JPH11168254A - コロナバー，予備電離電極及びエキシマレーザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 異常放電を防止し、コロナ放電を安定に行な
って、ガスの予備電離を効果的に行なうことのできるエ
キシマレーザ用の予備電離電極を提供する。 【解決手段】 コロナ放電を起こして、ガスに予備電離
を起こさせるエキシマレーザ装置の予備電離電極９にお
いて、絶縁材料からなるコロナバー１８と、そのコロナ
バー１８内に配置された第１予備電離電極６と、前記コ
ロナバー１８の外側に配置された第２予備電離電極７と
を備え、前記コロナバー１８の少なくとも一方の端部を
コロナバー１８と同じ絶縁材料で封止することによって
異常放電を効果的に防止するとともに、従来の異常放電
防止用ブッシュ８の個数を減らし、エキシマレーザ装置
の構造を簡単にしてコンパクトにしている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザガス雰囲気
中で放電し、レーザ光を射出するエキシマレーザ装置に
関し、特にはその予備電離電極の構造に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来から、エキシマレーザ装置の予備電
離方式として、コロナ放電による予備電離が使用されて
いる。図７は、例えば特表平８−５０２１４５号公報に
開示されているエキシマレーザ装置の予備電離電極の構
造の一例であり、以下同図に基づいて従来技術を説明す
る。

【０００３】同図において、例えばクリプトン（Ｋｒ）
やフッ素（Ｆ2 ）等の混合ガスであるレーザガスを封止
する容器であるチャンバ１を破線で示す。チャンバ１内
には、レーザ光を発振させるためにアノード２とカソー
ド３が、図中Ｚ方向に対向して図中Ｙ方向に沿って配置
されている。このアノード２とカソード３は主電極と呼
ばれ、各々パルス電圧源４の高電圧極とアース極に接続
されており、アース極はチャンバ１に接続されているこ
とが多い。また、エキシマレーザにおいては高電圧極は
マイナス極であることが多いが、以下の説明ではアース
極に対して電位差を生じる側を高電圧極として説明す
る。両電極アノード２とカソード３の間に電位差をかけ
ることによって前記レーザガスに主放電と呼ばれるパル
ス放電を図中Ｚ方向に生じさせ、そのエネルギーによっ
て主電極の長手方向である図中Ｙ方向（紙面に直交方
向）にレーザ光を発生させている。この方向が、レーザ
光の光軸方向となる。

【０００４】この主放電を安定に起こすためには、その
前にチャンバ１内で予備電離と呼ばれる放電を起こし、
あらかじめレーザガスを電離（pre-ionize）させておく
必要がある。

【０００５】そのために、チャンバ１内にはセラミック
等の絶縁材料からなるチューブ５が主電極の長手方向に
配置されており、その内部には導体からなる第１予備電
離電極６がチューブ５の長手方向に挿入されて、例えば
前記パルス電圧源４のアース極に接続されている。ま
た、導体からなる第２予備電離電極７は前記チューブ５
の外周長手方向に配置され、例えばパルス電圧源４の高
電圧極に接続されている。この第２予備電離電極７は、
前記第１予備電離電極６及びチューブ５とともにコンデ
ンサを形成し、全体として予備電離電極９を構成してい
る。

【０００６】主放電を行なう前に、第１予備電離電極６
と第２予備電離電極７の間にパルス電圧源４によってパ
ルス電圧が印加され、チューブ５を介してコロナ放電が
生じ、紫外線光が発生してチャンバ１内のレーザガスを
電離させ、主放電を起こりやすくする。これを予備電離
と言う。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】図８に、従来技術にお
けるチューブ５の端部を示す。このように、第１予備電
離電極６と第２予備電離電極７とがレーザガス雰囲気中
でむき出しになっており、しかも両者の間の距離Ｄが短
いと、両者の間でチューブ５を介しない異常放電が起
き、予備電離のためのコロナ放電が妨害されるという問
題がある。このため、主放電が安定に起きずレーザ発振
がうまくゆかなかったり、パルス電圧源４の故障にもつ
ながったりして、レーザ装置の信頼性を低下させる。

