JPH11157610A - ストッカ - Google Patents
ストッカInfo
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- JPH11157610A JPH11157610A JP10088930A JP8893098A JPH11157610A JP H11157610 A JPH11157610 A JP H11157610A JP 10088930 A JP10088930 A JP 10088930A JP 8893098 A JP8893098 A JP 8893098A JP H11157610 A JPH11157610 A JP H11157610A
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- JP
- Japan
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- carrier box
- carry
- loading
- port
- unloading
- Prior art date
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/34—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H10P72/3404—Storage means
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/06—Apparatus for monitoring, sorting, marking, testing or measuring
- H10P72/0606—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H10P72/3202—Mechanical details, e.g. rollers or belts
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H10P72/3218—Conveying cassettes, containers or carriers
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 構造を単純化することにより、維持補修費用
を削減し、かつ、搬入及び搬出作業時間を短縮させて、
信頼性を向上させるストッカを提供する。 【解決手段】 ハウジング20内部には棚30が設置されて
外部から搬入されたキャリヤボックス10が載置される。
ロボット60はキャリヤボックス10を外部から搬入して棚
30に載置するか、棚30から外部に搬出するためにキャリ
ヤボックス10を水平レール43と垂直レール55とを利用し
て移送する。キャリヤボックス10を搬入するか搬出する
前に少なくとも一つ以上の搬入／搬出共用ポート200 に
一時的に待機させ、運用部220 を通して共用ポート200
の運用を制御する。
を削減し、かつ、搬入及び搬出作業時間を短縮させて、
信頼性を向上させるストッカを提供する。 【解決手段】 ハウジング20内部には棚30が設置されて
外部から搬入されたキャリヤボックス10が載置される。
ロボット60はキャリヤボックス10を外部から搬入して棚
30に載置するか、棚30から外部に搬出するためにキャリ
ヤボックス10を水平レール43と垂直レール55とを利用し
て移送する。キャリヤボックス10を搬入するか搬出する
前に少なくとも一つ以上の搬入／搬出共用ポート200 に
一時的に待機させ、運用部220 を通して共用ポート200
の運用を制御する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はストッカ(Stocker）
に係り、より詳細には、キャリヤボックスの搬入／搬出
用運用部を備えたポートを持つストッカに関する。
に係り、より詳細には、キャリヤボックスの搬入／搬出
用運用部を備えたポートを持つストッカに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般的にストッカは、先行工程を完了し
たウェハが積載されているキャリヤボックスを搬入し、
一時的に保管してから後続工程の進行時に外部に搬出す
るための設備である。
たウェハが積載されているキャリヤボックスを搬入し、
一時的に保管してから後続工程の進行時に外部に搬出す
るための設備である。
【０００３】図３は従来のストッカ設備構造を概略的に
示す部分切開斜視図、図４は図３のＢ−Ｂ’線に沿って
切断した縦断面図である。図示されるように、ストッカ
１は、ハウジング20と、ストッカ１の内部に搬入された
キャリヤボックス10を貯蔵するためハウジング20内に多
層で設置された棚30と、ストッカ１の内部に貯蔵された
キャリヤボックス10をストッカ１の外部に搬出したり、
外部のキャリヤボックス10をストッカ１内部に搬入する
搬入／搬出部100 と、搬入／搬出部100 に載置されたキ
ャリヤボックス10を棚30に移送したり、棚30に載置され
たキャリヤボックス10を搬入／搬出部100 に移送するロ
ボット50とから構成される。
示す部分切開斜視図、図４は図３のＢ−Ｂ’線に沿って
切断した縦断面図である。図示されるように、ストッカ
１は、ハウジング20と、ストッカ１の内部に搬入された
キャリヤボックス10を貯蔵するためハウジング20内に多
層で設置された棚30と、ストッカ１の内部に貯蔵された
キャリヤボックス10をストッカ１の外部に搬出したり、
外部のキャリヤボックス10をストッカ１内部に搬入する
搬入／搬出部100 と、搬入／搬出部100 に載置されたキ
ャリヤボックス10を棚30に移送したり、棚30に載置され
たキャリヤボックス10を搬入／搬出部100 に移送するロ
ボット50とから構成される。
【０００４】また、ロボット50の水平及び垂直方向への
移送のため、ハウジング20内には水平レール41、43及び
垂直レール55が設置されて、搬入／搬出部100 は、各ス
トッカ１の端部に突出形成された搬入及び搬出ポート10
0a、100bと、ハウジング20内部と搬入及び搬出ポート10
0a、100bにわたって形成された搬入及び搬出移送部とか
ら構成される。
移送のため、ハウジング20内には水平レール41、43及び
垂直レール55が設置されて、搬入／搬出部100 は、各ス
トッカ１の端部に突出形成された搬入及び搬出ポート10
