JPH11207752A - 成形金型酸化防止用シートおよびそれを用いた成形金型の酸化防止方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 成形金型放置時の成形金型の合わせ面および
キャビティの酸化を防止し、常に着工を開始することを
可能にする。 【解決手段】 相対的に接近離反可能とされた上プラテ
ン２ａと下プラテン２ｂの対向面に上金型１ａと下金型
１ｂとがそれぞれ固定され、かつ上プラテン２ａおよび
下プラテン２ｂが支柱５に取り付けられるとともに、下
プラテン２ｂの上昇・下降動作が、下プラテン２ｂの下
方においてシリンダラムケース７内に配置されたプレス
シリンダ６の駆動によって行われる成形金型１であり、
この成形金型１の放置時に、耐熱性および耐久性を有し
た成形金型酸化防止用シート８を、上金型１ａと下金型
１ｂとによって型締め時の圧力より遙に低い圧力で挟持
して成形金型１の合わせ面１ｃおよびキャビティ３の酸
化を防止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、モールドを行う成
形金型の酸化防止技術に関し、特に、成形金型放置時に
この成形金型の酸化を防止する成形金型酸化防止用シー
トおよびそれを用いた成形金型の酸化防止方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】以下に説明する技術は、本発明を研究、
完成するに際し、本発明者によって検討されたものであ
り、その概要は次のとおりである。

【０００３】例えば、所定の集積回路（Integrated Cir
cuit）が形成された半導体チップは、リードフレームと
電気的に接続されたうえで、塵埃や湿度などの外的雰囲
気や機械的衝撃からこれを保護するために、成形金型を
用いたモールド工程において樹脂により樹脂封止され
る。

【０００４】なお、半導体チップの封止形態は、低融点
合金やガラスなどにより封着する気密封止と、成形金型
を用いて樹脂により成形封止する樹脂封止（非気密封
止）とに分けられる。このような半導体装置の封止技術
を詳しく記載している例としては、日経ＢＰ社発行、
「実践講座 ＶＬＳＩパッケージング技術（下）」（１
９９３年５月３１日発行）、３１頁〜４０頁がある。

【０００５】また、モールド工程において、半導体装置
が少量多品種生産の場合、生産状況によっては成形金型
の稼動を一時停止させることがある。その際、停止状態
で数時間経過すると、成形金型の表面が酸化し、金型放
置後、約８時間以内で離型性が低下する。

【０００６】このような場合には、クリーニング用樹脂
を用いて成形金型の表面の汚れを落とすなどしてクリー
ニングを行い、これにより、離型性を回復させている。

【０００７】あるいは、半導体チップの搭載されていな
いリードフレーム（以降、ダミーリードフレームと呼
ぶ）を用い、この成形金型により樹脂成形したダミー成
形品を前記成形金型でクランプ（型締め）して密封し、
成形金型の油圧ポンプを停止させてこの密封状態を維持
して離型性の低下を防ぐ方法もある。

【０００８】なお、前記したクリーニング用樹脂を用い
た成形金型のクリーニング方法やダミー成形品を用いた
離型性の低下防止方法については、例えば、特開平９−
７０８５６号公報や特開平８−１３２４４６号公報に記
載されている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところが、前記した技
術において、クリーニング用樹脂を用いる方法では、ク
リーニングの際に、クリーニング用樹脂を成形金型内に
充填する必要があり、その結果、封止用樹脂からクリー
ニング用樹脂への交換作業が発生し、この交換作業に手
間が掛かることが問題とされる。

【００１０】したがって、成形金型の放置状態から着工
に移ろうとしても、クリーニング用樹脂を用いたクリー
ニングには時間がかかるため、直ぐには着工に移れない
ことが問題とされる。

【００１１】また、成形金型の放置時に、ダミー成形品
を用いて型締めを行う方法では、型締めによる（高圧ク
ランプ）大きな負荷が、常時、成形金型の部品（例え
ば、成形機のパッキンやＯリングなどのシリンダ用弾性
部材、もしくは、プレスオイル、あるいは、サポートピ
ンや弾性ピンなどの金型補助部品）に掛かるため、前記
部品が消耗したり劣化したりして損傷に至ることが問題
とされる。

