JPH11188671A - ２アーム方式の搬送用ロボット装置 - Google Patents
２アーム方式の搬送用ロボット装置Info
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- JPH11188671A JPH11188671A JP9368399A JP36839997A JPH11188671A JP H11188671 A JPH11188671 A JP H11188671A JP 9368399 A JP9368399 A JP 9368399A JP 36839997 A JP36839997 A JP 36839997A JP H11188671 A JPH11188671 A JP H11188671A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Program-controlled manipulators
- B25J9/10—Program-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
- B25J9/106—Program-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links
- B25J9/1065—Program-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/33—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H10P72/3302—Mechanical parts of transfer devices
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
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- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
- Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】ハンド部材の基端部側の高さを可及的に小さく
すると共に、コンパクトで生産性の良好な２アーム方式
の搬送用ロボット装置を提供する。 【解決手段】第１の平行クランク機構２６と第２の平行
クランク機構４６が上下に配置される。平行クランク機
構は第１の平行４節リンク１９，３９における１個の関
節が第１支点Ｏ１と同軸に配置され、第１リンク１５，
３５と第１の中間リンク１６・１７，３６・３７の基端
部の一方とが第１〜４の回転軸に取り付けられる。第２
の平行４節リンク２３が第１の平行４節リンク１９，３
９の外側にオフセットして配置される。ハンド部材２
５，４５が回転軸側Ｏ１に引き寄せられた際にハンド部
材の後方と回転軸とが間隙を有して中間リンクが第１支
点Ｏ１を越えてハンド部材とは反対側に傾けられハンド
部材に直線移動と旋回とを自由に行わせる。
すると共に、コンパクトで生産性の良好な２アーム方式
の搬送用ロボット装置を提供する。 【解決手段】第１の平行クランク機構２６と第２の平行
クランク機構４６が上下に配置される。平行クランク機
構は第１の平行４節リンク１９，３９における１個の関
節が第１支点Ｏ１と同軸に配置され、第１リンク１５，
３５と第１の中間リンク１６・１７，３６・３７の基端
部の一方とが第１〜４の回転軸に取り付けられる。第２
の平行４節リンク２３が第１の平行４節リンク１９，３
９の外側にオフセットして配置される。ハンド部材２
５，４５が回転軸側Ｏ１に引き寄せられた際にハンド部
材の後方と回転軸とが間隙を有して中間リンクが第１支
点Ｏ１を越えてハンド部材とは反対側に傾けられハンド
部材に直線移動と旋回とを自由に行わせる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置や
液晶基板製造装置等に用いられて、特には、真空雰囲気
下で被加工物を処理室間に搬送するための２アーム方式
の搬送用ロボット装置に関する。
液晶基板製造装置等に用いられて、特には、真空雰囲気
下で被加工物を処理室間に搬送するための２アーム方式
の搬送用ロボット装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に半導体製造装置や液晶基板製造装
置等においては、被加工物、例えばウエハを載置するた
めのハンド部材をアームにより水平方向に直線的に移動
させると共に、ハンド部材を先端に取付けたアームを水
平方向に旋回させる搬送用ロボット装置が用いられ、こ
の搬送用ロボット装置の旋回軸を中心とした放射状の複
数箇所に各種の製造工程にたずさわる処理室が配置され
て、搬送用ロボット装置により、適宜の処理室間に被加
工物が搬入・搬出されている。
置等においては、被加工物、例えばウエハを載置するた
めのハンド部材をアームにより水平方向に直線的に移動
させると共に、ハンド部材を先端に取付けたアームを水
平方向に旋回させる搬送用ロボット装置が用いられ、こ
の搬送用ロボット装置の旋回軸を中心とした放射状の複
数箇所に各種の製造工程にたずさわる処理室が配置され
て、搬送用ロボット装置により、適宜の処理室間に被加
工物が搬入・搬出されている。
【０００３】ところで、搬送処理の能率化を図るため、
夫々のアームの先端にハンド部材を取付けた、いわゆる
２アーム方式の搬送用ロボットが使用されている。
夫々のアームの先端にハンド部材を取付けた、いわゆる
２アーム方式の搬送用ロボットが使用されている。
【０００４】従来、２アーム方式の搬送用ロボット装置
としては、例えば、図１５乃至図１８に示される装置が
提言されている。すなわち、図１５乃至図１８におい
て、８０は固定の枠体、８１は、固定の枠体８０に対し
て適宜の駆動機により軸芯Ｏ1 のまわりに旋回される水
平旋回台、８２は水平旋回台８１の軸芯Ｏ1 と平行な第
１支点Ｐ1 のまわりで回転自在に支持された第１のアー
ムで、この第１のアーム８２は旋回台８１に取付けられ
た適宜の駆動機により適宜に回転駆動される。８３は第
１のアーム８２に対して第１支点Ｐ1 に平行な第２支点
Ｑ1 のまわりで回転自在に支持された第２のアーム、８
４は第２のアーム８３に対して第２支点Ｑ1 に平行な第
３支点Ｒ1 のまわりで回転自在に支持されたハンド部
材、８５は、第１支点Ｐ1 を軸芯として旋回台８１に固
定された第１の回転伝達部材、８６は、第２支点Ｑ1 を
軸芯として第２のアーム８３に固定された第２の回転伝
達部材、８７は、第２支点Ｑ1 を軸芯として第１のアー
ム８２に固定された第３の回転伝達部材、８８は、第３
支点Ｒ1 を軸芯としてハンド部材８４に固定された第４
の回転伝達部材、８９および９０は、第１の回転伝達部
材８５と第２の回転伝達部材８６および第３の回転伝達
部材８７と第４の回転伝達部材８８との間に夫々配設さ
れた第１および第２の回転連結具である。なお、第１お
よび第２の支点の間隔Ｓと、第３および第４の支点の間
隔Ｓとが同一で、かつ第１の回転伝達部材８５と第２の
回転伝達部材８６および第４の回転伝達部材８８と第３
の回転伝達部材８７との半径比が夫々２：１に形成され
ている。勿論、第１乃至第４の回転伝達部材８５乃至８
８は、チェーンスプロケットあるいはプーリーが適宜に
用いられ、これらに応じて第１および第２の回転連結具
８９，９０はチェーンあるいは歯付ベルト等が適宜に用
いられる。
としては、例えば、図１５乃至図１８に示される装置が
提言されている。すなわち、図１５乃至図１８におい
て、８０は固定の枠体、８１は、固定の枠体８０に対し
て適宜の駆動機により軸芯Ｏ1 のまわりに旋回される水
平旋回台、８２は水平旋回台８１の軸芯Ｏ1 と平行な第
１支点Ｐ1 のまわりで回転自在に支持された第１のアー
ムで、この第１のアーム８２は旋回台８１に取付けられ
た適宜の駆動機により適宜に回転駆動される。８３は第
１のアーム８２に対して第１支点Ｐ1 に平行な第２支点
Ｑ1 のまわりで回転自在に支持された第２のアーム、８
４は第２のアーム８３に対して第２支点Ｑ1 に平行な第
３支点Ｒ1 のまわりで回転自在に支持されたハンド部
材、８５は、第１支点Ｐ1 を軸芯として旋回台８１に固
定された第１の回転伝達部材、８６は、第２支点Ｑ1 を
軸芯として第２のアーム８３に固定された第２の回転伝
達部材、８７は、第２支点Ｑ1 を軸芯として第１のアー
ム８２に固定された第３の回転伝達部材、８８は、第３
支点Ｒ1 を軸芯としてハンド部材８４に固定された第４
の回転伝達部材、８９および９０は、第１の回転伝達部
材８５と第２の回転伝達部材８６および第３の回転伝達
部材８７と第４の回転伝達部材８８との間に夫々配設さ
れた第１および第２の回転連結具である。なお、第１お
よび第２の支点の間隔Ｓと、第３および第４の支点の間
隔Ｓとが同一で、かつ第１の回転伝達部材８５と第２の
回転伝達部材８６および第４の回転伝達部材８８と第３
の回転伝達部材８７との半径比が夫々２：１に形成され
ている。勿論、第１乃至第４の回転伝達部材８５乃至８
８は、チェーンスプロケットあるいはプーリーが適宜に
用いられ、これらに応じて第１および第２の回転連結具
８９，９０はチェーンあるいは歯付ベルト等が適宜に用
いられる。
【０００５】上記８２乃至９０により第１のアーム機構
９１が構成され、この第１のアーム機構とＸ−Ｘ線に対
して線対称に構成された第２のアーム機構９２が、軸芯
Ｏ1と平行な第２支点Ｐ2 のまわりで回転自在に支持さ
れている。すなわち、軸芯Ｏ1 と第１及び第２の支点Ｐ
1 、Ｐ2 との間隔は同一である。上記８０乃至９２によ
り２アーム方式の搬送用ロボット装置が構成されてい
る。この搬送用ロボット装置において、第１及び第２の
アーム機構９１、９２の動作は線対称であるが、実質的
に同一であるため、第１のアーム機構９１の動作につい
て説明する。今、仮に旋回台８１が固定の枠体８０に対
して固定の状態に維持されているものとする。図１７に
おいて、第１，第２および第３支点Ｐ1 ，Ｑ1 ，Ｒ1 が
一直線上に位置する状態で駆動機により第１のアーム８
２が第１支点Ｐ1 を中心として反時計方向に角度θだけ
回動されたものとする。
９１が構成され、この第１のアーム機構とＸ−Ｘ線に対
して線対称に構成された第２のアーム機構９２が、軸芯
Ｏ1と平行な第２支点Ｐ2 のまわりで回転自在に支持さ
れている。すなわち、軸芯Ｏ1 と第１及び第２の支点Ｐ
1 、Ｐ2 との間隔は同一である。上記８０乃至９２によ
り２アーム方式の搬送用ロボット装置が構成されてい
る。この搬送用ロボット装置において、第１及び第２の
アーム機構９１、９２の動作は線対称であるが、実質的
に同一であるため、第１のアーム機構９１の動作につい
て説明する。今、仮に旋回台８１が固定の枠体８０に対
して固定の状態に維持されているものとする。図１７に
おいて、第１，第２および第３支点Ｐ1 ，Ｑ1 ，Ｒ1 が
一直線上に位置する状態で駆動機により第１のアーム８
２が第１支点Ｐ1 を中心として反時計方向に角度θだけ
回動されたものとする。
【０００６】今、第１の回転伝達部材８５は固定状態に
あり、このときに第２支点Ｑ1 がＱ11の位置まで角度θ
だけ反時計方向に移動すれば、第１および第２の回転伝
達部材８５，８６間に配設された第１の連結具８９のう
ち、Ｙ1 方向のものは第１の回転伝達部材８５に巻きつ
き、Ｙ2 方向のものは第１の回転伝達部材８５から巻戻
された状態となる。すなわち、図１７において第１の連
結具８９はａ1 およびａ2 の方向に移動する。これによ
り第２の回転伝達部材８６は第２支点Ｑ1 を中心として
時計方向に回動される。ところで第１の回転伝達部材８
５と第２の回転伝達部材８６とは半径比が２：１である
ため、上記のごとく、第１のアーム８２が第１支点Ｐ1
を中心として角度θだけ反時計方向に回動すれば、第２
の回転伝達部材８６は第２支点Ｑ11を中心として角度２
θだけ時計方向に回動される。この場合、第２の回転伝
達部材８６は第２のアーム８３に固定されているため、
第２の回転伝達部材８６と第２のアーム８３とは第２支
点Ｑ1 を中心として角度２θだけ時計方向に回動され
る。すなわち、第１，第２および第３支点Ｐ1 ，Ｑ1 ，
Ｒ1 が一直線上に位置する状態で第１のアーム８２が第
１支点Ｐ1 を中心として反時計方向に角度θだけ回動さ