0a、100bと、ハウジング20内部と搬入及び搬出ポート10
0a、100bにわたって形成された搬入及び搬出移送部とか
ら構成される。
【０００５】即ち、先行工程を完了したキャリヤボック
ス10は、搬入ポート100aに載置された後、搬入移送部を
介してストッカ１の内部に搬入され、ストッカ１内部の
棚30に載置されたキャリヤボックス10は搬出移送部を通
して搬出ポート100bに載置されて搬出できる状態にな
る。
ス10は、搬入ポート100aに載置された後、搬入移送部を
介してストッカ１の内部に搬入され、ストッカ１内部の
棚30に載置されたキャリヤボックス10は搬出移送部を通
して搬出ポート100bに載置されて搬出できる状態にな
る。
【０００６】搬入ポート100aと搬出ポート100b及び搬入
移送部と搬出移送部は各々同一の構造を持つから、以
下、搬入ポート100a及び搬入移送部を例として説明す
る。
移送部と搬出移送部は各々同一の構造を持つから、以
下、搬入ポート100a及び搬入移送部を例として説明す
る。
【０００７】図３及び図４を参照すると、搬入ポート10
0aの前面にはキャリヤボックス10が搬入される搬入口11
0 が形成され、キャリヤボックス10の搬入の有無をスト
ッカ１の制御部（図示せず）に知らせる信号ボタン120
が搬入口110 の上部に設置されている。
0aの前面にはキャリヤボックス10が搬入される搬入口11
0 が形成され、キャリヤボックス10の搬入の有無をスト
ッカ１の制御部（図示せず）に知らせる信号ボタン120
が搬入口110 の上部に設置されている。
【０００８】また、プレート130 は搬入口110 に搬入さ
れたキャリヤボックス10を一時的に貯蔵する領域とキャ
リヤボックス10を移送するための搬入移送部170 が設置
された領域とを分離する。プレート130 には搬入口110
に搬入されたキャリヤボックス10を一時、所定位置に載
置させ搬入の有無を感知する第１感知部140 と、第１感
知部140 からハウジング20内の棚30にキャリヤボックス
10を移送するため待機させ移送の有無を感知する第２感
知部140'と、第１感知部140 及び第２感知部140'を連結
するスリット135 とが各々形成される。
れたキャリヤボックス10を一時的に貯蔵する領域とキャ
リヤボックス10を移送するための搬入移送部170 が設置
された領域とを分離する。プレート130 には搬入口110
に搬入されたキャリヤボックス10を一時、所定位置に載
置させ搬入の有無を感知する第１感知部140 と、第１感
知部140 からハウジング20内の棚30にキャリヤボックス
10を移送するため待機させ移送の有無を感知する第２感
知部140'と、第１感知部140 及び第２感知部140'を連結
するスリット135 とが各々形成される。
【０００９】また、第１感知部140 及び第２感知部140'
には各々キャリヤボックス10が載置される領域を固定す
るための位置固定突条131 、133 が形成され、この位置
固定突条131 、133 はキャリヤボックス10用支持台の縁
部の対応する位置にカギ形“』”形状で形成される。ま
た、第１感知部140 及び第２感知部140'には位置固定突
条131 、133 を連結して形成される境界上に相互に対向
するように受光素子143 及び発光素子141 が設置され
る。
には各々キャリヤボックス10が載置される領域を固定す
るための位置固定突条131 、133 が形成され、この位置
固定突条131 、133 はキャリヤボックス10用支持台の縁
部の対応する位置にカギ形“』”形状で形成される。ま
た、第１感知部140 及び第２感知部140'には位置固定突
条131 、133 を連結して形成される境界上に相互に対向
するように受光素子143 及び発光素子141 が設置され
る。
【００１０】一方、搬入移送部170 は、図４に示される
ように、プレート130 の下部空間に形成され、キャリヤ
ボックス10を上下移動させる垂直移送部160 と垂直移送
部160 を水平移動させる水平移送部150 とから構成され
る。
ように、プレート130 の下部空間に形成され、キャリヤ
ボックス10を上下移動させる垂直移送部160 と垂直移送
部160 を水平移動させる水平移送部150 とから構成され
る。
【００１１】垂直移送部160 は垂直移送モータ161 と垂
直移送モータ161 に軸163 で連結された支持台165 とか
らなり、支持台165 上には前述のようにキャリヤボック
ス10が載置される。
直移送モータ161 に軸163 で連結された支持台165 とか
らなり、支持台165 上には前述のようにキャリヤボック
ス10が載置される。
【００１２】また、水平移送部150 は、水平移送モータ
151 と、水平移送モータ151 に結合された駆動ローラ15
3 と、駆動ローラ153 と所定間隔を保って離隔され、コ
ンベヤベルト157 を介して駆動ローラ153 と同一の方向
に回転する被動ローラ155 とからなる。コンベヤベルト
157 上には垂直移送部160 の垂直移送モータ161 が固定
設置される。
151 と、水平移送モータ151 に結合された駆動ローラ15
3 と、駆動ローラ153 と所定間隔を保って離隔され、コ
ンベヤベルト157 を介して駆動ローラ153 と同一の方向
に回転する被動ローラ155 とからなる。コンベヤベルト
157 上には垂直移送部160 の垂直移送モータ161 が固定
設置される。
【００１３】一方、搬出部の搬出ポート100bの前面には
搬出口110'が形成されており、キャリヤボックス10が搬
出可能な状態に載置され、キャリヤボックス10が引出さ
れることを表示する搬出表示ランプ120'が設置されてい
る。他の構成は前述した搬入部の構造と同一になってい
る。
搬出口110'が形成されており、キャリヤボックス10が搬
出可能な状態に載置され、キャリヤボックス10が引出さ
れることを表示する搬出表示ランプ120'が設置されてい
る。他の構成は前述した搬入部の構造と同一になってい
る。
【００１４】以下、図５〜図８を参照して従来のキャリ
ヤボックスの搬入及び搬出過程について説明する。図５
〜図８は従来のキャリヤボックスの搬入／搬出過程を説
明するための状態図である。まず、搬入ポートを通して
キャリヤボックス10がストッカ１のハウジング20内部に
搬入される過程について説明する。
ヤボックスの搬入及び搬出過程について説明する。図５
〜図８は従来のキャリヤボックスの搬入／搬出過程を説
明するための状態図である。まず、搬入ポートを通して
