４３′−２とに分割したものをそれぞれ第二保持部材４
０に取り付け、その間に形成されるスペース、即ちメッ
キ液の浸入しない領域Ｂ内の第二保持部材４０の表面
に、前記通電部材６０−４の導通部６１−４を固定して
いる。なおこのようにシールパッキンを分割する構造
は、上記各実施形態にも同様に適用可能であることは言
うまでもない。
ば、通電ピン６３−４が斜めに突出してその取り付けス
ペースが大きくなるので、該取り付けスペースを確保し
易いようにするため、シールパッキンを１つの部材で構
成する代わりに、この実施形態のように外側のリング形
状の第一シールパッキン（シール部材）４３′−１と、
内側のリング形状の第二シールパッキン（シール部材）
４３′−２とに分割したものをそれぞれ第二保持部材４
０に取り付け、その間に形成されるスペース、即ちメッ
キ液の浸入しない領域Ｂ内の第二保持部材４０の表面
に、前記通電部材６０−４の導通部６１−４を固定して
いる。なおこのようにシールパッキンを分割する構造
は、上記各実施形態にも同様に適用可能であることは言
うまでもない。
【００３６】なお通電ピンの形状はこの実施形態に限定
されず、他の種々の変形が可能であり、要は所定の弾性
を持ってウエハに接触する形状であれば、どのような形
状の通電ピンであっても良い。
されず、他の種々の変形が可能であり、要は所定の弾性
を持ってウエハに接触する形状であれば、どのような形
状の通電ピンであっても良い。
【００３７】図８は本発明に用いる他の構造の通電部材
６０−５を示す平面図である。この通電部材６０−５に
おいて図６に示す通電部材６０−４と相違する点は、通
電ピン６３−５の本数を多くした点のみである。このよ
うに構成すると、ウエハ１００への接触点が増加し、電
気抵抗の低減化が図れる。
６０−５を示す平面図である。この通電部材６０−５に
おいて図６に示す通電部材６０−４と相違する点は、通
電ピン６３−５の本数を多くした点のみである。このよ
うに構成すると、ウエハ１００への接触点が増加し、電
気抵抗の低減化が図れる。
【００３８】図９は本発明に用いる他の構造の通電部材
６０−６を示す図であり、同図（ａ）は平面図、同図
（ｂ）は同図（ａ）のＤ−Ｄ断面拡大図である。この通
電部材６０−６は、リング状で平板状の導通部６１−６
の内周辺から多数本の略長方形状の通電ピン６３−６を
斜め上方に向けて突出し、各通電ピン６３−６の先端に
球形の軟質通電部材６３５を取り付けて構成している。
軟質通電部材６３５は例えば導電性ゴムによって構成す
る。このように構成したのは以下の理由による。即ち通
電ピンの先端はウエハ上のシード層に接触するが、通常
は通電ピン先端は金メッキやステンレス鋼等の金属なの
で、接点の面積が小さく、接触抵抗の増加を招く。この
ためこの実施形態の場合は、通電ピン６３−６の先端に
軟質通電部材６３５を取り付け、ウエハ１００表面との
接触面積を確保するようにしたのである。そのときの状
態を図１０に示す（図１０は通電部材６０−６をメッキ
用治具に取り付けたときの要部拡大断面図（図１（ｃ）
に相当する部分）である）。
６０−６を示す図であり、同図（ａ）は平面図、同図
（ｂ）は同図（ａ）のＤ−Ｄ断面拡大図である。この通
電部材６０−６は、リング状で平板状の導通部６１−６
の内周辺から多数本の略長方形状の通電ピン６３−６を
斜め上方に向けて突出し、各通電ピン６３−６の先端に
球形の軟質通電部材６３５を取り付けて構成している。
軟質通電部材６３５は例えば導電性ゴムによって構成す
る。このように構成したのは以下の理由による。即ち通
電ピンの先端はウエハ上のシード層に接触するが、通常
は通電ピン先端は金メッキやステンレス鋼等の金属なの
で、接点の面積が小さく、接触抵抗の増加を招く。この
ためこの実施形態の場合は、通電ピン６３−６の先端に
軟質通電部材６３５を取り付け、ウエハ１００表面との
接触面積を確保するようにしたのである。そのときの状
態を図１０に示す（図１０は通電部材６０−６をメッキ
用治具に取り付けたときの要部拡大断面図（図１（ｃ）
に相当する部分）である）。
【００３９】なおこの実施形態においては通電ピン６３
−６の先端のみに軟質通電部材６３５を取り付けたが、
本発明はこの実施形態に限定されず、要は通電ピンの少
なくともウエハ１００に当接する部分が導電性の弾性体
