JPH1117092A - リードフレームの製造方法 - Google Patents
リードフレームの製造方法Info
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- JPH1117092A JPH1117092A JP9169142A JP16914297A JPH1117092A JP H1117092 A JPH1117092 A JP H1117092A JP 9169142 A JP9169142 A JP 9169142A JP 16914297 A JP16914297 A JP 16914297A JP H1117092 A JPH1117092 A JP H1117092A
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/02—Local etching
Landscapes
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】リードの長さの短縮、リード先端部の両隅の円
形化などを確実に防ぐこと。 【解決手段】エッチングを行う前のエッチングレジスト
のパターンとして、リード先端部を形成するパターンに
おいては、リード先端部のレジストパターン１３とその
両隅に略角型状レジストパターン１４を延長して設け、
リード先端部とアイランド部との間には、アイランド部
側は直線状で、リード先端部側は各々リード先端部に対
向する略台形の突出状であるバリアレジストパターン１
５を設ける。
形化などを確実に防ぐこと。 【解決手段】エッチングを行う前のエッチングレジスト
のパターンとして、リード先端部を形成するパターンに
おいては、リード先端部のレジストパターン１３とその
両隅に略角型状レジストパターン１４を延長して設け、
リード先端部とアイランド部との間には、アイランド部
側は直線状で、リード先端部側は各々リード先端部に対
向する略台形の突出状であるバリアレジストパターン１
５を設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、金属薄板を用いた
リードフレームの製造方法に関するものであり、特に薄
手の金属薄板を用いて多ピンのリードフレームを製造す
る方法に関する。
リードフレームの製造方法に関するものであり、特に薄
手の金属薄板を用いて多ピンのリードフレームを製造す
る方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、フォトエッチング法により金属
薄板からなるリードフレームを製造する際には、リード
の長さの短縮、リード先端部の両隅の円形化などを防ぐ
ために、エッチングを行う前のエッチングレジストのパ
ターンとして、リード先端部を形成するパターンにおい
ては、リード先端部パターンとその両隅に略三角型状パ
ターンを延長して設けたり、またリード先端部とアイラ
ンド部の間には、周囲が直線状の細長い矩形状バリアパ
ターンを設けたりしていた。
薄板からなるリードフレームを製造する際には、リード
の長さの短縮、リード先端部の両隅の円形化などを防ぐ
ために、エッチングを行う前のエッチングレジストのパ
ターンとして、リード先端部を形成するパターンにおい
ては、リード先端部パターンとその両隅に略三角型状パ
ターンを延長して設けたり、またリード先端部とアイラ
ンド部の間には、周囲が直線状の細長い矩形状バリアパ
ターンを設けたりしていた。
【０００３】具体的には、図４（ａ）は従来法における
一例の、エッチングを行う前のエッチングレジストのパ
ターンを拡大して説明する平面図であり、アイランド部
のレジストパターン（１２）、リード先端部のレジスト
パターン（１３）、リード先端部パターンの略三角型状
パターン（２４）、バリアレジストパターン（２５）の
一部分を示したものである。
一例の、エッチングを行う前のエッチングレジストのパ
ターンを拡大して説明する平面図であり、アイランド部
のレジストパターン（１２）、リード先端部のレジスト
パターン（１３）、リード先端部パターンの略三角型状
パターン（２４）、バリアレジストパターン（２５）の
一部分を示したものである。
【０００４】図４（ａ）に示すように、エッチングを行
う前のエッチングレジストのパターンとして、リード先
端部を形成するパターンにおいては、リード先端部のレ
ジストパターン（１３）とその両隅に略三角型状レジス
トパターン（２４）を延長して設けてある。図４（ｂ）
