JPH11188670A - ２アーム方式の搬送用ロボット装置 - Google Patents
２アーム方式の搬送用ロボット装置Info
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- JPH11188670A JPH11188670A JP9368398A JP36839897A JPH11188670A JP H11188670 A JPH11188670 A JP H11188670A JP 9368398 A JP9368398 A JP 9368398A JP 36839897 A JP36839897 A JP 36839897A JP H11188670 A JPH11188670 A JP H11188670A
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- hand
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Program-controlled manipulators
- B25J9/06—Program-controlled manipulators characterised by multi-articulated arms
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Program-controlled manipulators
- B25J9/02—Program-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Program-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
- B25J9/041—Cylindrical coordinate type
- B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/33—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H10P72/3302—Mechanical parts of transfer devices
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10S414/00—Material or article handling
- Y10S414/13—Handlers utilizing parallel links
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
- Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】ハンド部材の基端部側の高さを可及的に小さく
すると共に、コンパクトで生産性の良好な２アーム方式
の搬送用ロボット装置を提供する。 【解決手段】平行４節リンク構造をもつ第１アーム機構
２９は第１回転軸２と第２回転軸に連結され、ほぼ同一
機構の第２アーム機構４９が第３回転軸４と第４回転軸
に連結される。第１ハンド部材２８と第２ハンド部材４
８は上下方向に離間して置かれる。各ハンド部材が連結
軸側に引き寄せられた際に、ハンド部材の後方と回転軸
とが半径方向に間隙を持つ。第１アーム１５と中間リン
ク１７・１８、３７・３８が第１支点Ｏ１、第３支点Ｏ
３を中心にして各ハンド部材とは反対側に傾けられるの
で各ハンド部材は第１支点Ｏ１を通る水平方向に直線移
動する。また、各ハンド部材は第１支点Ｏ１を中心とし
て自在に旋回する。
すると共に、コンパクトで生産性の良好な２アーム方式
の搬送用ロボット装置を提供する。 【解決手段】平行４節リンク構造をもつ第１アーム機構
２９は第１回転軸２と第２回転軸に連結され、ほぼ同一
機構の第２アーム機構４９が第３回転軸４と第４回転軸
に連結される。第１ハンド部材２８と第２ハンド部材４
８は上下方向に離間して置かれる。各ハンド部材が連結
軸側に引き寄せられた際に、ハンド部材の後方と回転軸
とが半径方向に間隙を持つ。第１アーム１５と中間リン
ク１７・１８、３７・３８が第１支点Ｏ１、第３支点Ｏ
３を中心にして各ハンド部材とは反対側に傾けられるの
で各ハンド部材は第１支点Ｏ１を通る水平方向に直線移
動する。また、各ハンド部材は第１支点Ｏ１を中心とし
て自在に旋回する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置や
液晶基板製造装置等に用いられて、特には、真空雰囲気
下で被加工物を処理室間に搬送するための２アーム方式
の搬送用ロボット装置に関する。
液晶基板製造装置等に用いられて、特には、真空雰囲気
下で被加工物を処理室間に搬送するための２アーム方式
の搬送用ロボット装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に半導体製造装置や液晶基板製造装
置等においては、被加工物、例えばウエハを載置するた
めのハンド部材をアームにより水平方向に直線的に移動
させると共に、ハンド部材を先端に取付けたアームを水
平方向に旋回させる搬送用ロボット装置が用いられ、こ
の搬送用ロボット装置の旋回軸を中心とした放射状の複
数箇所に各種の製造工程にたずさわる処理室が配置され
て、搬送用ロボット装置により、適宜の処理室間に被加
工物が搬入・搬出されている。
置等においては、被加工物、例えばウエハを載置するた
めのハンド部材をアームにより水平方向に直線的に移動
させると共に、ハンド部材を先端に取付けたアームを水
平方向に旋回させる搬送用ロボット装置が用いられ、こ
の搬送用ロボット装置の旋回軸を中心とした放射状の複
数箇所に各種の製造工程にたずさわる処理室が配置され
て、搬送用ロボット装置により、適宜の処理室間に被加
工物が搬入・搬出されている。
【０００３】ところで、搬送処理の能率化を図るため、
夫々のアームの先端にハンド部材を取付けた、いわゆる
２アーム方式の搬送用ロボットが使用されている。
夫々のアームの先端にハンド部材を取付けた、いわゆる
２アーム方式の搬送用ロボットが使用されている。
【０００４】従来、２アーム方式の搬送用ロボット装置
としては、例えば、図１４乃至図１７に示される装置が
提言されている。すなわち、図１４乃至図１７におい
て、８０は固定の枠体、８１は、固定の枠体８０に対し
て適宜の駆動機により軸芯Ｏ1 のまわりに旋回される水
平旋回台、８２は水平旋回台８１の軸芯Ｏ1 と平行な第
１支点Ｐ1 のまわりで回転自在に支持された第１のアー
ムで、この第１のアーム８２は旋回台８１に取付けられ
た適宜の駆動機により適宜に回転駆動される。８３は第
１のアーム８２に対して第１支点Ｐ1 に平行な第２支点
Ｑ1 のまわりで回転自在に支持された第２のアーム、８
４は第２のアーム８３に対して第２支点Ｑ1 に平行な第
３支点Ｒ1 のまわりで回転自在に支持されたハンド部
材、８５は、第１支点Ｐ1 を軸芯として旋回台８１に固
定された第１の回転伝達部材、８６は、第２支点Ｑ1 を
軸芯として第２のアーム８３に固定された第２の回転伝
達部材、８７は、第２支点Ｑ1 を軸芯として第１のアー
ム８２に固定された第３の回転伝達部材、８８は、第３
支点Ｒ1 を軸芯としてハンド部材８４に固定された第４
の回転伝達部材、８９および９０は、第１の回転伝達部
材８５と第２の回転伝達部材８６および第３の回転伝達
部材８７と第４の回転伝達部材８８との間に夫々配設さ
れた第１および第２の回転連結具である。なお、第１お
よび第２の支点の間隔Ｓと、第３および第４の支点の間
隔Ｓとが同一で、かつ第１の回転伝達部材８５と第２の
回転伝達部材８６および第４の回転伝達部材８８と第３
の回転伝達部材８７との半径比が夫々２：１に形成され
ている。勿論、第１乃至第４の回転伝達部材８５乃至８
８は、チェーンスプロケットあるいはプーリーが適宜に
用いられ、これらに応じて第１および第２の回転連結具
８９，９０はチェーンあるいは歯付ベルト等が適宜に用
いられる。
としては、例えば、図１４乃至図１７に示される装置が
提言されている。すなわち、図１４乃至図１７におい
て、８０は固定の枠体、８１は、固定の枠体８０に対し
て適宜の駆動機により軸芯Ｏ1 のまわりに旋回される水
平旋回台、８２は水平旋回台８１の軸芯Ｏ1 と平行な第
１支点Ｐ1 のまわりで回転自在に支持された第１のアー
ムで、この第１のアーム８２は旋回台８１に取付けられ
た適宜の駆動機により適宜に回転駆動される。８３は第
１のアーム８２に対して第１支点Ｐ1 に平行な第２支点
Ｑ1 のまわりで回転自在に支持された第２のアーム、８
４は第２のアーム８３に対して第２支点Ｑ1 に平行な第
３支点Ｒ1 のまわりで回転自在に支持されたハンド部
材、８５は、第１支点Ｐ1 を軸芯として旋回台８１に固
定された第１の回転伝達部材、８６は、第２支点Ｑ1 を
軸芯として第２のアーム８３に固定された第２の回転伝
達部材、８７は、第２支点Ｑ1 を軸芯として第１のアー
ム８２に固定された第３の回転伝達部材、８８は、第３
支点Ｒ1 を軸芯としてハンド部材８４に固定された第４
の回転伝達部材、８９および９０は、第１の回転伝達部
材８５と第２の回転伝達部材８６および第３の回転伝達
部材８７と第４の回転伝達部材８８との間に夫々配設さ
れた第１および第２の回転連結具である。なお、第１お
よび第２の支点の間隔Ｓと、第３および第４の支点の間
隔Ｓとが同一で、かつ第１の回転伝達部材８５と第２の
回転伝達部材８６および第４の回転伝達部材８８と第３
の回転伝達部材８７との半径比が夫々２：１に形成され
ている。勿論、第１乃至第４の回転伝達部材８５乃至８
８は、チェーンスプロケットあるいはプーリーが適宜に
用いられ、これらに応じて第１および第２の回転連結具
８９，９０はチェーンあるいは歯付ベルト等が適宜に用
いられる。
【０００５】上記８２乃至９０により第１のアーム機構
９１が構成され、この第１のアーム機構とＸ−Ｘ線に対
して線対称に構成された第２のアーム機構９２が、軸芯
Ｏ1と平行な第２支点Ｐ2 のまわりで回転自在に支持さ
れている。すなわち、軸芯Ｏ1 と第１及び第２の支点Ｐ
1 、Ｐ2 との間隔は同一である。上記８０乃至９２によ
り２アーム方式の搬送用ロボット装置が構成されてい
る。この搬送用ロボット装置において、第１及び第２の
アーム機構９１、９２の動作は線対称であるが、実質的
に同一であるため、第１のアーム機構９１の動作につい
て説明する。今、仮に旋回台８１が固定の枠体８０に対
して固定の状態に維持されているものとする。図１６に
おいて、第１，第２および第３支点Ｐ1 ，Ｑ1 ，Ｒ1 が
一直線上に位置する状態で駆動機により第１のアーム８
２が第１支点Ｐ1 を中心として反時計方向に角度θだけ
回動されたものとする。
９１が構成され、この第１のアーム機構とＸ−Ｘ線に対
して線対称に構成された第２のアーム機構９２が、軸芯
Ｏ1と平行な第２支点Ｐ2 のまわりで回転自在に支持さ
れている。すなわち、軸芯Ｏ1 と第１及び第２の支点Ｐ
1 、Ｐ2 との間隔は同一である。上記８０乃至９２によ
り２アーム方式の搬送用ロボット装置が構成されてい
る。この搬送用ロボット装置において、第１及び第２の
アーム機構９１、９２の動作は線対称であるが、実質的
に同一であるため、第１のアーム機構９１の動作につい
