JPH11144494A - 半導体メモリ - Google Patents

半導体メモリ

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JPH11144494A
JPH11144494A JP9310800A JP31080097A JPH11144494A JP H11144494 A JPH11144494 A JP H11144494A JP 9310800 A JP9310800 A JP 9310800A JP 31080097 A JP31080097 A JP 31080097A JP H11144494 A JPH11144494 A JP H11144494A
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JP
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address
decoder
circuit
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word line
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JP9310800A
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Naohiko Sugibayashi
直彦 杉林
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NEC Corp
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    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
    • G11C11/34Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
    • G11C11/40Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
    • G11C11/401Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
    • G11C11/4063Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing
    • G11C11/407Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing for memory cells of the field-effect type
    • G11C11/408Address circuits
    • GPHYSICS
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    • G11CSTATIC STORES
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    • G11C29/781Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices combined in a redundant decoder

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Dram (AREA)
  • Static Random-Access Memory (AREA)
  • Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 不良箇所をクラスタ単位で切り離す半導体メ
モリにおいて、連続アクセス可能空間を広げ、実効的デ
ータの転送レートを高くする。 【解決手段】 XアドレスはXアドレスバッファ101
からメインワードデコーダ用部分デコーダ102とサブ
ワードデコーダ用部分デコーダ104に入力される。メ
インワードデコーダ用部分デコーダ102の出力はメイ
ンワードデコーダ103に入力され、メインワード線を
出力する。メインワードデコーダ用部分デコーダ102
は、デコード信号をラッチするラッチ回路と、ラッチさ
れたアドレスをより上位のアドレスに変換するアドレス
変換回路を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体メモリに関
し、特に不良箇所をクラスタ単位で切り離して使用され
る半導体メモリに関する。
【0002】
【従来の技術】半導体メモリの大容量化にともない、歩
留まりが低下してきている。これに対して、不良アドレ
スを避けて使用することを前提としたメモリが提案され
ている。このような半導体メモリが特開平8−1025
29号公報に記載されている。この従来例のセルアレイ
の配置図を図10に示す。本従来例はDRAMであり、
メインワード線とサブワード線からなる2重ワード線構
成が用いられている。したがって、ワード線の選択はメ
インワードデコーダ列401およびサブワードデコーダ
列402において、X(ロウ)アドレスに基づいて行わ
れる。
【0003】本従来例のメインワードデコーダの回路図
を図11に示す。メインワードデコーダ内には、nチャ
ネルMOSトランジスタM3とインバータINV24の
