JPH11185037A

JPH11185037A - 欠陥情報処理装置及び方法

Info

Publication number: JPH11185037A
Application number: JP9355660A
Authority: JP
Inventors: Masaharu Okabe; 正治岡部
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1997-12-24
Filing date: 1997-12-24
Publication date: 1999-07-09

Abstract

(57)【要約】【課題】被検査物のわずかな欠陥でもその欠陥に対応す
る信号変化を増幅して欠陥の見落としをなくす。【解決手段】被検査物の２次元画像を取り込み、ＡＤ変
換器２で２次元画像を多値デジタルデータに変換し、垂
直フィルタ４は多値デジタル画像データを所定の範囲で
画素毎に垂直方向に差分値を算出し、水平フィルタ５は
垂直フィルタ４により算出された差分値を水平方向に差
分値を算出し、２値化回路７は水平フィルタ５により算
出された差分値を所定の基準値に基づいて２値化データ
に変換し、水平フィルタ５で算出される差分値としての
多値デジタルデータと２値化データに基づいて被検査物
の欠陥部分を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、感光ドラ
ム等の円筒表面の画像を取り込み、その画像データから
平滑性や均質性に関する欠陥情報を検出する欠陥情報処
理装置及び方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、複写機等で形成される画像や液晶
表示器等で表示される画像の分解能は、人間の目の分解
能を超える勢いで高精細化が進んでいる。この技術の進
歩に伴って複写機やプリンタ等に用いられる感光ドラ
ム、現像スリーブ、液晶表示基板或いは専用印画紙の表
面に存在するわずかな欠陥が分解能の高度化に大きく影
響する。また、分解能の高度化により検出すべき欠陥自
体が非常に微細なものとなっている。

【０００３】図７は、従来の欠陥情報処理装置の回路ブ
ロック図である。

【０００４】図７に示すように、従来の欠陥情報処理装
置は、レーザビームを照射して被検査物の検査面を走査
し、受光器により検査面のアナログ画像を入力する。こ
のアナログ画像はアナログフィルタ９１により不要な周
波数成分が除去され、ＡＤ変換回路９２を通してアナロ
グ信号からデジタル信号に変換される。この画像データ
は、多値デジタルデータとして画像メモリ９５に格納す
ると共に、２値化回路９３を通して２値化信号に変換さ
れて２値画像メモリ９６に格納される。

【０００５】ＣＰＵ９４は、画像メモリ９５に格納され
た多値デジタル画像データと２値画像メモリ９６に格納
された２値化信号から検査面の欠陥に相当する欠陥デー
タを演算し、この欠陥データの最大値、最小値、画素
数、座標等を特徴データとして特徴データメモリ９７に
格納する。そして、ＣＰＵ９４は、特徴データメモリ９
７に格納された特徴データから被検査物の良否判定を行
い、その判定結果を出力インターフェース９８を介して
ＣＲＴ等に表示する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
装置に用いられるフィルタは、その時系列的な動作によ
りレーザビームの主走査方向の画像にしか機能しないた
め、主走査方向において検出信号に変化がない場合には
アナログフィルタを通して欠陥データを得ることができ
ない。例えば、アルミニウム製の感光ドラムを引抜きに
より製造して、ドラムの円筒表面の長手方向に細長いキ
ズ等の欠陥が発生した場合では、ドラムの長手方向（主
走査方向）に走査しても検出信号にほとんど変化がない
ため欠陥が検出されにくいという問題があった。

【０００７】また、上述の問題点を解決するために２次
元の空間フィルタを用いた場合、レーザビームの副走査
方向に対するフィルタサイズを５ライン以上にすると、
ハードウェア構成が大規模化しコスト的にも高くなると
いう問題があった。

【０００８】更に、２値化信号を変化点の座標値に変換
する場合、最小の検出サイズは１画素であるため、変化
点の座標値を１画素クロックの時間でメモリに格納する
必要があり、これを実現するためには高速なメモリを使
用するのでコスト高を招くという問題があった。

【０００９】本発明は、上述の課題に鑑みてなされ、そ
の第１の目的は、被検査物の長手方向にあるわずかな欠
陥でもその欠陥に対応する信号変化を増幅して欠陥の見
落としをなくすことができる欠陥情報処理装置及び方法
を提供することである。

【００１０】また、第２の目的は、レーザビームの主走
査方向のフィルタ回路を小型化しつつ必要な機能を充足
することで、欠陥の検出能力を向上させ装置コストを低
減できる欠陥情報処理装置及び方法を提供することであ
る。

