JPH11204398A - ケミカルキャビネット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 載置する機材のレイアウトの自由度が高く、
キャビネットの構造を標準化でき、製造コストが低廉
で、薬液パンなどの追加の部品を省略することのできる
ケミカルキャビネットを提供する。 【解決手段】 角パイプを用いる代わりに、板材を断面
がＬ字型になるように折り曲げて形成した柱部材と、平
面板の外周縁を一定の幅に同じ方向に折り曲げて皿状に
形成した棚とを組み合わせることにより、ケミカルキャ
ビネットに必要な剛性を獲得した。角パイプの出っ張り
がなく、機材をキャビネットにセットする際、自由にレ
イアウトすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体ウエ
ハ処理装置などの半導体製造装置に用いる薬液供給キャ
ビネットに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、半導体製造装置では、キャビ
ネットの中の各棚の部分に各種装置を配設した構造とな
っており、このキャビネットには複数の機器の重量が作
用するため、この重量に耐ええ得る剛性のある構造が要
求される。

【０００３】そのため従来のキャビネットでは、キャビ
ネットの骨格部分に剛性の高い角パイプを使用した、角
パイプ構造が採用されている。

【０００４】このような角パイプ構造のキャビネットで
は、角パイプ、例えば厚さ１．５ｍｍのステンレススチ
ールの板材を「コ」の字型に成型したものを柱や梁など
の基本骨格を構成する部材として用い、これら柱や梁と
して用いた角パイプの外側に板状のパネルをネジ止めし
た構造となっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、角パイ
プは断面形状が正方形や長方形などある程度の面積を占
めるものであるため、この角パイプを骨格に用いた場
合、棚板や底板の水平方向内側に向けて角パイプが出っ
張るため、棚板や底板の四隅や端の部分に機器を寄せて
配置したり、大きな面積を要する機器を載置する場合に
角パイプが邪魔になって機器をセットする自由度が大幅
に制限されるという問題がある。

【０００６】また、角パイプは製造に手間がかかるため
板材に比較して単価が高く、これを骨格に使用するとキ
ャビネットのコストが材料の時点で高くなるという問題
がある。

【０００７】更に、キャビネットの底部を角パイプを平
行配置して形成する場合、底部が格子状に隙間の開いた
状態になるので、底部に載置した薬液タンクから零れた
薬液が床に落ちるのを防止するには底部の角パイプに更
に皿状のパンを設けることが必要となり、製造コストの
アップに繋がるという問題がある。

【０００８】本発明は、このような課題を解決するため
になされたもので、キャビネットにセットする機材のレ
イアウトの自由度が高い半導体製造装置用薬液供給キャ
ビネットを提供することを目的とする。

【０００９】本発明はキャビネットの構造を標準化でき
る半導体製造装置用薬液供給キャビネットを提供するこ
とを目的とする。

【００１０】本発明は、製造コストの低廉な半導体製造
装置用薬液供給キャビネットを提供することを目的とす
る。

【００１１】本発明は、底部に設けられる薬液パンなど
の追加の部品を省略することのできる半導体製造装置用
薬液供給キャビネットを提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め、請求項１記載の本発明のケミカルキャビネットは、
断面がＬ字型になるように垂直な軸に沿って折り曲げ
られた板材からなる柱と、外周縁を上向きに折り曲げら
れた平面板からなり、前記柱に水平に固着された、薬液
供給機材を載置するための棚と、を具備する。

【００１３】請求項２記載の本発明のケミカルキャビネ
ットは、断面がＬ字型になるように垂直な軸に沿って折
り曲げられた板材からなる柱と、外周縁を上向きに折り
曲げられた平面板からなり、前記柱に水平に固着され
た、薬液供給機材を載置するための棚と、外周縁を折り
曲げられた平面板からなる天板又は棚であって、前記柱
に水平に固着された天板又は棚と、外周縁を折り曲げら
れた平面板からなり、前記棚と前記天板又は棚との間に
垂直に配設された少なくとも一つの仕切板と、を具備す
る。

【００１４】請求項３記載の本発明のケミカルキャビネ
ットは、矩形断面を有する柱部を形成するように垂直な
軸に沿って折り曲げられた板材からなる左右二枚の側面
板と、外周縁を折り曲げられた平面板からなる天板であ
って、前記柱部に固着された天板と、前記天板の上部に
密閉空間を形成する蓋と、外周縁を上向きに折り曲げら
れた平面板からなる底板であって、前記柱部に固着され
た、薬液供給機材を載置するための底板と、外周縁を上
向き又は下向きに折り曲げられた平面板からなる棚であ
って、前記天板と前記底板との間に配設され、前記柱部
に固着された、薬液供給機材を載置するための棚と、前
記天板、前記棚、及び前記底板の各後端と接続された背
面板と、を具備する。

【００１５】請求項４記載の本発明のケミカルキャビネ
ットは、請求項３に記載のケミカルキャビネットであっ
て、前記底板及び下側に配設される棚は、その前後長が
前記天板の前後長より短いものであり、前記背面板は前
記底板の後端から前記柱にむかってスロープを形成して
いることを特徴とする。

