JPH11144664A - 電子線装置 - Google Patents
電子線装置Info
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- JPH11144664A JPH11144664A JP9304050A JP30405097A JPH11144664A JP H11144664 A JPH11144664 A JP H11144664A JP 9304050 A JP9304050 A JP 9304050A JP 30405097 A JP30405097 A JP 30405097A JP H11144664 A JPH11144664 A JP H11144664A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 操作性の良い電子線装置を提供すること。
【解決手段】 補正信号発生器９に補正信号Ｖ0が入力
された後、プローブ電流値が現在の基準値Ｉ0からＩ1に
増やされると、制御部１１は、プローブ電流量がＩ1に
なるように前記集束レンズ２を制御する。また、制御部
１１は、補正信号Ｖ0のｋ倍（Ｉ1／Ｉ0倍）の補正信号
ｋＶ0を補正信号発生器９に設定する。この背景信号ｋ
Ｖ0を受けた補正信号発生器９は、その信号を加算器８
に送る。加算器８は、前段増幅器７から送られてくる信
号から前記補正信号ｋＶ0を引く処理を行う。
された後、プローブ電流値が現在の基準値Ｉ0からＩ1に
増やされると、制御部１１は、プローブ電流量がＩ1に
なるように前記集束レンズ２を制御する。また、制御部
１１は、補正信号Ｖ0のｋ倍（Ｉ1／Ｉ0倍）の補正信号
ｋＶ0を補正信号発生器９に設定する。この背景信号ｋ
Ｖ0を受けた補正信号発生器９は、その信号を加算器８
に送る。加算器８は、前段増幅器７から送られてくる信
号から前記補正信号ｋＶ0を引く処理を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、電子プローブマ
イクロアナライザや走査電子顕微鏡等の電子線装置に関
する。
イクロアナライザや走査電子顕微鏡等の電子線装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】 電子プローブマイクロアナライザは、
試料に電子線を照射し、その電子線の照射により試料か
ら発生した特性Ｘ線を検出し、検出した特性Ｘ線に基づ
いて試料の定性及び定量分析を行う装置である。この電
子プローブマイクロアナライザは、試料の組成分布を示
す反射電子像を表示する機能を備えており、オペレータ
はこの反射電子像によりＸ線分析する位置を確認してい
る。
試料に電子線を照射し、その電子線の照射により試料か
ら発生した特性Ｘ線を検出し、検出した特性Ｘ線に基づ
いて試料の定性及び定量分析を行う装置である。この電
子プローブマイクロアナライザは、試料の組成分布を示
す反射電子像を表示する機能を備えており、オペレータ
はこの反射電子像によりＸ線分析する位置を確認してい
る。
【０００３】また、電子プローブマイクロアナライザ
は、試料の光学的な像を表示する機能も備えている。試
料の光学像を表示する場合、試料に光が照射され、その
光が照射された部分の試料の形状を表す像がテレビカメ
ラによって撮影され、表示装置に試料の光学像が表示さ
れる。
は、試料の光学的な像を表示する機能も備えている。試
料の光学像を表示する場合、試料に光が照射され、その
光が照射された部分の試料の形状を表す像がテレビカメ
ラによって撮影され、表示装置に試料の光学像が表示さ
れる。
【発明が解決しようとする課題】 上述したように、Ｘ
線分析する位置を確認するために、Ｘ線分析に先立って
試料の反射電子像が表示されるが、オペレータは、良好
な反射電子像が得られるように、試料を照射する電子の
量（プローブ電流量）を調整する。すなわち、試料から
発生する反射電子の数が少なくて良好な反射電子像が得
られない場合、オペレータは、プローブ電流を増やして
反射電子の数を増加させる。更に、オペレータは、この
ようにプローブ電流を増やして反射電子の数を増加させ
た場合、反射電子検出器に接続された前段増幅器の出力
信号を増幅する後段増幅器の出力信号の強度が、その後
段増幅器のダイナミックレンジを超えないように後段増
幅器のゲインを調整する。しかしながら、このようなゲ
インの調整は非常に煩わしい作業である。
線分析する位置を確認するために、Ｘ線分析に先立って
試料の反射電子像が表示されるが、オペレータは、良好
な反射電子像が得られるように、試料を照射する電子の
量（プローブ電流量）を調整する。すなわち、試料から
発生する反射電子の数が少なくて良好な反射電子像が得
られない場合、オペレータは、プローブ電流を増やして
反射電子の数を増加させる。更に、オペレータは、この
ようにプローブ電流を増やして反射電子の数を増加させ
た場合、反射電子検出器に接続された前段増幅器の出力
信号を増幅する後段増幅器の出力信号の強度が、その後
段増幅器のダイナミックレンジを超えないように後段増
幅器のゲインを調整する。しかしながら、このようなゲ
インの調整は非常に煩わしい作業である。
【０００４】また、反射電子像を表示している際に、試
料の光学像を得るために試料に光を照射すると、その光
が反射電子検出器で検出され、前記前段増幅器の出力信
号強度は増加する。その場合にも、オペレータは、前記
後段増幅器の出力信号強度がそのダイナミックレンジを
超えないように後段増幅器のゲインを調整しなければな
らない。
料の光学像を得るために試料に光を照射すると、その光
が反射電子検出器で検出され、前記前段増幅器の出力信
号強度は増加する。その場合にも、オペレータは、前記
後段増幅器の出力信号強度がそのダイナミックレンジを
超えないように後段増幅器のゲインを調整しなければな
らない。
【０００５】本発明はこのような点に鑑みて成されたも
ので、その目的は、操作性の良い電子線装置を提供する
ことにある。
ので、その目的は、操作性の良い電子線装置を提供する
ことにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】 この目的を達成する本
発明の電子線は、電子線の照射により試料から発生した
信号を検出し、その検出信号の直流分を補正し、その補
正後の信号に基づいて試料像を表示するようにした電子
線装置において、プローブ電流または加速電圧に基づい
