JPH11207591A - シリンダボアの高精度微細溝加工装置及び加工方法 - Google Patents
シリンダボアの高精度微細溝加工装置及び加工方法Info
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- JPH11207591A JPH11207591A JP10026328A JP2632898A JPH11207591A JP H11207591 A JPH11207591 A JP H11207591A JP 10026328 A JP10026328 A JP 10026328A JP 2632898 A JP2632898 A JP 2632898A JP H11207591 A JPH11207591 A JP H11207591A
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- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
の内面に微細溝を高精度に、かつ効率的に形成すると共
に、インプロセスで加工状態がモニタリングされ、スラ
イシングブレードの異常をタイムリーに、かつ迅速に把
握し得るシリンダボアの高精度微細溝加工装置及び加工
方法を提供する。 【解決手段】XYテーブル2やZ軸に沿って移動するZ
軸部材4をNC制御装置5により自動制御すべく構成さ
れる装置本体1に装着されるシリンダボアの高精度微細
溝加工装置であって、シリンダボアの高精度微細溝加工
装置は、スライシングブレード10の支持軸11を回転
駆動する支持軸駆動機構部12と、これをX軸及び/又
はY軸方向に微動させる電歪素子13と、スライシング
ブレード10の接触や加工時の状態を検出するAEセン
サ14と、スライシングブレード10側とシリンダボア
8との間の間隔を検出する表面位置計測センサ15等と
からなり、スライシングブレード10の第一原点及び加
工原点を求め、所定の切り込み量分だけスライシングブ
レード10を移動させて微細溝9の高精度加工を行う。
Description
軸に沿って移動するZ軸部材をNC制御装置により自動
制御すべく形成される例えば、マシニングセンタのよう
な装置本体に装着され、前記XYテーブル上に載置され
たシリンダブロックのシリンダボアの内面に極薄のスラ
イシングブレードにより高精度微細溝を加工するに好適
なシリンダボアの高精度微細溝加工装置及び加工方法に
関する。
ンダブロックのシリンダボアの内面には微細溝が形成さ
れ、潤滑油を該微細溝内に溜めてピストンリングの摩擦
抵抗を低減する手段が採用されている。この微細溝は、
例えば、溝深さ20μm±5μm程度で溝幅も30乃至
100μm程度の微小のものであり、かつ微細溝の真円
度や複数列の微細溝の形状のバラツキが極めて厳しいバ
ラツキ精度内に保持される必要がある。そのため、従来
から採用されているプラトホーニングやレーザホーニン
グによる微細溝加工では前記精度を保持することは困難
であり、極薄の刃厚を有する円盤状のスライシングブレ
ードを用いた加工方法が採用されている。
シングブレードを用いて微細溝を加工する場合、スライ
シングブレード自体の寸法バラツキの他にシリンダボア
の円筒度や真円度のバラツキもあり、かつシリンダボア
とスライシングブレードとの位置合わせを高精度に行う
ことが必要となる。従って、単にスライシングブレード
をシリンダボアに係合せしめて微細溝を加工しても前記
精度の微細溝を形成することは困難である。また、スラ
イシングブレードは前記のように極薄のものであり、シ
リンダブロックが鋳鉄製のため、外周に砥粒を付着した
円盤状のブレードから形成される。従って、スライシン
グブレードは砥粒の脱落や破損が生じ易く、インプロセ
スにスライシングブレードの形状変化を検出しながら加
工を進めないと高精度の微細溝が加工されないという問
題点がある。また、シリンダブロックには複数個のシリ
ンダボアが穿孔されているため、加工効率を向上するた
めには複数個のシリンダボア,少なくとも2個のシリン
ダボアに同時に微細溝を加工することが必要となる。
ものであり、シリンダボアやスライシングブレードの寸
法バラツキや真円度のバラツキ等に関係なく、常に一定
の形状の微細溝が加工できると共に加工効率の向上が図