【００１６】請求項５記載の本発明のケミカルキャビネ
ットは、請求項１〜４のいずれか記載のケミカルキャビ
ネットであって、前記底板にはドレンが配設されている
ことを特徴とする。

【００１７】請求項６記載の本発明のケミカルキャビネ
ットは、請求項１〜５のいずれか記載のケミカルキャビ
ネットであって、前記底板の脚部には水平度調節機構が
更に配設されていることを特徴とする。

【００１８】請求項７記載の本発明のケミカルキャビネ
ットは、請求項１〜６のいずれか記載のケミカルキャビ
ネットであって、前記底板、前記天板、前記棚板、前記
仕切板、前記正面板、及び前記背面板の少なくとも一つ
には補強材が配設されていることを特徴とする。

【００１９】請求項８記載の本発明のケミカルキャビネ
ットは、請求項１〜７のいずれか記載のケミカルキャビ
ネットであって、前記底板、前記天板、前記棚板、前記
仕切板、前記正面板、及び前記背面板の少なくとも一つ
は制振鋼板製パネルであることを特徴とする。

【００２０】請求項１のケミカルキャビネットでは、角
パイプを用いる代わりに、板材を断面がＬ字型になるよ
うに折り曲げて形成した柱と、平面板の外周縁を一定の
幅に同じ方向に折り曲げて皿状に形成した棚とを組み合
わせることにより、キャビネットに必要な剛性を獲得し
ているので、角パイプの出っ張りがなく、機材をキャビ
ネットにセットする際、自由にレイアウトすることがで
きる。

【００２１】また、キャビネットの機材セット部分に角
パイプの出っ張り位置を考慮する必要がないので、キャ
ビネットの構造を標準化することができる。

【００２２】更に、高価な角パイプを使用する必要がな
いので製造コストを低廉な水準に抑えることができる。

【００２３】また、棚として平面板状部材を使用してい
るので、薬液パンなどの追加の部品を省略することがで
きる。

【００２４】請求項２のケミカルキャビネットでは、板
材を断面がＬ字型になるように折り曲げてなる柱と、平
面板の外周縁を一定の幅に同じ方向に折り曲げてなる棚
とを組み合わせ、角パイプを使用することなく必要な剛
性を獲得しているので、機材のレイアウトが自由で、キ
ャビネットの構造を標準化でき、しかも製造コストを抑
えることができる。

【００２５】また、棚として平面板状部材を皿状に形成
したものを使用しているので、薬液パンなどの追加の部
品を省略することができる。

【００２６】更に、仕切板を設けているので隣接する機
材相互間の薬液雰囲気の干渉を防止できる。その結果後
工程での処理が行い易くなり、環境的に有利となる。

【００２７】請求項３のケミカルキャビネットでは、矩
形断面を有する柱部を形成するように垂直な軸に沿って
折り曲げられた板材からなる左右二枚の側面板と、平面
板の外周縁を一定の幅に同じ方向に折り曲げてなる天板
及び棚とを組み合わせ、角パイプを使用することなく必
要な剛性を獲得しているので、機材のレイアウトが自由
で、キャビネットの構造を標準化でき、しかも製造コス
トを抑えることができる。

【００２８】また、天板、棚及び底板として平面板状部
材を皿状に形成したものを使用しているので、天板の上
部を密閉するための平面板や薬液パンなどの追加の部品
を省略することができる。

【００２９】更に、棚の後端と背面板との間に隙間を設
け、この隙間の下にあたる位置の背面板を先端を底板の
後端に接続しているので、上記隙間に薬液処理機材背面
のジョイントとチューブとの接続部分を配設するように
することにより、この接続部分から漏出した薬液を前記
背板で受け取り、キャビネット下の床を汚すことなく漏
出した薬液を底板に回収することができる。

【００３０】請求項４のケミカルキャビネットでは、請
求項３に記載のケミカルキャビネットにおいて、前記底
板及び下側に配設される棚としてその前後長が前記天板
の前後長より短いものを用い、前記背面板は前記底板の
後端から前記柱にむかってスロープを形成しているの
で、上記請求項３の発明の効果である、機材の自由配
置、キャビネット構造の標準化、製造コストの抑制、追
加部品の省略、漏出薬液による床汚れの防止に加え、薬
液処理機材背面のジョイントとチューブとの接続部分か
らの漏出薬液をより好首尾に回収することができる。

【００３１】請求項５のケミカルキャビネットでは、請
求項１〜４のいずれか記載のケミカルキャビネットにお
いて、前記底板には薬液排出用のドレンが配設されてい
るので、上記請求項１〜４の発明の効果である、機材の
自由配置、キャビネット構造の標準化、製造コストの抑
制、剛性の強化、及び漏出薬液による床汚れの防止に加
え、底板に溜まった薬液の除去や清掃を容易に行うこと
ができる。

【００３２】請求項６のケミカルキャビネットでは、請
求項１〜５のいずれか記載のケミカルキャビネットにお
いて、前記底板の脚部には水平度調節機構が更に配設さ
れているので、上記請求項１〜５の発明の効果である、
機材の自由配置、キャビネット構造の標準化、製造コス
トの抑制、剛性強化、漏出薬液による床汚れの防止、底
板の薬液除去や清掃の容易さ、底板での薬液の拡散防止
に加え、機材調整の前提となる水平配置を容易に達成す
ることができる。