【００１２】本発明の目的は、成形金型放置時の合わせ
面およびキャビティの酸化を防止し、常に着工を開始す
ることができる成形金型酸化防止用シートおよびそれを
用いた成形金型の酸化防止方法を提供することにある。

【００１３】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００１５】すなわち、本発明の成形金型酸化防止用シ
ートは、一対の第１金型と第２金型とからなる成形金型
の酸化防止を行うものであり、耐熱性および耐久性を有
したシート材によって形成され、前記成形金型の放置時
に前記第１金型と前記第２金型とによって型締め時の圧
力より遙に低い圧力で挟持されて前記成形金型の表面を
含むキャビティの酸化防止を行うものである。

【００１６】また、本発明の成形金型の酸化防止方法
は、成形金型酸化防止用シートを用いたものであり、耐
熱性および耐久性を有したシート材によって形成された
前記成形金型酸化防止用シートを準備する工程と、一対
の第１金型と第２金型とからなる成形金型の合わせ面お
よびキャビティに前記成形金型酸化防止用シートを配置
する工程と、前記成形金型酸化防止用シートを前記第１
金型と前記第２金型とによって型締め時の圧力より遙に
低い圧力で挟持する工程と、前記第１金型と前記第２金
型とによって前記低い圧力で前記成形金型酸化防止用シ
ートを挟持した状態で前記成形金型を放置する工程とを
有し、前記成形金型酸化防止用シートによって前記成形
金型の合わせ面およびキャビティの酸化を防止するもの
である。

【００１７】これにより、放置時（長時間待機時）の成
形金型の合わせ面およびキャビティの酸化を防止するこ
とができるとともに、その際、型締め時の圧力より遙に
低い圧力で成形金型酸化防止用シートを挟持することに
より、成形金型の部品の損傷を防ぐことができる。

【００１８】その結果、成形金型の合わせ面およびキャ
ビティの離型性の低下を防止することができ、かつ放置
状態から着工を開始する際に、成形金型を型開きして成
形金型酸化防止用シートを取り出すだけで、直ぐに着工
を開始することができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。

【００２０】図１は本発明の実施の形態における成形金
型酸化防止用シートの構造の一例を示す斜視図、図２は
本発明の実施の形態における成形金型の酸化防止方法の
一例を示す部分断面図である。

【００２１】図２に示す本実施の形態における成形金型
１は、例えば、リードフレーム上に搭載された半導体チ
ップ（図示せず）を樹脂封止するために用いられるもの
であり、相対的に接近離反可能とされた上プラテン２ａ
と下プラテン２ｂの対向面には、上金型（第１金型）１
ａと下金型（第２金型）１ｂとがそれぞれ固定されてい
る。なお、本実施の形態の成形金型１では、上側に設け
られた上プラテン２ａが固定式のものであり、下側に設
けられた下プラテン２ｂが可動式のものであが、これに
限定されるものではなく、両プラテンとも可動式のもの
であってもよく、また、上プラテン２ａが可動式で、下
プラテン２ｂが固定式のものであってもよい。

【００２２】したがって、本実施の形態の成形金型１で
は、下プラテン２ｂの上昇動作により、上下のプラテン
２ａ，２ｂが接近し、かつ、下プラテン２ｂの下降動作
により、上下のプラテン２ａ，２ｂが離反する。

【００２３】これにより、上プラテン２ａと下プラテン
２ｂとの相対的な接近離反動作によって、この上金型１
ａと下金型１ｂとの密着および分離が行われる。

【００２４】なお、上プラテン２ａおよび下プラテン２
ｂは、支柱５に取り付けられ、さらに、下プラテン２ｂ
の上昇・下降動作は、下プラテン２ｂの下方でシリンダ
ラムケース７内に配置されたプレスシリンダ６の駆動に
よって行われる。

【００２５】ここで、プレスシリンダ６は油圧によって
動作させるものであり、オイルタンク１１に貯蔵された
作動油１２を油圧ポンプ９によってシリンダラムケース
７内に供給し、この際の油圧によってプレスシリンダ６
を押し上げ、これにより、下プラテン２ｂを上昇させる
とともに、その逆の動作により、下プラテン２ｂを下降
させるものである。