入力端との接続点と電源端子Vccの間にヒューズ50
1が設けられ、インバータINV24の出力はnMOS
トランジスタM3のゲート電極に入力されるとともに、
分岐してアンド回路ANDの一方の入力端に接続され、
さらにnMOSトランジスタM1のゲート電極に入力さ
れている。nMOSトランジスタM1,M2は、プリチ
ャージされたロールコール信号RCXの電位を制御する
ものである。また、アンド回路ANDの他の入力端には
ブロック選択信号BSLを反転するインバータINV2
1の出力が接続されている。アドレス信号X4TX5T
n,X2TX3TnはNAND回路NANDに入力さ
れ、NAND回路NANDの出力はブロック選択信号B
SLの反転信号とともに第1のNOR回路NOR1に入
力され、第1のNOR回路NOR1の出力はAND回路
ANDの出力とともに第2のNOR回路NOR2に入力
され、またロールコール信号RCXを制御するnMOS
トランジスタM2のゲート電極に入力されている。第1
のNOR回路NOR1の出力はインバータINV22お
よび昇圧された電源電圧VBOUTで駆動されるインバ
ータ(ドライバ)INV23を介してメインワード線M
WLに接続され、第2のNOR回路NOR2の出力はメ
インワード線MWLBに接続されている。
【0004】ヒューズ501を切断することにより、こ
のメインワードデコーダから出力されるメインワード線
MWLにつながるワード線およびそれにつながるメモリ
セルを無効とする。この切断がなされているかどうか
は、外部からロールコールテストにより読み出すことが
できる。ロールコールテストモードでは、ワイアードO
Rの論理で接続されたロールコール信号RCXがロウレ
ベルに引き落されることが検出される。本従来例のDR
AMの使用者は、まずロールコールテストを行い、不良
クラスタ(クラスタは複数個のセクタで構成される。)
のXアドレスを不良クラスタアドレスのテーブルに登録
してから使用する。
【0005】一方、歩留まり低下の対策として、不良品
のアドレスを変換して、1/4の容量のメモリとして使
用することが提案されている。これは、特開平7−85
696号公報に記載されている。この従来例のブロック
配置図を図12に示す。本従来例は、メイン・サブワー
ド線構成はとっていない。本従来例のアドレス系回路の
ブロック図を図13に示す。
【0006】本従来例では、XアドレスがX0からX9
まで、YアドレスがY0からY9まである。最上位のア
ドレスはX9とY9である。この2つのアドレスにより
メモリ内部は4分割されている。図12のように、(X
9,Y9)=(0,0)と(0,1)のブロックに不良
セルがあった場合、(X9,Y9)=(0,0)が入力
されたときに物理的には(1,0)のブロックが選ばれ
るように図13のアドレス変換回路によりアドレスを変
換する。そして他の3つのブロックを無効とし1/4の
容量のメモリとして出荷する。
【0007】一方、ハードディスク等のファイル装置
は、バス配線数を減らすために入出力バスは同一配線で
ある。このように、入出力共用のバスでは、バスの使用
効率を上げるためにコマンドで最初のセクタアドレスと
連続的にアクセスするセクタ数を入力し、あとは入出力
データのみを転送する動作モードが準備されている。こ
の動作モードでは、セクタ毎にコマンドを入れる必要が
ないのでバスの使用効率が上がる。しかしながら、不良
クラスタが存在し、セクタアドレスが連続していない場
合、連続アクセスの動作モードは利用できない。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】第1の従来例では不良
クラスタがあった場合、連続アクセスモードを利用でき
ないためデータのスループットが悪くなるという問題が
あった。また、第2の従来例では、容量を1/4とする
ため、容量が大幅に減少するという問題があった。
【0009】本発明の目的は、連続アクセス可能な領域
が広く、実効的なデータ伝送レートが高い半導体メモリ
を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明は、デコーダ内に
不良アドレスを切り離す回路手段を有し、切り離すべき
不良があった場合、その場所をアドレス変換により、上
位アドレスに集め、連続アクセスできる空間を広げる。
このアドレス変換のために、本発明は、アドレスデコー
ド回路内にラッチ回路と、ラッチされたアドレスを変換
するアドレス変換回路を有する。
【0011】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
【0012】本実施形態の半導体メモリはメイン・サブ
ワード線方式を採用しており、図1に示すように、Xア
ドレスバッファ101とメインワードデコーダ用部分デ
コーダ102とメインワードデコーダ103とサブワー
ドデコーダ用部分デコーダ104とサブワードデコーダ
105とYアドレスバッファ106とコラムデコーダ1
07を有している。
【0013】Xアドレス(Xi)はXアドレスバッファ
101からメインワードデコーダ用部分デコーダ102
およびサブワードデコーダ用部分デコーダ104に入力
される。メインワードデコーダ用部分デコーダ102の
出力はメインワードデコーダ103に入力され、メイン
ワード線が出力される。このメインワードデコーダ10
3は、図11に示した従来例と同じものである。メイン
ワード線はサブワードデコーダ105に入力され、サブ
ワード線を選択する。サブワード線2本分のセルを1セ
