JPH11149977A

JPH11149977A - 板状物品の加熱方法および加熱装置

Info

Publication number: JPH11149977A
Application number: JP9333607A
Authority: JP
Inventors: Taizo Abe; 泰三阿部
Original assignee: Ayumi Industry Co Ltd; Ayumi Kogyo Co Ltd
Current assignee: Ayumi Industry Co Ltd; Ayumi Kogyo Co Ltd
Priority date: 1997-11-17
Filing date: 1997-11-17
Publication date: 1999-06-02

Abstract

(57)【要約】【課題】粘性を有する液晶のガラス基板への注入をス
ムースに行うためのガラス基板の加熱装置を提供する。【解決手段】被加熱板状物品１を密着載置する複数の
アルミニウム平板２を、内部にヒーター４を埋設し、内
面側に傾斜状の凹溝５が形成されている対向配置した２
枚のアルミニウム平板３、３の上記傾斜状凹溝５内に嵌
入させ、この嵌入したアルミニウム平板２上に被加熱板
状物品１を密着載置してから、上記２枚の対向するアル
ミニウム平板３、３内のヒーター４によって上記被加熱
板状物品１を間接加熱できるようにした加熱装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ガラス板、セラ
ミック板等の板状物を真空中または不活性ガス雰囲気中
で、複数枚同時に装填して均一に加熱することの可能な
加熱装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、ガラスなどの板状物品の加熱にお
いては、一般にヒーターによる加熱が広く行われてい
る。例えば、数条のヒーター４２を埋設したアルミニウ
ム板４１の数枚を若干の間隙を持たせて傾斜状になるよ
うに両側からステンレス板のような支持板４３で固定し
た図８のような構造の加熱装置を用い、数条のヒーター
４２を埋設したアルミニウム板４１の夫々の上面４４に
板状の被加熱物（図示省略）を載せてヒーター加熱する
方法、あるいは複数の板状の被加熱物４５自体を、図９
（ａ）のように若干の間隙を有するようにして傾斜状に
両側から支持板４３で固定し、図９（ｂ）のようにその
前面および後面からランプヒーター４６で加熱する方法
である。この方法におけるランプヒーター４６として
は、図１０に示すように、ランプヒーター４６を取り付
けた桟４７の複数個を適当な間隔を以てそれらの両端を
支持枠４８に固定したものが用いられている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】これら従来の板状物品
の加熱方法のうち、前者は、被加熱板状物品の大きさに
応じたヒーターを埋設したアルミニウム板を必要とする
ため、昇温機構自体が非常に大きなものとなったり、ま
た被加熱板状物品の数に応じたヒーターを埋設したアル
ミニウム板を用意しなければならないので、非常に手間
がかかることと、高価であるという問題があった。

【０００４】また、後者の方法においては、支持板に傾
斜状にセットされた複数枚の被加熱板状物品の前面およ
び後面からランプヒーター４６で加熱するものであるた
め、セットされた複数枚の被加熱板状物品に対して熱の
均一な伝播が難しく温度のばらつきが大きく、これを真
空室あるいは不活性ガス雰囲気の室内で用いたとして
も、温度のばらつきの大きいことに問題があった。

【０００５】上記の問題点に鑑みて、この発明は、複数
枚のセットした板状被加熱物品を真空または不活性ガス
雰囲気中においても、温度のばらつきをできるだけ小さ
くして均一に加熱することができる板状物の加熱方法お
よび加熱装置を提供することを目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】即ち、この発明のうち、
請求項１に記載の発明は、内部に長さ方向に数本のヒー
ターを埋設し、一方側の長さ方向または縦方向に所要間
隔に数条の凹溝を形成した長方形状のアルミニウム平板
２枚を、上記一方側に形成した凹溝が互いに向き合うよ
うにして所要間隔を以て対向させ、両者の符合する数条
の凹溝内にそれぞれ着脱自在に嵌入させたアルミニウム
平板上に被加熱板状物品を載置し、上記２枚の対向アル
ミニウム平板内のヒーターにより被加熱板状物品を間接
加熱することを特徴とする板状物品の加熱方法である。