【００３３】請求項７のケミカルキャビネットでは、請
求項１〜６のいずれか記載のケミカルキャビネットにお
いて、前記底板、前記天板、前記棚板、前記仕切板、前
記正面板、及び前記背面板の少なくとも一つには補強材
が配設されているので、上記請求項１〜６の発明の効果
である、機材の自由配置、キャビネット構造の標準化、
製造コストの抑制、剛性強化、漏出薬液による床汚れの
防止、底板の薬液除去や清掃の容易さ、底板での薬液の
拡散防止、及び水平配置の容易化に加え、剛性を強化
し、地震対策など安全面での品質を向上することができ
る。

【００３４】請求項８のケミカルキャビネットでは、請
求項１〜７のいずれか記載のケミカルキャビネットにお
いて、前記底板、前記天板、前記棚板、前記仕切板、前
記正面板、及び前記背面板の少なくとも一つに制振鋼板
製パネルを用いているので、上記請求項１〜７の発明の
効果である、機材の自由配置、キャビネット構造の標準
化、製造コストの抑制、剛性強化、漏出薬液による床汚
れの防止、底板の薬液除去や清掃の容易さ、底板での薬
液の拡散防止、水平配置の容易化、及び剛性の強化に加
え、固有振動数の向上により地震対策など安全面での品
質を更に向上することができる。

【００３５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態の詳細を
図面に基づいて説明する。

【００３６】図１は本発明の一実施形態に係るケミカル
キャビネットを備えた半導体ウエハ（以下、「ウエハ」
という）の塗布現像処理システム１全体を示した平面図
である。

【００３７】この塗布現像処理システム１では、被処理
体としてのウエハＷをウエハカセットＣＲで複数枚、例
えば２５枚単位で外部からシステムに搬入・搬出した
り、ウエハカセットＣＲに対してウエハＷを搬入・搬出
したりするためのカセットステーション１０と、塗布現
像工程の中で１枚ずつウエハＷに所定の処理を施す枚葉
式の各種処理ユニットを所定位置に多段配置した処理ス
テーション１１と、この処理ステーション１１に隣接し
て設けられる露光装置（図示せず）との間でウエハＷを
受け渡しするためのインタフェース部１２とが一体的に
接続されている。このカセットステーション１０では、
カセット載置台２０上の位置決め突起２０ａの位置に、
複数個例えば４個までのウエハカセットＣＲが、夫々の
ウエハ出入口を処理ステーション１１側に向けてＸ方向
（図１中の上下方向）一列に載置され、このカセット配
列方向（Ｘ方向）およびウエハカセッ卜ＣＲ内に収納さ
れたウエハＷのウエハ配列方向（Ｚ方向；垂直方向）に
移動可能なウエハ搬送体２１が各ウエハカセットＣＲに
選択的にアクセスする。

【００３８】このウエハ搬送体２１はθ方向に回転自在
であり、後述するように処理ステーション１１側の第３
の処理ユニット群Ｇ₃ の多段ユニット部に配設されたア
ライメントユニット（ＡＬＩＭ）やイクステンションユ
ニット（ＥＸＴ）にもアクセスできる。

【００３９】処理ステーション１１には、ウエハ搬送装
置を備えた垂直搬送型の主ウエハ搬送機構２２が設けら
れ、その周りに全ての処理ユニットが１組または複数の
組に亙って多段に配置されている。

【００４０】また、この塗布現像処理システム１の背
後、即ち図１中塗布現像処理システム１の上方にはこの
塗布現像処理システム１との間で薬液の供給や廃液の処
理・収容などを行うケミカルキャビネット３０が隣接し
て配設されている。

【００４１】図２は上記塗布現像処理システム１の正面
図である。

【００４２】第１の処理ユニット群Ｇ₁ では、カップＣ
Ｐ内でウエハＷをスピンチャックに載せて所定の処理を
行う２台のスピンナ型処理ユニット、例えばレジスト塗
布ユニット（ＣＯＴ）および現像ユニット（ＤＥＶ）が
下から順に２段に重ねられている。第２の処理ユニット
群Ｇ₂ では、２台のスピンナ型処理ユニット、例えばレ
ジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）および現像ユニット（Ｄ
ＥＶ）が下から順に２段に重ねられている。これらレジ
スト塗布ユニット（ＣＯＴ）は、レジスト液の排液が機
構的にもメンテナンスの上でも面倒であることから、こ
のように下段に配置するのが好ましい。しかし、必要に
応じて適宜上段に配置することももちろん可能である。

【００４３】図３は上記塗布現像処理システム１の背面
図である。

【００４４】主ウエハ搬送機構２２では、筒状支持体４
９の内側に、ウエハ搬送装置４６が上下方向（Ｚ方向）
に昇降自在に装備されている。筒状支持体４９はモータ
（図示せず）の回転軸に接続されており、このモータの
回転駆動力によって、前記回転軸を中心としてウエハ搬
送装置４６と一体に回転し、それによりこのウエハ搬送
装置４６はθ方向に回転自在となっている。なお筒状支
持体４９は前記モータによって回転される別の回転軸
（図示せず）に接続するように構成してもよい。ウエハ
搬送装置４６には、搬送基台４７の前後方向に移動自在
な複数本の保持部材４８が配設されており、これらの保
持部材４８は各処理ユニット間でのウエハＷの受け渡し
を可能にしている。