【０００８】この異常放電を防ぐため、前記公報には図
９に示すようにチューブ５にセラミック等の絶縁材料か
らなる碍子８をかぶせるか、或いは碍子８とチューブ５
を一体に形成する技術が開示されている。この碍子８に
は、表面に沿って第１予備電離電極６と第２予備電離電
極７との間で異常放電が起きるのを避けるために円周方
向に沿って溝１０が形成されて、第１予備電離電極６と
第２予備電離電極７との間の碍子８の表面に沿った距離
を長くするようにしている。

【０００９】しかしながら、前記溝１０を形成しなけれ
ばならないなどの理由で碍子８は複雑な形状になり、こ
れを加工困難なセラミックなどの絶縁材料で製作するの
は容易ではなく、装置全体が高価になるなどの問題が生
じる。

【００１０】また前記公報では第１予備電離電極６を前
記パルス電圧源４のアース極に、第２予備電離電極７を
高電圧極に接続しているが、これとは逆に図１０に示す
ように、第２予備電離電極７を前記アース極に、第１予
備電離電極６を前記高電圧極に接続して、両者の間にコ
ロナ放電を行なわせる場合もある。

【００１１】この高電圧極と第１予備電離電極６とを、
チャンバ１に接触しないように接続しなければならな
い。このために、同図に示すようにセラミックなどの絶
縁材料からなる碍子１４と導体からなるロッド１５を組
み合わせて、電圧導入端子１１を構成している。これを
チャンバ１に設けた開口部１２に挿入し、第１予備電離
電極６とロッド１５を接続し、前記第１予備電離電極６
とチャンバ１との電気的絶縁を保ちながら電圧を供給し
ている。この碍子１４とチャンバ１との間及び碍子１４
とロッド１５との間には例えば耐腐食性のＯリング１３
が挿入され、前記レーザガスの封止を保っている。

【００１２】また、碍子１４の表面に沿ってロッド１５
とチャンバ１との間で異常放電が起きるのを避けるた
め、碍子１４の表面には前記溝１０が形成され、ロッド
１５とチャンバ１との間の碍子１４の表面に沿った距離
を長くするようにしている。

【００１３】しかしながら、前述した碍子８と同様に碍
子１４は複雑な形状になるため加工が困難であり、装置
全体が高価になるなどの問題が生じる。また、チューブ
５の両端が開放されているため、この双方から高電圧を
供給しようとすればチャンバ１に開口部１２を２箇所設
けなければならず、チャンバ１の加工が困難になるの
で、エキシマレーザ装置のコストが増大するという問題
が生じる。

【００１４】また、前記公報に記載の技術においては、
碍子８をチューブ５の長手方向端部に配置しており、異
常放電を防止するためには第２予備電離電極７を碍子８
の端部まで伸ばすことができない。すなわち、碍子８の
周囲では予備電離を起こすことができない。ところが、
主放電を安定に起こすには、主電極の近傍で事前に予備
電離を起こすことがより好ましく、アノード２及びカソ
ード３を第２予備電離電極７と同等の長さにしなければ
ならない。すなわち、碍子８の長さだけ無駄なスペース
が生じ、装置が大型化するという問題点がある。

【００１５】さらに、エキシマレーザ装置では、通常ア
ノード２とカソード３との間に図７におけるＸ方向にレ
ーザガスを流して主放電を安定に行なわせるようにして
いるが、前記碍子８がこのレーザガスの流れに対して抵
抗となって乱流が生じ、主放電に悪影響を与えるという
問題もある。

【００１６】本発明は、上記の問題点に着目してなされ
たものであり、異常放電を効果的に防止し、しかも安価
で製作が容易なエキシマレーザ用予備電離電極を提供す
ることを目的としている。

【００１７】

【課題を解決するための手段、作用及び効果】上記の目
的を達成するために請求項１に記載の発明は、中空の絶
縁材料のチューブで形成され、その内部に設けられる第
１予備電離電極６と外周部に設けられる第２予備電離電
極７との間に電圧を印加してコロナ放電を起こさせるコ
ロナバー１８において、前記チューブの一端を絶縁材料
で封止している。

