JPH1118453A - 振動型アクチュエータの駆動装置 - Google Patents
振動型アクチュエータの駆動装置Info
- Publication number
- JPH1118453A JPH1118453A JP9168697A JP16869797A JPH1118453A JP H1118453 A JPH1118453 A JP H1118453A JP 9168697 A JP9168697 A JP 9168697A JP 16869797 A JP16869797 A JP 16869797A JP H1118453 A JPH1118453 A JP H1118453A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- speed
- gain
- vibration
- output
- type actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】高速回転から低速回転まで、振動型アクチュエ
ータを応答性良くかつ振動も起こさずに制御する駆動装
置を提供する。 【解決手段】駆動対象となる負荷の速度を検出する速度
検出手段と、前記速度検出手段の出力と指令速度との差
に基づいて駆動周波数をフィードバック制御する駆動制
御手段とを有する振動型アクチュエータの駆動装置にお
いて、前記駆動制御手段は、前記速度検出手段の出力に
基づいてフィードバックゲインを変化させるためのゲイ
ン可変手段を有する（５０３、５０４）。
ータを応答性良くかつ振動も起こさずに制御する駆動装
置を提供する。 【解決手段】駆動対象となる負荷の速度を検出する速度
検出手段と、前記速度検出手段の出力と指令速度との差
に基づいて駆動周波数をフィードバック制御する駆動制
御手段とを有する振動型アクチュエータの駆動装置にお
いて、前記駆動制御手段は、前記速度検出手段の出力に
基づいてフィードバックゲインを変化させるためのゲイ
ン可変手段を有する（５０３、５０４）。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、振動波モータ安堵
の振動型アクチュエータを駆動する駆動装置に関するも
のである。
の振動型アクチュエータを駆動する駆動装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】振動波モータなどの振動型アクチュエー
タの駆動特性は、駆動周波数に対して回転数がリニアに
対応していないので、回転数が高い方での振動防止のた
めに、フィードバック系の誤差ゲインを小さくしてい
た。
タの駆動特性は、駆動周波数に対して回転数がリニアに
対応していないので、回転数が高い方での振動防止のた
めに、フィードバック系の誤差ゲインを小さくしてい
た。
【０００３】ところで、ＤＣモータは図２のように駆動
電流Ｉに対して回転数Ｎが比例しているため、フィード
バックによる一般的なＰＩＤのサーボ系を組む場合、速
度指令に対する負荷の現在速度の速度誤差に一定のゲイ
ンをかけることでフィードバックによるサーボ系が完成
する。
電流Ｉに対して回転数Ｎが比例しているため、フィード
バックによる一般的なＰＩＤのサーボ系を組む場合、速
度指令に対する負荷の現在速度の速度誤差に一定のゲイ
ンをかけることでフィードバックによるサーボ系が完成
する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、振動型アクチ
ュエータ、例えば振動波モータの場合、図３に示すよう
に、駆動周波数Ｆに対して回転数Ｎが比例していない。
このため回転数Ｎが小さい場合にフィードバックの誤差
ゲインを合わせて決定すると、高速回転の場合は誤差ゲ
インが高すぎて、負荷が振動を起こしてしまうという現
象が起こる。そのため高速回転の場合に誤差ゲインを合
わせて決定すると、低速でのゲインが低すぎて応答性が
悪くなってしまう。また振動波モータの駆動特性から分
かるように、駆動周波数Ｆは高周波側で回転数Ｎが小さ
く、低周波数側で回転数Ｎが大きくなり、ある周波数以
下では急激な回転数の変化が見られるようになる。その
ため駆動周波数はなだらかな変化を示す駆動周波数領域
を用いて、振動波モータを駆動することとしている。
ュエータ、例えば振動波モータの場合、図３に示すよう
に、駆動周波数Ｆに対して回転数Ｎが比例していない。
このため回転数Ｎが小さい場合にフィードバックの誤差
ゲインを合わせて決定すると、高速回転の場合は誤差ゲ
インが高すぎて、負荷が振動を起こしてしまうという現
象が起こる。そのため高速回転の場合に誤差ゲインを合