れると、仮想的に第３支点はＲ11の位置に回動される
が、この場合、上記のごとく、第２の回転伝達部材８６
は第２支点Ｑ11を中心として角度２θだけ時計方向に回
動される。このため、第３支点Ｒ11は第２支点Ｑ11を中
心として角度２θだけ時計方向に回動されて、Ｒ12の位
置に回動される。従って、上記のごとく第１のアーム８
２が上記のごとく第１支点Ｐ1 を中心として反時計方向
に角度θだけ回動されたときの第３支点Ｒ12の位置は、
第１および第２のアーム８２，８３の回動前の第１およ
び第３支点Ｐ1 ，Ｒ1 を結ぶ直線状に位置している。
あり、このときに第２支点Ｑ1 がＱ11の位置まで角度θ
だけ反時計方向に移動すれば、第１および第２の回転伝
達部材８５，８６間に配設された第１の連結具８９のう
ち、Ｙ1 方向のものは第１の回転伝達部材８５に巻きつ
き、Ｙ2 方向のものは第１の回転伝達部材８５から巻戻
された状態となる。すなわち、図１７において第１の連
結具８９はａ1 およびａ2 の方向に移動する。これによ
り第２の回転伝達部材８６は第２支点Ｑ1 を中心として
時計方向に回動される。ところで第１の回転伝達部材８
５と第２の回転伝達部材８６とは半径比が２：１である
ため、上記のごとく、第１のアーム８２が第１支点Ｐ1
を中心として角度θだけ反時計方向に回動すれば、第２
の回転伝達部材８６は第２支点Ｑ11を中心として角度２
θだけ時計方向に回動される。この場合、第２の回転伝
達部材８６は第２のアーム８３に固定されているため、
第２の回転伝達部材８６と第２のアーム８３とは第２支
点Ｑ1 を中心として角度２θだけ時計方向に回動され
る。すなわち、第１，第２および第３支点Ｐ1 ，Ｑ1 ，
Ｒ1 が一直線上に位置する状態で第１のアーム８２が第
１支点Ｐ1 を中心として反時計方向に角度θだけ回動さ
れると、仮想的に第３支点はＲ11の位置に回動される
が、この場合、上記のごとく、第２の回転伝達部材８６
は第２支点Ｑ11を中心として角度２θだけ時計方向に回
動される。このため、第３支点Ｒ11は第２支点Ｑ11を中
心として角度２θだけ時計方向に回動されて、Ｒ12の位
置に回動される。従って、上記のごとく第１のアーム８
２が上記のごとく第１支点Ｐ1 を中心として反時計方向
に角度θだけ回動されたときの第３支点Ｒ12の位置は、
第１および第２のアーム８２，８３の回動前の第１およ
び第３支点Ｐ1 ，Ｒ1 を結ぶ直線状に位置している。
【０００７】さらに、上記のごとく、第２のアーム８３
により仮想的にＲ11に位置する第３支点が第２支点Ｑ11
を中心として角度２θだけ、すなわちＲ12の位置まで時
計方向に回動された場合、第１のアーム８２に固定され
た第３の回転伝達部材８７と第４の回転伝達部材８８と
の間に配設された第２の連結具９０のうち、Ｙ2 方向の
ものは第３の回転伝達部材８７に巻きつき、Ｙ1 方向の
ものは第３の回転伝達部材８７から巻戻された状態とな
る。すなわち、図１７において第２の連結具９０は、ｂ
1 およびｂ2 の方向に移動する。これにより第４の回転
伝達部材８８は第３支点Ｒ12を中心として反時計方向に
回動される。ところで、上記のごとく、第２のアーム８
３が第２支点Ｑ11を中心として角度２θだけ時計方向に
回動すれば、第４の回転伝達部材８８と第３の回転伝達
部材８７とは半径比が２：１であるため、第４の回転伝
達部材８８は第３支点Ｒ12を中心として角度θだけ反時
計方向に回動され、結果として、第４の回転伝達部材８
８の特定点Ｃ0 は第１および第３支点Ｐ1 ，Ｒ12を結ぶ
直線上の点Ｃ1 に位置されることとなる。
により仮想的にＲ11に位置する第３支点が第２支点Ｑ11
を中心として角度２θだけ、すなわちＲ12の位置まで時
計方向に回動された場合、第１のアーム８２に固定され
た第３の回転伝達部材８７と第４の回転伝達部材８８と
の間に配設された第２の連結具９０のうち、Ｙ2 方向の
ものは第３の回転伝達部材８７に巻きつき、Ｙ1 方向の
ものは第３の回転伝達部材８７から巻戻された状態とな
る。すなわち、図１７において第２の連結具９０は、ｂ
1 およびｂ2 の方向に移動する。これにより第４の回転
伝達部材８８は第３支点Ｒ12を中心として反時計方向に
回動される。ところで、上記のごとく、第２のアーム８
３が第２支点Ｑ11を中心として角度２θだけ時計方向に
回動すれば、第４の回転伝達部材８８と第３の回転伝達
部材８７とは半径比が２：１であるため、第４の回転伝
達部材８８は第３支点Ｒ12を中心として角度θだけ反時
計方向に回動され、結果として、第４の回転伝達部材８
８の特定点Ｃ0 は第１および第３支点Ｐ1 ，Ｒ12を結ぶ
直線上の点Ｃ1 に位置されることとなる。
【０００８】上記のごとく、第１のアーム８２が第１支
点Ｐ1 を中心として反時計方向に回動され、この場合、
第４の回転伝達部材８８に固定されたハンド部材８４
は、第１のアーム８２の回動前の第１および第３支点Ｐ
1 ，Ｒ1 を結ぶ直線上で、初期姿勢を維持しつつ第１の
アーム機構９１がＸ方向に駆動される。
点Ｐ1 を中心として反時計方向に回動され、この場合、
第４の回転伝達部材８８に固定されたハンド部材８４
は、第１のアーム８２の回動前の第１および第３支点Ｐ
1 ，Ｒ1 を結ぶ直線上で、初期姿勢を維持しつつ第１の
アーム機構９１がＸ方向に駆動される。
【０００９】同様に、第２のアーム機構９２が第１およ
び第３支点Ｐ2 ，Ｒ2 を結ぶ直線上で、初期姿勢を維持
しつつＸ方向に駆動される。この第１および第２のアー
ム機構９１、９２の夫々のハンド部材８４Ａ、８４Ｂ
は、支点Ｐ1 、Ｐ2 間の位置となるように取付けられる
と共に、ハンド部材８４Ａ、８４Ｂの先端部は上下方向
に間隔を設けて取付けられているため、第１および第２
のアーム機構９１、９２の直線移動時に、夫々のハンド
部材８４、８４は相互に干渉することなく軸芯Ｏ1 を通
るＸ−Ｘ線に沿って移動する。さらに、水平旋回台８１
が軸芯Ｏ1 のまわりに旋回されることにより、第１およ
び第２のアーム機構９１、９２が同時に軸芯Ｏ1 のまわ
りに旋回される。
び第３支点Ｐ2 ，Ｒ2 を結ぶ直線上で、初期姿勢を維持
しつつＸ方向に駆動される。この第１および第２のアー
ム機構９１、９２の夫々のハンド部材８４Ａ、８４Ｂ
は、支点Ｐ1 、Ｐ2 間の位置となるように取付けられる
と共に、ハンド部材８４Ａ、８４Ｂの先端部は上下方向
に間隔を設けて取付けられているため、第１および第２
のアーム機構９１、９２の直線移動時に、夫々のハンド
部材８４、８４は相互に干渉することなく軸芯Ｏ1 を通
るＸ−Ｘ線に沿って移動する。さらに、水平旋回台８１
が軸芯Ｏ1 のまわりに旋回されることにより、第１およ
び第２のアーム機構９１、９２が同時に軸芯Ｏ1 のまわ
りに旋回される。
【００１０】このように、２アーム式の搬送用ロボット
装置の旋回軸芯Ｏ1 を中心とした円周方向の放射状の複
数箇所に、例えば６箇所に適宜の処理室７１〜７６を配
置して、被加工物の搬送処理が適宜に行なわれている。
装置の旋回軸芯Ｏ1 を中心とした円周方向の放射状の複
数箇所に、例えば６箇所に適宜の処理室７１〜７６を配
置して、被加工物の搬送処理が適宜に行なわれている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の２アーム方式の搬送用ロボット装置においては、図
１５乃至図１８示されるごとく、第１および第２のアー
ム機構９１，９２の回転駆動軸の軸芯Ｐ1 ，Ｐ2 は水平
旋回台８１の旋回軸の軸芯Ｏ1 を跨いで配置されている
ため、水平旋回台８１の回転半径が大きくなる。このた
め、水平旋回台８１を固定の枠体８０に回転自在に取付
けるための回転用軸受９３，９３や、この回転部分を上
下方向に対して気密に維持するための磁性流体シール９
４が大径となり、装置が大径化すると共に大径の回転用
軸受９３，９３および大径の磁性流体シール９４の使用
により装置が高価となっていた。
来の２アーム方式の搬送用ロボット装置においては、図
１５乃至図１８示されるごとく、第１および第２のアー
ム機構９１，９２の回転駆動軸の軸芯Ｐ1 ，Ｐ2 は水平
旋回台８１の旋回軸の軸芯Ｏ1 を跨いで配置されている
ため、水平旋回台８１の回転半径が大きくなる。このた
め、水平旋回台８１を固定の枠体８０に回転自在に取付
けるための回転用軸受９３，９３や、この回転部分を上
下方向に対して気密に維持するための磁性流体シール９
４が大径となり、装置が大径化すると共に大径の回転用
軸受９３，９３および大径の磁性流体シール９４の使用
により装置が高価となっていた。
【００１２】さらに、第１および第２のアーム機構９
１，９２のハンド部材８４Ａ，８４Ｂを夫々直線移動さ
せるための回転駆動機は、水平旋回台８１に搭載され
て、水平旋回台８１と共に旋回されるが、この回転用駆
動機には固定の枠体８０側から給電用のケーブルが配線
されるため、このケーブルの断線防止として旋回角度、
すなわち旋回回数が制限されていた。このため、初期設
置状態に対して、水平旋回台８１の旋回中心Ｏ1 に対す
る時計廻りおよび反時計廻りの旋回角度が許容値、例え
ば夫々５４０度以内となるように制限するための電気的
監視装置が必要であり、装置が高価となる割りには、装
置としての使い勝手が悪かった。
１，９２のハンド部材８４Ａ，８４Ｂを夫々直線移動さ
せるための回転駆動機は、水平旋回台８１に搭載され
て、水平旋回台８１と共に旋回されるが、この回転用駆
動機には固定の枠体８０側から給電用のケーブルが配線
されるため、このケーブルの断線防止として旋回角度、
すなわち旋回回数が制限されていた。このため、初期設
置状態に対して、水平旋回台８１の旋回中心Ｏ1 に対す
る時計廻りおよび反時計廻りの旋回角度が許容値、例え
ば夫々５４０度以内となるように制限するための電気的
監視装置が必要であり、装置が高価となる割りには、装
置としての使い勝手が悪かった。
【００１３】さらにまた、旋回時には、水平旋回台８１
に搭載した第１および第２のアーム機構９１，９２が同
時に旋回するため、使用上次のような問題があった。
に搭載した第１および第２のアーム機構９１，９２が同
時に旋回するため、使用上次のような問題があった。
【００１４】すなわち、図１８において、例えば被加工
物であるウエハが収納された供給処理室７２に対して、
第１及び第２のアーム機構９１，９２が順次に作動され
て夫々２個のハンド部材８４Ａ，８４Ｂ上にウエハが載
置され、この後ウエハが処理室７３と処理室７１とに搬
送されるものとする。この場合、まず第１および第２の
アーム機構９１，９２を搭載した水平旋回台８１が適宜
に旋回され、続いて例えば第１のアーム機構９１が作動
されて処理室７３内にウエハが搬送される。この後、水
平旋回台８１が処理室７１相当方向に旋回され、続いて
第２のアーム機構９２が作動されて処理室７１内にウエ
ハが搬送される。
物であるウエハが収納された供給処理室７２に対して、
第１及び第２のアーム機構９１，９２が順次に作動され
て夫々２個のハンド部材８４Ａ，８４Ｂ上にウエハが載
置され、この後ウエハが処理室７３と処理室７１とに搬
送されるものとする。この場合、まず第１および第２の
アーム機構９１，９２を搭載した水平旋回台８１が適宜
に旋回され、続いて例えば第１のアーム機構９１が作動
されて処理室７３内にウエハが搬送される。この後、水
平旋回台８１が処理室７１相当方向に旋回され、続いて
第２のアーム機構９２が作動されて処理室７１内にウエ
ハが搬送される。
【００１５】この場合、処理室７１から見れば、水平旋
回台８１が処理室７２から処理室７３相当位置へ旋回す
る旋回時間、第１のアーム機構９１による処理室７３内
へのウエハの搬入時間および水平旋回台８１が処理室７
３から処理室７１相当位置へ旋回するときの途中時間、
すなわち処理室７３から処理室７２相当位置まで水平旋
回台８１が旋回するまでの遊走旋回時間の合計時間が処
理室７１にとっての待ち時間となっている。
回台８１が処理室７２から処理室７３相当位置へ旋回す
る旋回時間、第１のアーム機構９１による処理室７３内
へのウエハの搬入時間および水平旋回台８１が処理室７
３から処理室７１相当位置へ旋回するときの途中時間、
すなわち処理室７３から処理室７２相当位置まで水平旋
回台８１が旋回するまでの遊走旋回時間の合計時間が処
理室７１にとっての待ち時間となっている。
【００１６】勿論、上記待ち時間は２つの処理室の間隔
が離れる程大きくなり、しかも、２アーム式の搬送用ロ
