JPH1114556A - Tft液晶パネルの検査方法及びその装置 - Google Patents
Tft液晶パネルの検査方法及びその装置Info
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- JPH1114556A JPH1114556A JP16823097A JP16823097A JPH1114556A JP H1114556 A JPH1114556 A JP H1114556A JP 16823097 A JP16823097 A JP 16823097A JP 16823097 A JP16823097 A JP 16823097A JP H1114556 A JPH1114556 A JP H1114556A
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- Japan
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- tft
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- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ドライバICを取り付ける前のべた点灯検査
において簡単な工夫でTFTのオフ欠陥を識別する。 【解決手段】 液晶基板の短辺側に露出した全てのゲー
トバスラインに共通のTFTオン試験信号を印加しなが
ら液晶基板の長辺側に露出した全てのデータバスライン
に共通の表示試験信号を印加して液晶基板の全ての画素
の表示状態を検査する際に表示試験信号のレベルをTF
Tオン試験信号のアクティブ期間とインアクティブ期間
とで異ならせる。オフ欠陥を生じたTFTの場合は、T
FTオン試験信号のインアクティブ期間になると画素電
圧が書き換えられてしまうために、画面の表示レベルが
変化する。したがって、この変化を目視確認することに
より、欠陥画素を容易に識別できる。
において簡単な工夫でTFTのオフ欠陥を識別する。 【解決手段】 液晶基板の短辺側に露出した全てのゲー
トバスラインに共通のTFTオン試験信号を印加しなが
ら液晶基板の長辺側に露出した全てのデータバスライン
に共通の表示試験信号を印加して液晶基板の全ての画素
の表示状態を検査する際に表示試験信号のレベルをTF
Tオン試験信号のアクティブ期間とインアクティブ期間
とで異ならせる。オフ欠陥を生じたTFTの場合は、T
FTオン試験信号のインアクティブ期間になると画素電
圧が書き換えられてしまうために、画面の表示レベルが
変化する。したがって、この変化を目視確認することに
より、欠陥画素を容易に識別できる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、スイッチング素子
にTFT(thin film transistor:薄膜トランジスタ)
を用いたアクティブマトリクス方式の液晶パネル(以
下、TFT液晶パネルと言う)の検査方法及びその装置
に関し、特に、ドライバICを取り付ける前の段階で行
われる“べた点灯検査”と呼ばれる検査方法及びその装
置に関する。
にTFT(thin film transistor:薄膜トランジスタ)
を用いたアクティブマトリクス方式の液晶パネル(以
下、TFT液晶パネルと言う)の検査方法及びその装置
に関し、特に、ドライバICを取り付ける前の段階で行
われる“べた点灯検査”と呼ばれる検査方法及びその装
置に関する。
【0002】TFT液晶パネルは、画素電極と対向電極
との間に挟み込まれた液晶の配向を、両電極間の容量に
書き込まれた電圧(以下、画素電圧と言う)で制御する
ことによって所望の表示階調を得るというものである。
TFTのスイッチング動作によって正確な画素電圧の書
き込みが可能で、微妙な中間調を表示できるという特長
があり、パーソナルコンピュータをはじめ様々な表示装
置に多用されている。しかし、一方でTFTの製造欠陥
に伴う歩留まりの低さという難点も持ち合わせており、
歩留まり改善に寄与する有益な技術の提供が求められて
いる。
との間に挟み込まれた液晶の配向を、両電極間の容量に