【００１１】また、第３の目的は、２値化データの変化
点の現れる間隔を長くし、２値化データをメモリに書き
込むのに十分な時間を確保することで、処理速度の遅い
メモリを用いることができ、部品コストを低減できる欠
陥情報処理装置及び方法を提供することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決し、目
的を達成するため、本発明の欠陥情報処理装置は以下の
手段を備える。即ち、被検査物の２次元画像を取り込む
画像入力手段と、前記２次元画像を多値デジタルデータ
に変換するデジタル変換手段と、前記多値デジタル画像
データを垂直方向にフィルタリングする垂直フィルタ手
段と、前記垂直フィルタ手段によりフィルタリングされ
た多値デジタル画像データを水平方向にフィルタリング
する水平フィルタ手段と、前記水平フィルタ手段により
フィルタリングされた多値デジタルデータを所定の基準
値に基づいて２値化データに変換する２値化手段と、前
記多値デジタルデータと２値化データに基づいて前記被
検査物の欠陥部分を検出する検出手段とを具備する。

【００１３】また、本発明の欠陥情報処理方法は以下の
工程を備える。即ち、被検査物の２次元画像を取り込む
画像入力工程と、前記２次元画像を多値デジタルデータ
に変換するデジタル変換工程と、前記多値デジタル画像
データを垂直方向にフィルタリングする垂直フィルタ工
程と、前記垂直フィルタ工程にてフィルタリングされた
多値デジタル画像データを水平方向にフィルタリングす
る水平フィルタ工程と、前記水平フィルタ工程にてフィ
ルタリングされた多値デジタルデータを所定の基準値に
基づいて２値化データに変換する２値化工程と、前記多
値デジタルデータと２値化データに基づいて前記被検査
物の欠陥部分を検出する検出工程とを備える。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下に、本発明に係る実施の形態
について、添付図面を参照して詳細に説明する。［第１の実施形態］図１を参照して、第１の実施形態の
欠陥情報処理装置について説明する。

【００１５】図１は、本発明に係る第１の実施形態の欠
陥情報処理装置の回路ブロック図である。

【００１６】図１に示すように、１は入力アンプ、２は
アナログ信号を８ビットのデジタル信号に変換するＡＤ
変換器、３はデジタルコンパレータ、４は垂直方向の１
次元フィルタ、５は水平方向の１次元フィルタ、６は８
ビットの多値デジタル画像データを記録する画像メモ
リ、７は多値デジタル画像データを所定の基準値と比較
して２値化し、横方向の１次元フィルタ機能を有する２
値化回路、８は２値化信号をランコードに変換して記憶
するランメモリ、９は画像メモリ６に記憶された多値デ
ジタル画像データとランメモリ８に記憶された２値化信
号からランコードを１つの連続領域に切り分けて、夫々
の特徴データとして最大値、最小値、面積、座標等を算
出し、特徴データが任意の所定の規格値を外れた場合に
欠陥と判定する制御用コンピュータ、１０は水平同期信
号、垂直同期信号及びスタート信号入力して各回路の動
作タイミングを発生するタイミング生成回路である。

【００１７】次に、図２を参照して、第１の実施形態の
欠陥情報処理装置の機械的構成について説明する。

【００１８】図２は、本発明に係る第１の実施形態の欠
陥情報処理装置の機械的構成を示す図である。

【００１９】図２に示すように、１１は直径約１００μ
ｍのレーザビームスポットを１次元走査するレーザビー
ムスキャナ、１２はレーザビームを検出するビーム検出
器、１３は被検査物の複写機カートリッジの現像スリー
ブ、１４はフォトマルチプライヤを用いて被検査物の全
表面の反射光を均一に受光する受光器、１５は図１の信
号処理ユニット、１６は本装置全体をコントロールする
シーケンサ、１７は被検査物の現像スリーブ１３を等速
回転させて副走査方向に走査するモータ及びクランプ機
構である。

【００２０】レーザスキャナ１１により被検査物の全表
面を走査した場合に、受光器１４にて検出される信号
は、図３に示すように、時系列的な２次元信号として表
される。

【００２１】レーザ光は現像スリーブの母線に沿って走
査されるので、主走査方向はスリーブの長手方向にな
る。また、レーザ光の主走査方向への走査周期に対して
ゆっくりと現像スリーブ１３を回転させると副走査で
き、現像スリーブ１３の回転方向が副走査方向になる。