クタとする。一方、メインワード線は16本のサブワー
ド線を選択するので8セクタで構成されることになる。
このセクタの集合体をクラスタと呼ぶ。本実施形態は、
メインワードデコーダ列単位でアドレス変換を行う。最
下位から2つのXアドレスX0,X1は部分デコードさ
れてから、サブワードデコーダ105に入力される。サ
ブワードデコーダ105は、メインワード線に含まれる
アドレスとメインワード線に含まれないアドレスとで、
最終的に全てのアドレスをデコードし、2本の(2本に
は深い意味はない。1本でも4本でもよい)サブワード
線を選択する。通常、サブワードデコーダ105には、
メインワード線と部分デコードした信号を入れる。部分
デコードする理由は、サブワードデコーダ105の回路
構成を簡単にできるためである。サブワードデコーダ1
05はチップ上の数が多いため面積を小さくできる。
【0014】図5に本実施形態のアドレス変換の例を示
す。不良のクラスタのXアドレスは、メインワードデコ
ーダ103でデコードされるX8からX2のアドレスで
示すと、“0001010”である。このアドレスのう
ち、X2,X4,X6,X7,X8が反転され、“11
11111”に変換される。このアドレス変換により連
続してセクタをアクセスできる容量が増加している。す
なわち、外部から“0001010”のクラスタを選択
しようとしてアドレスを入力したとき、物理的には“1
111111”のクラスタが選択される。物理的に“0
001010”にあるクラスタは不良であるが、“11
11111”にあるクラスタは、良品なので、下記のよ
うにとぎれなく連続的にセクタをアクセスすることがで
きる。
【0015】“0000000”→“0000001”
→・・・“0001001”→“0001010”→
“0001011”→・・・“1111100”→“1
111101”→“1111110” 図5の右側の表は、図4のヒューズを切るか切らないか
を示している。
【0016】不良クラスタが2つある場合を図8に示
す。この場合は、全アドレスを反転させることにより、
クラスタアドレス“0000000”から“10111
11”の一つ前のクラスタまで連続的にアクセスできる
ようになる。不良のクラスタを見かけ上、より上位のア
ドレスに変換するため変換先のアドレスの一つ手前のア
ドレスのクラスタまでアクセスできる。
【0017】図2は図1の半導体メモリの回路配置を示
している。
【0018】メモリセルアレイ201はメインワードデ
コーダ領域202と周辺回路領域203により8つに分
割されている。メインワードデコーダ領域202とYデ
コーダ領域204の交点に部分デコーダ領域205があ
り、メインワードデコーダ用部分デコーダ102が配置
されている。メインワードデコーダ用部分デコーダ10
2の回路図を図3に示す。インバータINV4、INV
5およびPMOSトランジスタPM2、PM4およびN
MOSトランジスタNM2、NM4はアドレスX2をラ
ッチ信号XLATnでラッチするDラッチ回路を構成し
ている。インバータINV1,INV2,INV3、P
MOSトランジスタPM1,PM3およびNMOSトラ
ンジスタのNM1,NM3はアドレスX3をラッチ信号
XLATnでラッチするDラッチ回路を構成している。
インバータINV7,INV8,INV9およびPMO
SトランジスタPM5,PM6およびNMOSトランジ
スタNM5,NM6はアドレスX2用のアドレス変換回
路を構成している。インバータINV10,INV1
1,INV12およびPMOSトランジスタPM7,P
M8およびNMOSトランジスタNM7,NM8はアド
レスX3用のアドレス変換回路を構成している。アドレ
スX2、X3はNAND回路NAND1〜NAND3で
デコードされ、インバータINV13〜INV16で増
幅される。
【0019】例えば、X2アドレスはラッチ信号XLA
Tnがハイレベルの間にDラッチ回路に取り込まれ、ロ
ウの間にラッチされる。このラッチされたアドレスの値
をアドレス変換回路で反転したほうが、不良のクラスタ
をより上位のアドレスに変換できる場合は信号X2RE
Vnをハイレベルとする。信号X2REVn等は、図4
に示すヒューズ回路により作られる。ヒューズを切断し
た場合は、X2は反転した値に変換される。大きな面積
となるヒューズ回路は、部分デコーダ領域205のよう
な大きさがデコーダによって決められている場所ではな
く、周辺回路領域203の外側の場所(図2のヒューズ
回路206)に配置される。大容量DRAMでは配線遅
延を均一化するために、信号線が階層構造をとっており
チップ中央部に集中するため、周辺回路領域203の外
側の場所はレイアウト的には余裕がある。比較のために
従来の部分デコード回路を図14に示す。
【0020】次に、本実施形態の半導体メモリをリダン
ダンシ回路と組み合わせて使用する場合について述べ
る。この場合、置換用のメインワード線は、各メモリブ
ロック毎に1個配置されている。しかしながら、図9に
示すように、一つのブロックでメインワード線がショー
トしたことにより、2つのクラスタが不良となることが
ある。この場合、リダンダンシワード線が選択されたと
きのみアドレスX6の変換を行い、その後予備のメイン
ワード線と置換する。ショートしたために2つのクラス
タが不良となった場合、置換用に準備されたメインワー
ド線(クラスタ)がブロック内で不足し、隣接のブロッ
クの置換用のメインワード線(クラスタ)を使用するた
めである。