て説明する。今、仮に旋回台８１が固定の枠体８０に対
して固定の状態に維持されているものとする。図１６に
おいて、第１，第２および第３支点Ｐ1 ，Ｑ1 ，Ｒ1 が
一直線上に位置する状態で駆動機により第１のアーム８
２が第１支点Ｐ1 を中心として反時計方向に角度θだけ
回動されたものとする。
【０００６】今、第１の回転伝達部材８５は固定状態に
あり、このときに第２支点Ｑ1 がＱ11の位置まで角度θ
だけ反時計方向に移動すれば、第１および第２の回転伝
達部材８５，８６間に配設された第１の連結具８９のう
ち、Ｙ1 方向のものは第１の回転伝達部材８５に巻きつ
き、Ｙ2 方向のものは第１の回転伝達部材８５から巻戻
された状態となる。すなわち、図１６において第１の連
結具８９はａ1 およびａ2 の方向に移動する。これによ
り第２の回転伝達部材８６は第２支点Ｑ1 を中心として
時計方向に回動される。ところで第１の回転伝達部材８
５と第２の回転伝達部材８６とは半径比が２：１である
ため、上記のごとく、第１のアーム８２が第１支点Ｐ1
を中心として角度θだけ反時計方向に回動すれば、第２
の回転伝達部材８６は第２支点Ｑ11を中心として角度２
θだけ時計方向に回動される。この場合、第２の回転伝
達部材８６は第２のアーム８３に固定されているため、
第２の回転伝達部材８６と第２のアーム８３とは第２支
点Ｑ1 を中心として角度２θだけ時計方向に回動され
る。すなわち、第１，第２および第３支点Ｐ1 ，Ｑ1 ，
Ｒ1 が一直線上に位置する状態で第１のアーム８２が第
１支点Ｐ1 を中心として反時計方向に角度θだけ回動さ
れると、仮想的に第３支点はＲ11の位置に回動される
が、この場合、上記のごとく、第２の回転伝達部材８６
は第２支点Ｑ11を中心として角度２θだけ時計方向に回
動される。このため、第３支点Ｒ11は第２支点Ｑ11を中
心として角度２θだけ時計方向に回動されて、Ｒ12の位
置に回動される。従って、上記のごとく第１のアーム８
２が上記のごとく第１支点Ｐ1 を中心として反時計方向
に角度θだけ回動されたときの第３支点Ｒ12の位置は、
第１および第２のアーム８２，８３の回動前の第１およ
び第３支点Ｐ1 ，Ｒ1 を結ぶ直線状に位置している。
あり、このときに第２支点Ｑ1 がＱ11の位置まで角度θ
だけ反時計方向に移動すれば、第１および第２の回転伝
達部材８５，８６間に配設された第１の連結具８９のう
ち、Ｙ1 方向のものは第１の回転伝達部材８５に巻きつ
き、Ｙ2 方向のものは第１の回転伝達部材８５から巻戻
された状態となる。すなわち、図１６において第１の連
結具８９はａ1 およびａ2 の方向に移動する。これによ
り第２の回転伝達部材８６は第２支点Ｑ1 を中心として
時計方向に回動される。ところで第１の回転伝達部材８
５と第２の回転伝達部材８６とは半径比が２：１である
ため、上記のごとく、第１のアーム８２が第１支点Ｐ1
を中心として角度θだけ反時計方向に回動すれば、第２
の回転伝達部材８６は第２支点Ｑ11を中心として角度２
θだけ時計方向に回動される。この場合、第２の回転伝
達部材８６は第２のアーム８３に固定されているため、
第２の回転伝達部材８６と第２のアーム８３とは第２支
点Ｑ1 を中心として角度２θだけ時計方向に回動され
る。すなわち、第１，第２および第３支点Ｐ1 ，Ｑ1 ，
Ｒ1 が一直線上に位置する状態で第１のアーム８２が第
１支点Ｐ1 を中心として反時計方向に角度θだけ回動さ
れると、仮想的に第３支点はＲ11の位置に回動される
が、この場合、上記のごとく、第２の回転伝達部材８６
は第２支点Ｑ11を中心として角度２θだけ時計方向に回
動される。このため、第３支点Ｒ11は第２支点Ｑ11を中
心として角度２θだけ時計方向に回動されて、Ｒ12の位
置に回動される。従って、上記のごとく第１のアーム８
２が上記のごとく第１支点Ｐ1 を中心として反時計方向
に角度θだけ回動されたときの第３支点Ｒ12の位置は、
第１および第２のアーム８２，８３の回動前の第１およ
び第３支点Ｐ1 ，Ｒ1 を結ぶ直線状に位置している。
【０００７】さらに、上記のごとく、第２のアーム８３
により仮想的にＲ11に位置する第３支点が第２支点Ｑ11
を中心として角度２θだけ、すなわちＲ12の位置まで時
計方向に回動された場合、第１のアーム８２に固定され
た第３の回転伝達部材８７と第４の回転伝達部材８８と
の間に配設された第２の連結具９０のうち、Ｙ2 方向の
ものは第３の回転伝達部材８７に巻きつき、Ｙ1 方向の
ものは第３の回転伝達部材８７から巻戻された状態とな
る。すなわち、図１６において第２の連結具９０は、ｂ
1 およびｂ2 の方向に移動する。これにより第４の回転
伝達部材８８は第３支点Ｒ12を中心として反時計方向に
回動される。ところで、上記のごとく、第２のアーム８
３が第２支点Ｑ11を中心として角度２θだけ時計方向に
回動すれば、第４の回転伝達部材８８と第３の回転伝達
部材８７とは半径比が２：１であるため、第４の回転伝
達部材８８は第３支点Ｒ12を中心として角度θだけ反時
計方向に回動され、結果として、第４の回転伝達部材８
８の特定点Ｃ0 は第１および第３支点Ｐ1 ，Ｒ12を結ぶ
直線上の点Ｃ1 に位置されることとなる。
により仮想的にＲ11に位置する第３支点が第２支点Ｑ11
を中心として角度２θだけ、すなわちＲ12の位置まで時
計方向に回動された場合、第１のアーム８２に固定され
た第３の回転伝達部材８７と第４の回転伝達部材８８と
の間に配設された第２の連結具９０のうち、Ｙ2 方向の
ものは第３の回転伝達部材８７に巻きつき、Ｙ1 方向の
ものは第３の回転伝達部材８７から巻戻された状態とな
る。すなわち、図１６において第２の連結具９０は、ｂ
1 およびｂ2 の方向に移動する。これにより第４の回転
伝達部材８８は第３支点Ｒ12を中心として反時計方向に
回動される。ところで、上記のごとく、第２のアーム８
３が第２支点Ｑ11を中心として角度２θだけ時計方向に
回動すれば、第４の回転伝達部材８８と第３の回転伝達
部材８７とは半径比が２：１であるため、第４の回転伝
達部材８８は第３支点Ｒ12を中心として角度θだけ反時
計方向に回動され、結果として、第４の回転伝達部材８
８の特定点Ｃ0 は第１および第３支点Ｐ1 ，Ｒ12を結ぶ
直線上の点Ｃ1 に位置されることとなる。
【０００８】上記のごとく、第１のアーム８２が第１支
点Ｐ1 を中心として反時計方向に回動され、この場合、
第４の回転伝達部材８８に固定されたハンド部材８４
は、第１のアーム８２の回動前の第１および第３支点Ｐ
1 ，Ｒ1 を結ぶ直線上で、初期姿勢を維持しつつ第１の
アーム機構９１がＸ方向に駆動される。
点Ｐ1 を中心として反時計方向に回動され、この場合、
第４の回転伝達部材８８に固定されたハンド部材８４
は、第１のアーム８２の回動前の第１および第３支点Ｐ
1 ，Ｒ1 を結ぶ直線上で、初期姿勢を維持しつつ第１の
アーム機構９１がＸ方向に駆動される。
【０００９】同様に、第２のアーム機構９２が第１およ
び第３支点Ｐ2 ，Ｒ2 を結ぶ直線上で、初期姿勢を維持
しつつＸ方向に駆動される。この第１および第２のアー
ム機構９１、９２の夫々のハンド部材８４Ａ、８４Ｂ
は、支点Ｐ1 、Ｐ2 間の位置となるように取付けられる
と共に、ハンド部材８４Ａ、８４Ｂの先端部は上下方向
に間隔を設けて取付けられているため、第１および第２
のアーム機構９１、９２の直線移動時に、夫々のハンド
部材８４、８４は相互に干渉することなく軸芯Ｏ1 を通
るＸ−Ｘ線に沿って移動する。さらに、水平旋回台８１
が軸芯Ｏ1 のまわりに旋回されることにより、第１およ
び第２のアーム機構９１、９２が同時に軸芯Ｏ1 のまわ
りに旋回される。
び第３支点Ｐ2 ，Ｒ2 を結ぶ直線上で、初期姿勢を維持
しつつＸ方向に駆動される。この第１および第２のアー
ム機構９１、９２の夫々のハンド部材８４Ａ、８４Ｂ
は、支点Ｐ1 、Ｐ2 間の位置となるように取付けられる
と共に、ハンド部材８４Ａ、８４Ｂの先端部は上下方向
に間隔を設けて取付けられているため、第１および第２
のアーム機構９１、９２の直線移動時に、夫々のハンド
部材８４、８４は相互に干渉することなく軸芯Ｏ1 を通
るＸ−Ｘ線に沿って移動する。さらに、水平旋回台８１
が軸芯Ｏ1 のまわりに旋回されることにより、第１およ
び第２のアーム機構９１、９２が同時に軸芯Ｏ1 のまわ
りに旋回される。
【００１０】このように、２アーム式の搬送用ロボット
装置の旋回軸芯Ｏ1 を中心とした円周方向の放射状の複
数箇所に、例えば６箇所に適宜の処理室７１〜７６を配
置して、被加工物の搬送処理が適宜に行なわれている。
装置の旋回軸芯Ｏ1 を中心とした円周方向の放射状の複
数箇所に、例えば６箇所に適宜の処理室７１〜７６を配
置して、被加工物の搬送処理が適宜に行なわれている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の２アーム方式の搬送用ロボット装置においては、図
１４乃至図１７示されるごとく、第１および第２のアー
ム機構９１，９２の回転駆動軸の軸芯Ｐ1 ，Ｐ2 は水平
旋回台８１の旋回軸の軸芯Ｏ1 を跨いで配置されている
ため、水平旋回台８１の回転半径が大きくなる。このた
め、水平旋回台８１を固定の枠体８０に回転自在に取付
けるための回転用軸受９３，９３や、この回転部分を上
下方向に対して気密に維持するための磁性流体シール９
４が大径となり、装置が大径化すると共に大径の回転用
軸受９３，９３および大径の磁性流体シール９４の使用
により装置が高価となっていた。
来の２アーム方式の搬送用ロボット装置においては、図
１４乃至図１７示されるごとく、第１および第２のアー
ム機構９１，９２の回転駆動軸の軸芯Ｐ1 ，Ｐ2 は水平
旋回台８１の旋回軸の軸芯Ｏ1 を跨いで配置されている
ため、水平旋回台８１の回転半径が大きくなる。このた
め、水平旋回台８１を固定の枠体８０に回転自在に取付
けるための回転用軸受９３，９３や、この回転部分を上
下方向に対して気密に維持するための磁性流体シール９
４が大径となり、装置が大径化すると共に大径の回転用
軸受９３，９３および大径の磁性流体シール９４の使用
により装置が高価となっていた。
【００１２】さらに、第１および第２のアーム機構９
１，９２のハンド部材８４Ａ，８４Ｂを夫々直線移動さ
せるための回転駆動機は、水平旋回台８１に搭載され
て、水平旋回台８１と共に旋回されるが、この回転用駆
動機には固定の枠体８０側から給電用のケーブルが配線
されるため、このケーブルの断線防止として旋回角度、
すなわち旋回回数が制限されていた。このため、初期設
置状態に対して、水平旋回台８１の旋回中心Ｏ1 に対す
る時計廻りおよび反時計廻りの旋回角度が許容値、例え
ば夫々５４０度以内となるように制限するための電気的
監視装置が必要であり、装置が高価となる割りには、装
置としての使い勝手が悪かった。
１，９２のハンド部材８４Ａ，８４Ｂを夫々直線移動さ
せるための回転駆動機は、水平旋回台８１に搭載され
て、水平旋回台８１と共に旋回されるが、この回転用駆
動機には固定の枠体８０側から給電用のケーブルが配線
されるため、このケーブルの断線防止として旋回角度、
すなわち旋回回数が制限されていた。このため、初期設
置状態に対して、水平旋回台８１の旋回中心Ｏ1 に対す
る時計廻りおよび反時計廻りの旋回角度が許容値、例え
ば夫々５４０度以内となるように制限するための電気的