【００２２】走査領域全体において、水平方向に１０Ｍ
Ｈｚクロックでサンプリングし、画素数は約１０００画
素で、被検査物の長さは約３００ｍｍであり、分解能は
約３０μｍである。また、被検査物は、直径約１２ｍｍ
であり、主走査方向に２０００ライン走査することで被
検査物の表面を１周できるように回転され、１ライン当
たりの分解能は約２０μｍになる。

【００２３】レーザ光による走査時に、受光器１４から
の検出信号と、ビーム検出器からの水平同期信号と、被
検査物の回転を検出する不図示の回転検出器からの垂直
同期信号とが信号処理ユニット１５に出力される。

【００２４】信号処理ユニット１５では、検出信号は入
力アンプ１でＡＤ変換器２の入力レンジに振幅され、Ａ
Ｄ変換器２で８ビットのデジタル信号に変換される。デ
ジタル信号はコンパレータ３で所定値と比較されて、こ
の所定値を超えていればデジタル信号が出力されて正常
であることがわかり、この値を下回るとデジタル信号が
出力されないためレーザスキャナや受光器等に故障が発
生していることがわかる。このコンパレータ３からの出
力信号は、光量検知信号として上位のコントローラであ
るシーケンサに出力される。

【００２５】一方、デジタル信号は、垂直フィルタ４に
より垂直方向に１次元のフィルタ処理が施され、続いて
水平フィルタ５により水平方向に１次元のフィルタ処理
が施される。フィルタ処理の内容は任意に変更可能であ
るが、例えば、垂直フィルタ４を直近の走査ラインと１
２７ラインの差分値と、５０ラインから５３ラインまで
の走査ラインの差分値との差を演算するように設定する
と、約２ｍｍの長さに対応する信号のベースラインを演
算し、約８０μｍの長さに対応する信号のサイズを演算
し、これらの差を演算していることから、被検査物表面
のうねり等の２ｍｍ以上の周期となる緩やかな信号変化
がキャンセルされて約８０μｍの欠陥信号を強調するこ
とができる。

【００２６】同様に、水平フィルタ５によるフィルタ処
理の内容を任意に設定して、フィルタ処理された信号中
から欠陥信号として検出したい信号帯域の波形を強調す
ることができる。

【００２７】また、垂直フィルタ４を水平フィルタ４よ
り前段に配置することで、アナログ信号フィルタ処理だ
けでは不可能であった主走査方向に沿う細長いキズ等の
欠陥信号を強調することができる。従って、被検査物の
表面にできた欠陥の見落としがなくなり検出精度が向上
する。

【００２８】図４は、図１に示す垂直フィルタ、水平フ
ィルタ及び２値化回路の詳細図である。

【００２９】図４に示すように、垂直フィルタ４及び水
平フィルタ５はいずれも非巡回形デジタルフィルタから
なる。垂直フィルタ４は最大１２８Ｈまで可変のディレ
イラインを有する。

【００３０】図４では、垂直フィルタ４は直近ラインか
ら３つ前のラインまでのディレイライン１８〜２０が設
けられている。垂直フィルタ４の垂直差分処理では、直
近ライン（入力信号）と３つ前のライン（ディレイライ
ン１８）の範囲での画素値の差分値と、２つ前のライン
（ディレイライン１９）と１つ前のライン（ディレイラ
イン２０）の範囲での画素値の差分値との差分（若しく
は和）を演算する。つまり、ディレイライン２３では、
１ライン前の差分値に直近の入力信号の画素値を加え
（２１）、その画素値を３つ前のラインの画素値から差
し引いている（２２）。同様に、ディレイライン２６で
は、１ライン前の差分値に１ライン前の画素値を加え
（２４）、その画素値を２つ前のラインの画素値から差
し引いている（２５）。そして、ディレイライン２３で
の差分値とディレイライン２６での差分値とを更に差し
引いて水平フィルタ５に出力する。垂直フィルタ４で
は、ディレイライン２３、２６において上述の差分演算
を行ない続けることで、常に直近ラインから所定ライン
前（３ライン前）までの範囲の画素値の総和を保持する
ことができる。また、図示しないが、この演算結果にお
いて、所定範囲の画素値を選択して抜き出すことにより
総和／２＾ｎ（２のｎ乗を表わす）の演算ができる。そ
して、２つの範囲の画素値の差分を演算することで、入
力信号のうねり分を取り除いて欠陥信号を強調する演算
が実現できる。