ボット装置は多数の処理室、例えば７１〜７６に対して
適宜に反復作動されて被加工物の搬送が行なわれるた
め、１日の作業における上記待ち時間の合計時間は相当
な値となっていた。このため、上記待ち時間の少ない、
生産性の良好な２アーム方式の搬送用ロボット装置の実
現が嘱望されていた。
が離れる程大きくなり、しかも、２アーム式の搬送用ロ
ボット装置は多数の処理室、例えば７１〜７６に対して
適宜に反復作動されて被加工物の搬送が行なわれるた
め、１日の作業における上記待ち時間の合計時間は相当
な値となっていた。このため、上記待ち時間の少ない、
生産性の良好な２アーム方式の搬送用ロボット装置の実
現が嘱望されていた。
【００１７】本発明は上述の問題に鑑みてなされたもの
で、その目的は、コンパクトで使い勝手が良く、かつ安
価で生産性の良好な２アーム方式の搬送用ロボット装置
を提供することである。
で、その目的は、コンパクトで使い勝手が良く、かつ安
価で生産性の良好な２アーム方式の搬送用ロボット装置
を提供することである。
【００１８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本第１の発明は、内側の第１リンクと外側の第２リ
ンクとを一対の第１の中間リンクで連結した第１の平行
四節リンクと、前記第２リンクとハンド用リンクとを一
対の第２の中間リンクで連結した第２の平行四節リンク
とよりなる第１の平行クランク機構及び該第１の平行ク
ランク機構と実質的に同一構造の第２の平行クランク機
構が、上下に配置されてなる２アーム方式の搬送用ロボ
ット装置に適用される。その特徴とするところは、固定
の枠体と、水平旋回軸の軸芯である第１支点のまわりで
前記固定の枠体に回転自在に同軸に支持された第１乃至
第４の回転軸と、前記固定の枠体に取付けられて、前記
第１乃至第４の回転軸に各々連結された第１乃至第４の
回転駆動機とを具備し、かつ、前記第１及び第２の平行
クランク機構は、各々の第１の平行四節リンクにおける
一個の関節が前記第１支点と同軸に配置されて、各々の
第１リンクと第１の中間リンクの基端部の一方側とが前
記第１乃至第４の回転軸に取付けられ、第１及び第２の
中間リンクが同一のリンク長さに形成され、各々の第２
の平行四節リンクが第１の平行四節リンクに対して外側
にオフセットして配置されて、前記回転軸に対して水平
方向に間隙を有する各々のハンド用リンクの自由端部に
上下方向に離間する第１および第２のハンド部材が突設
され、第１および第２の中間リンク間に回転伝達機構が
配置されて、ハンド部材が回転軸側に引き寄せられた際
に、ハンド部材の後方と回転軸とが半径方向に間隙を有
して、第１および第２の中間リンクが第１支点を越えて
ハンド部材とは反対側の水平方向に傾けられ、該第１お
よび第２のハンド部材が第１支点を通る水平方向に適宜
に直線移動されると共に、該第１および第２のハンド部
材が第１支点を中心として自在に旋回されることであ
る。
め、本第１の発明は、内側の第１リンクと外側の第２リ
ンクとを一対の第１の中間リンクで連結した第１の平行
四節リンクと、前記第２リンクとハンド用リンクとを一
対の第２の中間リンクで連結した第２の平行四節リンク
とよりなる第１の平行クランク機構及び該第１の平行ク
ランク機構と実質的に同一構造の第２の平行クランク機
構が、上下に配置されてなる２アーム方式の搬送用ロボ
ット装置に適用される。その特徴とするところは、固定
の枠体と、水平旋回軸の軸芯である第１支点のまわりで
前記固定の枠体に回転自在に同軸に支持された第１乃至
第４の回転軸と、前記固定の枠体に取付けられて、前記
第１乃至第４の回転軸に各々連結された第１乃至第４の
回転駆動機とを具備し、かつ、前記第１及び第２の平行
クランク機構は、各々の第１の平行四節リンクにおける
一個の関節が前記第１支点と同軸に配置されて、各々の
第１リンクと第１の中間リンクの基端部の一方側とが前
記第１乃至第４の回転軸に取付けられ、第１及び第２の
中間リンクが同一のリンク長さに形成され、各々の第２
の平行四節リンクが第１の平行四節リンクに対して外側
にオフセットして配置されて、前記回転軸に対して水平
方向に間隙を有する各々のハンド用リンクの自由端部に
上下方向に離間する第１および第２のハンド部材が突設
され、第１および第２の中間リンク間に回転伝達機構が
配置されて、ハンド部材が回転軸側に引き寄せられた際
に、ハンド部材の後方と回転軸とが半径方向に間隙を有
して、第１および第２の中間リンクが第１支点を越えて
ハンド部材とは反対側の水平方向に傾けられ、該第１お
よび第２のハンド部材が第１支点を通る水平方向に適宜
に直線移動されると共に、該第１および第２のハンド部
材が第１支点を中心として自在に旋回されることであ
る。
【００１９】さらに、本第２の発明は、本第１の発明に
おいて、前記上下方向に離間される第１および第２のハ
ンド部材が、回転軸部を除く水平方向に配置されたカバ
ーにより区画された空間を位置変位自在に移動されるこ
とを特徴としている。
おいて、前記上下方向に離間される第１および第２のハ
ンド部材が、回転軸部を除く水平方向に配置されたカバ
ーにより区画された空間を位置変位自在に移動されるこ
とを特徴としている。
【００２０】さらに、本第３の発明は、本第１又は第２
の発明において、前記同軸に支持された第１乃至第４の
回転軸が、気密用の磁性流体シールを介して回転自在に
支持されてなることを特徴としている。
の発明において、前記同軸に支持された第１乃至第４の
回転軸が、気密用の磁性流体シールを介して回転自在に
支持されてなることを特徴としている。
【００２１】＜作用＞上記のごとく、本第１の発明にお
いては、内側の第１リンクと外側の第２リンクとを一対
の第１の中間リンクで連結した第１の平行四節リンク
と、前記第２リンクとハンド用リンクとを一対の第２の
中間リンクで連結した第２の平行四節リンクとよりなる
第１の平行クランク機構及び該第１の平行クランク機構
と実質的に同一構造の第２の平行クランク機構が、上下
に配置されてなる２アーム方式の搬送用ロボット装置に
置いて、固定の枠体と、水平旋回軸の軸芯である第１支
点のまわりで前記固定の枠体に回転自在に同軸に支持さ
れた第１乃至第４の回転軸と、前記固定の枠体に取付け
られて、前記第１乃至第４の回転軸に各々連結された第
１乃至第４の回転駆動機とを具備し、前記第１及び第２
の平行クランク機構は、各々の第１の平行四節リンクに
おける一個の関節が前記第１支点と同軸に配置されて、
各々の第１リンクと第１の中間リンクの基端部の一方側
とが前記第１乃至第４の回転軸に取付けられ、第１及び
第２の中間リンクが同一のリンク長さに形成され、各々
の第２の平行四節リンクが第１の平行四節リンクに対し
て外側にオフセットして配置されて、前記回転軸に対し
て水平方向に間隙を有する各々のハンド用リンクの自由
端部に上下方向に離間する第１および第２のハンド部材
が突設され、第１および第２の中間リンク間に回転伝達
機構が配置されて、ハンド部材が回転軸側に引き寄せら
れた際に、ハンド部材の後方と回転軸とが半径方向に間
隙を有して、第１および第２の中間リンクが第１支点を
越えてハンド部材とは反対側の水平方向に傾けられ、該
第１および第２のハンド部材が第１支点を通る水平方向
に適宜に直線移動されると共に、該第１および第２のハ
ンド部材が第１支点を中心として自在に旋回されるた
め、ハンド部材を回動させる機構が簡素化され、かつ、
第１乃至第４の回転軸は、垂直線を軸芯として同軸に回
転支持されているため、第１乃至第４の回転軸を回転自
在に支持する回転軸受を可及的に小径とすることがで
き、装置としての平面的スペースがコンパクトとなり、
しかも小径の回転軸受を使用するため装置が安価とな
る。
いては、内側の第１リンクと外側の第２リンクとを一対
の第１の中間リンクで連結した第１の平行四節リンク
と、前記第２リンクとハンド用リンクとを一対の第２の
中間リンクで連結した第２の平行四節リンクとよりなる
第１の平行クランク機構及び該第１の平行クランク機構
と実質的に同一構造の第２の平行クランク機構が、上下
に配置されてなる２アーム方式の搬送用ロボット装置に
置いて、固定の枠体と、水平旋回軸の軸芯である第１支
点のまわりで前記固定の枠体に回転自在に同軸に支持さ
れた第１乃至第４の回転軸と、前記固定の枠体に取付け
られて、前記第１乃至第４の回転軸に各々連結された第
１乃至第４の回転駆動機とを具備し、前記第１及び第２
の平行クランク機構は、各々の第１の平行四節リンクに
おける一個の関節が前記第１支点と同軸に配置されて、
各々の第１リンクと第１の中間リンクの基端部の一方側
とが前記第１乃至第４の回転軸に取付けられ、第１及び
第２の中間リンクが同一のリンク長さに形成され、各々
の第２の平行四節リンクが第１の平行四節リンクに対し
て外側にオフセットして配置されて、前記回転軸に対し
て水平方向に間隙を有する各々のハンド用リンクの自由
端部に上下方向に離間する第１および第２のハンド部材
が突設され、第１および第２の中間リンク間に回転伝達
機構が配置されて、ハンド部材が回転軸側に引き寄せら
れた際に、ハンド部材の後方と回転軸とが半径方向に間
隙を有して、第１および第２の中間リンクが第１支点を
越えてハンド部材とは反対側の水平方向に傾けられ、該
第１および第２のハンド部材が第１支点を通る水平方向
に適宜に直線移動されると共に、該第１および第２のハ
ンド部材が第１支点を中心として自在に旋回されるた
め、ハンド部材を回動させる機構が簡素化され、かつ、
第１乃至第４の回転軸は、垂直線を軸芯として同軸に回
転支持されているため、第１乃至第４の回転軸を回転自
在に支持する回転軸受を可及的に小径とすることがで
き、装置としての平面的スペースがコンパクトとなり、
しかも小径の回転軸受を使用するため装置が安価とな
る。
【００２２】さらに、ハンド部材が回転軸側に引き寄せ
られた際に、ハンド部材の後方と回転軸とが半径方向に
間隙を有して、第１および第２の中間リンクが第１支点
を越えてハンド部材とは反対側の水平方向に傾けられる
ため、第１の中間リンクがハンド部材の待避方向と突出
方向とに大きい角度で回動され、かつ回転伝達機構によ
り第１の中間リンクの回転と同時に第２の中間リンクが
同じ角度だけ回動されるため、ハンド部材の待避状態と
被加工物を適宜の処理室へと搬送するハンド部材の突出
状態とに大きく位置変位させて、ハンド部材の水平方向
の直線移動ストロークを大きくすることができ、旋回中
心から可及的に離間した突出状態にハンド部材を位置変
位させ得るにも拘わらず、ハンド部材の水平旋回状態、
すなわちハンド部材の待避状態においては、ハンド部材
が可及的に回転軸側に引き寄せられるため、装置として
必要な旋回半径を可及的に小さく、すなわちコンパクト
にすることができる。
られた際に、ハンド部材の後方と回転軸とが半径方向に
間隙を有して、第１および第２の中間リンクが第１支点
を越えてハンド部材とは反対側の水平方向に傾けられる
ため、第１の中間リンクがハンド部材の待避方向と突出
方向とに大きい角度で回動され、かつ回転伝達機構によ
り第１の中間リンクの回転と同時に第２の中間リンクが
同じ角度だけ回動されるため、ハンド部材の待避状態と
被加工物を適宜の処理室へと搬送するハンド部材の突出
状態とに大きく位置変位させて、ハンド部材の水平方向
の直線移動ストロークを大きくすることができ、旋回中
心から可及的に離間した突出状態にハンド部材を位置変
位させ得るにも拘わらず、ハンド部材の水平旋回状態、
すなわちハンド部材の待避状態においては、ハンド部材
が可及的に回転軸側に引き寄せられるため、装置として
必要な旋回半径を可及的に小さく、すなわちコンパクト
にすることができる。
【００２３】更に、第１および第２のハンド部材は上下
方向に離間して配置されるため、第１および第２のハン
ド部材は相互に干渉することがなく、しかも、第１およ
び第２のハンド部材が取付けられるハンド用リンクは、
従前のような回転伝達部材や回転連結具を用いることな
く、可及的に薄くできるリンク結合により支持されて、
結果として２個のハンド部材の基部側の高さＨ2 を小さ
くすることができるため、ハンド部材出入り用の真空処
理室の窓を可及的に小さくすることができる。
方向に離間して配置されるため、第１および第２のハン
ド部材は相互に干渉することがなく、しかも、第１およ
び第２のハンド部材が取付けられるハンド用リンクは、
