JPH11209871A - 箔の連続製造装置 - Google Patents
箔の連続製造装置Info
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- JPH11209871A JPH11209871A JP1055898A JP1055898A JPH11209871A JP H11209871 A JPH11209871 A JP H11209871A JP 1055898 A JP1055898 A JP 1055898A JP 1055898 A JP1055898 A JP 1055898A JP H11209871 A JPH11209871 A JP H11209871A
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- endless belt
- crucible
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- vapor deposition
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 圧延限界以下の厚さの箔を製造し得るように
する。 【解決手段】 真空チャンバ１の内部に蒸着材料２を収
容するルツボ３を配設し、該ルツボ３内部の蒸着材料２
を溶融して金属蒸気４を発生させる加熱装置５を設け、
更に、ルツボ３上に無端状ベルト１１を移動自在に配設
すると共に、無端状ベルト１１の表面に形成された箔１
３を巻取る巻取機１４を設けるようにしている。
する。 【解決手段】 真空チャンバ１の内部に蒸着材料２を収
容するルツボ３を配設し、該ルツボ３内部の蒸着材料２
を溶融して金属蒸気４を発生させる加熱装置５を設け、
更に、ルツボ３上に無端状ベルト１１を移動自在に配設
すると共に、無端状ベルト１１の表面に形成された箔１
３を巻取る巻取機１４を設けるようにしている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、箔の連続製造装置
に関するものであり、より詳しくは、圧延限界以下の厚
さの箔を製造し得るようにした箔の連続製造装置に関す
るものである。
に関するものであり、より詳しくは、圧延限界以下の厚
さの箔を製造し得るようにした箔の連続製造装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】工業用や家庭用などに、アルミ箔や銅箔
などの様々な箔が使用されている。
などの様々な箔が使用されている。
【０００３】上記アルミ箔や銅箔などの箔は、従来、圧
延によって製造されている。
延によって製造されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の圧延による箔の製造手段には、製造できる箔の厚さ
に限界があり、１０μｍ程度以上の厚い箔しか製造でき
ないという問題があった。
来の圧延による箔の製造手段には、製造できる箔の厚さ
に限界があり、１０μｍ程度以上の厚い箔しか製造でき
ないという問題があった。
【０００５】本発明は、上述の実情に鑑み、圧延限界以
下の厚さの箔を製造し得るようにした箔の連続製造装置
を提供することを目的とするものである。
下の厚さの箔を製造し得るようにした箔の連続製造装置
を提供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、真空チャンバ
の内部に蒸着材料を収容するルツボを配設し、該ルツボ
内部の蒸着材料を溶融して金属蒸気を発生させる加熱装
置を設け、更に、ルツボ上に無端状ベルトを移動自在に
配設すると共に、無端状ベルトの表面に形成された箔を
巻取る巻取機を設けたことを特徴とする箔の連続製造装
置にかかるものである。
の内部に蒸着材料を収容するルツボを配設し、該ルツボ
内部の蒸着材料を溶融して金属蒸気を発生させる加熱装
置を設け、更に、ルツボ上に無端状ベルトを移動自在に
配設すると共に、無端状ベルトの表面に形成された箔を
巻取る巻取機を設けたことを特徴とする箔の連続製造装
置にかかるものである。
【０００７】この場合において、無端状ベルトを、冷却
ドラムに移動自在に巻掛けるようにしても良い。
ドラムに移動自在に巻掛けるようにしても良い。
【０００８】上記手段によれば、以下のような作用が得
られる。
られる。
【０００９】真空チャンバ内部に設けられたルツボに蒸
着材料を収容し、真空チャンバ内部を真空引きする。
着材料を収容し、真空チャンバ内部を真空引きする。
【００１０】この状態で、加熱装置を用いてルツボ内部
の蒸着材料を溶融し金属蒸気を発生させる。
の蒸着材料を溶融し金属蒸気を発生させる。
【００１１】すると、無端状ベルトの表面に金属蒸気が
蒸着され、蒸着材料の薄膜（箔）が形成される。
蒸着され、蒸着材料の薄膜（箔）が形成される。
【００１２】この状態で、冷却ドラムを駆動して、無端
状ベルトのルツボ上に位置する部分を移動させると、無
端状ベルトの表面には、連続した箔が形成されることに
なる。
状ベルトのルツボ上に位置する部分を移動させると、無
端状ベルトの表面には、連続した箔が形成されることに