【００２６】なお、プレスシリンダ６の外周には、複数
個のリング状のシリンダパッキン１３が設けられ、この
シリンダパッキン１３がシリンダラムケース７の内壁と
密着していることにより、作動油１２の漏れを防いでい
る。

【００２７】また、上金型１ａおよび下金型１ｂには、
それぞれキャビティブロック１ｄ（上側）とキャビティ
ブロック１ｅ（下側）とが設置され、さらに、上金型１
ａと下金型１ｂとの合わせ面１ｃ、すなわちキャビティ
ブロック１ｄとキャビティブロック１ｄとの合わせ面１
ｃには、前記半導体チップが配置されかつこの半導体チ
ップを封止する樹脂封止部の形状に応じたキャビティ３
が複数箇所に形成されている。

【００２８】さらに、上金型１ａの中央部には、封止用
樹脂が注入されるシリンダ状のポット４が貫通して形成
され、このポット４内には前記封止用樹脂を押し出すプ
ランジャ１０が配置されている。

【００２９】なお、このポット４に対応する下金型１ｂ
の中央部には図示しないカルが刻設され、さらに、前記
カルからは、前記した複数のキャビティ３に連通された
複数のランナおよび前記カルが分岐して形成されてい
る。

【００３０】また、キャビティブロック１ｄ，１ｅ内に
は、キャビティブロック１ｄ，１ｅを補助的に小さな荷
重で加圧して樹脂バリの発生を防止する複数本の弾性ピ
ン１ｇが設けられ、さらに、上金型１ａおよび下金型１
ｂ内には、型締め時に金型全体に均等に荷重を掛けるた
めの複数個の補助ピンであるサポートピーラ１ｆが設け
られている。

【００３１】次に、図１および図２を用いて、図１に示
す本実施の形態の成形金型酸化防止用シート８について
説明する。

【００３２】前記成形金型酸化防止用シート８は、図２
に示す成形金型１の酸化防止を行うものであり、耐熱性
および耐久性を有したシート材によって形成されるとと
もに、成形金型１の放置時（未使用時または長期待機
時）に、図２に示すように上金型１ａと下金型１ｂとの
間に配置され、かつ上金型（第１金型）１ａと下金型
（第２金型）１ｂとによって型締め時の圧力より遙に低
い圧力で挟持され、これにより、成形金型１の表面と内
部（表面および合わせ面１ｃを含むキャビティ３）の酸
化防止を行うものである。

【００３３】なお、成形金型酸化防止用シート８は、例
えば、耐熱性のゴム（弾性）部材、耐熱樹脂（２００℃
以上の耐熱性を有したもの）、フッ素樹脂（２００℃以
上の耐熱性を有し、かつシリコーンゴムと混合したも
の）、紙、コットン紙、布または不織布などからなる収
縮可能なシート材によって形成されている。

【００３４】その際の成形金型酸化防止用シート８の耐
熱性を表す耐熱温度は、上金型１ａおよび下金型１ｂの
温度が１７０〜１８０℃付近まで上昇するため、２００
℃以上であることが好ましい。

【００３５】さらに、成形金型酸化防止用シート８は、
成形金型１をモールドとして使用していない間（稼動停
止中）、比較的長時間（例えば、１日〜１週間程度）使
用するものであるため、その耐久性を表す耐久時間とし
ては、少なくとも２４時間以上であることが好ましい。

【００３６】また、成形金型酸化防止用シート８の大き
さは、その厚さが、型開き時の上金型１ａと下金型１ｂ
との間の距離よりも厚いものであり、例えば、１００〜
２００ｍｍ程度であるとともに、面積は、上金型１ａお
よび下金型１ｂの合わせ面１ｃとキャビティ３とを充分
に覆う程度のものである。

【００３７】したがって、成形金型１の上金型１ａと下
金型１ｂとによって成形金型酸化防止用シート８を挟持
した際には、成形金型酸化防止用シート８を全てのキャ
ビティ３を含む合わせ面１ｃの全域と接触させることが
できる。