書き込まれた電圧(以下、画素電圧と言う)で制御する
ことによって所望の表示階調を得るというものである。
TFTのスイッチング動作によって正確な画素電圧の書
き込みが可能で、微妙な中間調を表示できるという特長
があり、パーソナルコンピュータをはじめ様々な表示装
置に多用されている。しかし、一方でTFTの製造欠陥
に伴う歩留まりの低さという難点も持ち合わせており、
歩留まり改善に寄与する有益な技術の提供が求められて
いる。
【0003】
【従来の技術】一般に、TFT液晶パネルの歩留まり
は、ドライバICを実装する前の工程のうちラビング工
程と貼り合わせ工程が支配的である。ラビング工程では
配向膜のこすり過ぎによって配向不良や光漏れを生じや
すく或いは摩耗帯電によってTFTや配向膜が破壊しや
すいからであり、また、貼り合わせ工程ではセル・ギャ
ップが不均一になって表示ムラが生じやすいからであ
る。ドライバICを実装する前の段階のTFT液晶パネ
ルを便宜的に液晶基板と称すると、この液晶基板の欠陥
は“べた点灯検査”と呼ばれる手法によってスクリーニ
ングされていた。
は、ドライバICを実装する前の工程のうちラビング工
程と貼り合わせ工程が支配的である。ラビング工程では
配向膜のこすり過ぎによって配向不良や光漏れを生じや
すく或いは摩耗帯電によってTFTや配向膜が破壊しや
すいからであり、また、貼り合わせ工程ではセル・ギャ
ップが不均一になって表示ムラが生じやすいからであ
る。ドライバICを実装する前の段階のTFT液晶パネ
ルを便宜的に液晶基板と称すると、この液晶基板の欠陥
は“べた点灯検査”と呼ばれる手法によってスクリーニ
ングされていた。
【0004】図8において、1は液晶基板である。液晶
基板1は2枚のガラス板の一方にゲートバスラインとデ
ータバスラインを交差配列すると共に各交差点にTFT
と液晶電極を形成し、他方のガラス板に共通電極を形成
した構造を有しており、図では各々一つのデータバスラ
イン2、ゲートバスライン3、TFT4及び液晶電極5
を代表的に示してある。液晶基板1の少なくとも2辺に
はそれぞれゲートバスラインとデータバスラインの先端
が露出している。この露出部分にTAB(tapeautomate
d bonding)によってドライバICを実装することにな
るが、現段階ではまだドライバICは取り付けられてい
ない。
基板1は2枚のガラス板の一方にゲートバスラインとデ
ータバスラインを交差配列すると共に各交差点にTFT
と液晶電極を形成し、他方のガラス板に共通電極を形成
した構造を有しており、図では各々一つのデータバスラ
イン2、ゲートバスライン3、TFT4及び液晶電極5
を代表的に示してある。液晶基板1の少なくとも2辺に
はそれぞれゲートバスラインとデータバスラインの先端
が露出している。この露出部分にTAB(tapeautomate
d bonding)によってドライバICを実装することにな
るが、現段階ではまだドライバICは取り付けられてい
ない。
【0005】従来のべた点灯検査は、全てのゲートバス
ラインに共通のTFTオン試験信号Sgを加えながら、
全てのデータバスラインに共通の表示試験信号Sdを加
えるというものである。なお、共通電極の電位(Vco
m)は省略してある。Sgの1周期Tgは当該液晶基板
1の水平走査周波数の周期にほぼ相当し、例えば60H
zの表示画像であればTgは16.6msになる。Sg
のアクティブ期間のレベルはTFT4のしきい値を十分
に超える大きさに設定されており、このアクティブ期間
でTFT4がオンするようになっている。一方、Sdは
任意の一つの表示階調(典型的には黒レベル又は白レベ
ル)に対応した電位レベルに設定されており、且つ、液
晶劣化防止のために、Vcomを中心にTgの周期で正
負交互に交流駆動されている。
ラインに共通のTFTオン試験信号Sgを加えながら、
全てのデータバスラインに共通の表示試験信号Sdを加
えるというものである。なお、共通電極の電位(Vco
m)は省略してある。Sgの1周期Tgは当該液晶基板
1の水平走査周波数の周期にほぼ相当し、例えば60H
zの表示画像であればTgは16.6msになる。Sg
のアクティブ期間のレベルはTFT4のしきい値を十分
に超える大きさに設定されており、このアクティブ期間
