JPH11142639A - ブラックマトリックス及びカラーフィルターの製造法並びにカラーフィルター - Google Patents

ブラックマトリックス及びカラーフィルターの製造法並びにカラーフィルター

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JPH11142639A
JPH11142639A JP31318897A JP31318897A JPH11142639A JP H11142639 A JPH11142639 A JP H11142639A JP 31318897 A JP31318897 A JP 31318897A JP 31318897 A JP31318897 A JP 31318897A JP H11142639 A JPH11142639 A JP H11142639A
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JP
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film
resin
black matrix
black
pigment
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Application number
JP31318897A
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English (en)
Inventor
Yuji Kobayashi
雄二 小林
Shiyouichi Sasaki
晶市 佐々木
Takeshi Uchida
剛 内田
Hiroyuki Sonobe
宏幸 園部
Yukiko Muramatsu
有紀子 村松
Yoichi Kimura
陽一 木村
Koji Yamazaki
浩二 山崎
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Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 クロムを使用せず、光学濃度が高くかつ良好
な解像度が得られるブラックマトリックス及びカラーフ
ィルターを提供する。 【解決手段】 (a)樹脂、(b)黒色顔料、(c)光
重合性不飽和結合を分子内に一つ以上含有するモノマー
及び(d)光重合開始剤を含有する着色画像形成用感光
材からなる膜を基板上に形成し、メタルハライドランプ
の活性光線を膜に対して画像状に照射して露光部を光硬
化させ、未露光部を現像により除去することによりブラ
ックマトリックスを形成する。上記ブラックマトリック
スを形成する工程と、異なった色の複数の着色画像形成
用感光材を用いて一色ずつ基板上に膜を形成し、次いで
活性光線を膜に対して画像状に照射して露光部を光硬化
させ、未露光部を現像により除去することにより異なっ
た色の画素の形成を繰り返し行う工程とからなるカラー
フィルターの製造法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示デバイ
ス、センサー、色分解デバイス等に用いられるカラーフ
ィルターのブラックマトリックスを製造する方法、カラ
ーフィルターを製造する方法、及びその方法によって得
られるカラーフィルターに関する。
【0002】
【従来の技術】近年、液晶表示デバイス、センサー及び
色分解デバイス等にカラーフィルターが多用されてい
る。このカラーフィルターの製造法として、従来は、染
色可能な樹脂、例えば天然のゼラチンやカゼインに感光
性を付与したものをパターン露光して現像し、そこに、
主に染料を用いて染色することにより、着色画素を形成
する方法がとられていた。しかし、この方法で得た画素
は、材料からの制約で、耐熱性、耐光性が低いという問
題があった。そこで、最近、耐熱性及び耐光性を改良す
る目的で、顔料を分散させて着色した感光性樹脂材料を
用い、これをパターン露光及び現像して着色画像を形成
する方法が注目され、多くの検討が行われるようになっ
た。この方法によれば、カラーフィルターの製法も簡略
化され、得られたカラーフィルターも安定で、寿命の長
いものになることが知られている。
【0003】また、カラーフィルターに用いるブラック
マトリックスは、従来金属クロムが使用されてきたが、
近年反射の低い二層クロムが使用されている。しかしク
ロム系のブラックマトリックスはカラーフィルターが廃
棄される場合にクロムの処理が大きな問題となる。そこ
でクロム系ブラックマトリックスに代わって樹脂ブラッ
クマトリックスが検討されているが、フォトリソで樹脂
ブラックマトリックスを形成する場合、光学濃度(OD
値)が高くできない問題があり、一方エッチング法やリ
フトオフ法で形成したブラックマトリックスは工程数が
増加する問題があった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、ブラックマ
トリックスのパターン露光にメタルハイドランプ光源を
使用することにより、上記した従来の技術の問題点を解
消し、クロムを使用せず、光学濃度が高くかつ良好な解
像度が得られるブラックマトリックス及びカラーフィル
ター製造方法並びにこの方法によって得られるカラーフ
ィルターを提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決すべく検討を重ねた結果、特定の着色画像形成用
感光材を使用し、露光にメタルハイドランプ光源を用い
ることによりOD値2〜5の光学濃度を持つブラックマ
トリックスの解像度及びパターン密着性を良好にするこ
とができることを見出し、本発明を完成するに至った。
【0006】即ち、本発明は、(a)樹脂、(b)黒色
顔料、(c)光重合性不飽和結合を分子内に一つ以上含
有するモノマー及び(d)光重合開始剤を含有してなる
着色画像形成用感光材からなる膜に、メタルハライドラ
ンプの活性光線を膜に対して画像状に照射して露光部を
光硬化させ、未露光部を現像により除去することにより
ブラックマトリックスを形成することを特徴とするブラ
ックマトリックスの製造法を提供するものである。
【0007】更に、本発明は、上記の着色画像形成用感
光材からなる膜に、メタルハライドランプの活性光線を
膜に対して画像状に照射して露光部を光硬化させ、未露
光部を現像により除去することによりブラックマトリッ
クスを形成する工程と、異なった色の複数の着色画像形
成用感光材を用いて一色ずつ基板上に膜を形成し、次い
で活性光線を膜に対して画像状に照射して露光部を光硬
化させ、未露光部を現像により除去することにより異な
った色の画素の形成を繰り返し行う工程とからなること