わせて決定すると、低速でのゲインが低すぎて応答性が
悪くなってしまう。また振動波モータの駆動特性から分
かるように、駆動周波数Ｆは高周波側で回転数Ｎが小さ
く、低周波数側で回転数Ｎが大きくなり、ある周波数以
下では急激な回転数の変化が見られるようになる。その
ため駆動周波数はなだらかな変化を示す駆動周波数領域
を用いて、振動波モータを駆動することとしている。
【０００５】本出願に係る発明の目的は、振動型アクチ
ュエータの駆動制御を改善することにある。
ュエータの駆動制御を改善することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本出願に係る発明の目的
を実現する第１の構成は、駆動対象となる負荷の速度を
検出する速度検出手段と、前記速度検出手段の出力と指
令速度との差に基づいて駆動周波数をフィードバック制
御する駆動制御手段とを有する振動型アクチュエータの
駆動装置において、前記駆動制御手段は、前記速度検出
手段の出力に基づいてフィードバックゲインを変化させ
るためのゲイン可変手段を有するものである。
を実現する第１の構成は、駆動対象となる負荷の速度を
検出する速度検出手段と、前記速度検出手段の出力と指
令速度との差に基づいて駆動周波数をフィードバック制
御する駆動制御手段とを有する振動型アクチュエータの
駆動装置において、前記駆動制御手段は、前記速度検出
手段の出力に基づいてフィードバックゲインを変化させ
るためのゲイン可変手段を有するものである。
【０００７】本出願に係る発明の目的を実現する第２の
構成は、前記ゲイン可変手段は、前記速度検出手段の出
力と所定値とを比較し、その比較結果に基づいてフィー
ドハックゲインを切り換えるようにしたものである。
構成は、前記ゲイン可変手段は、前記速度検出手段の出
力と所定値とを比較し、その比較結果に基づいてフィー
ドハックゲインを切り換えるようにしたものである。
【０００８】本出願に係る発明の目的を実現する第３の
構成は、駆動対象となる負荷の速度を検出する速度検出
手段と、前記速度検出手段の出力と指令速度との差に基
づいて駆動周波数をフィードバック制御する駆動制御手
段とを有する振動型アクチュエータの駆動装置におい
て、前記駆動制御手段は、駆動周波数に基づいてフィー
ドバックゲインを変化させるためのゲイン可変手段を有
するものである。
構成は、駆動対象となる負荷の速度を検出する速度検出
手段と、前記速度検出手段の出力と指令速度との差に基
づいて駆動周波数をフィードバック制御する駆動制御手
段とを有する振動型アクチュエータの駆動装置におい
て、前記駆動制御手段は、駆動周波数に基づいてフィー
ドバックゲインを変化させるためのゲイン可変手段を有
するものである。
【０００９】本出願に係る発明の目的を実現する第４の
構成は、上記した第３の構成において、前記ゲイン可変
手段は、駆動周波数と所定値とを比較し、その結果に基
づいてフィードバックゲインを切り換えるようにしたも
のである。
構成は、上記した第３の構成において、前記ゲイン可変
手段は、駆動周波数と所定値とを比較し、その結果に基
づいてフィードバックゲインを切り換えるようにしたも
のである。
【００１０】本出願に係る発明の目的を実現する第５の
構成は、上記した各構成において、前記ゲイン可変手段
は、駆動周波数と回転速度との関係に基づきフィードバ
ックゲインを変化させるようにしたものである。
構成は、上記した各構成において、前記ゲイン可変手段
は、駆動周波数と回転速度との関係に基づきフィードバ
ックゲインを変化させるようにしたものである。
【００１１】本出願に係る発明の目的を実現する第６の
構成は、駆動対象となる負荷の速度を検出する速度検出
手段と、前記速度検出手段の出力と指令速度との差に基
づいて駆動周波数をフィードバック制御する駆動制御手
段とを有する振動型アクチュエータの駆動装置におい
て、前記駆動制御手段は、駆動周波数と回転速度との関
係を複数の周波数領域に分割してリニア近似した際の該
周波数領域毎に設定されたフィードバックゲインと、駆
動周波数または前記速度検出手段の出力とに基づいてフ
ィードバックゲインを変化させるためのゲイン可変手段
を有するものである。
構成は、駆動対象となる負荷の速度を検出する速度検出
手段と、前記速度検出手段の出力と指令速度との差に基
づいて駆動周波数をフィードバック制御する駆動制御手
段とを有する振動型アクチュエータの駆動装置におい
て、前記駆動制御手段は、駆動周波数と回転速度との関
係を複数の周波数領域に分割してリニア近似した際の該
周波数領域毎に設定されたフィードバックゲインと、駆
動周波数または前記速度検出手段の出力とに基づいてフ
