JPH11206150A - 積層アクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】絶縁性の優れた積層アクチュエータを提供す
る。 【解決手段】 突起Ｐは、圧電素子Ｓの外周縁に対して
所定の隙間を残すように軸方向に折り曲げられ、隙間の
少なくとも一部分と前記積層体１の外周縁における前記
突起Ｐと重なりを持たない部分とを一種以上の絶縁材層
Ｒで被覆したことを特徴とする。また、絶縁材層Ｒは複
数層からなり、該絶縁材層（Ｒのうち最表面に被覆され
ている前記絶縁材層Ｒが絶縁性シートＴからなるこ
と、。【０００９】接着性を有していること、積層体１
の外周縁における前記突起Ｐと重なりを持たない部分の
前記絶縁材層Ｒは絶縁性シートＴで構成されること。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、印加される電圧に
応じて素子長が変形する圧電素子もしくは電歪素子（以
下、圧電素子という）を多数積層してなる積層アクチュ
エータに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】積層アクチュエータには、圧電型、電歪
型の二種があるが、印加する電圧を制御して伸縮量を制
御し、例えば自動車や精密機器、工作機械の位置決め機
構や、バルブ等の高速開閉等に利用されている。従来の
積層アクチュエータの構造は、例えば、円板状に構成さ
れた多数の圧電素子と圧電素子と電気的に接続される金
属薄板が互いに積層され一体化して組立られており、円
板状圧電素子の両面の一部もしくは全面には、Ａｇ、Ａ
ｕなどの金属電極膜が塗布やスパッタ法により形成され
ている。各金属板は、突起を有し突起で外部の電極薄板
とスポット溶接などで電気接続するが、積層された金属
電極は、図１０に示すように１つおき毎に位置するもの
同士を連結結線し、各金属薄板は、第１電極群（Ａ
１）、第２電極群（Ａ２）に電気的に並列接続して構成
されている。連結結線された２電極群からは、図示しな
い２本のリード線がハンダ等で接続され、駆動回路と連
結される。

【０００３】ここで、圧電素子の両面に特に全面に電極
を形成したものは、例えば特開平６ー９７５２８号公報
があり、図９（ａ），（ｂ）に示すように、電極が圧電
素子Ｓの外周部にまで形成されているので、電気的絶縁
を取る関係上、１対の絶縁スペーサ部材１０を圧電素子
Ｓの外周部に設けて電気接続することが行われている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
積層アクチュエータでは、特に梅雨時などの高湿度化で
連続駆動すると、結露等によりアクチュエータが圧電素
子の外周面から絶縁破壊する現象があることがわかっ
た。この絶縁破壊は、圧電素子の１層あたりの厚みが
０．７ｍｍ以下の薄いものを積層した場合に、特に顕著
であった。

【０００５】また、従来の積層アクチュエータは、圧電
素子の間に配置される各金属板を１つおき毎に位置する
もの同士をアークスポット溶接等で、電気的に並列接続
していた。この場合、圧電素子の１層の厚みが、約０．
５ｍｍ程度以下（例えば、ｔ＝０．２５ｍｍ）の薄さと
なると、溶接が困難又は不可能となっていた。このた
め、溶接不良箇所があると、必要な変位が得られず、変
位の精度が低下するという問題点があった。

【０００６】更に、並列接続される電極間距離が短くな
るので、絶縁破壊を生じやすい問題点があった。たと
え、図９に示すように、スペーサ１０を設けたとして
も、突起と積層体との隙間部分及び積層体の外周部にお
ける絶縁は考慮されていないため、絶縁性は十分ではな
く、湿気等により絶縁破壊を生じる場合があった。ま
た、前述のように、例えば、０．１〜０．３ｍｍのよう
な薄板を積層することは、絶縁性及び溶接加工の点から
困難であるため、所望の電界強度で駆動しようとする
と、圧電素子の厚みを大きくしなければならず、電圧も
大きくする必要があり、高電圧駆動となり駆動回路に制
約があるという問題点があった。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、突起（Ｐ）の
隙間の少なくとも一部及び突起（Ｐ）と重なりを有しな
い積層体（１）の外周部を、少なくとも１種以上の絶縁
材層（Ｒ）で被覆することにより、前記課題を解決す
る。請求項１記載の発明は、表面及び裏面に金属電極
（Ｅ）が全面にわたって形成され、電圧が印加されるこ
とによって素子長が変化する複数の圧電素子（Ｓ）と、
該複数の圧電素子（Ｓ）の各々の間に挟着され、突起
（Ｐ）を有した複数の金属薄板（Ｍ）とからなる積層体
（１）と、前記突起（Ｐ）の折り曲げられた先端部に接
合され、各圧電素子（Ｓ）と電気的に並列接続され積層
方向に長い複数の連絡細帯状電極薄板（Ａ１，Ａ２，
…）とを有してなる積層アクチュエータにおいて、前記
突起（Ｐ）は、前記圧電素子（Ｓ）の外周縁に対して所
定の隙間を残すように軸方向に折り曲げられ、前記隙間
の少なくとも一部分と前記積層体（１）の外周縁におけ
る前記突起（Ｐ）と重なりを持たない部分とを一種以上
の絶縁材層（Ｒ）で被覆したことを特徴とする。

【０００８】ここで圧電素子（Ｓ）とは、圧電もしくは
電歪素子をいい、本願明細書では、圧電素子と電歪素子
を総称して単に「圧電素子」ということにする。請求項
２記載の発明は、請求項１記載の積層アクチュエータに
おいて、前記絶縁材層（Ｒ）は複数層からなり、該絶縁
材層（Ｒ）のうち最表面に被覆されている前記絶縁材層
（Ｒ）が絶縁性シート（Ｔ）からなることを特徴とす
る。

【０００９】請求項３記載の発明は、請求項１又は請求
項２記載の積層アクチュエータにおいて、前記隙間の少
なくとも一部分を被覆している前記絶縁材層（Ｒ）は、
接着性を有ていることを特徴とする。請求項４記載の発
明は、請求項１又は請求項２記載の積層アクチュエータ
において、前記隙間の少なくとも一部分を絶縁性の接着
材で被覆し、前記隙間の少なくとも一部分及び前記前記
積層体（１）の外周縁における前記突起（Ｐ）と重なり
を持たない部分の前記絶縁材層（Ｒ）は絶縁性シート
（Ｔ）で構成されることを特徴とする。