を特徴とするカラーフィルターの製造法を提供するもの
である。
【0008】更に、本発明は、本発明の製造法によって
得られるカラーフィルターを提供するものある。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明について詳述する。
【0010】[パターンの露光]本発明のブラックマト
リックス及びカラーフィルターの製造法は、黒色画像形
成用感光材をメタルハライドランプ光源で露光すること
が必須である。メタルハライドランプとしては300〜
450nmの波長域を特に強化したものが用いられ、こ
のメタルハライドランプ光源を有するメタルハライド露
光機としては、(株)オーク製作所製MHM−5000
H、SMX−7000H、SMX−12KSH等があ
る。露光の光量は、通常、10〜1,000mJ/cm
2、好ましくは50〜500mJ/cm2である。
【0011】また赤色画像形成用感光材、青色画像形成
用感光材及び緑色画像形成用感光材はメタルハライドラ
ンプ光源を用いて露光してもよいしあるいはカーボンア
ーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ、
蛍光ランプ、タングステンランプ、可視光レーザーで露
光してもよい。これらの光源を用いてフォトマスクを介
したパターン露光や走査による直接描画などにより画像
状に活性光線が照射される。
【0012】[着色画像形成用感光材]本発明の着色画
像形成用感光材の(a)成分である樹脂としては、好ま
しくは酸価20〜300、重量平均分子量が1,500
〜200,000の樹脂が用いられる。このような樹脂
としては特に制限はないが、カルボキシル基含有樹脂、
例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸等のカ
ルボキシル基含有重合性モノマーと、メチルアクリレー
ト、エチルアクリレート、n−ブチルアクリレート等の
アクリル酸エステル、メチルメタクリレート、エチルメ
タクリレート等のメタクリル酸エステル、スチレンなど
の重合性モノマーとの共重合体が代表的なものとして挙
げられる。
【0013】また、感光材の光感度向上の観点から、光
重合性不飽和結合を有するカルボキシル基含有樹脂も樹
脂(a)の好ましい例として挙げられる。
【0014】光重合性不飽和結合を有するカルボキシル
基含有樹脂としては、例えば、水酸基を有するカルボキ
シル基含有樹脂に遊離イソシアネート基含有不飽和化合
物を反応させた樹脂、エポキシ樹脂と不飽和カルボン酸
との付加反応物に多塩基酸無水物を反応させた樹脂、共
役ジエン重合体や共役ジエン共重合体と不飽和ジカルボ
ン酸無水物との付加反応物に水酸基含有重合性モノマー
を反応させた樹脂、カルボキシル基含有樹脂、例えば、
上記のカルボキシル基含有樹脂に、グリシジルメタクリ
レート、アリルグリシジルエーテル等のグリシジル基含
有不飽和化合物や、アリルアルコール、2−ヒドロキシ
エチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレ
ート等の不飽和アルコールを反応させて得られる樹脂、
下記一般式(I)で表される繰り返し単位、下記一般式
(II)で表される繰り返し単位及び下記一般式(II
I)で表される繰り返し単位(III)からなり、繰り
返し単位(I)と繰り返し単位(II)及び(III)
の合計とのモル比、(I)/{(II)+(III)}
が1〜5である樹脂などが挙げられ、中でも、画素の耐
熱性、顔料の分散性向上の観点から、上記の繰り返し単
位(I)、(II)及び(III)からなる樹脂が好ま
しい。
【0015】
【化2】 (上記一般式中、R1は水素原子又はメチル基を表し、
2は水素原子、水酸基又は炭素数1〜12のアルキル
基若しくはアルコキシ基を表し、R3、R4及びR5は各
々独立に炭素数1〜12のアルキル基又は光重合性不飽
和結合を有する基を表し、ただし、R3、R4及びR5
うち少なくとも一つは光重合性不飽和結合を有する基で
ある。) 上記の繰り返し単位(I)、(II)及び(III)か
らなる樹脂の製造法としては、例えば、繰り返し(I)
及び(II)からなる前駆体樹脂に、不飽和アルコー
ル、例えばアリルアルコール、2−ブテン−4−オー
ル、フルフリルアルコール、オレイルアルコール、シン
ナミルアルコール、2−ヒドロキシエチルアクリレー
ト、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、N−メチロ
ールアクリルアミド等をエステル化反応させて製造する
方法、上記前駆体樹脂に、オキシラン環とエチレン性不
飽和結合をそれぞれ1個有する化合物、例えばグリシジ
ルメタクリレート、グリシジルアクリレート、アリルグ
リシジルエーテル、α−エチルグリシジルアクリレー
ト、クロトニルグリシジルエーテル、イタコン酸モノア
ルキルモノグリシジルエステル等を等モル未満の割合で
付加反応させて製造する方法などが挙げられる。
【0016】繰り返し単位(I)及び(II)からなる
前駆体樹脂は、スチレン又はその誘導体と、マレイン酸
モノアルキルエステル(マレイン酸のハーフエステル)
とを共重合することにより得ることができる。
【0017】スチレン誘導体としては、例えば、α−メ
チルスチレン、m又はp−メチルスチレン、m又はp−
メトキシスチレン、p−ヒドロキシスチレン、2−メト
キシ−4−ヒドロキシスチレン、2−ヒドロキシ−4−
メチルスチレン等が挙げられる。
【0018】マレイン酸モノアルキルエステルとして
は、例えば、マレイン酸モノ−C1-12アルキルエステ
ル、例えばマレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチ
ル、マレイン酸モノ−n−プロピル、マレイン酸モノイ
ソプロピル、マレイン酸モノ−n−ブチル、マレイン酸
モノ−n−ヘキシル、マレイン酸モノ−n−オクチル、
マレイン酸モノ−2−エチルヘキシル、マレイン酸モノ
−n−ノニル、マレイン酸モノ−n−ドデシル等が挙げ
られる。
【0019】上記の繰り返し単位(I)、(II)及び
(III)からなる樹脂の不飽和当量は、400〜3,
000とすることが好ましく、500〜2,000とす
ることがより好ましい。不飽和当量が400未満では、
顔料との分散時に一部硬化する傾向があり、3,000
を超えると光感度の向上効果が低下する傾向がある。こ
こで不飽和当量とは、不飽和結合一つあたりの樹脂の分
子量を意味している。また、繰り返し単位(I)と繰り
返し単位(II)及び(III)の合計とのモル比、
(I)/{(II)+(III)}は1〜5であること
が好ましく、1〜3とすることがより好ましい。このモ
ル比が1未満であると画素の耐熱性が低下する傾向にあ