従前のような回転伝達部材や回転連結具を用いることな
く、可及的に薄くできるリンク結合により支持されて、
結果として２個のハンド部材の基部側の高さＨ2 を小さ
くすることができるため、ハンド部材出入り用の真空処
理室の窓を可及的に小さくすることができる。
【００２４】勿論、水平旋回軸の軸芯である第１支点を
支点としてハンド部材を水平方向に直線移動させるため
には、第１および第２の中間リンクを同一のリンク長さ
にする必要があるが、第２の平行四節リンクが第１の平
行四節リンクに対して外側にオフセットして配置されて
いるため、ハンド部材の基部側であるハンド用リンクの
第５の支点と第１の支点とが間隔Ｌ2 を維持しつつ、第
１支点を支点としてハンド部材が水平方向に直線移動す
ることができる。なお、上記のごとくハンド部材の基部
側であるハンド用リンクの第５の支点と第１の支点とが
間隔Ｌ2 を維持して配置されるため、第１および第２の
平行クランク機構を同軸として上下に配置することがで
きる。
支点としてハンド部材を水平方向に直線移動させるため
には、第１および第２の中間リンクを同一のリンク長さ
にする必要があるが、第２の平行四節リンクが第１の平
行四節リンクに対して外側にオフセットして配置されて
いるため、ハンド部材の基部側であるハンド用リンクの
第５の支点と第１の支点とが間隔Ｌ2 を維持しつつ、第
１支点を支点としてハンド部材が水平方向に直線移動す
ることができる。なお、上記のごとくハンド部材の基部
側であるハンド用リンクの第５の支点と第１の支点とが
間隔Ｌ2 を維持して配置されるため、第１および第２の
平行クランク機構を同軸として上下に配置することがで
きる。
【００２５】勿論、前記第１および第２の回転駆動機と
前記第３および第４の回転駆動機とにより、第１および
第２のハンド部材が相互に干渉することなく、かつ夫々
任意に、自在に直線移動および旋回されるため、待ち時
間なく第１および第２のハンド部材により被加工物を適
宜の処理室に対して搬送することができ、生産性が向上
する。
前記第３および第４の回転駆動機とにより、第１および
第２のハンド部材が相互に干渉することなく、かつ夫々
任意に、自在に直線移動および旋回されるため、待ち時
間なく第１および第２のハンド部材により被加工物を適
宜の処理室に対して搬送することができ、生産性が向上
する。
【００２６】更に、第１および第２のハンド部材は相互
に干渉することがなく、かつ第１乃至第４の回転駆動機
は固定の枠体に取付けられているため、第１および第２
のハンド部材を角度に制限されることなく水平方向に旋
回させることができる。このため、第１および第２のハ
ンド部材は、旋回角度、すなわち旋回方向の回動角度の
確認が必要であった従来の装置に比較して、旋回角度に
関係なく自在位置に旋回されて被加工物の搬送を行なう
ことができるため、従来に比べて装置の使い勝手がよ
い。要するに、本第１の発明によればコンパクトで使い
勝手が良く、かつ安価で生産性の良好な２アーム方式の
搬送用ロボット装置を実現することができる。
に干渉することがなく、かつ第１乃至第４の回転駆動機
は固定の枠体に取付けられているため、第１および第２
のハンド部材を角度に制限されることなく水平方向に旋
回させることができる。このため、第１および第２のハ
ンド部材は、旋回角度、すなわち旋回方向の回動角度の
確認が必要であった従来の装置に比較して、旋回角度に
関係なく自在位置に旋回されて被加工物の搬送を行なう
ことができるため、従来に比べて装置の使い勝手がよ
い。要するに、本第１の発明によればコンパクトで使い
勝手が良く、かつ安価で生産性の良好な２アーム方式の
搬送用ロボット装置を実現することができる。
【００２７】さらに本第２の発明によれば、上下方向に
離間される第１および第２のハンド部材は、回転軸部を
除く水平方向に配置されたカバーにより区画された空間
を位置変位自在に移動されるため、該カバーの上側に配
置される平行クランク機構のごみや塵等が、下側に配置
される平行クランク機構、特に下側の平行クランク機構
により取扱われる被加工物上に落下して付着する虞がな
い。
離間される第１および第２のハンド部材は、回転軸部を
除く水平方向に配置されたカバーにより区画された空間
を位置変位自在に移動されるため、該カバーの上側に配
置される平行クランク機構のごみや塵等が、下側に配置
される平行クランク機構、特に下側の平行クランク機構
により取扱われる被加工物上に落下して付着する虞がな
い。
【００２８】さらに本第３の発明によれば、第１乃至第
４の回転軸を同軸に回転自在に支持する、特に高価な気
密用の磁性流体シールを可及的に小径とすることができ
るため装置が安価となる。
４の回転軸を同軸に回転自在に支持する、特に高価な気
密用の磁性流体シールを可及的に小径とすることができ
るため装置が安価となる。
【００２９】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施例によ
り詳細に説明する。図１乃至図１０において、１は固定
の枠体、２乃至５は、水平旋回軸の軸芯である第１支点
Ｏ1 のまわりで固定の枠体１に回転自在に同軸に支持さ
れた第１乃至第４の回転軸で、適宜に回転軸受を介して
支持されている。例えば、固定の枠体１は真空室Ｖ．Ｃ
に取付けられるが、真空状態を維持するために、夫々の
回転軸部には気密用の磁性流体シール６乃至９が配設さ
れている。
り詳細に説明する。図１乃至図１０において、１は固定
の枠体、２乃至５は、水平旋回軸の軸芯である第１支点
Ｏ1 のまわりで固定の枠体１に回転自在に同軸に支持さ
れた第１乃至第４の回転軸で、適宜に回転軸受を介して
支持されている。例えば、固定の枠体１は真空室Ｖ．Ｃ
に取付けられるが、真空状態を維持するために、夫々の
回転軸部には気密用の磁性流体シール６乃至９が配設さ
れている。
【００３０】１１乃至１４は第１乃至第４の回転駆動機
で、この第１乃至第４の回転駆動機１１乃至１４は、適
宜に連結された減速機、スプロケットあるいはプーリー
等の回転伝達部材およびチェーンあるいは歯付ベルト等
の回転連結具を介して、第１乃至第４の回転軸２乃至５
に連結されている。
で、この第１乃至第４の回転駆動機１１乃至１４は、適
宜に連結された減速機、スプロケットあるいはプーリー
等の回転伝達部材およびチェーンあるいは歯付ベルト等
の回転連結具を介して、第１乃至第４の回転軸２乃至５
に連結されている。
【００３１】１５は内側の第１リンクで、この第１リン
ク１５と外側の第２リンク１８とが一対の第１の中間リ
ンク１６、１７で連結されて第１の平行四節リンク１９
が形成されている。第２リンク１８とハンド用リンク２
２とが一対の第２の中間リンク２０、２１で連結されて
第２の平行四節リンク２３が形成されるが、第１の中間
リンク１６、１７と第２リンク１８との夫々の枢支点で
ある第３支点Ｏ3 ，Ｏ3 を結ぶ直線に対して、第２の中
間リンク２０、２１と第２リンク１８との夫々の枢支点
である第４支点Ｏ4 ，Ｏ4 を結ぶ直線がＸ1 方向に位置
するように、第２の平行四節リンク２３がＸ1 方向にオ
フセットして配置されている。なお、ハンド用リンク２
２の自由端部には第１のハンド部材２５が突設されてい
る。
ク１５と外側の第２リンク１８とが一対の第１の中間リ
ンク１６、１７で連結されて第１の平行四節リンク１９
が形成されている。第２リンク１８とハンド用リンク２
２とが一対の第２の中間リンク２０、２１で連結されて
第２の平行四節リンク２３が形成されるが、第１の中間
リンク１６、１７と第２リンク１８との夫々の枢支点で
ある第３支点Ｏ3 ，Ｏ3 を結ぶ直線に対して、第２の中
間リンク２０、２１と第２リンク１８との夫々の枢支点
である第４支点Ｏ4 ，Ｏ4 を結ぶ直線がＸ1 方向に位置
するように、第２の平行四節リンク２３がＸ1 方向にオ
フセットして配置されている。なお、ハンド用リンク２
２の自由端部には第１のハンド部材２５が突設されてい
る。
【００３２】２４は第１及び第２の中間リンク間に配設
された回転伝達機構で、例えば、この回転伝達機構２４
は第１の中間リンク１６に固定された第１の歯車２４Ａ
と、この第１の歯車２４Ａに噛合うように第２の中間リ
ンク２０に固定された第２の歯車２４Ｂとにより形成さ
れている。なお、第１の中間リンク１６、１７と第２の
中間リンク２０、２１とは同一のリンク長さ、例えば長
さＬ1 に形成され、かつ第１リンク１５と第１の中間リ
ンク１６、１７とは、例えば、Ｙ方向に離間する第１支
点Ｏ1 及び第２支点Ｏ2 廻りに各々回転自在に枢支され
ている。なお、この第１の平行四節リンク１９における
一個の関節が水平旋回軸の軸芯である第１支点Ｏ1 と同
軸に配置されて、第１の中間リンク１６、１７の基端部
の一方側、例えば１６と第１リンク１５とが第１および
第２の回転軸２、３に取付けられている。上記第１およ
び第２の平行四節リンク１９、２３と回転伝達機構２４
とにより第１の平行クランク機構２６が構成されてい
る。
された回転伝達機構で、例えば、この回転伝達機構２４
は第１の中間リンク１６に固定された第１の歯車２４Ａ
と、この第１の歯車２４Ａに噛合うように第２の中間リ
ンク２０に固定された第２の歯車２４Ｂとにより形成さ
れている。なお、第１の中間リンク１６、１７と第２の
中間リンク２０、２１とは同一のリンク長さ、例えば長
さＬ1 に形成され、かつ第１リンク１５と第１の中間リ
ンク１６、１７とは、例えば、Ｙ方向に離間する第１支
点Ｏ1 及び第２支点Ｏ2 廻りに各々回転自在に枢支され
ている。なお、この第１の平行四節リンク１９における
一個の関節が水平旋回軸の軸芯である第１支点Ｏ1 と同
軸に配置されて、第１の中間リンク１６、１７の基端部
の一方側、例えば１６と第１リンク１５とが第１および
第２の回転軸２、３に取付けられている。上記第１およ
び第２の平行四節リンク１９、２３と回転伝達機構２４
とにより第１の平行クランク機構２６が構成されてい
る。
【００３３】上記第１の平行クランク機構２６と実質的
に同一構造をした第２の平行クランク機構４６が第１支
点Ｏ1 を回転軸として、第１の平行クランク機構２６と
上下方向に離間して配置されている。即ち、第１リンク
３５と外側の第２リンク３８とが一対の第１の中間リン
ク３６、３７で連結されて第１の平行四節リンク３９が
形成され、第２リンク３８とハンド用リンク４２とが一
対の第２の中間リンク４０、４１により連結されて形成
された第２の平行四節リンク４３が、第１の平行四節リ
ンク３９に対して第１支点Ｏ1 のＸ１方向にオフセット
して配置される。勿論、例えば、第１及び第２の中間リ
ンク３６，４０間には回転伝達機構４４が配設されてい
る。
に同一構造をした第２の平行クランク機構４６が第１支
点Ｏ1 を回転軸として、第１の平行クランク機構２６と
上下方向に離間して配置されている。即ち、第１リンク
３５と外側の第２リンク３８とが一対の第１の中間リン
ク３６、３７で連結されて第１の平行四節リンク３９が
形成され、第２リンク３８とハンド用リンク４２とが一
対の第２の中間リンク４０、４１により連結されて形成
された第２の平行四節リンク４３が、第１の平行四節リ
ンク３９に対して第１支点Ｏ1 のＸ１方向にオフセット
して配置される。勿論、例えば、第１及び第２の中間リ
ンク３６，４０間には回転伝達機構４４が配設されてい
る。
【００３４】なお、第１リンク３５と第１の中間リンク
３６、３７とは、例えば、Ｙ方向に離間する第１支点Ｏ
1 及び第２支点Ｏ2 廻りに各々回転自在に枢支されてい
る。さらに、この第２の平行クランク機構４６における
第１の平行四節リンク３９の一個の関節が水平旋回軸の
軸芯である第１支点Ｏ1 と同軸に配置さてされること
は、第１の平行クランク機構２６と同様であって、この
場合、第１の中間リンク３６、３７の基端部の一方側、
例えば３６と第１リンク３５とが第３および第４の回転
軸４、５に取付けられる。すなわち、第１の平行クラン
ク機構２６と同様に、上記第１および第２の平行四節リ
ンク３９、４３と回転伝達機構４４とにより第２の平行
クランク機構４６が構成されている。なお、ハンド用リ
ンク４２の自由端部には第２のハンド部材４５が突設さ
れている。
３６、３７とは、例えば、Ｙ方向に離間する第１支点Ｏ
1 及び第２支点Ｏ2 廻りに各々回転自在に枢支されてい
る。さらに、この第２の平行クランク機構４６における
第１の平行四節リンク３９の一個の関節が水平旋回軸の