【００１０】請求項５記載の発明は、請求項１〜請求項
４のいずれか記載の積層アクチュエータであって、前記
圧電素子（Ｓ）及び金属薄板（Ｍ）の積層総数が各々５
枚以上である前記積層体（１）の先端から数えて、１＋
４ｎ番目（ｎ＝０、１、２、・・の整数）に位置する前
記各金属薄板（Ｍｎ）、すなわち、１、５、９、・・・
層目の前記金属薄板（Ｍｎ）を電気的に並列に結線した
少なくとも１つの第１連絡細帯状電極薄板（Ａ１）と、
前記積層体（１）の先端から数えて３＋４ｎ番目（ｎ＝
０、１、２、・・の整数）に位置する前記金属薄板（Ｍ
ｎ）、すなわち、３、７、１１、・・・層目の前記金属
薄板（Ｍｎ）を電気的に並列に結線した少なくとも１つ
の第２連絡細帯状電極薄板（Ａ２）と、前記積層体
（１）の先端から数えて２＋４ｎ番目（ｎ＝０、１、
２、・・の整数）に位置する前記各金属薄板（Ｍｎ）、
すなわち、２、６、１０、・・・層目の前記金属薄板
（Ｍｎ）を電気的に並列に結線した少なくとも１つの第
３連絡細帯状電極薄板（Ａ３）と、前記積層体（１）の
先端から数えて４＋４ｎ番目（ｎ＝０、１、２、・・の
整数）に位置する前記各金属薄板（Ｍｎ）、すなわち、
４、８、１２、・・・層目の前記金属薄板（Ｍｎ）を電
気的に並列に結線した少なくとも１つの第４連絡細帯状
電極薄板（Ａ４）とを備えてなり、前記第１連絡細帯状
電極薄板（Ａ１）と前記第２連絡細帯状電極薄板（Ａ
２）を電気的に接続し、かつ前記第３連絡細帯状電極薄
板（Ａ３）と前記第４連絡細帯状電極薄板（Ａ４）を電
気的に接続したことを特徴とする。

【００１１】請求項６記載の発明は、請求項５記載の積
層アクチュエータにおいて、前記積層体（１）の少なく
とも一方の端部に少なくとも２層の絶縁体からなるダミ
ー層（Ｄ１，Ｄ２，…）を設け、その間に少なくとも２
つの突起（Ｐ）を有した少なくとも２枚の金属電極（Ｎ
１，Ｎ２，…）を配し、前記第１連絡細帯状電極薄板
（Ａ１）と前記第２連絡細帯状電極薄板（Ａ２）を一方
のダミー層（Ｄ１）と接する一方の金属電極（Ｎ１）の
前記突起（Ｐ）によって接続し、更に前記第３連絡細帯
状電極薄板（Ａ３）と前記第４連絡細帯状電極薄板（Ａ
４）を他方のダミー層（Ｄ２）と接する他方の金属電極
（Ｎ２）の前記突起（Ｐ）によって接続したことを特徴
とする。

【００１２】請求項７記載の発明は、請求項１〜請求項
４のいずれか記載の積層アクチュエータであって、前記
圧電素子（Ｓ）及び金属薄板（Ｍ）の積層総数が各々７
枚以上である前記積層体（１）の先端から数えて、１＋
６ｎ番目（ｎ＝０、１、２、・・の整数）に位置する前
記各金属薄板（Ｍｎ）、すなわち、１、７、１３、・・
・層目の前記金属薄板（Ｍｎ）を電気的に並列に結線し
た第１連絡細帯状電極薄板（Ａ１）と、前記積層体
（１）の先端から数えて２＋６ｎ番目（ｎ＝０、１、
２、・・の整数）に位置する前記金属薄板（Ｍｎ）、す
なわち、２、８、１４、・・・層目の前記金属薄板（Ｍ
ｎ）を電気的に並列に結線した第２連絡細帯状電極薄板
（Ａ２）と、前記積層体（１）の先端から数えて３＋６
ｎ番目（ｎ＝０、１、２、・・の整数）に位置する前記
各金属薄板（Ｍｎ）、すなわち、３、９、１５、・・・
層目の前記金属薄板（Ｍｎ）を電気的に並列に結線した
第３連絡細帯状電極薄板（Ａ３）と、前記積層体（１）
の先端から数えて４＋６ｎ番目（ｎ＝０、１、２、・・
の整数）に位置する前記各金属薄板（Ｍｎ）、すなわ
ち、４、１０、１６、・・・層目の前記金属薄板（Ｍ
ｎ）を電気的に並列に結線した第４連絡細帯状電極薄板
（Ａ４）と、前記積層体（１）の先端から数えて５＋６
ｎ番目（ｎ＝０、１、２、・・の整数）に位置する前記
各金属薄板（Ｍｎ）、すなわち、５、１１、１７、・・
・層目の前記金属薄板（Ｍｎ）を電気的に並列に結線し
た第５連絡細帯状電極薄板（Ａ５）と、前記積層体
（１）の先端から数えて６＋６ｎ番目（ｎ＝０、１、
２、・・の整数）に位置する前記各金属薄板（Ｍｎ）、
すなわち、６、１２、１８、・・・層目の前記金属薄板
（Ｍｎ）を電気的に並列に結線した第６連絡細帯状電極
薄板（Ａ６）とを備えてなり、前記第１連絡細帯状電極
薄板（Ａ１）と前記第３連絡細帯状電極薄板（Ａ３）と
前記第５連絡細帯状電極薄板（Ａ５）とを電気的に接続
し、かつ前記第２連絡細帯状電極薄板（Ａ２）と前記第
４連絡細帯状電極薄板（Ａ４）と前記第６連絡細帯状電
極薄板（Ａ６）とを電気的に接続したことことを特徴と
する。

【００１３】請求項８記載の発明は、請求項７記載の積
層アクチュエータにおいて、前記積層体（１）の少なく
とも一方の端部に少なくとも２層の絶縁体からなるダミ
ー層（Ｄ１，Ｄ２，…）を設け、その間に少なくとも３
つの突起（Ｐ）を有した少なくとも２枚の金属電極（Ｎ
１，Ｎ２，…）を配し、前記第１連絡細帯電極薄板（Ａ
１）と前記第３連絡細帯状電極薄板（Ａ３）と前記第５
連絡細帯状電極薄板（Ａ５）とを一方のダミー層（Ｄ
１）と接する一方の金属電極（Ｎ１）の前記突起（Ｐ）
によって接続し、更に前記第２連絡細帯状電極薄板（Ａ
２）と前記第４連絡細帯状電極薄板（Ａ４）と前記第６
連絡細帯状電極薄板（Ａ６）とを他方のダミー層（Ｄ
２）と接する他方の金属電極（Ｎ２）の前記突起（Ｐ）
によって接続したことを特徴とする。

【００１４】請求項９記載の発明は、請求項１〜請求項
８のいずれか記載の積層アクチュエータにおいて、前記
圧電素子（Ｓ）の厚みが約０．１ｍｍ〜約０．５ｍｍ程
度であることを特徴とする。請求項１０記載の発明は、
請求項１〜請求項９のいずれか記載の積層アクチュエー
タにおいて、前記積層体（１）の外周部を熱収縮性の絶
縁チューブで被覆することを特徴とする。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について、図
を参照して以下に詳細に説明する。図１は本発明の第１
の実施の形態の積層アクチュエータを示す図であり、図
１（ａ）は、説明図であり、図１（ｂ）は上面図、図２
（ａ）は、圧電素子及び金属薄板の部分分解斜視図であ
り、図２（ｂ）は、図２（ａ）を組立てた場合の絶縁材
層を被覆する前の部分拡大図、図３は、積層体に被覆す
る絶縁性シートを説明する分解斜視図である。