【００１８】請求項１に記載の発明によれば、一端を絶
縁材料で封止したチューブを、コロナ放電用のコロナバ
ーとして使用している。この封止によって第１予備電離
電極の端部と第２予備電離電極の端部との間を絶縁して
いるので、この端部に異常放電防止用の碍子が不要にな
り、コロナバーの構成が簡単になる。しかも、コロナバ
ーの長手方向の寸法が小さくなる。

【００１９】次に、請求項２に記載の発明は、請求項１
に記載のコロナバー１８において、前記封止した端部と
反対側の端部に、異常放電防止のために絶縁材料からな
る碍子８を備えている。

【００２０】請求項２に記載の発明によれば、コロナバ
ーの封止端と反対側の端部において第１予備電離電極へ
の電圧の導入或いは第１予備電離電極とアース極との接
続が行なわれるので、第１予備電離電極がむき出しにな
っており、異常放電が起きる可能性が最も大きい。従っ
て、この場所に碍子をつけることによって、異常放電の
防止を効果的に行なうことができる。

【００２１】次に、請求項３に記載の発明は、中空の絶
縁材料のチューブで形成され、その内部に設けられる第
１予備電離電極６と外周部に設けられる第２予備電離電
極７との間に電圧を印加してコロナ放電を起こさせるコ
ロナバー１８において、前記チューブの両端を絶縁材料
で封止している。

【００２２】請求項３に記載の発明によれば、両端を絶
縁材料で封止したチューブを、コロナ放電用のコロナバ
ーとして使用している。この封止によって第１予備電離
電極の端部と第２予備電離電極の端部との間を絶縁して
いるので、この両端部ともに異常放電防止用の碍子が不
要になり、コロナバーの構成が簡単になる。しかも、コ
ロナバーの長手方向の寸法がより小さくなる。

【００２３】次に、請求項４に記載の発明は、請求項１
〜３のいずれかに記載のコロナバー１８において、コロ
ナバー１８と同じ絶縁材料で前記封止を行なっている。

【００２４】請求項４に記載の発明によれば、コロナバ
ーと同じ絶縁材料で封止を行なっているため、絶縁材料
の誘電率がすべての場所で等しく、一定の場所に電界が
集中することがないので、異常放電の防止をより効果的
に行なうことができる。

【００２５】また、請求項５に記載の発明は、中空の絶
縁材料のチューブで形成されたコロナバー１８と、その
内部に設けられた第１予備電離電極６と、外周部に設け
られた第２予備電離電極７とを備え、前記第１予備電離
電極６と第２予備電離電極７との間に電圧を印加してコ
ロナ放電を起こしてレーザガスに予備電離を起こさせる
エキシマレーザ用の予備電離電極９において、前記コロ
ナバー１８を、請求項１〜４のいずれかに記載のコロナ
バー１８としている。

【００２６】請求項５に記載の発明によれば、端部が絶
縁材料で封止されたコロナバーの内側に配置された第１
予備電離電極と外側に配置された第２予備電離電極との
間でコロナ放電を行なわせて、エキシマレーザのレーザ
ガスの予備電離を行なっている。この封止によって、こ
の端部に第１予備電離電極と第２予備電離電極の間で絶
縁材料を介しない異常放電が起きることを防止すること
ができ、レーザガスの予備電離を安定に起こすことがで
きる。また、異常放電防止用の碍子の個数を減らすこと
ができるので、予備電離電極の構成が簡単になる。ま
た、コロナバー１８の長手方向、すなわちレーザの光軸
方向の端部に碍子を設ける必要がなくなるので、レーザ
キャビティの光軸方向長を短くでき、レーザ装置の小型
化が可能となる。