キャリヤボックス10がストッカ１のハウジング20内部に
搬入される過程について説明する。
【００１５】作業者は先行工程が完了したキャリヤボッ
クス10を搬入ポート100aの搬入口110 を通して投入し、
図５に示されるように支持台165 上に載置する。支持台
165は四角形状で４縁部が各々位置固定突条131 に対応
するように位置合せされ、この位置で支持台165 上にキ
ャリヤボックス10を載置すると、発光素子141 と受光素
子143 との間の光の経路が遮断されることにより第１感
知部140 にキャリヤボックス10が位置することがストッ
カ１の制御部に伝達される。
クス10を搬入ポート100aの搬入口110 を通して投入し、
図５に示されるように支持台165 上に載置する。支持台
165は四角形状で４縁部が各々位置固定突条131 に対応
するように位置合せされ、この位置で支持台165 上にキ
ャリヤボックス10を載置すると、発光素子141 と受光素
子143 との間の光の経路が遮断されることにより第１感
知部140 にキャリヤボックス10が位置することがストッ
カ１の制御部に伝達される。
【００１６】一方、作業者はキャリヤボックス10の投入
を完了した後、搬入ポート110aの搬入口110 上部に設置
された信号ボタン120 を押してキャリヤボックス10の搬
入を実行させる。
を完了した後、搬入ポート110aの搬入口110 上部に設置
された信号ボタン120 を押してキャリヤボックス10の搬
入を実行させる。
【００１７】次に、制御部は、垂直移送部160 に上昇信
号を伝達して、図６に示されるように、垂直移送部160
の垂直移送モータ161 を駆動する。すると、これに結合
された軸163 が上昇することによりキャリヤボックス10
が載置されている支持台165は位置固定突条131 より高
い位置に上昇する。
号を伝達して、図６に示されるように、垂直移送部160
の垂直移送モータ161 を駆動する。すると、これに結合
された軸163 が上昇することによりキャリヤボックス10
が載置されている支持台165は位置固定突条131 より高
い位置に上昇する。
【００１８】以後、制御部は水平移送部150 に駆動信号
を伝達して、図７に示されるように、水平移送部150 の
水平移送モータ151 を駆動する。すると、これに結合さ
れた駆動ローラ153 が時計方向に回転し、コンベヤベル
ト157 に固定されている垂直移送部160 を第２感知部14
0'側に移動させる。この時、第１及び第２感知部140、1
40'間にはスリット135 が形成されており、軸163 が移
送する経路として使用される。
を伝達して、図７に示されるように、水平移送部150 の
水平移送モータ151 を駆動する。すると、これに結合さ
れた駆動ローラ153 が時計方向に回転し、コンベヤベル
ト157 に固定されている垂直移送部160 を第２感知部14
0'側に移動させる。この時、第１及び第２感知部140、1
40'間にはスリット135 が形成されており、軸163 が移
送する経路として使用される。
【００１９】支持台165 が第２感知部140'に位置する
と、制御部はさらに垂直移送部160 に下降信号を伝達
し、図８に示されるように、垂直移送部160 の垂直移送
モータ161 を駆動する。すると、これに結合された軸16
3 が下降することによりキャリヤボックス10が載置され
た支持台165 は位置固定突条133 に４縁部が整合され
る。
と、制御部はさらに垂直移送部160 に下降信号を伝達
し、図８に示されるように、垂直移送部160 の垂直移送
モータ161 を駆動する。すると、これに結合された軸16
3 が下降することによりキャリヤボックス10が載置され
た支持台165 は位置固定突条133 に４縁部が整合され
る。
【００２０】この時、第２感知部140'に設置されている
受光素子及び発光素子によりキャリヤボックス10が感知
されて感知信号が制御部に伝達される。
受光素子及び発光素子によりキャリヤボックス10が感知
されて感知信号が制御部に伝達される。
【００２１】次に、前述のように、第１感知部140 から
信号の入力を受けた制御部はロボット50に駆動信号を伝
達してロボット50を搬入／搬出部100 に移動させる。搬
入／搬出部100 に移動されたロボット50は第２感知部14
0'からキャリヤボックス10をローディングして所定位置
の棚30に載置させる。
信号の入力を受けた制御部はロボット50に駆動信号を伝
達してロボット50を搬入／搬出部100 に移動させる。搬
入／搬出部100 に移動されたロボット50は第２感知部14
0'からキャリヤボックス10をローディングして所定位置
の棚30に載置させる。
【００２２】次に、搬出ポート100bを通してキャリヤボ
ックスがストッカ内部から搬出される過程について説明
すると次のようである。
ックスがストッカ内部から搬出される過程について説明
すると次のようである。
【００２３】制御部に入力されたプログラムまたは作業
者の要求により制御部がロボット50に信号を伝達する
と、制御部から信号を受けたロボット50は所定位置の棚
30に積載されたキャリヤボックス10をローディングして
第２感知部140'に位置した支持台165 上に載置する。こ
の時、支持台165 は位置固定突条133 により位置が固定
されているため、キャリヤボックス10により発光素子14
1 からの光が遮断される。これにより、キャリヤボック
ス10が位置したことを感知するようになってこれを制御
部に伝達する。
者の要求により制御部がロボット50に信号を伝達する
と、制御部から信号を受けたロボット50は所定位置の棚
30に積載されたキャリヤボックス10をローディングして
第２感知部140'に位置した支持台165 上に載置する。こ
の時、支持台165 は位置固定突条133 により位置が固定
されているため、キャリヤボックス10により発光素子14
1 からの光が遮断される。これにより、キャリヤボック
ス10が位置したことを感知するようになってこれを制御
部に伝達する。
【００２４】これによって、制御部は垂直移送部160 に
上昇信号を伝達して垂直移送部160の垂直移送モータ161
を駆動して、それに結合された軸163 が上昇すること
によりキャリヤボックス10が載置された支持台165 は位
置固定突条133 より高い位置に上昇される。
上昇信号を伝達して垂直移送部160の垂直移送モータ161
を駆動して、それに結合された軸163 が上昇すること