ィードバックゲインを変化させるためのゲイン可変手段
を有するものである。
【００１２】本出願に係る発明の目的を実現する第７の
構成は、駆動対象となる負荷の速度を検出する速度検出
手段と、前記速度検出手段の出力と指令速度との差に基
づいて駆動周波数をファードバック制御する駆動制御手
段とを有する振動型アクチュエータの駆動装置におい
て、前記駆動制御手段は、駆動周波数が高い場合または
前記速度検出手段の出力が小さい場合にフィードバック
ゲインを大きくし、駆動周波数が低い場合または前記速
度検出手段の出力が高い場合にフィードバックゲインを
小さくするためのゲイン可変手段を有するものである。
構成は、駆動対象となる負荷の速度を検出する速度検出
手段と、前記速度検出手段の出力と指令速度との差に基
づいて駆動周波数をファードバック制御する駆動制御手
段とを有する振動型アクチュエータの駆動装置におい
て、前記駆動制御手段は、駆動周波数が高い場合または
前記速度検出手段の出力が小さい場合にフィードバック
ゲインを大きくし、駆動周波数が低い場合または前記速
度検出手段の出力が高い場合にフィードバックゲインを
小さくするためのゲイン可変手段を有するものである。
【００１３】本出願に係る発明の目的を実現する第８の
構成は、上記した各構成において、振動型アクチュエー
タの温度を検出する温度検出手段を有するとともに、前
記ゲイン可変手段は該温度検出手段の出力に基づいてフ
ィードバックゲインを変化させるようにしたものであ
る。
構成は、上記した各構成において、振動型アクチュエー
タの温度を検出する温度検出手段を有するとともに、前
記ゲイン可変手段は該温度検出手段の出力に基づいてフ
ィードバックゲインを変化させるようにしたものであ
る。
【００１４】
（第１の実施の形態）図１は本発明の第１の実施の形態
を示す振動型アクチュエータの駆動装置のブロック図を
示す。本実施の形態の振動型アクチュエータとしては、
振動波モータを例にして説明する。
を示す振動型アクチュエータの駆動装置のブロック図を
示す。本実施の形態の振動型アクチュエータとしては、
振動波モータを例にして説明する。
【００１５】１０１は駆動対象となる負荷、１０２は負
荷１０１を駆動するための振動波モータ、１０８はマイ
クロコンピュータ（マイコン）で構成されたサーボ系の
コントロールを行う制御装置である。Ｄ／Ａコンバータ
１０５の出力により、ＶＣＯ（電圧制御発振器）１０４
の出力周波数が決定されるため、まずマイコン１０８は
モータ１０１の駆動周波数に対応したデータをＤ／Ａコ
ンバータ１０５に出力する。その駆動周波数はドライバ
１０３を通してモータ１０２に供給され、負荷１０１を
駆動する。また振動波モータ１０２にはエンコーダ１０
６が接続され、その出力はカウンタ１０７に供給される
ため、マイコン１０８は定期的にカウンタ１０７のカウ
ンタ値を読みに行くことで、負荷１０１の位置や速度
（回転数）を知ることが可能となっている。
荷１０１を駆動するための振動波モータ、１０８はマイ
クロコンピュータ（マイコン）で構成されたサーボ系の
コントロールを行う制御装置である。Ｄ／Ａコンバータ
１０５の出力により、ＶＣＯ（電圧制御発振器）１０４
の出力周波数が決定されるため、まずマイコン１０８は
モータ１０１の駆動周波数に対応したデータをＤ／Ａコ
ンバータ１０５に出力する。その駆動周波数はドライバ
１０３を通してモータ１０２に供給され、負荷１０１を
駆動する。また振動波モータ１０２にはエンコーダ１０
６が接続され、その出力はカウンタ１０７に供給される
ため、マイコン１０８は定期的にカウンタ１０７のカウ
ンタ値を読みに行くことで、負荷１０１の位置や速度
（回転数）を知ることが可能となっている。
【００１６】本実施の形態は、図４に示すように、駆動
周波数Ｆに対する回転数Ｎの特性を回転数Ｎｓで２分割
してリニア近似を行い、回転数Ｎｓより回転数が小さい
場合の誤差ゲインをＫ１、大きい場合の誤差ゲインをＫ
２とする。このとき２つの誤差ゲインの関係は、振動波
モータの特性から一般的に、高周波側（回転数が小さい
場合）が大きく、低周波側（回転数が大きい場合）が小
さくなるように設定する。すなわちＫ１≧Ｋ２となる。
また回転数Ｎｓに対応する駆動周波数をＦｓとする。マ
イコン１０８は図示していない指令手段より回転数Ｎｄ
で駆動するための駆動指令を受け取った後、サンプリン
グ周期毎に回転数を基準にした図５に示す演算サブルー
チンであるＦ ＣＡＬＣ Ｎ５００、もしくは図６に示
す駆動周波数を基準にしたＦ ＣＡＫＣ Ｆ６００を呼
び出すことにより、駆動周波数を決定していく。
周波数Ｆに対する回転数Ｎの特性を回転数Ｎｓで２分割