て前記検出信号の直流分を補正するようにしたことを特
徴とする。
発明の電子線は、電子線の照射により試料から発生した
信号を検出し、その検出信号の直流分を補正し、その補
正後の信号に基づいて試料像を表示するようにした電子
線装置において、プローブ電流または加速電圧に基づい
て前記検出信号の直流分を補正するようにしたことを特
徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】 以下、図面を用いて本発明の実
施の形態について説明する。
施の形態について説明する。
【０００８】図１は、本発明の電子線装置の一例として
示した、電子プローブマイクロアナライザの図である。
図１において、１は電子を発生する電子銃、２は集束レ
ンズであり、電子銃１で発生した電子は集束レンズ２で
集束される。３は集束レンズ２の後段に配置された絞り
である。試料を照射する電子の量、すなわちプローブ電
流量は、前記集束レンズ２の励磁が変わると変化し、ま
た、前記絞り３の孔径が変わっても変化する。４は対物
レンズであり、前記絞り３を通過した電子は、この対物
レンズ４により試料５上に集束される。試料５の上方に
は、電子線の照射により試料から発生する反射電子を検
出する反射電子検出器６が配置されている。前記反射電
子検出器６の出力信号は前段増幅器７に送られ、前段増
幅器７の出力信号は加算器８に送られる。この加算器８
には補正信号発生器９から補正信号が送られており、加
算器８の出力信号は後段増幅器１０に送られる。そし
て、後段増幅器１０の出力信号は制御部１１に送られ
る。前記集束レンズ２、前段増幅器７、補正信号発生器
９及び後段増幅器１０は前記制御部１１により制御さ
れ、また、制御部１１は操作／表示／処理部１２に接続
されている。前記制御部１１と補正信号発生器９で補正
手段が構成されている。
示した、電子プローブマイクロアナライザの図である。
図１において、１は電子を発生する電子銃、２は集束レ
ンズであり、電子銃１で発生した電子は集束レンズ２で
集束される。３は集束レンズ２の後段に配置された絞り
である。試料を照射する電子の量、すなわちプローブ電
流量は、前記集束レンズ２の励磁が変わると変化し、ま
た、前記絞り３の孔径が変わっても変化する。４は対物
レンズであり、前記絞り３を通過した電子は、この対物
レンズ４により試料５上に集束される。試料５の上方に
は、電子線の照射により試料から発生する反射電子を検
出する反射電子検出器６が配置されている。前記反射電
子検出器６の出力信号は前段増幅器７に送られ、前段増
幅器７の出力信号は加算器８に送られる。この加算器８
には補正信号発生器９から補正信号が送られており、加
算器８の出力信号は後段増幅器１０に送られる。そし
て、後段増幅器１０の出力信号は制御部１１に送られ
る。前記集束レンズ２、前段増幅器７、補正信号発生器
９及び後段増幅器１０は前記制御部１１により制御さ
れ、また、制御部１１は操作／表示／処理部１２に接続
されている。前記制御部１１と補正信号発生器９で補正
手段が構成されている。
【０００９】１３は、前記絞り３と対物レンズ４の間に
配置されたミラーで、ミラー１３に接近して照明観察部
１４が配置されている。照明観察部１４は、ランプや光
の集束レンズから成る照明部と、接眼レンズやＴＶカメ
ラ等から成る観察部から構成されており、照明観察部１
４からの光は前記ミラー１３で反射され、その後、光学
的な対物レンズ１５により試料５上に集束される。この
光が照射された部分の試料の形状は前記照明観察部１４
に結像され、その像は前記テレビカメラによって撮影さ
れる。なお、前記照明観察部１４で発生した光は、前記
ミラー１３の部分で電子線と同軸となる。以下に、この
ような構成の動作を説明する。
配置されたミラーで、ミラー１３に接近して照明観察部
１４が配置されている。照明観察部１４は、ランプや光
の集束レンズから成る照明部と、接眼レンズやＴＶカメ
ラ等から成る観察部から構成されており、照明観察部１
４からの光は前記ミラー１３で反射され、その後、光学
的な対物レンズ１５により試料５上に集束される。この
光が照射された部分の試料の形状は前記照明観察部１４
に結像され、その像は前記テレビカメラによって撮影さ
れる。なお、前記照明観察部１４で発生した光は、前記
ミラー１３の部分で電子線と同軸となる。以下に、この
ような構成の動作を説明する。
【００１０】まず、Ｘ線分析に先立って反射電子像の表
示が行われる。その際、電子線は偏光器（図示せず）に
より偏向され、試料５は電子線より２次元的に走査され
る。その走査によって試料５から発生した反射電子は反
射電子検出器６で検出される。反射電子検出器６の出力
信号ＶSは前段増幅器７で増幅され、前段増幅器７（増
幅率Ａ1）の出力信号Ａ1ＶSは加算器８に送られる。
今、補正信号発生器９から加算器８に補正信号が供給さ
れていないとすると、加算器８の出力信号Ａ1ＶSは後段
増幅器１０に送られ、信号Ａ1ＶSは後段増幅器１０（増
幅率Ａ4）で増幅される。そして、後段増幅器１０の出
力信号Ａ1Ａ4ＶSが制御部１１に送られる。制御部１１
は、前記偏向器に送られる偏向信号に同期させて前記出
力信号Ａ1Ａ4ＶSを操作／表示／処理部１２に送るの
で、操作／表示／処理部１２のディスプレイ上には例え
ば図２に示す反射電子像が表示される。この像から、試
料中に注目する物質Ａ（目的とする平均元素子の物質、
例えば不純物など）が含まれていることが分かり、この
部分をＸ線分析すれば、注目する物質Ａがどのような元
素で構成されているかが分かる。
示が行われる。その際、電子線は偏光器（図示せず）に
より偏向され、試料５は電子線より２次元的に走査され
る。その走査によって試料５から発生した反射電子は反
射電子検出器６で検出される。反射電子検出器６の出力
信号ＶSは前段増幅器７で増幅され、前段増幅器７（増
幅率Ａ1）の出力信号Ａ1ＶSは加算器８に送られる。
今、補正信号発生器９から加算器８に補正信号が供給さ
れていないとすると、加算器８の出力信号Ａ1ＶSは後段
増幅器１０に送られ、信号Ａ1ＶSは後段増幅器１０（増
幅率Ａ4）で増幅される。そして、後段増幅器１０の出
力信号Ａ1Ａ4ＶSが制御部１１に送られる。制御部１１
は、前記偏向器に送られる偏向信号に同期させて前記出
力信号Ａ1Ａ4ＶSを操作／表示／処理部１２に送るの
で、操作／表示／処理部１２のディスプレイ上には例え
ば図２に示す反射電子像が表示される。この像から、試