【００３１】垂直フィルタ４は任意に機能を付加すると
回路規模が大きくなりコスト高を招いて実用的でない。
このため、フィルタ機能を欠陥信号の強調に適した差分
演算のフィルタ定数のみに限定した構成とする。このよ
うに、フィルタ機能を抑えても機能的には十分であり回
路規模を小さく抑えることができる。

【００３２】水平フィルタ５は構成が簡単であるため１
２８タップの１チップ化されたフィルタＩＣ２８が利用
でき、任意の応答特性のものを選択できる。この水平フ
ィルタ５は、垂直フィルタ４から出力される１ライン分
の差分値について、水平方向に隣接する差分値を差し引
いて画像メモリ６と２値化回路７に出力する。

【００３３】被検査物としての現像スリーブは、その表
面に材料を吹き付けるとコーティングに緩やかなうねり
が発生し、その表面のうねりが小さな欠陥であってもそ
れが画質に悪影響を及ぼしてしまう。このため、垂直フ
ィルタ４で、先ず垂直方向の表面形状に対応した画素毎
の多値デジタルデータを検出し、次に水平方向の表面形
状に対応した画素毎の多値デジタルデータを検出するこ
とで、垂直方向と水平方向のうねりが確実に検出でき
る。

【００３４】図４に示すように、２値化回路７では、垂
直フィルタ４及び水平フィルタ５により差分演算処理さ
れた多値デジタルデータに２種の基準値を設定し、例え
ば、水平フィルタ５から出力される多値デジタルデータ
がラッチ２９、３０の各基準値の範囲内にあるならば
「０」、範囲内にないならば「１」として２値化信号に
変換する。

【００３５】２値化回路７は、ラッチ２９の第１基準値
と多値デジタルデータの論理和とラッチ３０の第２基準
値と多値デジタルデータの論理和において、多値デジタ
ルデータが第１基準値より大（回路３１の出力が１）或
いは第２基準値より小（回路３２の出力が１）の場合
に、ＯＲ回路３３の出力が１となりそれ以外の場合に出
力が０となる。このＯＲ回路３３の２値化された出力値
は、所定拡張数にされたラッチ３４を有するワンショッ
ト回路３５において値が１である画素値を横にのばす。
そして、ワンショット回路３５の出力値は、ＯＲ回路３
６とインバータ３７を介して画素値を反転され、次に所
定収縮数にされたラッチ３８を有するワンショット回路
３９に出力して、ＯＲ回路４０とインバータ４１により
再び反転して２値化信号としてランメモリ８に出力され
る。ワンショット３９の出力値は、ＯＲ回路４０とイン
バータ４１により再び反転させることで０の画素値を横
にのばすことができる。

【００３６】２値化回路７のワンショット回路３５、３
９をカスケード接続することで、孤立点の除去機能と、
近接する２値化信号（ランコード）を連結して欠陥部分
を特定する機能を実現できる。

【００３７】図５は、図１に示す画像メモリとランメモ
リの詳細図である。

【００３８】図５に示すように、水平フィルタ５から出
力される多値デジタルデータの画像信号は１０ＭＨｚ、
８ビットデータであるので、バス幅変換回路４２で４バ
イト毎にまとめて３２ビットデータとして、３２ビット
幅のメモリ４４に１／４のクロック周波数４３でアドレ
スカウンタ４５に指定されたアドレスで順次書き込まれ
る。

【００３９】２値化回路７から出力される２値化信号
（ランコード）は水平座標Ｘであるカウンタ４６の値
と、垂直座標Ｙであるカウンタ４７の値を３２ビットで
３２ビット幅のメモリ５２に順次書き込む。書込みタイ
ミングは、ランコードが０から１に変化した点のＸ座標
と、ランコードが１から０に変化した点のＸ座標をまと
めてラン毎にメモリ５２に順次書き込む。また、Ｙ座標
は、現在のラインにランが存在した時にのみ、Ｘ座標と
Ｙ座標を区別するフラグと共にメモリ５２に順次書き込
まれる。

【００４０】以上の回路動作により、所定の検査領域全
体の２値化判定に応じたランコードと、多値デジタルデ
ータとをメモリ６、７に記憶させることができ、これら
メモリデータは、制御コンピュータ９から自由にアクセ
スすることができる。