り、5を超えると塗膜の溶解性が低下する傾向にある。
【0020】樹脂(a)の酸価は20〜300が好まし
く、40〜200とすることがより好ましく、60〜1
50とすることがさらに好ましい。酸価が20未満で
は、アルカリ現像性が低下する傾向があり、また、30
0を超えると画像パターンの形状が不鮮明となる傾向が
ある。
【0021】また、樹脂(a)の重量平均分子量(ゲル
パーミエーションクロマトグラフィー(GPC)で測定
し、標準ポリスチレンによる検量線を用いて換算したも
の)は1,500〜200,000が好ましく、5,0
00〜100,000とすることがより好ましく、1
0,000〜50,000とすることがさらに好まし
い。重量平均分子量が1,500未満では、黒色顔料の
分散安定性が低下しする傾向があり、また、200,0
00を超えると、感光材にしたときの粘度が高くなり、
基板上に塗布する際の塗布性が低下し、均一な塗膜が得
られにくくなる傾向がある。
【0022】なお、樹脂(a)として例示した上記の各
種樹脂は、単独で用いてもよいし、2種以上を併用して
もよい。画素の耐熱性及び黒色顔料の分散性の向上を目
的として上記の繰り返し単位(I)、(II)及び(I
II)からなる光重合性不飽和基を有する樹脂を用いる
場合には、樹脂(a)の合計量に対し、この光重合性不
飽和基を有する樹脂の割合を10〜100重量%とする
ことが好ましく、30〜100重量%とすることがより
好ましい。
【0023】本発明における樹脂(a)の使用量は、樹
脂(a)、黒色顔料(b)、モノマー(c)及び光重合
開始剤(d)の総量中、10〜85重量%とすることが
好ましく、20〜60重量%とすることがより好まし
く、25〜50重量%とすることが特に好ましい。この
使用量が10重量%未満では、黒色顔料の分散安定性が
低下する傾向があり、85重量%を超えると、感光材に
したときの粘度が高くなり、塗布性が低下して均一な塗
膜が得られにくくなる傾向がある。
【0024】本発明に用いられる黒色顔料(b)として
は、無機顔料、有機顔料のいずれも使用可能である。通
常、黒色のカーボンブラック、黒鉛、鉄黒、チタンカー
ボン、二酸化マンガン、銅クロムマンガン酸化物等の無
機顔料、有機顔料の混合物等が使用できるが、着色力の
点からカーボンブラック又はカーボンブラックとフタロ
シアニン系の青顔料の組み合わせが好ましい。また表面
を樹脂被覆したカーボンブラックやグラフト重合処理し
たカーボンブラックを使用してもよい。黒色顔料はブラ
ックマトリックスの光学濃度が2〜5になる量が使用さ
れる。好ましくは遮光性の観点から光学濃度が3〜4に
なる量がよい。光学濃度が2未満では遮光性が低下する
傾向があり、光学濃度が5を超えると密着性が低下し現
像時にパターンが流れやすくなる傾向がある。メタルハ
ライドランプを用いないで高圧水銀灯などを用いて露光
すると光学濃度が2以上になるように黒色顔料を使用す
るとパターン流れが生じることとなる。
【0025】本発明のブラックマトリックスの製造法に
おける黒色顔料(b)の使用量は、樹脂(a)、黒色顔
料(b)、モノマー(c)及び光重合開始剤(d)の総
量中、5〜70重量%とすることが好ましく、10〜5
0重量%とすることがより好ましく、15〜40重量%
とすることが特に好ましい。この使用量が5重量%未満
では、光学濃度が低くなる傾向があり、また、70重量
%を超えると、光感度が低下する傾向がある。
【0026】有機顔料としては、カラーフィルターの着
色画像形成用感光材に用いられる有機顔料と同様、例え
ば、アゾ系、フタロシアニン系、インジゴ系、アントラ
キノン系、ペリレン系、キナクリドン系、メチン・アゾ
メチン系、イソインドリノン系等が挙げられる。
【0027】カラーフィルターの着色画像形成用感光材
には、赤、緑及び青等の着色画像に適した各顔料系が上
記の黒色顔料(b)に代えて好ましく用いられる。ま
た、カラーフィルターの着色画像形成用感光材としては
ブラックマトリックスの着色画像形成用感光材に用いら
れる(a)成分、(c)成分及び(d)成分を含有する
着色画像形成用感光材が好適に用いられる。
【0028】赤色の着色画像には、単一の赤色顔料系を
用いてもよいし、黄色顔料系を赤色顔料系に混合して調
色を行ってもよい。
【0029】赤色顔料系としては、例えば、カラーイン
デックス名で、C.I.ピングメントレッド9、12
3、155、168、177、180、217、22
0、224等が挙げられる。
【0030】黄色顔料系としては、例えば、カラーイン
デックス名で、C.I.ピグメントイエロー20、2
4、83、93、109、110、117、125、1
39、147、154等が挙げられる。
【0031】これらの赤色顔料系及び黄色顔料系は、そ
れぞれ2種以上を混合して用いることもできる。なお、
赤色顔料系と黄色顔料系を混合して用いる場合には、黄
色顔料系を赤色顔料系と黄色顔料系の総量100重量部
に対して、50重量部以下で用いることが好ましい。
【0032】緑色の着色画像には、単一の緑顔料系を用
いてもよいし、上記の黄色顔料系を緑色顔料系に混合し
て調色を行ってもよい。
【0033】緑色顔料系としては、例えば、カラーイン
デックス名で、C.I.ピグメントグリーン7、36、
37等が挙げられる。
【0034】これらの緑色顔料系及び黄色顔料系は、そ
れぞれ2種以上を混合して用いることもできる。なお、
緑色顔料系と黄色顔料系を混合して用いる場合には、黄
色顔料系を緑色顔料系と黄色顔料系の総量100重量部
に対して、50重量部以下で用いることが好ましい。
【0035】青色の着色画像には、単一の青色顔料系を
用いてもよいし、紫色顔料系を青色顔料系に混合して調
色を行ってもよい。
【0036】青色顔料系としては、例えば、カラーイン
デックス名で、C.I.ピグメントブルー15、15:
3、15:4、15:6、22、60等が挙げられる。
【0037】紫色顔料系としては、例えば、カラーイン
デックス名で、C.I.ピグメントバイオレット19、
23、29、37、50等が挙げられる。
【0038】これらの青色顔料系及び紫色顔料系は、そ
れぞれ2種以上を混合して用いることもできる。なお、
青色顔料系と紫色顔料系を混合して用いる場合には、紫
色顔料系を青色顔料系と紫色顔料系の総量100重量部
に対して、50重量部以下で用いることが好ましい。
【0039】本発明に用いられる光重合性不飽和結合を
分子内に1つ以上有するモノマー(c)としては、例え
ば、メチルメタクリレート、ラウリルメタクリレート、
ベンジルメタクリレート、ブトキシエチルメタクリレー
ト、ブトキシエチルアクリレート、ブトキシトリエチレ
ングリコールアクリレート、ECH変性ブチルアクリレ
ート(ここで、ECHはエピクロルヒドリンを意味す