【００３８】なお、成形金型酸化防止用シート８の大き
さについては、前記した大きさに限定されるものではな
く、成形金型１の大きさによって種々変更可能であるこ
とは言うまでもない。

【００３９】さらに、本実施の形態の成形金型酸化防止
用シート８は、溶剤や薬品が含浸されていないものであ
るが、必要に応じて、酸化防止機能を有する溶剤や薬品
が含浸されているものであってもよい。

【００４０】ここで、本実施の形態の成形金型酸化防止
用シート８が、上金型１ａと下金型１ｂとによって挟持
される際の荷重について説明する。

【００４１】前記成形金型酸化防止用シート８は、図２
に示すように上金型１ａと下金型１ｂとによって型締め
時（樹脂封止時の型締め時）の圧力より遙に低い圧力で
挟持されて使用する（このような低圧によるクランプ
を、以降、ソフトクランプと呼ぶ）ものである。

【００４２】本実施の形態の成形金型１の場合、油圧ポ
ンプ９によって下プラテン２ｂを上昇させて下金型１ｂ
を移動させるものであるため、成形金型酸化防止用シー
ト８を前記ソフトクランプによって挟持する際には、下
プラテン２ｂを僅か（微量）に上昇させる程度の低圧を
掛ければ良い。

【００４３】つまり、下プラテン２ｂを僅かに上昇させ
る程度の油圧を油圧ポンプ９からプレスシリンダ６に対
して掛け、これにより、下プラテン２ｂを僅かに上昇さ
せる。

【００４４】ただし、下プラテン２ｂの僅かな上昇とは
微量であるため、実際には、プレスシリンダ６がストロ
ークエンドの周辺つまりプレスシリンダ６がほとんど上
昇しない位置であり、作動油１２がオイルタンク１１に
戻っている状態が望ましく、下プラテン２ｂを微量だけ
上昇させて上金型１ａと下金型１ｂとによって成形金型
酸化防止用シート８を挟んだ後、油圧ポンプ９の動作も
停止しておく。

【００４５】なお、下プラテン２ｂの僅かな上昇によっ
て、図２に示すように、上金型１ａと下金型１ｂとが成
形金型酸化防止用シート８の表裏両面に対してそれぞれ
めり込む状態を形成する必要があり、これにより、上金
型１ａおよび下金型１ｂの合わせ面１ｃとキャビティ３
とを成形金型酸化防止用シート８によって密封した状態
とする。すなわち、成形金型酸化防止用シート８は上金
型１ａと下金型１ｂとによって挟持された際に、その表
裏両面において僅かに縮み（凹み）、上金型１ａおよび
下金型１ｂに対して、それぞれの外周に僅かにオーバー
ラップした状態を形成し、これにより、合わせ面１ｃと
キャビティ３とを成形金型酸化防止用シート８によって
密封した状態とするものである。

【００４６】したがって、上金型１ａと下金型１ｂとが
成形金型酸化防止用シート８の表裏両面に対してそれぞ
れめり込む状態を形成する必要があり、その結果、上金
型１ａと下金型１ｂとがそれぞれ僅かに成形金型酸化防
止用シート８にめり込む程度に下プラテン２ｂを微量だ
け上昇させる荷重（低圧すなわち型締め時の圧力より遙
に低い圧力）をプレスシリンダ６に掛けることになる。

【００４７】次に、本実施の形態による成形金型１の酸
化防止方法について説明する。

【００４８】前記成形金型１の酸化防止方法は、図１に
示す成形金型酸化防止用シート８を用いたものである。

【００４９】まず、耐熱性および耐久性を有したシート
材によって形成された図１に示す成形金型酸化防止用シ
ート８を準備する。

【００５０】その後、一対の上金型１ａと下金型１ｂと
からなり、かつ未使用中（稼動停止中）の図２に示す成
形金型１の合わせ面１ｃおよびキャビティ３にこれらを
覆うようにして成形金型酸化防止用シート８を配置す
る。