で構成されていれば良い。
−６の先端のみに軟質通電部材６３５を取り付けたが、
本発明はこの実施形態に限定されず、要は通電ピンの少
なくともウエハ１００に当接する部分が導電性の弾性体
で構成されていれば良い。
【００４０】図１１は本発明に用いる他の構造の通電部
材６０−７を示す図であり、同図（ａ）は平面図、同図
（ｂ）は同図（ａ）のＥ−Ｅ断面拡大図、同図（ｃ）は
同図（ａ）の矢印Ｆ部分の要部拡大図である。この通電
部材６０−７は、リング状で平板状の導通部６１−７の
内周辺から多数本の略長方形状の通電ピン６３−７を突
出し、各通電ピン６３−７をその根元部分６３３で一旦
上方向（第一保持部材１０側）の外周方向に向けて折り
曲げ、再び内周方向に向けて折り曲げ、更にその先端６
３１を真上方向に折り曲げて構成している。通電ピン６
３−７の幅は、導通部６１−７に接続される根元部分６
３３で幅の狭い部分を設けることで折り曲げ易くし、そ
の先の部分は一様な幅を持っている。つまりこの実施形
態の場合、通電ピン６３−７は根元部分６３３と先端部
分６３１近傍の部分と両者の中央の部分とで三回折り曲
げられ、先端部分６３１が根元部分６３３の垂直上方に
位置するように構成されている。
材６０−７を示す図であり、同図（ａ）は平面図、同図
（ｂ）は同図（ａ）のＥ−Ｅ断面拡大図、同図（ｃ）は
同図（ａ）の矢印Ｆ部分の要部拡大図である。この通電
部材６０−７は、リング状で平板状の導通部６１−７の
内周辺から多数本の略長方形状の通電ピン６３−７を突
出し、各通電ピン６３−７をその根元部分６３３で一旦
上方向（第一保持部材１０側）の外周方向に向けて折り
曲げ、再び内周方向に向けて折り曲げ、更にその先端６
３１を真上方向に折り曲げて構成している。通電ピン６
３−７の幅は、導通部６１−７に接続される根元部分６
３３で幅の狭い部分を設けることで折り曲げ易くし、そ
の先の部分は一様な幅を持っている。つまりこの実施形
態の場合、通電ピン６３−７は根元部分６３３と先端部
分６３１近傍の部分と両者の中央の部分とで三回折り曲
げられ、先端部分６３１が根元部分６３３の垂直上方に
位置するように構成されている。
【００４１】図１２はこの通電部材６０−７をメッキ用
治具に取り付けたときの要部拡大断面図（図１（ｃ）に
相当する部分）である。なお図１２において図１（ｃ）
と同一部分には同一符号を付してその詳細な説明を省略
する。同図に示すように通電ピン６３−７はその先端部
分６３１がウエハ１００の表面に対して接触するが、該
通電ピン６３−７は複数箇所で折り曲げられているので
その上下方向に弾性があり、従ってウエハ１００への押
し付け力が過度になることはなく、ウエハ１００の表面
に損傷を与える恐れもない。
治具に取り付けたときの要部拡大断面図（図１（ｃ）に
相当する部分）である。なお図１２において図１（ｃ）
と同一部分には同一符号を付してその詳細な説明を省略
する。同図に示すように通電ピン６３−７はその先端部
分６３１がウエハ１００の表面に対して接触するが、該
通電ピン６３−７は複数箇所で折り曲げられているので
その上下方向に弾性があり、従ってウエハ１００への押
し付け力が過度になることはなく、ウエハ１００の表面
に損傷を与える恐れもない。
【００４２】ところで前記図７に示す通電ピン６３−４
等の場合、これをウエハ１００に押し付けていく段階で
その先端部分がウエハ１００の表面上を移動していくの
で、ウエハ１００表面が損傷し、パーティクルを発生す
る恐れがある。従って通電ピンの形状はできるだけウエ
ハ１００表面での移動の少ない形状とすることが好まし
いが、本実施形態の通電ピン６３−７の場合は、その先
端部分６３１と根元部分６３３を結ぶ線がウエハ１００
の表面に対して垂直となるように構成されているので、
たとえこれをウエハ１００に押し付けていってもその先
端部分６３１がウエハ１００上を移動することはなく
（又は移動距離が非常に短く）、ウエハ１００表面が損
傷する恐れはない。なお先端部分がウエハ上を移動する
ことのない通電ピンの構造は上記実施形態に限定され
ず、他の種々の変形が可能であり、要は少なくとも複数
箇所で折り曲げられることによって通電ピンの先端部分
と根元部分を結ぶ線が第一保持部材と第二保持部材間に
挟持したウエハの表面に対してほぼ垂直となるように構
成された通電ピンであればどのような構造であっても良