【００１６】本発明は、表面及び裏面に金属電極Ｅが全
面にわたって形成され、電圧が印加されることによって
素子長が変化する複数の圧電素子Ｓと、複数の圧電素子
Ｓの各々の間に挟着され、突起Ｐを有した複数の金属薄
板Ｍとからなる積層体１と、前記突起Ｐの折り曲げられ
た先端部に接合され、各圧電素子Ｓと電気的に並列接続
され積層方向に長い複数の連絡細帯状電極薄板Ａ１，Ａ
２，…とを有してなる積層アクチュエータにおいて、前
記突起Ｐは、前記圧電素子Ｓの外周縁に対して所定の隙
間を残すように軸方向に折り曲げられ、前記隙間の少な
くとも一部及び突起Ｐと重なりを有しない積層体１の外
周部を、少なくとも１種以上の絶縁材で単層もしくは複
数の層状に絶縁材層Ｒを被覆したものである。

【００１７】絶縁材層Ｒは、少なくとも前記隙間の一部
分もしくは全体に設ければ良いが、アクチュエータの絶
縁性をより高めるためには、前記隙間の少なくとも一部
分に設けられた前記絶縁材層Ｒの上から、この部分を含
め、更に、前記突起Ｐと重なりを有しない積層体１の外
周部分に絶縁性シートＴを被覆して複数の絶縁材層Ｒを
形成することがより好ましい。この場合、前記突起Ｐと
重なりを有しない積層体１の外周縁部における絶縁性シ
ートＴの下層には、絶縁性シートＴを被覆する前に、絶
縁材層、例えば、シリコングリース等で被覆した後、絶
縁性シートＴで、更に被覆するようにするのも好適であ
る。

【００１８】本発明は、特に圧電板に形成される金属電
極が全面に形成されたものに好適である。また、積層体
１の外周を熱収縮性の絶縁チューブで被覆すると、絶縁
性の強化、防塵保護等の点から好適である。ここで前記
金属薄板Ｍの突起Ｐに形成される前記隙間の一部に、少
なくとも１種以上の絶縁材層Ｒを被覆するようにしてい
るが、弾力性に富む接着材が使用されることが、特に好
ましい。これは、適度な結合力を有しているので積層体
としての一体化が促進され、かつ、変位を拘束せず、連
続駆動使用時にも被覆部にクラックが入らないためであ
る。弾力性に富む接着材としては、絶縁性の高いエポキ
シ系の接着材等が好ましいが、絶縁性に富めば特に限定
されるものではない。

【００１９】また、絶縁材層Ｒの最上層を形成する絶縁
性シートＴは、例えば、図３に示すように、２枚以上の
絶縁性シートＴで積層体１を被覆するようにしても良
い。これにより、圧電素子Ｓの外周部を実質的に被覆
し、圧電素子Ｓの圧電、電歪セラミックスの生地が実質
的に露出されないことが好ましい。なお、ここで用いら
れる絶縁性シートＴとしては、テフロン等の耐熱性があ
るものが高温まで使用できるので特に、好ましいが、絶
縁性に富めば特に限定されるものではない。

【００２０】図４は、本発明の第２の実施の形態の積層
アクチュエータを示す図であり、図４（ａ）は、圧電素
子及び金属薄板の分解斜視図、図４（ｂ）は、組立てた
場合の部分拡大図、図５（ａ）は、図４の積層アクチュ
エータを絶縁材層で被覆した状態の説明図、図５（ｂ）
は、上面図である。第２の実施の形態の発明は、圧電素
子（Ｓ）の積層総数が５以上であり、前記金属薄板Ｍに
は、突起Ｐがある請求項１ないし４のいづれか記載の積
層アクチュエータであって、積層体１の先端から数えて
１＋４ｎ番目（ｎ＝０、１、２、・・の整数）に位置す
る各金属薄板Ｍｎ、すなわち、１、５、９、・・・層目
の金属薄板Ｍｎを電気的に並列に結線した少なくとも１
つの第１連絡細帯状電極薄板Ａ１と積層体１の先端から
数えて３＋４ｎ番目（ｎ＝０、１、２、・・の整数）に
位置する金属薄板Ｍｎ、すなわち、３、７、１１、・・
・層目の金属薄板Ｍｎを電気的に並列に結線した少なく
とも１ケの第２連絡細帯状電極薄板Ａ２と積層体１の先
端から数えて２＋４ｎ番目（ｎ＝０、１、２、・・の整
数）に位置する各金属薄板Ｍｎ、すなわち、２、６、１
０、・・層目の金属薄板Ｍｎを電気的に並列に結線した
少なくとも１つの第３連絡細帯状電極薄板Ａ３と積層体
１の先端から数えて４＋４ｎ番目（ｎ＝０、１、２、・
・の整数）に位置する各金属薄板Ｍｎ、すなわち、４、
８、１２、・・・層目の金属薄板Ｍｎを電気的に並列に
結線した少なくとも１つの第４連絡細帯状電極薄板Ａ４
があり、第１連絡細帯状電極薄板Ａ１と第２連絡細帯状
電極薄板Ａ２を結線、電気的に接続し、かつ第３連絡細
帯状電極薄板Ａ３と第４連絡細帯状電極薄板Ａ４を同様
に電気的に接続させるものである。

【００２１】具体的には、図４に示すように、金属薄板
Ｍｎの突起Ｐを９０度毎に回転した位置に配するように
したものである。これにより、各連絡細帯状電極薄板Ａ
１，Ａ２，…とアーク溶接を行う金属薄板Ｍの層間の厚
みを従来の２倍にすることができるので、厚みが約１／
２の板のものまで、具体的には、積層する圧電素子の厚
みが０．１５〜０．５ｍｍ程度の場合でも、圧電素子と
して使用することができる。

【００２２】図５に示すように、前記金属薄板Ｍの突起
部に形成される前記隙間の一部には、少なくとも１種以
上の絶縁材を被覆することによって絶縁材層Ｒが形成さ
れているが、弾力性に富む接着材が使用されることが特
に好ましい。弾力性に富む接着材としては、絶縁性の高
いエポキシ系の接着材等が好ましいが、絶縁性に富めば
特に限定されるものではない。