によりキャリヤボックス10が載置された支持台165 は位
置固定突条133 より高い位置に上昇される。
【００２５】以後、制御部は水平移送部150 に駆動信号
を伝達して水平移送部150 の水平移送モータ151 を駆動
して、それに結合された駆動ローラー153 を反時計方向
に回転させてコンベヤベルト157 に固定されている垂直
移送部160 を第１感知部140側に移動させる。
を伝達して水平移送部150 の水平移送モータ151 を駆動
して、それに結合された駆動ローラー153 を反時計方向
に回転させてコンベヤベルト157 に固定されている垂直
移送部160 を第１感知部140側に移動させる。
【００２６】支持台165 が第１感知部140 に位置する
と、制御部はさらに垂直移送部160 に下降信号を伝達し
て垂直移送部160 の垂直移送モータ161 を駆動して、そ
れに結合された軸163 が下降することによりキャリヤボ
ックス10が載置された支持台165 は位置固定突条131 に
４縁部が整合される。
と、制御部はさらに垂直移送部160 に下降信号を伝達し
て垂直移送部160 の垂直移送モータ161 を駆動して、そ
れに結合された軸163 が下降することによりキャリヤボ
ックス10が載置された支持台165 は位置固定突条131 に
４縁部が整合される。
【００２７】この時、第１感知部140 に設置されている
受光素子及び発光素子によりキャリヤボックス10が感知
されて感知信号が制御部に伝達され、第１感知部140 か
ら信号の入力を受けた制御部は引出表示ランプ120'を動
作されて作業者にキャリヤボックス10が搬出できる状態
にあることを伝達する。
受光素子及び発光素子によりキャリヤボックス10が感知
されて感知信号が制御部に伝達され、第１感知部140 か
ら信号の入力を受けた制御部は引出表示ランプ120'を動
作されて作業者にキャリヤボックス10が搬出できる状態
にあることを伝達する。
【００２８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の搬入／
搬出部の水平移送部及び垂直移送部は機械装置であるた
めこれを維持補修するために多額の費用がかかるという
問題点があった。
搬出部の水平移送部及び垂直移送部は機械装置であるた
めこれを維持補修するために多額の費用がかかるという
問題点があった。
【００２９】また、キャリヤボックスをストッカに搬入
するかまたはストッカから搬出する時、作業時間がかか
りすぎるという問題点があった。即ち、作業者またはロ
ボットが搬入部または搬出部を占有して作業を進行する
場合、搬入されるキャリヤボックスと搬出されるキャリ
ヤボックスとが衝突することを防止するため、キャリヤ
ボックスがストッカに完全に搬入されるかまたはストッ
カから搬出されるまでは次のキャリヤボックスを搬入ま
たは搬出することができなかった。
するかまたはストッカから搬出する時、作業時間がかか
りすぎるという問題点があった。即ち、作業者またはロ
ボットが搬入部または搬出部を占有して作業を進行する
場合、搬入されるキャリヤボックスと搬出されるキャリ
ヤボックスとが衝突することを防止するため、キャリヤ
ボックスがストッカに完全に搬入されるかまたはストッ
カから搬出されるまでは次のキャリヤボックスを搬入ま
たは搬出することができなかった。
【００３０】また、キャリヤボックスが搬出される時、
キャリヤボックスが完全に搬出されたことを知らせる引
出表示ランプが作動する前にキャリヤボックスを搬出ポ
ートから引出すと、制御部は移送中にキャリヤボックス
が脱落したと判断するか、または器械が誤動作したと判
断してエラー信号を発生させることにより、機械的なエ
ラーが発生してストッカの信頼性を低下させるという問
題点があった。
キャリヤボックスが完全に搬出されたことを知らせる引
出表示ランプが作動する前にキャリヤボックスを搬出ポ
ートから引出すと、制御部は移送中にキャリヤボックス
が脱落したと判断するか、または器械が誤動作したと判
断してエラー信号を発生させることにより、機械的なエ
ラーが発生してストッカの信頼性を低下させるという問
題点があった。
【００３１】したがって、本発明はこのような問題点を
解決するためになされたもので、その目的は、ストッカ
の構造を単純化することにより維持補修費用を削減する
ことにある。
解決するためになされたもので、その目的は、ストッカ
の構造を単純化することにより維持補修費用を削減する
ことにある。
【００３２】本発明の他の目的は、搬入及び搬出作業時
間を短縮させて、ストッカの信頼性を向上させることに
ある。
間を短縮させて、ストッカの信頼性を向上させることに
ある。
【００３３】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めの本発明の特徴によると、ハウジング内部には棚が設
置されて外部から搬入されたキャリヤボックスが載置さ
れ、ロボットはキャリヤボックスを外部から搬入して棚
に載置するか、棚から外部に搬出するためキャリヤボッ
クスを水平レールと垂直レールとを利用して移送し、キ
ャリヤボックスを搬入するか、搬出する前に少なくとも
一つ以上の搬入／搬出共用ポートに一時的に待機させて
運用部を通して共用ポートの運用を制御する。
めの本発明の特徴によると、ハウジング内部には棚が設
置されて外部から搬入されたキャリヤボックスが載置さ
れ、ロボットはキャリヤボックスを外部から搬入して棚
に載置するか、棚から外部に搬出するためキャリヤボッ
クスを水平レールと垂直レールとを利用して移送し、キ
ャリヤボックスを搬入するか、搬出する前に少なくとも
一つ以上の搬入／搬出共用ポートに一時的に待機させて
運用部を通して共用ポートの運用を制御する。
【００３４】また、共用ポートの前面にはキャリヤボッ
クスを搬入／搬出させるため搬入／搬出口が形成され
て、共用ポートの内部にはキャリヤボックスを載置させ
るベースが設置され、ベース上にはキャリヤボックスの
有無を感知する感知部が設置される。
クスを搬入／搬出させるため搬入／搬出口が形成され
て、共用ポートの内部にはキャリヤボックスを載置させ
るベースが設置され、ベース上にはキャリヤボックスの
有無を感知する感知部が設置される。
【００３５】好ましくは、キャリヤボックスがベース上
の一定位置に載置されるように案内する位置設定部がベ
ース上に形成され、位置設定部はキャリヤボックスの底
面４縁部に対応してベースから突出形成された位置固定
突条からなる。
の一定位置に載置されるように案内する位置設定部がベ