れるシリンダボアの高精度微細溝加工装置及び加工方法
を提供することを目的とする。
達成するために、NC制御装置により制御されるXYテ
ーブル及びZ軸に沿って移動するZ軸部材を有する装置
本体に装着され、XY平面と平行に配設される円盤状の
スライシングブレードにより前記XYテーブル上に載置
されるシリンダブロックのシリンダボアに微細溝を加工
するシリンダボアの高精度微細溝加工装置であって、該
加工装置は、前記スライシングブレードに連結される支
持軸を回転駆動する機構部を有する支持軸駆動機構部
と、該支持軸駆動機構部と前記Z軸部材との間に介設さ
れ前記支持軸駆動機構部をX軸及び/又はY軸方向に微
動させる電歪素子と、前記支持軸駆動機構部側に固着さ
れる第1のセンサ及び第2のセンサとを有するものから
なり、前記第1のセンサは前記スライシングブレードの
加工時の状態を検出するセンサからなり、前記第2のセ
ンサは前記スライシングブレードと前記シリンダボアの
内面との間隔を検出するセンサからなり、前記支持軸駆
動機構部,電歪素子,第1のセンサ及び第2のセンサ
は、前記NC制御装置により自動制御されるシリンダボ
アの高精度微細溝加工装置を構成するものである。
シリンダブロックの複数個のシリンダボアに対応して複
数個配設され、複数個の前記シリンダボアに同時に前記
微細溝を加工するものであり、前記スライシングブレー
ドが、前記支持軸に複数枚装着されることを特徴とす
る。
めに、NC制御装置により制御されるXYテーブル及び
Z軸に沿って移動するZ軸部材を有する装置本体に装着
され、前記XYテーブル上に載置されるシリンダブロッ
クのシリンダボアに微細溝を加工すべくXY平面と平行
に配設される円盤状のスライシングブレードと、該スラ
イシングブレードを支持する支持軸を回転駆動する機構
部を有する支持軸駆動機構部と、該支持軸駆動機構部と
前記Z軸部材との間に介設され前記支持軸駆動機構部を
X軸及び/又はY軸方向に微動させる電歪素子と、前記
スライシングブレードの加工時の状態を検出する第1の
センサと、前記スライシングブレードと前記シリンダボ
アの内面との間隔を検出する第2のセンサとを有し、前
記各機構部,電歪素子,第1のセンサ及び第2のセンサ
等が前記NC制御装置により自動制御されるシリンダボ
アの高精度微細溝加工装置により前記シリンダボアの内
面に微細溝を加工するためのシリンダボアの高精度微細
溝加工方法であって、前記スライシングブレードをZ軸
に沿って前記シリンダボア内の第1の微細溝の加工位置
まで下降させる第1の手順と、前記スライシングブレー
ドの外周を前記シリンダボアの内面の任意の4箇所に接
触させ、前記第1のセンサで接触位置を検出しながら前
記スライシングブレードの中心位置を求め、前記4箇所
の前記中心位置から前記シリンダボアの中心点である第
一原点を求める第2の手順と、前記XYテーブル及び電
歪素子を作動して、前記スライシングブレードの中心を
前記第一原点に芯出しする第3の手順と、前記XYテー
ブルを作動し、前記スライシングブレードの外周をシリ
ンダボアの内面に接触させ前記第1のセンサで接触点を
検出し、その状態におけるスライシングブレード側と前
記シリンダボアの内面との間の間隔を求め、この値から
この位置における前記スライシングブレードの中心を加
工原点として求め、前記第2のセンサに前記加工原点を
インプットする第4の手順と、前記加工原点から前記微
細溝の溝深さに対応する切り込み量分だけマイナスさせ
た位置に前記スライシングブレードの中心位置を移動さ
せる第5の手順と、前記第5の手順によって位置決めさ
れた前記スライシングブレードをその位置に固定した状
態でXYテーブルを円弧運動させて前記シリンダボアの
内面の全周に前記微細溝を加工する第6の手順と、前記
第1の微細溝に引き続いて第2の微細溝及びそれ以降の
多数列の微細溝を加工する必要がある場合には、前記ス
ライシングブレードを更に第2の微細溝等に対応する位
置までZ軸方向に移動して前記各手順を繰り返し行う第
7の手順を行うシリンダボアの高精度微細溝加工方法を
特徴とするものである。
制御するNC制御装置により本発明のシリンダボアの高
精度微細溝加工装置を構成する支持軸駆動機構部,電歪
素子,第1のセンサ及び第2のセンサは自動制御され
る。加工物であるシリンダブロックはXYテーブル上に