【００２３】第２の実施の形態では、金属薄板Ｍｎの突
起Ｐを９０度毎に回転した位置に配するようにしている
が、これに限定されるものではない。第２の実施の形態
の積層アクチュエータでは、特に、従来の積層アクチュ
エータの問題点、すなわち、圧電素子Ｓの厚みが薄くな
ると、溶接が困難又は不可能となり、圧電素子としての
必要な変位が得られないという問題点、また、並列接続
される電極間距離が短くなるので、絶縁破壊を生じやす
い問題点、更に、所望の電界強度で駆動する際、高電圧
駆動になり、駆動回路に制約があるという問題点を解決
すべくなされたものであり、第２の実施の形態のように
構成することにより、各突起Ｐと各連絡細帯状電極薄板
Ａ１，Ａ２，…との溶接を行う金属薄板Ｍの層間の厚み
を従来の倍以上にすることができるので、圧電素子Ｓの
厚みが従来の倍以上の薄さのものであっても、絶縁性、
溶接加工性を保持して、実用可能となる。

【００２４】図６は、本発明の第３の実施の形態の積層
アクチュエータを示す図であり、図６（ａ）は、圧電素
子及び金属薄板の分解斜視図、図６（ｂ）は、組立てた
場合の部分拡大図、図７（ａ）は、図６の積層アクチュ
エータを絶縁材層で被覆した状態の説明図、図７（ｂ）
は、その上面図である。第３の実施の形態の発明は、第
２の実施の形態の発明の場合の連絡細帯状電極薄板の接
続法に関するものである。上述のように、第１連絡細帯
状電極薄板Ａ１と第２連絡細帯状電極薄板Ａ２を同相の
電圧源に接続することが必要である。同様に、第３連絡
細帯状電極薄板Ａ３と第４連絡細帯状電極薄板Ａ４を同
様に電圧源に接続することが必要である。これらの第１
〜４群連絡細帯状電極薄板Ａ１〜Ａ４各々からリード線
Ｌを介して電源に接続すると、４本のリード線が積層体
１に取り付けられて複雑な構造となり好ましくない。本
発明はこの問題を解決すべくなされたものである。

【００２５】図６、図７に示すように、積層体１の少な
くとも１方の端部に少なくとも２層の絶縁体からなるダ
ミー層Ｄ１，Ｄ２，…を設け、その間に少なくとも２本
の突起Ｐを有した少なくとも２枚の金属電極Ｎ１，Ｎ
２，…を各々が短絡しないように両者の間にダミー層Ｄ
１，Ｄ２，…の少なくとも１つを介して両者が積層され
るように各々金属電極Ｎ１，Ｎ２，…を配し、第２の実
施の形態の第１連絡細帯状電極薄板Ａ１と第２連絡細帯
状電極薄板Ａ２を一方のダミー層Ｄ１と接する金属電極
Ｎ１の突起Ｐによって電気的に接続し、更に第３連絡細
帯状電極薄板Ａ３と第４連絡細帯状電極薄板Ａ４を他方
のダミー層Ｄ２と接する金属電極Ｎ２の突起Ｐによって
電気的に接続し、結果的に、第１，第２連絡細帯状電極
薄板Ａ１，Ａ２から１本のリード線Ｌを第３，４連絡細
帯状電極薄板Ａ３，Ａ４から１本のリード線Ｌをハンダ
等によって接続し、駆動電源と結線するものであり、２
本のみのリード線Ｌで構成できる。更に、ダミー層Ｄ
１，Ｄ２，…を設けることにより、積層体の機械的強度
を向上させることができる。

【００２６】なおここで用いられる絶縁性のダミー層Ｄ
１，Ｄ２，…は、Ａｌ₂Ｏ₃や部分安定化ＺｒＯ₂等のセ
ラミックスや樹脂板に限定されるものではなく、圧電素
子Ｓと同一のセラミックス等であってもよい。図８は、
本発明の第４の実施の形態の積層アクチュエータを示す
図であり、図８（ａ）は、積層アクチュエータを絶縁材
層で被覆した状態の説明図、図８（ｂ）は、その上面図
である。

【００２７】第４の実施の形態の発明は、積層総数が７
以上であり、前記金属薄板Ｍには、突起Ｐがある請求項
１ないし４のいづれか記載の積層アクチュエータであっ
て、前記圧電素子Ｓ及び金属薄板Ｍの積層総数が各々７
枚以上である前記積層体１の先端から数えて、１＋６ｎ
番目（ｎ＝０、１、２、・・の整数）に位置する前記各
金属薄板Ｍｎ、すなわち、１、７、１３、・・・層目の
前記金属薄板Ｍｎを電気的に並列に結線した第１連絡細
帯状電極薄板Ａ１と、前記積層体１の先端から数えて２
＋６ｎ番目（ｎ＝０、１、２、・・の整数）に位置する
前記金属薄板Ｍｎ、すなわち、２、８、１４、・・・層
目の前記金属薄板Ｍｎを電気的に並列に結線した第２連
絡細帯状電極薄板Ａ２と前記積層体１の先端から数えて
３＋６ｎ番目（ｎ＝０、１、２、・・の整数）に位置す
る前記各金属薄板Ｍｎ、すなわち、３、９、１５、・・
・層目の前記金属薄板Ｍｎを電気的に並列に結線した第
３連絡細帯状電極薄板Ａ３と前記積層体１の先端から数
えて４＋６ｎ番目（ｎ＝０、１、２、・・の整数）に位
置する前記各金属薄板Ｍｎ、すなわち、４、１０、１
６、・・・層目の前記金属薄板Ｍｎを電気的に並列に結
線した第４連絡細帯状電極薄板Ａ４と、前記積層体１の
先端から数えて５＋６ｎ番目（ｎ＝０、１、２、・・の
整数）に位置する前記各金属薄板Ｍｎ、すなわち、５、
１１、１７、・・・層目の前記金属薄板Ｍｎを電気的に
並列に結線した第５連絡細帯状電極薄板Ａ５と前記積層
体１の先端から数えて６＋６ｎ番目（ｎ＝０、１、２、
・・の整数）に位置する前記各金属薄板Ｍｎ、すなわ
ち、６、１２、１８、・・・層目の前記金属薄板Ｍｎを
電気的に並列に結線した第６連絡細帯状電極薄板Ａ６と
を備えてなり、前記第１連絡細帯状電極薄板Ａ１と前記
第３連絡細帯状電極薄板Ａ３と前記第５連絡細帯状電極
薄板Ａ５とを電気的に接続し、かつ前記第２連絡細帯状
電極薄板Ａ２と前記第４連絡細帯状電極薄板Ａ４と前記
第６連絡細帯状電極薄板Ａ６とを電気的に接続したもの
である。

【００２８】具体的には、図８（ｂ）に示すように、金
属薄板Ｍｎの突起Ｐを６０度毎に回転した位置に配する
ようにしたものである。これにより、各連絡細帯状電極
薄板Ａ１，Ａ２，…とアーク溶接を行う金属薄板Ｍの層
間の厚みを従来の３倍にすることができるので、厚みが
約１／３の板のものまで、具体的には、積層する圧電素
子の厚みが０．１〜０．５ｍｍ程度の場合でも、圧電素
子として使用することができる。