【０００７】請求項２に記載の発明は、内部に長さ方向
に数本のヒーターを埋設し、一方側の長さ方向または縦
方向に所要間隔で数条の凹溝を形成した長方形状のアル
ミニウム平板２枚を、上記一方側に形成した数条の凹溝
が互いに向き合うように所要間隔を以て対向配置し、両
者の符合する数条の凹溝内にそれぞれアルミニウム平板
を着脱自在に嵌入し、この嵌入した複数枚のアルミニウ
ム平板に被加熱板状物品を密着載置したのち、上記２枚
の対向アルミニウム平板内のヒーター加熱によって、上
記アルミニウム平板に密着載置した被加熱板状物品を間
接加熱するようにした板状物品の加熱装置を特徴とす
る。

【０００８】また、請求項３の発明は、請求項２に記載
の加熱装置において、対向する２枚のヒーター埋設アル
ミニウム平板に形成する縦方向の数条の凹溝が傾斜凹溝
であることを特徴とし、さらに請求項４記載の発明は、
請求項２に記載の加熱装置において、対向する２枚のヒ
ーター埋設アルミニウム平板の凹溝内に嵌入したアルミ
ニウム平板に被加熱板状物品を密着載置した後、上記ア
ルミニウム平板の嵌入方向のヒーター埋設アルミニウム
平板の両端面に遮熱板を配置したことを特徴とするもの
である。

【０００９】要するにこの発明は、ヒーターを埋設した
２枚のアルミニウム平板に符合するように形成した凹溝
間に嵌入せしめた複数のアルミニウム平板上に載置した
被加熱板状物品を、この複数のアルミニウム平板を保持
している２枚のアルミニウム平板内部に埋設されている
ヒーターによって加熱するようにしたので、被加熱板状
物品をそれぞれヒーターが埋設されているアルミニウム
板に載置して加熱していた従来の加熱装置に比べると、
装置全体の構造が簡単で安価に得られのである。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、この発明の加熱装置を図に
基づいて詳細に説明する。図１は、この発明の加熱装置
の一実施例を示す斜視図であって、この加熱装置Ａは、
被加熱板状物品１を密着載置するアルミニウム平板２
と、このアルミニウム平板２を両側から支持するアルミ
ニウム平板３、３とから構成されている。そして、アル
ミニウム平板３、３にはそれぞれその内部に数本のヒー
ター、例えばシーズヒーター４が埋め込まれており、そ
の端子部４ａが外部に望んでいる。また、アルミニウム
平板３、３には、それぞれの一方側、即ち互いに対向す
る内面側には、被加熱板状物品１を密着載置するアルミ
ニウム平板２を嵌入支持するための複数の凹溝５が所要
の間隔をもって等間隔に形成されている。

【００１１】図１においては、この凹溝５は、所要の角
度をもって縦方向に傾斜状に形成されている。６は、こ
の傾斜凹溝５に嵌入したアルミニウム平板２上に被加熱
板状物品１を密着載置する際に、その下端部を係止固定
するために該アルミニウム平板２の下方に設けた係止具
である。

【００１２】このような構造の加熱装置Ａは、アルミニ
ウム平板２に密着載置して加熱される被加熱板状物品１
の種類や用途によっては、これを真空あるいは不活性ガ
ス雰囲気の槽内において使用することができる。

【００１３】図２は、被加熱板状物品１を水平状態で加
熱するようにしたこの発明の他の実施例を示す加熱装置
Ｂの斜視図であり、ヒーター（図示せず）が埋設されて
いるアルミニウム平板３ａ、３ａには、それぞれ両者の
互いに対向する内面側の長さ方向に凹溝５ａが所要間隔
に数条両者が符合するするように形成されており、この
符合する凹溝５ａ内にそれぞれアルミニウム平板２ａが
水平状態（アルミニウム平板３ａ、３ａに対して直角）
に嵌入されている。そして、このアルミニウム平板２ａ
上に被加熱板状物品１が載置される。