監視装置が必要であり、装置が高価となる割りには、装
置としての使い勝手が悪かった。
【００１３】さらにまた、旋回時には、水平旋回台８１
に搭載した第１および第２のアーム機構９１，９２が同
時に旋回するため、使用上次のような問題があった。
に搭載した第１および第２のアーム機構９１，９２が同
時に旋回するため、使用上次のような問題があった。
【００１４】すなわち、図１７において、例えば被加工
物であるウエハが収納された供給処理室７２に対して、
第１及び第２のアーム機構９１，９２が順次に作動され
て夫々２個のハンド部材８４Ａ，８４Ｂ上にウエハが載
置され、この後ウエハが処理室７３と処理室７１とに搬
送されるものとする。この場合、まず第１および第２の
アーム機構９１，９２を搭載した水平旋回台８１が適宜
に旋回され、続いて例えば第１のアーム機構９１が作動
されて処理室７３内にウエハが搬送される。この後、水
平旋回台８１が処理室７１相当方向に旋回され、続いて
第２のアーム機構９２が作動されて処理室７１内にウエ
ハが搬送される。
物であるウエハが収納された供給処理室７２に対して、
第１及び第２のアーム機構９１，９２が順次に作動され
て夫々２個のハンド部材８４Ａ，８４Ｂ上にウエハが載
置され、この後ウエハが処理室７３と処理室７１とに搬
送されるものとする。この場合、まず第１および第２の
アーム機構９１，９２を搭載した水平旋回台８１が適宜
に旋回され、続いて例えば第１のアーム機構９１が作動
されて処理室７３内にウエハが搬送される。この後、水
平旋回台８１が処理室７１相当方向に旋回され、続いて
第２のアーム機構９２が作動されて処理室７１内にウエ
ハが搬送される。
【００１５】この場合、処理室７１から見れば、水平旋
回台８１が処理室７２から処理室７３相当位置へ旋回す
る旋回時間、第１のアーム機構９１による処理室７３内
へのウエハの搬入時間および水平旋回台８１が処理室７
３から処理室７１相当位置へ旋回するときの途中時間、
すなわち処理室７３から処理室７２相当位置まで水平旋
回台８１が旋回するまでの遊走旋回時間の合計時間が処
理室７１にとっての待ち時間となっている。
回台８１が処理室７２から処理室７３相当位置へ旋回す
る旋回時間、第１のアーム機構９１による処理室７３内
へのウエハの搬入時間および水平旋回台８１が処理室７
３から処理室７１相当位置へ旋回するときの途中時間、
すなわち処理室７３から処理室７２相当位置まで水平旋
回台８１が旋回するまでの遊走旋回時間の合計時間が処
理室７１にとっての待ち時間となっている。
【００１６】勿論、上記待ち時間は２つの処理室の間隔
が離れる程大きくなり、しかも、２アーム式の搬送用ロ
ボット装置は多数の処理室、例えば７１〜７６に対して
適宜に反復作動されて被加工物の搬送が行なわれるた
め、１日の作業における上記待ち時間の合計時間は相当
な値となっていた。このため、上記待ち時間の少ない、
生産性の良好な２アーム方式の搬送用ロボット装置の実
現が嘱望されていた。
が離れる程大きくなり、しかも、２アーム式の搬送用ロ
ボット装置は多数の処理室、例えば７１〜７６に対して
適宜に反復作動されて被加工物の搬送が行なわれるた
め、１日の作業における上記待ち時間の合計時間は相当
な値となっていた。このため、上記待ち時間の少ない、
生産性の良好な２アーム方式の搬送用ロボット装置の実
現が嘱望されていた。
【００１７】本発明は上述の問題に鑑みてなされたもの
で、その目的は、コンパクトで使い勝手が良く、かつ安
価で生産性の良好な２アーム方式の搬送用ロボット装置
を提供することである。
で、その目的は、コンパクトで使い勝手が良く、かつ安
価で生産性の良好な２アーム方式の搬送用ロボット装置
を提供することである。
【００１８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本第１の発明は、被加工物を載置するためのハンド
部材を夫々先端に取付けた第１および第２のアーム機構
を有し、該ハンド部材を水平方向に直線移動させると共
に該ハンド部材を水平方向に旋回させる２アーム方式の
搬送用ロボット装置に適用される。その特徴とするとこ
ろは、固定の枠体と、水平旋回軸の軸芯である第１支点
のまわりで前記固定の枠体に回転自在に同軸に支持され
た第１乃至第４の回転軸と、前記固定の枠体に取付けら
れて、前記第１乃至第４の回転軸に夫々連結された第１
乃至第４の回転駆動機とを具備し、かつ、前記第１の回
転軸に取付けられた第１アームと、前記第１アームに対
して第１支点に平行な第２支点のまわりで回転自在な外
側リンクと、平面視で第２支点を跨いだ外側の位置で対
をなす第３支点のまわりで外側リンクに対して回転自在
に支持された１対の中間リンクと、１対の中間リンクの
自由端部で対をなす第４支点のまわりで回転自在に支持
されて、前記回転軸に対して半径方向に間隙を有する内
側リンクであって、該内側リンクの自由端部に第１のハ
ンド部材が突設されて、該内側リンク、１対の中間リン
クおよび外側リンクにより、第３および第４の支点の間
隔と第１および第２の支点の間隔とが同一に形成された
平行四節リンクと、第２の回転軸に固定された第１の回
転伝達部材と、第２支点を軸芯として外側リンクに固定
された第２の回転伝達部材と、第２支点を軸芯として第
１アームに固定された第３の回転伝達部材と、第３支点
を軸芯として中間リンクに固定された第４の回転伝達部
材と、第１の回転伝達部材と第２の回転伝達部材および
と第３の回転伝達部材と第４の回転伝達部材との間に夫
々配設された第１および第２の回転連結具とにより第１
のアーム機構が構成されると共に、該第１のアーム機構
と実質的に同一構造の第２のアーム機構が第３および第
４の回転軸に連結され、該第１および第２のアーム機構
に突設される第１および第２のハンド部材が上下方向に
離間されて、ハンド部材が回転軸側に引き寄せられた際
に、ハンド部材の後方と回転軸とが半径方向に間隙を有
すると共に、第１アームおよび中間リンクが第１支点お
よび第３支点を中心として各々ハンド部材とは反対側に
傾けられ、該第１および第２のハンド部材が第１支点を
通る水平方向に適宜に直線移動されると共に、該第１お
よび第２のハンド部材が第１支点を中心として自在に旋
回されることである。
め、本第１の発明は、被加工物を載置するためのハンド
部材を夫々先端に取付けた第１および第２のアーム機構
を有し、該ハンド部材を水平方向に直線移動させると共
に該ハンド部材を水平方向に旋回させる２アーム方式の
搬送用ロボット装置に適用される。その特徴とするとこ
ろは、固定の枠体と、水平旋回軸の軸芯である第１支点
のまわりで前記固定の枠体に回転自在に同軸に支持され
た第１乃至第４の回転軸と、前記固定の枠体に取付けら
れて、前記第１乃至第４の回転軸に夫々連結された第１
乃至第４の回転駆動機とを具備し、かつ、前記第１の回
転軸に取付けられた第１アームと、前記第１アームに対
して第１支点に平行な第２支点のまわりで回転自在な外
側リンクと、平面視で第２支点を跨いだ外側の位置で対
をなす第３支点のまわりで外側リンクに対して回転自在
に支持された１対の中間リンクと、１対の中間リンクの
自由端部で対をなす第４支点のまわりで回転自在に支持
されて、前記回転軸に対して半径方向に間隙を有する内
側リンクであって、該内側リンクの自由端部に第１のハ
ンド部材が突設されて、該内側リンク、１対の中間リン
クおよび外側リンクにより、第３および第４の支点の間
隔と第１および第２の支点の間隔とが同一に形成された
平行四節リンクと、第２の回転軸に固定された第１の回
転伝達部材と、第２支点を軸芯として外側リンクに固定
された第２の回転伝達部材と、第２支点を軸芯として第
１アームに固定された第３の回転伝達部材と、第３支点
を軸芯として中間リンクに固定された第４の回転伝達部
材と、第１の回転伝達部材と第２の回転伝達部材および
と第３の回転伝達部材と第４の回転伝達部材との間に夫
々配設された第１および第２の回転連結具とにより第１
のアーム機構が構成されると共に、該第１のアーム機構
と実質的に同一構造の第２のアーム機構が第３および第
４の回転軸に連結され、該第１および第２のアーム機構
に突設される第１および第２のハンド部材が上下方向に
離間されて、ハンド部材が回転軸側に引き寄せられた際
に、ハンド部材の後方と回転軸とが半径方向に間隙を有
すると共に、第１アームおよび中間リンクが第１支点お
よび第３支点を中心として各々ハンド部材とは反対側に
傾けられ、該第１および第２のハンド部材が第１支点を
通る水平方向に適宜に直線移動されると共に、該第１お
よび第２のハンド部材が第１支点を中心として自在に旋
回されることである。
【００１９】さらに、本第２の発明は、本第１の発明に
おいて、前記上下方向に離間される第１および第２のハ
ンド部材が、回転軸部を除く水平方向に配置されたカバ
ーにより区画された空間を位置変位自在に移動されるこ
とを特徴としている。
おいて、前記上下方向に離間される第１および第２のハ
ンド部材が、回転軸部を除く水平方向に配置されたカバ
ーにより区画された空間を位置変位自在に移動されるこ
とを特徴としている。
【００２０】さらに、本第３の発明は、本第１又は第２
の発明において、前記同軸に支持された第１乃至第４の
回転軸が、気密用の磁性流体シールを介して回転自在に
支持されてなることを特徴としている。
の発明において、前記同軸に支持された第１乃至第４の
回転軸が、気密用の磁性流体シールを介して回転自在に
支持されてなることを特徴としている。
【００２１】＜作用＞上記のごとく、本第１の発明にお
いては、ハンド部材が回転軸側に引き寄せられた際に、
ハンド部材の後方と回転軸とが半径方向に間隙を有する
と共に、第１アームおよび中間リンクが第１支点および
第３支点を中心として各々ハンド部材とは反対側に傾け
られるため、このハンド部材の待避状態と被加工物を適
宜の処理室へと搬送するハンド部材の突出状態とに位置
変位させるための第１アームの回転角度を大きくするこ
とができる。すなわち第１アームの回転角度を大きくし
て、ハンド部材の水平方向の直線移動ストロークを大き
くすることができるため、旋回中心から可及的に離間し
た突出状態にハンド部材を位置変位させ得るにも拘わら
ず、ハンド部材の水平旋回状態、すなわちハンド部材の
待避状態においては、ハンド部材が可及的に回転軸側に
引き寄せられるため、装置として必要な旋回半径を可及
的に小さく、すなわちコンパクトにすることができる。
いては、ハンド部材が回転軸側に引き寄せられた際に、
ハンド部材の後方と回転軸とが半径方向に間隙を有する
と共に、第１アームおよび中間リンクが第１支点および
第３支点を中心として各々ハンド部材とは反対側に傾け
られるため、このハンド部材の待避状態と被加工物を適
宜の処理室へと搬送するハンド部材の突出状態とに位置
変位させるための第１アームの回転角度を大きくするこ
とができる。すなわち第１アームの回転角度を大きくし
て、ハンド部材の水平方向の直線移動ストロークを大き
くすることができるため、旋回中心から可及的に離間し
た突出状態にハンド部材を位置変位させ得るにも拘わら
ず、ハンド部材の水平旋回状態、すなわちハンド部材の
待避状態においては、ハンド部材が可及的に回転軸側に
引き寄せられるため、装置として必要な旋回半径を可及
的に小さく、すなわちコンパクトにすることができる。
【００２２】更に、第１乃至第４の回転軸は、垂直線を