料中に注目する物質Ａ（目的とする平均元素子の物質、
例えば不純物など）が含まれていることが分かり、この
部分をＸ線分析すれば、注目する物質Ａがどのような元
素で構成されているかが分かる。
【００１１】図３は、図２に示した試料のラインＬ上を
電子線でライン走査したときの、前記前段増幅器７の出
力信号を示したものである。図３に示すように、前記注
目する物質Ａが存在する位置の出力信号Ａ1ＶSは、背景
信号Ｖ0と注目する物質Ａによる信号Ｖaとを加算した
（Ｖ0＋Ｖa）である。
電子線でライン走査したときの、前記前段増幅器７の出
力信号を示したものである。図３に示すように、前記注
目する物質Ａが存在する位置の出力信号Ａ1ＶSは、背景
信号Ｖ0と注目する物質Ａによる信号Ｖaとを加算した
（Ｖ0＋Ｖa）である。
【００１２】さて、オペレータが、前記操作／表示／処
理部１２を操作して前記背景信号Ｖ0を入力すると、前
記制御部１１は前記補正信号発生器９に背景信号Ｖ0を
設定する。すると、補正信号発生器９は背景信号Ｖ0を
前記加算器８に送り、この信号を受けた加算器８は、前
記前段増幅器７から送られてくる信号から背景信号Ｖ0
を引く処理を行う。この結果、加算器８から前記後段増
幅器１０に、前記注目する物質Ａを表す信号Ｖaのみが
送られ、前記操作／表示／処理部１２のディスプレイ上
には注目する物質Ａの像が表示される。図４は、図２に
示した試料のラインＬ上を電子線でライン走査したとき
の、前記後段増幅器１０の出力信号を示したものであ
る。図４において、Ｄは後段増幅器１０のダイナミック
レンジを示しており、後段増幅器１０の注目する出力信
号の強度はそのダイナミックレンジ内に収まっている。
理部１２を操作して前記背景信号Ｖ0を入力すると、前
記制御部１１は前記補正信号発生器９に背景信号Ｖ0を
設定する。すると、補正信号発生器９は背景信号Ｖ0を
前記加算器８に送り、この信号を受けた加算器８は、前
記前段増幅器７から送られてくる信号から背景信号Ｖ0
を引く処理を行う。この結果、加算器８から前記後段増
幅器１０に、前記注目する物質Ａを表す信号Ｖaのみが
送られ、前記操作／表示／処理部１２のディスプレイ上
には注目する物質Ａの像が表示される。図４は、図２に
示した試料のラインＬ上を電子線でライン走査したとき
の、前記後段増幅器１０の出力信号を示したものであ
る。図４において、Ｄは後段増幅器１０のダイナミック
レンジを示しており、後段増幅器１０の注目する出力信
号の強度はそのダイナミックレンジ内に収まっている。
【００１３】オペレータの前記背景信号Ｖ0の入力が終
わり、更に良好な反射電子像が得られるように、オペレ
ータが前記操作／表示／処理部１２を操作してプローブ
電流値を現在の基準値Ｉ0から例えばＩ1に増やすと、前
記制御部１１は、プローブ電流量が前記Ｉ1になるよう
に前記集束レンズ２を制御する。また、制御部１１は、
プローブ電流量を前記基準値Ｉ0のｋ倍（Ｉ1／Ｉ0倍）
に設定すると共に、前記背景信号Ｖ0のｋ倍の背景信号
ｋＶ0を前記補正信号発生器９に設定する。この背景信
号ｋＶ0を受けた前記補正信号発生器９は、その信号を
前記加算器８に送る。
わり、更に良好な反射電子像が得られるように、オペレ
ータが前記操作／表示／処理部１２を操作してプローブ
電流値を現在の基準値Ｉ0から例えばＩ1に増やすと、前
記制御部１１は、プローブ電流量が前記Ｉ1になるよう
に前記集束レンズ２を制御する。また、制御部１１は、
プローブ電流量を前記基準値Ｉ0のｋ倍（Ｉ1／Ｉ0倍）
に設定すると共に、前記背景信号Ｖ0のｋ倍の背景信号
ｋＶ0を前記補正信号発生器９に設定する。この背景信
号ｋＶ0を受けた前記補正信号発生器９は、その信号を
前記加算器８に送る。
【００１４】前記加算器８には前記前段増幅器７から信
号が送られるが、プローブ電流がｋ倍になったことによ
り、加算器８にはｋＡ1ＶSの強度の信号が送られる。こ
のため、前記注目する物質Ａに電子線が照射された際に
は、前記前段増幅器７から加算器８にｋ（Ｖ0＋Ｖa）の
強度の信号が送られ、一方、前記注目する物質Ａが存在
しない位置に電子線が照射された際には、ｋＶ0の強度
の信号が加算器８に送られる。加算器８は、前記前段増
幅器７から送られてくる信号から前記背景信号ｋＶ0を
引く処理を行うので、前記後段増幅器１０には前記注目
する物質Ａのみを表す信号ｋＶaが送られる。その結
果、前記操作／表示／処理部１２のディスプレイ上には
注目する物質Ａの像が表示される。
号が送られるが、プローブ電流がｋ倍になったことによ
り、加算器８にはｋＡ1ＶSの強度の信号が送られる。こ
のため、前記注目する物質Ａに電子線が照射された際に
は、前記前段増幅器７から加算器８にｋ（Ｖ0＋Ｖa）の
強度の信号が送られ、一方、前記注目する物質Ａが存在
しない位置に電子線が照射された際には、ｋＶ0の強度
の信号が加算器８に送られる。加算器８は、前記前段増
幅器７から送られてくる信号から前記背景信号ｋＶ0を
引く処理を行うので、前記後段増幅器１０には前記注目
する物質Ａのみを表す信号ｋＶaが送られる。その結
果、前記操作／表示／処理部１２のディスプレイ上には
注目する物質Ａの像が表示される。
【００１５】図５は、その際の、前記図２に示した試料
のラインＬ上を電子線でライン走査したときの、前記前
段増幅器７の出力信号を示した図である。図５に示すよ
うに、その信号の強度は前記図３の場合のｋ倍となって
いる。また、図６は、その時の後段増幅器１０の出力信
号を示したものである。図６に示すように、プローブ電
流が増えても、後段増幅器１０の出力信号は、前記注目
する物質Ａを表す信号ｋＡ4Ｖaのみであり、後段増幅器
１０の注目する出力信号強度はそのダイナミックレンジ
Ｄ内に十分に収まっている。そのため、本願発明におい
ては、従来のように後段増幅器１０のゲインを調整する
必要はなく、オペレータの負担は従来に比べかなり軽減
される。
のラインＬ上を電子線でライン走査したときの、前記前
段増幅器７の出力信号を示した図である。図５に示すよ
うに、その信号の強度は前記図３の場合のｋ倍となって
いる。また、図６は、その時の後段増幅器１０の出力信
号を示したものである。図６に示すように、プローブ電
流が増えても、後段増幅器１０の出力信号は、前記注目
する物質Ａを表す信号ｋＡ4Ｖaのみであり、後段増幅器
１０の注目する出力信号強度はそのダイナミックレンジ
Ｄ内に十分に収まっている。そのため、本願発明におい
ては、従来のように後段増幅器１０のゲインを調整する