【００４１】これらメモりデータは、制御コンピュータ
９によりソフトウェア処理される。

【００４２】先ず、制御コンピュータ９は、ランコード
単位で２値化信号の特徴量を計算する。つまり、ランメ
モリ８の先頭から読み出して、Ｘ座標を読み、Ｙ座標を
示すフラグが見つかるまでＸ座標を読出して不図示のメ
インメモリに格納する。メインメモリ上のＸ座標は全て
ここで見つかったＹ座標のラインにあるため、検査領域
上の２次元座標が決定できる。そして、画像メモリ６か
らランの範囲に相当する場所の多値デジタルデータを読
み出し、その最大値、最小値、画素数を計算し、座標と
共にランの属性値としてメインメモリの配列に格納す
る。これをランメモリ８に格納された全てのランコード
について実行する。

【００４３】次に、制御コンピュータ９はメインメモリ
の配列に格納されたランコードとその属性値を参照し、
検査領域の水平方向及び垂直方向に近接するランコード
同士を１つのまとまった欠陥部分としてラベリングす
る。ランコードの近傍判断は、いわゆる一般の４近傍や
８近傍ではなく、水平方向と垂直方向に所定の間隔以下
で近接しているものは全て近接していると判断する。現
像スリーブのコーティング時に表面に糸屑のような欠陥
が生じてしまった場合、細く長い形状のために途切れ途
切れの２値化信号になってしまうが、これを一つの欠陥
であると判断できるので、実際の欠陥の状態を正確に判
定した検査結果を得ることができる。

【００４４】制御コンピュータは、この検査結果を所定
の規格値と比較してＯＫ／ＮＧの判定を行い、その結果
を上位のシーケンサに出力する。［第２の実施形態］図６を参照して、第２の実施形態の
欠陥情報処理装置について説明する。

【００４５】図６（ａ）は、本発明に係る第２の実施形
態の欠陥情報処理装置の構成を示す図である。図６
（ｂ）は、図６（ａ）の側面図である。

【００４６】図６に示すように、６１は被検査物全体を
照明する照明装置、６２〜６７はラインセンサカメラで
あり、各カメラの視野範囲における被検査物からの反射
光を受光する。１５は、各カメラ６２〜６７にて検出さ
れたアナログ信号を各カメラ毎に入力する信号処理ユニ
ットである。

【００４７】このように、ラインセンサ数を増加するこ
とで検査領域の分解能を上げることができる。また、被
検査物の正反射光と散乱光とを別のラインセンサで受光
することで、検出可能な欠陥の種類を増加させることが
でき、品質の保証をより確かなものにできる。

【００４８】この第２の実施形態では、信号処理ユニッ
ト１５の内部は、図１に示す１チャンネルに相当する回
路をラインセンサ数分（本例では、６系統）搭載するこ
とになる。

【００４９】信号処理ユニット１５の構成及び動作は、
第１の実施形態と同様であり、欠陥データ毎に最大値、
最小値、面積、座標等を得ることができる。

【００５０】以上説明したように、本実施形態によれ
ば、垂直フィルタは、多値デジタルデータを副走査方向
に平滑化や微分等の１次元フィルタ処理を施し、欠陥信
号を強調することができる。また、水平フィルタは、多
値デジタルデータを主走査方向に平滑化や微分等の１次
元フィルタ処理を施し、欠陥信号を強調することができ
る。

【００５１】２値化回路は、孤立した１画素を取り除い
たり、近接しているが分離した１画素を連結して２値化
信号の空間周波数を落とすことができる。

【００５２】また、垂直フィルタは、所定のライン範囲
の多値デジタルデータの差分値を演算し、平均するライ
ン範囲を検出したい欠陥サイズ程度にすることで、ラン
ダム雑音成分や高周波成分を小さくし検出信号のＳ／Ｎ
比を大きくできる。

【００５３】また、垂直フィルタは、別のライン範囲の
多値デジタルデータの差分値を演算し、被検査物の機械
的なぶれやそり等による検出信号の大きなうねり成分と
同程度の範囲を平均化することでうねり成分だけを抽出
することができる。

【００５４】また、垂直フィルタは、これら２つの差分
値の差を演算し、Ｓ／Ｎ比を向上させた検出信号からう
ねり成分を差し引くことで、検出したい欠陥のみの信号
を強調して取り出すことができる。

【００５５】また、２値化回路は、画素値１の画素に対
して隣接する所定画素値も１とする膨張処理を行ない、
近接するが分離した画素値１の間の画素値を１にして画
素間を埋めて連結する。