【００１４】上記図１および図２におけるヒーター４を
埋め込んだアルミニウム平板３、３ａは、従来周知の方
法で得られるものを用いればよく、例えば、まず図３
（ａ）のようにアルミニウム平板３、３ａとして所望す
る形状の木枠２１を作り、この木枠２１内にヒーター、
例えばシーズヒーター４をセットし、その端子部４ａを
木枠２１の外側に臨ませて固定した状態で、木枠２１内
に溶融アルミニウム２２を図３（ｂ）のように流し込ん
でヒーター４を埋め込み、溶融アルミニウム２２が固ま
った後に木枠２１を外すことにより図３（ｃ）に示すヒ
ーター埋設アルミニウム平板が得られる。

【００１５】次に、上記した図１の加熱装置Ａを用いて
被加熱板状物品１を加熱するには、アルミニウム平板
３、３の凹溝５内に嵌入したアルミニウム平板２−１〜
２−７の前面にそれぞれ下方に設けた係止具６に下端を
係止するようにしてガラス板のような被加熱板状物品１
を載置する。その後、両側のアルミニウム平板３、３内
のヒーター４の外部端子４ａに電源プラグを接続して通
電すると、まずヒーター４を埋め込んでいるアルミニウ
ム平板３、３が加熱され、その熱が被加熱板状物品１を
載置しているアルミニウム平板２−１〜２−７に伝播し
て被加熱板状物品１が加熱されるのである。

【００１６】図２の加熱装置Ｂにおいても、水平状態に
アルミニウム平板３ａ、３ａ間に嵌入されているアルミ
ニウム平板２ａ（２ａ−１〜２ａ−７）上に載置した被
加熱板状物品１に対して上記図１の加熱装置Ａの場合と
同様にして加熱することができる。

【００１７】図４は、図１の加熱装置Ａの被加熱板状物
品１を載置する傾斜状アルミニウム平板２の嵌入方向の
上面および下面のヒーター埋設アルミニウム平板３、３
にステンレス板等よりなる遮熱板７を取り付けた斜視図
を示し、図５は、図２の加熱装置Ｂにおける被加熱板状
物品１を載置する水平に嵌入されているアルミニウム平
板２ａの前面および後面のヒーター埋設アルミニウム平
板３ａ、３ａに遮熱板７ａを取り付けた斜視図を示すも
のである。

【００１８】この遮熱板７、７ａは、これら加熱装置に
よる被加熱板状物品の加熱において、複数枚の物品を一
度に加熱する場合に、加熱装置外部への熱の放散を極力
抑えて物品間の加熱温度のバラツキや一つの物品におけ
る中央部と端部とでの加熱温度のバラツキをできるだけ
少なくすることに有効である。また、この遮熱板は、図
４、５のようにヒーター埋設アルミニウム平板３、３や
３ａ、３ａに直接取り付ける場合のほか、ヒーター埋設
アルミニウム平板に直接取り付けができない場合には図
示していないがアルミニウム平板３、３や３ａ、３ａの
４隅にセラミックス等のブロックを介するなどして若干
の間隙を持たせるようにしてもよい。

【００１９】この発明の加熱装置にて加熱するに適する
被加熱板状物品１としては、液晶注入に用いるガラス板
や、半導体関係で用いるセラミックス板やシリコンウエ
ハーなどがある。

【００２０】特に、液晶注入においては、スペーサーを
散布し、液晶注入口を残して周囲をシール剤で貼り合わ
せた２枚のガラス板の内部に液晶注入口から液晶を注入
するのであるが、粘度の高い液晶材料の場合には、注入
をスムースにするために液晶材料を加温して粘度を下げ
ることが必要である。しかし、粘度を下げた液晶材料を
用いても冷たいガラス板の注入口近傍に触れると、液晶
材料が冷えてしまってスムーズな液晶注入が行われにく
い。そこで、図１のようなこの発明の加熱装置Ａを真空
室内の液晶注入ラインに組み込んでおくならば、液晶注
入作業を効率よく行うことができるのである。