載置される。支持軸駆動機構部側に装着されるスライシ
ングブレードをまずシリンダボアの中心に位置決めする
ための第一原点が求められる。なお、微動可能な電歪素
子を用いることにより第一原点が正確に求められる。次
に、スライシングブレードをシリンダボアの内面に接触
せしめ、加工原点を求め、更に、これから微細溝の溝深
さ分だけマイナスさせた位置にスライシングブレードを
位置決めする。これ等は電歪素子や第1のセンサ及び第
2のセンサを用いることにより高精度に行われる。この
状態でXYテーブルを円弧運動させシリンダブロックを
回転することによりシリンダボアの内面に微細溝が高精
度に形成される。また、複数列の微細溝を加工するには
第1の微細溝の加工後にスライシングブレードをZ軸方
向に移動位置決めして前記同様な手順を行えばよい。な
お、スライシングブレードを支持軸に複数枚装着するこ
とにより複数列の微細溝を同時に加工することができ
る。また、前記加工方法は複数のシリンダボアに対して
同時に行うことができる。これにより、加工効率の向上
が図れる。
精度微細溝加工装置の実施の形態を図面を参照して詳述
する。本発明のシリンダボアの高精度微細溝加工装置は
NC制御装置により自動制御されるマシニングセンタの
ような装置本体に装着されるものであるが、図1では装
置本体1は概要構造のみが示されている。装置本体1に
はXYテーブル2及びZ軸方向に立設するコラム3と、
コラム3に摺動自在に支持されてZ軸方向に移動するZ
軸部材4が設けられている。また、XYテーブル2及び
Z軸部材4はNC制御装置5により自動制御される。ま
た、NC制御装置5にはパソコン(PC)6が付設さ
れ、制御に必要な各演算を行う。
ル2上には加工品であるシリンダブロック7が図略の位
置決め手段等を介して所定位置に位置決め固定される。
なお、シリンダブロック7には複数個(図示では4個)
のシリンダボア8が穿孔されている。本例のシリンダボ
アの高精度微細溝加工装置は装置本体1に装着され、2
個のシリンダボア8,8に微細溝9(図6)を同時に加
工する構成からなるが、これに限定するものではない。
大別してスライシングブレード10の支持軸11を回転
駆動する支持軸駆動機構部12と、2個の支持軸駆動機
構部12,12とZ軸部材4との間に介設される電歪素
子13と、第1のセンサの1つであるAEセンサ14
と、第2のセンサである表面位置計測センサ15等とか
ら構成される。なお、支持軸駆動機構部12,電歪素子
13,AEセンサ14及び表面位置計測センサ15はそ
れぞれNC制御装置5に連結され、自動制御される。ま
た、支持軸駆動機構部12側にはクーラントノズル16
が設けられ、その噴出口から噴出する冷却油によりスラ
イシングブレード10の刃部の冷却を行う。
結されるケース本体17と、このケース本体17内に収
納され支持軸11を回転駆動する図略の駆動機構部とを
有するものからなる。なお、支持軸11はZ軸方向に軸
線を有するものからなり、その下端には図略の挟持手段
を介してスライシングブレード10が固定される。スラ
イシングブレード10は極薄(30乃至100μm)の
ブレードを外周に形成する円盤状の部材からなる。な
お、切刃部は砥粒からなる。
部12をX軸方向及び/又はY軸方向に高精度に微動さ
せるものであり、ピエゾ素子を用いたものからなる。N
C制御装置5により、移動指令を電歪素子13に入力す
ることにより、スライシングブレード10を所定の位置
に高精度に微動させることができる。なお、電歪素子1
3は公知技術である。
−Emission)センサである。AEとは、工具や
ワーク等の固体の変形及び破壊等に伴って解放されるエ
ネルギーが弾性波(AE波)として伝播する現象をい
い、AEセンサ14はこの弾性波を検出するセンサであ
る。具体的に説明すると、スライシングブレード10が
シリンダボア8の内面に接触するとAE波が発生する
が、前記AEセンサ14はこの接触瞬間を検出するセン
サとして使用される。勿論、AE波は加工中にも生じ、
かつスライシングブレード10の破損時にも発生する。
従って、AEセンサ14を設けることにより、その波形
からスライシングブレード10とシリンダボア8との接
触や正常加工の状態やスライシングブレード10の破壊
状態を検出することができる。なお、本例では検出精度
を考慮して前記AEセンサ14は図1に示すように支持