【００５１】すなわち、稼動停止中の成形金型１の型開
きを行い、図２に示すように、上金型１ａと下金型１ｂ
との間において、下金型１ｂの合わせ面１ｃおよびキャ
ビティ３上に成形金型酸化防止用シート８を配置（載
置）する。

【００５２】続いて、成形金型酸化防止用シート８を上
金型１ａと下金型１ｂとによって型締め時の圧力より遙
に低い圧力で挟持する。

【００５３】つまり、上金型１ａと下金型１ｂとによっ
て成形金型酸化防止用シート８をソフトクランプする。

【００５４】その際、まず、下プラテン２ｂを僅か（微
量）に上昇させる程度の油圧を油圧ポンプ９からプレス
シリンダ６に対して掛け、これにより、下プラテン２ｂ
を微量だけ上昇させ、下金型１ｂ上の成形金型酸化防止
用シート８が上金型１ａの表面に接するまで下プラテン
２ｂを上昇させる。

【００５５】その結果、上金型１ａと下金型１ｂとによ
って挟まれた成形金型酸化防止用シート８がその表裏両
面において僅かに縮む（凹む）位置で下プラテン２ｂの
上昇を停止させる。

【００５６】これにより、成形金型酸化防止用シート８
は、上金型１ａおよび下金型１ｂに対して、それぞれの
外周に僅かにオーバーラップした状態を形成し、その結
果、成形金型１の合わせ面１ｃとキャビティ３とを成形
金型酸化防止用シート８によって密封した状態とする。

【００５７】なお、実際には、下プラテン２ｂの上昇は
微量であるため、プレスシリンダ６がストロークエンド
の周辺つまりプレスシリンダ６がほとんど上昇しない位
置であり、この際、作動油１２がオイルタンク１１に戻
っている状態が望ましい。

【００５８】続いて、油圧ポンプ９の動作を停止して、
下プラテン２ｂの微量な上昇を停止させる。

【００５９】その後、上金型１ａと下金型１ｂとによっ
て前記低い圧力で成形金型酸化防止用シート８を挟持し
た状態（ソフトクランプ状態）、すなわち、上金型１ａ
と下金型１ｂとによって成形金型酸化防止用シート８を
挟んでその合わせ面１ｃおよびキャビティ３を成形金型
酸化防止用シート８によって密封した状態で、次着工ま
で成形金型１を放置する。

【００６０】これにより、次着工まで、成形金型酸化防
止用シート８によって成形金型１の合わせ面１ｃおよび
キャビティ３に対して空気が触れるのを防ぐことがで
き、その結果、合わせ面１ｃおよびキャビティ３の酸化
を防止することができる。

【００６１】本実施の形態の成形金型酸化防止用シート
および成形金型の酸化防止方法によれば、以下のような
作用効果が得られる。

【００６２】すなわち、成形金型酸化防止用シート８が
耐熱性および耐久性を有したシート材によって形成さ
れ、かつ成形金型１の放置時に、上金型１ａと下金型１
ｂとによって成形金型酸化防止用シート８を挟持するこ
とにより、放置時（長時間待機時）の成形金型１の合わ
せ面１ｃおよびキャビティ３の酸化を防止することがで
きるとともに、その際、型締め時の圧力より遙に低い圧
力（ソフトクランプ）で成形金型酸化防止用シート８を
挟持することにより、成形金型１の部品（例えば、プレ
スシリンダ６のシリンダパッキン１３やＯリングなどの
シリンダ用弾性部材やプレスオイル、あるいは、サポー
トピーラ１ｆや弾性ピン１ｇなどの金型補助部品、また
は油圧機器など）の損傷を防ぐことができる。

【００６３】その結果、成形金型１の合わせ面１ｃおよ
びキャビティ３の離型性の低下を防止することができる
とともに、成形金型１の放置状態から着工を開始する際
に、成形金型１を型開きして成形金型酸化防止用シート
８を取り出すだけで、直ぐに着工を開始することができ
る。

【００６４】したがって、半導体装置などの着工品が少
量多品種生産の場合に、一度中断していた着工を再開す
る際にも、直ぐに着工を開始することができる。

【００６５】その結果、製品のターンアラウンドタイム
を向上できる。

【００６６】また、成形金型酸化防止用シート８が耐熱
性および耐久性を有したシート材によって形成されてい
ることにより、成形金型酸化防止用シート８の熱による
経時変化を防ぐことができる。