【0021】具体的なヒューズ回路を図6に示す。2X
REVn、3XREVn,・・・,6XREVnはそれ
ぞれアドレスX2,X3,・・・,X6のアドレス変換
回路(図3)のラッチ信号である。リダンダンシワード
線活性化信号XREDniがハイレベルとなったときの
み、アドレス変換回路でアドレスが変換されるようにな
る。図7に本実施形態におけるブロック選択信号生成回
路を示す。この回路はメインワードデコーダ領域とセン
スアンプ領域の交点領域に配置される。X6Tは、部分
デコード領域で増幅されたアドレスX6の信号であり、
X7T8Tは、アドレスX7とX8がデコードされた信
号である。BSLは、ブロック選択信号でありメインワ
ードデコーダ等の選択を行う。PBLiは、センスアン
プ列の選択信号であり、センスアンプ列は2ブロックで
共有されているためブロック選択信号のORをとった論
理となる。図7の回路の出力のうち、PBLiはセンス
アンプ列に、BSLiはメインワードデコーダ列へ入力
される。センスアンプを挟んだメモリブロックの選択は
アドレスX6で行われているが、センスアンプは二つの
ブロックで共有であり、ビット線プリチャージ停止信号
PBLiには関係がない。DRAMの場合、プリチャー
ジが停止されてからワード線が上がるため、アドレスX
6の変換がリダンダンシ信号XREDiが活性化されて
から行われても、アクセス時間への影響は小さい、すな
わち、X6のアドレスは、他のブロック選択のアドレス
よりも遅くてよい。
【0022】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
アドレスを部分デコーダ単位で変換するため多くの不良
クラスタが存在しても、広い連続アクセス可能な領域を
確保でき、これにより、結果として実効的なデータ転送
レートが大きくなる。また、デコーダ内でアドレスを反
転することのみでアドレス変換を行っているため、回路
要素の増加が少なく、アドレス変換回路とデコーダの交
点の配置することができるため、チップ面積の増加がほ
とんどない。また、リダンダンシ回路と組み合わせるこ
とで、より広い連続アクセス可能な領域を確保できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態の半導体メモリの回路図で
ある。
【図2】図1の半導体メモリの回路の配置図である。
【図3】Dラッチ回路とアドレス変換回路の回路図であ
る。
【図4】本発明の一実施形態におけるヒューズ回路の回
路図である。
【図5】本実施形態におけるアドレス変換を示した配置
図である。
【図6】本発明の他の実施形態におけるヒューズ回路の
回路図である。
【図7】本実施形態におけるブロック選択信号生成回路
の回路図である。
【図8】本発明の実施形態における他のアドレス変換を
示した配置図である。
【図9】図8のアドレス変換を示した配置図である。
【図10】第1の従来例の回路の配置図である。
【図11】第1の従来例および図1の実施形態のメイン
ワードデコーダの回路図である。
【図12】第2の従来例の回路の配置図である。
【図13】第2の従来例のアドレス系回路の信号を示す
ブロック図である。
【図14】従来例の部分デコード回路の回路図である。
【符号の説明】
101 Xアドレスバッファ 102 メインワードデコーダ用部分デコーダ 103 メインワードデコーダ 104 サブワードデコーダ用部分デコーダ 105 サブワードデコーダ 106 Yアドレスバッファ 107 コラムデコーダ 108 センスアンプ 109,110 不良クラスタ 201 メモリセルアレイ 202 メインワードデコーダ領域 203 周辺回路領域 204 Yデコーダ領域 205 部分デコーダ領域 206 ヒューズ回路 INV1〜INV16 インバータ PM1〜PM8 PMOSトランジスタ NM1〜NM8 NMOSトランジスタ NAND1〜NAND4 NAND回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H01L 21/82 G11C 11/34 371D 27/108 H01L 21/82 R 21/8242 27/10 681E

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 不良箇所をクラスタ単位で切り離して使
    用される半導体メモリにおいて、アドレスデコード回路
    内にラッチ回路と、ラッチされた不良アドレスをより上
    位のアドレスに変換するアドレス変換回路を有すること
    を特徴とする半導体メモリ。
  2. 【請求項2】 冗長ワード線を有し、アドレス変換によ
    りセンスアンプを挟んだ逆側のセルアレイの冗長セルを
    使用する請求項1記載の半導体メモリ。
  3. 【請求項3】 前記アドレス変換回路がメインワード線
    デコーダとコラムデコーダの交点領域に配置されている
    請求項1記載の半導体メモリ。
JP9310800A 1997-11-12 1997-11-12 半導体メモリ Pending JPH11144494A (ja)

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CN98124736A CN1217548A (zh) 1997-11-12 1998-11-12 具有地址转换电路的半导体存储器件

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