軸芯として同軸に回転支持されているため、第１乃至第
４の回転軸を回転自在に支持する回転軸受を可及的に小
径とすることができ、装置がコンパクトとなり、かつ小
径の回転軸受を使用するため装置が安価となる。
軸芯として同軸に回転支持されているため、第１乃至第
４の回転軸を回転自在に支持する回転軸受を可及的に小
径とすることができ、装置がコンパクトとなり、かつ小
径の回転軸受を使用するため装置が安価となる。
【００２３】更に、前記第１および第２のアーム機構に
突設される第１および第２のハンド部材が上下方向に離
間されて配置されるため、第１および第２のハンド部材
は相互に干渉することがなく、かつ第１および第２のハ
ンド部材の相互の上下面の間隔を小さくすることがで
き、ハンド部材出入り用の真空処理室の窓を小さくする
ことができる。
突設される第１および第２のハンド部材が上下方向に離
間されて配置されるため、第１および第２のハンド部材
は相互に干渉することがなく、かつ第１および第２のハ
ンド部材の相互の上下面の間隔を小さくすることがで
き、ハンド部材出入り用の真空処理室の窓を小さくする
ことができる。
【００２４】勿論、第１アームの回転によりハンド部材
を水平方向に直線移動させるためには、第１および第２
の支点の間隔と第３および第４の支点の間隔とを同一の
長さ、例えばＬ1 にする必要があるが、外側リンクにお
ける第３支点は第２支点よりも間隔Ｌ2 だけ外側にオフ
セットされているため、ハンド部材の基部側である内側
リンクの第４の支点と第１の支点とが間隔Ｌ2 を維持し
つつ、第１アームの回転によりハンド部材が水平方向に
直線移動することができる。なお、上記のごとくハンド
部材の基部側である内側リンクの第４の支点と第１の支
点とが間隔Ｌ2 を維持して配置されるため、第１アーム
の回転軸とハンド部材の旋回軸とを同軸とすることがで
きる。
を水平方向に直線移動させるためには、第１および第２
の支点の間隔と第３および第４の支点の間隔とを同一の
長さ、例えばＬ1 にする必要があるが、外側リンクにお
ける第３支点は第２支点よりも間隔Ｌ2 だけ外側にオフ
セットされているため、ハンド部材の基部側である内側
リンクの第４の支点と第１の支点とが間隔Ｌ2 を維持し
つつ、第１アームの回転によりハンド部材が水平方向に
直線移動することができる。なお、上記のごとくハンド
部材の基部側である内側リンクの第４の支点と第１の支
点とが間隔Ｌ2 を維持して配置されるため、第１アーム
の回転軸とハンド部材の旋回軸とを同軸とすることがで
きる。
【００２５】勿論、前記第１および第２の回転駆動機と
前記第３および第４の回転駆動機とにより、第１および
第２のハンド部材が相互に干渉することなく、かつ夫々
任意に、自在に直線移動および旋回されるため、待ち時
間なく第１および第２のハンド部材により被加工物を適
宜の処理室に対して搬送することができ、生産性が向上
する。
前記第３および第４の回転駆動機とにより、第１および
第２のハンド部材が相互に干渉することなく、かつ夫々
任意に、自在に直線移動および旋回されるため、待ち時
間なく第１および第２のハンド部材により被加工物を適
宜の処理室に対して搬送することができ、生産性が向上
する。
【００２６】更に、第１および第２のハンド部材は相互
に干渉することがなく、かつ第１乃至第４の回転駆動機
は固定の枠体に取付けられているため、第１および第２
のハンド部材を角度に制限されることなく水平方向に旋
回させることができる。このため、第１および第２のハ
ンド部材は、旋回角度、すなわち旋回方向の回動角度の
確認が必要であった従来の装置に比較して、旋回角度に
関係なく自在位置に旋回されて被加工物の搬送を行なう
ことができるため、従来に比べて装置の使い勝手がよ
い。要するに、本第１の発明によればコンパクトで使い
勝手が良く、かつ安価で生産性の良好な２アーム方式の
搬送用ロボット装置を実現することができる。
に干渉することがなく、かつ第１乃至第４の回転駆動機
は固定の枠体に取付けられているため、第１および第２
のハンド部材を角度に制限されることなく水平方向に旋
回させることができる。このため、第１および第２のハ
ンド部材は、旋回角度、すなわち旋回方向の回動角度の
確認が必要であった従来の装置に比較して、旋回角度に
関係なく自在位置に旋回されて被加工物の搬送を行なう
ことができるため、従来に比べて装置の使い勝手がよ
い。要するに、本第１の発明によればコンパクトで使い
勝手が良く、かつ安価で生産性の良好な２アーム方式の
搬送用ロボット装置を実現することができる。
【００２７】さらに本第２の発明によれば、上下方向に
離間される第１および第２のハンド部材は、回転軸部を
除く水平方向に配置されたカバーにより区画された空間
を位置変位自在に移動されるため、該カバーの上側に配
置されるアーム機構のごみや塵等が、下側に配置される
アーム機構、特に下側のアーム機構により取扱われる被
加工物上に落下して付着する虞がない。
離間される第１および第２のハンド部材は、回転軸部を
除く水平方向に配置されたカバーにより区画された空間
を位置変位自在に移動されるため、該カバーの上側に配
置されるアーム機構のごみや塵等が、下側に配置される
アーム機構、特に下側のアーム機構により取扱われる被
加工物上に落下して付着する虞がない。
【００２８】さらに本第３の発明によれば、第１乃至第
４の回転軸を同軸に回転自在に支持する、特に高価な気
密用の磁性流体シールを可及的に小径とすることができ
るため装置が安価となる。
４の回転軸を同軸に回転自在に支持する、特に高価な気
密用の磁性流体シールを可及的に小径とすることができ
るため装置が安価となる。
【００２９】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施例によ
り詳細に説明する。図１乃至図１１において、１は固定
の枠体、２乃至５は、水平旋回軸の軸芯である第１支点
Ｏ1 のまわりで固定の枠体１に回転自在に同軸に支持さ
れた第１乃至第４の回転軸で、適宜に回転軸受を介して
支持されている。例えば、固定の枠体１は真空室Ｖ．Ｃ
に取付けられるが、真空状態を維持するために、夫々の
回転軸部には気密用の磁性流体シール６乃至９が配設さ
れている。
り詳細に説明する。図１乃至図１１において、１は固定
の枠体、２乃至５は、水平旋回軸の軸芯である第１支点
Ｏ1 のまわりで固定の枠体１に回転自在に同軸に支持さ
れた第１乃至第４の回転軸で、適宜に回転軸受を介して
支持されている。例えば、固定の枠体１は真空室Ｖ．Ｃ
に取付けられるが、真空状態を維持するために、夫々の
回転軸部には気密用の磁性流体シール６乃至９が配設さ
れている。
【００３０】１１乃至１４は第１乃至第４の回転駆動機
で、この第１乃至第４の回転駆動機１１乃至１４は、適
宜に連結された減速機、スプロケットあるいはプーリー
等の回転伝達部材およびチェーンあるいは歯付ベルト等
の回転連結具を介して、第１乃至第４の回転軸２乃至５
に連結されている。
で、この第１乃至第４の回転駆動機１１乃至１４は、適
宜に連結された減速機、スプロケットあるいはプーリー
等の回転伝達部材およびチェーンあるいは歯付ベルト等
の回転連結具を介して、第１乃至第４の回転軸２乃至５
に連結されている。
【００３１】１５は第１の回転軸２に取付けられた第１
アーム、１６は第１アーム１５に対して第１支点Ｏ1 に
平行な第２支点Ｏ2 のまわりで回転自在に支持された外
側リンク、１７，１８は平面視で第２支点Ｏ2 を跨いだ
外側の位置で対をなす第３支点Ｏ3 のまわりで外側リン
ク１６に対して回転自在に支持された１対の中間リン
ク、１９は１対の中間リンク１７，１８の自由端部で対
をなす第４支点Ｏ4 のまわりで回転自在に支持された内
側リンクで、この内側リンク１９、１対の中間リンク１
７，１８および外側リンク１６により平行四節リンク２
１が形成されている。なお、この平行四節リンク２１
は、第３および第４の支点Ｏ3 ，Ｏ4 の間隔が第１およ
び第２の支点Ｏ1 ，Ｏ2 の間隔と同一に、例えば各々Ｌ
１に形成されている。
アーム、１６は第１アーム１５に対して第１支点Ｏ1 に
平行な第２支点Ｏ2 のまわりで回転自在に支持された外
側リンク、１７，１８は平面視で第２支点Ｏ2 を跨いだ
外側の位置で対をなす第３支点Ｏ3 のまわりで外側リン
ク１６に対して回転自在に支持された１対の中間リン
ク、１９は１対の中間リンク１７，１８の自由端部で対
をなす第４支点Ｏ4 のまわりで回転自在に支持された内
側リンクで、この内側リンク１９、１対の中間リンク１
７，１８および外側リンク１６により平行四節リンク２
１が形成されている。なお、この平行四節リンク２１
は、第３および第４の支点Ｏ3 ，Ｏ4 の間隔が第１およ
び第２の支点Ｏ1 ，Ｏ2 の間隔と同一に、例えば各々Ｌ
１に形成されている。
【００３２】２２は第２の回転軸３に固定された第１の
回転伝達部材、２３は第２支点Ｏ2を軸芯として外側リ
ンク１６に固定された第２の回転伝達部材、２４は第２
支点Ｏ2 を軸芯として第１アーム１５に固定された第３
の回転伝達部材、２５は第３支点Ｏ3 を軸芯として中間
リンク１７，１８に固定された第４の回転伝達部材、２
６，２７は第１の回転伝達部材２２と第２の回転伝達部
材２３および第３の回転伝達部材２４と第４の回転伝達
部材２５との間に夫々配設された第１および第２の回転
連結具である。なお、第１の回転伝達部材２２と第２の
回転伝達部材２３および第３の回転伝達部材２４と第４
の回転伝達部材２５とは夫々同一直径のものが採用され
ている。さらに、内側リンク１９の自由端部には第１の
ハンド部材２８が突設されている。上記１５乃至２８に
より第１のアーム機構２９が構成されている。
回転伝達部材、２３は第２支点Ｏ2を軸芯として外側リ
ンク１６に固定された第２の回転伝達部材、２４は第２
支点Ｏ2 を軸芯として第１アーム１５に固定された第３
の回転伝達部材、２５は第３支点Ｏ3 を軸芯として中間
リンク１７，１８に固定された第４の回転伝達部材、２
６，２７は第１の回転伝達部材２２と第２の回転伝達部
材２３および第３の回転伝達部材２４と第４の回転伝達
部材２５との間に夫々配設された第１および第２の回転
連結具である。なお、第１の回転伝達部材２２と第２の
回転伝達部材２３および第３の回転伝達部材２４と第４
の回転伝達部材２５とは夫々同一直径のものが採用され
ている。さらに、内側リンク１９の自由端部には第１の
ハンド部材２８が突設されている。上記１５乃至２８に
より第１のアーム機構２９が構成されている。
【００３３】上記第１のアーム機構２９と実質的に同一
構造をした第２のアーム機構４９、すなわち３５乃至４
８により構成される第２のアーム機構４９が第３および
第４の回転軸４、５に取付けられている。
構造をした第２のアーム機構４９、すなわち３５乃至４
８により構成される第２のアーム機構４９が第３および
第４の回転軸４、５に取付けられている。
【００３４】すなわち、図１乃至図４に示されるごと
く、第１および第２のアーム機構２９，４９は上下方
向、すなわちＺ方向に離間して配置されている。この第
１および第２のアーム機構２９，４９の平行四節リンク
２１，４１の夫々の内側リンク１９，３９には、上下方
向に離間する第１および第２のハンド部材２８，４８が
取付けられている。なお、この第１および第２のハンド
部材２８，４８は、後述するように、適宜に第１支点Ｏ