【００２９】図に示すように、前記金属薄板Ｍの突起部
に形成される前記隙間の一部には、少なくとも１種以上
の絶縁材を被覆することによって絶縁材層Ｒが形成され
ているが、弾力性に富む接着材が使用されることが特に
好ましい。弾力性に富む接着材としては、絶縁性の高い
エポキシ系の接着材等が好ましいが、絶縁性に富めば特
に限定されるものではない。

【００３０】第４の実施の形態では、金属薄板Ｍｎの突
起Ｐを６０度毎に回転した位置に配するようにしている
が、これに限定されるものではない。かかる積層アクチ
ュエータでは、特に、従来の積層アクチュエータの問題
点、すなわち、圧電素子Ｓの厚みが薄くなると、溶接が
困難又は不可能となり、圧電素子としての必要な変位が
得られないという問題点、また、並列接続される電極間
距離が短くなるので、絶縁破壊を生じやすい問題点、更
に、所望の電界強度で駆動する際、高電圧駆動になり、
駆動回路に制約があるという問題点を解決すべくなされ
たものであり、本実施の形態のように構成することによ
り、各突起Ｐと各連絡細帯状電極薄板Ａ１，Ａ２，…と
の溶接を行う金属薄板Ｍの層間の厚みを従来の３倍以上
にすることができるので、圧電素子Ｓの厚みが従来の３
倍以上の薄さのものであっても、絶縁性、溶接加工性を
保持して、実用可能となる。

【００３１】また、第４の実施の形態の積層アクチュエ
ータにおいて、積層体１の少なくとも一方の端部に少な
くとも２層の絶縁体からなるダミー層Ｄ１，Ｄ２，…を
設け、その間に少なくとも３つの突起（Ｐ）を有した少
なくとも２枚の金属電極Ｎ１，Ｎ２，…を配し、第１連
絡細帯電極薄板Ａ１と第３連絡細帯状電極薄板Ａ３と第
５連絡細帯状電極薄板Ａ５を一方のダミー層Ｄ１と接す
る一方の金属電極Ｎ１の突起Ｐによって接続し、更に第
２連絡細帯状電極薄板Ａ２と第４連絡細帯状電極薄板Ａ
４と第６連絡細帯状電極薄板Ａ６を他方のダミー層Ｄ２
と接する他方の金属電極Ｎ２の突起Ｐによって接続する
ようにしても良い。結果的に、第１，第３，第５連絡細
帯状電極薄板Ａ１，Ａ３，Ａ５から１本のリード線Ｌを
第２，４，６連絡細帯状電極薄板Ａ２，Ａ４，Ａ６から
１本のリード線Ｌをハンダ等によって接続し、駆動電源
と結線するものであり、２本のみのリード線Ｌで構成す
ることができる。更に、ダミー層Ｄ１，Ｄ２，…を設け
ることにより、積層体の機械的強度を向上させることが
できる。

【００３２】なおここで用いられる絶縁性のダミー層Ｄ
１，Ｄ２，…は、Ａｌ₂Ｏ₃や部分安定化ＺｒＯ₂等のセ
ラミックスや樹脂板に限定されるものではなく、圧電素
子Ｓと同一のセラミックス等であってもよい。上述した
第１〜第４の実施の形態のいずれの積層アクチュエータ
も、積層体１の外周部を熱収縮性の絶縁チューブで被覆
するようにすると、絶縁性の強化、防塵保護等の点から
好適である。

【００３３】

【実施例】（実施例１）圧電素子Ｓとしては、分極済み
で、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とするセ
ラミックス等から形成された、直径が１４ｍｍ、厚みが
０．５ｍｍの大きさのものを５０枚用意した。

【００３４】圧電素子Ｓの両面の全面には、Ａｇ電極が
厚さ３〜５μｍ程度の厚さで形成されている。更に、突
起Ｐを有し、外径が１４ｍｍで、厚さ２５ミクロンの金
属薄板Ｍ（ＳＵＳ板）を５１枚用意し図１に示すように
交互に積層させた。金属薄板Ｍに設けられた突起Ｐの先
端は、図２に示すように距離ａを残して積層軸方向に折
り曲げられており、金属薄板Ｍの突起Ｐ部と圧電素子Ｓ
の外周部との間には、幅ａの隙間が形成される。この隙
間の大きさは、約０．２〜０．５ｍｍである。２本列で
形成される前記隙間の少なくとも一部には、エポキシ系
の接着材が塗布され更に、外部露出している圧電素子Ｓ
の部分と前記２本の隙間の少なくとも一部を２枚のテフ
ロン性絶縁性シートＴで被覆した。

【００３５】その後、積層体１の先端から１番目、３番
目、５番目、・・・、すなわち、１＋２ｎ（ｎ＝０、
１、２、３、・・・）番目の金属薄板Ｍの突起Ｐの各先
端部の面は、積層軸方向に長い細帯状の第１連絡細帯状
電極薄板Ａ１がスポットアーク溶接により、電気的に連
結された。更に第１連絡細帯状電極薄板Ａ１にリード線
Ｌをハンダ付けした。

【００３６】また、積層体１の先端から２番目、４番
目、６番目、・・・、すなわち、２ｍ（ｍ＝１、２、
３、・・・）番目の金属薄板Ｍの突起Ｐの各先端部の面
は、積層軸方向に長い細帯状の第２連絡細帯状電極薄板
Ａ２が同様にスポット溶接され、電気的に連結された。
更に第２連絡細帯状電極薄板Ａ２にリード線Ｌをハンダ
付けした。

【００３７】その後、圧電素子Ｓとほぼ同じ径を有して
なる、ＰＺＴセラミックからなる絶縁基材ダミー層を積
層体１の両端に重ねたもの全体に熱収縮性の絶縁チュー
ブを被覆し、加温して収縮させて、一体化した。本アク
チュエータを湿度６０％、温度６０度の恒温槽で１０⁷
回、１ｋｖ／ｍｍの電界強度で駆動させたが絶縁破壊を
生ずることなく駆動できた。

【００３８】（実施例２）チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺ
Ｔ）を主成分とするセラミックスから形成された分極済
みの直径が１４ｍｍ、厚みが０．２５ｍｍの圧電素子Ｓ
を１００枚用意した。圧電素子１の両面の全面には、Ａ
ｇ電極が厚さ３〜５μｍ程度の厚さで形成されている。
更に、金属薄板Ｍｎは、図４，図５に示すように、突起
Ｐを９０度毎に回転させた位置に順次配し、外径が１４
ｍｍで、厚さ２５ミクロンの金属薄板Ｍ（ＳＵＳ板）を
１０１枚用意し交互に積層させた。