【００６７】これにより、成形金型酸化防止用シート８
を繰り返して複数回使用することが可能になる。

【００６８】また、成形金型酸化防止用シート８を用い
ることにより、成形金型１の合わせ面１ｃおよびキャビ
ティ３の酸化を防止することができ、これにより、クリ
ーニング用樹脂を用いた成形金型１のクリーニング作業
を省くことができる。このクリーニング作業は１回当た
り１時間程度要するため、このクリーニング作業を省く
ことができるのは、非常に有効である。

【００６９】その結果、モールド工程の作業効率を向上
できる。

【００７０】なお、樹脂封止の際には、上金型１ａおよ
び下金型１ｂは、１７０〜１８０℃程度まで加熱される
ため、シリンダ内のオイルが高温になり、前記クリーニ
ング用樹脂を用いて繰り返してクリーニング作業を行う
とプレスシリンダ６のシリンダパッキン１３やＯリング
などのシリンダ用弾性部材が劣化して損傷する。

【００７１】したがって、この点からも前記クリーニン
グ用樹脂を用いない本実施の形態の酸化防止方法は有効
である。

【００７２】さらに、ダミーリードフレームを用いたダ
ミー成形品１４（図３参照）と成形金型酸化防止用シー
ト８とを使用した場合などには一層気密性があり、その
結果、成形金型１の酸化を防止できる。

【００７３】これにより、クリーニングの作業を省くこ
とができ、したがって、モールド工程における経済性を
向上できる。

【００７４】以上、本発明者によってなされた発明を発
明の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は
前記発明の実施の形態に限定されるものではなく、その
要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言う
までもない。

【００７５】例えば、前記実施の形態における成形金型
１は、半導体チップを樹脂封止するためのものである
が、これに限定されるものではなく、他の種々の射出成
形用、トランスファーモールド用の成形金型１に適用す
ることが可能である。

【００７６】また、前記実施の形態の成形金型１の酸化
防止方法では、ダミー成形品１４を用いない方法につい
て説明したが、図３に示す他の実施の形態の酸化防止方
法のように、ダミー成形品１４を用いてもよい。

【００７７】ここで、図３に示す酸化防止方法は、この
成形金型１によってダミーリードフレームを樹脂成形し
て形成したダミー成形品１４を用いるものであり、ま
ず、この成形金型１により樹脂成形されたダミー成形品
１４を準備する。

【００７８】さらに、厚さ１０μｍ程度の耐熱性を有し
たポリイミドフィルムなどの薄膜耐熱シート１５を準備
する。

【００７９】その後、成形金型酸化防止用シート８の表
裏両面側において上金型１ａおよび下金型１ｂのキャビ
ティ３にダミー成形品１４を配置し、さらに、この両側
に配置したそれぞれのダミー成形品１４の外側に薄膜耐
熱シート１５を配置する。

【００８０】したがって、上金型１ａと下金型１ｂとに
よって成形金型酸化防止用シート８を挟持する際に、上
金型１ａおよび下金型１ｂのそれぞれの各キャビティ３
に薄膜耐熱シート１５を介してダミー成形品１４を配置
し、これにより、成形金型酸化防止用シート８の表裏両
面側にこのダミー成形品１４を配置させて、ダミー成形
品１４を介して成形金型酸化防止用シート８を挟持する
ものである。

【００８１】図３に示す酸化防止方法によれば、上金型
１ａおよび下金型１ｂのそれぞれのキャビティ３に薄膜
耐熱シート１５を介してダミー成形品１４を配置したこ
とにより、薄膜耐熱シート１５がパッキンの役目を成し
かつダミー成形品１４によって各キャビティ３の隅々ま
で密封することができるため、その結果、成形金型１の
酸化防止効果をさらに向上させることができる。