1 を通る水平方向に直線移動されると共に、第１および
第２のハンド部材２８，４８が第１支点Ｏ1 を中心とし
て適宜に旋回される。
く、第１および第２のアーム機構２９，４９は上下方
向、すなわちＺ方向に離間して配置されている。この第
１および第２のアーム機構２９，４９の平行四節リンク
２１，４１の夫々の内側リンク１９，３９には、上下方
向に離間する第１および第２のハンド部材２８，４８が
取付けられている。なお、この第１および第２のハンド
部材２８，４８は、後述するように、適宜に第１支点Ｏ
1 を通る水平方向に直線移動されると共に、第１および
第２のハンド部材２８，４８が第１支点Ｏ1 を中心とし
て適宜に旋回される。
【００３５】上記１乃至４９により２アーム方式の搬送
用ロボット装置が構成されている。勿論、垂直の第１支
点Ｏ1 を中心とした放射状の複数箇所に適宜に複数の処
理室が設けられることは、従来と同様である。
用ロボット装置が構成されている。勿論、垂直の第１支
点Ｏ1 を中心とした放射状の複数箇所に適宜に複数の処
理室が設けられることは、従来と同様である。
【００３６】上記構成において、例えば第１のアーム機
構２９の動作について説明する。なお、図３に示される
ごとく、今仮に、第１および第２の支点Ｏ1 、Ｏ2 を通
る直線が、直線Ｏ1 −Ｘ1 に対して角度θ1 だけ傾むい
ていて、この状態から第１アーム１５が第１支点Ｏ1 を
中心として角度θ、例えばθ＝θ1 ＋θ2 だけ時計方向
に回動されるものとする。
構２９の動作について説明する。なお、図３に示される
ごとく、今仮に、第１および第２の支点Ｏ1 、Ｏ2 を通
る直線が、直線Ｏ1 −Ｘ1 に対して角度θ1 だけ傾むい
ていて、この状態から第１アーム１５が第１支点Ｏ1 を
中心として角度θ、例えばθ＝θ1 ＋θ2 だけ時計方向
に回動されるものとする。
【００３７】図３および図４において、第１の回転駆動
機１１により第１の回転軸２が第１支点Ｏ1 を中心とし
て時計方向に角度θだけ回動されると、図７（Ｂ）に示
されるごとく、第１アーム１５は第１支点Ｏ1 を中心と
して時計方向に角度θ＝θ1＋θ2 だけ回動される。こ
の場合、第２の回転軸３に連結された第２の回転駆動機
１２が停止状態に維持されていると、第２の回転軸３に
固定された第１の回転伝達部材２２は固定の状態に維持
される。
機１１により第１の回転軸２が第１支点Ｏ1 を中心とし
て時計方向に角度θだけ回動されると、図７（Ｂ）に示
されるごとく、第１アーム１５は第１支点Ｏ1 を中心と
して時計方向に角度θ＝θ1＋θ2 だけ回動される。こ
の場合、第２の回転軸３に連結された第２の回転駆動機
１２が停止状態に維持されていると、第２の回転軸３に
固定された第１の回転伝達部材２２は固定の状態に維持
される。
【００３８】したがって、図７（Ａ）の状態から図７
（Ｂ）の状態となるように第１アーム１５が角度θだけ
回動されると、第１および第２の回転伝達部材２２，２
３間に配設された第１の回転連結具２６のうち、Ｙ1 方
向のものは、固定された第１の回転伝達部材２２から巻
戻され、Ｙ2 方向のものは第１の回転伝達部材２２に巻
きついた状態となる。すなわち、図７（Ｂ）において、
第１の回転連結具２６はａ1 およびａ2 の方向に移動す
る。これにより第２の回転伝達部材２３は第２支点Ｏ2
を中心として反時計方向に角度θだけ回動される。この
第２の回転伝達部材２３は外側リンク１６に固定されて
いるため、結局、図７（Ａ）の状態から図７（Ｂ）の状
態となるように第１アーム１５が角度θ＝θ1 ＋θ2 だ
け回動されると、外側リンク１６は初期の姿勢を維持し
つつ位置変位される。
（Ｂ）の状態となるように第１アーム１５が角度θだけ
回動されると、第１および第２の回転伝達部材２２，２
３間に配設された第１の回転連結具２６のうち、Ｙ1 方
向のものは、固定された第１の回転伝達部材２２から巻
戻され、Ｙ2 方向のものは第１の回転伝達部材２２に巻
きついた状態となる。すなわち、図７（Ｂ）において、
第１の回転連結具２６はａ1 およびａ2 の方向に移動す
る。これにより第２の回転伝達部材２３は第２支点Ｏ2
を中心として反時計方向に角度θだけ回動される。この
第２の回転伝達部材２３は外側リンク１６に固定されて
いるため、結局、図７（Ａ）の状態から図７（Ｂ）の状
態となるように第１アーム１５が角度θ＝θ1 ＋θ2 だ
け回動されると、外側リンク１６は初期の姿勢を維持し
つつ位置変位される。
【００３９】次に、上記における第３および第４の回転
伝達部材２４，２５と、第２の回転連結具２７との状態
について説明する。すなわち、図８（Ａ）の状態から図
８（Ｂ）の状態となるように第１アーム１５が角度θ＝
θ1 ＋θ2 だけ回動されると、第１アーム１５に固定さ
れた第３の回転伝達部材２４が初期の状態に対して、第
２支点Ｏ2 を中心として時計方向に角度θだけ回動され
た状態となり、第２の回転連結具２７がｂ1 およびｂ2
の方向に移動する。これにより第４の回転伝達部材２５
は第３支点Ｏ3 を中心として反時計方向に角度θだけ回
動される。
伝達部材２４，２５と、第２の回転連結具２７との状態
について説明する。すなわち、図８（Ａ）の状態から図
８（Ｂ）の状態となるように第１アーム１５が角度θ＝
θ1 ＋θ2 だけ回動されると、第１アーム１５に固定さ
れた第３の回転伝達部材２４が初期の状態に対して、第
２支点Ｏ2 を中心として時計方向に角度θだけ回動され
た状態となり、第２の回転連結具２７がｂ1 およびｂ2
の方向に移動する。これにより第４の回転伝達部材２５
は第３支点Ｏ3 を中心として反時計方向に角度θだけ回
動される。
【００４０】すなわち、図８（Ａ）の状態から図８
（Ｂ）の状態となるように第１アーム１５が角度θだけ
回動されると、第４の回転伝達部材２５は初期状態に対
して、第３支点Ｏ3 を中心として反時計方向に角度θだ
け回動された状態となる。ところで第４の回転伝達部材
２５，２５は中間リンク１７，１８に固定されているた
め、上記のごとく第１アーム１５が第１支点Ｏ1 を中心
として時計方向に角度θだけ回動されると、外側リンク
１６、１対の中間リンク１７，１８および内側リンク１
９により形成される平行四節リンク２１は、図９の状態
から図１０の状態となるように平行に移動する。
（Ｂ）の状態となるように第１アーム１５が角度θだけ
回動されると、第４の回転伝達部材２５は初期状態に対
して、第３支点Ｏ3 を中心として反時計方向に角度θだ
け回動された状態となる。ところで第４の回転伝達部材
２５，２５は中間リンク１７，１８に固定されているた
め、上記のごとく第１アーム１５が第１支点Ｏ1 を中心
として時計方向に角度θだけ回動されると、外側リンク
１６、１対の中間リンク１７，１８および内側リンク１
９により形成される平行四節リンク２１は、図９の状態
から図１０の状態となるように平行に移動する。
【００４１】なお、この平行四節リンク２１は、第３お
よび第４の支点Ｏ3 ，Ｏ4 の間隔が第１および第２の支
点Ｏ1 ，Ｏ2 の間隔と同一に形成され、かつ第１の回転
伝達部材２２と第２の回転伝達部材２３および第３の回
転伝達部材２４と第４の回転伝達部材２５とは夫々同一
直径のものが採用されているため、図９の状態から図１
０の状態となるように、第１アーム１５が第１支点Ｏ1
を中心として時計方向に角度θだけ回動されると、平行
四節リンク２１は初期状態に対して、第３支点Ｏ3 を中
心として反時計方向に角度θだけ平行に移動された状態
となる。
よび第４の支点Ｏ3 ，Ｏ4 の間隔が第１および第２の支
点Ｏ1 ，Ｏ2 の間隔と同一に形成され、かつ第１の回転
伝達部材２２と第２の回転伝達部材２３および第３の回
転伝達部材２４と第４の回転伝達部材２５とは夫々同一
直径のものが採用されているため、図９の状態から図１
０の状態となるように、第１アーム１５が第１支点Ｏ1
を中心として時計方向に角度θだけ回動されると、平行
四節リンク２１は初期状態に対して、第３支点Ｏ3 を中
心として反時計方向に角度θだけ平行に移動された状態
となる。
【００４２】ところで、図９および図１０に示されるご
とく、第１および第２の支点Ｏ1 ，Ｏ2 の間隔および第
３および第４の支点Ｏ3 ，Ｏ4 の間隔をＬ1 、第２およ
び第３の支点Ｏ2 ，Ｏ3 の間隔をＬ2 とし、夫々の支点
のＸ方向の間隔を、例えば、図示のごとくＸ11乃至Ｘ16
とすれば、 Ｘ12＝Ｘ13＝Ｌ1 ＣＯＳθ1 Ｘ14＝Ｘ16＝Ｌ1 ＣＯＳθ2 ＝Ｌ1 ＣＯＳ（θ−θ1 ） Ｘ13＋Ｌ2 ＝Ｘ12＋Ｘ11 Ｘ14＋Ｌ2 ＝Ｘ16＋Ｘ15 であるため、Ｘ11＝Ｌ2 およびＸ15＝Ｌ2 であることが
分かる。すなわち、Ｘ11＝Ｘ15＝Ｌ2 であるため、第１
アーム１５が第１支点Ｏ1 を中心として時計方向あるい
は反時計方向に回動されると、平行四節リンク２１は、
第４の支点Ｏ4 ，Ｏ4 を通る直線が同一線上となるよう
に平行に移動される。
とく、第１および第２の支点Ｏ1 ，Ｏ2 の間隔および第
３および第４の支点Ｏ3 ，Ｏ4 の間隔をＬ1 、第２およ
び第３の支点Ｏ2 ，Ｏ3 の間隔をＬ2 とし、夫々の支点
のＸ方向の間隔を、例えば、図示のごとくＸ11乃至Ｘ16
とすれば、 Ｘ12＝Ｘ13＝Ｌ1 ＣＯＳθ1 Ｘ14＝Ｘ16＝Ｌ1 ＣＯＳθ2 ＝Ｌ1 ＣＯＳ（θ−θ1 ） Ｘ13＋Ｌ2 ＝Ｘ12＋Ｘ11 Ｘ14＋Ｌ2 ＝Ｘ16＋Ｘ15 であるため、Ｘ11＝Ｌ2 およびＸ15＝Ｌ2 であることが
分かる。すなわち、Ｘ11＝Ｘ15＝Ｌ2 であるため、第１
アーム１５が第１支点Ｏ1 を中心として時計方向あるい
は反時計方向に回動されると、平行四節リンク２１は、
第４の支点Ｏ4 ，Ｏ4 を通る直線が同一線上となるよう
に平行に移動される。
【００４３】したがって、平行四節リンク２１の内側リ
ンク１９は、第１支点Ｏ1 と内側リンク１９との水平方
向の間隙Ｌ0 を維持しつつ第１支点Ｏ1 を通る水平方向
の直線と平行に移動される。
ンク１９は、第１支点Ｏ1 と内側リンク１９との水平方
向の間隙Ｌ0 を維持しつつ第１支点Ｏ1 を通る水平方向
の直線と平行に移動される。
【００４４】さらに、図９および図１０に示されるごと
く、第１アーム１５の回動前後における第１および第２
の支点Ｏ1 ，Ｏ2 のＹ方向の間隔を、例えば、Ｙ11およ
びＹ12とすれば、 Ｙ11＝Ｌ1 ＳＩＮθ1 Ｙ12＝Ｌ1 ＳＩＮθ2 ＝Ｌ1 ＳＩＮ（θ−θ1 ） であり、第１アーム１５の回動によ第２の支点Ｏ2 は間
隔（Ｙ11＋Ｙ12）だけＹ1 方向に位置変位する。勿論、
第１アーム１５が回動すれば、同時に同じ角度だけ中間
リンク１７、１８が第３の支点Ｏ3 まわりに回動するた
め、上記のごとく第１アーム１５が第１支点Ｏ1 を中心
として、例えば時計方向に角度θだけ回動されると、結
局、第１のハンド部材２８は間隔２・（Ｙ11＋Ｙ12）と
大きくＹ1 方向に位置変位する。
く、第１アーム１５の回動前後における第１および第２
の支点Ｏ1 ，Ｏ2 のＹ方向の間隔を、例えば、Ｙ11およ
びＹ12とすれば、 Ｙ11＝Ｌ1 ＳＩＮθ1 Ｙ12＝Ｌ1 ＳＩＮθ2 ＝Ｌ1 ＳＩＮ（θ−θ1 ） であり、第１アーム１５の回動によ第２の支点Ｏ2 は間
隔（Ｙ11＋Ｙ12）だけＹ1 方向に位置変位する。勿論、
第１アーム１５が回動すれば、同時に同じ角度だけ中間
リンク１７、１８が第３の支点Ｏ3 まわりに回動するた