【００３９】更に図６，図７に示すように、積層体１の
先端に厚み０．７５ｍｍのダミー層Ｄ１，Ｄ２及びＤ３
を３層積層し、その間に２ヶの突起Ｐのある２枚の金属
電極Ｎ１，Ｎ２を配した。金属薄板Ｍに設けられた突起
Ｐの先端は、実施例１の場合と同様に距離ａを有して積
層軸方向に折り曲げられており、金属薄板Ｍの突起Ｐと
圧電素子Ｓの外周部との間には、幅ａの隙間が形成され
る。この隙間の大きさは、約０．２〜０．５ｍｍであ
る。４本列で形成される前記隙間の少なくとも一部に
は、エポキシ系の接着材が塗布されている。更に、外部
露出している圧電素子Ｓの実質的に全部分と前記４本の
隙間の少なくとも一部を４枚のテフロン性絶縁性シート
Ｔで被覆した。その後、積層体１を先端から、１＋４ｎ
番目（ｎ＝０、１、２、・・の整数）の圧電素子Ｓに接
する金属薄板Ｍｎであって、すなわち、上から１、５、
９、・・・層目の金属薄板Ｍｎの突起Ｐの各先端面は、
積層軸方向に長い細帯状の第１連絡細帯状電極薄板Ａ１
とスポットアーク溶接にて接合され、電気的に連結され
た。

【００４０】つぎに３＋４ｎ番目（ｎ＝０、１、２、・
・の整数）で表される圧電素子Ｓに接する金属薄板Ｍ
ｎ、すなわち３、７、１１、・・・番目の金属薄板Ｍｎ
の突起Ｐの各先端面は、積層軸方向に長い細帯状の第２
連絡細帯状電極薄板Ａ２と同様に接合され、電気的に連
結された。このように、第１連絡細帯状電極薄板Ａ１と
第２連絡細帯状電極薄板Ａ２はダミー層Ｄ１，Ｄ２間に
存在する金属電極Ｎ１と更にスポット溶接されて、電気
的に並列接続され、更に、リード線Ｌをハンダ付けし
た。２＋４ｎ番目（ｎ＝０、１、２、・・の整数）で表
される圧電素子Ｓに接する金属薄板Ｍｎ、すなわち２、
６、１０、・・・番目の金属薄板Ｍｎの突起Ｐの各先端
面は、積層軸方向に長い細帯状の第３連絡細帯状電極薄
板Ａ３と同様に接合された。

【００４１】続いて４＋４ｎ番目（ｎ＝０、１、２、・
・の整数）で表される圧電素子Ｓに接する金属薄板Ｍ
ｎ、すなわち４、８、１２、・・・番目の金属薄板Ｍｎ
の突起Ｐの各先端面は、積層軸方向に長い細帯状の第４
連絡細帯状電極薄板Ａ４と同様に接合された。第３連絡
細帯状電極薄板Ａ３と第４連絡細帯状電極薄板Ａ４はダ
ミー層Ｄ２，Ｄ３間に存在する金属電極Ｎ２と更にスポ
ット溶接されて電気的に並列接続した後、リード線Ｌを
同様にハンダ付けした。その後、積層体１のもう一方の
端部に同様に圧電素子Ｓとほぼ同じ径を有してなる、Ｐ
ＺＴセラミックからなる絶縁ダミー層を重ねた後、全体
に熱収縮性の絶縁チューブを被覆し、加温して収縮さ
せ、積層アクチュエータを一体化させた。本アクチュエ
ータを湿度６０％、温度６０度の恒温槽で１０⁷ 回、１
ｋｖ／ｍｍの電界強度で駆動させたが、絶縁破壊を生ず
ることなく駆動できた。

【００４２】（比較例１）圧電素子Ｓとしては、分極済
みのチタン酸ジルコニウム酸鉛ＰＺＴを主成分とするセ
ラミックスから形成され、直径が１４ｍｍ、厚みが０．
３７５ｍｍの大きさのものを５０枚用意した。

【００４３】圧電素子Ｓの両面の全面には、Ａｇ電極が
厚さ３〜５μｍ程度の厚さで形成されている。更に、突
起Ｐを２ケ所有し、外径が１４ｍｍで、厚さ２５ミクロ
ンの金属薄板Ｍ（ＳＵＳ板）を５１枚用意し、交互に積
層させた。金属薄板Ｍに設けられた突起Ｐの先端は、実
施例１、２と同様に、距離ａを残して積層軸方向に折り
曲げられており、この金属薄板Ｍの突起Ｐと圧電素子Ｓ
の外周部との間には、幅ａの隙間が形成される。この隙
間の大きさ、すなわち距離ａは、約０．２〜０．５ｍｍ
であり、当該隙間部に特開平６−９７５２８号公報に開
示されているような絶縁スペーサを設けた（図９参
照）。

【００４４】その後、積層体１の上から数えて１番目、
３番目、５番目、・・・、すなわち、１＋２ｎ（ｎ＝
０、１、２、３、・・）番目の金属薄板Ｍｎの突起Ｐの
先端部の面は、積層軸方向に長い細帯状の第１連絡細帯
状電極薄板Ａ１がスポット溶接にて電気的に連結させ、
リード線Ｌをハンダ付けした。また、積層体１の上から
数えて２番目、４番目、６番目、・・・、すなわち、２
ｍ（ｍ＝１、２、３、・・）番目の金属薄板Ｍの突起Ｐ
の先端部の面は、積層軸方向に長い細帯状の第２連絡細
帯状電極薄板Ａ２が前記と同様にスポット溶接され、電
気的に連結させ、リード線Ｌをハンダ付けした。

【００４５】その後、圧電素子Ｓとほぼ同じ径を有して
なる、ＰＺＴセラミックからなる絶縁基材ダミー材を積
層体１の両端に重ねたもの全体に熱収縮性の絶縁チュー
ブを被覆し、その後、加温して、積層アクチュエータを
一体化させた。本アクチュエータを湿度６０％、温度６
０度の恒温槽で、１ｋｖ／ｍｍの電界をかけ、駆動した
ところ、１０⁶ 回以内で絶縁破壊し、使用に耐えなかっ
た。

【００４６】このように、本発明の積層アクチュエータ
を用いることにより、圧電素子Ｓと金属薄板Ｍを交互に
積層してなる積層体１において、従来困難であった１層
の厚みが約０．１〜０．５ｍｍ程度の薄い板を積層した
場合においても、高い湿度下でも安定に駆動できる積層
アクチュエータを提供することができ、かつ耐久性の問
題を解決することができた。また従来困難であった高電
圧駆動の問題点も解決できた。

【００４７】

【発明の効果】以上のように、本発明は、前記突起
（Ｐ）は、前記圧電素子（Ｓ）の外周縁に対して所定の
隙間を残すように軸方向に折り曲げられ、前記隙間の少
なくとも一部と前記積層体（１）の外周縁における前記
突起（Ｐ）と重なりを持たない部分を、少なくとも１種
以上の絶縁材層（Ｒ）で被覆するように構成されている
ため、絶縁破壊しにくい積層アクチュエータを提供でき
る。