は従来法における一例の、エッチング後のアイランド部
（２２）とリード先端部（２３）の一部分を拡大して示
したものであるが、リードフレームとなる金属薄板とし
て、例えば板厚約０．１２５ｍｍの銅板においては、図
４（ｂ）において、エッチング後のリード先端部の幅
（Ａ）の、例えば約０．１０ｍｍ，スリットの幅（Ｂ）
の約０．１０ｍｍ程度に対し、エッチングを行う前のリ
ード先端部のレジストパターン（１３）の幅（Ａ’）
は、図４（ａ）に示すように、約０．１５ｍｍ程度であ
り，スリットの幅（Ｂ’）は約０．０５ｍｍ程度とな
る。また、図４（ａ）において、リード先端部のレジス
トパターンの両隅にある略三角型状レジストパターン
（２４）の高さは約０．０４ｍｍ程度である。図４にお
いて、Ｃはリードのピッチ、Ｃ’はリード先端部のレジ
ストパターンのピッチを示している。
う前のエッチングレジストのパターンとして、リード先
端部を形成するパターンにおいては、リード先端部のレ
ジストパターン（１３）とその両隅に略三角型状レジス
トパターン（２４）を延長して設けてある。図４（ｂ）
は従来法における一例の、エッチング後のアイランド部
（２２）とリード先端部（２３）の一部分を拡大して示
したものであるが、リードフレームとなる金属薄板とし
て、例えば板厚約０．１２５ｍｍの銅板においては、図
４（ｂ）において、エッチング後のリード先端部の幅
（Ａ）の、例えば約０．１０ｍｍ，スリットの幅（Ｂ）
の約０．１０ｍｍ程度に対し、エッチングを行う前のリ
ード先端部のレジストパターン（１３）の幅（Ａ’）
は、図４（ａ）に示すように、約０．１５ｍｍ程度であ
り，スリットの幅（Ｂ’）は約０．０５ｍｍ程度とな
る。また、図４（ａ）において、リード先端部のレジス
トパターンの両隅にある略三角型状レジストパターン
（２４）の高さは約０．０４ｍｍ程度である。図４にお
いて、Ｃはリードのピッチ、Ｃ’はリード先端部のレジ
ストパターンのピッチを示している。
【０００５】また、図４（ａ）に示すように、エッチン
グを行う前のエッチングレジストのパターンとして、リ
ード先端部のレジストパターン（１３）とアイランド部
のレジストパターン（１２）の間においては、バリアレ
ジストパターン（２５）が設けられている。このバリア
レジストパターン（２５）はアイランド部側、リード先
端部側共に直線状で細長い矩形である。前記のように、
例えば板厚約０．１２５ｍｍの銅板においては、図４
（ａ）において、リード先端部のレジストパターン（１
３）とアイランド部のレジストパターン（１２）の間の
距離（Ｌ’）が、例えば約０．３０ｍｍ程度の際には、
アイランド部のレジストパターン（１２）とバリアレジ
ストパターン（２５）の間の距離（Ｉ’）は約０．１０
ｍｍ程度、バリアレジストパターン（２５）とリード先
端部のレジストパターン（１３）の間の距離（Ｇ’）は
約０．１０ｍｍ程度であり、バリアレジストパターン
（２５）の幅（Ｈ’）は約０．１０ｍｍ程度となる。
グを行う前のエッチングレジストのパターンとして、リ
ード先端部のレジストパターン（１３）とアイランド部
のレジストパターン（１２）の間においては、バリアレ
ジストパターン（２５）が設けられている。このバリア
レジストパターン（２５）はアイランド部側、リード先
端部側共に直線状で細長い矩形である。前記のように、
例えば板厚約０．１２５ｍｍの銅板においては、図４
（ａ）において、リード先端部のレジストパターン（１
３）とアイランド部のレジストパターン（１２）の間の
距離（Ｌ’）が、例えば約０．３０ｍｍ程度の際には、
アイランド部のレジストパターン（１２）とバリアレジ
ストパターン（２５）の間の距離（Ｉ’）は約０．１０
ｍｍ程度、バリアレジストパターン（２５）とリード先
端部のレジストパターン（１３）の間の距離（Ｇ’）は
約０．１０ｍｍ程度であり、バリアレジストパターン
（２５）の幅（Ｈ’）は約０．１０ｍｍ程度となる。
【０００６】しかし、図４（ｂ）に示すように、エッチ
ング後に得られるリードフレームのアイランド部（２
２）とリード先端部（２３）の間の距離（Ｌ）は約０．
４５ｍｍ程度で、リード先端部（２３）の短縮量
（Ｌ’’）は約０．１２５ｍｍ程度となっている。ま
た、図４（ｂ）に示すように、リード先端部（２３）の
両隅は円形化している。
ング後に得られるリードフレームのアイランド部（２
２）とリード先端部（２３）の間の距離（Ｌ）は約０．
４５ｍｍ程度で、リード先端部（２３）の短縮量