【００５６】また、２値化回路は、画素値０の画素に対
して隣接する所定画素も０とする収縮処理を行ない、孤
立する画素値１の画素を除去する。また、膨張処理を施
したデータに対し収縮処理することによって、近接する
画素値１の集合は除去されずに残り、所定画素以上の間
隔で孤立する画素値１の画素を除去する。

【００５７】従って、主走査方向には変化がわずかな欠
陥でも、水平方向と垂直方向にタップ数の大きいデジタ
ルフィルタを設けたことにより、大きな検出信号を得る
ことができる。

【００５８】また、主走査方向のフィルタ処理の回路規
模を小さく抑えつつ必要なフィルタ機能を満足させるこ
とで、欠陥検出能力を向上させ、装置コストを低減でき
る。

【００５９】更に、２値化信号の変化点の現れる間隔を
長くし、ランコードの座標値をメモリに書き込む時間を
十分に確保することで、低速のメモリを用いることがで
き、装置コストを低減できる。

【００６０】

【他の実施形態】また、本発明は、前述した実施形態の
機能を実現するソフトウェアのプログラムコードを記録
した記憶媒体を、システムあるいは装置に供給し、その
システムあるいは装置のコンピュータ（またはＣＰＵや
ＭＰＵ）が記憶媒体に格納されたプログラムコードを読
出し実行するようにしてもよい。

【００６１】この場合、記憶媒体から読出されたプログ
ラムコード自体が前述した実施形態の機能を実現するこ
とになり、そのプログラムコードを記憶した記憶媒体は
本発明を構成することになる。

【００６２】プログラムコードを供給するための記憶媒
体としては、例えば、フロッピディスク、ハードディス
ク、光ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ
−Ｒ、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、ＲＯＭな
どを用いることができる。

【００６３】また、コンピュータが読出したプログラム
コードを実行することにより、前述した実施形態の機能
が実現されるだけでなく、そのプログラムコードの指示
に基づき、コンピュータ上で稼働しているＯＳ（オペレ
ーティングシステム）などが実際の処理の一部または全
部を行い、その処理によって前述した実施形態の機能が
実現される場合も含まれることは言うまでもない。

【００６４】さらに、記憶媒体から読出されたプログラ
ムコードが、コンピュータに挿入された機能拡張ボード
やコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わる
メモリに書込まれた後、そのプログラムコードの指示に
基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わ
るＣＰＵなどが実際の処理の一部または全部を行い、そ
の処理によって前述した実施形態の機能が実現される場
合も含まれることは言うまでもない。

【００６５】本発明を上記記憶媒体に適用する場合、そ
の記憶媒体には、先に説明したフローチャートに対応す
るプログラムコードを格納することになる。

【００６６】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、被検査
物の長手方向にあるわずかな欠陥でもその欠陥に対応す
る信号変化を増幅して欠陥の見落としをなくすことがで
きる。

【００６７】また、欠陥の検出能力を向上させ、装置コ
ストを低減できる。

【００６８】更に、処理速度の遅いメモリを用いること
ができ、部品コストを低減できる。

【００６９】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る第１の実施形態の欠陥情報処理装
置の回路ブロック図である。