軸芯である第１支点Ｏ1 と同軸に配置さてされること
は、第１の平行クランク機構２６と同様であって、この
場合、第１の中間リンク３６、３７の基端部の一方側、
例えば３６と第１リンク３５とが第３および第４の回転
軸４、５に取付けられる。すなわち、第１の平行クラン
ク機構２６と同様に、上記第１および第２の平行四節リ
ンク３９、４３と回転伝達機構４４とにより第２の平行
クランク機構４６が構成されている。なお、ハンド用リ
ンク４２の自由端部には第２のハンド部材４５が突設さ
れている。
【００３５】上記１乃至４６により２アーム方式の搬送
用ロボット装置が構成されている。勿論、垂直の第１支
点Ｏ1 を中心とした放射状の複数箇所に適宜に複数の処
理室が設けられることは、従来と同様である。
用ロボット装置が構成されている。勿論、垂直の第１支
点Ｏ1 を中心とした放射状の複数箇所に適宜に複数の処
理室が設けられることは、従来と同様である。
【００３６】上記構成において、第１および第２の平行
クランク機構２６、４６の動作は同じであるため、例え
ば第１の平行クランク機構２６の動作について説明す
る。なお、図２に示されるごとく、今仮に、第１および
第３の支点Ｏ1 、Ｏ3 を通る直線が、直線Ｏ1 −Ｘ1 に
対して角度θ1 だけ傾むいていて、この状態から第１の
回転軸２及び第１の中間リンク１６が、第１の回転駆動
機１１により第１支点Ｏ1 を中心として時計方向に角度
θ、例えばθ＝θ1 ＋θ2 だけ時計方向に回動されるも
のとする。
クランク機構２６、４６の動作は同じであるため、例え
ば第１の平行クランク機構２６の動作について説明す
る。なお、図２に示されるごとく、今仮に、第１および
第３の支点Ｏ1 、Ｏ3 を通る直線が、直線Ｏ1 −Ｘ1 に
対して角度θ1 だけ傾むいていて、この状態から第１の
回転軸２及び第１の中間リンク１６が、第１の回転駆動
機１１により第１支点Ｏ1 を中心として時計方向に角度
θ、例えばθ＝θ1 ＋θ2 だけ時計方向に回動されるも
のとする。
【００３７】図１乃至図４において、今仮に、第２の回
転駆動機１２が停止状態に維持されていて、第２の回転
軸３に固定された第１リンク１５が固定の状態に維持さ
れているものとする。さて、第１の回転軸２及び第１の
中間リンク１６が、第１の回転駆動機１１により第１支
点Ｏ1 を中心として時計方向に角度θだけ回動される
と、第１の平行四節リンク１９は第１支点Ｏ1 及び第２
支点Ｏ2 を支点としてＹ1 方向に並行に移動する。この
場合、第１の中間リンク１６は第２リンク１８に対して
第３支点Ｏ3 を中心として時計方向に角度θだけ回動さ
れた状態となる。これにより、回転伝達機構２４を介し
て第２の中間リンク２０、２１が、第２リンク１８に対
して第４支点Ｏ4 を中心として反時計方向に角度θだけ
回動されつつ、第２の平行四節リンク２３が第４の支点
Ｏ4 ，Ｏ4 を支点としてＹ1 方向に並行に移動する。
転駆動機１２が停止状態に維持されていて、第２の回転
軸３に固定された第１リンク１５が固定の状態に維持さ
れているものとする。さて、第１の回転軸２及び第１の
中間リンク１６が、第１の回転駆動機１１により第１支
点Ｏ1 を中心として時計方向に角度θだけ回動される
と、第１の平行四節リンク１９は第１支点Ｏ1 及び第２
支点Ｏ2 を支点としてＹ1 方向に並行に移動する。この
場合、第１の中間リンク１６は第２リンク１８に対して
第３支点Ｏ3 を中心として時計方向に角度θだけ回動さ
れた状態となる。これにより、回転伝達機構２４を介し
て第２の中間リンク２０、２１が、第２リンク１８に対
して第４支点Ｏ4 を中心として反時計方向に角度θだけ
回動されつつ、第２の平行四節リンク２３が第４の支点
Ｏ4 ，Ｏ4 を支点としてＹ1 方向に並行に移動する。
【００３８】上記において、ハンド用リンク２２および
第１のハンド部材２５に着目すれば、第１の中間リンク
１６が第１支点Ｏ1 を中心として時計方向に角度θだけ
回動されると、第１の中間リンク１６のＹ1 方向への位
置変位量の２倍だけ第１のハンド部材２５がＹ1 方向へ
位置変位する。
第１のハンド部材２５に着目すれば、第１の中間リンク
１６が第１支点Ｏ1 を中心として時計方向に角度θだけ
回動されると、第１の中間リンク１６のＹ1 方向への位
置変位量の２倍だけ第１のハンド部材２５がＹ1 方向へ
位置変位する。
【００３９】すなわち、図８に示されるごとく、第１お
よび第３の支点Ｏ1 、Ｏ3 を通る直線が、直線Ｏ1 −Ｘ
1 に対して角度θ1 だけ傾むいている状態から、図９に
示されるごとく、第１の中間リンク１６が第１支点Ｏ1
を中心として時計方向に角度θ、例えばθ＝θ1 ＋θ2
だけ時計方向に回動されるものとする。この場合、図８
および図９に示されるごとく、同一のリンク長さに形成
された第１および第２の中間リンク１６、１７、２０、
２１のリンク長さをＬ1 、第３および第４の支点Ｏ3 ，
Ｏ4 のＸ方向の間隔をＬ2 とし、夫々の支点のＸ方向の
間隔を、例えば、図示のごとくＸ11乃至Ｘ16とすれば、 Ｘ12＝Ｘ13＝Ｌ1 ＣＯＳθ1 Ｘ14＝Ｘ16＝Ｌ1 ＣＯＳθ2 ＝Ｌ1 ＣＯＳ（θ−θ1 ） Ｘ13＋Ｌ2 ＝Ｘ12＋Ｘ11 Ｘ14＋Ｌ2 ＝Ｘ16＋Ｘ15 であるため、Ｘ11＝Ｌ2 およびＸ15＝Ｌ2 であることが
分かる。
よび第３の支点Ｏ1 、Ｏ3 を通る直線が、直線Ｏ1 −Ｘ
1 に対して角度θ1 だけ傾むいている状態から、図９に
示されるごとく、第１の中間リンク１６が第１支点Ｏ1
を中心として時計方向に角度θ、例えばθ＝θ1 ＋θ2
だけ時計方向に回動されるものとする。この場合、図８
および図９に示されるごとく、同一のリンク長さに形成
された第１および第２の中間リンク１６、１７、２０、
２１のリンク長さをＬ1 、第３および第４の支点Ｏ3 ，
Ｏ4 のＸ方向の間隔をＬ2 とし、夫々の支点のＸ方向の
間隔を、例えば、図示のごとくＸ11乃至Ｘ16とすれば、 Ｘ12＝Ｘ13＝Ｌ1 ＣＯＳθ1 Ｘ14＝Ｘ16＝Ｌ1 ＣＯＳθ2 ＝Ｌ1 ＣＯＳ（θ−θ1 ） Ｘ13＋Ｌ2 ＝Ｘ12＋Ｘ11 Ｘ14＋Ｌ2 ＝Ｘ16＋Ｘ15 であるため、Ｘ11＝Ｌ2 およびＸ15＝Ｌ2 であることが
分かる。
【００４０】すなわち、Ｘ11＝Ｘ15＝Ｌ2 であるため、
第１の中間リンク１６が第１支点Ｏ1 を中心として時計
方向あるいは反時計方向に回動されると、ハンド用リン
ク２２および第１のハンド部材２５は、第５の支点Ｏ5
，Ｏ5 を通る同一直線上を、初期状態を維持しつつＹ
方向に移動される。結局、第１の平行クランク機構２６
によりハンド用リンク２２がＹ方向に移動する場合、ハ
ンド用リンク２２は、第１支点Ｏ1 とハンド用リンク２
２とのなす水平方向の間隙Ｌ0 を維持しつつ、第５の支
点Ｏ5 ，Ｏ5 を通る同一直線上を、初期状態を維持しつ
つＹ方向に移動される。
第１の中間リンク１６が第１支点Ｏ1 を中心として時計
方向あるいは反時計方向に回動されると、ハンド用リン
ク２２および第１のハンド部材２５は、第５の支点Ｏ5
，Ｏ5 を通る同一直線上を、初期状態を維持しつつＹ
方向に移動される。結局、第１の平行クランク機構２６
によりハンド用リンク２２がＹ方向に移動する場合、ハ
ンド用リンク２２は、第１支点Ｏ1 とハンド用リンク２
２とのなす水平方向の間隙Ｌ0 を維持しつつ、第５の支
点Ｏ5 ，Ｏ5 を通る同一直線上を、初期状態を維持しつ
つＹ方向に移動される。
【００４１】さらに、図８および図９に示されるごと
く、第１の中間リンク１６の回動前後における第１およ
び第３の支点Ｏ1 ，Ｏ3 のＹ方向の間隔を、例えば、Ｙ
11およびＹ12とすれば、 Ｙ11＝Ｌ1 ＳＩＮθ1 Ｙ12＝Ｌ1 ＳＩＮθ2 ＝Ｌ1 ＳＩＮ（θ−θ1 ） であって、第１の中間リンク１６の回動により第３の支
点Ｏ3 は間隔（Ｙ11＋Ｙ12）だけＹ1 方向に位置変位す
る。勿論、上記したように第１の中間リンク１６が回動
すれば、同時に同じ角度だけ第２の中間リンク２０、２
１が第４の支点Ｏ4 まわりに回動するため、上記のごと
く第１の中間リンク１６が第１支点Ｏ1 を中心として、
例えば時計方向に角度θだけ回動されると、結局、第１
のハンド部材２８は間隔２・（Ｙ11＋Ｙ12）と大きくＹ
1 方向に位置変位する。
く、第１の中間リンク１６の回動前後における第１およ
び第３の支点Ｏ1 ，Ｏ3 のＹ方向の間隔を、例えば、Ｙ
11およびＹ12とすれば、 Ｙ11＝Ｌ1 ＳＩＮθ1 Ｙ12＝Ｌ1 ＳＩＮθ2 ＝Ｌ1 ＳＩＮ（θ−θ1 ） であって、第１の中間リンク１６の回動により第３の支
点Ｏ3 は間隔（Ｙ11＋Ｙ12）だけＹ1 方向に位置変位す
る。勿論、上記したように第１の中間リンク１６が回動
すれば、同時に同じ角度だけ第２の中間リンク２０、２
１が第４の支点Ｏ4 まわりに回動するため、上記のごと
く第１の中間リンク１６が第１支点Ｏ1 を中心として、
例えば時計方向に角度θだけ回動されると、結局、第１
のハンド部材２８は間隔２・（Ｙ11＋Ｙ12）と大きくＹ
1 方向に位置変位する。
【００４２】したがって、例えば図１（Ｂ）に示される
ごとく、第１のハンド部材２５がＹ1 方向に直線移動す
るように、第１の平行クランク機構２６が水平半径方向
に伸ばされた所定の位置で、第１のハンド部材２５に対
して被加工物が搬入・搬出される。この後、第１の平行
クランク機構２６が屈折されて、第１のハンド部材２５
が第１支点Ｏ1 方向に引寄せられた状態、例えば図１
（Ａ）に示される状態が、第１のハンド部材２５の水平
旋回状態である。
ごとく、第１のハンド部材２５がＹ1 方向に直線移動す
るように、第１の平行クランク機構２６が水平半径方向
に伸ばされた所定の位置で、第１のハンド部材２５に対
して被加工物が搬入・搬出される。この後、第１の平行
クランク機構２６が屈折されて、第１のハンド部材２５
が第１支点Ｏ1 方向に引寄せられた状態、例えば図１
（Ａ）に示される状態が、第１のハンド部材２５の水平
旋回状態である。
【００４３】さて、第１のハンド部材２５が水平旋回状
態に配置されている場合に、第１および第２の回転駆動
機１１、１２が互いに同期して回転駆動されて、第１お
よび第２の回転軸２、３が同一方向に同一角速度で回転
されると、第１および第２の回転軸２、３に取付けられ
た第１の平行クランク機構２６が全体として同一方向に
回転移動する。このため、図２および図４に示された状
態を維持しつつ、第１の平行クランク機構２６が、図２
における第１支点Ｏ1 を中心として時計方向または反時
計方向に旋回される
態に配置されている場合に、第１および第２の回転駆動
機１１、１２が互いに同期して回転駆動されて、第１お
よび第２の回転軸２、３が同一方向に同一角速度で回転
されると、第１および第２の回転軸２、３に取付けられ
た第１の平行クランク機構２６が全体として同一方向に
回転移動する。このため、図２および図４に示された状
態を維持しつつ、第１の平行クランク機構２６が、図２
における第１支点Ｏ1 を中心として時計方向または反時
計方向に旋回される
【００４４】このように第１のハンド部材２８が適宜の
角度旋回された後、第１のハンド部材２５が軸芯Ｏ1 を
通る水平方向に突出するように、第１の回転駆動機１１
が回転駆動されて、第１のハンド部材２５が被加工物の
搬入・搬出位置へと位置変位される。
角度旋回された後、第１のハンド部材２５が軸芯Ｏ1 を
通る水平方向に突出するように、第１の回転駆動機１１
が回転駆動されて、第１のハンド部材２５が被加工物の
搬入・搬出位置へと位置変位される。
【００４５】勿論、この後第１のハンド部材２５が、軸
芯Ｏ1 方向に引寄せられた水平旋回状態の位置に位置変
位されることはすでに説明した通りである。
芯Ｏ1 方向に引寄せられた水平旋回状態の位置に位置変
位されることはすでに説明した通りである。
【００４６】ところで、図１乃至図４において、第１の
平行クランク機構２６と垂直方向に離間して配設される
第２の平行クランク機構４６も第１の平行クランク機構
２６と同一の形態で作動される。すなわち、第４の回転
駆動機１４が停止された状態で第３の回転駆動機１３が
回転駆動されて、第２のハンド部材４５が被加工物の搬
入・搬出位置へと水平方向に移動される。この後、第２
のハンド部材４５が水平旋回状態に配置されている場合
に、第３および第４の回転駆動機１３および１４が互い
に同期して同一方向に回転駆動されて、第２の平行クラ
ンク機構４６が全体として同一方向に移動される。勿