【００２１】

【実施例】次に、この発明の加熱装置による被加熱板状
物品の加熱を実施例により詳細に説明する。

【００２２】実施例１被加熱板状物品を載置するアルミニウム平板２を傾斜状
に設けた図１の加熱装置を真空中およびＮ₂ガス雰囲気
中で用い、被加熱板状物品としてガラス板を以下のよう
にして加熱を行った。図１における傾斜状に嵌入するア
ルミニウム平板２として厚さ５ｍｍのアルミニウム平板
を５ｍｍ間隔で１３枚用い、この１３枚のアルミニウム
平板の上にそれぞれ２ｍｍ厚さのガラス板を、その下端
を係止具６に係止させて載置した。そして、１枚のアル
ミニウム平板２とその上のガラス板１について図６
（ａ）に示すイ、ロ、ハの３点の測定個所を予め定めて
おき、これら３点の測定個所を図６（ｂ）のように１３
枚のアルミニウム平板２のうち、２枚目（２−２）、７
枚目（２−７）、１２枚目（２−１２）の３枚のアルミ
ニウム平板とそれらの上のガラス板とし、これらの個所
に熱電対（図示せず）をセットしておいて、アルミニウ
ム平板３、３内のヒーター４に通電して１２０℃の設定
温度まで３０分で昇温させた。そして、熱電対による上
記９個所の温度を読み取り、それらの最高温度と最低温
度の差から平均温度差を求めた。その結果は表１に示し
た。

【００２３】なお、表１中の遮熱板の有無において、実
験番号３の（＊１）の遮熱板有りというのは、図４のよ
うに、図１のアルミニウム平板２を嵌入支持している両
側のアルミニウム平板３、３の上面、下面に夫々直接遮
熱板７を取り付けて加熱を行ったものであり、実験番号
４の（＊２）の遮熱板有りというのは、図４の遮熱板の
うち上面の遮熱板について両側のアルミニウム平板３、
３の４隅にブロック等を置いて約１２ｍｍ両側のアルミ
ニウム平板３、３の上面から離して取り付けて加熱を行
ったものである。

【００２４】

【表１】

【００２５】上記表１から、Ｎ₂ガス雰囲気中で加熱装
置Ａによって加熱を行った場合は、上下面に遮熱板の有
無にかかわらず温度差に大差は認められなかった。しか
し、真空中で加熱装置Ａによって加熱を行った場合に
は、ガラス板において遮熱板を用いない時には±８．１
℃もの温度差を有したが、上下面に遮熱板を設けると、
温度差は±２．８℃と良好な結果を得た。そして、上面
の遮熱板をアルミニウム平板３から離した時には温度差
が大きくなることが認められた。

【００２６】実施例２被加熱板状物品を載置するアルミニウム平板２ａを水平
状態に設けた図２の加熱装置を真空中およびＮ₂ガス雰
囲気中で用い、ヒーター埋設アルミニウム平板３ａ、３
ａの凹溝５ａに水平状態に嵌入するアルミニウム平板２
ａとして厚さ４ｍｍのアルミニウム平板を１０ｍｍ間隔
で５枚用い、この５枚のアルミニウム平板の上にそれぞ
れ２ｍｍ厚さのガラス板１を載置した。そして、１枚の
アルミニウム平板２ａとその上のガラス板１について、
図７（ａ）に示すニ、ホ、への３点の測定個所を予め定
めておき、これら３点の測定個所を図７（ｂ）のように
５枚のアルミニウム平板２ａのうち、２枚目（２ａ−
２）、３枚目（２ａ−３）、５枚目（２ａ−５）の３枚
のアルミニウム平板とそれらの上のガラス板とし、これ
らの個所に熱電対（図示せず）をセットしておいて、ア
ルミニウム平板３ａ、３ａ内のヒーター４に通電して１
２０℃の設定温度まで３０分で昇温させた。そして、実
施例１と同じようにして熱電対による平均温度差を求め
たところ、良好な結果が得られた。