【図２】本発明に係る第１の実施形態の欠陥情報処理装
置のシステム構成を示す図である。

【図３】本実施形態の主走査方向及び副走査方向で規定
される走査領域を説明する図である。

【図４】図１の垂直フィルタ、水平フィルタ及び２値化
回路のブロック図である。

【図５】図１の画像メモリ及びランメモリのブロック図
である。

【図６】本発明に係る第２の実施形態の欠陥情報処理装
置のシステム構成を示す図である。

【図７】従来の欠陥情報処理装置の回路ブロック図であ
る。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検査物の２次元画像を取り込む画像入
力手段と、前記２次元画像を多値デジタルデータに変換するデジタ
ル変換手段と、前記多値デジタル画像データを垂直方向にフィルタリン
グする垂直フィルタ手段と、前記垂直フィルタ手段によりフィルタリングされた多値
デジタル画像データを水平方向にフィルタリングする水
平フィルタ手段と、前記水平フィルタ手段によりフィルタリングされた多値
デジタルデータを所定の基準値に基づいて２値化データ
に変換する２値化手段と、前記多値デジタルデータと２値化データに基づいて前記
被検査物の欠陥部分を検出する検出手段とを具備するこ
とを特徴とする欠陥情報処理装置。
【請求項２】前記垂直フィルタ手段は、前記垂直方向の第１の範囲における前記多値デジタルデ
ータの差分値を演算する第１演算手段と、前記垂直方向の第２の範囲における前記多値デジタルデ
ータの差分値を演算する第２演算手段と、前記第１演算手段と第２演算手段により演算された差分
値の差を演算する差分演算手段とを具備することを特徴
とする請求項１に記載の欠陥情報処理装置。
【請求項３】前記２値化手段は、前記水平フィルタ手
段によりフィルタリングされた多値デジタルデータが第
１の基準値を超える場合又は第２の基準値を下回る場合
に２値化データとして画素値１を設定し、該第１と第２
の基準値の間にある場合に画素値０に設定することを特
徴とする請求項１又は２に記載の欠陥情報処理装置。
【請求項４】前記２値化手段は、前記画素値１の画素に対して隣接する画素の画素値を１
とする膨張手段と、前記膨張手段により処理された２値化データについて、
画素値０の画素に対して隣接する画素の画素値を０とす
る収縮手段とを具備することを特徴とする請求項３に記
載の欠陥情報処理装置。
【請求項５】前記膨張手段は、前記画素値１の画素と
分離しているが所定領域内で近接している画素の画素値
を１に設定して画素間を連結することを特徴とする請求
項４に記載の欠陥情報処理装置。
【請求項６】前記収縮手段は、画素値１の画素の集合
に対して所定領域隔てて孤立して存在する画素値１の画
素を画素値０に設定することを特徴とする請求項４に記
載の欠陥情報処理装置。
【請求項７】前記水平フィルタ手段によりフィルタリ
ングされた多値デジタルデータを記憶する記憶手段と、前記多値デジタルデータと２値化データに基づいて前記
画素値１である画素の特徴データを算出する算出手段を
更に具備することを特徴とする請求項３乃至６のいずれ
か１項に記載の欠陥情報処理装置。
【請求項８】前記特徴データは、多値デジタルデータ
の最大値、最小値、画素数、座標値であることを特徴と
する請求項７に記載の欠陥情報処理装置。
【請求項９】前記特徴データに基づいて前記被検査物
が良品か否かを判定する判定手段を更に具備することを
特徴とする請求項８に記載の欠陥情報処理装置。
【請求項１０】前記垂直フィルタ手段の第１の範囲
は、前記被検査物について検出したい欠陥の大きさに対
応するように設定されることを特徴とする請求項２に記
載の欠陥情報処理装置。
【請求項１１】前記画像入力手段は、前記被検査物の
検査面に照射された光の反射光を取り込む光センサであ
ることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に
記載の欠陥情報処理装置。
【請求項１２】前記被検査物は感光ドラムであること
を特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の
欠陥情報処理装置。
【請求項１３】前記被検査物は現像スリーブであるこ
とを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載
の欠陥情報処理装置。
【請求項１４】前記被検査物は帯電ローラであること
を特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の
欠陥情報処理装置。
【請求項１５】前記被検査物は印画紙搬送ローラであ
ることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に
記載の欠陥情報処理装置。
【請求項１６】前記被検査物は液晶ディスプレイ用基
板であることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか
１項に記載の欠陥情報処理装置。
【請求項１７】前記被検査物は印画紙であることを特
徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の欠陥