でTFT4がオンするようになっている。一方、Sdは
任意の一つの表示階調(典型的には黒レベル又は白レベ
ル)に対応した電位レベルに設定されており、且つ、液
晶劣化防止のために、Vcomを中心にTgの周期で正
負交互に交流駆動されている。
【0006】Sdの階調を黒レベルにすると液晶基板1
の全面が黒表示になり、逆に白レベルにすると液晶基板
1の全面が白表示になる。したがって、前者では欠陥画
素が白く見え、後者では欠陥画素が黒く見えるから、欠
陥の程度によって液晶基板1の良・不良を判定できる。
の全面が黒表示になり、逆に白レベルにすると液晶基板
1の全面が白表示になる。したがって、前者では欠陥画
素が白く見え、後者では欠陥画素が黒く見えるから、欠
陥の程度によって液晶基板1の良・不良を判定できる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
従来のべた点灯検査にあっては、TFTのオフ欠陥(不
完全なオフ状態;具体的にはソース−ドレイン間が小さ
な抵抗値でつながった状態)があった場合、液晶基板1
の表示状態からはこの欠陥を見つけ出すことができない
という問題点があった。
従来のべた点灯検査にあっては、TFTのオフ欠陥(不
完全なオフ状態;具体的にはソース−ドレイン間が小さ
な抵抗値でつながった状態)があった場合、液晶基板1
の表示状態からはこの欠陥を見つけ出すことができない
という問題点があった。
【0008】すなわち、正常なTFTの場合はSgのア
クティブ期間でオン状態となってSdのレベルを画素電
極5に書き込み、Sgの立ち下がりと同時にオフ状態と
なって次回のSgの立ち上がりまでの間その書き込み電
位を保持するが、オフ欠陥を生じたTFTの場合はSg
が立ち下がってもオフ状態にならないため、Sdが継続
的に液晶電極5に書き込まれてしまう。何れの場合も液
晶基板1の表示状態はまったく同じであり、正常なTF
Tとオフ欠陥を生じたTFTの見分けが付かない。
クティブ期間でオン状態となってSdのレベルを画素電
極5に書き込み、Sgの立ち下がりと同時にオフ状態と
なって次回のSgの立ち上がりまでの間その書き込み電
位を保持するが、オフ欠陥を生じたTFTの場合はSg
が立ち下がってもオフ状態にならないため、Sdが継続
的に液晶電極5に書き込まれてしまう。何れの場合も液
晶基板1の表示状態はまったく同じであり、正常なTF
Tとオフ欠陥を生じたTFTの見分けが付かない。
【0009】なお、TFTのオフ欠陥は、全てのゲート
バスラインに一度にSgを与えるのではなく、ゲートバ
スラインを線順次に選択しながらSgを順番に与えるこ
とによって識別できる。例えば、i行目のゲートバスラ
インにSgを与えたときに、i行目以外の画素が表示
(Sdのレベル)された場合は、その画素のTFTにオ
フ欠陥が生じていることを識別できる。
バスラインに一度にSgを与えるのではなく、ゲートバ
スラインを線順次に選択しながらSgを順番に与えるこ
とによって識別できる。例えば、i行目のゲートバスラ
インにSgを与えたときに、i行目以外の画素が表示
(Sdのレベル)された場合は、その画素のTFTにオ
フ欠陥が生じていることを識別できる。
【0010】但し、そのためには、液晶基板1のゲート
バスラインの一本一本と電気的なコンタクトをとる必要
があるが、ゲートバスラインのピッチはきわめて狭いた
め、コンタクト用治具の工作精度や位置合わせ精度を十
分なものにしなければならず、結局、検査コストのアッ
プにつながってしまう。そこで、本発明は、ドライバI
Cを取り付ける前のべた点灯検査において、簡単な工夫
でTFTのオフ欠陥を識別することを目的とする。
バスラインの一本一本と電気的なコンタクトをとる必要
があるが、ゲートバスラインのピッチはきわめて狭いた
め、コンタクト用治具の工作精度や位置合わせ精度を十
分なものにしなければならず、結局、検査コストのアッ
プにつながってしまう。そこで、本発明は、ドライバI
Cを取り付ける前のべた点灯検査において、簡単な工夫
でTFTのオフ欠陥を識別することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明は、液晶基板の短