【００４８】更に、請求項２記載の発明のように、請求
項１の積層アクチュエータにおいて前記絶縁材層（Ｒ）
は複数層からなり、該絶縁材層（Ｒ）のうち最表面に被
覆されている前記絶縁材層（Ｒ）が絶縁性シート（Ｔ）
とすることによって、絶縁性が強化される。また、請求
項４記載の発明のように、絶縁材層（Ｒ）を接着性を持
たせ、更に、絶縁性シートにより積層体（１）の外周部
を被覆するようにすることにより、一段と絶縁性の強化
を図ることができる。

【００４９】請求項５、請求項７記載の発明は、従来の
積層アクチュエータは、圧電素子（Ｓ）、電歪素子の１
層の厚みが薄くなると、溶接が困難又は不可能となり、
圧電素子としての必要な変位が得られないという問題
点、また、並列接続される電極間距離が短くなるので、
絶縁破壊を生じやすい問題点、更に、所望の電界強度で
駆動する際、高電圧駆動になり、駆動回路に制約がある
という問題点を解決することができる。すなわち、圧電
素子（Ｓ）及び金属薄板（Ｍ）間の厚みを、従来の３倍
にすることができるので、厚みが約１／３の薄い圧電素
子（Ｓ）を使用することが可能となるので、従来、使用
が困難であった約０．１〜０．５ｍｍ程度の圧電素子
（Ｓ）であっても、十分な絶縁性を有して使用すること
ができる。

【００５０】更に、請求項６及び請求項８記載の発明
は、ダミー層（Ｄ１，Ｄ２，…）及び金属電極（Ｎ１，
Ｎ２，…）を備えることにより、４本あるいは６本のリ
ード線（Ｌ）を２本のみとすることができ、より簡易な
構造の積層アクチュエータを提供することができる外、
ダミー層（Ｄ１，Ｄ２，…）を設けたことにより積層ア
クチュエータの機械的強度を増強することができる。請
求項１０記載の発明では、請求項１〜９のいずれかの積
層体（１）の外周部を熱収縮性の絶縁チューブで被覆す
ることにより、更に、絶縁性の強化、防塵保護ができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の積層アクチュエー
タを示す図であり、図（ａ）は、説明図であり、図
（ｂ）は、上面図である。

【図２】図（ａ）は、圧電素子及び金属薄板の部分分解
斜視図であり、図（ｂ）は、組立てた場合の絶縁材層を
被覆する前の部分拡大図である。

【図３】積層体に被覆する絶縁性シートを説明する分解
斜視図である。

【図４】本発明の第２の実施の形態の積層アクチュエー
タを示す図であり、図（ａ）は、圧電素子及び金属薄板
の分解斜視図、図（ｂ）は、組立てた場合の部分拡大図
である。

【図５】図（ａ）は、図４の積層アクチュエータを絶縁
材層で被覆した状態を示す説明図、図（ｂ）は、上面図
である。

【図６】本発明の第３の実施の形態の積層アクチュエー
タを示す図であり、図（ａ）は、圧電素子及び金属薄板
の分解斜視図、図（ｂ）は、組立てた場合の部分拡大図
である。

【図７】図（ａ）は、図４の積層アクチュエータを絶縁
材層で被覆した状態を示す説明図、図（ｂ）は、上面図
である。

【図８】本発明の第４の実施の形態の積層アクチュエー
タを示す図であり、図（ａ）は、積層アクチュエータを
絶縁材層で被覆した状態を示す説明図、図（ｂ）は、上
面図である。

【図９】従来例を示す積層アクチュエータであり、図
（ａ）は、分解斜視図であり、図（ｂ）は、組み立てた
状態を示す斜視図である。

【図１０】従来例を示す側面図である。

【符号の説明】

１ 積層体 Ｓ 圧電素子 Ｅ 金属電極 Ｎ１，Ｎ２ 金属電極 Ｍ，Ｍｎ 金属薄板 Ｐ 突起 Ｔ 絶縁性シート Ｒ 絶縁材層 Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４ 電極群（連絡細帯状電極薄
板） Ｌ リード線 Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３ ダミー層