情報処理装置。
【請求項１８】被検査物の２次元画像を取り込む画像
入力工程と、前記２次元画像を多値デジタルデータに変換するデジタ
ル変換工程と、前記多値デジタル画像データを垂直方向にフィルタリン
グする垂直フィルタ工程と、前記垂直フィルタ工程にてフィルタリングされた多値デ
ジタル画像データを水平方向にフィルタリングする水平
フィルタ工程と、前記水平フィルタ工程にてフィルタリングされた多値デ
ジタルデータを所定の基準値に基づいて２値化データに
変換する２値化工程と、前記多値デジタルデータと２値化データに基づいて前記
被検査物の欠陥部分を検出する検出工程とを備えること
を特徴とする欠陥情報処理方法。
【請求項１９】前記垂直フィルタ工程は、前記垂直方向の第１の範囲における前記多値デジタルデ
ータの差分値を演算する第１演算工程と、前記垂直方向の第２の範囲における前記多値デジタルデ
ータの差分値を演算する第２演算工程と、前記第１演算工程と第２演算工程にて演算された差分値
の差を演算する差分演算工程とを備えることを特徴とす
る請求項１８に記載の欠陥情報処理方法。
【請求項２０】前記２値化工程では、前記水平フィル
タ工程にてフィルタリングされた多値デジタルデータが
第１の基準値を超える場合又は第２の基準値を下回る場
合に２値化データとして画素値１を設定し、該第１と第
２の基準値の間にある場合に画素値０に設定することを
特徴とする請求項１８又は１９に記載の欠陥情報処理方
法。
【請求項２１】前記２値化工程は、前記画素値１の画素に対して隣接する画素の画素値を１
とする膨張工程と、前記膨張工程にて処理された２値化データについて、画
素値０の画素に対して隣接する画素の画素値を０とする
収縮工程とを備えることを特徴とする請求項２０に記載
の欠陥情報処理方法。
【請求項２２】前記膨張工程では、前記画素値１の画
素と分離しているが所定領域内で近接している画素の画
素値を１に設定して画素間を連結することを特徴とする
請求項２１に記載の欠陥情報処理方法。
【請求項２３】前記収縮工程では、画素値１の画素の
集合に対して所定領域隔てて孤立して存在する画素値１
の画素を画素値０に設定することを特徴とする請求項２
１に記載の欠陥情報処理方法。
【請求項２４】前記水平フィルタ工程にてフィルタリ
ングされた多値デジタルデータを記憶する記憶工程と、前記多値デジタルデータと２値化データに基づいて前記
画素値１である画素の特徴データを算出する算出工程を
更に備えることを特徴とする請求項２０乃至２３のいず
れか１項に記載の欠陥情報処理方法。
【請求項２５】前記特徴データは、多値デジタルデー
タの最大値、最小値、画素数、座標値であることを特徴
とする請求項２４に記載の欠陥情報処理方法。
【請求項２６】前記特徴データに基づいて前記被検査
物が良品か否かを判定する判定工程を更に備えることを
特徴とする請求項２５に記載の欠陥情報処理方法。
【請求項２７】前記垂直フィルタ工程の第１の範囲
は、前記被検査物について検出したい欠陥の大きさに対
応するように設定されることを特徴とする請求項１９に
記載の欠陥情報処理方法。
【請求項２８】前記画像入力工程では、前記被検査物
の検査面に照射された光の反射光を取り込む光センサを
用いて該被検査物の２次元画像を取り込むことを特徴と
する請求項１８乃至２７のいずれか１項に記載の欠陥情
報処理方法。
【請求項２９】前記被検査物は感光ドラムであること
を特徴とする請求項１８乃至２７のいずれか１項に記載
の欠陥情報処理方法。
【請求項３０】前記被検査物は現像スリーブであるこ
とを特徴とする請求項１８乃至２７のいずれか１項に記
載の欠陥情報処理方法。
【請求項３１】前記被検査物は帯電ローラであること
を特徴とする請求項１８乃至２７のいずれか１項に記載
の欠陥情報処理方法。
【請求項３２】前記被検査物は印画紙搬送ローラであ
ることを特徴とする請求項１８乃至２７のいずれか１項
に記載の欠陥情報処理方法。
【請求項３３】前記被検査物は液晶ディスプレイ用基
板であることを特徴とする請求項１８乃至２７のいずれ
か１項に記載の欠陥情報処理方法。
【請求項３４】前記被検査物は印画紙であることを特
徴とする請求項１８乃至２７のいずれか１項に記載の欠
陥情報処理方法。
【請求項３５】被検査物の欠陥情報を処理するための
プログラムコードが格納されたコンピュータ可読メモリ
であって、前記被検査物の２次元画像を取り込む画像入力工程と、
前記２次元画像を多値デジタルデータに変換するデジタ
ル変換工程と、前記多値デジタル画像データを垂直方向
にフィルタリングする垂直フィルタ工程と、前記垂直フ
ィルタ工程にてフィルタリングされた多値デジタル画像
データを水平方向にフィルタリングする水平フィルタ工
程と、前記水平フィルタ工程にてフィルタリングされた
多値デジタルデータを所定の基準値に基づいて２値化デ
ータに変換する２値化工程とを経て生成された前記多値
デジタルデータと２値化データに基づいて、前記２値化データが１である画素の特徴データを算出す
る工程のコードと、前記特徴データに基づいて前記被検査物が良品か否かを
判定する工程のコードを備えることを特徴とするコンピ
ュータ可読メモリ。