辺側に露出した全てのゲートバスラインに共通のTFT
オン試験信号を印加しながら、前記液晶基板の長辺側に
露出した全てのデータバスラインに共通の表示試験信号
を印加して、前記液晶基板の全ての画素の表示状態を検
査する際に、前記表示試験信号のレベルを前記TFTオ
ン試験信号のアクティブ期間とインアクティブ期間とで
異ならせたことを特徴とするものである。
辺側に露出した全てのゲートバスラインに共通のTFT
オン試験信号を印加しながら、前記液晶基板の長辺側に
露出した全てのデータバスラインに共通の表示試験信号
を印加して、前記液晶基板の全ての画素の表示状態を検
査する際に、前記表示試験信号のレベルを前記TFTオ
ン試験信号のアクティブ期間とインアクティブ期間とで
異ならせたことを特徴とするものである。
【0012】説明の都合上、TFTオン試験信号のアク
ティブ期間における表示試験信号のレベルをVa、TF
Tオン試験信号のインアクティブ期間における表示試験
信号のレベルをVbとすると、正常なTFTの場合は、
TFTオン試験信号のアクティブ期間に書き込まれた画
素電圧(Va)をTFTオン試験信号のインアクティブ
期間の間保持するため、画面の表示レベルはVaに対応
したものになるが、オフ欠陥を生じたTFTの場合は、
TFTオン試験信号のインアクティブ期間になると画素
電圧がVbに書き換えられてしまうために、画面の表示
レベルがVaからVbへと変化する。したがって、この
変化を目視確認することにより、欠陥画素を容易に識別
できる。
ティブ期間における表示試験信号のレベルをVa、TF
Tオン試験信号のインアクティブ期間における表示試験
信号のレベルをVbとすると、正常なTFTの場合は、
TFTオン試験信号のアクティブ期間に書き込まれた画
素電圧(Va)をTFTオン試験信号のインアクティブ
期間の間保持するため、画面の表示レベルはVaに対応
したものになるが、オフ欠陥を生じたTFTの場合は、
TFTオン試験信号のインアクティブ期間になると画素
電圧がVbに書き換えられてしまうために、画面の表示
レベルがVaからVbへと変化する。したがって、この
変化を目視確認することにより、欠陥画素を容易に識別
できる。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面に基
づいて説明する。図1、図2は本発明に係るTFT液晶
パネルの検査方法及びその装置の一実施例を示す図であ
る。図1において、10はドライバICを取り付ける前
の液晶基板(従来の液晶基板1に相当)であり、11は
液晶基板10の長辺側10aに露出した全てのデータバ
スラインに電気的に接続するデータ用コンタクト、12
は液晶基板10の短辺側10bに露出した全てのゲート
バスラインに電気的に接続するゲート用コンタクトであ
る。なお、データ用コンタクト11及びゲート用コンタ
クト12は液晶基板10から離れているが、これは図示
の都合である。
づいて説明する。図1、図2は本発明に係るTFT液晶
パネルの検査方法及びその装置の一実施例を示す図であ
る。図1において、10はドライバICを取り付ける前
の液晶基板(従来の液晶基板1に相当)であり、11は
液晶基板10の長辺側10aに露出した全てのデータバ
スラインに電気的に接続するデータ用コンタクト、12
は液晶基板10の短辺側10bに露出した全てのゲート
バスラインに電気的に接続するゲート用コンタクトであ
る。なお、データ用コンタクト11及びゲート用コンタ
クト12は液晶基板10から離れているが、これは図示
の都合である。
【0014】13はゲート用信号発生器、14はデータ
用信号発生器である。これらの信号発生器13、14
は、所定のタイミング信号(液晶基板10の表示信号に
対応した水平垂直同期信号やクロック信号など)に同期
した試験信号を発生してゲート用コンタクト11やデー
タ用コンタクト12に印加するためのものであり、ゲー
ト用信号発生器13とゲート用コンタクト12は一体と
して特許請求の範囲に記載の“第1の手段”を構成し、
また、データ用信号発生器14とデータ用コンタクト1
1は一体として特許請求の範囲に記載の“第2の手段”
及び“第3の手段”を構成する。
用信号発生器である。これらの信号発生器13、14