論、第１の平行クランク機構２６と第２の平行クランク
機構４６とは垂直方向に離間して配設されているため、
これらを個別に自在に作動させても相互に干渉すること
はない。
平行クランク機構２６と垂直方向に離間して配設される
第２の平行クランク機構４６も第１の平行クランク機構
２６と同一の形態で作動される。すなわち、第４の回転
駆動機１４が停止された状態で第３の回転駆動機１３が
回転駆動されて、第２のハンド部材４５が被加工物の搬
入・搬出位置へと水平方向に移動される。この後、第２
のハンド部材４５が水平旋回状態に配置されている場合
に、第３および第４の回転駆動機１３および１４が互い
に同期して同一方向に回転駆動されて、第２の平行クラ
ンク機構４６が全体として同一方向に移動される。勿
論、第１の平行クランク機構２６と第２の平行クランク
機構４６とは垂直方向に離間して配設されているため、
これらを個別に自在に作動させても相互に干渉すること
はない。
【００４７】例えば、図１（Ａ）に示されるごとく、第
１および第２の平行クランク機構２６、４６が各々屈折
され、この状態から、例えば、図１０（Ａ）に示される
ごとく、第２の平行クランク機構４６が第１支点Ｏ1 を
中心として、反時計方向に９０度旋回される。この後、
例えば、図１０（Ｂ）に示されるごとく、第２の平行ク
ランク機構４６により、第２のハンド部材４５が水平半
径方向に伸ばされて、第２のハンド部材４５に対して被
加工物が搬入・搬出される。
１および第２の平行クランク機構２６、４６が各々屈折
され、この状態から、例えば、図１０（Ａ）に示される
ごとく、第２の平行クランク機構４６が第１支点Ｏ1 を
中心として、反時計方向に９０度旋回される。この後、
例えば、図１０（Ｂ）に示されるごとく、第２の平行ク
ランク機構４６により、第２のハンド部材４５が水平半
径方向に伸ばされて、第２のハンド部材４５に対して被
加工物が搬入・搬出される。
【００４８】勿論、第１及び第２の平行クランク機構２
６，４６に取付けられる第１および第２のハンド部材２
５，４５は上下に離間して夫々ハンド用リンク２２，４
２に突設されているため、第１および第２のハンド部材
２５，４５が自在に旋回および直線移動されても、これ
らのハンド部材２５，４５と平行クランク機構２６，４
６とが当接することはない。
６，４６に取付けられる第１および第２のハンド部材２
５，４５は上下に離間して夫々ハンド用リンク２２，４
２に突設されているため、第１および第２のハンド部材
２５，４５が自在に旋回および直線移動されても、これ
らのハンド部材２５，４５と平行クランク機構２６，４
６とが当接することはない。
【００４９】上記のごとくハンド部材が回転軸側に引き
寄せられた際に、ハンド部材の後方と回転軸とが半径方
向に間隙を有して、第１および第２の中間リンクが第１
支点を越えてハンド部材とは反対側の水平方向に傾けら
れるため、第１の中間リンクがハンド部材の待避方向と
突出方向とに大きい角度で回動され、かつ回転伝達機構
により第１の中間リンクの回転と同時に第２の中間リン
クが同じ角度だけ回動されるため、ハンド部材の待避状
態と被加工物を適宜の処理室へと搬送するハンド部材の
突出状態とに大きく位置変位させて、ハンド部材の水平
方向の直線移動ストロークを大きくすることができる。
すなわち、旋回中心から可及的に離間した突出状態にハ
ンド部材を位置変位させ得るにも拘わらず、ハンド部材
の水平旋回状態、すなわちハンド部材の待避状態におい
ては、ハンド部材が可及的に回転軸側に引き寄せられる
ため、装置として必要な旋回半径を可及的に小さく、す
なわちコンパクトにすることができる。
寄せられた際に、ハンド部材の後方と回転軸とが半径方
向に間隙を有して、第１および第２の中間リンクが第１
支点を越えてハンド部材とは反対側の水平方向に傾けら
れるため、第１の中間リンクがハンド部材の待避方向と
突出方向とに大きい角度で回動され、かつ回転伝達機構
により第１の中間リンクの回転と同時に第２の中間リン
クが同じ角度だけ回動されるため、ハンド部材の待避状
態と被加工物を適宜の処理室へと搬送するハンド部材の
突出状態とに大きく位置変位させて、ハンド部材の水平
方向の直線移動ストロークを大きくすることができる。
すなわち、旋回中心から可及的に離間した突出状態にハ
ンド部材を位置変位させ得るにも拘わらず、ハンド部材
の水平旋回状態、すなわちハンド部材の待避状態におい
ては、ハンド部材が可及的に回転軸側に引き寄せられる
ため、装置として必要な旋回半径を可及的に小さく、す
なわちコンパクトにすることができる。
【００５０】更に、第１および第２のハンド部材は上下
方向に離間して配置されるため、第１および第２のハン
ド部材は相互に干渉することがなく、しかも、第１およ
び第２のハンド部材が取付けられるハンド用リンクは、
従前のような回転伝達部材や回転連結具を用いることな
く、可及的に薄くできるリンク結合により支持されて、
結果として２個のハンド部材の基部側の高さＨ2 を小さ
くすることができるため、ハンド部材出入り用の真空処
理室の窓を可及的に小さくすることができる。
方向に離間して配置されるため、第１および第２のハン
ド部材は相互に干渉することがなく、しかも、第１およ
び第２のハンド部材が取付けられるハンド用リンクは、
従前のような回転伝達部材や回転連結具を用いることな
く、可及的に薄くできるリンク結合により支持されて、
結果として２個のハンド部材の基部側の高さＨ2 を小さ
くすることができるため、ハンド部材出入り用の真空処
理室の窓を可及的に小さくすることができる。
【００５１】勿論、水平旋回軸の軸芯である第１支点を
支点としてハンド部材を水平方向に直線移動させるため
には、第１および第２の中間リンクを同一のリンク長さ
にする必要があるが、第２の平行四節リンクが第１の平
行四節リンクに対して外側にオフセットして配置されて
いるため、ハンド部材の基部側であるハンド用リンクの
第５の支点と第１の支点とが間隔Ｌ2 を維持しつつ、第
１支点を支点としてハンド部材が水平方向に直線移動す
ることができる。なお、上記のごとくハンド部材の基部
側であるハンド用リンクの第５の支点と第１の支点とが
間隔Ｌ2 を維持して配置されるため、第１および第２の
平行クランク機構を同軸として上下に配置することがで
きる。
支点としてハンド部材を水平方向に直線移動させるため
には、第１および第２の中間リンクを同一のリンク長さ
にする必要があるが、第２の平行四節リンクが第１の平
行四節リンクに対して外側にオフセットして配置されて
いるため、ハンド部材の基部側であるハンド用リンクの
第５の支点と第１の支点とが間隔Ｌ2 を維持しつつ、第
１支点を支点としてハンド部材が水平方向に直線移動す
ることができる。なお、上記のごとくハンド部材の基部
側であるハンド用リンクの第５の支点と第１の支点とが
間隔Ｌ2 を維持して配置されるため、第１および第２の
平行クランク機構を同軸として上下に配置することがで
きる。
【００５２】勿論、前記第１および第２の回転駆動機と
前記第３および第４の回転駆動機とにより、第１および
第２のハンド部材が相互に干渉することなく、かつ夫々
任意に、自在に直線移動および旋回されるため、待ち時
間なく第１および第２のハンド部材により被加工物を適
宜の処理室に対して搬送することができ、生産性が向上
する。
前記第３および第４の回転駆動機とにより、第１および
第２のハンド部材が相互に干渉することなく、かつ夫々
任意に、自在に直線移動および旋回されるため、待ち時
間なく第１および第２のハンド部材により被加工物を適
宜の処理室に対して搬送することができ、生産性が向上
する。
【００５３】更に、ハンド部材を回動させる機構が簡素
化され、かつ、第１乃至第４の回転軸は、垂直線を軸芯
として同軸に回転支持されているため、第１乃至第４の
回転軸を回転自在に支持する回転軸受および気密用の磁
性流体シールを夫々可及的に小径とすることができ、装
置がコンパクトとなり、かつ小径の回転軸受および小径
の磁性流体シールを使用するため装置が安価となる。
化され、かつ、第１乃至第４の回転軸は、垂直線を軸芯
として同軸に回転支持されているため、第１乃至第４の
回転軸を回転自在に支持する回転軸受および気密用の磁
性流体シールを夫々可及的に小径とすることができ、装
置がコンパクトとなり、かつ小径の回転軸受および小径
の磁性流体シールを使用するため装置が安価となる。
【００５４】更に、第１および第２のハンド部材は相互
に干渉することがなく、かつ第１乃至第４の回転駆動機
は固定の枠体に取付けられているため、第１および第２
のハンド部材を角度に制限されることなく水平方向に旋
回させることができる。このため、第１および第２のハ
ンド部材は、旋回角度、すなわち旋回方向の回動角度の
確認が必要であった従来の装置に比較して、旋回角度に
関係なく自在位置に旋回されて被加工物の搬送を行なう
ことができるため、従来に比べて装置の使い勝手がよ
い。要するに、本第１の発明によればコンパクトで使い
勝手が良く、かつ安価で生産性の良好な２アーム方式の
搬送用ロボット装置を実現することができる。
に干渉することがなく、かつ第１乃至第４の回転駆動機
は固定の枠体に取付けられているため、第１および第２
のハンド部材を角度に制限されることなく水平方向に旋
回させることができる。このため、第１および第２のハ
ンド部材は、旋回角度、すなわち旋回方向の回動角度の
確認が必要であった従来の装置に比較して、旋回角度に
関係なく自在位置に旋回されて被加工物の搬送を行なう
ことができるため、従来に比べて装置の使い勝手がよ
い。要するに、本第１の発明によればコンパクトで使い
勝手が良く、かつ安価で生産性の良好な２アーム方式の
搬送用ロボット装置を実現することができる。
【００５５】なお、第１０及び第１１に示されるごと
く、第１及び第２の中間リンク間に配設される回転伝達
機構２４は、第１の中間リンク１６、１７の第３支点Ｏ
3 と同軸に固定された、例えばプーリー２４Ｃと、第２
の中間リンク２０、２１の第４支点Ｏ4 と同軸に固定さ
れたプーリー２４Ｄと、このプーリー２４Ｃ、２４Ｄ間
に張設されたベルト２４Ｅとににより構成することがで
きる。
く、第１及び第２の中間リンク間に配設される回転伝達
機構２４は、第１の中間リンク１６、１７の第３支点Ｏ
3 と同軸に固定された、例えばプーリー２４Ｃと、第２
の中間リンク２０、２１の第４支点Ｏ4 と同軸に固定さ
れたプーリー２４Ｄと、このプーリー２４Ｃ、２４Ｄ間
に張設されたベルト２４Ｅとににより構成することがで
きる。
【００５６】図１３および図１４は本第２の発明の実施
例を示す図であって、上下方向に離間される第１および
第２のハンド部材２５、４５は、回転軸部を除く水平方
向に配置されたカバー４７により区画された空間を位置
変位自在に移動される。このため、該カバー４７の上側
に配置される平行クランク機構のごみや塵等が、下側に
配置される平行クランク機構、特に下側の平行クランク
機構により取扱われる被加工物上に落下して付着する虞
がなく、真空雰囲下で処理が行われる半導体製造装置等
の搬送用ロボット装置として、特に好適である。
例を示す図であって、上下方向に離間される第１および
第２のハンド部材２５、４５は、回転軸部を除く水平方
向に配置されたカバー４７により区画された空間を位置
変位自在に移動される。このため、該カバー４７の上側
に配置される平行クランク機構のごみや塵等が、下側に
配置される平行クランク機構、特に下側の平行クランク
機構により取扱われる被加工物上に落下して付着する虞
がなく、真空雰囲下で処理が行われる半導体製造装置等
の搬送用ロボット装置として、特に好適である。
【００５７】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本第１の
発明に係る搬送用ロボット装置は、内側の第１リンクと
外側の第２リンクとを一対の第１の中間リンクで連結し
た第１の平行四節リンクと、前記第２リンクとハンド用
リンクとを一対の第２の中間リンクで連結した第２の平
行四節リンクとよりなる第１の平行クランク機構及び該
第１の平行クランク機構と実質的に同一構造の第２の平
行クランク機構が、上下に配置されてなる２アーム方式
の搬送用ロボット装置に置いて、固定の枠体と、水平旋
回軸の軸芯である第１支点のまわりで前記固定の枠体に
回転自在に同軸に支持された第１乃至第４の回転軸と、