ース上に形成され、位置設定部はキャリヤボックスの底
面４縁部に対応してベースから突出形成された位置固定
突条からなる。
【００３６】また、感知部は、ベース上の一定位置に固
定された発光素子と、発光素子からキャリヤボックスの
長さだけ離隔されて相互に対向した受光素子とからな
る。
定された発光素子と、発光素子からキャリヤボックスの
長さだけ離隔されて相互に対向した受光素子とからな
る。
【００３７】また、運用部は、キャリヤボックスの搬入
を指示するための搬入指示部と、キャリヤボックスが現
在外部に搬出中であることを表示するポート使用表示部
と、搬入／搬出共用ポート内に位置したキャリヤボック
スが搬入予定であることを表示する搬入表示部と、搬入
／搬出共用ポート内に位置したキャリヤボックスが搬出
予定であることを表示する搬出表示部とからなる。
を指示するための搬入指示部と、キャリヤボックスが現
在外部に搬出中であることを表示するポート使用表示部
と、搬入／搬出共用ポート内に位置したキャリヤボック
スが搬入予定であることを表示する搬入表示部と、搬入
／搬出共用ポート内に位置したキャリヤボックスが搬出
予定であることを表示する搬出表示部とからなる。
【００３８】好ましくは、搬入指示部は押しボタンであ
り、ポート使用表示部、搬入表示部及び搬出表示部はラ
ンプである。
り、ポート使用表示部、搬入表示部及び搬出表示部はラ
ンプである。
【００３９】本発明の他の特徴によると、ハウジング内
部には棚が設置されて外部から搬入されたキャリヤボッ
クスが載置され、ロボットはキャリヤボックスを外部か
ら搬入して棚に載置するか棚から外部に搬出するためキ
ャリヤボックスを水平レールと垂直レールとを利用して
移送し、キャリヤボックスを搬入または搬出する前に少
なくとも一つ以上の搬入ポートまたは搬出ポートに一時
的に待機させ、運用部を通して搬入ポートの運用を制御
する。
部には棚が設置されて外部から搬入されたキャリヤボッ
クスが載置され、ロボットはキャリヤボックスを外部か
ら搬入して棚に載置するか棚から外部に搬出するためキ
ャリヤボックスを水平レールと垂直レールとを利用して
移送し、キャリヤボックスを搬入または搬出する前に少
なくとも一つ以上の搬入ポートまたは搬出ポートに一時
的に待機させ、運用部を通して搬入ポートの運用を制御
する。
【００４０】本実施例での運用部はキャリヤボックスの
搬入を指示するための搬入指示部と、ロボットがキャリ
ヤボックスを現在搬入中であることを表示する搬入表示
部とからなる。
搬入を指示するための搬入指示部と、ロボットがキャリ
ヤボックスを現在搬入中であることを表示する搬入表示
部とからなる。
【００４１】
【発明の実施の形態】以下、添附図面を参照して本発明
による好ましい実施の形態について詳細に説明する。
による好ましい実施の形態について詳細に説明する。
【００４２】図１は本発明によるストッカの設備構造を
概略的に示す部分切開斜視図、図２は図１のA-A'線に沿
って切断した縦断面図である。図示されるように、ハウ
ジング20内部は３個の空間に分けられて、前面にはロボ
ットユニット60の移動のための空間が形成され、後面に
は搬入されたキャリヤボックス10を貯蔵するための空間
が形成され、端部にはキャリヤボックス10の搬入／搬出
のための空間が形成される。
概略的に示す部分切開斜視図、図２は図１のA-A'線に沿
って切断した縦断面図である。図示されるように、ハウ
ジング20内部は３個の空間に分けられて、前面にはロボ
ットユニット60の移動のための空間が形成され、後面に
は搬入されたキャリヤボックス10を貯蔵するための空間
が形成され、端部にはキャリヤボックス10の搬入／搬出
のための空間が形成される。
【００４３】ハウジング20内部の前面には底面と天井と
に各々一対の水平レール41、43が設置され、水平レール
41、43に各々水平ガイド51、53が結合される。また、水
平ガイド51、53は二対の垂直レール55により連結され
る。好ましくは、二対の垂直レール55は断面が四角形を
なすように設置される。
に各々一対の水平レール41、43が設置され、水平レール
41、43に各々水平ガイド51、53が結合される。また、水
平ガイド51、53は二対の垂直レール55により連結され
る。好ましくは、二対の垂直レール55は断面が四角形を
なすように設置される。
【００４４】ロボットユニット60は垂直レール55に沿っ
て上昇及び下降するロボット支持台61と、ロボット支持
台61の上部面に設置されて360 °回転する回転板63と、
回転板63の上部面に設置されてキャリヤボックス10に対
して任意の角度で折曲されるアーム65と、アーム65の一
端に設置されてキャリヤボックス10に挿入されるホルダ
67とから構成される。
て上昇及び下降するロボット支持台61と、ロボット支持
台61の上部面に設置されて360 °回転する回転板63と、
回転板63の上部面に設置されてキャリヤボックス10に対
して任意の角度で折曲されるアーム65と、アーム65の一
端に設置されてキャリヤボックス10に挿入されるホルダ
67とから構成される。
【００４５】一方、ハウジング20内部の後面にはキャリ
ヤボックス10を積載するための棚30が多層に設置され
る。
ヤボックス10を積載するための棚30が多層に設置され
る。
【００４６】本発明の一実施例によると、ハウジング20
内部の前面一側端部には搬入／搬出共用ポート200 が形
成される。
内部の前面一側端部には搬入／搬出共用ポート200 が形
成される。
【００４７】また、搬入／搬出共用ポート200 の前面に
はキャリヤボックス10を搬入または搬出するための搬入
／搬出口210 が形成され、搬入／搬出口210 の上部には
キャリヤボックス10の搬入及び搬出の進行状態とストッ
カの制御部に搬入及び搬出とを指示する運用部220 が設
置される。
はキャリヤボックス10を搬入または搬出するための搬入
／搬出口210 が形成され、搬入／搬出口210 の上部には
キャリヤボックス10の搬入及び搬出の進行状態とストッ
カの制御部に搬入及び搬出とを指示する運用部220 が設
置される。
【００４８】運用部220 は、作業者が制御部に搬入作業
を指示するための搬入指示ボタン221 と、ロボットユニ
ット60がキャリヤボックス10を外部に搬出する予定であ
ることを作業者に知らせるポート使用表示ランプ225
と、搬入／搬出共用ポート200内に位置したキャリヤボ
ックス10が搬入用であるか搬出用であるかを知らせるた