（Ｌ’’）は約０．１２５ｍｍ程度となっている。ま
た、図４（ｂ）に示すように、リード先端部（２３）の
両隅は円形化している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、このよ
うな三角型の角状パターンの延長及び周囲が直線状の細
長い矩形状バリアパターンを設けることによっては、リ
ードの長さの短縮、リード先端部の両隅の円形化などを
防ぐことが十分に行われていないため、リードフレーム
を使用する際のワイヤボンデイング工程においてボンデ
イング不良などの支障をきたすことがある。本発明は、
このようなリードの長さの短縮、リード先端部の両隅の
円形化などを防ぐことを確実に行い、ボンデイング不良
などの支障をきたすことのないリードフレームを製造す
る方法を提供するものである。
うな三角型の角状パターンの延長及び周囲が直線状の細
長い矩形状バリアパターンを設けることによっては、リ
ードの長さの短縮、リード先端部の両隅の円形化などを
防ぐことが十分に行われていないため、リードフレーム
を使用する際のワイヤボンデイング工程においてボンデ
イング不良などの支障をきたすことがある。本発明は、
このようなリードの長さの短縮、リード先端部の両隅の
円形化などを防ぐことを確実に行い、ボンデイング不良
などの支障をきたすことのないリードフレームを製造す
る方法を提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、フォトエッチ
ング法により金属薄板からなるリードフレームを製造す
る方法において、エッチングを行う前のエッチングレジ
ストのパターンとして、リード先端部を形成するパター
ンにおいては、リード先端部パターンとその両隅に略角
型状パターンを延長して設け、リード先端部とアイラン
ド部との間には、アイランド部側は直線状で、リード先
端部側は各々リード先端部に対向する略台形の突出状で
あるバリアレジストパターンを、バリアレジストパター
ンとリード先端部パターンとの距離を金属薄板の厚みの
３０〜５５％として設けて、エッチングを行うことを特
徴とするリードフレームの製造方法である。
ング法により金属薄板からなるリードフレームを製造す
る方法において、エッチングを行う前のエッチングレジ
ストのパターンとして、リード先端部を形成するパター
ンにおいては、リード先端部パターンとその両隅に略角
型状パターンを延長して設け、リード先端部とアイラン
ド部との間には、アイランド部側は直線状で、リード先
端部側は各々リード先端部に対向する略台形の突出状で
あるバリアレジストパターンを、バリアレジストパター
ンとリード先端部パターンとの距離を金属薄板の厚みの
３０〜５５％として設けて、エッチングを行うことを特
徴とするリードフレームの製造方法である。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の製造方法を一実施形態に
基づいて以下に説明する。図１は、本発明によるリード
フレーム（１）の製造の一実施例を示す平面図である。
図１において、中央部にはアイランド部（２）があり、
その周辺にはリード先端部（３）が配置されている。図
２は、図１のアイランド部とリード先端部の一部分を拡
大して示す平面図である。
基づいて以下に説明する。図１は、本発明によるリード
フレーム（１）の製造の一実施例を示す平面図である。
図１において、中央部にはアイランド部（２）があり、
その周辺にはリード先端部（３）が配置されている。図
２は、図１のアイランド部とリード先端部の一部分を拡
大して示す平面図である。
【００１０】図３（ａ）は、本発明によるリードフレー
ム（１）のエッチングを行う前のエッチングレジストの
パターンを拡大して説明する平面図であり、アイランド
部のレジストパターン（１２）、リード先端部のレジス
トパターン（１３）、略角型状レジストパターン（１
４）、バリアレジストパターン（１５）の一部分を示し
たものである。図３（ｂ）は、本発明によるリードフレ
ーム（１）のエッチング後のアイランド部（２）とリー
ド先端部（３）の一部分を拡大して示したものである
が、リードフレームとなる金属薄板として、例えば板厚
約０．１２５ｍｍの銅板においては、図３（ｂ）におい
て、エッチング後のリード先端部の幅（ａ）は、例えば
約０．１０ｍｍ，スリットの幅（ｂ）は約０．１０ｍｍ
程度であり、また、リードのピッチ（ｃ）は約０．２０
ｍｍ程度で、アイランド部（２）とリード先端部（３）