軸駆動機構部12のケース本体17に装着されている
が、AE波を検出できるならば装置本体1の他のいずれ
の場所でも構わない。
8の内面とスライシングブレード10との関係位置を検
出するものであるが、本例では支持軸11の外周に固着
される。スライシングブレード10と支持軸11との関
係位置は固定されており、支持軸11の外周とスライシ
ングブレード10の外周との寸法関係も既知のため、支
持軸11に表面位置計測センサ15を固定して支持軸1
1の外周とシリンダボア8の内面との間隔h(図5)を
検出することによりシリンダボア8の内面とスライシン
グブレード10との関係寸法を検出することが可能であ
る。勿論、この表面位置計測センサ15は支持軸11以
外の所に装着してもよい。表面位置計測センサ15とし
ては接触式や非接触式の各種のセンサが適用される。接
触式としては、例えば、接触式タッチセンサが挙げら
れ、非接触式としては、非接触高精度レーザ変位計等が
挙げられる。なお、これ等はすべて公知技術であり、説
明を省略する。
溝加工方法を図8のフローチャート及び図2乃至図7を
用いて説明する。前記したように、シリンダブロック7
はXYテーブル2上の所定位置に載置される。図2に示
すように、本例では第1乃至第4の4個のシリンダボア
8を有するシリンダブロック7の第1及び第3のシリン
ダボア8,8に微細溝9,9を同時に加工し、次に、第
2及び第4のシリンダボア8,8に微細溝9,9を同時
に加工する方法を採用する。従って、2個のシリンダボ
ア8,8に対応して支持軸駆動機構部12,12が配設
されるが、それぞれのシリンダボア8,8に対する加工
方法は同一のため以下の説明では1個の支持軸駆動機構
部12によるシリンダボア8の微細溝加工に絞って加工
方法を説明する。
させ、支持軸駆動機構部12の支持軸11の中心とシリ
ンダボア8の中心を概略一致させ、Z軸部材4をZ軸に
沿って下降させ、スライシングブレード10を第1の微
細溝9の加工位置に位置決めする(ステップ100)。
次に、図3に示すように、スライシングブレード10の
外周をシリンダボア8の内面の任意の4箇所に接触させ
る。図示では4等分された位置においてスライシングブ
レード10はシリンダボア8の内面に接しているが勿論
これに限定するものではない。スライシングブレード1
0をシリンダボア8の内面に接触させるにはXYテーブ
ル2をX軸及び/又はY軸方向に移動させると共に電歪
素子13によるX軸及び/又はY軸方向の微動によって
行う。また、接触したか否かの検出はAEセンサ14の
AE波の検出により正確に行われる。4箇所におけるス
ライシングブレード10の中心点を求めることによりシ
リンダボア8の中心が正確にPC6等により演算され、
第一原点(図3のOで示す)が求められる(ステップ1
01)。次に、スライシングブレード10を第一原点に
芯出し位置決めする(ステップ102)。この場合、電
歪素子13による微調整を行う。
ブル2をX軸又はY軸方向に移動し、スライシングブレ
ード10の外周をシリンダボア8の内面に接触させて加
工原点を求め、この位置を表面位置計測センサ15にイ
ンプットする(ステップ103)。なお、スライシング
ブレード10とシリンダボア8の接触はAEセンサ14
により正確に検出される。また、図5に示すように、支
持軸11に固定された表面位置計測センサ15により間
隔hが正確に求められ、支持軸11とスライシングブレ
ード10とは所定の関係位置にあるため、間隔hを求め
ることにより加工原点が正確に求められる。
さδに相当する分だけ加工原点を移動する。すなわち、
表面位置計測センサ15にインプットされた値から溝深
さδに相当する切り込み量をマイナスさせた位置にスラ
イシングブレード10の中心位置を移動させる(ステッ
プ104)。この移動量の確認は表面位置計測センサ1
5による間隔h′(図6)を計測することにより正確に
求められる。
をNC制御装置5によりシリンダボア8の内周に等しい
輪郭18に沿う円弧運動をさせる。これにより、溝深さ
δの微細溝9がシリンダボア8の内周の全周に沿って形
成される(ステップ105)。以上により、第1の微細
溝9の加工が終了する。
かがチェックされ(ステップ106)、必要時(ye
s)にはスライシングブレード10をZ軸方向に移動さ
せ第2の微細溝9に対応する位置にセットする(ステッ