必要はなく、オペレータの負担は従来に比べかなり軽減
される。
【００１６】なお、プローブ電流量が前記基準値Ｉ0か
らＩ2に減らされた場合も、前記制御部１１は、（Ｉ2／
Ｉ0）Ｖ0の背景信号を前記補正信号発生器９に設定す
る。そのため、その場合でも、前記後段増幅器１０の出
力信号には前記背景信号は含まれない。
らＩ2に減らされた場合も、前記制御部１１は、（Ｉ2／
Ｉ0）Ｖ0の背景信号を前記補正信号発生器９に設定す
る。そのため、その場合でも、前記後段増幅器１０の出
力信号には前記背景信号は含まれない。
【００１７】また、上記説明では、補正信号Ｖ0は一定
レベルのものとして説明したが、このＶ0は必ずしも一
定である必要はなく、電子線を照射する場所や時間に応
じて変化するものであっても良い。例えば、物質分布の
違いによる背景信号Ｖ0（Ｘ，Ｙ）を予め測定してお
き、この分布に応じて空間的（Ｘ，Ｙ）あるいは時間的
に前記補正信号発生器９から補正信号を発生させること
もできる。
レベルのものとして説明したが、このＶ0は必ずしも一
定である必要はなく、電子線を照射する場所や時間に応
じて変化するものであっても良い。例えば、物質分布の
違いによる背景信号Ｖ0（Ｘ，Ｙ）を予め測定してお
き、この分布に応じて空間的（Ｘ，Ｙ）あるいは時間的
に前記補正信号発生器９から補正信号を発生させること
もできる。
【００１８】次に、図１の電子プローブマイクロアナラ
イザにおける、プローブ電流量を変えても反射電子像の
輝度コントラストが変わらないモードの動作について説
明する。オペレータが、前記操作／表示／処理部１２に
おいて輝度コントラスト一定モードを指示することによ
り、装置は輝度コントラスト一定モードとなる。この輝
度コントラスト一定モードにおいて、上述したオペレー
タの背景信号Ｖ0の入力が終わり、プローブ電流がＩ0か
らＩ1に変更されると、前記制御部１１は、プローブ電
流量がＩ1になるように前記集束レンズ２を制御する。
また、制御部１１は、前記背景信号Ｖ0のｋ倍（Ｉ1／Ｉ
0倍）の背景信号ｋＶ0を前記補正信号発生器９に設定す
る。更に、制御部１１は、前記後段増幅器１０のゲイン
をそれまでの１／ｋ、すなわちＡ4／ｋにする。その結
果、前記図２に示した試料のラインＬ上を電子線でライ
ン走査したときの、前記後段増幅器１０の出力信号強度
波形は前記図４のようになり、プローブ電流が変化して
も反射電子像の輝度コントラストは一定に保たれる。輝
度コントラストは一定に保たれるが、プローブ電流が増
えて反射電子の数が増えた分、反射電子像の質は向上す
る。
イザにおける、プローブ電流量を変えても反射電子像の
輝度コントラストが変わらないモードの動作について説
明する。オペレータが、前記操作／表示／処理部１２に
おいて輝度コントラスト一定モードを指示することによ
り、装置は輝度コントラスト一定モードとなる。この輝
度コントラスト一定モードにおいて、上述したオペレー
タの背景信号Ｖ0の入力が終わり、プローブ電流がＩ0か
らＩ1に変更されると、前記制御部１１は、プローブ電
流量がＩ1になるように前記集束レンズ２を制御する。
また、制御部１１は、前記背景信号Ｖ0のｋ倍（Ｉ1／Ｉ
0倍）の背景信号ｋＶ0を前記補正信号発生器９に設定す
る。更に、制御部１１は、前記後段増幅器１０のゲイン
をそれまでの１／ｋ、すなわちＡ4／ｋにする。その結
果、前記図２に示した試料のラインＬ上を電子線でライ
ン走査したときの、前記後段増幅器１０の出力信号強度
波形は前記図４のようになり、プローブ電流が変化して
も反射電子像の輝度コントラストは一定に保たれる。輝
度コントラストは一定に保たれるが、プローブ電流が増
えて反射電子の数が増えた分、反射電子像の質は向上す
る。
【００１９】なお、プローブ電流をＩ0からＩ1に変更し
た時に、前記前段増幅器７のゲインを１／ｋにすると共
に、前記補正信号発生器９の出力信号を前記背景信号Ｖ
0に固定しても、前記図２に示した試料のラインＬ上を
電子線でライン走査したときの、前記後段増幅器１０の
出力信号強度波形は前記図４のようになり、プローブ電
流が変化しても反射電子像の輝度コントラストは一定に
保たれる。
た時に、前記前段増幅器７のゲインを１／ｋにすると共
に、前記補正信号発生器９の出力信号を前記背景信号Ｖ
0に固定しても、前記図２に示した試料のラインＬ上を
電子線でライン走査したときの、前記後段増幅器１０の
出力信号強度波形は前記図４のようになり、プローブ電
流が変化しても反射電子像の輝度コントラストは一定に
保たれる。
【００２０】以上、輝度コントラスト一定モードにおけ
る動作について説明したが、次に、電子線の加速電圧を
変更したときの図１の装置の動作について説明する。上
述したオペレータの背景信号Ｖ0の入力が終わり、オペ
レータが、前記操作／表示／処理部１２を操作して加速
電圧を現在設定されている基準加速電圧ＶAからＶBに変
更すると、前記制御部１１は、加速電圧がＶBになるよ
うに加速電源（図示せず）を制御する。この加速電圧の
変更により、試料から発生する反射電子の数は変わり、
前記前段増幅器７の出力は前記Ａ1ＶSからＡ1ＶSＶABと
なる。そのため、前記図２に示した試料のラインＬ上を
電子線でライン走査したときの、前記前段増幅器７の出
力は図７に示すようになる。
る動作について説明したが、次に、電子線の加速電圧を
変更したときの図１の装置の動作について説明する。上
述したオペレータの背景信号Ｖ0の入力が終わり、オペ
レータが、前記操作／表示／処理部１２を操作して加速
電圧を現在設定されている基準加速電圧ＶAからＶBに変
更すると、前記制御部１１は、加速電圧がＶBになるよ
うに加速電源（図示せず）を制御する。この加速電圧の
変更により、試料から発生する反射電子の数は変わり、
前記前段増幅器７の出力は前記Ａ1ＶSからＡ1ＶSＶABと
なる。そのため、前記図２に示した試料のラインＬ上を
電子線でライン走査したときの、前記前段増幅器７の出
力は図７に示すようになる。
【００２１】一方、前記制御部７は、加速電圧がＶAか
らＶBに変更されたことを認識すると、前記背景信号Ｖ0
に加速電圧補正信号ＶABをかけたＶABＶ0を前記補正信
号発生器９に送る。この信号ＶABＶ0を受けた補正信号
発生器９は、信号ＶABＶ0を前記加算器８に送る。その
結果、前記図２に示した試料のラインＬ上を電子線でラ
イン走査したときの、加算器８の出力は図８に示すよう
になり、加速電圧が変更されても前記後段増幅器１０の