の間の距離（ｌ）は約０．３５ｍｍ程度のものである。
ム（１）のエッチングを行う前のエッチングレジストの
パターンを拡大して説明する平面図であり、アイランド
部のレジストパターン（１２）、リード先端部のレジス
トパターン（１３）、略角型状レジストパターン（１
４）、バリアレジストパターン（１５）の一部分を示し
たものである。図３（ｂ）は、本発明によるリードフレ
ーム（１）のエッチング後のアイランド部（２）とリー
ド先端部（３）の一部分を拡大して示したものである
が、リードフレームとなる金属薄板として、例えば板厚
約０．１２５ｍｍの銅板においては、図３（ｂ）におい
て、エッチング後のリード先端部の幅（ａ）は、例えば
約０．１０ｍｍ，スリットの幅（ｂ）は約０．１０ｍｍ
程度であり、また、リードのピッチ（ｃ）は約０．２０
ｍｍ程度で、アイランド部（２）とリード先端部（３）
の間の距離（ｌ）は約０．３５ｍｍ程度のものである。
【００１１】図３（ａ）に示すように、エッチングを行
う前のエッチングレジストのパターンとして、リード先
端部を形成するパターンにおいては、リード先端部のレ
ジストパターン（１３）とその両隅に略角型状レジスト
パターン（１４）を延長して設けてある。リードフレー
ムとなる金属薄板として、例えば板厚約０．１２５ｍｍ
の銅板においては、図３（ｂ）において、前記エッチン
グ後のリード先端部の幅（ａ）の、例えば約０．１０ｍ
ｍ，スリットの幅（ｂ）の約０．１０ｍｍ程度に対し、
エッチングを行う前のリード先端部のレジストパターン
（１３）の幅（ａ’）は、図３（ａ）に示すように、約
０．１５ｍｍ程度であり，エッチングを行う前のスリッ
トの幅（ｂ’）は約０．０５ｍｍ程度となる。また、
（ｃ’）はリード先端部のレジストパターンのピッチを
示している。
う前のエッチングレジストのパターンとして、リード先
端部を形成するパターンにおいては、リード先端部のレ
ジストパターン（１３）とその両隅に略角型状レジスト
パターン（１４）を延長して設けてある。リードフレー
ムとなる金属薄板として、例えば板厚約０．１２５ｍｍ
の銅板においては、図３（ｂ）において、前記エッチン
グ後のリード先端部の幅（ａ）の、例えば約０．１０ｍ
ｍ，スリットの幅（ｂ）の約０．１０ｍｍ程度に対し、
エッチングを行う前のリード先端部のレジストパターン
（１３）の幅（ａ’）は、図３（ａ）に示すように、約
０．１５ｍｍ程度であり，エッチングを行う前のスリッ
トの幅（ｂ’）は約０．０５ｍｍ程度となる。また、
（ｃ’）はリード先端部のレジストパターンのピッチを
示している。
【００１２】このエッチング前後の、例えばリード先端
部のレジストパターンの幅（ａ’）の約０．１５ｍｍと
リード先端部の幅（ａ）の約０．１０ｍｍとの差の約
０．０５ｍｍは、フォトエッチング法により金属薄板を
加工する際に、サイドエッチとして金属薄板の側面がエ
ッチングされてしまう量を予めレジストパターンにおい
て補正したものである。また、図３（ａ）において、リ
ード先端部のレジストパターンの両隅にある略角型状レ
ジストパターン（１４）の高さは約０．０４ｍｍ程度で
ある。
部のレジストパターンの幅（ａ’）の約０．１５ｍｍと
リード先端部の幅（ａ）の約０．１０ｍｍとの差の約
０．０５ｍｍは、フォトエッチング法により金属薄板を
加工する際に、サイドエッチとして金属薄板の側面がエ
ッチングされてしまう量を予めレジストパターンにおい
て補正したものである。また、図３（ａ）において、リ
ード先端部のレジストパターンの両隅にある略角型状レ
ジストパターン（１４）の高さは約０．０４ｍｍ程度で
ある。
【００１３】また、図３（ａ）に示すように、エッチン
グを行う前のエッチングレジストのパターンとして、リ
ード先端部のレジストパターン（１３）とアイランド部
のレジストパターン（１２）の間においては、バリアレ
ジストパターン（１５）が設けられている。このバリア
レジストパターン（１５）はアイランド部側は直線状で
あり、リード先端部側は各々リード先端部に対向する略
台形の突出状となっている。
グを行う前のエッチングレジストのパターンとして、リ
ード先端部のレジストパターン（１３）とアイランド部
のレジストパターン（１２）の間においては、バリアレ
ジストパターン（１５）が設けられている。このバリア
レジストパターン（１５）はアイランド部側は直線状で
あり、リード先端部側は各々リード先端部に対向する略
台形の突出状となっている。
【００１４】前記のように、例えば板厚約０．１２５ｍ