る。以下も同じ。)、ジシクロペンチルアクリレート、
ジシクロペンテニルオキシエチルメタクリレート、N,
N−ジメチルアミノエチルメタクリレート、エチルジエ
チレングリコールアクリレート、2−エチルヘキシルア
クリレート、グリセロールメタクリレート、ヘプタデカ
フロロデシルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタ
クリレート、カプロラクトン変性−2−ヒドロキシエチ
ルアクリレート、イソボルニルアクリレート、メトキシ
ジプロピレングリコールアクリレート、メトキシ化シク
ロデカトリエンアクリレート、フェノキシヘキサエチレ
ングリコールアクリレート、EO変性リン酸アクリレー
ト(ここで、EOはエチレンオキシドを意味する。以下
も同じ。)、カプロラクトン変性テトラヒドロフルフリ
ルアクリレート、EO変性ビスフェノールAジアクリレ
ート、ECH変性ビスフェノールAジアクリレート、ビ
スフェノールΑジメタクリレート、1,4−ブタンジオ
ールジアクリレート、1,3−ブチレングリコールジア
クリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、
グリセロールジメタクリレート、ネオペンチルグリコー
ルジアクリレート、ステアリルメチレンジアクリレー
ト、ミリスチルメチレンジアクリレート、EO変性リン
酸ジアクリレート、ECH変性フタル酸ジアクリレー
ト、ポリエチレングリコール400ジアクリレート、ポ
リプロピレングリコール400ジメタクリレート、テト
ラエチレングリコールジアクリレート、ECH変性1,
6−ヘキサンジオールジアクリレート、トリメチロール
プロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリ
アクリレート、EO変性リン酸トリアクリレート、EO
変性トリメチロールプロパントリアクリレート、PO変
性トリメチロールプロパントリアクリレート(ここで、
POはプロピレンオキシドを意味する。以下も同
じ。)、トリス(メタクリロキシエチル)イソシアヌレ
ート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペ
ンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリ
スリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトー
ルペンタアクリレート等のアクリレート、これらに対応
するメタクリレート等が代表的な例として挙げられる。
これらのモノマーは、単独で又は2種類以上を組み合わ
せて用いられる。
【0040】本発明におけるモノマー(c)の使用量
は、樹脂(a)、黒色顔料(b)、モノマー(c)及び
光重合開始剤(d)の総量中、2〜50重量%とするこ
とが好ましく、5〜40重量%とすることがより好まし
く、10〜30重量%とすることが特に好ましい。モノ
マーの割合が2重量%未満では、光感度が低い傾向があ
る。また、50重量%を超えると、黒色顔料の分散安定
性が低下する傾向がある。
【0041】本発明における樹脂(a)とモノマー
(c)の配合量の重量比(a)/(c)は0.5〜5.
0とすることが好ましく、0.7〜3.5とすることが
より好ましく、1.0〜2.5とすることが特に好まし
い。この比率が0.5未満では、乾燥塗膜の表面タック
性が悪化する傾向があり、5.0を超えると、光感度が
低くなる傾向がある。
【0042】本発明における着色画像形成用感光材中の
(d)の光重合開始剤の使用量は、樹脂(a)、黒色顔
料(b)、モノマー(c)及び光重合開始剤(d)の総
量中、0.01〜20重量%とすることが好ましく、2
〜15重量%とすることがより好ましく、3〜12重量
%とすることが特に好ましい。この配合量が、0.01
重量%未満であると光感度が低くなる傾向があり、20
重量%を超えると基板への密着性が低下する傾向があ
る。
【0043】また、本発明における(d)成分の光重合
開始剤としては、一般的な光重合開始剤を使用すること
ができる。これらの光重合開始剤としては、例えば、ベ
ンゾフェノン、N,N′−テトラエチル−4,4′−ジ
アミノベンゾフェノン、4−メトキシ−4′−ジメチル
アミノベンゾフェノン、ベンジル、2,2−ジエトキシ
アセトフェノン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテ
ル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンジルジメチル
ケタール、α−ヒドロキシイソブチルフェノン、チオキ
サントン、2−クロロチオキサントン、1−ヒドロキシ
シクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−[4
−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパン
−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−
(モルホリノフェニル)ブタン−1−オン、t−ブチル
アントラキノン、1−クロロアントラキノン、2,3−
ジクロロアントラキノン、3−クロル−2−メチルアン
トラキノン、2−エチルアントラキノン、1,4−ナフ
トキノン、9,10−フェナントラキノン、1,2−ベ
ンゾアントラキノン、1,4−ジメチルアントラキノ
ン、2−フェニルアントラキノン、2,2′−ビス(2
−クロロフェニル)−4,5,4′,5′−テトラフェ
ニル−1,2′−ビイミダゾール又は2,2′−ビス
(2−クロロフェニル)−4,5,4′,5′−テトラ
(3,4−メチレンジオキシフェニル)−1,1′−ビ
−1H−イミダゾール、2−(p−メトキシスチリル)
−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン
などが挙げられる。
【0044】上記の樹脂(a)、黒色顔料(b)、モノ
マー(c)及び光重合開始剤(d)を必須成分とする本
発明の着色画像形成用感光材を塗工用に用いる場合は、
通常、必須成分(a)、(b)、(c)及び(d)を有
機溶剤に溶解・分解させた塗工液(以下、着色画像形成
用感光液と呼ぶことがある。)として用いる。本発明の
着色画像形成用感光材に使用可能な有機溶剤としては、
例えば、ケトン系、セロソルブ系、アルコール系、芳香
族系等が挙げられる。具体的には、アセトン、メチルエ
チルケトン、シクロヘキサノン、メチルセロソルブ(エ
チレングリコールモノメチルエーテル)、エチルセロソ
ルブ(エチレングリコールモノエチルエーテル)、ブチ
ルセロソルブ、メチルセロソルブアセテート、エチルセ
ロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、エ
チレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリ
コールモノヘキシルエーテル、エチレングリコールジメ
チルエーテル、ジエチレングリコールエチルエーテル、
トリエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレン
グリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコール
ジメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエ
ーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、プロ
ピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレング
リコールジイソプロピルエーテル、プロピレングリコー
ルモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチ
ルエーテルアセテート、3−メチル−3−メトキシブタ
ノール、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、
N−メチル−2−ピロリドン、N−ヒドロキシメチル−
2−ピロリドン、メチルアルコール、エチルアルコー
ル、イソプロピルアルコール、n−ブチルアルコール、
テトラヒドロフラン、ジオキサン、ベンゼン、トルエ
ン、キシレン、酢酸エチル等の有機溶剤が挙げられる。
これらの有機溶剤は単独で又は2種類以上を組み合わせ
て用いられる。
【0045】本発明の着色画像形成用感光材を有機溶剤
に溶解・分解させる場合、有機溶剤の量は着色画像形成
用感光材中の有機溶剤の割合が、60〜95重量%とな
るような量とすることが好ましい。有機溶剤の量が95
重量%を超えると、この有機溶剤を含有する着色画像形
成用感光液の塗膜の乾燥に時間がかかる傾向があり、6
0重量%未満であると感光液の粘度が高すぎて、塗布性
が低下する傾向がある。
【0046】本発明の着色画像形成用感光材には、必須
成分である(a)樹脂、(b)黒色顔料、(c)モノマ
ー、(d)光重合開始剤以外に、暗反応を抑制するため
のハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテ
ル、ピロガロール、t−ブチルカテコール等の熱重合禁
止剤、基板との密着性を向上させるためのビニル基、エ
ポキシ基、アミノ基、メルカプト基等を有するシランカ
ップリング剤や、イソプロピルトリメタクリロイルチタ
ネート、ジイソプロピルイソステアロイル−4−アミノ
ベンゾイルチタネート等のチタネートカップリング剤、
膜の平滑性を向上させるためのフッ素系、シリコン系、
炭化水素系の界面活性剤、その他、紫外線吸収剤、酸化
防止剤等の各種添加剤を必要に応じて適宜使用すること
ができる。これら添加剤の合計添加量は、通常、
(a)、(b)、(c)及び(d)成分からなる固形分
総量100重量部に対して0.1〜10重量部とするこ
とが好ましく、0.5〜5重量部とすることがより好ま
しい。
【0047】また、本発明の着色画像形成用感光材に
は、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、メラ
ミン樹脂等、(a)成分の樹脂の範囲外の樹脂を、
(a)成分の樹脂100重量部に対して50重量部以下
で使用することができる。この使用量が50重量部を超
えると、顔料の分散安定性や光感度が低下する傾向があ
る。
【0048】本発明の着色画像形成用感光材の着色画像
形成用感光液を調製する一般的な方法について以下に説
明する。
【0049】まず、(b)成分の黒色顔料を分散させる
ために(a)成分の樹脂及び(b)成分の黒色顔料を有
機溶剤と混合し、この混合物を超音波分散機、三本ロー
ル、ボールミル、サンドミル、ビーズミル、ホモジナイ
ザー、ニーダー等の分散/混練装置を用いて分散させ
る。
【0050】この分散工程の際、ポリカルボン酸型高分
子活性剤、ポリスルホン酸型高分子活性剤等のアニオン
系顔料分散剤、ポリオキシエチレン・ポリオキシプロピ
レンブロックポリマー等のノニオン系顔料分散剤などの
顔料分散剤、アントラキノン系、ペリレン系、フタロシ
アニン系、キナクリドン系等の有機顔料にカルボキシル
基、スルホン酸基、スルホン酸塩基、カルボン酸アミド
基、スルホン酸アミド基、水酸基等の置換基を導入した
有機顔料の誘導体などを加えると、顔料の分散性や分散
安定性が良好になり好ましい。
【0051】これら顔料分散剤や有機顔料の誘導体は、
黒色顔料100重量部に対して50重量部以下で用いる
ことが好ましい。
【0052】また、黒色顔料分散時に(c)成分のモノ
マー及び(d)成分の光重合開始剤を加えてもよく、黒
色顔料分散後に(c)成分のモノマー及び(d)成分の
光重合開始剤を加えてもよい。
【0053】(a)成分の樹脂は、全量を分散時に黒色
顔料と共に用いてもよく、樹脂の一部を分散後に加えて
もよい。ただし、樹脂は黒色顔料100重量部に対し
て、分散時に少なくとも20重量部以上用いることが好
ましい。樹脂の使用量が分散時に20重量部未満では黒
色顔料の分散安定性が低下する傾向がある。
【0054】同様に、有機溶剤も黒色顔料の分散時に全
量用いてもよく、有機溶剤の一部を分散後に加えてもよ
い。ただし、有機溶剤は分散時の黒色顔料及び樹脂の全
量100重量部に対して、分散時に、少なくとも100
重量部以上用いることが好ましい。有機溶剤の使用量が
分散時に100重量部未満では、分散時の粘度が高すぎ
て、特にボールミル、サンドミル、ビーズミル等で分散
する場合には、分散が困難になる可能性がある。
【0055】本発明の着色画像形成用感光材を含有する
着色画像形成用感光液及びその他の着色画像形成用感光
材を含有する感光液を基板上に塗布する方法としては、
例えば、ロールコーター塗布、スピンコーター塗布、ス
プレー塗布、ホエラー塗布、ディップコーター塗布、カ
ーテンフローコーター塗布、ワイヤーバーコーター塗
布、グラビアコーター塗布、エアナイフコーター塗布な
どにより行われる。
【0056】この際に用いる基板としては、用途により
選択されるが、例えば、白板ガラス、青板ガラス、シリ
カコート青板ガラス等の透明ガラス基板、ポリエステル
樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、塩化ビニ
ル樹脂等の合成樹脂製シート、フィルム又は基板、アル