してリニア近似を行い、回転数Ｎｓより回転数が小さい
場合の誤差ゲインをＫ１、大きい場合の誤差ゲインをＫ
２とする。このとき２つの誤差ゲインの関係は、振動波
モータの特性から一般的に、高周波側（回転数が小さい
場合）が大きく、低周波側（回転数が大きい場合）が小
さくなるように設定する。すなわちＫ１≧Ｋ２となる。
また回転数Ｎｓに対応する駆動周波数をＦｓとする。マ
イコン１０８は図示していない指令手段より回転数Ｎｄ
で駆動するための駆動指令を受け取った後、サンプリン
グ周期毎に回転数を基準にした図５に示す演算サブルー
チンであるＦ ＣＡＬＣ Ｎ５００、もしくは図６に示
す駆動周波数を基準にしたＦ ＣＡＫＣ Ｆ６００を呼
び出すことにより、駆動周波数を決定していく。
【００１７】サブルーチンＦ ＣＡＬＣ Ｎ５００の動
作内容を図５を用いて説明する。
作内容を図５を用いて説明する。
【００１８】まず、マイコン１０８はカウンタ１０７よ
りカウント値を読み込み、現在の回転数Ｎｃを算出する
（５０１）。現在の回転数Ｎｃとゲイン切り替え基準回
転数Ｎｓとの比較を行う（５０２）。現在の回転数Ｎｃ
がゲイン切り替え基準回転数Ｎｓより小さい場合は、誤
差ゲインＫをＫ１とする（５０３）。一方現在の回転数
Ｎｃがゲイン切り替え基準回転数Ｎｓより大きい場合
は、誤差ゲインＫをＫ２とする（５０４）。決定された
誤差ゲインＫを用いて、今回のサンプリングによる駆動
周波数Ｆ（ｎ）算出する（５０５）。
りカウント値を読み込み、現在の回転数Ｎｃを算出する
（５０１）。現在の回転数Ｎｃとゲイン切り替え基準回
転数Ｎｓとの比較を行う（５０２）。現在の回転数Ｎｃ
がゲイン切り替え基準回転数Ｎｓより小さい場合は、誤
差ゲインＫをＫ１とする（５０３）。一方現在の回転数
Ｎｃがゲイン切り替え基準回転数Ｎｓより大きい場合
は、誤差ゲインＫをＫ２とする（５０４）。決定された
誤差ゲインＫを用いて、今回のサンプリングによる駆動
周波数Ｆ（ｎ）算出する（５０５）。
【００１９】算出されたＦ（ｎ）に基づいたＤ／Ａ変換
データをＤ／Ａコンバータ１０５に出力する（５０
６）。最後に次回のサンプリングのために今回算出され
た駆動周波数Ｆ（ｎ）をＦ（ｎ−１）とし（５０７）、
駆動周波数の算出を終了する。
データをＤ／Ａコンバータ１０５に出力する（５０
６）。最後に次回のサンプリングのために今回算出され
た駆動周波数Ｆ（ｎ）をＦ（ｎ−１）とし（５０７）、
駆動周波数の算出を終了する。
【００２０】次に、サブルーチンＦ ＣＡＬＣ Ｆ６０
０の動作内容を図６を用いて説明する。
０の動作内容を図６を用いて説明する。
【００２１】まず、マイコン１０８は前回出力した駆動
周波数Ｆ（ｎ−１）を参照する（６０１）。前回出力し
た駆動周波数Ｆ（ｎ−１）とゲイン切り替え基準駆動周
波数Ｆｓとの比較を行う（６０２）。
周波数Ｆ（ｎ−１）を参照する（６０１）。前回出力し
た駆動周波数Ｆ（ｎ−１）とゲイン切り替え基準駆動周
波数Ｆｓとの比較を行う（６０２）。
【００２２】前回出力した駆動周波数Ｆ（ｎ−１）がゲ
イン切り替え基準駆動周波数Ｆｓより大きい場合は、誤
差ゲインＫをＫ１とする（６０４）。
イン切り替え基準駆動周波数Ｆｓより大きい場合は、誤
差ゲインＫをＫ１とする（６０４）。
【００２３】一方、前回出力した駆動周波数Ｆ（ｎ−
１）がゲイン切り替え基準駆動周波数Ｆｓより小さい場
合は、誤差ゲインＫをＫ２とする（６０３）。
１）がゲイン切り替え基準駆動周波数Ｆｓより小さい場
合は、誤差ゲインＫをＫ２とする（６０３）。
【００２４】決定された誤差ゲインＫを用いて、今回の
サンプリングによる駆動周波数Ｆ（ｎ）を算出する（６
０５）。算出されたＦ（ｎ）に基づいたＤ／Ａ変換デー
タをＤ／Ａコンバータ１０５に出力する（６０６）。
サンプリングによる駆動周波数Ｆ（ｎ）を算出する（６
０５）。算出されたＦ（ｎ）に基づいたＤ／Ａ変換デー
タをＤ／Ａコンバータ１０５に出力する（６０６）。
【００２５】最後に次回のサンプリングのために今回算
出された駆動周波数Ｆ（ｎ）をＦ（ｎ−１）とし（６０
７）、駆動周波数の算出を終了する。
出された駆動周波数Ｆ（ｎ）をＦ（ｎ−１）とし（６０
７）、駆動周波数の算出を終了する。
【００２６】また、振動波モータの特性は温度依存があ
るため、その特性を図７を用いて説明する。例えば２５
℃における特性７０１において、上記のように特性を２
分割してリニア近似を行う。ゲイン切り替え基準回転数
をＮｓ１とし、その時の駆動周波数をＦｓ１とし、高周
波数側の誤差ゲインをＫ１１、低周波数の誤差ゲインを
Ｋ１２とする。
るため、その特性を図７を用いて説明する。例えば２５