ｍの銅板においては、図３（ｂ）において、アイランド
部（２）とリード先端部（３）の間の距離（ｌ）が例え
ば約０．３５ｍｍ程度の際には、図３（ａ）において、
リード先端部のレジストパターン（１３）とアイランド
部のレジストパターン（１２）の間の距離（ｌ’）は約
０．３０ｍｍ程度である。また、アイランド部のレジス
トパターン（１２）とバリアレジストパターン（１５）
の間の距離（ｉ’）は約０．１０ｍｍ程度、バリアレジ
ストパターン（１５）とリード先端部のレジストパター
ン（１３）の間の距離（ｇ’）は約０．１０ｍｍ程度で
あり、バリアレジストパターン（１５）の幅（ｈ’）は
約０．１０ｍｍ程度となる。また、リード先端部のレジ
ストパターン（１３）と略台形レジストパターン（１
６）の間の距離（ｅ）及び略台形レジストパターン（１
６）の高さ（ｆ）は、各々約０．０５ｍｍ程度であり、
略台形レジストパターン（１６）の底辺（ｋ）及び上辺
（ｊ）は各々約０．０８ｍｍ、約０．０５ｍｍ程度であ
る。
ｍの銅板においては、図３（ｂ）において、アイランド
部（２）とリード先端部（３）の間の距離（ｌ）が例え
ば約０．３５ｍｍ程度の際には、図３（ａ）において、
リード先端部のレジストパターン（１３）とアイランド
部のレジストパターン（１２）の間の距離（ｌ’）は約
０．３０ｍｍ程度である。また、アイランド部のレジス
トパターン（１２）とバリアレジストパターン（１５）
の間の距離（ｉ’）は約０．１０ｍｍ程度、バリアレジ
ストパターン（１５）とリード先端部のレジストパター
ン（１３）の間の距離（ｇ’）は約０．１０ｍｍ程度で
あり、バリアレジストパターン（１５）の幅（ｈ’）は
約０．１０ｍｍ程度となる。また、リード先端部のレジ
ストパターン（１３）と略台形レジストパターン（１
６）の間の距離（ｅ）及び略台形レジストパターン（１
６）の高さ（ｆ）は、各々約０．０５ｍｍ程度であり、
略台形レジストパターン（１６）の底辺（ｋ）及び上辺
（ｊ）は各々約０．０８ｍｍ、約０．０５ｍｍ程度であ
る。
【００１５】図５（イ）〜（ヘ）は、本発明におけるリ
ードフレーム（１）の製造工程の一実施例を示すＸ−
Ｘ’断面で表した説明図である。図５（イ）において、
リードフレーム（１）となる板状の金属薄板（４）とし
て、例えば、板厚約０．１２５ｍｍ、大きさ約５０×５
０ｃｍの銅板を用いる。
ードフレーム（１）の製造工程の一実施例を示すＸ−
Ｘ’断面で表した説明図である。図５（イ）において、
リードフレーム（１）となる板状の金属薄板（４）とし
て、例えば、板厚約０．１２５ｍｍ、大きさ約５０×５
０ｃｍの銅板を用いる。
【００１６】図５（ロ）に示すように、金属薄板（４）
上にフォトレジスト層（５）を形成する。次に、所定の
パターンを有する露光用マスク、例えば、リードフレー
ムのパターンとなる部位を光透過部とし、リードフレー
ムのパターン部位以外を遮光部とした、ほぼ同一の一対
の露光用マスク（６）、（６’）を用い、図５（ハ）に
示すように、金属薄板（４）の一方の面に一枚の露光用
マスク（６）を当て、金属薄板（４）の他方の面にもう
一枚の露光用マスク（６’）を当てる。次に、両面より
紫外線による光照射（３０）を行うことで、リードフレ
ームのパターンとなる部位のフォトレジスト層を光硬化
させる。次に、現像を行うことにより、未露光部のフォ
トレジスト層の除去を行い、図５（ニ）に示すようにリ
ードフレームのパターンとなる部位以外の金属を露出さ
せたエッチングレジスト層（７）、（７’）を得る。
上にフォトレジスト層（５）を形成する。次に、所定の
パターンを有する露光用マスク、例えば、リードフレー
ムのパターンとなる部位を光透過部とし、リードフレー
ムのパターン部位以外を遮光部とした、ほぼ同一の一対
の露光用マスク（６）、（６’）を用い、図５（ハ）に
示すように、金属薄板（４）の一方の面に一枚の露光用
マスク（６）を当て、金属薄板（４）の他方の面にもう
一枚の露光用マスク（６’）を当てる。次に、両面より
紫外線による光照射（３０）を行うことで、リードフレ
ームのパターンとなる部位のフォトレジスト層を光硬化
させる。次に、現像を行うことにより、未露光部のフォ
トレジスト層の除去を行い、図５（ニ）に示すようにリ
ードフレームのパターンとなる部位以外の金属を露出さ
せたエッチングレジスト層（７）、（７’）を得る。
【００１７】次に、エッチング液（４０）を金属薄板の
表裏両面に接触させエッチングを行う。露出した金属薄
板部位、すなわちリードフレームのパターンとなる部位