は、所定のタイミング信号(液晶基板10の表示信号に
対応した水平垂直同期信号やクロック信号など)に同期
した試験信号を発生してゲート用コンタクト11やデー
タ用コンタクト12に印加するためのものであり、ゲー
ト用信号発生器13とゲート用コンタクト12は一体と
して特許請求の範囲に記載の“第1の手段”を構成し、
また、データ用信号発生器14とデータ用コンタクト1
1は一体として特許請求の範囲に記載の“第2の手段”
及び“第3の手段”を構成する。
【0015】ゲート用信号発生器13からゲート用コン
タクト12に印加されるTFTオン試験信号Sgは従来
例と同様であるが、データ用信号発生器14からデータ
用コンタクト11に印加される表示用試験信号Sd’
は、以下の点で従来例と相違する。すなわち、図2は本
実施例のSg及びSd’の波形図であり、Sgは、従来
例と同様に一つの周期Tgにアクティブ期間(TFTの
しきい値を上回るレベルの期間)とインアクティブ期間
(TFTのしきい値を下回るレベルの期間)を含むが、
Sd’は、Sgのアクティブ期間のレベル(便宜的にV
a)と同インアクティブ期間のレベル(便宜的にVb)
とで異なっている。なお、液晶の劣化防止のために交流
駆動を行うのは当然であり、本実施例のVa及びVbも
comを中心にしてTgの周期で正負(Va、Vbの後
のマイナス記号は負極性を表わしている)に振ってい
る。
タクト12に印加されるTFTオン試験信号Sgは従来
例と同様であるが、データ用信号発生器14からデータ
用コンタクト11に印加される表示用試験信号Sd’
は、以下の点で従来例と相違する。すなわち、図2は本
実施例のSg及びSd’の波形図であり、Sgは、従来
例と同様に一つの周期Tgにアクティブ期間(TFTの
しきい値を上回るレベルの期間)とインアクティブ期間
(TFTのしきい値を下回るレベルの期間)を含むが、
Sd’は、Sgのアクティブ期間のレベル(便宜的にV
a)と同インアクティブ期間のレベル(便宜的にVb)
とで異なっている。なお、液晶の劣化防止のために交流
駆動を行うのは当然であり、本実施例のVa及びVbも
comを中心にしてTgの周期で正負(Va、Vbの後
のマイナス記号は負極性を表わしている)に振ってい
る。
【0016】このような構成において、正常なTFTの
場合は、Sgのアクティブ期間でオン状態となってVa
を画素電極に書き込んだ後、Sgのインアクティブ期間
でオフ状態となって書き込まれたVaをそのまま保持す
る。このため、Sgのインアクティブ期間におけるVb
は何ら表示に影響しない。例えば、Vaを黒レベルとす
れば、画面表示は黒のままである。
場合は、Sgのアクティブ期間でオン状態となってVa
を画素電極に書き込んだ後、Sgのインアクティブ期間
でオフ状態となって書き込まれたVaをそのまま保持す
る。このため、Sgのインアクティブ期間におけるVb
は何ら表示に影響しない。例えば、Vaを黒レベルとす
れば、画面表示は黒のままである。
【0017】これに対して、オフ欠陥を生じたTFTの
場合は、Sgのインアクティブ期間で完全なオフ状態と
ならないため、この欠陥TFTを通して画素電圧がVa
からVb(又はVbに近いレベル)へと書き換えられて
しまう。したがって、例えば、Vaを黒レベル、Vbを
白レベルとすれば、画面表示が当該欠陥部分で黒から白
に変化するので、容易に欠陥を識別できる。
場合は、Sgのインアクティブ期間で完全なオフ状態と
ならないため、この欠陥TFTを通して画素電圧がVa
からVb(又はVbに近いレベル)へと書き換えられて
しまう。したがって、例えば、Vaを黒レベル、Vbを
白レベルとすれば、画面表示が当該欠陥部分で黒から白
に変化するので、容易に欠陥を識別できる。
【0018】なお、図2の例では、Sgのアクティブ期
間のSd’をVa、インアクティブ期間のSd’をVb
とし、且つ、Va>Vb>Vcom(負極性側ではVa
<Vb<Vcom)としているが、これに限らない。要
は、Sgのアクティブ期間のSd’のレベルVaとイン
アクティブ期間のSd’のレベルVbとを異ならせれば
よく、例えば、図3に示すように、Va>Vb=Vco
m(負極性側ではVa<Vb=Vcom)としてもよい
し、図4に示すように、VaとVbを入れ替え(すなわ