出力には背景信号は含まれない。そのため、加速電圧が
変更されても、前記後段増幅器１０の注目する出力信号
の強度はそのダイナミックレンジ内に十分に収まる。な
お、前記加速電圧補正信号は、各加速電圧毎に予め実験
により求められている。
らＶBに変更されたことを認識すると、前記背景信号Ｖ0
に加速電圧補正信号ＶABをかけたＶABＶ0を前記補正信
号発生器９に送る。この信号ＶABＶ0を受けた補正信号
発生器９は、信号ＶABＶ0を前記加算器８に送る。その
結果、前記図２に示した試料のラインＬ上を電子線でラ
イン走査したときの、加算器８の出力は図８に示すよう
になり、加速電圧が変更されても前記後段増幅器１０の
出力には背景信号は含まれない。そのため、加速電圧が
変更されても、前記後段増幅器１０の注目する出力信号
の強度はそのダイナミックレンジ内に十分に収まる。な
お、前記加速電圧補正信号は、各加速電圧毎に予め実験
により求められている。
【００２２】以上、電子線の加速電圧を変更したときの
装置の動作について説明したが、次に、加速電圧を変え
ても反射電子像の輝度コントラストが変わらないモード
の動作について説明する。
装置の動作について説明したが、次に、加速電圧を変え
ても反射電子像の輝度コントラストが変わらないモード
の動作について説明する。
【００２３】上述したように、オペレータが、前記操作
／表示／処理部１２において輝度コントラスト一定モー
ドを指示することにより、装置は輝度コントラスト一定
モードとなる。この輝度コントラスト一定モードにおい
て、上述したオペレータの背景信号Ｖ0の入力が終わ
り、加速電圧が前記ＶAからＶBに変更されると、前記制
御部１１は、加速電圧がＶBになるように前記加速電源
を制御する。また、制御部１１は、前記背景信号Ｖ0に
前記加速電圧補正信号ＶABをかけた信号ＶABＶ0を前記
補正信号発生器９に設定する。更に、制御部１１は、前
記後段増幅器１０のゲインをＡ4／ＶABにする。その結
果、前記図２に示した試料のラインＬを電子線でライン
走査したときの、前記後段増幅器１０の出力信号強度波
形は図４のようになり、加速電圧が変化しても反射電子
像の輝度コントラストは一定に保たれる。
／表示／処理部１２において輝度コントラスト一定モー
ドを指示することにより、装置は輝度コントラスト一定
モードとなる。この輝度コントラスト一定モードにおい
て、上述したオペレータの背景信号Ｖ0の入力が終わ
り、加速電圧が前記ＶAからＶBに変更されると、前記制
御部１１は、加速電圧がＶBになるように前記加速電源
を制御する。また、制御部１１は、前記背景信号Ｖ0に
前記加速電圧補正信号ＶABをかけた信号ＶABＶ0を前記
補正信号発生器９に設定する。更に、制御部１１は、前
記後段増幅器１０のゲインをＡ4／ＶABにする。その結
果、前記図２に示した試料のラインＬを電子線でライン
走査したときの、前記後段増幅器１０の出力信号強度波
形は図４のようになり、加速電圧が変化しても反射電子
像の輝度コントラストは一定に保たれる。
【００２４】なお、加速電圧をＶAからＶBに変更した時
に、前記前段増幅器７のゲインを１／ＶABにすると共
に、前記補正信号発生器９の出力信号を前記Ｖ0に固定
しても、加速電圧が変化しても反射電子像の輝度コント
ラストは一定に保たれる。
に、前記前段増幅器７のゲインを１／ＶABにすると共
に、前記補正信号発生器９の出力信号を前記Ｖ0に固定
しても、加速電圧が変化しても反射電子像の輝度コント
ラストは一定に保たれる。
【００２５】以上、加速電圧を変更したときの動作につ
いて説明したが、次に、プローブ電流Ｉ0、加速電圧ＶA
の状態で、前記前段増幅器７のゲインをＡ1からＧＡ1に
変更したときの図１の装置の動作について説明する。
いて説明したが、次に、プローブ電流Ｉ0、加速電圧ＶA
の状態で、前記前段増幅器７のゲインをＡ1からＧＡ1に
変更したときの図１の装置の動作について説明する。
【００２６】上述したオペレータの背景信号Ｖ0の入力
が終わり、前段増幅器７のゲインがＡ1からＧＡ1に変更
されると、前記制御部１１は、ゲインがＧＡ1になるょ
うに前記前段増幅器７を制御する。このゲインの変更に
より、前段増幅器の出力は前記Ａ1ＶSからＧＡ1ＶSとな
る。その為、前記図２に示した試料のラインＬ上を電子
線でライン走査したときの、前記前段増幅器７の出力は
図９に示すようになる。
が終わり、前段増幅器７のゲインがＡ1からＧＡ1に変更
されると、前記制御部１１は、ゲインがＧＡ1になるょ
うに前記前段増幅器７を制御する。このゲインの変更に
より、前段増幅器の出力は前記Ａ1ＶSからＧＡ1ＶSとな
る。その為、前記図２に示した試料のラインＬ上を電子
線でライン走査したときの、前記前段増幅器７の出力は
図９に示すようになる。
【００２７】また、前記制御部１１は、前記背景信号Ｖ
0にゲイン補正信号ＧをかけたＧＶ0を前記補正信号発生
器９に送る。この信号ＧＶ0を受けた補正信号発生器９
は、信号ＧＶ0を前記加算器８に送る。その結果、前記
図２に示した試料のラインＬ上を電子線でライン走査し
たときの、加算器８の出力は図１０のようになり、前段
増幅器７のゲインが変更されても前記後段増幅器１０の
出力には背景信号は含まれない。そのため、前段増幅器
７のゲインが変更されても、前記後段増幅器１０の注目
する出力信号の強度はそのダイナミックレンジ内に十分
に収まる。
0にゲイン補正信号ＧをかけたＧＶ0を前記補正信号発生
器９に送る。この信号ＧＶ0を受けた補正信号発生器９
は、信号ＧＶ0を前記加算器８に送る。その結果、前記
図２に示した試料のラインＬ上を電子線でライン走査し
たときの、加算器８の出力は図１０のようになり、前段
増幅器７のゲインが変更されても前記後段増幅器１０の
出力には背景信号は含まれない。そのため、前段増幅器
７のゲインが変更されても、前記後段増幅器１０の注目
する出力信号の強度はそのダイナミックレンジ内に十分
に収まる。
【００２８】以上、前段増幅器７のゲインを変更したと
きの動作について説明したが、次に、プローブ電流Ｉ
０、加速電圧ＶA、前段増幅器７のゲインＡ4の条件で反
射電子像を表示している際に、試料の光学像を得るため
に試料に光を照射した場合の図１の装置の動作について
説明する。
きの動作について説明したが、次に、プローブ電流Ｉ
０、加速電圧ＶA、前段増幅器７のゲインＡ4の条件で反
射電子像を表示している際に、試料の光学像を得るため