以外の金属薄板が選択的に溶解除去され、またバリアレ
ジストパターン（１５）部の金属薄板はアイランド部
（２）及びリード先端部（３）から溶解分離され、図５
（ホ）のような金属薄板を得る。なお、エッチングは強
酸性のエッチング液、例えば、塩化第二鉄液を用い、ス
プレーエッチング法を採用する。次に、金属薄板を水洗
洗浄後、エッチングレジスト層（７）、（７’）の剥膜
を行い水洗乾燥し、図５（ヘ）示すリードフレーム
（１）を得るものである。
表裏両面に接触させエッチングを行う。露出した金属薄
板部位、すなわちリードフレームのパターンとなる部位
以外の金属薄板が選択的に溶解除去され、またバリアレ
ジストパターン（１５）部の金属薄板はアイランド部
（２）及びリード先端部（３）から溶解分離され、図５
（ホ）のような金属薄板を得る。なお、エッチングは強
酸性のエッチング液、例えば、塩化第二鉄液を用い、ス
プレーエッチング法を採用する。次に、金属薄板を水洗
洗浄後、エッチングレジスト層（７）、（７’）の剥膜
を行い水洗乾燥し、図５（ヘ）示すリードフレーム
（１）を得るものである。
【００１８】このようにして得られたリードフレーム
は、図３（ｂ）に示すように、リード先端部（３）の短
縮量（ｌ’’）は約０．０２５ｍｍ程度と非常に少なく
なっている。これは前記フォトエッチング法により金属
薄板を加工する際に、サイドエッチとして金属薄板の側
面がエッチングされてしまう量、例えばリード先端部の
レジストパターンの幅（ａ’）の約０．１５ｍｍとリー
ド先端部の幅（ａ）の約０．１０ｍｍとの差の約０．０
５ｍｍの片側分約０．０２５ｍｍと同程度の量である。
また、このようにして得られたリードフレームは、図３
（ｂ）に示すように、リード先端部（３）の両隅は円形
化していない。
は、図３（ｂ）に示すように、リード先端部（３）の短
縮量（ｌ’’）は約０．０２５ｍｍ程度と非常に少なく
なっている。これは前記フォトエッチング法により金属
薄板を加工する際に、サイドエッチとして金属薄板の側
面がエッチングされてしまう量、例えばリード先端部の
レジストパターンの幅（ａ’）の約０．１５ｍｍとリー
ド先端部の幅（ａ）の約０．１０ｍｍとの差の約０．０
５ｍｍの片側分約０．０２５ｍｍと同程度の量である。
また、このようにして得られたリードフレームは、図３
（ｂ）に示すように、リード先端部（３）の両隅は円形
化していない。
【００１９】
【発明の効果】本発明においては、エッチングを行う前
のエッチングレジストのパターンとして、リード先端部
を形成するパターンにおいては、リード先端部パターン
とその両隅に略角型状パターンを延長して設け、リード
先端部とアイランド部との間には、アイランド部側は直
線状で、リード先端部側は各々リード先端部に対向する
略台形の突出状であるバリアパターンを設けてあるの
で、リード先端部の短縮量は非常に少なくなっている。
また、リード先端部の両隅は円形化していないものが得
られる。
のエッチングレジストのパターンとして、リード先端部
を形成するパターンにおいては、リード先端部パターン
とその両隅に略角型状パターンを延長して設け、リード
先端部とアイランド部との間には、アイランド部側は直
線状で、リード先端部側は各々リード先端部に対向する
略台形の突出状であるバリアパターンを設けてあるの
で、リード先端部の短縮量は非常に少なくなっている。
また、リード先端部の両隅は円形化していないものが得
られる。
【図１】本発明によるリードフレームの製造の一実施例
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図２】図１のアイランド部とリード先端部の一部分を
拡大して示す平面図である。
拡大して示す平面図である。
【図３】（ａ）は、本発明によるリードフレームのエッ
チングを行う前のエッチングレジストのパターンを拡大
して説明する平面図である。（ｂ）は、本発明によるリ
ードフレームのエッチング後のアイランド部とリード先
端部の一部分を拡大して示した平面図である。
チングを行う前のエッチングレジストのパターンを拡大
して説明する平面図である。（ｂ）は、本発明によるリ
ードフレームのエッチング後のアイランド部とリード先
端部の一部分を拡大して示した平面図である。
【図４】（ａ）は従来法における一例の、エッチングを
行う前のエッチングレジストのパターンを拡大して説明
する平面図である。（ｂ）は従来法における一例の、エ
ッチング後のアイランド部とリード先端部の一部分を拡