【００４５】また、図１に示すようにこの塗布現像処理
システム１では、５つの処理ユニット群Ｇ₁ 、Ｇ₂ 、Ｇ
₃ 、Ｇ₄ 、Ｇ₅ が配置可能であり、第１および第２の処
理ユニット群Ｇ₁ 、Ｇ₂ の多段ユニットは、システム正
面（図１において手前）側に配置され、第３の処理ユニ
ット群Ｇ₃ の多段ユニットはカセットステーション１０
に隣接して配置され、第４の処理ユニット群Ｇ₄ の多段
ユニットはインタフェース部１２に隣接して配置され、
第５の処理ユニット群Ｇ₅ の多段ユニットは背面側に配
置されることが可能である。

【００４６】図３に示すように、第３の処理ユニット群
Ｇ₃ では、ウエハＷを保持台（図示せず）に載せて所定
の処理を行うオーブン型の処理ユニット、例えば冷却処
理を行うクーリングユニット（ＣＯＬ）、レジストの定
着性を高めるためのいわゆる疏水化処理を行うアドヒー
ジョンユニット（ＡＤ）、位置合わせを行うアライメン
トユニット（ＡＬＩＭ）、イクステンションユニット
（ＥＸＴ）、露光処理前の加熱処理を行うプリベーキン
グユニット（ＰＲＥＢＡＫＥ）および露光処理後の加熱
処理を行うポストベーキングユニット（ＰＯＢＡＫＥ）
が、下から順に例えば８段に重ねられている。第４の処
理ユニット群Ｇ₄ でも、オーブン型の処理ユニット、例
えばクーリングユニット（ＣＯＬ）、イクステンション
・クーリングユニット（ＥＸＴＣＯＬ）、イクステンシ
ョンユニット（ＥＸＴ）、クーリングユニッ卜（ＣＯ
Ｌ）、プリベーキングユニット（ＰＲＥＢＡＫＥ）およ
びポストベーキングユニット（ＰＯＢＡＫＥ）が下から
順に、例えば８段に重ねられている。

【００４７】このように処理温度の低いクーリングユニ
ット（ＣＯＬ）、イクステンション・クーリングユニッ
ト（ＥＸＴＣＯＬ）を下段に配置し、処理温度の高いベ
ーキングユニット（ＰＲＥＢＡＫＥ）、ポストベーキン
グユニット（ＰＯＢＡＫＥ）およびアドヒージョンユニ
ット（ＡＤ）を上段に配置することで、ユニット間の熱
的な相互干渉を少なくすることができる。もちろん、ラ
ンダムな多段配置としてもよい。

【００４８】図１に示すように、インタフェース部１２
では、奥行方向（Ｘ方向）は前記処理ステーション１１
と同じ寸法を有するが、幅方向（Ｙ方向）はより小さな
サイズである。このインタフェース部１２の正面部に
は、可搬性のピックアップカセットＣＲと、定置型のバ
ッファカセットＢＲとが２段に配置され、他方背面部に
は周辺露光装置２３が配設され、さらに中央部にはウエ
ハ搬送体２４が設けられている。このウエハ搬送体２４
は、Ｘ方向、Ｚ方向に移動して両カセットＣＲ、ＢＲお
よび周辺露光装置２３にアクセスする。

【００４９】ウエハ搬送体２４は、θ方向にも回転自在
であり、処理ステーション１１側の第４の処理ユニット
群Ｇ₄ の多段ユニットに配設されたイクステンションユ
ニット（ＥＸＴ）や、隣接する露光装置側のウエハ受渡
し台（図示せず）にもアクセスできる。

【００５０】また塗布現像処理システム１では、既述の
如く主ウエハ搬送機構２２の背面側にも図１中破線で示
した第５の処理ユニット群Ｇ₅ の多段ユニットを配置で
きるが、この第５の処理ユニット群Ｇ₅ の多段ユニット
は、案内レール２５に沿ってＹ方向へ移動可能である。
従って、この第５の処理ユニット群Ｇ₅ の多段ユニット
を図示の如く設けた場合でも、前記案内レール２５に沿
って移動することにより、空間部が確保されるので、主
ウエハ搬送機構２２に対して背後からメンテナンス作業
が容易に行える。

【００５１】次に、本実施形態に係るケミカルキャビネ
ット（以下、単に「キャビネット」という。）について
説明する。

【００５２】図１に示すように、上記塗布現像処理シス
テム１の背後には薬液や溶剤を扱う機材を収容したキャ
ビネット３０が配設されている。図４はこのキャビネッ
ト３０を図１中のＸの方向から見た図であり、図５は塗
布現像処理システム１とキャビネット３０との側面を垂
直断面図として表した図であり、図６は本実施形態に係
るキャビネット３０の斜視図を透視図として表した図で
ある。