ちSgのアクティブ期間のSd’をVb、インアクティ
ブ期間のSd’をVa)てもよいし、図5に示すよう
に、Va>Vb=Vcom(負極性側ではVa<Vb=
Vcom)としてもよい。あるいは、液晶の劣化を無視
できる程度に検査時間が短い場合は、図6や図7に示す
ように、交流駆動を行わず全ての周期でVa>Vb>V
com又はVa>Vb=Vcom(図7ではVa(-) <
Vb (-) <Vcom又はVa(-) <Vb(-) =Vco
m)としてもよい。
間のSd’をVa、インアクティブ期間のSd’をVb
とし、且つ、Va>Vb>Vcom(負極性側ではVa
<Vb<Vcom)としているが、これに限らない。要
は、Sgのアクティブ期間のSd’のレベルVaとイン
アクティブ期間のSd’のレベルVbとを異ならせれば
よく、例えば、図3に示すように、Va>Vb=Vco
m(負極性側ではVa<Vb=Vcom)としてもよい
し、図4に示すように、VaとVbを入れ替え(すなわ
ちSgのアクティブ期間のSd’をVb、インアクティ
ブ期間のSd’をVa)てもよいし、図5に示すよう
に、Va>Vb=Vcom(負極性側ではVa<Vb=
Vcom)としてもよい。あるいは、液晶の劣化を無視
できる程度に検査時間が短い場合は、図6や図7に示す
ように、交流駆動を行わず全ての周期でVa>Vb>V
com又はVa>Vb=Vcom(図7ではVa(-) <
Vb (-) <Vcom又はVa(-) <Vb(-) =Vco
m)としてもよい。
【0019】また、VaやVbに対応する階調レベル
も、大きなコントラスト比を得るという観点から当然、
一方を最大の階調レベル、他方を最小の階調レベルとす
べきであるが、十分な識別性能が得られるのであれば、
適宜の中間調をVaやVbに割当てても構わない。
も、大きなコントラスト比を得るという観点から当然、
一方を最大の階調レベル、他方を最小の階調レベルとす
べきであるが、十分な識別性能が得られるのであれば、
適宜の中間調をVaやVbに割当てても構わない。
【0020】
【発明の効果】本発明によれば、全てのデータバスライ
ンに印加する表示試験信号のレベルを、TFTオン試験
信号のアクティブ期間とインアクティブ期間とで異なら
せるという簡単な工夫だけで、オフ欠陥を生じたTFT
の画素を間違いなく識別することができ、不良の液晶基
板をべた点灯検査の段階で確実にスクリーニングでき
る。
ンに印加する表示試験信号のレベルを、TFTオン試験
信号のアクティブ期間とインアクティブ期間とで異なら
せるという簡単な工夫だけで、オフ欠陥を生じたTFT
の画素を間違いなく識別することができ、不良の液晶基
板をべた点灯検査の段階で確実にスクリーニングでき
る。
【0021】そして、このことにより、ドライバICの
無用な破棄を回避して製造コストを大幅に抑制できると
いうTFT液晶パネルの分野にとってきわめて有益な効
果が得られる。その理由は、従来技術では、ドライバI
Cを取り付けた後の検査でしかオフ欠陥を生じたTFT
を見つけ出すことができなかったからであり、一旦取り
付けたドライバICを取り外すには相応の手間とコスト
がかかるため、不本意ながら液晶ユニット全体を破棄せ
ざるを得なかったからである。
無用な破棄を回避して製造コストを大幅に抑制できると
いうTFT液晶パネルの分野にとってきわめて有益な効
果が得られる。その理由は、従来技術では、ドライバI
Cを取り付けた後の検査でしかオフ欠陥を生じたTFT
を見つけ出すことができなかったからであり、一旦取り
付けたドライバICを取り外すには相応の手間とコスト
がかかるため、不本意ながら液晶ユニット全体を破棄せ
ざるを得なかったからである。
【図1】一実施例の概念的な構成図である。
【図2】一実施例の信号波形図である。
【図3】一実施例の他の信号波形図(その1)である。
【図4】一実施例の他の信号波形図(その2)である。
【図5】一実施例の他の信号波形図(その3)である。
【図6】一実施例の他の信号波形図(その4)である。
【図7】一実施例の他の信号波形図(その5)である。
【図8】従来のべた点灯検査の概念図である。