プ107)。勿論この場合、スライシングブレード10
を前記第一原点又は加工原点に戻した上でZ軸方向に移
動させ、以下、ステップ104以下を前記と同様に行え
ばよい。更に、第3,第4・・・の微細溝9を加工する
場合は同様の手順を繰り返し行えばよい。また、微細溝
9の加工完了後に、更に引き続き微細溝の加工が不要の
場合(no)にはエンドとなる。
第1のシリンダボア8のみならず、第3のシリンダボア
8においても同時に進行される。従って、4個のシリン
ダボア8があっても前記の加工手順を2回行うことによ
りシリンダブロック7の全シリンダボア8に微細溝9を
すべて加工することができる。これにより、加工効率の
向上が図れる。また、本発明のシリンダボアの高精度微
細溝加工方法は、前記のように微調整可能な電歪素子1
3とAEセンサ14及び表面位置計測センサ15を用い
て第一原点,加工原点を正確に求めて微細溝9を加工す
るため、極めて高精度な微細溝9を形成することができ
る。
装置ではAEセンサ14を用いているため、スライシン
グブレード10の回転時における異常が正確に把握され
る。すなわち、スライシングブレード10が正常の加工
を行っている場合のAE波を基にし、加工状態をモニタ
リングするとスライシングブレード10の摩耗や破損の
状態がインプロセスで把握される。従って、異常の発生
が直ちに検知されるため、任意の位置に配設されている
ブレードツルーイングやドレスステーションでスライシ
ングブレード10の更新、修理が迅速に行われる。これ
により、常時高精度の微細溝を加工することができる。
グブレード10を装着した場合を示す。各スライシング
ブレード10は挟持手段19により所定位置に固定され
る。以上により、シリンダボア8の内面に複数列の微細
溝9を同時に加工することができ、加工時間の短縮が図
れる。
ボアの高精度微細溝加工装置によれば、微動可能な電歪
素子と、スライシングブレードの位置等を検出し得る第
1及び第2のセンサを採用することにより、シリンダブ
ロックのシリンダボアの内面に高精度の微細溝を自動的
に形成することができる。また、加工が自動制御により
自動的に行われ、加工効率の向上が図れる。また、第1
のセンサを用いることにより加工状態がモニタリングさ
れ、スライシングブレードの加工時における異常がすべ
てインプロセスに迅速に把握され、更新処理等がタイム
リーに行われる。以上により、高精度の微細溝加工がで
きる。 2)本発明の請求項2に記載のシリンダボアの高精度微
細溝加工装置によれば、支持軸駆動機構部が、複数のシ
リンダボアに対応して複数個配設され、同時に複数のシ
リンダボアの内面に微細溝が加工されるため、加工効率
を向上することができる。 3)本発明の請求項3に記載のシリンダボアの高精度微
細溝加工装置によれば、支持軸にスライシングブレード
が複数枚装着されるため、複数列の微細溝を同時に加工
することができ、加工時間の短縮が図れる。 4)本発明の請求項4に記載のシリンダボアの高精度微
細溝加工方法によれば、電歪素子や第1及び第2のセン
サを用いて第一原点や加工原点を求めて切り込み量をコ
ントロールするため、高精度の微細溝を加工することが
できる。
の全体概要構成を示す構成図。
の第1の手順を説明するための模式図。
の第2の手順を説明するための模式図。
の第3及び第4の手順を説明するための模式図。
ード及び表面位置計測センサ等との関係を示す拡大部分
正面図。
の第5の手順を説明するための模式図。
の第6の手順を説明するための模式図。
を説明するためのフローチャート。
を装着した場合を示す模式図。
Claims (4)
- 【請求項1】 NC制御装置により制御されるXYテー
ブル及びZ軸に沿って移動するZ軸部材を有する装置本
体に装着され、XY平面と平行に配設される円盤状のス
ライシングブレードにより前記XYテーブル上に載置さ
れるシリンダブロックのシリンダボアに微細溝を加工す
るシリンダボアの高精度微細溝加工装置であって、該加
工装置は、前記スライシングブレードに連結される支持
軸を回転駆動する機構部を有する支持軸駆動機構部と、
該支持軸駆動機構部と前記Z軸部材との間に介設され前
記支持軸駆動機構部をX軸及び/又はY軸方向に微動さ
せる電歪素子と、前記支持軸駆動機構部側に固着される
第1のセンサ及び第2のセンサとを有するものからな