に試料に光を照射した場合の図１の装置の動作について
説明する。
【００２９】オペレータが、前記操作／表示／処理部１
２において光学像の表示を指示すると、前記制御部１１
は前記照明観察部１４を動作させる。その結果、前記操
作／表示／処理部１２のブィスプレイ上には試料の光学
像が表示される。この試料への光の照射により、前記反
射電子検出器６はその光を検出し、反射電子検出器６の
出力にはその光を表す信号Ｌ０が含まれる。図１１は、
前記図２に示した試料のラインＬ上を電子線でライン走
査したときの、前記前段増幅器７の出力を示したもので
ある。
２において光学像の表示を指示すると、前記制御部１１
は前記照明観察部１４を動作させる。その結果、前記操
作／表示／処理部１２のブィスプレイ上には試料の光学
像が表示される。この試料への光の照射により、前記反
射電子検出器６はその光を検出し、反射電子検出器６の
出力にはその光を表す信号Ｌ０が含まれる。図１１は、
前記図２に示した試料のラインＬ上を電子線でライン走
査したときの、前記前段増幅器７の出力を示したもので
ある。
【００３０】さて、前記制御部１１は、装置が光学像を
表示するモードとなると、前記背景信号Ｖ0に光補正信
号Ｌ0を加えた信号（Ｖ0＋Ｌ0）を前記補正信号発生器
９に送る。その結果、前記図２に示した試料のラインＬ
上を電子線でライン走査したときの、加算器８の出力に
は前記光信号Ｌ0と背景信号Ｖ0は含まれない。そのた
め、反射電子像を表示している際に試料に光が照射され
ても、前記後段増幅器１０の注目する出力信号の強度は
そのダイナミックレンジ内に十分に収まる。
表示するモードとなると、前記背景信号Ｖ0に光補正信
号Ｌ0を加えた信号（Ｖ0＋Ｌ0）を前記補正信号発生器
９に送る。その結果、前記図２に示した試料のラインＬ
上を電子線でライン走査したときの、加算器８の出力に
は前記光信号Ｌ0と背景信号Ｖ0は含まれない。そのた
め、反射電子像を表示している際に試料に光が照射され
ても、前記後段増幅器１０の注目する出力信号の強度は
そのダイナミックレンジ内に十分に収まる。
【００３１】以上、試料の光学像を表示する場合の動作
について説明した。上記説明では、補正信号Ｌ0は一定
レベルのものとして説明したが、このＬ0は必ずしも一
定である必要はなく、電子線を照射する場所や時間に応
じて変化するものであっても良い。例えば、光反射の違
いによる補正信号Ｌ0（Ｘ，Ｙ）を予め測定しておき、
この分布に応じて空間的（Ｘ，Ｙ）あるいは時間的に前
記補正信号発生器９から補正信号を発生させることもで
きる。
について説明した。上記説明では、補正信号Ｌ0は一定
レベルのものとして説明したが、このＬ0は必ずしも一
定である必要はなく、電子線を照射する場所や時間に応
じて変化するものであっても良い。例えば、光反射の違
いによる補正信号Ｌ0（Ｘ，Ｙ）を予め測定しておき、
この分布に応じて空間的（Ｘ，Ｙ）あるいは時間的に前
記補正信号発生器９から補正信号を発生させることもで
きる。
【００３２】次に、前記反射電子検出器６として一対の
検出器を用い、試料の組成像と凹凸像を切り換えて表示
する場合について説明する。
検出器を用い、試料の組成像と凹凸像を切り換えて表示
する場合について説明する。
【００３３】図１２は、一対の反射電子検出器を備えた
電子プローブマイクロアナライザを示した図である。図
１２において、前記図１の構成と同じ構成には同一番号
が付されている。
電子プローブマイクロアナライザを示した図である。図
１２において、前記図１の構成と同じ構成には同一番号
が付されている。
【００３４】図において、１６は第１の反射電子検出
器、１７は第２の反射電子検出器である。１８は加算回
路で、加算回路１８は、第１の反射電子検出器１６の出
力信号と第２の反射電子検出器１７の出力信号を加算す
る。また、１９は減算回路で、減算加算回路１９は、第
１の反射電子検出器１６の出力信号から第２の反射電子
検出器１７の出力信号を引く。加算回路１８と減算回路
１９の出力信号のうちいずれか一方が切換スイッチ２０
を介して前記前段増幅器７に送られる。２１は制御部、
２２は補正信号発生器である。
器、１７は第２の反射電子検出器である。１８は加算回
路で、加算回路１８は、第１の反射電子検出器１６の出
力信号と第２の反射電子検出器１７の出力信号を加算す
る。また、１９は減算回路で、減算加算回路１９は、第
１の反射電子検出器１６の出力信号から第２の反射電子
検出器１７の出力信号を引く。加算回路１８と減算回路
１９の出力信号のうちいずれか一方が切換スイッチ２０
を介して前記前段増幅器７に送られる。２１は制御部、
２２は補正信号発生器である。
【００３５】以下に、図１３に示すような断面形状の試
料の反射電子像を表示する際の動作について説明する。
図１３に示した試料において、Ｂの部分は元素Ｂで構成
されており、一方、Ｃの部分は元素Ｃで構成されてい
る。
料の反射電子像を表示する際の動作について説明する。
図１３に示した試料において、Ｂの部分は元素Ｂで構成
されており、一方、Ｃの部分は元素Ｃで構成されてい
る。
【００３６】まず、オペレータは、前記操作／表示／処
理部１２を操作して、組成像を表示させるか凹凸像を表
示させるかを指示する。例えば、オペレータが組成像の
表示を指示すると、制御部２１は、前記切換スイッチ２
０を加算回路１８側に接続する。そして、電子線が、図
１３の矢印に示すように元素Ｂ，Ｃを横切るように偏向
されると、試料から反射電子が発生し、その反射電子は
前記検出器１６、１７でそれぞれ検出される。
理部１２を操作して、組成像を表示させるか凹凸像を表
示させるかを指示する。例えば、オペレータが組成像の
表示を指示すると、制御部２１は、前記切換スイッチ２
０を加算回路１８側に接続する。そして、電子線が、図
１３の矢印に示すように元素Ｂ，Ｃを横切るように偏向
されると、試料から反射電子が発生し、その反射電子は
前記検出器１６、１７でそれぞれ検出される。
【００３７】図１４は、前記第１の反射電子検出器１６
の出力信号を示し、図１５は、前記第２の反射電子検出
器１７の出力信号を示したものである。図において、Ｘ
0〜Ｘ1及びＸ2〜Ｘ3における信号は前記元素Ｂによるも
のであり、一方、Ｘ1〜Ｘ2における信号は前記元素Ｃに
よるものである。
の出力信号を示し、図１５は、前記第２の反射電子検出
器１７の出力信号を示したものである。図において、Ｘ
0〜Ｘ1及びＸ2〜Ｘ3における信号は前記元素Ｂによるも