い。
等の場合、これをウエハ１００に押し付けていく段階で
その先端部分がウエハ１００の表面上を移動していくの
で、ウエハ１００表面が損傷し、パーティクルを発生す
る恐れがある。従って通電ピンの形状はできるだけウエ
ハ１００表面での移動の少ない形状とすることが好まし
いが、本実施形態の通電ピン６３−７の場合は、その先
端部分６３１と根元部分６３３を結ぶ線がウエハ１００
の表面に対して垂直となるように構成されているので、
たとえこれをウエハ１００に押し付けていってもその先
端部分６３１がウエハ１００上を移動することはなく
（又は移動距離が非常に短く）、ウエハ１００表面が損
傷する恐れはない。なお先端部分がウエハ上を移動する
ことのない通電ピンの構造は上記実施形態に限定され
ず、他の種々の変形が可能であり、要は少なくとも複数
箇所で折り曲げられることによって通電ピンの先端部分
と根元部分を結ぶ線が第一保持部材と第二保持部材間に
挟持したウエハの表面に対してほぼ垂直となるように構
成された通電ピンであればどのような構造であっても良
い。
【００４３】なおこの実施形態においても、通電部材６
０−７の取り付けスペースを大きくとるため、第一，第
二シールパッキン４３′−１，２に分割している。
０−７の取り付けスペースを大きくとるため、第一，第
二シールパッキン４３′−１，２に分割している。
【００４４】図１３は他のシール構造を用いたメッキ用
治具の要部拡大断面図（図１（ｃ）に相当する部分）で
ある。このメッキ用治具において前記図７に示すメッキ
用治具と相違する点は、内側の第二シールパッキン４
３′−２に対向する第一保持部材１０の凹部１１内に
も、リング状のシールパッキン（シール部材）１１１を
取り付けた点のみである。
治具の要部拡大断面図（図１（ｃ）に相当する部分）で
ある。このメッキ用治具において前記図７に示すメッキ
用治具と相違する点は、内側の第二シールパッキン４
３′−２に対向する第一保持部材１０の凹部１１内に
も、リング状のシールパッキン（シール部材）１１１を
取り付けた点のみである。
【００４５】メッキ用治具の小型化・薄型化等の要求に
より第一，第二保持部材１０，４０の剛性が十分確保で
きない場合には、第一，第二保持部材１０，４０の変形
に伴いウエハ１００のシール性が低下する恐れがある。
そこでこれを防止するため、ウエハ１００の表面だけで
なく、裏面のほぼ同じ位置にもシールパッキン１１１を
設けたのである。
より第一，第二保持部材１０，４０の剛性が十分確保で
きない場合には、第一，第二保持部材１０，４０の変形
に伴いウエハ１００のシール性が低下する恐れがある。
そこでこれを防止するため、ウエハ１００の表面だけで
なく、裏面のほぼ同じ位置にもシールパッキン１１１を
設けたのである。
【００４６】なおシール部材は上記各構成のシールパッ
キンに限定されず種々の変形が可能であり、要はウエハ
１００の表裏両面をシールする構造であればどのような
材質、構造のシール部材であっても良い。
キンに限定されず種々の変形が可能であり、要はウエハ
１００の表裏両面をシールする構造であればどのような
材質、構造のシール部材であっても良い。
【００４７】ところで上記各実施形態ではシール部材に
よってメッキ液の浸入しない領域Ｂを形成する方法とし
て、通電部材の内周側と外周側とをシールすることでそ
の間の部分にメッキ液の浸入しない領域Ｂを形成する構
造とした。これはこのメッキ用治具全体をメッキ液中に
浸漬するためであるが、図１４に示すように、第二保持
部材４０−８自体の上部をメッキ槽１３０として構成し
た場合は、シール部材として、通電部材６０−８（通電
部材６０−４と同じものであるが、他の実施形態のもの
でも良い）の内周側のみをシールするシールパッキン４
３−８（図７の第二シールパッキン４３′−２と同じも
の）を設けるだけでシールパッキン４３−８の外周側の
部分にメッキ液の浸入しない領域Ｂを形成することがで
きる。つまり通電部材６０−８の外側のシール（図７の
第一シールパッキン４３′−１）は不要になる。なお１
３１はメッキ液、１３３はアノード、１３５は電源であ
る。
よってメッキ液の浸入しない領域Ｂを形成する方法とし
て、通電部材の内周側と外周側とをシールすることでそ
の間の部分にメッキ液の浸入しない領域Ｂを形成する構