【００２７】

【発明の効果】以上説明したように、この発明は内部に
数本のヒーターを埋設し、凹溝が形成されている２枚の
アルミニウム平板の対向する凹溝内に嵌入したアルミニ
ウム平板に被加熱板状物品を載置して、対向するアルミ
ニウム平板内のヒーターによって被加熱板状物品を加熱
するようにしたものであって、加熱操作を簡単に行うこ
とができるのである。また、被加熱板状物品を載置する
アルミニウム平板の嵌入方向の両端面に遮熱板を設ける
ことにより、加熱の均一化をはかることができるのであ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の加熱装置の一例を示す斜視図であ
る。

【図２】この発明の加熱装置の他の例を示す斜視図であ
る。

【図３】この発明で用いるヒーター埋設アルミニウム平
板の製造工程の一例を示す説明図である。

【図４】図１の加熱装置に遮熱板を設けた態様を示す斜
視図である。

【図５】図２の加熱装置に遮熱板を設けた態様を示す斜
視図である。

【図６】図１および図４の加熱装置で加熱したアルミニ
ウム板および板状物品の温度測定位置を示す説明図であ
る。

【図７】図２の加熱装置で加熱したアルミニウム板およ
び板状物品の温度測定位置を示す説明図である。

【図８】従来の加熱装置の一例を示す斜視図である。

【図９】従来の加熱装置の他の例を示す斜視図である。

【図１０】図９の装置にて用いるランプヒーターの態様
を示す説明図である。

【符号の説明】

Ａ、Ｂ加熱装置１被加熱板状物品２、２ａアルミニウム平板３、３ａアルミニウム平板４ヒーター５傾斜凹溝５ａ凹溝６係止具７、７ａ遮熱板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】内部に長さ方向に数本のヒーターを埋設
し、一方側の長さ方向または縦方向に所要間隔に数条の
凹溝を形成した長方形状のアルミニウム平板２枚を、上
記一方側に形成した凹溝が互いに向き合うようにして所
要間隔を以て対向させ、両者の符合する数条の凹溝内に
それぞれ着脱自在に嵌入させたアルミニウム平板上に被
加熱板状物品を載置し、上記２枚の対向アルミニウム平
板内のヒーターにより被加熱板状物品を間接加熱するこ
とを特徴とする板状物品の加熱方法。
【請求項２】内部に長さ方向に数本のヒーターを埋設
し、一方側の長さ方向または縦方向に所要間隔で数条の
凹溝を形成した長方形状のアルミニウム平板２枚を、上
記一方側に形成した数条の凹溝が互いに向き合うように
所要間隔を以て対向配置し、両者の符合する数条の凹溝
内にそれぞれアルミニウム平板を着脱自在に嵌入し、こ
の嵌入した複数枚のアルミニウム平板に被加熱板状物品
を密着載置したのち、上記２枚の対向アルミニウム平板
内のヒーター加熱によって、上記アルミニウム平板に密
着載置した被加熱板状物品を間接加熱するようにしたこ
とを特徴とする板状物品の加熱装置。
【請求項３】請求項２に記載の加熱装置において、対
向する２枚のヒーター埋設アルミニウム平板に形成する
縦方向の数条の凹溝が傾斜凹溝であることを特徴とする
板状物品の加熱装置。
【請求項４】請求項２に記載の加熱装置において、対
向する２枚のヒーター埋設アルミニウム平板の凹溝内に
嵌入したアルミニウム平板に被加熱板状物品を密着載置
した後、上記アルミニウム平板の嵌入方向のヒーター埋
設アルミニウム平板の両端面に遮熱板を配置したことを
特徴とする板状物品の加熱装置。