のであり、一方、Ｘ1〜Ｘ2における信号は前記元素Ｃに
よるものである。
【００３８】前記加算回路１８は、それぞれの検出器か
ら送られてくる信号を加算する。図１６は、加算回路１
８の出力信号を示したものである。そして、加算回路１
８の出力信号を受けた前記前段増幅器７（増幅率Ａ1）
は、加算回路１８の出力信号（ＶB＋ＶC）を増幅し、信
号Ａ1（ＶB＋ＶC）を前記加算器８に送る。
ら送られてくる信号を加算する。図１６は、加算回路１
８の出力信号を示したものである。そして、加算回路１
８の出力信号を受けた前記前段増幅器７（増幅率Ａ1）
は、加算回路１８の出力信号（ＶB＋ＶC）を増幅し、信
号Ａ1（ＶB＋ＶC）を前記加算器８に送る。
【００３９】一方、前記制御部２０は、補正信号Ｖ00を
前記補正信号発生器２１に送る。この信号Ｖ00を受けた
補正信号発生器２１は、信号Ｖ00を前記加算器８に送
る。これらの信号を受けた加算器８は、前記前段増幅器
７の出力信号Ａ1（ＶB＋ＶC）から前記信号Ｖ00を引く
処理を行う。図１７は加算器８の出力信号を示したもの
であるが、この図から明らかなように、前記元素Ｂによ
る信号の強度は加算器８に入力される前よりも低くなっ
ており、そのため、前記後段増幅器１０の注目する出力
信号の強度はそのダイナミックレンジ内に十分に収ま
る。なお、前記補正信号Ｖ00はＶBをもとにして定めら
れるが、Ｖ00＝２ＶBとすれば背景信号は消える。
前記補正信号発生器２１に送る。この信号Ｖ00を受けた
補正信号発生器２１は、信号Ｖ00を前記加算器８に送
る。これらの信号を受けた加算器８は、前記前段増幅器
７の出力信号Ａ1（ＶB＋ＶC）から前記信号Ｖ00を引く
処理を行う。図１７は加算器８の出力信号を示したもの
であるが、この図から明らかなように、前記元素Ｂによ
る信号の強度は加算器８に入力される前よりも低くなっ
ており、そのため、前記後段増幅器１０の注目する出力
信号の強度はそのダイナミックレンジ内に十分に収ま
る。なお、前記補正信号Ｖ00はＶBをもとにして定めら
れるが、Ｖ00＝２ＶBとすれば背景信号は消える。
【００４０】以上、組成像を表示させる場合について説
明したが、次に、凹凸像を表示させる場合について説明
する。
明したが、次に、凹凸像を表示させる場合について説明
する。
【００４１】オペレータが凹凸像の表示を指示すると、
制御部２１は、前記切換スイッチ２０を減算回路１９側
に接続する。そして、電子線が、図１３の矢印に示すよ
うに元素Ｂ，Ｃを横切るように偏向されると、試料から
反射電子が発生し、その反射電子は前記検出器１６、１
７でそれぞれ検出される。前記減算回路１９は、検出器
１６の出力信号から検出器１７の出力信号を引く処理を
行う。図１８は、減算回路１９の出力信号を示したもの
であるが、この信号の強度は非常に小さいものである。
制御部２１は、前記切換スイッチ２０を減算回路１９側
に接続する。そして、電子線が、図１３の矢印に示すよ
うに元素Ｂ，Ｃを横切るように偏向されると、試料から
反射電子が発生し、その反射電子は前記検出器１６、１
７でそれぞれ検出される。前記減算回路１９は、検出器
１６の出力信号から検出器１７の出力信号を引く処理を
行う。図１８は、減算回路１９の出力信号を示したもの
であるが、この信号の強度は非常に小さいものである。
【００４２】また、前記制御部２１は、前記補正信号Ｖ
00の補正信号発生器２１への供給を中止する一方、前記
前段増幅器７のゲインをそれまでのＡ1からＡ10に上げ
る。この結果、試料の凹凸を表す前記減算回路１９の出
力信号は、前段増幅器７で適当な強度まで増幅され、前
記操作／表示／処理部１２には良好な凹凸像が表示され
る。
00の補正信号発生器２１への供給を中止する一方、前記
前段増幅器７のゲインをそれまでのＡ1からＡ10に上げ
る。この結果、試料の凹凸を表す前記減算回路１９の出
力信号は、前段増幅器７で適当な強度まで増幅され、前
記操作／表示／処理部１２には良好な凹凸像が表示され
る。
【図１】 本発明の電子線装置の一例として示した、電
子プローブマイクロアナライザの図である。
子プローブマイクロアナライザの図である。
【図２】 操作／表示／処理部１２に表示される反射電
子像を示した図である。
子像を示した図である。
【図３】 前段増幅器７の出力信号を示した図である。
【図４】 後段増幅器１０の出力信号を示した図であ
る。
る。
【図５】 前段増幅器７の出力信号を示した図である。
【図６】 後段増幅器１０の出力信号を示した図であ
る。
る。
【図７】 前段増幅器７の出力信号を示した図である。
【図８】 加算器８の出力信号を示した図である。
【図９】 前段増幅器７の出力信号を示した図である。
【図１０】 加算器８の出力信号を示した図である。
【図１１】 前段増幅器７の出力信号を示した図であ
る。
る。
【図１２】 一対の反射電子検出器を備えた電子プロー
ブマイクロアナライザを示した図である。
ブマイクロアナライザを示した図である。
【図１３】 分析される試料を示した図である。
【図１４】 第１の反射電子検出器１６の出力信号を示
した図である。
した図である。
【図１５】 第２の反射電子検出器１７の出力信号を示
した図である。
した図である。
【図１６】 加算回路１８の出力信号を示した図であ
る。
る。
【図１７】 加算器８の出力信号を示した図である。
【図１８】 減算回路１９の出力信号を示した図であ
る。
る。
１…電子銃、２…集束レンズ、３…絞り、４…対物レン
ズ、５…試料、６…反射電子検出器、７…前段増幅器、
８…加算器、９、２２…補正信号発生器、１０…後段増
幅器、１１、２１…制御部、１２…操作／表示／処理
部、１３…ミラー、１４…照明観察部、１５…対物レン
ズ、１６…第１の反射電子検出器、１７…第２の反射電
子検出器、１８…加算回路、１９…減算回路、２０…切
換スイッチ
ズ、５…試料、６…反射電子検出器、７…前段増幅器、
８…加算器、９、２２…補正信号発生器、１０…後段増
幅器、１１、２１…制御部、１２…操作／表示／処理
部、１３…ミラー、１４…照明観察部、１５…対物レン
ズ、１６…第１の反射電子検出器、１７…第２の反射電
子検出器、１８…加算回路、１９…減算回路、２０…切
換スイッチ
Claims (10)
- 【請求項１】 電子線の照射により試料から発生した信
号を検出し、その検出信号の直流分を補正し、その補正
後の信号に基づいて試料像を表示するようにした電子線
装置において、プローブ電流または加速電圧に基づいて