前記固定の枠体に取付けられて、前記第１乃至第４の回
転軸に各々連結された第１乃至第４の回転駆動機とを具
備し、前記第１及び第２の平行クランク機構は、各々の
第１の平行四節リンクにおける一個の関節が前記第１支
点と同軸に配置されて、各々の第１リンクと第１の中間
リンクの基端部の一方側とが前記第１乃至第４の回転軸
に取付けられ、第１及び第２の中間リンクが同一のリン
ク長さに形成され、各々の第２の平行四節リンクが第１
の平行四節リンクに対して外側にオフセットして配置さ
れて、前記回転軸に対して水平方向に間隙を有する各々
のハンド用リンクの自由端部に上下方向に離間する第１
および第２のハンド部材が突設され、第１および第２の
中間リンク間に回転伝達機構が配置されて、ハンド部材
が回転軸側に引き寄せられた際に、ハンド部材の後方と
回転軸とが半径方向に間隙を有して、第１および第２の
中間リンクが第１支点を越えてハンド部材とは反対側の
水平方向に傾けられ、該第１および第２のハンド部材が
第１支点を通る水平方向に適宜に直線移動されると共
に、該第１および第２のハンド部材が第１支点を中心と
して自在に旋回されるため、ハンド部材を回動させる機
構が簡素化され、かつ、第１乃至第４の回転軸は、垂直
線を軸芯として同軸に回転支持されているため、第１乃
至第４の回転軸を回転自在に支持する回転軸受を可及的
に小径とすることができ、装置としての平面的スペース
がコンパクトとなり、しかも小径の回転軸受を使用する
ため装置が安価となる。
発明に係る搬送用ロボット装置は、内側の第１リンクと
外側の第２リンクとを一対の第１の中間リンクで連結し
た第１の平行四節リンクと、前記第２リンクとハンド用
リンクとを一対の第２の中間リンクで連結した第２の平
行四節リンクとよりなる第１の平行クランク機構及び該
第１の平行クランク機構と実質的に同一構造の第２の平
行クランク機構が、上下に配置されてなる２アーム方式
の搬送用ロボット装置に置いて、固定の枠体と、水平旋
回軸の軸芯である第１支点のまわりで前記固定の枠体に
回転自在に同軸に支持された第１乃至第４の回転軸と、
前記固定の枠体に取付けられて、前記第１乃至第４の回
転軸に各々連結された第１乃至第４の回転駆動機とを具
備し、前記第１及び第２の平行クランク機構は、各々の
第１の平行四節リンクにおける一個の関節が前記第１支
点と同軸に配置されて、各々の第１リンクと第１の中間
リンクの基端部の一方側とが前記第１乃至第４の回転軸
に取付けられ、第１及び第２の中間リンクが同一のリン
ク長さに形成され、各々の第２の平行四節リンクが第１
の平行四節リンクに対して外側にオフセットして配置さ
れて、前記回転軸に対して水平方向に間隙を有する各々
のハンド用リンクの自由端部に上下方向に離間する第１
および第２のハンド部材が突設され、第１および第２の
中間リンク間に回転伝達機構が配置されて、ハンド部材
が回転軸側に引き寄せられた際に、ハンド部材の後方と
回転軸とが半径方向に間隙を有して、第１および第２の
中間リンクが第１支点を越えてハンド部材とは反対側の
水平方向に傾けられ、該第１および第２のハンド部材が
第１支点を通る水平方向に適宜に直線移動されると共
に、該第１および第２のハンド部材が第１支点を中心と
して自在に旋回されるため、ハンド部材を回動させる機
構が簡素化され、かつ、第１乃至第４の回転軸は、垂直
線を軸芯として同軸に回転支持されているため、第１乃
至第４の回転軸を回転自在に支持する回転軸受を可及的
に小径とすることができ、装置としての平面的スペース
がコンパクトとなり、しかも小径の回転軸受を使用する
ため装置が安価となる。
【００５８】さらに、ハンド部材が回転軸側に引き寄せ
られた際に、ハンド部材の後方と回転軸とが半径方向に
間隙を有して、第１および第２の中間リンクが第１支点
を越えてハンド部材とは反対側の水平方向に傾けられる
ため、第１の中間リンクがハンド部材の待避方向と突出
方向とに大きい角度で回動され、かつ回転伝達機構によ
り第１の中間リンクの回転と同時に第２の中間リンクが
同じ角度だけ回動されるため、ハンド部材の待避状態と
被加工物を適宜の処理室へと搬送するハンド部材の突出
状態とに大きく位置変位させて、ハンド部材の水平方向
の直線移動ストロークを大きくすることができ、旋回中
心から可及的に離間した突出状態にハンド部材を位置変
位させ得るにも拘わらず、ハンド部材の水平旋回状態、
すなわちハンド部材の待避状態においては、ハンド部材
が可及的に回転軸側に引き寄せられるため、装置として
必要な旋回半径を可及的に小さく、すなわちコンパクト
にすることができる。
られた際に、ハンド部材の後方と回転軸とが半径方向に
間隙を有して、第１および第２の中間リンクが第１支点
を越えてハンド部材とは反対側の水平方向に傾けられる
ため、第１の中間リンクがハンド部材の待避方向と突出
方向とに大きい角度で回動され、かつ回転伝達機構によ
り第１の中間リンクの回転と同時に第２の中間リンクが
同じ角度だけ回動されるため、ハンド部材の待避状態と
被加工物を適宜の処理室へと搬送するハンド部材の突出
状態とに大きく位置変位させて、ハンド部材の水平方向
の直線移動ストロークを大きくすることができ、旋回中
心から可及的に離間した突出状態にハンド部材を位置変
位させ得るにも拘わらず、ハンド部材の水平旋回状態、
すなわちハンド部材の待避状態においては、ハンド部材
が可及的に回転軸側に引き寄せられるため、装置として
必要な旋回半径を可及的に小さく、すなわちコンパクト
にすることができる。
【００５９】更に、第１および第２のハンド部材は上下
方向に離間して配置されるため、第１および第２のハン
ド部材は相互に干渉することがなく、しかも、第１およ
び第２のハンド部材が取付けられるハンド用リンクは、
従前のような回転伝達部材や回転連結具を用いることな
く、可及的に薄くできるリンク結合により支持されて、
結果として２個のハンド部材の基部側の高さＨ2 を小さ
くすることができるため、ハンド部材出入り用の真空処
理室の窓を可及的に小さくすることができる。
方向に離間して配置されるため、第１および第２のハン
ド部材は相互に干渉することがなく、しかも、第１およ
び第２のハンド部材が取付けられるハンド用リンクは、
従前のような回転伝達部材や回転連結具を用いることな
く、可及的に薄くできるリンク結合により支持されて、
結果として２個のハンド部材の基部側の高さＨ2 を小さ
くすることができるため、ハンド部材出入り用の真空処
理室の窓を可及的に小さくすることができる。
【００６０】勿論、水平旋回軸の軸芯である第１支点を
支点としてハンド部材を水平方向に直線移動させるため
には、第１および第２の中間リンクを同一のリンク長さ
にする必要があるが、第２の平行四節リンクが第１の平
行四節リンクに対して外側にオフセットして配置されて
いるため、ハンド部材の基部側であるハンド用リンクの
第５の支点と第１の支点とが間隔Ｌ2 を維持しつつ、第
１支点を支点としてハンド部材が水平方向に直線移動す
ることができる。なお、上記のごとくハンド部材の基部
側であるハンド用リンクの第５の支点と第１の支点とが
間隔Ｌ2 を維持して配置されるため、第１および第２の
平行クランク機構を同軸として上下に配置することがで
きる。
支点としてハンド部材を水平方向に直線移動させるため
には、第１および第２の中間リンクを同一のリンク長さ
にする必要があるが、第２の平行四節リンクが第１の平
行四節リンクに対して外側にオフセットして配置されて
いるため、ハンド部材の基部側であるハンド用リンクの
第５の支点と第１の支点とが間隔Ｌ2 を維持しつつ、第
１支点を支点としてハンド部材が水平方向に直線移動す
ることができる。なお、上記のごとくハンド部材の基部
側であるハンド用リンクの第５の支点と第１の支点とが
間隔Ｌ2 を維持して配置されるため、第１および第２の
平行クランク機構を同軸として上下に配置することがで
きる。
【００６１】勿論、前記第１および第２の回転駆動機と
前記第３および第４の回転駆動機とにより、第１および
第２のハンド部材が相互に干渉することなく、かつ夫々
任意に、自在に直線移動および旋回されるため、待ち時
間なく第１および第２のハンド部材により被加工物を適
宜の処理室に対して搬送することができ、生産性が向上
する。
前記第３および第４の回転駆動機とにより、第１および
第２のハンド部材が相互に干渉することなく、かつ夫々
任意に、自在に直線移動および旋回されるため、待ち時
間なく第１および第２のハンド部材により被加工物を適
宜の処理室に対して搬送することができ、生産性が向上
する。
【００６２】更に、第１および第２のハンド部材は相互
に干渉することがなく、かつ第１乃至第４の回転駆動機
は固定の枠体に取付けられているため、第１および第２
のハンド部材を角度に制限されることなく水平方向に旋
回させることができる。このため、第１および第２のハ
ンド部材は、旋回角度、すなわち旋回方向の回動角度の
確認が必要であった従来の装置に比較して、旋回角度に
関係なく自在位置に旋回されて被加工物の搬送を行なう
ことができるため、従来に比べて装置の使い勝手がよ
い。要するに、本第１の発明によればコンパクトで使い
勝手が良く、かつ安価で生産性の良好な２アーム方式の
搬送用ロボット装置を実現することができる。
に干渉することがなく、かつ第１乃至第４の回転駆動機
は固定の枠体に取付けられているため、第１および第２
のハンド部材を角度に制限されることなく水平方向に旋
回させることができる。このため、第１および第２のハ
ンド部材は、旋回角度、すなわち旋回方向の回動角度の
確認が必要であった従来の装置に比較して、旋回角度に
関係なく自在位置に旋回されて被加工物の搬送を行なう
ことができるため、従来に比べて装置の使い勝手がよ
い。要するに、本第１の発明によればコンパクトで使い
勝手が良く、かつ安価で生産性の良好な２アーム方式の
搬送用ロボット装置を実現することができる。
【００６３】さらに本第２の発明によれば、上下方向に
離間される第１および第２のハンド部材は、回転軸部を
除く水平方向に配置されたカバーにより区画された空間
を位置変位自在に移動されるため、該カバーの上側に配
置される平行クランク機構のごみや塵等が、下側に配置
される平行クランク機構、特に下側の平行クランク機構
により取扱われる被加工物上に落下して付着する虞がな
い。
離間される第１および第２のハンド部材は、回転軸部を
除く水平方向に配置されたカバーにより区画された空間
を位置変位自在に移動されるため、該カバーの上側に配
置される平行クランク機構のごみや塵等が、下側に配置
される平行クランク機構、特に下側の平行クランク機構
により取扱われる被加工物上に落下して付着する虞がな
い。
【００６４】さらに本第３の発明によれば、第１乃至第
４の回転軸を同軸に回転自在に支持する、特に高価な気
密用の磁性流体シールを可及的に小径とすることができ
るため装置が安価となる。このため、真空雰囲下で処理
が行われる半導体製造装置等の搬送用ロボット装置とし
て、特に好適である。
４の回転軸を同軸に回転自在に支持する、特に高価な気
密用の磁性流体シールを可及的に小径とすることができ
るため装置が安価となる。このため、真空雰囲下で処理
が行われる半導体製造装置等の搬送用ロボット装置とし
て、特に好適である。
【図１】本発明の実施例を示す斜視図で、図１（Ａ）は
第１及び第２の平行クランク機構２６，４６が屈曲され
た旋回状態を示す図であり、図１（Ｂ）は第１の平行ク
ランク機構２６により第１のハンド部材２５が直線移動
される状態を示す図である。
第１及び第２の平行クランク機構２６，４６が屈曲され
た旋回状態を示す図であり、図１（Ｂ）は第１の平行ク
ランク機構２６により第１のハンド部材２５が直線移動
される状態を示す図である。
【図２】図１の平面図
【図３】図１の正面図
【図４】図３における縦断面正面図
【図５】図３におけるＶ−Ｖ線断面図
【図６】図３におけるVI−VI線断面図
【図７】図３におけるVII −VII 線断面図
【図８】図３の要部の動作状態を説明するための平面図
【図９】図３の要部の動作状態を説明するための平面図
【図１０】図１の動作状態を説明するための斜視図で、
図１０（Ａ）は第２の平行クランク機構４６により、第
２のハンド部材４５が旋回された状態を示す図であり、
図１０（Ｂ）は第２の平行クランク機構４６により、第
２のハンド部材４５が直線移動される状態を示す図であ
る。