【００５３】このキャビネット３０では外観が概ね直方
体の箱型の形状をしており、電気機器類や薬液を取り扱
う機材を載置するための棚が２段設けられている。これ
らの棚のうち、最も高い位置に配設された天板３５の上
には蓋４７が被せられ、天板３５の上側に形成される空
間を密閉する。また天板３５の下側の手前の位置には計
器類を固定するための計器板３６が取り付けられてい
る。

【００５４】上記の天板３５，計器板３６及び棚３７は
底板３８の上部に水平に配設されており、キャビネット
３０の四隅には垂直方向に伸びた四つの柱部３１，３
２，３３及び３４が配設されている。

【００５５】後述するように、これらの柱部３１〜３４
は長方形の金属板、例えばステンレス鋼板でできた側面
板３９，４１を長手方向の中心線に沿って断面がＬ字型
になるように直角に折り曲げることにより構成されてお
り、このように側面板３９，４０を断面形状が矩形にな
るように折り曲げることにより必要な強度を獲得してい
る。一方、前記天板３５、計器板３６，棚３７や底板３
８は同じくステンレス鋼板のような金属板の外周縁を一
定の幅で直角に折り曲げ、接合部分を溶接することによ
り必要な強度を獲得している。そしてこれらの天板３
５、計器板３６，棚３７や底板３８の角の部分と前記柱
部３１〜３４の部分を嵌合してネジ止めする構成となっ
ている。従って、キャビネット３０の柱や棚などの基本
骨格には角パイプは一本も使用していない。

【００５６】キャビネット３０の図中３１，３４，３９
は一枚の金属板からなる側面板を、水平断面が矩形にな
るように折り曲げることにより形成されており、これに
天板３５，蓋４７，計器板３６，棚３７及び底板３８が
ネジ止めされている。同様に図中３２，３３，４０も、
一枚の金属板からなる側面板を折り曲げて形成されてお
り、これに天板３５，蓋４７，計器板３６，棚３７及び
底板３８がネジ止めされている。

【００５７】左右の側面には左側面板３９と右側面板４
０とがそれぞれ天板３５、計器板３６、棚３７、底板３
８に対してネジ止めされている。

【００５８】また、キャビネット３０の背面側では、天
板３５，棚３７及び底板３８の背面に別部品（図示省
略）が取り付けられており、その部品と部材４１ａ，天
板３５に４１の部分がネジ止めされている。

【００５９】なお、本発明には必須ではないが、この実
施形態に係るキャビネットでは、これらの左側面板３
９、右側面板４０及び背面板４１の内側にはステンレス
鋼板などの厚手の金属板からなる補強部材７１〜８２を
それぞれネジ止めすることにより、これら左側面板３
９、右側面板４０及び背面板４１の剛性を強化してい
る。また、天板３５と棚３７との間や、棚３７と底板３
８との間には縦方向に伸びた仕切板４２〜４５が配設さ
れている。これらの仕切板４２〜４５は天板３５、計器
板３６、棚３７、及び底板３８と同様に、ステンレス鋼
板のような金属板の外周縁を一定の幅で直角に折り曲
げ、接合部分を溶接したものであり、それ自体が撓みに
強い剛性を備えている。これらは天板３５、計器板３
６、棚３７、及び底板３８に対してネジ止めされてお
り、キャビネット３０の剛性を強化するのに寄与してい
る。

【００６０】底板３８の上には溶剤やレジスト塗布液等
の各種薬液を収容したタンク５０〜５２がそれぞれの台
５３〜５５を介して配設されている。５６は洗浄などに
もちられて汚れた廃液を収容する廃液タンクであり、５
７は薬液中に溶け込んだ窒素ガスを除去するための脱気
装置である。

【００６１】棚３７の上面には薬液バッファ装置５８、
薬液の窒素除去装置５９及びフィルタ６０〜６３が配設
されている。

【００６２】上記したこれらの薬液を処理する各種装置
５０〜５２及び５６〜６３には薬液を送るためのチュー
ブ（図示省略）を接続するためのジョイント（図示省
略）が取り付けられており、これらのチューブは、後述
するように背面板４１に設けた貫通孔（図示省略）を介
して隣接配置された塗布現像処理システム１側へ送られ
ている。

【００６３】また、これらの各種装置５０〜５２及び５
６〜６３が載置された棚３７及び底板３８では、外周縁
の部分は垂直方向上向きに折り曲げられ、隣接する折曲
げ部分の接合部は溶接されて皿状の薬液パンを兼用する
ようになっている。そしてこれら棚３７及び底板３８の
一隅には薬液パンとしての棚３７及び底板３８上面に零
れ出た薬液を排出するためのドレンコック（図示省略）
を配設してもよい。

【００６４】また、棚３７及び底板３８上表面にはこの
ドレンコックを中心にして放射状に傾斜して形成された
薬液誘導用の溝を設け、少量の薬液が零れ出た場合でも
容易かつ確実に前記ドレンコックを介してキャビネット
３０外に排出できるようにしてもよい。