め、上記のごとく第１アーム１５が第１支点Ｏ1 を中心
として、例えば時計方向に角度θだけ回動されると、結
局、第１のハンド部材２８は間隔２・（Ｙ11＋Ｙ12）と
大きくＹ1 方向に位置変位する。
【００４５】勿論、第１および第２のアーム機構２９，
４９に取付けられる第１および第２のハンド部材２８，
４８は上下に離間して夫々の内側リンク１９，３９に突
設されているため、夫々のハンド部材２８，４８の中心
が第１支点Ｏ1 を通る水平方向の直線上となるように移
動される。
４９に取付けられる第１および第２のハンド部材２８，
４８は上下に離間して夫々の内側リンク１９，３９に突
設されているため、夫々のハンド部材２８，４８の中心
が第１支点Ｏ1 を通る水平方向の直線上となるように移
動される。
【００４６】したがって、例えば図１（Ｂ）に示される
ごとく、第１のハンド部材２８がＹ1 方向に直線移動す
るように、第１の回転駆動機１１により第１のアーム機
構２９が水平半径方向に伸ばされた所定の位置で、第１
のハンド部材２８に対して被加工物が搬入・搬出され
る。この後、第１のアーム機構２９が屈折されて、第１
のハンド部材２８が第１支点Ｏ1 方向に引寄せられた状
態、例えば図１（Ａ）に示される状態が、第１のハンド
部材２８の水平旋回状態である。
ごとく、第１のハンド部材２８がＹ1 方向に直線移動す
るように、第１の回転駆動機１１により第１のアーム機
構２９が水平半径方向に伸ばされた所定の位置で、第１
のハンド部材２８に対して被加工物が搬入・搬出され
る。この後、第１のアーム機構２９が屈折されて、第１
のハンド部材２８が第１支点Ｏ1 方向に引寄せられた状
態、例えば図１（Ａ）に示される状態が、第１のハンド
部材２８の水平旋回状態である。
【００４７】さて、第１のハンド部材２８が水平旋回状
態に配置されている場合に、第１および第２の回転駆動
機１１、１２が互いに同期して回転駆動されて、第１お
よび第２の回転軸２、３が同一方向に同一角速度で回転
されると、第１および第２の回転軸２、３に取付けられ
た第１のアーム機構２９が全体として同一方向に回転移
動する。このため、図４に示された状態を維持しつつ、
第１のアーム機構２９が、図３における第１支点Ｏ1 を
中心として時計方向または反時計方向に旋回される
態に配置されている場合に、第１および第２の回転駆動
機１１、１２が互いに同期して回転駆動されて、第１お
よび第２の回転軸２、３が同一方向に同一角速度で回転
されると、第１および第２の回転軸２、３に取付けられ
た第１のアーム機構２９が全体として同一方向に回転移
動する。このため、図４に示された状態を維持しつつ、
第１のアーム機構２９が、図３における第１支点Ｏ1 を
中心として時計方向または反時計方向に旋回される
【００４８】このように第１のハンド部材２８が適宜の
角度旋回された後、第１のハンド部材２８が軸芯Ｏ1 を
通る水平方向に突出するように、第１の回転駆動機１１
が回転駆動されて、第１のハンド部材２８が被加工物の
搬入・搬出位置へと位置変位される。
角度旋回された後、第１のハンド部材２８が軸芯Ｏ1 を
通る水平方向に突出するように、第１の回転駆動機１１
が回転駆動されて、第１のハンド部材２８が被加工物の
搬入・搬出位置へと位置変位される。
【００４９】勿論、この後第１のハンド部材２８が、軸
芯Ｏ1 方向に引寄せられた水平旋回状態の位置に位置変
位されることはすでに説明した通りである。
芯Ｏ1 方向に引寄せられた水平旋回状態の位置に位置変
位されることはすでに説明した通りである。
【００５０】ところで、図１乃至図３において、第１の
アーム機構２９と垂直方向に離間して配設される第２の
アーム機構４９も第１のアーム機構２９と同一の形態で
作動される。すなわち、第４の回転駆動機１４が停止さ
れた状態で第３の回転駆動機１３が回転駆動されて、第
２のハンド部材４８が被加工物の搬入・搬出位置へと水
平方向に移動される。この後、第２のハンド部材４８が
水平旋回状態に配置されている場合に、第３および第４
の回転駆動機１３および１４が互いに同期して同一方向
に回転駆動されて、第２のアーム機構４９が全体として
同一方向に移動される。勿論、第１のアーム機構２９と
第２のアーム機構４９とは垂直方向に離間して配設され
ているため、これらを個別に自在に作動させても相互に
干渉することはない。
アーム機構２９と垂直方向に離間して配設される第２の
アーム機構４９も第１のアーム機構２９と同一の形態で
作動される。すなわち、第４の回転駆動機１４が停止さ
れた状態で第３の回転駆動機１３が回転駆動されて、第
２のハンド部材４８が被加工物の搬入・搬出位置へと水
平方向に移動される。この後、第２のハンド部材４８が
水平旋回状態に配置されている場合に、第３および第４
の回転駆動機１３および１４が互いに同期して同一方向
に回転駆動されて、第２のアーム機構４９が全体として
同一方向に移動される。勿論、第１のアーム機構２９と
第２のアーム機構４９とは垂直方向に離間して配設され
ているため、これらを個別に自在に作動させても相互に
干渉することはない。
【００５１】例えば、図１（Ａ）に示されるごとく、第
１および第２のアーム機構２９、４９が各々屈折され、
この状態から、例えば、図１１（Ａ）に示されるごと
く、第２のアーム機構４９が第１支点Ｏ1 を中心とし
て、反時計方向に９０度旋回される。この後、例えば、
図１１（Ｂ）に示されるごとく、第２のアーム機構４９
により、第２のハンド部材４８が水平半径方向に伸ばさ
れて、第２のハンド部材４８に対して被加工物が搬入・
搬出される。
１および第２のアーム機構２９、４９が各々屈折され、
この状態から、例えば、図１１（Ａ）に示されるごと
く、第２のアーム機構４９が第１支点Ｏ1 を中心とし
て、反時計方向に９０度旋回される。この後、例えば、
図１１（Ｂ）に示されるごとく、第２のアーム機構４９
により、第２のハンド部材４８が水平半径方向に伸ばさ
れて、第２のハンド部材４８に対して被加工物が搬入・
搬出される。
【００５２】ところで、上記のごとくハンド部材が回転
軸側に引き寄せられた際に、ハンド部材の後方と回転軸
とが半径方向に間隙を有すると共に、第１アームおよび
中間リンクが第１支点および第３支点を中心として各々
ハンド部材とは反対側に傾けられるため、このハンド部
材の待避状態と被加工物を適宜の処理室へと搬送するハ
ンド部材の突出状態とに位置変位させるための第１アー
ムの回転角度を大きくすることができる。すなわち第１
アームの回転角度を大きくして、ハンド部材の水平方向
の直線移動ストロークを大きくすることができるため、
旋回中心から可及的に離間した突出状態にハンド部材を
位置変位させ得るにも拘わらず、ハンド部材の水平旋回
状態、すなわちハンド部材の待避状態においては、ハン
ド部材が可及的に回転軸側に引き寄せられるため、装置
として必要な旋回半径を可及的に小さく、すなわちコン
パクトにすることができる。
軸側に引き寄せられた際に、ハンド部材の後方と回転軸
とが半径方向に間隙を有すると共に、第１アームおよび
中間リンクが第１支点および第３支点を中心として各々
ハンド部材とは反対側に傾けられるため、このハンド部
材の待避状態と被加工物を適宜の処理室へと搬送するハ
ンド部材の突出状態とに位置変位させるための第１アー
ムの回転角度を大きくすることができる。すなわち第１
アームの回転角度を大きくして、ハンド部材の水平方向
の直線移動ストロークを大きくすることができるため、
旋回中心から可及的に離間した突出状態にハンド部材を
位置変位させ得るにも拘わらず、ハンド部材の水平旋回
状態、すなわちハンド部材の待避状態においては、ハン
ド部材が可及的に回転軸側に引き寄せられるため、装置
として必要な旋回半径を可及的に小さく、すなわちコン
パクトにすることができる。
【００５３】勿論、第１アームの回転によりハンド部材
を水平方向に直線移動させるためには、第１および第２
の支点の間隔と第３および第４の支点の間隔とを同一の
長さ、例えばＬ1 にする必要があるが、外側リンクにお
ける第３支点は第２支点よりも間隔Ｌ2 だけ外側にオフ
セットされているため、ハンド部材の基部側である内側
リンクの第４の支点と第１の支点とが間隔Ｌ2 を維持し
つつ、第１アームの回転によりハンド部材が水平方向に
直線移動することができる。なお、上記のごとくハンド
部材の基部側である内側リンクの第４の支点と第１の支
点とが間隔Ｌ2 を維持して配置されるため、第１アーム
の回転軸とハンド部材の旋回軸とを同軸とすることがで
きる。勿論、第１乃至第４の回転軸は、垂直線を軸芯と
して同軸に回転支持されているため、第１乃至第４の回
転軸を回転自在に支持する回転軸受および気密用の磁性
流体シールを夫々可及的に小径とすることができ、装置
がコンパクトとなり、かつ小径の回転軸受および小径の
磁性流体シールを使用するため装置が安価となる。
を水平方向に直線移動させるためには、第１および第２
の支点の間隔と第３および第４の支点の間隔とを同一の
長さ、例えばＬ1 にする必要があるが、外側リンクにお
ける第３支点は第２支点よりも間隔Ｌ2 だけ外側にオフ
セットされているため、ハンド部材の基部側である内側
リンクの第４の支点と第１の支点とが間隔Ｌ2 を維持し
つつ、第１アームの回転によりハンド部材が水平方向に
直線移動することができる。なお、上記のごとくハンド
部材の基部側である内側リンクの第４の支点と第１の支
点とが間隔Ｌ2 を維持して配置されるため、第１アーム
の回転軸とハンド部材の旋回軸とを同軸とすることがで
きる。勿論、第１乃至第４の回転軸は、垂直線を軸芯と
して同軸に回転支持されているため、第１乃至第４の回
転軸を回転自在に支持する回転軸受および気密用の磁性
流体シールを夫々可及的に小径とすることができ、装置
がコンパクトとなり、かつ小径の回転軸受および小径の
磁性流体シールを使用するため装置が安価となる。
【００５４】更に、第１および第２のアーム機構に突設
される第１および第２のハンド部材が上下方向に離間し
て配置されるため、第１および第２のハンド部材は相互
に干渉することがなく、かつ第１および第２のハンド部
材が取付けられる内側リンクは、従前のような回転伝達
部材や回転連結具を用いることなく、可及的に薄くでき
るリンク結合により支持されて、結果として２個のハン
ド部材の基部側の高さＨ2 を可及的に小さくすることが
できるため、、ハンド部材出入り用の真空処理室の窓を
可及的に小さくすることができる。
される第１および第２のハンド部材が上下方向に離間し
て配置されるため、第１および第２のハンド部材は相互
に干渉することがなく、かつ第１および第２のハンド部
材が取付けられる内側リンクは、従前のような回転伝達
部材や回転連結具を用いることなく、可及的に薄くでき
るリンク結合により支持されて、結果として２個のハン
ド部材の基部側の高さＨ2 を可及的に小さくすることが
できるため、、ハンド部材出入り用の真空処理室の窓を
可及的に小さくすることができる。
【００５５】勿論、第１および第２のアーム機構によ
り、第１および第２のハンド部材が相互に干渉すること
なく、かつ夫々任意に、自在に直線移動および旋回され
るため、待ち時間なく第１および第２のハンド部材によ
り被加工物を適宜の処理室に対して搬送することがで
き、生産性が向上する。
り、第１および第２のハンド部材が相互に干渉すること