【００２７】また、請求項６に記載の発明は、中空の絶
縁材料のチューブで形成されたコロナバー１８と、その
内部に設けられた第１予備電離電極６と、外周部に設け
られた第２予備電離電極７とを備え、前記第１予備電離
電極６と第２予備電離電極７との間に電圧を印加してコ
ロナ放電を起こしてレーザガスに予備電離を起こさせる
エキシマレーザ用の予備電離電極９において、前記コロ
ナバー１８が、請求項３に記載のコロナバー１８であっ
て、前記コロナバー１８の中央付近で前記第１予備電離
電極６から導体１６を突出させ、この導体１６と高電圧
を印加又は導体１６を接地するためのパルス電圧源４と
を電気的に接続している。

【００２８】請求項６に記載の発明によれば、第１予備
電離電極と、高電圧を印加するパルス電圧源の高電圧極
或いはアース極との接続を、前記コロナバーの中央付近
で行なっている。そのため、この接続場所から第１予備
電離電極の両端に対する距離が同じになり、片側の端部
だけ放電のタイミングが異なったり、異常な放電が起き
るということがなく、予備放電が安定に行なわれる。

【００２９】また、請求項７に記載の発明は、中空の絶
縁材料のチューブで形成されたコロナバー１８と、その
内部に設けられた第１予備電離電極６と、外周部に設け
られた第２予備電離電極７とを備え、前記第１予備電離
電極６と第２予備電離電極７との間に電圧を印加してコ
ロナ放電を起こしてレーザガスに予備電離を起こさせる
エキシマレーザ用の予備電離電極９において、前記コロ
ナバー１８が、請求項３に記載のコロナバー１８であっ
て、複数個の前記コロナバー１８と、各コロナバー１８
の中央部から長手方向に離れた場所で突出した導体１６
をそれぞれ有し、かつ各導体１６に高電圧を印加又は導
体１６を接地するためのパルス電圧源４が電気的に接続
される複数の前記第１予備電離電極６とを備えるととも
に、前記複数のコロナバー１８を、前記各導体１６が互
いに対向しないように、かつ長手方向に向かい合って配
置している。

【００３０】請求項７に記載の発明によれば、第１予備
電離電極と、高電圧を印加するパルス電圧源の高電圧極
或いはアース極との接続がコロナバーの中央で行なわれ
ない場合、この接続部から両端部への距離の差によって
印加される電圧が両端部で異なり、コロナ放電の起こり
方やタイミングに差異が起こることが考えられる。こう
なると、予備電離が不均一になってレーザ発振のための
主放電に悪影響が出るという問題がある。このため、前
記接続のための導体を互いに向き合わないように配置
し、予備電離の不均一を互いに補い合うことによって、
前記主放電を安定に行なうことができる。

【００３１】さらに請求項８に記載の発明は、中空の絶
縁材料のチューブで形成されたコロナバー１８と、その
内部に設けられた第１予備電離電極６と、外周部に設け
られた第２予備電離電極７とを備え、前記第１予備電離
電極６と第２予備電離電極７との間に電圧を印加してコ
ロナ放電を起こしてレーザガスに予備電離を起こさせる
エキシマレーザ用の予備電離電極９において、前記コロ
ナバー１８が請求項１又は２に記載のコロナバーであっ
て、このコロナバー１８を複数個備え、それぞれのコロ
ナバー１８が、前記封止した端部が互いに対向しないよ
うに、かつ長手方向に向かい合って配置されている。

【００３２】請求項８に記載の発明によれば、第１予備
電離電極と、高電圧を印加するパルス電圧源の高電圧極
或いはアース極との接続がコロナバーの一端で行なわる
場合、この接続部から前記封止した端部とこれと反対側
の端部とへの距離の差によって印加される電圧が両端部
で異なり、コロナ放電の起こり方やタイミングに差異が
起こることが考えられる。こうなると、予備電離が不均
一になってレーザ発振のための主放電に悪影響が出ると
いう問題がある。このため、前記封止された端部を互い
に向き合わないように配置し、予備電離の不均一を互い
に補い合うことによって、前記主放電を安定に行なうこ
とができる。