【００８２】また、図４に示す他の実施の形態の酸化防
止方法は、成形金型酸化防止用シート８として多数の細
孔８ａを有した多孔質シートを用いるものである。

【００８３】まず、前記多孔質シートである成形金型酸
化防止用シート８を準備し、その後、成形金型酸化防止
用シート８を上金型１ａと下金型１ｂとによって前記低
い圧力（ソフトクランプ）で挟持するとともに、ドライ
エアーまたはＮ₂ ガスなどの酸化防止用気体１８を成形
金型酸化防止用シート８内に供給することにより、外方
からの成形金型酸化防止用シート８内への空気の侵入を
阻止して成形金型１の酸化を防止するものである。

【００８４】なお、図４に示す酸化防止方法において
は、酸化防止用気体１８を成形金型酸化防止用シート８
内に供給する際には、調節弁１６により酸化防止用気体
１８の流量を微量に調節しながらガス供給手段１７から
ガス導入口１９を介して成形金型酸化防止用シート８内
に酸化防止用気体１８を供給する。

【００８５】図４に示す酸化防止方法によれば、成形金
型１を放置している間、成形金型酸化防止用シート８内
に酸化防止用気体１８を微量供給するため、前記同様、
成形金型１の酸化防止効果をさらに向上させることがで
きる。

【００８６】なお、前記実施の形態および前記他の実施
の形態における成形金型酸化防止用シート８は、その廃
棄処理の容易性を考慮すると、燃焼や溶解が容易な材質
で形成されているものが望ましい。

【００８７】また、前記実施の形態および前記他の実施
の形態においては、成形金型１において第１金型が上金
型１ａで、かつ第２金型が下金型１ｂの場合を説明した
が、第１金型が下金型１ｂで、第２金型が上金型１ａで
あってもよい。

【００８８】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００８９】（１）．成形金型の放置時に、第１金型と
第２金型とによって耐熱性および耐久性を有した成形金
型酸化防止用シートを挟持することにより、放置時の成
形金型の合わせ面およびキャビティの酸化を防止するこ
とができるとともに、その際、型締め時の圧力より遙に
低い圧力で成形金型酸化防止用シートを挟持することに
より、成形金型の部品の損傷を防ぐことができる。その
結果、成形金型の合わせ面およびキャビティの離型性の
低下を防止することができ、かつ放置状態から着工を開
始する際に、成形金型を型開きして成形金型酸化防止用
シートを取り出すだけで、直ぐに着工を開始することが
できる。

【００９０】（２）．前記（１）により、半導体装置な
どの着工品が少量生産の場合などに、一度中断していた
着工を再開する際にも、直ぐに着工することができる。
その結果、製品のターンアラウンドタイムを向上でき
る。

【００９１】（３）．成形金型酸化防止用シートが耐熱
性および耐久性を有したシート材によって形成されてい
ることにより、成形金型酸化防止用シートの熱による経
時変化を防ぐことができる。これにより、成形金型酸化
防止用シートを繰り返して複数回使用することができ
る。

【００９２】（４）．前記（１）により、成形金型の合
わせ面およびキャビティの酸化を防止することができ、
これにより、クリーニング用樹脂を用いた成形金型のク
リーニング作業を省くことができる。その結果、モール
ド工程の作業効率を向上できる。

【００９３】（５）．ダミーリードフレームを用いたダ
ミー成形品を使用せずに成形金型の酸化を防止できるた
め、クリーニング用樹脂やダミーリードフレームを不要
にすることができる。これにより、モールド工程におけ
る経済性を向上できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態における成形金型酸化防止
用シートの構造の一例を示す斜視図である。

【図２】本発明の実施の形態における成形金型の酸化防
止方法の一例を示す部分断面図である。

【図３】本発明の他の実施の形態である成形金型の酸化
防止方法を示す拡大部分断面図である。

【図４】本発明の他の実施の形態である成形金型の酸化
防止方法を示す拡大部分断面図である。

【符号の説明】

１ 成形金型 １ａ 上金型（第１金型） １ｂ 下金型（第２金型） １ｃ 合わせ面 １ｄ，１ｅ キャビティブロック １ｆ サポートピーラ １ｇ 弾性ピン ２ａ 上プラテン ２ｂ 下プラテン ３ キャビティ ４ ポット ５ 支柱 ６ プレスシリンダ ７ シリンダラムケース ８ 成形金型酸化防止用シート ８ａ 細孔 ９ 油圧ポンプ １０ プランジャ １１ オイルタンク １２ 作動油 １３ シリンダパッキン １４ ダミー成形品 １５ 薄膜耐熱シート １６ 調節弁 １７ ガス供給手段 １８ 酸化防止用気体 １９ ガス導入口