大して示した平面図である。
行う前のエッチングレジストのパターンを拡大して説明
する平面図である。（ｂ）は従来法における一例の、エ
ッチング後のアイランド部とリード先端部の一部分を拡
大して示した平面図である。
【図５】（イ）〜（ヘ）は、本発明におけるリードフレ
ームの製造工程の一実施例を示すＸ−Ｘ’断面で表した
説明図である。
ームの製造工程の一実施例を示すＸ−Ｘ’断面で表した
説明図である。
１…リードフレーム ２…アイランド部 ３…リード先端部 ４…金属薄板 ５…フォトレジスト層 ６…表面露光用マスク ６’…裏面露光用マスク ７…表面エッチングレジスト層 ７’…裏面エッチングレジスト層 １２…アイランド部のレジストパターン １３…リード先端部のレジストパターン １４…略角型状レジストパターン １５…バリアレジストパターン １６…略台形レジストパターン ２２…従来法におけるアイランド部 ２３…従来法におけるリード先端部 ２４…略三角型状レジストパターン ２５…従来法におけるバリアレジストパターン ３０…ＵＶ照射 ４０…エッチング液 ａ…リード先端部の幅 ｂ…スリットの幅 ｃ…リードのピッチ ａ’…リード先端部のレジストパターンの幅 ｂ’…エッチングを行う前のスリットの幅 ｃ’…リード先端部のレジストパターンのピッチ Ａ…従来法におけるリード先端部の幅 Ｂ…従来法におけるスリットの幅 Ｃ…従来法におけるリードのピッチ Ａ’…従来法におけるリード先端部のレジストパターン
の幅 Ｂ’…従来法におけるエッチングを行う前のスリットの
幅 Ｃ’…従来法におけるリード先端部のレジストパターン
のピッチ ｌ…アイランド部とリード先端部の間の距離 ｌ’…リード先端部のレジストパターンとアイランド部
のレジストパターンの間の距離 ｌ’’…リード先端部の短縮量 Ｌ…従来法におけるアイランド部とリード先端部の間の
距離 Ｌ’…従来法におけるリード先端部のレジストパターン
とアイランド部のレジストパターンの間の距離 Ｌ’’…従来法におけるリード先端部の短縮量 ｅ…リード先端部のレジストパターンと略台形レジスト
パターンの間の距離 ｆ…略台形レジストパターンの高さ ｊ…略台形レジストパターンの上辺 ｋ…略台形レジストパターンの底辺 ｉ’…アイランド部のレジストパターンとバリアレジス
トパターンの間の距離 ｈ’…バリアレジストパターンの幅 ｇ’…バリアレジストパターンとリード先端部のレジス
トパターンの間の距離 Ｉ’…従来法におけるアイランド部のレジストパターン
とバリアレジストパターンの間の距離 Ｈ’…従来法におけるバリアレジストパターンの幅 Ｇ’…従来法におけるバリアレジストパターンとリード
先端部のレジストパターンの間の距離
の幅 Ｂ’…従来法におけるエッチングを行う前のスリットの
幅 Ｃ’…従来法におけるリード先端部のレジストパターン
のピッチ ｌ…アイランド部とリード先端部の間の距離 ｌ’…リード先端部のレジストパターンとアイランド部
のレジストパターンの間の距離 ｌ’’…リード先端部の短縮量 Ｌ…従来法におけるアイランド部とリード先端部の間の
距離 Ｌ’…従来法におけるリード先端部のレジストパターン
とアイランド部のレジストパターンの間の距離 Ｌ’’…従来法におけるリード先端部の短縮量 ｅ…リード先端部のレジストパターンと略台形レジスト
パターンの間の距離 ｆ…略台形レジストパターンの高さ ｊ…略台形レジストパターンの上辺 ｋ…略台形レジストパターンの底辺 ｉ’…アイランド部のレジストパターンとバリアレジス
トパターンの間の距離 ｈ’…バリアレジストパターンの幅 ｇ’…バリアレジストパターンとリード先端部のレジス
トパターンの間の距離 Ｉ’…従来法におけるアイランド部のレジストパターン
とバリアレジストパターンの間の距離 Ｈ’…従来法におけるバリアレジストパターンの幅 Ｇ’…従来法におけるバリアレジストパターンとリード
先端部のレジストパターンの間の距離
Claims (1)
- 【請求項１】フォトエッチング法により金属薄板からな
るリードフレームを製造する方法において、エッチング
を行う前のエッチングレジストのパターンとして、リー
ド先端部を形成するパターンにおいては、リード先端部
パターンとその両隅に略角型状パターンを延長して設
け、リード先端部とアイランド部との間には、アイラン
ド部側は直線状で、リード先端部側は各々リード先端部
に対向する略台形の突出状であるバリアレジストパター
ンを、バリアレジストパターンとリード先端部パターン