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 表面及び裏面に金属電極（Ｅ）が全面に
   わたって形成され、電圧が印加されることによって素子
   長が変化する複数の圧電素子（Ｓ）と、該複数の圧電素
   子（Ｓ）の各々の間に挟着され、突起（Ｐ）を有した複
   数の金属薄板（Ｍ）とからなる積層体（１）と、前記突
   起（Ｐ）の折り曲げられた先端部に接合され、各圧電素
   子（Ｓ）と電気的に並列接続され積層方向に長い複数の
   連絡細帯状電極薄板（Ａ１，Ａ２，…）とを有してなる
   積層アクチュエータにおいて、 前記突起（Ｐ）は、前記圧電素子（Ｓ）の外周縁に対し
   て所定の隙間を残すように軸方向に折り曲げられ、前記
   隙間の少なくとも一部分と前記積層体（１）の外周縁に
   おける前記突起（Ｐ）と重なりを持たない部分とを一種
   以上の絶縁材層（Ｒ）で被覆したことを特徴とする積層
   型アクチュエータ。
2. 【請求項２】 請求項１記載の積層アクチュエータにお
   いて、 前記絶縁材層（Ｒ）は複数層からなり、該絶縁材層
   （Ｒ）のうち最表面に被覆されている前記絶縁材層
   （Ｒ）が絶縁性シート（Ｔ）からなることを特徴とする
   積層アクチュエータ。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２記載の積層アクチ
   ュエータにおいて、 前記隙間の少なくとも一部分を被覆している前記絶縁材
   層（Ｒ）は、接着性を有していることを特徴とする積層
   アクチュエータ。
4. 【請求項４】 請求項１又は請求項２記載の積層アクチ
   ュエータにおいて、 前記隙間の少なくとも一部分を絶縁性の接着材で被覆
   し、前記隙間の少なくとも一部分及び前記前記積層体
   （１）の外周縁における前記突起（Ｐ）と重なりを持た
   ない部分の前記絶縁材層（Ｒ）は絶縁性シート（Ｔ）で
   構成されることを特徴とする積層アクチュエータ。
5. 【請求項５】 請求項１〜請求項４のいずれか記載の積
   層アクチュエータであって、 前記圧電素子（Ｓ）及び金属薄板（Ｍ）の積層総数が各
   々５枚以上である前記積層体（１）の先端から数えて、 １＋４ｎ番目（ｎ＝０、１、２、・・の整数）に位置す
   る前記各金属薄板（Ｍｎ）、すなわち、１、５、９、・
   ・・層目の前記金属薄板（Ｍｎ）を電気的に並列に結線
   した少なくとも１つの第１連絡細帯状電極薄板（Ａ１）
   と、 前記積層体（１）の先端から数えて３＋４ｎ番目（ｎ＝
   ０、１、２、・・の整数）に位置する前記金属薄板（Ｍ
   ｎ）、すなわち、３、７、１１、・・・層目の前記金属
   薄板（Ｍｎ）を電気的に並列に結線した少なくとも１つ
   の第２連絡細帯状電極薄板（Ａ２）と、 前記積層体（１）の先端から数えて２＋４ｎ番目（ｎ＝
   ０、１、２、・・の整数）に位置する前記各金属薄板
   （Ｍｎ）、すなわち、２、６、１０、・・・層目の前記
   金属薄板（Ｍｎ）を電気的に並列に結線した少なくとも
   １つの第３連絡細帯状電極薄板（Ａ３）と、 前記積層体（１）の先端から数えて４＋４ｎ番目（ｎ＝
   ０、１、２、・・の整数）に位置する前記各金属薄板
   （Ｍｎ）、すなわち、４、８、１２、・・・層目の前記
   金属薄板（Ｍｎ）を電気的に並列に結線した少なくとも
   １つの第４連絡細帯状電極薄板（Ａ４）とを備えてな
   り、 前記第１連絡細帯状電極薄板（Ａ１）と前記第２連絡細
   帯状電極薄板（Ａ２）を電気的に接続し、かつ前記第３
   連絡細帯状電極薄板（Ａ３）と前記第４連絡細帯状電極
   薄板（Ａ４）を電気的に接続したことを特徴とする積層
   アクチュエータ。
6. 【請求項６】 請求項５記載の積層アクチュエータにお
   いて、 前記積層体（１）の少なくとも一方の端部に少なくとも
   ２層の絶縁体からなるダミー層（Ｄ１，Ｄ２，…）を設
   け、 その間に少なくとも２つの突起（Ｐ）を有した少なくと
   も２枚の金属電極（Ｎ１，Ｎ２，…）を配し、前記第１
   連絡細帯電極薄板（Ａ１）と前記第２連絡細帯状電極薄
   板（Ａ２）を一方のダミー層（Ｄ１）と接する一方の金
   属電極（Ｎ１）の前記突起（Ｐ）によって接続し、更に
   前記第３連絡細帯状電極薄板（Ａ３）と前記第４連絡細
   帯状電極薄板（Ａ４）を他方のダミー層（Ｄ２）と接す
   る他方の金属電極（Ｎ２）の前記突起（Ｐ）によって接
   続したことを特徴とする積層アクチュエータ。
7. 【請求項７】 請求項１〜請求項４のいずれか記載の積
   層アクチュエータであって、 前記圧電素子（Ｓ）及び金属薄板（Ｍ）の積層総数が各
   々７枚以上である前記積層体（１）の先端から数えて、 １＋６ｎ番目（ｎ＝０、１、２、・・の整数）に位置す
   る前記各金属薄板（Ｍｎ）、すなわち、１、７、１３、
   ・・・層目の前記金属薄板（Ｍｎ）を電気的に並列に結
   線した第１連絡細帯状電極薄板（Ａ１）と、 前記積層体（１）の先端から数えて２＋６ｎ番目（ｎ＝
   ０、１、２、・・の整数）に位置する前記金属薄板（Ｍ
   ｎ）、すなわち、２、８、１４、・・・層目の前記金属
   薄板（Ｍｎ）を電気的に並列に結線した第２連絡細帯状
   電極薄板（Ａ２）と、 前記積層体（１）の先端から数えて３＋６ｎ番目（ｎ＝
   ０、１、２、・・の整数）に位置する前記各金属薄板
   （Ｍｎ）、すなわち、３、９、１５、・・・層目の前記
   金属薄板（Ｍｎ）を電気的に並列に結線した第３連絡細
   帯状電極薄板（Ａ３）と、 前記積層体（１）の先端から数えて４＋６ｎ番目（ｎ＝
   ０、１、２、・・の整数）に位置する前記各金属薄板
   （Ｍｎ）、すなわち、４、１０、１６、・・・層目の前
   記金属薄板（Ｍｎ）を電気的に並列に結線した第４連絡
   細帯状電極薄板（Ａ４）と、 前記積層体（１）の先端から数えて５＋６ｎ番目（ｎ＝
   ０、１、２、・・の整数）に位置する前記各金属薄板
   （Ｍｎ）、すなわち、５、１１、１７、・・・層目の前
   記金属薄板（Ｍｎ）を電気的に並列に結線した第５連絡
   細帯状電極薄板（Ａ５）と、 前記積層体（１）の先端から数えて６＋６ｎ番目（ｎ＝
   ０、１、２、・・の整数）に位置する前記各金属薄板
   （Ｍｎ）、すなわち、６、１２、１８、・・・層目の前
   記金属薄板（Ｍｎ）を電気的に並列に結線した第６連絡
   細帯状電極薄板（Ａ６）とを備えてなり、 前記第１連絡細帯状電極薄板（Ａ１）と前記第３連絡細
   帯状電極薄板（Ａ３）と前記第５連絡細帯状電極薄板
   （Ａ５）とを電気的に接続し、かつ前記第２連絡細帯状
   電極薄板（Ａ２）と前記第４連絡細帯状電極薄板（Ａ
   ４）と前記第６連絡細帯状電極薄板（Ａ６）とを電気的
   に接続したことを特徴とする積層アクチュエータ。
8. 【請求項８】 請求項７記載の積層アクチュエータにお
   いて、 前記積層体（１）の少なくとも一方の端部に少なくとも
   ２層の絶縁体からなるダミー層（Ｄ１，Ｄ２，…）を設
   け、 その間に少なくとも３つの突起（Ｐ）を有した少なくと
   も２枚の金属電極（Ｎ１，Ｎ２，…）を配し、前記第１
   連絡細帯電極薄板（Ａ１）と前記第３連絡細帯状電極薄
   板（Ａ３）と前記第５連絡細帯状電極薄板（Ａ５）とを
   一方のダミー層（Ｄ１）と接する一方の金属電極（Ｎ
   １）の前記突起（Ｐ）によって接続し、更に前記第２連
   絡細帯状電極薄板（Ａ２）と前記第４連絡細帯状電極薄
   板（Ａ４）と前記第６連絡細帯状電極薄板（Ａ６）とを
   他方のダミー層（Ｄ２）と接する他方の金属電極（Ｎ
   ２）の前記突起（Ｐ）によって接続したことを特徴とす
   る積層アクチュエータ。
9. 【請求項９】 請求項１〜請求項８のいずれか記載の積
   層アクチュエータにおいて、 前記圧電素子（Ｓ）の厚みが約０．１ｍｍ〜約０．５ｍ
   ｍ程度であることを特徴とする積層アクチュエータ。
10. 【請求項１０】 請求項１〜請求項９のいずれか記載の
    積層アクチュエータにおいて、 前記積層体（１）の外周部を熱収縮性の絶縁チューブで
    被覆することを特徴とする積層アクチュエータ。