造とした。これはこのメッキ用治具全体をメッキ液中に
浸漬するためであるが、図１４に示すように、第二保持
部材４０−８自体の上部をメッキ槽１３０として構成し
た場合は、シール部材として、通電部材６０−８（通電
部材６０−４と同じものであるが、他の実施形態のもの
でも良い）の内周側のみをシールするシールパッキン４
３−８（図７の第二シールパッキン４３′−２と同じも
の）を設けるだけでシールパッキン４３−８の外周側の
部分にメッキ液の浸入しない領域Ｂを形成することがで
きる。つまり通電部材６０−８の外側のシール（図７の
第一シールパッキン４３′−１）は不要になる。なお１
３１はメッキ液、１３３はアノード、１３５は電源であ
る。
【００４８】なお本発明にかかるウエハのメッキ用治具
は、バンプメッキ、ダマシン等、種々の電解メッキに利
用できることは言うまでもない。
は、バンプメッキ、ダマシン等、種々の電解メッキに利
用できることは言うまでもない。
【００４９】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば以下のような優れた効果を有する。 通電ピンと導通部とを一体化したので、各通電ピンへ
配線を接続する必要がなく、その取付作業が容易にな
る。また通電ピンの数が多くなっても取付作業が煩雑に
なることはない。
ば以下のような優れた効果を有する。 通電ピンと導通部とを一体化したので、各通電ピンへ
配線を接続する必要がなく、その取付作業が容易にな
る。また通電ピンの数が多くなっても取付作業が煩雑に
なることはない。
【００５０】導通部の断面積を容易に大きくできるの
で、電気抵抗が大きくなることもない。
で、電気抵抗が大きくなることもない。
【００５１】通電ピンの数が多くても各通電ピンに配
線する必要がないので、配線を収納するスペースを確保
する必要がなく、治具のコンパクト化が図れる。
線する必要がないので、配線を収納するスペースを確保
する必要がなく、治具のコンパクト化が図れる。
【００５２】必要に応じて通電ピンと導通部を一体化
した通電部材を交換するだけで通電ピンの数や位置を変
更できるので、接点位置の異なる各種ウエハに容易に対
応できる。
した通電部材を交換するだけで通電ピンの数や位置を変
更できるので、接点位置の異なる各種ウエハに容易に対
応できる。
【００５３】通電ピンを第一保持部材と第二保持部材
間に挟持したウエハの表面に弾性を持って押し付けられ
る形状に構成した場合は、ウエハへの押し付け力が過度
になることはなく、ウエハの表面に損傷を与える恐れが
ない。
間に挟持したウエハの表面に弾性を持って押し付けられ
る形状に構成した場合は、ウエハへの押し付け力が過度
になることはなく、ウエハの表面に損傷を与える恐れが
ない。
【００５４】通電ピンを複数箇所で折り曲げることに
よって通電ピンの先端部分と根元部分を結ぶ線が第一保
持部材と第二保持部材間に挟持したウエハの表面に対し
てほぼ垂直となるように構成した場合は、たとえこれを
ウエハに押し付けていってもウエハに接触する先端部分
がウエハ上を移動することはなく（又は移動距離が非常
に短く）、ウエハ表面が損傷する恐れはない。
よって通電ピンの先端部分と根元部分を結ぶ線が第一保
持部材と第二保持部材間に挟持したウエハの表面に対し
てほぼ垂直となるように構成した場合は、たとえこれを
ウエハに押し付けていってもウエハに接触する先端部分
がウエハ上を移動することはなく（又は移動距離が非常
に短く）、ウエハ表面が損傷する恐れはない。
【００５５】通電ピンのウエハに当接する部分を導電
性の弾性体で構成した場合は、通電ピンとウエハ表面と
の接触面積を大きくすることができる。
性の弾性体で構成した場合は、通電ピンとウエハ表面と
の接触面積を大きくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態にかかるウエハのメッキ用
治具を示す図であり、同図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）
は側断面図、同図（ｃ）は同図（ｂ）のＡ部分の拡大図
である。
治具を示す図であり、同図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）
は側断面図、同図（ｃ）は同図（ｂ）のＡ部分の拡大図
である。