ミニウム板、銅板、ニッケル板、ステンレス板等の金属
基板、その他セラミック基板、光電変換素子を有する半
導体基板などが挙げられる。
【0057】塗布後、塗膜の乾燥は、塗膜に対し加熱さ
れた空気(乾燥風)を吹きつけるか、又は基板を加熱さ
れたホットプレート上に載置することによって行うこと
が好適である。乾燥風又はホットプレートの加熱温度
は、通常、30〜200℃、特に50〜130℃の温度
が好適であり、1〜30分間加熱することにより膜を形
成することができる。加熱温度は乾燥中一定に保っても
よいが、段階的に上昇させてもよい。
【0058】一方、感光液を基板に直接塗布せずに、い
ったん支持体上に塗布乾燥し、着色画像形成用感光材を
含む層(この層の厚さは、通常、0.1〜300μm、
好ましくは0.2〜30μm、より好ましくは0.2〜
5μmである)を形成して感光性エレメントとし、これ
を基板にラミネートするなどして、基板表面に膜として
形成することもできる。支持体に感光液を塗布する方法
としては、ナイフコーター塗布、グラビアコーター塗
布、ロールコーター塗布、スプレーコーター塗布等で行
うことができる。この際に用いられる支持体としては、
例えば、ポリエステルフィルム、ポリアミドイミドフィ
ルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム
等のフィルムが挙げられる。塗布したのち、上記と同様
に、通常、50〜130℃の温度で1〜30分間乾燥し
て膜を得ることができる。更に膜の表面に塵が付着する
のを防ぐ等の目的で、膜の表面に剥離可能なカバーフィ
ルムを積層することが望ましい。
【0059】剥離可能なカバーフィルムとしては、例え
ば、ポリエチレンフィルム、テフロンフィルム、ポリプ
ロピレンフィルム、表面処理した紙等があり、カバーフ
ィルムを剥離するときに膜と支持体との接着力よりも膜
とカバーフィルムとの接着力が小さいものであればよ
い。
【0060】このようにして得られた感光性エレメント
を基板上にラミネートする方法としては、基板と本発明
の着色画像形成材を含む層を重ね合わせながら、加熱圧
着することが好ましい。この場合、雰囲気は常圧でも減
圧下でもよい。
【0061】このようにして基板表面に形成した着色画
像形成材の厚みは、用途によって適宜定まるが、通常、
0.1〜300μmの範囲で使用される。また、カラー
フィルターに用いる場合には、通常0.2〜5μmの範
囲で使用される。
【0062】次に画像パターンを形成する方法について
説明する。上記の方法で得られた基板上の膜に、活性光
線を画像状に照射し、露光部の膜を硬化させる。この
際、感光性エレメントを用いて膜を形成した場合には、
支持体をつけたまま上から露光してもよく、いったん支
持体を剥離したのち露光してもよい。また、基板に直接
感光液を塗布して膜を形成した場合でも、その膜の表面
にポリビニルアルコール等の酸素遮断膜を0.5〜30
μmの厚みで形成し、その上から露光してもよい。
【0063】活性光線の光源としては、ブラックマトリ
ックスを形成する場合にはメタルハライドランプを使用
するが、他の色画素を形成する場合にはメタルハライド
ランプ以外に例えば、カーボンアーク灯、超高圧水銀
灯、高圧水銀灯、キセノンランプ、蛍光ランプ、タング
ステンランプ、可視光レーザー等が好ましく用いられ
る。これらの光源を用いてフォトマスクを介したパター
ン露光や、走査による直接描画などにより画像状に活性
光線が照射される。露光の光量は、通常、10〜1,0
00mJ/cm2、好ましくは50〜500mJ/cm2
である。
【0064】続いて、未露光部を除去する現像工程によ
り、画像に対応した硬化膜の着色画像パターンを得るこ
とができる。
【0065】現像方法としては、水酸化ナトリウム、水
酸化カリウム、炭酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム
等の無機アルカリや、モノエタノールアミン、ジエタノ
ールアミン、トリエタノールアミン、テトラメチルアン
モニウムハイドロオキサイド、トリエチルアミン、n−
ブチルアミン等の有機塩基や塩を含む水溶液を吹きつけ
る方法、これら水溶液に浸漬する方法などが挙げられ
る。
【0066】現像後、更に、着色画像パターンを高圧水
銀灯等を用いて0.5〜5J/cm 2の光量を照射して
後露光するか、60〜200℃の温度で1〜60分間後
加熱を行うことが好ましい。この後露光、後加熱によ
り、画像パターンがより強固となる。
【0067】以上の工程を、複数の異なった色の複数の
着色画像形成用感光材を用いて繰り返して行うことによ
り、異なった複数の色の画素を有するカラーフィルター
を製造することができる。
【0068】具体例として液晶表示素子に用いるカラー
フィルターの作製法を例示すると、例えばガラス基板上
に着色画像形成用感光材を用いて、前記した方法を3回
繰り返して行うことにより、赤、緑、青等の着色画素を
形成した後、この着色画素のすき間に、黒色の着色画像
をブラックマトリックスとして形成する方法や、先に黒
色の着色画像等によりブラックマトリックスを形成した
後、上記と同様に、赤、緑、青等の着色画素の形成を3
回繰り返して行ってカラーフィルターを作製する方法な
どがある。
【0069】
【実施例】以下、本発明の実施例及びその比較例によっ
て本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらの
実施例に限定されるものではない。
【0070】実施例1 樹脂(a)として表1に示す繰り返し単位(I)、(I
I)及び(III)を有する樹脂Α(25g)及び顔料
(b)としてカーボンブラック(40g)を、有機溶剤
であるプロピレングリコールジメチルエーテル(200
g)に加え、これをビーズミルを用いて2時間溶解・分
散した。この分散液に、モノマー(c)としてペンタエ
リスリトールテトラアクリレート(20g)、光重合開
始剤(d)として2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−
1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン
(13g)並びに有機溶剤としてエチレングリコールモ
ノエチルエーテル(200g)を加えて混合し、黒色の
着色画像形成用感光液を得た。
【0071】得られた感光液を、ガラス基板(コーニン
グ社製、商品名7059)上にスピンコート法により塗
布した後、ホットプレート上で100℃、10分の乾燥
を行い、膜厚1.3μmの乾燥塗膜を形成した。
【0072】次いで、乾燥塗膜に、ネガマスクを通して
メタルハライドランプ((株)オーク製作所製MHM−
5000H)により、画像状に200mJ/cm2の露