【００３３】さらに、請求項９に記載の発明は、中空の
絶縁材料のチューブで形成されたコロナバー１８と、そ
の内部に設けられた第１予備電離電極６と、外周部に設
けられた第２予備電離電極７とからなる予備電離電極９
を備え、前記第１予備電離電極６と第２予備電離電極７
との間に電圧を印加してコロナ放電を起こしてレーザガ
スに予備電離を起こさせるエキシマレーザ装置におい
て、前記予備電離電極９を、請求項５〜８のいずれかに
記載の予備電離電極９としている。

【００３４】請求項９に記載の発明によれば、前記予備
電離電極を使用することで異常放電を効果的に防止で
き、レーザガスの流れを乱すことも少なくなるので予備
電離を安定に行なうことができ、レーザ装置の信頼性を
向上させることができる。さらに、異常放電防止用の碍
子の個数を減らすことができるので、予備電離電極の長
手方向の寸法を小さくすることができ、レーザ装置をコ
ンパクトにすることができる。

【００３５】

【発明の実施の形態】以下、図を参照しながら、本発明
に係わる実施形態を詳細に説明する。なお、図におい
て、同一の符号を付したものは同一の構成を表すものと
する。

【００３６】図１〜図３に基づいて、第１の実施形態を
説明する。図１は、本実施形態に係わるエキシマレーザ
用予備電離電極の断面図を示している。同図において、
コロナバー１８は前記公報におけるチューブ５と同様に
セラミックなどの絶縁材料で形成された中空構造になっ
ており、その一端が同一の材料で一体に封止されてい
る。また他端には、前記公報に開示されたと同様の異常
放電防止用の碍子８を有している。コロナバー１８の断
面は円形とはかぎらず、例えば四角形でもよい。

【００３７】このコロナバー１８の外側には第２予備電
離電極７が配置されており、高電圧印加用のパルス電圧
源４の高電圧極に接続されている。コロナバー１８の内
側には細中実の棒状の第１予備電離電極６が通ってお
り、この第１予備電離電極６はチャンバ１を通じてパル
ス電圧源４のアース極に接続されている。この両予備電
離電極の間に電圧を印加し、コロナバー１８を介してコ
ロナ放電を行なうようにしている。第１予備電離電極６
は、中空の管状でもよい。

【００３８】このようにコロナバー１８の一端を絶縁材
料で封止することによって、第１予備電離電極６と第２
予備電離電極７との間に絶縁材料を常に介在させること
ができ、この端部における異常放電を容易に防止するこ
とができる。

【００３９】この際、封止のための絶縁材料にコロナバ
ー１８と同じ材料を使うことにすれば、誘電率などの性
質が同じなので電界の集中が起きにくくなり、異常放電
を効果的に防止できる。さらに、第１予備電離電極６
を、中実の棒或いは一端を封止した管によって構成し、
その周囲にセラミック等の絶縁材料をコーティングする
ようにしてコロナバー１８を一体に製作すれば製作も容
易であるし、物理的な強度も強くなる。また、隙間がな
いのでそこに電界の集中が起きることもなく、異常放電
を効果的に防止できる。

【００４０】或いは、コロナバー１８を一体に製作する
代わりに、図２に示したように絶縁材料で形成された蓋
１９とコロナバー１８の双方にネジ溝を切り、蓋１９を
嵌め込んで封止してもよい。こうすれば、固定のために
接着等をする必要がなく、接着剤から不純物が発生して
レーザガスが劣化するという問題もなくなる。

【００４１】また、前記公報に開示されているように、
コロナバー１８と碍子８とを一体に製作してもよい。こ
うすれば、両者を固定のために接着等をする必要がな
く、接着剤から不純物が発生してレーザガスが劣化する
という問題もなくなる。

【００４２】また、第１予備電離電極６と前記高電圧極
或いはアース極との接続を、前記他端の側でのみ行なう
ことによって、予備電離電極９のいずれかの端において
放電のタイミングが遅れたり放電が弱かったりすること
が考えられる。この結果、紫外線光の強度が不均一にな
り、予備電離が場所によってはうまくいかない場合があ
る。これを避けるためには、図３に示すように封止され
ている場所が互い違いになるように複数の予備電離電極
９を配置し、予備電離紫外線光を補い合うようにして予
備電離を行なえばよい。