めの搬入表示ランプ223 及び搬出表示ランプ227 とから
構成される。
を指示するための搬入指示ボタン221 と、ロボットユニ
ット60がキャリヤボックス10を外部に搬出する予定であ
ることを作業者に知らせるポート使用表示ランプ225
と、搬入／搬出共用ポート200内に位置したキャリヤボ
ックス10が搬入用であるか搬出用であるかを知らせるた
めの搬入表示ランプ223 及び搬出表示ランプ227 とから
構成される。
【００４９】ここで、搬入指示ボタン221 は押しボタン
を使用し、情報を表示するＬＣＤパネルを利用してポー
ト使用表示ランプ225 と搬入表示ランプ及び搬出表示ラ
ンプ223 、227 の役割を実行することもできる。
を使用し、情報を表示するＬＣＤパネルを利用してポー
ト使用表示ランプ225 と搬入表示ランプ及び搬出表示ラ
ンプ223 、227 の役割を実行することもできる。
【００５０】一方、搬入／搬出共用ポート200 の内部に
は搬出または搬入されるキャリヤボックス10が載置され
るベース230 と、キャリヤボックス10の位置を設定する
位置設定部250 と、ポート200 内にキャリヤボックス10
が存在するか否かを感知する感知部240 が設置される。
は搬出または搬入されるキャリヤボックス10が載置され
るベース230 と、キャリヤボックス10の位置を設定する
位置設定部250 と、ポート200 内にキャリヤボックス10
が存在するか否かを感知する感知部240 が設置される。
【００５１】ベース230 はハウジング20の底面から作業
者が容易に作業を実行できる高さに設置され、位置設定
部250 はキャリヤボックス10の底面の４縁部に対応する
位置に設置された位置固定突条231 からなる。前記位置
固定突条231 は、好ましくはカギ形“』”形状でキャリ
ヤボックス10の底面の４縁部を確固に固定する。また、
感知部240 は突条231 が連結されて形成される境界線外
側に対向して設置される発光素子241 と受光素子243 と
からなり、発光素子241 から放出された光が受光素子24
3 に到達しなかった場合、ポート200 内にキャリヤボッ
クス10が位置することを感知する。
者が容易に作業を実行できる高さに設置され、位置設定
部250 はキャリヤボックス10の底面の４縁部に対応する
位置に設置された位置固定突条231 からなる。前記位置
固定突条231 は、好ましくはカギ形“』”形状でキャリ
ヤボックス10の底面の４縁部を確固に固定する。また、
感知部240 は突条231 が連結されて形成される境界線外
側に対向して設置される発光素子241 と受光素子243 と
からなり、発光素子241 から放出された光が受光素子24
3 に到達しなかった場合、ポート200 内にキャリヤボッ
クス10が位置することを感知する。
【００５２】一方、本発明の他の実施例によると、ポー
トを搬入ポートと搬出ポートとに区分して設置する。こ
の場合には、搬出ポートは運用部を必要せず、搬入ポー
トは作業者が制御部に搬入作業を指示するための搬入指
示ボタンと、ロボットがキャリヤボックスを現在搬入中
であることを知らせるための搬入表示ランプとからなる
運用部を必要とする。したがって、前述の実施例と比較
すると、ポートが増加することによって容積は増大する
がその構造は単純になる。
トを搬入ポートと搬出ポートとに区分して設置する。こ
の場合には、搬出ポートは運用部を必要せず、搬入ポー
トは作業者が制御部に搬入作業を指示するための搬入指
示ボタンと、ロボットがキャリヤボックスを現在搬入中
であることを知らせるための搬入表示ランプとからなる
運用部を必要とする。したがって、前述の実施例と比較
すると、ポートが増加することによって容積は増大する
がその構造は単純になる。
【００５３】次に、図１及び図２を参照して本発明によ
るストッカでキャリヤボックスの搬入及び搬出の過程に
ついて説明すると次のようである。ここでは搬入／搬出
共用ポートを持つ構造の実施例について説明する。
るストッカでキャリヤボックスの搬入及び搬出の過程に
ついて説明すると次のようである。ここでは搬入／搬出
共用ポートを持つ構造の実施例について説明する。
【００５４】まず、キャリヤボックス10がストッカ１内
部に搬入される過程について説明する。作業者が先行工
程を完了したキャリヤボックス10を搬入／搬出共用ポー
ト200の搬入／搬出口210 を通して投入し、ベース230
上に突出形成された位置固定突条231 とキャリヤボック
ス10の４縁部とが対応するように調整する。
部に搬入される過程について説明する。作業者が先行工
程を完了したキャリヤボックス10を搬入／搬出共用ポー
ト200の搬入／搬出口210 を通して投入し、ベース230
上に突出形成された位置固定突条231 とキャリヤボック
ス10の４縁部とが対応するように調整する。
【００５５】このようにキャリヤボックス10がベース23
0 上に載置されると、発光素子241から出力された光が
キャリヤボックス10により遮断されて受光素子243 に到
達しないことによって、ベース230 上にキャリボックス
10が載置されていることが感知され、感知信号が制御部
に伝達される。
0 上に載置されると、発光素子241から出力された光が
キャリヤボックス10により遮断されて受光素子243 に到
達しないことによって、ベース230 上にキャリボックス
10が載置されていることが感知され、感知信号が制御部
に伝達される。
【００５６】一方、作業者は搬入／放出共用ポート200
にキャリヤボックス10を載置させた後、搬入／搬出口21
0 上部に設置された運用部220 の搬入指示ボタン221 を
押してベース230 に載置されたキャリヤボックス10を搬
入することを制御部に認識させる。
にキャリヤボックス10を載置させた後、搬入／搬出口21
0 上部に設置された運用部220 の搬入指示ボタン221 を
押してベース230 に載置されたキャリヤボックス10を搬
入することを制御部に認識させる。
【００５７】次に、感知部240 からキャリヤボックス10
の感知信号が伝達されて、作業者からキャリヤボックス
10に搬入信号が伝達されると、制御部は感知信号及び搬
入信号によって搬入表示ランプ223 を点灯してロボット
ユニット60を動作させる。
の感知信号が伝達されて、作業者からキャリヤボックス
10に搬入信号が伝達されると、制御部は感知信号及び搬
入信号によって搬入表示ランプ223 を点灯してロボット
ユニット60を動作させる。
【００５８】ここで、搬入表示ランプ223 を点灯させて