り、前記第1のセンサは前記スライシングブレードの加
工時の状態を検出するセンサからなり、前記第2のセン
サは前記スライシングブレードと前記シリンダボアの内
面との間隔を検出するセンサからなり、前記支持軸駆動
機構部,電歪素子,第1のセンサ及び第2のセンサは、
前記NC制御装置により自動制御されることを特徴とす
るシリンダボアの高精度微細溝加工装置。 - 【請求項2】 前記支持軸駆動機構部は、シリンダブロ
ックの複数個のシリンダボアに対応して複数個配設さ
れ、複数個の前記シリンダボアに同時に前記微細溝を加
工するものである請求項1に記載のシリンダボアの高精
度微細溝加工装置。 - 【請求項3】 前記スライシングブレードが、前記支持
軸に複数枚装着されるものである請求項1に記載のシリ
ンダボアの高精度微細溝加工装置。 - 【請求項4】 NC制御装置により制御されるXYテー
ブル及びZ軸に沿って移動するZ軸部材を有する装置本
体に装着され、前記XYテーブル上に載置されるシリン
ダブロックのシリンダボアに微細溝を加工すべくXY平
面と平行に配設される円盤状のスライシングブレード
と、該スライシングブレードを支持する支持軸を回転駆
動する機構部を有する支持軸駆動機構部と、該支持軸駆
動機構部と前記Z軸部材との間に介設され前記支持軸駆
動機構部をX軸及び/又はY軸方向に微動させる電歪素
子と、前記スライシングブレードの加工時の状態を検出
する第1のセンサと、前記スライシングブレードと前記
シリンダボアの内面との間隔を検出する第2のセンサと
を有し、前記各機構部,電歪素子,第1のセンサ及び第
2のセンサ等が前記NC制御装置により自動制御される
シリンダボアの高精度微細溝加工装置により前記シリン
ダボアの内面に微細溝を加工するためのシリンダボアの
高精度微細溝加工方法であって、前記スライシングブレ
ードをZ軸に沿って前記シリンダボア内の第1の微細溝
の加工位置まで下降させる第1の手順と、前記スライシ
ングブレードの外周を前記シリンダボアの内面の任意の
4箇所に接触させ、前記第1のセンサで接触位置を検出
しながら前記スライシングブレードの中心位置を求め、
前記4箇所の前記中心位置から前記シリンダボアの中心
点である第一原点を求める第2の手順と、前記XYテー
ブル及び電歪素子を作動して、前記スライシングブレー
ドの中心を前記第一原点に芯出しする第3の手順と、前
記XYテーブルを作動し、前記スライシングブレードの
外周をシリンダボアの内面に接触させ前記第1のセンサ
で接触点を検出し、その状態におけるスライシングブレ
ード側と前記シリンダボアの内面との間の間隔を求め、
この値からこの位置における前記スライシングブレード
の中心を加工原点として求め、前記第2のセンサに前記
加工原点をインプットする第4の手順と、前記加工原点
から前記微細溝の溝深さに対応する切り込み量分だけマ
イナスさせた位置に前記スライシングブレードの中心位
置を移動させる第5の手順と、前記第5の手順によって
位置決めされた前記スライシングブレードをその位置に
固定した状態でXYテーブルを円弧運動させて前記シリ
ンダボアの内面の全周に前記微細溝を加工する第6の手
順と、前記第1の微細溝に引き続いて第2の微細溝及び
それ以降の多数列の微細溝を加工する必要がある場合に
は、前記スライシングブレードを更に第2の微細溝等に
対応する位置までZ軸方向に移動して前記各手順を繰り
返し行う第7の手順を行うことを特徴とするシリンダボ
アの高精度微細溝加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02632898A JP3687324B2 (ja) | 1998-01-26 | 1998-01-26 | シリンダボアの高精度微細溝加工装置及び加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Citations (5)
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1998
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Patent Citations (5)
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