【図２】通電部材６０−１を示す図であり、同図（ａ）
は平面図、同図（ｂ）は側面図である。
は平面図、同図（ｂ）は側面図である。
【図３】本発明に用いる他の構造の通電部材６０−２を
示す図であり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は側面
図である。
示す図であり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は側面
図である。
【図４】本発明に用いる他の構造の通電部材６０−３を
示す図であり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は側面
図、同図（ｃ）は展開図である。
示す図であり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は側面
図、同図（ｃ）は展開図である。
【図５】従来例を示す図であり、同図（ａ）は斜視図、
同図（ｂ）は側断面図、同図（ｃ）は同図（ｂ）のＣ部
分の拡大図である。
同図（ｂ）は側断面図、同図（ｃ）は同図（ｂ）のＣ部
分の拡大図である。
【図６】本発明に用いる他の構造の通電部材６０−４を
示す図であり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は側面
図である。
示す図であり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は側面
図である。
【図７】通電部材６０−４をメッキ用治具に取り付けた
ときの要部拡大断面図（図１（ｃ）に相当する部分）で
ある。
ときの要部拡大断面図（図１（ｃ）に相当する部分）で
ある。
【図８】本発明に用いる他の構造の通電部材６０−５を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図９】本発明に用いる他の構造の通電部材６０−６を
示す図であり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図
（ａ）のＤ−Ｄ断面拡大図である。
示す図であり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同図
（ａ）のＤ−Ｄ断面拡大図である。
【図１０】通電部材６０−６をメッキ用治具に取り付け
たときの要部拡大断面図（図１（ｃ）に相当する部分）
である。
たときの要部拡大断面図（図１（ｃ）に相当する部分）
である。
【図１１】本発明に用いる他の構造の通電部材６０−７
を示す図であり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同
図（ａ）のＥ−Ｅ断面拡大図、同図（ｃ）は同図（ａ）
の矢印Ｆ部分の要部拡大図である。
を示す図であり、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は同
図（ａ）のＥ−Ｅ断面拡大図、同図（ｃ）は同図（ａ）
の矢印Ｆ部分の要部拡大図である。
【図１２】通電部材６０−７をメッキ用治具に取り付け
たときの要部拡大断面図（図１（ｃ）に相当する部分）
である。
たときの要部拡大断面図（図１（ｃ）に相当する部分）
である。
【図１３】他のシールパッキン構造を用いたメッキ用治
具の要部拡大断面図（図１（ｃ）に相当する部分）であ
る。
具の要部拡大断面図（図１（ｃ）に相当する部分）であ
る。
【図１４】他のメッキ用治具を示す概略側断面図であ
る。
る。
１００ ウエハ １０ 第一保持部材 ４０ 第二保持部材 ４１ 開口 ４３ シールパッキン（シール部材） Ｂ メッキ液の浸入しない領域 ６０−１ 通電部材 ６１−１ 導通部 ６３−１ 通電ピン ６０−２ 通電部材 ６１−２ 導通部 ６３−２ 通電ピン ６０−３ 通電部材 ６１−３ 導通部 ６３−３ 通電ピン ６０−４ 通電部材 ６１−４ 導通部 ６３−４ 通電ピン ４３′−１ 第一シールパッキン（シール部材） ４３′−２ 第二シールパッキン（シール部材） ６０−５ 通電部材 ６３−５ 通電ピン ６０−６ 通電部材 ６１−６ 導通部 ６３−６ 通電ピン ６３５ 軟質通電部材 ６０−７ 通電部材 ６１−７ 導通部 ６３−７ 通電ピン ６３１ 先端 ６３３ 根元部分 ４０−８ 第二保持部材 ４３−８ シールパッキン（シール部材） ６０−８ 通電部材 １３０ メッキ槽