同一ライン内で作業する他の作業者にポート200 内に存
在するキャリヤボックス10が搬入用であることを表示す
ることにより、搬入されるキャリヤボックス10が他の作
業者により搬出されることを未然に防止できる。
同一ライン内で作業する他の作業者にポート200 内に存
在するキャリヤボックス10が搬入用であることを表示す
ることにより、搬入されるキャリヤボックス10が他の作
業者により搬出されることを未然に防止できる。
【００５９】また、制御部から信号を受けたロボットユ
ニット60は、水平レール41、43に沿ってキャリヤボック
ス10が積載される位置に移動される。すると、ロボット
支持台61が垂直レール55に沿ってキャリヤボックス10が
位置する高さまで上昇した後、アーム65を調整してベー
ス230 に位置したキャリヤボックス10にホルダ67を挿入
して受取る。その後、水平レール41、43及び垂直レール
55に沿って移動しながら所定位置の棚30に載置させる。
ニット60は、水平レール41、43に沿ってキャリヤボック
ス10が積載される位置に移動される。すると、ロボット
支持台61が垂直レール55に沿ってキャリヤボックス10が
位置する高さまで上昇した後、アーム65を調整してベー
ス230 に位置したキャリヤボックス10にホルダ67を挿入
して受取る。その後、水平レール41、43及び垂直レール
55に沿って移動しながら所定位置の棚30に載置させる。
【００６０】次に、ストッカ１内部に貯蔵されているキ
ャリヤボックス10の搬出過程について説明する。制御部
に入力されたプログラムまたは作業者の要求によって、
制御部はロボットユニット60に信号を伝達して作業を指
示する。この時、制御部はロボットユニット60に作業を
指示する前に運用部220 に信号を伝達してポート使用表
示ランプ225 を点灯させる。
ャリヤボックス10の搬出過程について説明する。制御部
に入力されたプログラムまたは作業者の要求によって、
制御部はロボットユニット60に信号を伝達して作業を指
示する。この時、制御部はロボットユニット60に作業を
指示する前に運用部220 に信号を伝達してポート使用表
示ランプ225 を点灯させる。
【００６１】前記ポート使用表示ランプ225 を点灯させ
る理由は、搬入及び搬出のための一つのポート200 を共
通で使用するからである。即ち、制御部はポート使用表
示ランプ225 を通して作業者にキャリヤボックス10が搬
出される予定であることを知らせることにより作業者は
キャリヤボックス10の搬入作業を一定時間遅延させる。
る理由は、搬入及び搬出のための一つのポート200 を共
通で使用するからである。即ち、制御部はポート使用表
示ランプ225 を通して作業者にキャリヤボックス10が搬
出される予定であることを知らせることにより作業者は
キャリヤボックス10の搬入作業を一定時間遅延させる。
【００６２】より詳細に説明すると、ポート使用表示ラ
ンプ225 がないと作業者はストッカ１からキャリヤボッ
クス10がいつ搬出されるか分からないので、ロボットユ
ニット60が搬出されるキャリヤボックス10を移送してい
るあいだに作業者が搬入／搬出共用ポート200 上にキャ
リヤボックス10を載置する場合が発生する。すると、搬
出されるキャリヤボックス10と搬入されるキャリヤボッ
クス10とが衝突してキャリヤボックス10に積載されたウ
ェハが破損する。
ンプ225 がないと作業者はストッカ１からキャリヤボッ
クス10がいつ搬出されるか分からないので、ロボットユ
ニット60が搬出されるキャリヤボックス10を移送してい
るあいだに作業者が搬入／搬出共用ポート200 上にキャ
リヤボックス10を載置する場合が発生する。すると、搬
出されるキャリヤボックス10と搬入されるキャリヤボッ
クス10とが衝突してキャリヤボックス10に積載されたウ
ェハが破損する。
【００６３】前記ポート使用表示ランプ225 が点灯され
た後、制御部は棚30に載置されているキャリヤボックス
10を移送する信号をロボットユニット60に伝達する。
た後、制御部は棚30に載置されているキャリヤボックス
10を移送する信号をロボットユニット60に伝達する。
【００６４】次に、制御部から信号の入力を受けたロボ
ットユニット60は、ロボット支持台61を所定高さまで上
昇させた後、アーム65を動作させてホルダ67が棚30上に
載置されたキャリヤボックス10に挿入されるようにす
る。キャリヤボックス10をローディングした後、ロボッ
トユニット60は水平レール41、43に沿ってポート200 が
設置されている側に移動してロボット支持台61を下降さ
せてベース230 の高さに合わせた後、アーム60を動作さ
せて移送されたキャリヤボックス10をベース230上に載
置する。
ットユニット60は、ロボット支持台61を所定高さまで上
昇させた後、アーム65を動作させてホルダ67が棚30上に
載置されたキャリヤボックス10に挿入されるようにす
る。キャリヤボックス10をローディングした後、ロボッ
トユニット60は水平レール41、43に沿ってポート200 が
設置されている側に移動してロボット支持台61を下降さ
せてベース230 の高さに合わせた後、アーム60を動作さ
せて移送されたキャリヤボックス10をベース230上に載
置する。
【００６５】この時、ベース230 上にキャリヤボックス
10が載置されると、発光素子214 から出力された光がキ
ャリヤボックス10により遮断されて受光素子243 に到達
しないことにより感知部240 はベース230 上にキャリヤ
ボックス10が載置されていることを感知してその信号を
制御部に伝達する。
10が載置されると、発光素子214 から出力された光がキ
ャリヤボックス10により遮断されて受光素子243 に到達
しないことにより感知部240 はベース230 上にキャリヤ
ボックス10が載置されていることを感知してその信号を
制御部に伝達する。
【００６６】感知部240 から信号を入力した制御部は、
運用部220 の搬出表示ランプ227 を点灯させてポート使
用表示ランプ225 を消灯させ、ベース230 上に載置され
たキャリヤボックス10が搬出用であることを作業者に知
らせ、キャリヤボックス10がさらにストッカ１内部に搬
入されることを防止する。
運用部220 の搬出表示ランプ227 を点灯させてポート使
用表示ランプ225 を消灯させ、ベース230 上に載置され
たキャリヤボックス10が搬出用であることを作業者に知
らせ、キャリヤボックス10がさらにストッカ１内部に搬
入されることを防止する。