℃における特性７０１において、上記のように特性を２
分割してリニア近似を行う。ゲイン切り替え基準回転数
をＮｓ１とし、その時の駆動周波数をＦｓ１とし、高周
波数側の誤差ゲインをＫ１１、低周波数の誤差ゲインを
Ｋ１２とする。
【００２７】ところが０℃における振動波モータの特性
は２５℃における特性とは異なり、７０２のように変化
する。そこで２５℃の場合と同様に特性を２分割してリ
ニア近似を行う。
は２５℃における特性とは異なり、７０２のように変化
する。そこで２５℃の場合と同様に特性を２分割してリ
ニア近似を行う。
【００２８】このときの高周波数側の誤差ゲインをＫ２
１、低周波数側のゲインをＫ２２とすると、一般的に、
Ｎｓ２≠Ｎｓ１、Ｆｓ２≠Ｆｓ１、Ｋ１１≠Ｋ２１、Ｋ
２２≠Ｋ１２となる。
１、低周波数側のゲインをＫ２２とすると、一般的に、
Ｎｓ２≠Ｎｓ１、Ｆｓ２≠Ｆｓ１、Ｋ１１≠Ｋ２１、Ｋ
２２≠Ｋ１２となる。
【００２９】したがって異なる温℃においては異なる近
似を行い、誤差ゲインを各々決めておく必要がある。し
かし等号が成り立つ場合やほとんど変わらない値の場合
は各々決める必要がなく、同じ値を使用することも可能
である。また２５℃と０℃の場合を例に挙げたが、温度
依存データの温度分割はもっと多く（３点以上）しても
構わない。そこで図示していない温度センサが制御系に
付加し、温度パラメータを持った誤差ゲイン・データ・
テーブルを用意し、温度を検出しながら制御を行えばも
っと良い特性が得られることになる。
似を行い、誤差ゲインを各々決めておく必要がある。し
かし等号が成り立つ場合やほとんど変わらない値の場合
は各々決める必要がなく、同じ値を使用することも可能
である。また２５℃と０℃の場合を例に挙げたが、温度
依存データの温度分割はもっと多く（３点以上）しても
構わない。そこで図示していない温度センサが制御系に
付加し、温度パラメータを持った誤差ゲイン・データ・
テーブルを用意し、温度を検出しながら制御を行えばも
っと良い特性が得られることになる。
【００３０】以上、回転数を基準にして誤差ゲインＫを
２分割したが、分割数をさらに多くしてもっときめ細か
な誤差ゲインを決定することも可能である。さらに、駆
動特性より最小自乗法などによりリニア近似ではなく多
項式による近似による誤差ゲインの設定なども可能であ
る。また、ＥＥＰＲＯＭなどのような不揮発性メモリに
上記誤差ゲインを記憶しておけば、いつでもデータが書
き換え可能であるため、経時変化などにより振動波モー
タの応答特性が変わった場合にも対処可能となる。
２分割したが、分割数をさらに多くしてもっときめ細か
な誤差ゲインを決定することも可能である。さらに、駆
動特性より最小自乗法などによりリニア近似ではなく多
項式による近似による誤差ゲインの設定なども可能であ
る。また、ＥＥＰＲＯＭなどのような不揮発性メモリに
上記誤差ゲインを記憶しておけば、いつでもデータが書
き換え可能であるため、経時変化などにより振動波モー
タの応答特性が変わった場合にも対処可能となる。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１〜８に係
る発明によれば、高速回転から低速回転まで、振動波モ
ータなどの振動型アクチュエータを応答性良くかつ振動
も起こさずに制御可能となる。
る発明によれば、高速回転から低速回転まで、振動波モ
ータなどの振動型アクチュエータを応答性良くかつ振動
も起こさずに制御可能となる。
【００３２】また、温度による特性の変化にも対応可能
となる。
となる。
【図１】本発明の第１の実施の形態を示すブロック図
【図２】ＤＣモータの特性図
【図３】振動波モータの特性図
【図４】第１の実施の形態のゲイン切り替え特性図
【図５】第１の実施の形態の回転数基準による駆動周波
数演算フローチャート
数演算フローチャート
【図６】第１の実施の形態の周波数基準による駆動周波
数演算フローチャート
数演算フローチャート
【図７】第１の実施の形態の温度によるゲイン近似切り
替え特性図
替え特性図
１０１…負荷 １０２…振動波モータ １０３…ドライバ １０４…ＶＣＯ １０５…Ｄ／Ａコンバータ １０６…エンコーダ １０７…カウンタ １０８…マイクロコンピュータ（マイコン）
Claims (8)
- 【請求項１】 駆動対象となる負荷の速度を検出する速
度検出手段と、前記速度検出手段の出力と指令速度との
差に基づいて駆動周波数をフィードバック制御する駆動
制御手段とを有する振動型アクチュエータの駆動装置に
おいて、 前記駆動制御手段は、前記速度検出手段の出力に基づい
てフィードバックゲインを変化させるためのゲイン可変
手段を有することを特徴とする振動型アクチュエータの