Claims (9)
- 【請求項１】 ウエハをその電解メッキを施す面を露出
するように保持するウエハのメッキ用治具において、 前記ウエハのメッキ用治具はウエハの表裏面を挟持する
第一保持部材及び第二保持部材を具備し、 第二保持部材はウエハの電解メッキを施す面を露出する
開口を有するとともに、該開口の周囲に少なくとも第二
保持部材とウエハとに当接するシール部材を設け、該シ
ール部材でメッキ液の浸入しない領域を形成し、さらに
該領域の部分には通電部材を取り付け、 前記通電部材は前記第二保持部材側に取り付けられるリ
ング状の導通部と該導通部から第一保持部材側に向けて
突出してウエハに当接する通電ピンとによって構成され
ていることを特徴とするウエハのメッキ用治具。 - 【請求項２】 前記シール部材は、通電部材の内周側と
外周側とをシールすることでその間の部分にメッキ液の
浸入しない領域を形成する構造としたことを特徴とする
請求項１記載のウエハのメッキ用治具。 - 【請求項３】 前記シール部材は、通電部材の内周側の
みをシールすることでその該シールの外周側の部分にメ
ッキ液の浸入しない領域を形成する構造としたことを特
徴とする請求項１記載のウエハのメッキ用治具。 - 【請求項４】 前記通電部材は、リング状の金属板から
なる導通部の内周辺又は外周辺から突出する通電ピンを
折り曲げて構成されていることを特徴とする請求項１乃
至３の内の何れか１項記載のウエハのメッキ用治具。 - 【請求項５】 前記通電部材は、その導通部と通電ピン
とが一体成型品によって構成されているか又は両者を接
合一体化することによって構成されていることを特徴と
する請求項１乃至３の内の何れか１項記載のウエハのメ
ッキ用治具。 - 【請求項６】 前記通電部材は、帯板からなる導通部の
一方の辺から通電ピンを突出させたものを筒状に巻くこ
とで構成されていることを特徴とする請求項１乃至３の
内の何れか１項記載のウエハのメッキ用治具。 - 【請求項７】 前記通電ピンは、第一保持部材と第二保
持部材間に挟持したウエハの表面に弾性を持って押し付
けられる形状に構成されていることを特徴とする請求項
１乃至６の内の何れか１項記載のウエハのメッキ用治
具。 - 【請求項８】 前記通電ピンは、複数箇所で折り曲げら
れることによって通電ピンの先端部分と根元部分を結ぶ
線が第一保持部材と第二保持部材間に挟持したウエハの
表面に対してほぼ垂直となるように構成されていること
を特徴とする請求項７記載のウエハのメッキ用治具。 - 【請求項９】 前記通電ピンの少なくともウエハに当接
する部分が、導電性の弾性体で構成されていることを特
徴とする請求項１乃至８の内の何れか１項記載のウエハ
のメッキ用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31236298A JPH11200096A (ja) | 1997-11-06 | 1998-11-02 | ウエハのメッキ用治具 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9-322106 | 1997-11-06 | ||
| JP32210697 | 1997-11-06 | ||
| JP31236298A JPH11200096A (ja) | 1997-11-06 | 1998-11-02 | ウエハのメッキ用治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11200096A true JPH11200096A (ja) | 1999-07-27 |
Family
ID=26567139
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31236298A Pending JPH11200096A (ja) | 1997-11-06 | 1998-11-02 | ウエハのメッキ用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JPH11200096A (ja) |
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