【００６５】キャビネット３０の上方に設けられた天板
３５の上面には電力供給に関する基板（図示省略）、制
御装置類、各種計器類、ブレーカ、スイッチ等の電気機
器類が配設されている。これらの機器類の計器類やメー
タ類は天板３５の手前側下面の位置に取り付けられた計
器板３６に取り付けられている。

【００６６】これらの天板３５では外周縁の部分は垂直
方向下向きに折り曲げられ、下の棚３７や底板３８上に
載置された薬液を処理する機材類から漏れ出た引火性の
薬液蒸気が上記電気機器類の内部に侵入するのを防止す
るようになっている。

【００６７】また、天板３５の上方から覆うように配置
された蓋４７は上記電気機器類が収容された空間を密閉
するようになっており、この空間に引火性の薬液蒸気が
侵入するのを防止している。

【００６８】図５に示したように、棚３７と底板３８の
奥行き即ちＸ方向の寸法はその上方に配設された天板３
５のＸ方向の寸法より短くなっており、棚３７の後端３
７ｂと背面板４１との間には隙間が形成されている。底
板３８のＸ方向の寸法も棚３７のＸ方向の寸法とほぼ等
しくなっているが、背面板４１の下部にはスロープ４１
ａが形成されており、このスロープ４１ａの更に下部の
部分４１ｂが垂直方向下向きに曲げられて底板３８の後
端３８ｂと接続されている。

【００６９】棚３７の上面に載置された薬液処理機材、
例えば、フィルタ６３の背面には薬液を送るためのチュ
ーブ９０を接続するためのジョイント６１ａが設けられ
ており、同様に底板３８の上面に載置された薬液処理機
材、例えば、タンク５２の背面には薬液を送るためのチ
ューブ９１を接続するためのジョイント５２ａが設けら
れている。これらのジョイント６１ａ，５２ａと接続さ
れたチューブ９０，９１は垂直方向下向きに送られ、前
記背面板４１下部のスロープ４１ａに設けられた貫通孔
４１ｃを介してキャビネット３０の外側に出され、隣接
配置された塗布現像処理システム１側へ送られている。
この塗布現像処理システム１内では図示しない配管を経
由して各種処理ユニットと接続され、これらの処理ユニ
ットとの間で薬液の出し入れを行うようになっている。

【００７０】このとき、キャビネット３０内では、ジョ
イント６１ａとチューブ９０との接続部分やジョイント
５２ａとチューブ９１との接続部分から薬液が漏出して
キャビネット３０の下の床を汚すことが多かったが、本
実施形態に係るキャビネット３０では薬液処理機材のジ
ョイントをキャビネットの内側に備えており、しかも、
このジョイントとチューブとの接続部分の真下付近に背
面板４１のスロープ４１ａとこれに続く垂直な部分４１
ｂを介して底板３８の後端３８ｂへと導くようにしてい
るので、薬液処理機材のジョイントとチューブとの接続
部分から薬液が漏出してもスロープ４１ａの部分で受け
取り、薬液パンとしての底板３８へと導いて、ここで回
収される。そのため、漏出した薬液でキャビネット３０
下部の床を汚すといったトラブルが未然に防止できる。

【００７１】以上詳述したように、本実施形態に係るキ
ャビネット３０では、柱として断面がＬ字型になるよう
に折り曲げたステンレス鋼板の板材を用い、棚や底板、
或いは仕切板として長方形かつ平面状のステンレス鋼板
の外周縁部を一定の幅で折り曲げ、接合部分を溶接して
皿状に形成したものを用い、これらに側面板や背面板を
ネジ止めすることにより十分な剛性を獲得するような構
成としたので、角パイプを用いることなく十分な剛性を
備えたキャビネットを得ることができる。

【００７２】このキャビネットでは、角パイプを一本も
使っていないので、棚や底板の上面には角パイプによる
出っ張り部分がなく、長方形の上面全体を機材等の載置
用に充てることができる。

【００７３】また、本実施形態に係るキャビネット３０
では、角パイプの出っ張りを考慮する必要がないので、
各種処理機材を共通の箱に収容してモジュール化でき、
これに対応してキャビネットの構造を標準化できる。

【００７４】更に、本実施形態に係るキャビネット３０
では、高価な角パイプを一本も使っていないので、製造
コストを低廉な水準に抑えることができる。

【００７５】また、本実施形態に係るキャビネット３０
では、キャビネットに伝わる振動を棚や底板、或いは側
面板や背面板にわたる広範囲な部材に分散せしめ、振動
を面で捕らえ得る構造にしたので、従来の角パイプを用
いたキャビネットと比較して著しく高い固有振動数を達
成することができる。本実施形態に係るキャビネットの
固有振動数を数学的に解析したところ、３０Ｈｚ以上で
あった。この固有振動数の値は従来型の角パイプを多用
したキャビネットが数Ｈｚ〜１０Ｈｚ程度であるのに対
して著しく高い値であり、米国での耐震基準値を余裕を
もってクリアする水準であった。

【００７６】更に、本実施形態に係るキャビネット３０
では、棚や底板を皿状に形成し、薬液パンとしての機能
をも持たせたので、底部に設けられる薬液パンなどの追
加の部品を省略することができる。