前記検出信号の直流分を補正するようにしたことを特徴
とする電子線装置。 - 【請求項２】 電子線の照射により試料から発生した
信号を検出して増幅手段で増幅し、前記増幅手段の出力
信号の直流分を補正し、その補正後の信号に基づいて試
料像を表示するようにした電子線装置において、プロー
ブ電流または加速電圧または前記増幅手段の増幅率に基
づいて前記増幅手段の出力信号の直流分を補正するよう
にしたことを特徴とする電子線装置。 - 【請求項３】 請求項２に記載の電子線装置において、
プローブ電流または加速電圧に基づいて前記増幅手段の
出力信号の直流分が補正される場合、前記増幅手段の増
幅率が考慮されて増幅手段の出力信号の直流分が補正さ
れることを特徴とする請求項２記載の電子線装置。 - 【請求項４】 電子線の照射により試料から発生した信
号を検出して増幅手段で増幅し、前記増幅手段の出力信
号の直流分を補正し、その補正後の信号に基づいて試料
像を表示するようにした電子線装置において、プローブ
電流または加速電圧に基づいて前記増幅手段の増幅率を
制御すると共に、前記増幅手段の出力信号から所定の直
流分を差し引くようにしたことを特徴とする電子線装
置。 - 【請求項５】 電子線の照射により試料から発生した信
号を検出して増幅手段で増幅し、前記増幅手段の出力信
号の直流分を補正し、その補正後の信号に基づいて試料
像を表示するようにした電子線装置において、プローブ
電流に基づいて前記増幅手段の出力信号の直流分を補正
すると共に、その補正後の信号を増幅する第２の増幅手
段の増幅率を前記プローブ電流に基づいて制御するよう
にしたことを特徴とする電子線装置。 - 【請求項６】 電子線の照射により試料から発生した
信号を検出して増幅手段で増幅し、前記増幅手段の出力
信号の直流分を補正し、その補正後の信号に基づいて試
料像を表示するようにした電子線装置において、加速電
圧に基づいて前記増幅手段の出力信号の直流分を補正す
ると共に、その補正後の信号を増幅する第２の増幅手段
の増幅率を前記加速電圧に基づいて制御するようにした
ことを特徴とする電子線装置。 - 【請求項７】 試料に電子線を照射し、その電子線の
照射により試料から発生した信号を検出し、検出した信
号に基づいて試料像を表示すると共に、試料に光を照射
し、その光が照射された領域の光学像を表示するように
した電子線装置において、前記試料への光の照射時に、
電子線の照射により試料から発生した信号の直流分を補
正するようにしたことを特徴とする電子線装置。 - 【請求項８】 試料に電子線を照射し、その電子線の照
射により試料から発生した信号を検出して増幅し、増幅
された信号に基づいて試料像を表示すると共に、試料に
光を照射し、その光が照射された領域の光学像を表示す
るようにした電子線装置において、前記試料への光の照
射時に、前記増幅手段の出力信号の直流分を補正するよ
うにしたことを特徴とする電子線装置。 - 【請求項９】 前記増幅手段の出力信号の直流分の補
正は、該増幅手段の増幅率が考慮されて行われることを
特徴とする請求項８記載の電子線装置。 - 【請求項１０】 試料に電子線を照射し、その電子線
の照射により試料から発生した信号を２つの検出器によ
り検出し、それぞれの検出器で得られた信号を加算処理
して試料の組成像信号を得る一方、それぞれの検出器で
得られた信号を減算処理して試料の凹凸像信号を得、そ
れらの像信号を表示手段に切り換えて供給するようにし
た電子線装置において、前記組成像信号と凹凸像信号の
２種類の信号のうちいずれか一方が切り換えられて供給
される増幅手段と、該増幅手段に入力される信号の種類
に応じて増幅手段の出力信号の直流分を補正すると共
に、前記増幅手段に入力される信号の種類に応じて増幅
手段の増幅率を制御する補正手段と、該補正手段により
補正された信号が供給される表示手段を備えたことを特
徴とする電子線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9304050A JPH11144664A (ja) | 1997-11-06 | 1997-11-06 | 電子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9304050A JPH11144664A (ja) | 1997-11-06 | 1997-11-06 | 電子線装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11144664A true JPH11144664A (ja) | 1999-05-28 |
Family
ID=17928447
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9304050A Pending JPH11144664A (ja) | 1997-11-06 | 1997-11-06 | 電子線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11144664A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006196281A (ja) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査電子顕微鏡及びその撮像方法 |
-
1997
- 1997-11-06 JP JP9304050A patent/JPH11144664A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006196281A (ja) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査電子顕微鏡及びその撮像方法 |
| US8405025B2 (en) | 2005-01-13 | 2013-03-26 | Hitachi High-Technologies Corporation | Scanning electron microscope and method for detecting an image using the same |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
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