なく、かつ夫々任意に、自在に直線移動および旋回され
るため、待ち時間なく第１および第２のハンド部材によ
り被加工物を適宜の処理室に対して搬送することがで
き、生産性が向上する。
【００５６】更に、第１乃至第４の回転駆動機は固定の
枠体に取付けられているため、第１および第２のハンド
部材を角度に制限されることなく水平方向に旋回させる
ことができる。このため、第１および第２のハンド部材
は、旋回角度、すなわち旋回方向の回動角度の確認が必
要であった従来の装置に比較して、旋回角度に関係なく
自在位置に旋回されて被加工物の搬送を行なうことがで
きるため、従来に比べて装置の使い勝手がよい。要する
に、本第１の発明によればコンパクトで使い勝手が良
く、かつ安価で生産性の良好な２アーム方式の搬送用ロ
ボット装置を実現することができる。
枠体に取付けられているため、第１および第２のハンド
部材を角度に制限されることなく水平方向に旋回させる
ことができる。このため、第１および第２のハンド部材
は、旋回角度、すなわち旋回方向の回動角度の確認が必
要であった従来の装置に比較して、旋回角度に関係なく
自在位置に旋回されて被加工物の搬送を行なうことがで
きるため、従来に比べて装置の使い勝手がよい。要する
に、本第１の発明によればコンパクトで使い勝手が良
く、かつ安価で生産性の良好な２アーム方式の搬送用ロ
ボット装置を実現することができる。
【００５７】図１２および図１３は本第２の発明の実施
例を示す図であって、上下方向に離間される第１および
第２のハンド部材２８、４８は、回転軸部を除く水平方
向に配置されたカバー５０により区画された空間を位置
変位自在に移動される。このため、該カバー５０の上側
に配置されるアーム機構のごみや塵等が、下側に配置さ
れるアーム機構、特に下側のアーム機構により取扱われ
る被加工物上に落下して付着する虞がなく、真空雰囲下
で処理が行われる半導体製造装置等の搬送用ロボット装
置として、特に好適である。
例を示す図であって、上下方向に離間される第１および
第２のハンド部材２８、４８は、回転軸部を除く水平方
向に配置されたカバー５０により区画された空間を位置
変位自在に移動される。このため、該カバー５０の上側
に配置されるアーム機構のごみや塵等が、下側に配置さ
れるアーム機構、特に下側のアーム機構により取扱われ
る被加工物上に落下して付着する虞がなく、真空雰囲下
で処理が行われる半導体製造装置等の搬送用ロボット装
置として、特に好適である。
【００５８】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本第１の
発明に係る搬送用ロボット装置は、被加工物を載置する
ためのハンド部材を夫々先端に取付けた第１および第２
のアーム機構を有し、該ハンド部材を水平方向に直線移
動させると共に該ハンド部材を水平方向に旋回させる２
アーム方式の搬送用ロボット装置において、固定の枠体
と、水平旋回軸の軸芯である第１支点のまわりで前記固
定の枠体に回転自在に同軸に支持された第１乃至第４の
回転軸と、前記固定の枠体に取付けられて、前記第１乃
至第４の回転軸に夫々連結された第１乃至第４の回転駆
動機とを具備し、かつ、前記第１の回転軸に取付けられ
た第１アームと、前記第１アームに対して第１支点に平
行な第２支点のまわりで回転自在な外側リンクと、平面
視で第２支点を跨いだ外側の位置で対をなす第３支点の
まわりで外側リンクに対して回転自在に支持された１対
の中間リンクと、１対の中間リンクの自由端部で対をな
す第４支点のまわりで回転自在に支持されて、前記回転
軸に対して半径方向に間隙を有する内側リンクであっ
て、該内側リンクの自由端部に第１のハンド部材が突設
されて、該内側リンク、１対の中間リンクおよび外側リ
ンクにより、第３および第４の支点の間隔と第１および
第２の支点の間隔とが同一に形成された平行四節リンク
と、第２の回転軸に固定された第１の回転伝達部材と、
第２支点を軸芯として外側リンクに固定された第２の回
転伝達部材と、第２支点を軸芯として第１アームに固定
された第３の回転伝達部材と、第３支点を軸芯として中
間リンクに固定された第４の回転伝達部材と、第１の回
転伝達部材と第２の回転伝達部材およびと第３の回転伝
達部材と第４の回転伝達部材との間に夫々配設された第
１および第２の回転連結具とにより第１のアーム機構が
構成されると共に、該第１のアーム機構と実質的に同一
構造の第２のアーム機構が第３および第４の回転軸に連
結され、該第１および第２のアーム機構に突設される第
１および第２のハンド部材が上下方向に離間されて、ハ
ンド部材が回転軸側に引き寄せられた際に、ハンド部材
の後方と回転軸とが半径方向に間隙を有すると共に、第
１アームおよび中間リンクが第１支点および第３支点を
中心として各々ハンド部材とは反対側に傾けられ、該第
１および第２のハンド部材が第１支点を通る水平方向に
適宜に直線移動されると共に、該第１および第２のハン
ド部材が第１支点を中心として自在に旋回されるため、
ハンド部材を回動させる機構が簡素化され、かつ、第１
乃至第４の回転軸は、垂直線を軸芯として同軸に回転支
持されているため、第１乃至第４の回転軸を回転自在に
支持されする回転軸受を可及的に小径とすることがで
き、装置としての平面的スペースがコンパクトとなり、
しかも小径の回転軸受を使用するため装置が安価とな
る。
発明に係る搬送用ロボット装置は、被加工物を載置する
ためのハンド部材を夫々先端に取付けた第１および第２
のアーム機構を有し、該ハンド部材を水平方向に直線移
動させると共に該ハンド部材を水平方向に旋回させる２
アーム方式の搬送用ロボット装置において、固定の枠体
と、水平旋回軸の軸芯である第１支点のまわりで前記固
定の枠体に回転自在に同軸に支持された第１乃至第４の
回転軸と、前記固定の枠体に取付けられて、前記第１乃
至第４の回転軸に夫々連結された第１乃至第４の回転駆
動機とを具備し、かつ、前記第１の回転軸に取付けられ
た第１アームと、前記第１アームに対して第１支点に平
行な第２支点のまわりで回転自在な外側リンクと、平面
視で第２支点を跨いだ外側の位置で対をなす第３支点の
まわりで外側リンクに対して回転自在に支持された１対
の中間リンクと、１対の中間リンクの自由端部で対をな
す第４支点のまわりで回転自在に支持されて、前記回転
軸に対して半径方向に間隙を有する内側リンクであっ
て、該内側リンクの自由端部に第１のハンド部材が突設
されて、該内側リンク、１対の中間リンクおよび外側リ
ンクにより、第３および第４の支点の間隔と第１および
第２の支点の間隔とが同一に形成された平行四節リンク
と、第２の回転軸に固定された第１の回転伝達部材と、
第２支点を軸芯として外側リンクに固定された第２の回
転伝達部材と、第２支点を軸芯として第１アームに固定
された第３の回転伝達部材と、第３支点を軸芯として中
間リンクに固定された第４の回転伝達部材と、第１の回
転伝達部材と第２の回転伝達部材およびと第３の回転伝
達部材と第４の回転伝達部材との間に夫々配設された第
１および第２の回転連結具とにより第１のアーム機構が
構成されると共に、該第１のアーム機構と実質的に同一
構造の第２のアーム機構が第３および第４の回転軸に連
結され、該第１および第２のアーム機構に突設される第
１および第２のハンド部材が上下方向に離間されて、ハ
ンド部材が回転軸側に引き寄せられた際に、ハンド部材
の後方と回転軸とが半径方向に間隙を有すると共に、第
１アームおよび中間リンクが第１支点および第３支点を
中心として各々ハンド部材とは反対側に傾けられ、該第
１および第２のハンド部材が第１支点を通る水平方向に
適宜に直線移動されると共に、該第１および第２のハン
ド部材が第１支点を中心として自在に旋回されるため、
ハンド部材を回動させる機構が簡素化され、かつ、第１
乃至第４の回転軸は、垂直線を軸芯として同軸に回転支
持されているため、第１乃至第４の回転軸を回転自在に
支持されする回転軸受を可及的に小径とすることがで
き、装置としての平面的スペースがコンパクトとなり、
しかも小径の回転軸受を使用するため装置が安価とな
る。
【００５９】さらに、ハンド部材が回転軸側に引き寄せ
られた際に、ハンド部材の後方と回転軸とが半径方向に
間隙を有すると共に、第１アームおよび中間リンクが第
１支点および第３支点を中心として各々ハンド部材とは
反対側に傾けられるため、このハンド部材の待避状態と
被加工物を適宜の処理室へと搬送するハンド部材の突出
状態とに位置変位させるための第１アームの回転角度を
大きくすることができる。すなわち第１アームの回転角
度を大きくして、ハンド部材の水平方向の直線移動スト
ロークを大きくすることができるため、旋回中心から可
及的に離間した突出状態にハンド部材を位置変位させ得
るにも拘わらず、ハンド部材の水平旋回状態、すなわち
ハンド部材の待避状態においては、ハンド部材が可及的
に回転軸側に引き寄せられるため、装置として必要な旋
回半径を可及的に小さく、すなわちコンパクトにするこ
とができる。
られた際に、ハンド部材の後方と回転軸とが半径方向に
間隙を有すると共に、第１アームおよび中間リンクが第
１支点および第３支点を中心として各々ハンド部材とは
反対側に傾けられるため、このハンド部材の待避状態と
被加工物を適宜の処理室へと搬送するハンド部材の突出
状態とに位置変位させるための第１アームの回転角度を
大きくすることができる。すなわち第１アームの回転角
度を大きくして、ハンド部材の水平方向の直線移動スト
ロークを大きくすることができるため、旋回中心から可
及的に離間した突出状態にハンド部材を位置変位させ得
るにも拘わらず、ハンド部材の水平旋回状態、すなわち
ハンド部材の待避状態においては、ハンド部材が可及的
に回転軸側に引き寄せられるため、装置として必要な旋
回半径を可及的に小さく、すなわちコンパクトにするこ
とができる。
【００６０】更に、第１および第２のアーム機構に突設
される第１および第２のハンド部材が上下方向に離間し
て配置されるため、第１および第２のハンド部材は相互
に干渉することがなく、かつ第１および第２のハンド部
材が取付けられる内側リンクは、従前のような回転伝達
部材や回転連結具を用いることなく、可及的に薄くでき
るリンク結合により支持されて、結果として２個のハン
ド部材の基部側の高さＨ2 を可及的に小さくすることが
できるため、、ハンド部材出入り用の真空処理室の窓を
可及的に小さくすることができる。
される第１および第２のハンド部材が上下方向に離間し
て配置されるため、第１および第２のハンド部材は相互
に干渉することがなく、かつ第１および第２のハンド部
材が取付けられる内側リンクは、従前のような回転伝達
部材や回転連結具を用いることなく、可及的に薄くでき
るリンク結合により支持されて、結果として２個のハン
ド部材の基部側の高さＨ2 を可及的に小さくすることが
できるため、、ハンド部材出入り用の真空処理室の窓を
可及的に小さくすることができる。
【００６１】勿論、第１アームの回転によりハンド部材
を水平方向に直線移動させるためには、第１および第２
の支点の間隔と第３および第４の支点の間隔とを同一の
長さ、例えばＬ1 にする必要があるが、外側リンクにお
ける第３支点は第２支点よりも間隔Ｌ2 だけ外側にオフ
セットされているため、ハンド部材の基部側である内側
リンクの第４の支点と第１の支点とが間隔Ｌ2 を維持し
つつ、第１アームの回転によりハンド部材が水平方向に