【００４３】このように、本実施形態によれば、コロナ
バー１８の一端を絶縁材料で封止しているため、この端
部における異常放電を容易に防止できる。またこれによ
り、従来は２箇所必要であった異常放電防止用の碍子８
を１箇所減らせるので、予備電離電極９の構成を簡単に
することができ、装置の価格を安価にすることができ
る。

【００４４】次に、図４に基づいて第２の実施形態を説
明する。本実施形態では、予備電離電極の構成は前記実
施形態と同様であるが、第１予備電離電極６が前記パル
ス電圧源４の高電圧極に、第２予備電離電極７が前記ア
ース極に接続されている。

【００４５】この場合は、チャンバ１の壁に電圧導入用
の開口部１２を設け、ここに前記電圧導入端子１１を挿
入する。

【００４６】本実施形態においても、コロナバー１８の
一端は前記実施形態と同様に絶縁材料で封止されてお
り、第１予備電離電極６と第２予備電離電極７との間に
絶縁材料を介在させているので、この端部における異常
放電を防止することができ、しかも碍子８の個数を各予
備電離電極９に対して１個にすることができる。これに
より、予備電離電極９の構造を簡易化することができる
ので、エキシマレーザ装置の価格を下げることが可能で
ある。

【００４７】また、本実施形態によれば、図１０に示し
た従来の予備電離電極９よりも、電圧導入端子１１の個
数を各予備電離電極９に対して１個ずつ減らすことがで
きる。しかもチャンバ１の開口部１２をも各予備電離電
極９に対して１箇所ずつ減らすことができるので、チャ
ンバ１の加工箇所が減り、エキシマレーザ装置のコスト
を低減することが可能である。同時に、異常放電の可能
性のある電圧導入の箇所が減るので放電が安定に行なわ
れる可能性が増え、結果としてエキシマレーザ装置の信
頼性を向上させることが可能である。

【００４８】次に、図５に基づいて第３の実施形態を説
明する。本実施形態では、前記コロナバー１８の両端を
絶縁材料で封止し、このコロナバー１８の中央部付近
で、内部に設けた前記第１予備電離電極６からコロナバ
ー１８を貫通させて導体１６を突出させている。導体１
６の周囲には、コロナバー１８との接合部に隙間がない
ように絶縁材料からなる前記碍子８が被せられ、第２予
備電離電極７との間での異常放電を防止している。

【００４９】このとき、第１予備電離電極６をアース極
に接続する場合には導体１６をアース極に接続すればよ
い。また、第１予備電離電極６を高電圧極に接続する場
合には、同図に示したように導体１６の近傍にチャンバ
１の開口部１２を設け、前記電圧導入端子１１を挿入し
て電圧を供給するようにする。

【００５０】また、前記実施形態と同様に、第１予備電
離電極６を中空或いは中実の導体の棒で構成し、この周
囲に絶縁材料をコーティングしてコロナバー１８及び碍
子８を一体に構成してもよい。

【００５１】本実施形態によれば、両端を封止している
ので予備電離電極９の端に碍子８を配置しなくてもよく
なり、予備電離電極の長手方向の寸法をさらにコンパク
トにすることができるので、エキシマレーザ装置の小型
化が可能になる。

【００５２】また、予備電離電極９の中央付近に導体１
６を突出させ、電圧の供給をここから行なうようにした
ことで、電圧の供給源から予備電離電極９の両端までの
距離が等しくなる。このため、予備電離電極９の両端に
おいて、いずれかの放電のタイミングが遅れたり、放電
が弱かったりすることが避けられるので、均一な紫外線
光を発生させることができ、予備電離を均一に行なえ
る。