駆動装置。 - 【請求項２】 前記ゲイン可変手段は、前記速度検出手
段の出力と所定値とを比較し、その比較結果に基づいて
フィードハックゲインを切り換えることを特徴とする請
求項１記載の振動型アクチュエータの駆動装置。 - 【請求項３】 駆動対象となる負荷の速度を検出する速
度検出手段と、前記速度検出手段の出力と指令速度との
差に基づいて駆動周波数をフィードバック制御する駆動
制御手段とを有する振動型アクチュエータの駆動装置に
おいて、 前記駆動制御手段は、駆動周波数に基づいてフィードバ
ックゲインを変化させるためのゲイン可変手段を有する
ことを特徴とする振動型アクチュエータの駆動装置。 - 【請求項４】 前記ゲイン可変手段は、駆動周波数と所
定値とを比較し、その結果に基づいてフィードバックゲ
インを切り換えることを特徴とする請求項３記載の振動
型アクチュエータの駆動装置。 - 【請求項５】 前記ゲイン可変手段は、駆動周波数と回
転速度との関係に基づきフィードバックゲインを変化さ
せることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一つに
記載の振動型アクチュエータの駆動装置。 - 【請求項６】 駆動対象となる負荷の速度を検出する速
度検出手段と、前記速度検出手段の出力と指令速度との
差に基づいて駆動周波数をフィードバック制御する駆動
制御手段とを有する振動型アクチュエータの駆動装置に
おいて、 前記駆動制御手段は、駆動周波数と回転速度との関係を
複数の周波数領域に分割してリニア近似した際の該周波
数領域毎に設定されたフィードバックゲインと、駆動周
波数または前記速度検出手段の出力とに基づいてフィー
ドバックゲインを変化させるためのゲイン可変手段を有
することを特徴とする振動型アクチュエータの駆動装
置。 - 【請求項７】 駆動対象となる負荷の速度を検出する速
度検出手段と、前記速度検出手段の出力と指令速度との
差に基づいて駆動周波数をファードバック制御する駆動
制御手段とを有する振動型アクチュエータの駆動装置に
おいて、 前記駆動制御手段は、駆動周波数が高い場合または前記
速度検出手段の出力が小さい場合にフィードバックゲイ
ンを大きくし、駆動周波数が低い場合または前記速度検
出手段の出力が高い場合にフィードバックゲインを小さ
くするためのゲイン可変手段を有することを特徴とする
振動型アクチュエータの駆動装置。 - 【請求項８】 振動型アクチュエータの温度を検出する
温度検出手段を有するとともに、前記ゲイン可変手段は
該温度検出手段の出力に基づいてフィードバックゲイン
を変化させることを特徴とする請求項１乃至７のいずれ
か一つに記載の振動型アクチュエータの駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9168697A JPH1118453A (ja) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | 振動型アクチュエータの駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9168697A JPH1118453A (ja) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | 振動型アクチュエータの駆動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1118453A true JPH1118453A (ja) | 1999-01-22 |
Family
ID=15872794
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9168697A Pending JPH1118453A (ja) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | 振動型アクチュエータの駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1118453A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10355621B2 (en) | 2015-09-30 | 2019-07-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Control apparatus, control method, and driving apparatus for vibration-type actuator, and electronic apparatus equipped with vibration-type actuator |