直線移動することができる。なお、上記のごとくハンド
部材の基部側である内側リンクの第４の支点と第１の支
点とが間隔Ｌ2 を維持して配置されるため、第１アーム
の回転軸とハンド部材の旋回軸とを同軸とすることがで
きる。
を水平方向に直線移動させるためには、第１および第２
の支点の間隔と第３および第４の支点の間隔とを同一の
長さ、例えばＬ1 にする必要があるが、外側リンクにお
ける第３支点は第２支点よりも間隔Ｌ2 だけ外側にオフ
セットされているため、ハンド部材の基部側である内側
リンクの第４の支点と第１の支点とが間隔Ｌ2 を維持し
つつ、第１アームの回転によりハンド部材が水平方向に
直線移動することができる。なお、上記のごとくハンド
部材の基部側である内側リンクの第４の支点と第１の支
点とが間隔Ｌ2 を維持して配置されるため、第１アーム
の回転軸とハンド部材の旋回軸とを同軸とすることがで
きる。
【００６２】勿論、前記第１および第２の回転駆動機と
前記第３および第４の回転駆動機とにより、第１および
第２のハンド部材が相互に干渉することなく、かつ夫々
任意に、自在に直線移動および旋回されるため、待ち時
間なく第１および第２のハンド部材により被加工物を適
宜の処理室に対して搬送することができ、生産性が向上
する。
前記第３および第４の回転駆動機とにより、第１および
第２のハンド部材が相互に干渉することなく、かつ夫々
任意に、自在に直線移動および旋回されるため、待ち時
間なく第１および第２のハンド部材により被加工物を適
宜の処理室に対して搬送することができ、生産性が向上
する。
【００６３】更に、第１および第２のハンド部材は相互
に干渉することがなく、かつ第１乃至第４の回転駆動機
は固定の枠体に取付けられているため、第１および第２
のハンド部材を角度に制限されることなく水平方向に旋
回させることができる。このため、第１および第２のハ
ンド部材は、旋回角度、すなわち旋回方向の回動角度の
確認が必要であった従来の装置に比較して、旋回角度に
関係なく自在位置に旋回されて被加工物の搬送を行なう
ことができるため、従来に比べて装置の使い勝手がよ
い。要するに、本第１の発明によればコンパクトで使い
勝手が良く、かつ安価で生産性の良好な２アーム方式の
搬送用ロボット装置を実現することができる。
に干渉することがなく、かつ第１乃至第４の回転駆動機
は固定の枠体に取付けられているため、第１および第２
のハンド部材を角度に制限されることなく水平方向に旋
回させることができる。このため、第１および第２のハ
ンド部材は、旋回角度、すなわち旋回方向の回動角度の
確認が必要であった従来の装置に比較して、旋回角度に
関係なく自在位置に旋回されて被加工物の搬送を行なう
ことができるため、従来に比べて装置の使い勝手がよ
い。要するに、本第１の発明によればコンパクトで使い
勝手が良く、かつ安価で生産性の良好な２アーム方式の
搬送用ロボット装置を実現することができる。
【００６４】さらに本第２の発明によれば、上下方向に
離間される第１および第２のハンド部材は、回転軸部を
除く水平方向に配置されたカバーにより区画された空間
を位置変位自在に移動されるため、該カバーの上側に配
置されるアーム機構のごみや塵等が、下側に配置される
アーム機構、特に下側のアーム機構により取扱われる被
加工物上に落下して付着する虞がない。
離間される第１および第２のハンド部材は、回転軸部を
除く水平方向に配置されたカバーにより区画された空間
を位置変位自在に移動されるため、該カバーの上側に配
置されるアーム機構のごみや塵等が、下側に配置される
アーム機構、特に下側のアーム機構により取扱われる被
加工物上に落下して付着する虞がない。
【００６５】さらに本第３の発明によれば、第１乃至第
４の回転軸を同軸に回転自在に支持する、特に高価な気
密用の磁性流体シールを可及的に小径とすることができ
るため装置が安価となる。このため、真空雰囲下で処理
が行われる半導体製造装置等の搬送用ロボット装置とし
て、特に好適である。
４の回転軸を同軸に回転自在に支持する、特に高価な気
密用の磁性流体シールを可及的に小径とすることができ
るため装置が安価となる。このため、真空雰囲下で処理
が行われる半導体製造装置等の搬送用ロボット装置とし
て、特に好適である。
【図１】本発明の実施例を示す斜視図で、図１（Ａ）は
第１及び第２のアーム機構２９，４９が屈曲された、旋
回状態を示す図であり、図１（Ｂ）は第１のアーム機構
２９により第１のハンド部材２８が直線移動される状態
を示す図である。
第１及び第２のアーム機構２９，４９が屈曲された、旋
回状態を示す図であり、図１（Ｂ）は第１のアーム機構
２９により第１のハンド部材２８が直線移動される状態
を示す図である。
【図２】図１の正面図
【図３】図１の平面図
【図４】図１における縦断面正面図
【図５】図４におけるＶ−Ｖ線断面図
【図６】図４におけるVI−VI線断面図
【図７】図４の要部の動作状態を説明するための平面図
【図８】図４の要部の動作状態を説明するための平面図
【図９】図４の要部の動作状態を説明するための平面図
【図１０】図４の要部の動作状態を説明するための平面
図
図
【図１１】図１の動作状態を説明するための斜視図で、
図１１（Ａ）は第２のアーム機構４９により第２のハン
ド部材４８が旋回された状態を示す図であり、図１１
（Ｂ）は第２のアーム機構４９により第２のハンド部材
４８が直線移動される状態を示す図である。
図１１（Ａ）は第２のアーム機構４９により第２のハン
ド部材４８が旋回された状態を示す図であり、図１１
（Ｂ）は第２のアーム機構４９により第２のハンド部材
４８が直線移動される状態を示す図である。
【図１２】本発明の他の実施例を示す正面図
【図１３】図１２の平面図
【図１４】従来例を示す要部断面正面図
【図１５】図１４の縦断面側面図
【図１６】図１４の動作状態を説明するための平面図
【図１７】図１４の使用状態を説明するための平面図
１ 固定の枠体 ２乃至５ 第１乃至第４の回転軸 ６乃至９ 気密用の磁性流体シール １１乃至１４ 第１乃至第４の回転駆動機 １５，３５ 第１アーム １６，３６ 外側リンク １７，１８ 対をなす中間リンク ３７，３８ 対をなす中間リンク １９，３９ 内側リンク ２１，４１ 平行四節リンク ２２，４２ 第１の回転伝達部材 ２３，４３ 第２の回転伝達部材 ２４，４４ 第３の回転伝達部材 ２５，４５ 第４の回転伝達部材 ２６，４６ 第１の回転連結具 ２７，４７ 第２の回転連結具 ２８ 第１のハンド部材 ４８ 第２のハンド部材 ２９ １５乃至２８からなる第１のアーム機構 ４９ ３５乃至４８からなる第２のアーム機構 ５０ カバー
Claims (3)
- 【請求項１】 被加工物を載置するためのハンド部材を
夫々先端に取付けた第１および第２のアーム機構を有
し、該ハンド部材を水平方向に直線移動させると共に該
ハンド部材を水平方向に旋回させる２アーム方式の搬送
用ロボット装置において、 固定の枠体と、水平旋回軸の軸芯である第１支点のまわ
りで前記固定の枠体に回転自在に同軸に支持された第１
乃至第４の回転軸と、前記固定の枠体に取付けられて、
前記第１乃至第４の回転軸に夫々連結された第１乃至第
４の回転駆動機とを具備し、 かつ、前記第１の回転軸に取付けられた第１アームと、
前記第１アームに対して第１支点に平行な第２支点のま
わりで回転自在な外側リンクと、平面視で第２支点を跨
いだ外側の位置で対をなす第３支点のまわりで外側リン
クに対して回転自在に支持された１対の中間リンクと、
１対の中間リンクの自由端部で対をなす第４支点のまわ
りで回転自在に支持されて、前記回転軸に対して半径方
向に間隙を有する内側リンクであって、該内側リンクの
自由端部に第１のハンド部材が突設されて、該内側リン
ク、１対の中間リンクおよび外側リンクにより、第３お
よび第４の支点の間隔と第１および第２の支点の間隔と
が同一に形成された平行四節リンクと、第２の回転軸に
固定された第１の回転伝達部材と、第２支点を軸芯とし
て外側リンクに固定された第２の回転伝達部材と、第２
支点を軸芯として第１アームに固定された第３の回転伝
達部材と、第３支点を軸芯として中間リンクに固定され
た第４の回転伝達部材と、第１の回転伝達部材と第２の
回転伝達部材およびと第３の回転伝達部材と第４の回転
伝達部材との間に夫々配設された第１および第２の回転
連結具とにより第１のアーム機構が構成されると共に、 該第１のアーム機構と実質的に同一構造の第２のアーム
機構が第３および第４の回転軸に連結され、該第１およ
び第２のアーム機構に突設される第１および第２のハン
ド部材が上下方向に離間されて、 ハンド部材が回転軸側に引き寄せられた際に、ハンド部
材の後方と回転軸とが半径方向に間隙を有すると共に、
第１アームおよび中間リンクが第１支点および第３支点
を中心として各々ハンド部材とは反対側に傾けられ、 該第１および第２のハンド部材が第１支点を通る水平方
向に適宜に直線移動されると共に、該第１および第２の
ハンド部材が第１支点を中心として自在に旋回されるこ
とを特徴とする２アーム方式の搬送用ロボット装置。 - 【請求項２】 前記上下方向に離間される第１および第
２のハンド部材は、回転軸部を除く水平方向に配置され
たカバーにより区画された空間を位置変位自在に移動さ
れる請求項１記載の２アーム方式の搬送用ロボット装
置。 - 【請求項３】 前記同軸に支持された第１乃至第４の回
転軸は、気密用の磁性流体シールを介して回転自在に支
持されてなる請求項１又は２に記載の２アーム方式の搬
送用ロボット装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9368398A JPH11188670A (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | ２アーム方式の搬送用ロボット装置 |
| US09/211,591 US6109860A (en) | 1997-12-26 | 1998-12-14 | Two-armed transfer robot |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9368398A JPH11188670A (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | ２アーム方式の搬送用ロボット装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11188670A true JPH11188670A (ja) | 1999-07-13 |
Family
ID=18491717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9368398A Pending JPH11188670A (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | ２アーム方式の搬送用ロボット装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6109860A (ja) |
| JP (1) | JPH11188670A (ja) |
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