Sg:TFTオン試験信号 Sd’:表示試験信号 2:データバスライン 3:ゲートバスライン 10:液晶基板 10a:長辺側 10b:短辺側 11:データ用コンタクト(第2の手段。第3の手段) 12:ゲート用コンタクト(第1の手段) 13:ゲート用信号発生器(第1の手段) 14:データ用信号発生器(第2の手段。第3の手段)
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI G09F 9/35 302 G09F 9/35 302
Claims (2)
- 【請求項1】液晶基板の短辺側に露出した全てのゲート
バスラインに共通のTFTオン試験信号を印加しなが
ら、前記液晶基板の長辺側に露出した全てのデータバス
ラインに共通の表示試験信号を印加して、前記液晶基板
の全ての画素の表示状態を検査する方法において、前記
表示試験信号のレベルを前記TFTオン試験信号のアク
ティブ期間とインアクティブ期間とで異ならせたことを
特徴とするTFT液晶パネルの検査方法。 - 【請求項2】液晶基板の短辺側に露出した全てのゲート
バスラインに共通のTFTオン試験信号を印加するため
の第1の手段と、前記液晶基板の長辺側に露出した全て
のデータバスラインに共通の表示試験信号を印加するた
めの第2の手段と、前記表示試験信号のレベルを前記T
FTオン試験信号のアクティブ期間とインアクティブ期
間とで異ならせるための第3の手段と、を備えたことを
特徴とするTFT液晶パネルの検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16823097A JPH1114556A (ja) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | Tft液晶パネルの検査方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16823097A JPH1114556A (ja) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | Tft液晶パネルの検査方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1114556A true JPH1114556A (ja) | 1999-01-22 |
Family
ID=15864197
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16823097A Pending JPH1114556A (ja) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | Tft液晶パネルの検査方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1114556A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000054099A1 (en) * | 1999-03-08 | 2000-09-14 | Seiko Epson Corporation | Liquid crystal device and its production method |
| CN100430972C (zh) * | 2002-04-16 | 2008-11-05 | 精工爱普生株式会社 | 图像信号提供电路以及电光面板 |
| KR100931598B1 (ko) | 2007-03-20 | 2009-12-14 | 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 | 프로브 유닛 및 검사 장치 |
| KR101074832B1 (ko) | 2003-06-06 | 2011-10-19 | 일드부스트텍 인코퍼레이티드 | 전기회로에 있어서의 결함들을 분류하고 전기회로에 대한공정문제들을 인식하는 시스템 및 방법 |
-
1997
- 1997-06-25 JP JP16823097A patent/JPH1114556A/ja active Pending
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