| JP2024016691A (ja) * | 2022-07-26 | 2024-02-07 | 株式会社トプコン | 測量機 |
-
1997
- 1997-06-25 JP JP9168697A patent/JPH1118453A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10355621B2 (en) | 2015-09-30 | 2019-07-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Control apparatus, control method, and driving apparatus for vibration-type actuator, and electronic apparatus equipped with vibration-type actuator |
| US11336209B2 (en) | 2015-09-30 | 2022-05-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Control apparatus, control method, and driving apparatus for vibration-type actuator, and electronic apparatus equipped with vibration-type actuator |
| JP2024016691A (ja) * | 2022-07-26 | 2024-02-07 | 株式会社トプコン | 測量機 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5350988A (en) | Digital motor controller | |
| JPS62110497A (ja) | ステツピングモ−タ加速制御方法及びステツピングモ−タ速度制御用プログラマブル加速度発生器 | |
| JP6841336B2 (ja) | モータの制御装置及び記憶媒体 | |
| JPH01186182A (ja) | サーボモータの制御装置 | |
| KR20090105065A (ko) | 저속 영역에서의 전동기 속도 제어 시스템 및 속도 제어방법 | |
| JPH0616246B2 (ja) | 位置決め制御装置 | |
| US6025684A (en) | Servo-motor driving method | |
| US6011370A (en) | Servo-motor driving method | |
| JPS62298976A (ja) | 磁気ヘツド位置決め制御装置 | |
| US6020707A (en) | Servo-motor driving method | |
| KR0122292B1 (ko) | 스텝모터의 선형가감속제어장치 및 방법 | |
| JPH0965687A (ja) | 電動機の速度制御装置 | |
| JP3202423B2 (ja) | 振動波駆動装置 | |
| JPH06182682A (ja) | ロボットの速度制御方法 | |
| SU1390764A1 (ru) | Вентильный электропривод | |
| JPH099662A (ja) | モータ制御装置 | |
| KR0132028B1 (ko) | 직류 모터의 토크 제어 장치 | |
| JPH04372600A (ja) | パルスモータ駆動装置 | |
| Lee et al. | Reduced parameter variation sensitivity with a variable structure controller in brushless DC motor velocity control systems | |
| JPS63283490A (ja) | サ−ボモ−タの速度制御装置 | |
| JPH10127076A (ja) | 電動機の状態帰還制御方法および装置 | |
| JPH0898596A (ja) | ステッピングモータ制御装置 | |
| CN116526923A (zh) | 电机摆动控制方法及装置、雷达扫描组件和可读存储介质 | |
| JPS62298977A (ja) | 磁気ヘツド位置決め制御装置 | |
| JPH07163194A (ja) | ステッピングモータの駆動装置 |