【００５３】次に、図６に基づいて第４の実施形態を説
明する。本実施形態では前記実施形態と同様に予備電離
電極９のコロナバー１８の両端を絶縁材料で封止し、こ
のコロナバー１８の内部に設けた第１予備電離電極６か
ら導体１６を、コロナバー１８を貫通させて突出させて
いる。導体１６の周囲にはコロナバー１８との接合部に
隙間がないように絶縁材料からなる前記碍子８が被せら
れ、第２予備電離電極７との間での異常放電を防止して
いることは、前記実施形態と同様である。

【００５４】このとき、第１予備電離電極６と前記高電
圧極或いはアース極との接続を行なう導体１６が、コロ
ナバー１８の端に片寄っている場合には、予備電離電極
９のいずれかの端において放電のタイミングが遅れたり
放電が弱かったりすることが考えられる。この結果、紫
外線光の強度が不均一になり、予備電離が場所によって
はうまくいかない場合がある。

【００５５】本実施形態においては、これを避けるため
に同図に示すように導体１６が互いに対向しないように
予備電離電極９を配置しており、これによって紫外線光
を補うことができるので、均一な予備電離を可能として
いる。また、予備電離電極９の両端に碍子８を配置する
必要がないのでエキシマレーザ装置を小型化することが
可能になり、碍子８がチャンバ１内のレーザガスの流れ
を邪魔しないので主放電を安定に行なうことができるの
は、前記実施形態と同様である。

【００５６】以上説明したように、本発明によればコロ
ナバー１８の端または両端を絶縁材料で封止したこと
で、異常放電防止のための碍子８の個数を減らすことが
でき、予備電離電極９の構造を簡単にして装置のコスト
を低減できる。また、前記封止した側には碍子８を予備
電離電極９の長手方向に配置する必要がないので、チャ
ンバ１のレーザ光の光軸方向の寸法を小さくできる。

【００５７】さらに、電圧供給のための電圧導入端子１
１の個数を減らせるので、電圧導入のための複雑な加工
部品が減り、コスト低減が可能である。また、開口部１
２の個数も減らせるので、チャンバ１の加工に要するコ
ストを減らすことができるとともに、前述したように異
常放電などのエキシマレーザ装置の信頼性を低下させる
問題が起きる可能性を減らすことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係わる予備電離電極の
構成図。

【図２】封止の一例を示す説明図。

【図３】予備電離電極の配置を示す説明図。

【図４】第２実施形態に係わる予備電離電極の構成図。

【図５】第３実施形態に係わる予備電離電極の構成図。

【図６】第４実施形態に係わる予備電離電極の構成図。

【図７】従来の予備電離電極の構成図

【図８】従来の予備電離電極の異常放電の説明図

【図９】異常放電を防ぐための従来技術の説明図

【図１０】従来の予備電離電極における電圧供給の説明
図

【符号の説明】

１ チャンバ ２ アノード ３ カソード ４ パルス電圧源 ５ チューブ ６ 第１予備電離電極 ７ 第２予備電離電極 ８ 碍子 ９ 予備電離電極 １０ 溝 １１ 電圧導入端子 １２ 開口部 １３ Ｏリング １４ 碍子 １５ ロッド １６ 導体 １８ コロナバー １９ 蓋