図１０（Ａ）は第２の平行クランク機構４６により、第
２のハンド部材４５が旋回された状態を示す図であり、
図１０（Ｂ）は第２の平行クランク機構４６により、第
２のハンド部材４５が直線移動される状態を示す図であ
る。
【図１１】図３の要部の変形例を示す拡大平面図
【図１２】図１１におけるXI−XI線断面図
【図１３】本発明の他の実施例を示す正面図
【図１４】図１３の平面図
【図１５】従来例を示す要部断面正面図
【図１６】図１５の縦断面側面図
【図１７】図１５の動作状態を説明するための平面図
【図１８】図１５の使用状態を説明するための平面図
【符号の説明】 １ 固定の枠体 ２乃至５ 第１乃至第４の回転軸 ６乃至９ 気密用の磁性流体シール １１乃至１４ 第１乃至第４の回転駆動機 １５，３５ 第１リンク １６，１７ 対をなす第１の中間リンク ３６，３７ 対をなす第１の中間リンク １８，３８ 第２リンク １９，３９ 第１の平行四節リンク ２０，２１ 対をなす第２の中間リンク ４０，４１ 対をなす第２の中間リンク ２２，４２ ハンド用リンク ２３，４３ 第２の平行四節リンク ２４，４４ 回転伝達機構 ２５ 第１のハンド部材 ２６ 第１の平行クランク機構 ４５ 第２のハンド部材 ４６ 第２の平行クランク機構 ４７ カバー Ｏ1 水平旋回軸の軸芯である第１支点 Ｏ2 第２支点 Ｏ3 第３支点 Ｏ4 第４支点 Ｏ5 第５支点
Claims (3)
- 【請求項１】 内側の第１リンクと外側の第２リンクと
を一対の第１の中間リンクで連結した第１の平行四節リ
ンクと、前記第２リンクとハンド用リンクとを一対の第
２の中間リンクで連結した第２の平行四節リンクとより
なる第１の平行クランク機構及び該第１の平行クランク
機構と実質的に同一構造の第２の平行クランク機構が、
上下に配置されてなる２アーム方式の搬送用ロボット装
置に置いて、 固定の枠体と、水平旋回軸の軸芯である第１支点のまわ
りで前記固定の枠体に回転自在に同軸に支持された第１
乃至第４の回転軸と、前記固定の枠体に取付けられて、
前記第１乃至第４の回転軸に各々連結された第１乃至第
４の回転駆動機とを具備し、 前記第１及び第２の平行クランク機構は、各々の第１の
平行四節リンクにおける一個の関節が前記第１支点と同
軸に配置されて、各々の第１リンクと第１の中間リンク
の基端部の一方側とが前記第１乃至第４の回転軸に取付
けられ、第１及び第２の中間リンクが同一のリンク長さ
に形成され、各々の第２の平行四節リンクが第１の平行
四節リンクに対して外側にオフセットして配置されて、
前記回転軸に対して水平方向に間隙を有する各々のハン
ド用リンクの自由端部に上下方向に離間する第１および
第２のハンド部材が突設され、第１および第２の中間リ
ンク間に回転伝達機構が配置されて、 ハンド部材が回転軸側に引き寄せられた際に、ハンド部
材の後方と回転軸とが半径方向に間隙を有して、第１お
よび第２の中間リンクが第１支点を越えてハンド部材と
は反対側の水平方向に傾けられ、 該第１および第２のハンド部材が第１支点を通る水平方
向に適宜に直線移動されると共に、該第１および第２の
ハンド部材が第１支点を中心として自在に旋回されるこ
とを特徴とする２アーム方式の搬送用ロボット装置。 - 【請求項２】 前記上下方向に離間される第１および第
２のハンド部材は、回転軸部を除く水平方向に配置され
たカバーにより区画された空間を位置変位自在に移動さ
れる請求項１記載の２アーム方式の搬送用ロボット装
置。 - 【請求項３】 前記同軸に支持された第１乃至第４の回
転軸は、気密用の磁性流体シールを介して回転自在に支
持されてなる請求項１又は２に記載の２アーム方式の搬
送用ロボット装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9368399A JPH11188671A (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | ２アーム方式の搬送用ロボット装置 |
| US09/211,075 US6102649A (en) | 1997-12-26 | 1998-12-14 | Two-armed transfer robot |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9368399A JPH11188671A (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | ２アーム方式の搬送用ロボット装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11188671A true JPH11188671A (ja) | 1999-07-13 |
Family
ID=18491719
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9368399A Pending JPH11188671A (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | ２アーム方式の搬送用ロボット装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6102649A (ja) |
| JP (1) | JPH11188671A (ja) |
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| JP2007015023A (ja) * | 2005-07-05 | 2007-01-25 | Daihen Corp | リンク装置および搬送ロボット |
| JP2011189422A (ja) * | 2010-03-12 | 2011-09-29 | Ulvac Japan Ltd | 関節装置及び基板搬送装置 |
| KR20140044278A (ko) * | 2012-10-04 | 2014-04-14 | 히라따기꼬오 가부시키가이샤 | 반입출 로봇 |
| JP2019521869A (ja) * | 2016-06-28 | 2019-08-08 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 間隔を置いて配置された上腕部と交互に配置されたリストとを含むデュアルロボット、及びこれらを含むシステム及び方法 |
| US11850742B2 (en) | 2019-06-07 | 2023-12-26 | Applied Materials, Inc. | Dual robot including splayed end effectors and systems and methods including same |
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| JP3863671B2 (ja) * | 1998-07-25 | 2006-12-27 | 株式会社ダイヘン | 搬送用ロボット装置 |
| JP2002184834A (ja) * | 2000-12-15 | 2002-06-28 | Yaskawa Electric Corp | 基板搬送用ロボット |
| DE60216380T2 (de) * | 2001-02-08 | 2007-09-20 | Seiko Epson Corp. | Glied-wechsler, verfahren zur steuerung des glied-wechslers, ic-untersuchungsverfahren, ic-handhabungsvorrichtung und ic-untersuchungsvorrichtung |
| US7578649B2 (en) | 2002-05-29 | 2009-08-25 | Brooks Automation, Inc. | Dual arm substrate transport apparatus |
| EP1610927A2 (fr) * | 2002-12-13 | 2006-01-04 | Recif | Dispositif permettant la prehension d'une plaque de semi-conducteur a travers une ouverture de transfert, utilisant l'obturateur de l'ouverture |
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| JP5102564B2 (ja) * | 2007-08-31 | 2012-12-19 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
| JPWO2009034795A1 (ja) * | 2007-09-10 | 2010-12-24 | 株式会社アルバック | 基板搬送ロボット、真空処理装置 |
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| USRE43781E1 (en) * | 2009-11-17 | 2012-11-06 | Ulvac, Inc. | Vacuum transfer robot |
| USRE44567E1 (en) * | 2009-11-17 | 2013-11-05 | Ulvac, Inc. | Vacuum transfer robot |
| USD625748S1 (en) * | 2010-05-06 | 2010-10-19 | Ulvac, Inc. | Vacuum transfer robot |
| WO2011080897A1 (ja) * | 2009-12-28 | 2011-07-07 | 株式会社アルバック | 駆動装置及び搬送装置 |
| KR101917335B1 (ko) * | 2010-10-08 | 2018-11-09 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 동일축 구동 진공 로봇 |
| KR20150003803A (ko) | 2012-04-12 | 2015-01-09 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 독립적으로 회전가능한 웨이스트들을 갖는 로봇 시스템들, 장치 및 방법들 |
| US10224232B2 (en) * | 2013-01-18 | 2019-03-05 | Persimmon Technologies Corporation | Robot having two arms with unequal link lengths |
| US9149936B2 (en) | 2013-01-18 | 2015-10-06 | Persimmon Technologies, Corp. | Robot having arm with unequal link lengths |
| JP2015211998A (ja) * | 2014-05-07 | 2015-11-26 | セイコーエプソン株式会社 | ロボット |
| CN114367970B (zh) | 2015-03-12 | 2024-04-05 | 柿子技术公司 | 具有从动末端执行器运动的机器人 |
| JP7183635B2 (ja) * | 2018-08-31 | 2022-12-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送機構、基板処理装置及び基板搬送方法 |
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| KR0162102B1 (ko) * | 1991-05-29 | 1999-02-01 | 이노우에 아키라 | 반도체 제조장치 |
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| JPH06132380A (ja) * | 1992-09-04 | 1994-05-13 | Fujitsu Ltd | 搬送装置 |
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