光を行い、次いで、テトラメチルアンモニウムハイドロ
キサイドを3重量%含む水溶液により現像を行い、20
0℃、30分のポストべークを行ってブラックマトリッ
クスパターンを得た。得られたブラックマトリックスの
膜厚は1.2μmで光学濃度は3.6であった。その結
果を表2に示す。
【0073】実施例2 樹脂(a)として表1に示す繰り返し単位(I)、(I
I)及び(III)を有する樹脂Α(35g)及び顔料
(b)としてカラーインデックス名でC.I.ピグメン
トレッド177(21g)及びC.I.ピグメントイエ
ロー139(4g)を、有機溶剤であるプロピレングリ
コールジエチルエーテル(250g)に加え、これをビ
ーズミルを用いて2時間溶解・分散した。この分散液
に、上記の樹脂Α(5g)、モノマー(c)としてトリ
メチロールプロパントリアクリレート(32g)、光重
合開始剤(d)として2−(p−メトキシスチリル)−
4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン
(8g)、並びに有機溶剤としてプロピレングリコール
ジイソプロピルエーテル(50g)及びエチレングリコ
ールモノメチルエーテルアセテート(100g)を加え
て混合し、赤色の着色画像形成用感光液を得た。
【0074】得られた感光液を用い、実施例1と同様に
して膜厚2.0μmの乾燥塗膜を形成し、次いで乾燥塗
膜に、ネガマスクを通してメタルハライドランプによ
り、画像状に200mJ/cm2の露光を行い、次い
で、テトラメチルアンモニウムハイドロキサイドを3重
量%含む水溶液により現像を行い、200℃、30分の
ポストべークを行って赤色の画像パターンを得た。
【0075】実施例3 樹脂(a)として表1に示す繰り返し単位(I)、(I
I)及び(III)を有する樹脂Α(40g)及び顔料
(b)としてカラーインデックス名でC.I.ピグメン
トグリーン36(15g)及びC.I.ピグメントイエ
ロー83(6g)を、有機溶剤であるプロピレングリコ
ールモノメチルエーテル(200g)に加え、これをビ
ーズミルを用いて2時間溶解・分散した。この分散液
に、モノマー(c)としてペンタエリスルトールテトラ
アクリレート(31g)、光重合開始剤(d)として2
−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォ
リノフェニル)−ブタン−1−オン(5g)及び2−
(p−メトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロ
メチル)−s−トリアジン(5g)、並びに有機溶剤と
してプロピレングリコールモノメチルエーテル(200
g)を加えて混合し、緑色の着色画像形成用感光液を得
た。得られた感光液を用い、実施例1と同様にして膜厚
2.0μmの乾燥塗膜を形成し、乾燥塗膜に、ネガマス
クを通してメタルハライドランプにより、画像状に20
0mJ/cm2の露光を行い、次いで、テトラメチルア
ンモニウムハイドロキサイドを3重量%含む水溶液によ
り現像を行い、200℃、30分のポストべークを行っ
て緑色の画像パターンを得た。
【0076】実施例4 樹脂(a)として表1に示す繰り返し単位(I)、(I
I)及び(III)を有する樹脂Α(40g)及び顔料
(b)としてカラーインデックス名でC.I.ピグメン
トブルー15:6(17g)及びC.I.ピグメントバ
イオレット23(1g)を、有機溶剤であるプロピレン
グリコールモノメチルエーテル(260g)に加え、こ
れをビーズミルを用いて2時間溶解・分散した。この分
散液に、モノマー(c)としてトリメチロールプロパン
トリアクリレート(36g)、光重合開始剤(d)とし
て2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モル
フォリノフェニル)−ブタン−1−オン(5g)及び2
−(p−メトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロ
ロメチル)−s−トリアジン(5g)、並びに有機溶剤
としてエチレングリコールモノメチルエーテル(140
g)を加えて混合し、青色の着色画像形成用感光液を得
た。得られた感光液を用い、実施例1と同様にして膜厚
2.0μmの乾燥塗膜を形成した。0.5重量%の炭酸
ナトリウムを含む水溶液を用いて現像を行った以外は実
施例1と同様の方法で青色の画像パターンを得た。
【0077】実施例5 実施例1で得られた感光液を、厚さ6μmのポリエチレ
ンテレフタレートフィルム上に、グラビアコート法によ
り塗布し、100℃、2分の乾燥により、膜厚1.5μ
mの着色画像形成用感光材を含む層を形成し、その上に
厚さ40μmのポリエチレンフィルムで被覆して感光性
エレメントを得た。
【0078】得られた感光性エレメントからポリエチレ
ンフィルムを剥がした後、実施例1で用いたものと同様
のガラス基板上に、ラミネートした。ラミネート条件
は、ガラス基板温度40℃、ラミネートロール温度11
0℃、ラミネート圧力3.5kgf/cm2、ラミネー
ト速度1.5m/minで行った。
【0079】次に、ネガマスクを通して、ポリエチレン
テレフタレートフィルム上からメタルハライドランプ
((株)オーク製作所製MHM−5000H)により画
像状に80mJ/cm2の露光を行い、次いで、ポリエ
チレンテレフタレートフィルムを剥離した後、実施例1
と同様な方法及び条件で現像を行ない、200℃、30
分のポストべークを行ってブラックマトリックスパター
ンを得た。
【0080】実施例6 樹脂(a)として表1に示すアクリル樹脂B(38g)
を使用した以外は、実施例1と同様にして、黒色の着色
画像形成用感光液を得た。
【0081】得られた感光液を用い、実施例1と同様に
して膜厚1.5μmの乾燥塗膜を形成し、次いでテトラ
メチルアンモニウムハイドロキサイドを3重量%含む水
溶液により現像を行った。その結果を表2に示す。
【0082】比較例1 実施例1と同様にして、乾燥塗膜を形成し、露光の光源
としてメタルハライドランプを超高圧水銀灯に変えた以
外は実施例1と同様の方法で露光し、現象を行った。そ
の結果を表2に示す。
【0083】比較例2 露光の光源としてメタルハライドランプを高圧水銀灯に
変えた以外は実施例1と同様の方法で露光し、現象を行
った。その結果を表2に示す。
【0084】
【表1】
【0085】
【表2】 光感度:光学密度0.00を1段目とし、1段ごとに光
学密度が0.05ずつ増加する41段のステップタブレ
ットを用意し、乾燥塗膜上にこのステップタブレットを
載置した状態で各実施例及び比較例で用いた光源により
200mJ/cm2の露光を行い、次いで、トリエタノ
ールアミンを3重量%含む水溶液により現像を行い、露