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一対の第１金型と第２金型とからなる成
   形金型の酸化防止を行う成形金型酸化防止用シートであ
   って、耐熱性および耐久性を有したシート材によって形
   成され、前記成形金型の放置時に前記第１金型と前記第
   ２金型とによって型締め時の圧力より遙に低い圧力で挟
   持されて前記成形金型の表面を含むキャビティの酸化防
   止を行うことを特徴とする成形金型酸化防止用シート。
2. 【請求項２】 請求項１記載の成形金型酸化防止用シー
   トであって、フッ素樹脂、耐熱樹脂、紙またはコットン
   紙によって形成されていることを特徴とする成形金型酸
   化防止用シート。
3. 【請求項３】 請求項１または２記載の成形金型酸化防
   止用シートであって、前記耐熱性を表す耐熱温度が２０
   ０℃以上であることを特徴とする成形金型酸化防止用シ
   ート。
4. 【請求項４】 請求項１，２または３記載の成形金型酸
   化防止用シートであって、前記耐久性を表す耐久時間が
   ２４時間以上であることを特徴とする成形金型酸化防止
   用シート。
5. 【請求項５】 請求項１，２，３または４記載の成形金
   型酸化防止用シートを用いた成形金型の酸化防止方法で
   あって、 耐熱性および耐久性を有したシート材によって形成され
   た前記成形金型酸化防止用シートを準備する工程と、 一対の第１金型と第２金型とからなる成形金型の合わせ
   面およびキャビティに前記成形金型酸化防止用シートを
   配置する工程と、 前記成形金型酸化防止用シートを前記第１金型と前記第
   ２金型とによって型締め時の圧力より遙に低い圧力で挟
   持する工程と、 前記第１金型と前記第２金型とによって前記低い圧力で
   前記成形金型酸化防止用シートを挟持した状態で前記成
   形金型を放置する工程とを有し、 前記成形金型酸化防止用シートによって前記成形金型の
   合わせ面およびキャビティの表面の酸化を防止すること
   を特徴とする成形金型の酸化防止方法。
6. 【請求項６】 請求項５記載の成形金型の酸化防止方法
   であって、前記成形金型酸化防止用シートを前記第１金
   型と前記第２金型とによって挟持する際に、前記成形金
   型酸化防止用シートの表裏両面に薄膜耐熱シートを配置
   し、前記薄膜耐熱シートを介して前記成形金型酸化防止
   用シートを挟持することを特徴とする成形金型の酸化防
   止方法。
7. 【請求項７】 請求項５または６記載の成形金型の酸化
   防止方法であって、ダミーリードフレームを用いて前記
   成形金型により樹脂成形されたダミー成形品を準備し、
   前記成形金型酸化防止用シートを前記第１金型と前記第
   ２金型とによって挟持する際に、前記成形金型酸化防止
   用シートの表裏両面側において前記第１金型および前記
   第２金型のキャビティに前記第１および第２金型によっ
   て形成した前記ダミー成形品を配置し、前記ダミー成形
   品を介して前記成形金型酸化防止用シートを挟持するこ
   とを特徴とする成形金型の酸化防止方法。
8. 【請求項８】 請求項５記載の成形金型の酸化防止方法
   であって、前記成形金型酸化防止用シートとして多孔質
   シートを準備し、前記成形金型酸化防止用シートである
   多孔質シートを前記第１金型と前記第２金型とによって
   前記低い圧力で挟持するとともに、ドライエアーなどの
   酸化防止用気体を前記多孔質シート内に供給することに
   より、外方からの成形金型酸化防止用シート内への空気
   の侵入を阻止して前記成形金型の酸化を防止することを
   特徴とする成形金型の酸化防止方法。