との距離を金属薄板の厚みの３０〜５５％として設け
て、エッチングを行うことを特徴とするリードフレーム
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16914297A JP3899598B2 (ja) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | リードフレームの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16914297A JP3899598B2 (ja) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | リードフレームの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1117092A true JPH1117092A (ja) | 1999-01-22 |
| JP3899598B2 JP3899598B2 (ja) | 2007-03-28 |
Family
ID=15881073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16914297A Expired - Fee Related JP3899598B2 (ja) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | リードフレームの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3899598B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007224369A (ja) * | 2006-02-23 | 2007-09-06 | Denso Corp | アルマイト処理方法及び処理装置ならびにアルマイト処理システム |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5034476A (ja) * | 1973-07-30 | 1975-04-02 | ||
| JPS6218059A (ja) * | 1985-07-17 | 1987-01-27 | Hitachi Cable Ltd | リ−ドフレ−ムの製造方法 |
| JPH04321262A (ja) * | 1991-04-20 | 1992-11-11 | Toppan Printing Co Ltd | エッチング方法 |
| JPH09148503A (ja) * | 1995-11-20 | 1997-06-06 | Toppan Printing Co Ltd | リードフレームの製造方法 |
-
1997
- 1997-06-25 JP JP16914297A patent/JP3899598B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5034476A (ja) * | 1973-07-30 | 1975-04-02 | ||
| JPS6218059A (ja) * | 1985-07-17 | 1987-01-27 | Hitachi Cable Ltd | リ−ドフレ−ムの製造方法 |
| JPH04321262A (ja) * | 1991-04-20 | 1992-11-11 | Toppan Printing Co Ltd | エッチング方法 |
| JPH09148503A (ja) * | 1995-11-20 | 1997-06-06 | Toppan Printing Co Ltd | リードフレームの製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007224369A (ja) * | 2006-02-23 | 2007-09-06 | Denso Corp | アルマイト処理方法及び処理装置ならびにアルマイト処理システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3899598B2 (ja) | 2007-03-28 |
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Legal Events
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