光時にステップタブレット下にあった部分の膜の状態を
観察した。露光時に乾燥塗膜の硬化を妨げず、タブレッ
ト下にあった部分の現像処理による溶解や流れを起こさ
せることのなかったステップの最大の段数を表2に示し
た。このステップ段数の値が大きいほど、光感度が優れ
ている。
【0086】解像度:乾燥塗膜を、ライン及びスペース
幅(μm)の等しいストライプ状の複数のネガマスク
(ライン及びスペース幅:1μm、3μm、5μm、1
0μm、20μm、30μm)を用いて、各実施例及び
比較例で用いた光源により200mJ/cm2の露光を
行い、次いで、トリエタノールアミンを3重量%含む水
溶液により現像を行った。解像度の評価を、完全に現像
できた最小のライン及びスペース幅(μm)で表2に示
した。この値が小さいほど解像度が優れている。
【0087】OD値:コニカ社製のデンシトメーターP
DA−65で測定した。
【0088】表2の実施例1、実施例5と比較例の結果
から、本発明のブラックマトリックスの製造法を用いる
ことでこれまではブラックマトリックスのパターン形成
ができなかった光学濃度3以上でもブラックマトリック
スのパターンが得られることが分かる。
【0089】実施例7 ガラス基板上に実施例1と同様にしてブラックマトリッ
クスを形成した後、実施例と同様にして赤色の画像パタ
ーンを形成した。その後、ホットプレート上で180
℃、10分間の後加熱を行った。
【0090】次いでその基板を用いて、実施例3と同様
にして、赤色画像パターンの隣に、緑色の画像パターン
を形成し、その後上記と同様にして180℃で10分間
の後加熱を行った。
【0091】次いで、その基板を用いて、実施例4と同
様にして、緑色画像パターンと赤色画像パターンとの間
に青色の画像パターンを形成し、その後上記と同様にし
て200℃で10分間の後加熱を行った。
【0092】以上の操作により、ブラックマトリックス
のパターンと各々30μm×100μmのサイズの赤、
緑及び青の三色の画素がモザイク状に並んだ高品質のカ
ラーフィルターを作製した。
【0093】実施例5で得られたカラーフィルターの消
偏性を、カラーフィルターを2枚の偏向板に挟み、0°
と90°の光量比を照度計にて測定した。得られたカラ
ーフィルターはいずれも消偏性が1000以上と光学特
性に優れ、画像表示素子として優れたものであることを
確認した。
【0094】
【発明の効果】本発明のブラックマトリックスの製造法
は、これまでのフォトリソ法では樹脂ブラックマトリッ
クスの作製が非常に困難であった光学濃度(高OD値)
でブラックマトリックスパターンを得ることができる。
【0095】また、このブラックマトリックスを用いた
本発明のカラーフィルターは、コントラスト等の光学特
性が優れ、高品位であり、画像表示素子として優れたも
のである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI G02F 1/1335 505 G02F 1/1335 505 G03F 7/004 505 G03F 7/004 505 7/038 501 7/038 501 // G03F 7/20 501 7/20 501 (72)発明者 園部 宏幸 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内 (72)発明者 村松 有紀子 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内 (72)発明者 木村 陽一 千葉県市原市五井南海岸14番地 日立化成 工業株式会社五井工場内 (72)発明者 山崎 浩二 千葉県市原市五井南海岸14番地 日立化成 工業株式会社五井工場内

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (a)樹脂、(b)黒色顔料、(c)光
    重合性不飽和結合を分子内に一つ以上含有するモノマー
    及び(d)光重合開始剤を含有する着色画像形成用感光
    材からなる膜に、メタルハライドランプの活性光線を膜
    に対して画像状に照射して露光部を光硬化させ、未露光
    部を現像により除去することによりブラックマトリック
    スを形成することを特徴とするブラックマトリックスの
    製造法。
  2. 【請求項2】 着色画像形成用感光材からなる膜が、ブ
    ラックマトリックスの光学濃度(OD値)が2〜5とな
    るように(b)黒色顔料を含有する膜である請求項1記
    載のブラックマトリックスの製造法。
  3. 【請求項3】 (a)樹脂が、酸価が20〜300、重
    量平均分子量が1,500〜200,000で、下記一
    般式(I)で表される繰り返し単位(I)、下記一般式
    (II)で表される繰り返し単位(II)及び下記一般
    式(III)で表される繰り返し単位(III)からな
    り、繰り返し単位(I)と繰り返し単位(II)及び
    (III)の合計とのモル比、(I)/{(II)+
    (III)}が1〜5である樹脂である請求項1又は2
    記載のブラックマトリックスの製造法。 【化1】 (上記式中、R1は水素原子又はメチル基を表し、R2
    水素原子、水酸基又は炭素数1〜12のアルキル基若し
    くはアルコキシ基を表し、R3、R4及びR5は各々独立
    に炭素数1〜12のアルキル基又は光重合性不飽和結合
    を有する基を表し、ただし、R3、R4及びR5のうち少
    なくとも一つは光重合性不飽和結合を有する基であ
    る。)
  4. 【請求項4】 請求項1又は3記載の着色画像形成用感
    光材からなる膜に形、メタルハライドランプの活性光線
    を膜に対して画像状に照射して露光部を光硬化させ、未
    露光部を現像により除去することによりブラックマトリ
    ックスを形成する工程と、異なった色の複数の着色画像
    形成用感光材を用いて一色ずつ基板上に膜を形成し、次
    いで活性光線を膜に対して画像状に照射して露光部を光
    硬化させ、未露光部を現像により除去することにより異
    なった色の画素の形成を繰り返し行う工程とからなるこ
    とを特徴とするカラーフィルターの製造法。
  5. 【請求項5】 各々黒、緑、青及び赤の着色画像形成用
    感光材を用いてブラックマトリックス、緑色画素、青色
    画素及び赤色画素を形成する請求項4記載のカラーフィ
    ルターの製造法。
  6. 【請求項6】 請求項4又は5記載の製造法によって製
    造されたカラーフィルター。
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