【００６７】
【発明の効果】以上のように、本発明では搬入／搬出用
コンベヤを除去してロボットが搬入または搬出されるキ
ャリヤボックスが直接ポート内に位置されるように制御
されるので、ストッカの信頼性が向上され、ストッカの
維持補修費用を削減する効果がある。
コンベヤを除去してロボットが搬入または搬出されるキ
ャリヤボックスが直接ポート内に位置されるように制御
されるので、ストッカの信頼性が向上され、ストッカの
維持補修費用を削減する効果がある。
【００６８】また、キャリヤボックスを搬入する作業者
とキャリヤボックスを搬出するロボットとが一つのポー
トを共用できるように搬入／搬出共用ポートを使用する
ことにより、作業時間を短縮させる効果がある。
とキャリヤボックスを搬出するロボットとが一つのポー
トを共用できるように搬入／搬出共用ポートを使用する
ことにより、作業時間を短縮させる効果がある。
【図１】本発明によるストッカの設備構造を概略的に示
す部分切開斜視図である。
す部分切開斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ’線に沿って切断した縦断面図で
ある。
ある。
【図３】従来のストッカの設備構造を概略的に示す部分
切開斜視図である。
切開斜視図である。
【図４】図３のＢ−Ｂ’線に沿って切断した縦断面図で
ある。
ある。
【図５】従来のキャリヤボックス搬入及び搬出過程を説
明するための状態図である。（その１）
明するための状態図である。（その１）
【図６】従来のキャリヤボックス搬入及び搬出過程を説
明するための状態図である。（その２）
明するための状態図である。（その２）
【図７】従来のキャリヤボックス搬入及び搬出過程を説
明するための状態図である。（その３）
明するための状態図である。（その３）
【図８】従来のキャリヤボックス搬入及び搬出過程を説
明するための状態図である。（その４）
明するための状態図である。（その４）
１ ストッカ 10 キャリヤボックス 20 ハウジング 30 棚 41、43 水平レール 51、53 水平ガイド 55 垂直レール 60 ロボットユニット 61 ロボット支持台 63 回転板 65 アーム 67 ホルダ 200 搬入／搬出用共用ポート 210 搬入／搬出口 220 運用部 221 搬入指示ボタン 223 搬入表示ランプ 225 ポート使用表示ランプ 227 搬出表示ランプ 230 ベース 231 位置固定突条 240 感知部 241 発光素子 243 受光素子 250 位置設定部
Claims (12)
- 【請求項１】 ハウジングと、 このハウジング内部に設置され、外部から搬入されたキ
ャリヤボックスを載置する棚と、 前記キャリヤボックスを外部から搬入して前記棚に載置
するか、または、前記棚から外部に搬出するために前記
キャリヤボックスを移送するロボットと、 前記ロボットを水平方向に案内する水平レールと、 前記ロボットを垂直方向に案内する垂直レールと、 前記キャリヤボックスを搬入するか搬出する前に一時的
に待機させる少なくとも一つ以上の搬入／搬出共用ポー
トと、 この搬入／搬出共用ポートの運用を制御する運用部とを
含むことを特徴とするストッカ。 - 【請求項２】 前記搬入／搬出共用ポートは、 前記キャリヤボックスを搬入及び搬出させるため前記共
用ポートの前面に形成された搬入／搬出口と、 前記共用ポート内部に設置され、前記キャリヤボックス
を所定位置に載置するベースと、 このベース上に設置され、前記ベース上での前記キャリ
ヤボックスの有無を感知する感知部とを含むことを特徴
とする請求項１記載のストッカ。 - 【請求項３】 前記搬入／搬出共用ポートは、前記キャ
リヤボックスが前記ベース上の一定位置に載置されるよ
うに案内する位置設定部をさらに含むことを特徴とする
請求項２記載のストッカ。 - 【請求項４】 前記位置設定部は、前記キャリヤボック
スの底面の４縁部に対応して前記ベースから突出形成さ
れた位置固定突条からなることを特徴とする請求項３記
載のストッカ。 - 【請求項５】 前記感知部は、 前記ベース上の一定位置に固定された発光素子と、 前記発光素子から前記キャリヤボックスの長さだけ離隔
された位置に相互に対向して設置された受光素子とから
なることを特徴とする請求項２記載のストッカ。 - 【請求項６】 前記運用部は、 前記キャリヤボックスの搬入を指示するための搬入指示
部と、 前記キャリヤボックスが現在外部に搬出中であることを
表示するポート使用表示部と、 前記搬入／搬出共用ポート内に載置された前記キャリヤ
ボックスを搬入する予定であることを表示する搬入表示
部と、 前記搬入／搬出共用ポート内に載置された前記キャリヤ
ボックスを搬出する予定であることを表示する搬出表示
部とからなることを特徴とする請求項１記載のストッ
カ。 - 【請求項７】 前記搬入指示部は、押しボタンであるこ
とを特徴とする請求項６記載のストッカ。 - 【請求項８】 前記ポート使用表示部、搬入表示部及び
搬出表示部は、ランプであることを特徴とする請求項６
記載のストッカ。 - 【請求項９】 ハウジングと、 このハウジング内部に設置され、外部から搬入されたキ
ャリヤボックスを載置する棚と、 前記キャリヤボックスを外部から搬入して前記棚に載置
するか、前記棚から外部に搬出するために前記キャリヤ
ボックスを移送するロボットと、 前記ロボットを水平方向に案内する水平レールと、 前記ロボットを垂直方向に案内する垂直レールと、 前記キャリヤボックスを搬入する前に一時的に待機させ
る少なくとも一つ以上の搬入ポートと、 前記キャリヤボックスを搬出する前に一時的に待機させ
る少なくとも一つ以上の搬出ポートと、 前記搬入ポートの運用を制御する運用部とを含むことを
特徴とするストッカ。 - 【請求項１０】 前記運用部は、 前記キャリヤボックスの搬入を指示するための搬入指示
部と、 前記ロボットが前記キャリヤボックスを現在搬入中であ
ることを表示する搬入表示部とからなることを特徴とす
る請求項９記載のストッカ。 - 【請求項１１】 前記搬入指示部は、押しボタンである
ことを特徴とする請求項９記載のストッカ。 - 【請求項１２】 前記搬入表示部は、ランプであること
を特徴とする請求項９記載のストッカ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1997P-57376 | 1997-10-31 | ||
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