【００７７】なお、本発明は上述した実施形態には限定
されない。

【００７８】例えば、上記実施形態では、半導体ウエハ
の塗布現像処理システムに薬液を供給するキャビネット
を例にして説明したが、これ以外のキャビネットにも適
用できる。

【００７９】また、上記実施形態ではキャビネットをス
テンレス鋼板をプレスしたものを用いたが、これ以外に
も、例えば二枚の鋼板の間に樹脂層を挟みこんで振動を
抑制するようにした制振鋼板製パネルを用いるようにす
れば、より一層耐震性が向上するので好ましい。

【００８０】更に、底板部分の脚部に水平度調節機構を
更に配設するようにすればキャビネットの水平配置を容
易に行うことができるので好ましい。

【００８１】なお本発明は、半導体ウエハ以外の基板、
例えばＬＣＤ基板にレジスト液やその他の処理液を塗布
する装置にも適用可能であることはいうまでもない。

【００８２】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１記載の本
発明によれば、角パイプを用いる代わりに、板材を断面
がＬ字型になるように折り曲げて形成した柱と、平面板
の外周縁を一定の幅に同じ方向に折り曲げて皿状に形成
した棚とを組み合わせることにより、キャビネットに必
要な剛性を獲得しているので、角パイプの出っ張りがな
く、機材をキャビネットにセットする際、自由にレイア
ウトすることができる。また、キャビネットの機材セッ
ト部分に角パイプの出っ張り位置を考慮する必要がない
ので、キャビネットの構造を標準化することができる。

【００８３】更に、高価な角パイプを使用する必要がな
いので製造コストを低廉な水準に抑えることができる。

【００８４】また、棚として平面板状部材を使用してい
るので、薬液パンなどの追加の部品を省略することがで
きる。

【００８５】請求項２記載の本発明によれば、板材を断
面がＬ字型になるように折り曲げてなる柱と、平面板の
外周縁を一定の幅に同じ方向に折り曲げてなる棚とを組
み合わせ、角パイプを使用することなく必要な剛性を獲
得しているので、機材のレイアウトが自由で、キャビネ
ットの構造を標準化でき、しかも製造コストを抑えるこ
とができる。

【００８６】また、棚として平面板状部材を皿状に形成
したものを使用しているので、薬液パンなどの追加の部
品を省略することができる。

【００８７】更に、仕切板を設けているので隣接する機
材相互間の薬液雰囲気の干渉を防止できる。その結果後
工程での処理が行い易くなり、環境的に有利となる。

【００８８】請求項３記載の本発明によれば、矩形断面
を有する柱部を形成するように垂直な軸に沿って折り曲
げられた板材からなる左右二枚の側面板と、平面板の外
周縁を一定の幅に同じ方向に折り曲げてなる天板及び棚
とを組み合わせ、角パイプを使用することなく必要な剛
性を獲得しているので、機材のレイアウトが自由で、キ
ャビネットの構造を標準化でき、しかも製造コストを抑
えることができる。

【００８９】また、天板、棚及び底板として平面板状部
材を皿状に形成したものを使用しているので、天板の上
部を密閉するための平面板や薬液パンなどの追加の部品
を省略することができる。

【００９０】更に、棚の後端と背面板との間に隙間を設
け、この隙間の下にあたる位置の背面板を先端を底板の
後端に接続しているので、上記隙間に薬液処理機材背面
のジョイントとチューブとの接続部分を配設するように
することにより、この接続部分から漏出した薬液を前記
背板で受け取り、キャビネット下の床を汚すことなく漏
出した薬液を底板に回収することができる。

【００９１】請求項４記載の本発明によれば、請求項３
に記載のケミカルキャビネットにおいて、前記底板及び
下側に配設される棚としてその前後長が前記天板の前後
長より短いものを用い、前記背面板は前記底板の後端か
ら前記柱にむかってスロープを形成しているので、上記
請求項３の発明の効果である、機材の自由配置、キャビ
ネット構造の標準化、製造コストの抑制、追加部品の省
略、漏出薬液による床汚れの防止に加え、薬液処理機材
背面のジョイントとチューブとの接続部分からの漏出薬
液をより好首尾に回収することができる。

【００９２】請求項５記載の本発明によれば、請求項１
〜４のいずれか記載のケミカルキャビネットにおいて、
前記底板には薬液排出用のドレンが配設されているの
で、上記請求項１〜４の発明の効果である、機材の自由
配置、キャビネット構造の標準化、製造コストの抑制、
剛性の強化、及び漏出薬液による床汚れの防止に加え、
底板に溜まった薬液の除去や清掃を容易に行うことがで
きる。

【００９３】請求項６記載の本発明によれば、請求項１
〜５のいずれか記載のケミカルキャビネットにおいて、
前記底板の脚部には水平度調節機構が更に配設されてい
るので、上記請求項１〜５の発明の効果である、機材の
自由配置、キャビネット構造の標準化、製造コストの抑
制、剛性強化、漏出薬液による床汚れの防止、底板の薬
液除去や清掃の容易さ、底板での薬液の拡散防止に加
え、機材調整の前提となる水平配置を容易に達成するこ
とができる。