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 中空の絶縁材料のチューブで形成され、 その内部に設けられる第１予備電離電極(6) と外周部に
   設けられる第２予備電離電極(7) との間に電圧を印加し
   てコロナ放電を起こさせるコロナバー(18)において、 前記チューブの一端を絶縁材料で封止したことを特徴と
   するコロナバー(18)。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のコロナバー(18)におい
   て、 前記封止した端部と反対側の端部に、異常放電防止のた
   めに絶縁材料からなる碍子(8) を備えていることを特徴
   とするコロナバー(18)。
3. 【請求項３】 中空の絶縁材料のチューブで形成さ
   れ、 その内部に設けられる第１予備電離電極(6) と外周部に
   設けられる第２予備電離電極(7) との間に電圧を印加し
   てコロナ放電を起こさせるコロナバー(18)において、 前記チューブの両端を絶縁材料で封止したことを特徴と
   するコロナバー(18)。
4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかに記載のコロナ
   バー(18)において、 コロナバー(18)と同じ絶縁材料で前記封止を行なってい
   ることを特徴とするコロナバー(18)。
5. 【請求項５】 中空の絶縁材料のチューブで形成された
   コロナバー(18)と、 その内部に設けられた第１予備電離電極(6) と、 外周部に設けられた第２予備電離電極(7) とを備え、 前記第１予備電離電極(6) と第２予備電離電極(7) との
   間に電圧を印加してコロナ放電を起こしてレーザガスに
   予備電離を起こさせるエキシマレーザ用の予備電離電極
   (9) において、 前記コロナバー(18)が、請求項１〜４のいずれかに記載
   のコロナバー(18)であることを特徴とする予備電離電極
   (9) 。
6. 【請求項６】 中空の絶縁材料のチューブで形成された
   コロナバー(18)と、 その内部に設けられた第１予備電離電極(6) と、 外周部に設けられた第２予備電離電極(7) とを備え、 前記第１予備電離電極(6) と第２予備電離電極(7) との
   間に電圧を印加してコロナ放電を起こしてレーザガスに
   予備電離を起こさせるエキシマレーザ用の予備電離電極
   (9) において、 前記コロナバー(18)が、請求項３に記載のコロナバー(1
   8)であって、 前記コロナバー(18)の中央付近で前記第１予備電離電極
   (6) から導体(16)を突出させ、この導体(16)と高電圧を
   印加又は導体(16)を接地するためのパルス電圧源(4) と
   を電気的に接続していることを特徴とする予備電離電極
   (9) 。
7. 【請求項７】 中空の絶縁材料のチューブで形成された
   コロナバー(18)と、 その内部に設けられた第１予備電離電極(6) と、 外周部に設けられた第２予備電離電極(7) とを備え、 前記第１予備電離電極(6) と第２予備電離電極(7) との
   間に電圧を印加してコロナ放電を起こしてレーザガスに
   予備電離を起こさせるエキシマレーザ用の予備電離電極
   (9) において、 前記コロナバー(18)が、請求項３に記載のコロナバー(1
   8)であって、 複数個の前記コロナバー(18)と、 各コロナバー(18)の中央部から長手方向に離れた場所で
   突出した導体(16)をそれぞれ有し、かつ各導体(16)に高
   電圧を印加又は導体(16)を接地するためのパルス電圧源
   (4) が電気的に接続される複数の前記第１予備電離電極
   (6) とを備えるとともに、 前記複数のコロナバー(18)を、前記各導体(16)が互いに
   対向しないように、かつ長手方向に向かい合って配置し
   ていることを特徴とする予備電離電極(9) 。
8. 【請求項８】 中空の絶縁材料のチューブで形成された
   コロナバー(18)と、 その内部に設けられた第１予備電離電極(6) と、 外周部に設けられた第２予備電離電極(7) とを備え、 前記第１予備電離電極(6) と第２予備電離電極(7) との
   間に電圧を印加してコロナ放電を起こしてレーザガスに
   予備電離を起こさせるエキシマレーザ用の予備電離電極
   (9) において、 前記コロナバー(18)が請求項１又は２に記載のコロナバ
   ーであって、 このコロナバー(18)を複数個備え、 それぞれのコロナバー(18)が、前記封止した端部が互い
   に対向しないように、かつ長手方向に向かい合って配置
   されたことを特徴とする予備電離電極(9) 。
9. 【請求項９】 中空の絶縁材料のチューブで形成された
   コロナバー(18)と、 その内部に設けられた第１予備電離電極(6) と、 外周部に設けられた第２予備電離電極(7) とからなる予
   備電離電極(9) を備え、 前記第１予備電離電極(6) と第２予備電離電極(7) との
   間に電圧を印加してコロナ放電を起こしてレーザガスに
   予備電離を起こさせるエキシマレーザ装置において、 前記予備電離電極(9) が、請求項５〜８のいずれかに記
   載の予備電離電極(9)であることを特徴とするエキシマ
   レーザ装置。