【００９４】請求項７記載の本発明によれば、請求項１
〜６のいずれか記載のケミカルキャビネットにおいて、
前記底板、前記天板、前記棚板、前記仕切板、前記正面
板、及び前記背面板の少なくとも一つには補強材が配設
されているので、上記請求項１〜６の発明の効果であ
る、機材の自由配置、キャビネット構造の標準化、製造
コストの抑制、剛性強化、漏出薬液による床汚れの防
止、底板の薬液除去や清掃の容易さ、底板での薬液の拡
散防止、及び水平配置の容易化に加え、剛性を強化し、
地震対策など安全面での品質を向上することができる。

【００９５】請求項８記載の本発明によれば、請求項１
〜７のいずれか記載のケミカルキャビネットにおいて、
前記底板、前記天板、前記棚板、前記仕切板、前記正面
板、及び前記背面板の少なくとも一つに制振鋼板製パネ
ルを用いているので、上記請求項１〜７の発明の効果で
ある、機材の自由配置、キャビネット構造の標準化、製
造コストの抑制、剛性強化、漏出薬液による床汚れの防
止、底板の薬液除去や清掃の容易さ、底板での薬液の拡
散防止、水平配置の容易化、及び剛性の強化に加え、固
有振動数の向上により地震対策など安全面での品質を更
に向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態に係るキャビネットを備えた
塗布現像処理システムの平面図である。

【図２】本発明の実施形態に係るキャビネットを備えた
塗布現像処理システムの正面図である。

【図３】本発明の実施形態に係るキャビネットを備えた
塗布現像処理システムの背面図である。

【図４】キャビネットを図１中の矢印Ａの方向から見た
図である。

【図５】塗布現像処理システムとキャビネットとの側面
を垂直断面図として表した図である。

【図６】本実施形態に係るキャビネットの斜視図を透視
図として表した図である。

【符号の説明】 ３０ キャビネット ３１ 柱 ３６，３７ 棚 ４２〜４５ 仕切板 ３５ 天板 ４７ 蓋 ３８ 底板 ４１ 背面板 ３９，４０ 側面板

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 断面がＬ字型になるように垂直な軸に沿
   って折り曲げられた板材からなる柱と、 外周縁を上向きに折り曲げられた平面板からなり、前記
   柱に水平に固着された、薬液供給機材を載置するための
   棚と、 を具備することを特徴とするケミカルキャビネット。
2. 【請求項２】 断面がＬ字型になるように垂直な軸に沿
   って折り曲げられた板材からなる柱と、 外周縁を上向きに折り曲げられた平面板からなり、前記
   柱に水平に固着された、薬液供給機材を載置するための
   棚と、 外周縁を折り曲げられた平面板からなる天板又は棚であ
   って、前記柱に水平に固着された天板又は棚と、 外周縁を折り曲げられた平面板からなり、前記棚と前記
   天板又は棚との間に垂直に配設された少なくとも一つの
   仕切板と、を具備することを特徴とするケミカルキャビ
   ネット。
3. 【請求項３】 矩形断面を有する柱部を形成するように
   垂直な軸に沿って折り曲げられた板材からなる左右二枚
   の側面板と、 外周縁を折り曲げられた平面板からなる天板であって、
   前記柱部に固着された天板と、 前記天板の上部に密閉空間を形成する蓋と、 外周縁を上向きに折り曲げられた平面板からなる底板で
   あって、前記柱部に固着された、薬液供給機材を載置す
   るための底板と、 外周縁を上向き又は下向きに折り曲げられた平面板から
   なる棚であって、前記天板と前記底板との間に配設さ
   れ、前記柱部に固着された、薬液供給機材を載置するた
   めの棚と、 前記天板、前記棚、及び前記底板の各後端と接続された
   背面板と、を具備することを特徴とするケミカルキャビ
   ネット。
4. 【請求項４】 請求項３に記載のケミカルキャビネット
   であって、前記底板及び下側に配設される棚は、その前
   後長が前記天板の前後長より短いものであり、前記背面
   板は前記底板の後端から前記柱にむかってスロープを形
   成していることを特徴とするケミカルキャビネット。
5. 【請求項５】 請求項１〜４のいずれか記載のケミカル
   キャビネットであって、前記底板にはドレンが配設され
   ていることを特徴とするケミカルキャビネット。
6. 【請求項６】 請求項１〜５のいずれか記載のケミカル
   キャビネットであって、前記底板の脚部には水平度調節
   機構が更に配設されていることを特徴とするケミカルキ
   ャビネット。
7. 【請求項７】 請求項１〜６のいずれか記載のケミカル
   キャビネットであって、前記底板、前記天板、前記棚
   板、前記仕切板、前記正面板、及び前記背面板の少なく
   とも一つには補強材が配設されていることを特徴とする
   ケミカルキャビネット。
8. 【請求項８】 請求項１〜７のいずれか記載のケミカル
   キャビネットであって、前記底板、前記天板、前記棚
   板、前記仕切板、前記正面板、及び前記背面板の少なく
   とも一つは制振鋼板製パネルであることを特徴とするケ
   ミカルキャビネット。