なる。
【００１３】無端状ベルトに蒸着した薄膜は、無端状ベ
ルトの表面が特に活性化されておらず、又、無端状ベル
トが冷却ドラムなどによって冷却されているため、容易
に剥離される状態となっているので、無端状ベルトに蒸
着した薄膜を剥離させて巻取機で巻取ることにより、簡
単に箔を得ることが可能となる。
ルトの表面が特に活性化されておらず、又、無端状ベル
トが冷却ドラムなどによって冷却されているため、容易
に剥離される状態となっているので、無端状ベルトに蒸
着した薄膜を剥離させて巻取機で巻取ることにより、簡
単に箔を得ることが可能となる。
【００１４】このように本発明によれば、蒸着によって
箔を形成させているので、圧延限界以下の厚さの箔を製
造することができる。しかも、金属蒸気の発生量や無端
状ベルトの移動量を調節することにより、自由に箔の厚
さを設定することが可能となる。
箔を形成させているので、圧延限界以下の厚さの箔を製
造することができる。しかも、金属蒸気の発生量や無端
状ベルトの移動量を調節することにより、自由に箔の厚
さを設定することが可能となる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
示例と共に説明する。
示例と共に説明する。
【００１６】図１は、本発明の実施の形態の一例であ
る。
る。
【００１７】真空チャンバ１の内部に蒸着材料２を収容
するルツボ３を配設し、該ルツボ３内部の蒸着材料２を
溶融して金属蒸気４を発生させる加熱装置５を設ける。
するルツボ３を配設し、該ルツボ３内部の蒸着材料２を
溶融して金属蒸気４を発生させる加熱装置５を設ける。
【００１８】加熱装置５としては、例えば、ルツボ３内
の蒸着材料２へ向けて電子ビーム６を照射する電子銃７
や、ルツボ３を加熱する抵抗加熱ヒータ８などを用いる
ようにする。
の蒸着材料２へ向けて電子ビーム６を照射する電子銃７
や、ルツボ３を加熱する抵抗加熱ヒータ８などを用いる
ようにする。
【００１９】一対の水平な冷却ドラム９，１０間にスチ
ール製などの無端状ベルト１１を巻掛け、無端状ベルト
１１の下側部分を真空チャンバ１に形成したベルト通過
口１２から真空チャンバ１内のルツボ３上へ通すと共
に、真空チャンバ１外における一方の冷却ドラム９の近
傍に、形成された箔１３を巻取る巻取機１４を設ける。
ール製などの無端状ベルト１１を巻掛け、無端状ベルト
１１の下側部分を真空チャンバ１に形成したベルト通過
口１２から真空チャンバ１内のルツボ３上へ通すと共
に、真空チャンバ１外における一方の冷却ドラム９の近
傍に、形成された箔１３を巻取る巻取機１４を設ける。
【００２０】次に、作動について説明する。
【００２１】真空チャンバ１内部に設けられたルツボ３
に蒸着材料２を収容し、真空チャンバ１内部を真空引き
する。
に蒸着材料２を収容し、真空チャンバ１内部を真空引き
する。
【００２２】この状態で、加熱装置５を用いてルツボ３
内部の蒸着材料２を溶融し金属蒸気４を発生させる。
内部の蒸着材料２を溶融し金属蒸気４を発生させる。
【００２３】具体的には、電子銃７によってルツボ３内
の蒸着材料２へ向けて電子ビーム６を照射したり、或い
は、抵抗加熱ヒータ８でルツボ３を加熱したりする。電
子銃７と抵抗加熱ヒータ８は、少くともどちらか一方が
あれば良いが、両方設けても良い。
の蒸着材料２へ向けて電子ビーム６を照射したり、或い
は、抵抗加熱ヒータ８でルツボ３を加熱したりする。電
子銃７と抵抗加熱ヒータ８は、少くともどちらか一方が
あれば良いが、両方設けても良い。
【００２４】すると、真空チャンバ１に形成したベルト
通過口１２から真空チャンバ１内のルツボ３上へ通され
たスチール製などの無端状ベルト１１の下側部分に金属
蒸気４が蒸着され、蒸着材料２の薄膜（箔１３）が形成
される。
通過口１２から真空チャンバ１内のルツボ３上へ通され
たスチール製などの無端状ベルト１１の下側部分に金属
蒸気４が蒸着され、蒸着材料２の薄膜（箔１３）が形成
される。
【００２５】この状態で、一対の水平な冷却ドラム９，
１０をゆっくり回転すると、無端状ベルト１１のルツボ
３上に位置する部分が移動されるので、無端状ベルト１
１の表面には、連続した箔１３が形成されることにな
る。
１０をゆっくり回転すると、無端状ベルト１１のルツボ
３上に位置する部分が移動されるので、無端状ベルト１
１の表面には、連続した箔１３が形成されることにな
る。
【００２６】ここで、金属の蒸着について考えると、金
属の蒸着では、通常、基板（ここでは無端状ベルト１
１）の温度が低い場合や、基板の表面が活性化されてい
ない場合に、蒸着した薄膜が、容易に剥離してしまうこ
とが問題となっている。
属の蒸着では、通常、基板（ここでは無端状ベルト１
１）の温度が低い場合や、基板の表面が活性化されてい
ない場合に、蒸着した薄膜が、容易に剥離してしまうこ
とが問題となっている。
【００２７】本発明の場合には、無端状ベルト１１は、
表面を特に活性化しておらず、且つ、一対の水平な冷却
ドラム９，１０を用いて、無端状ベルト１１を１００℃
程度以下の温度に冷却しているので、無端状ベルト１１
に蒸着した薄膜は、容易に剥離される状態となってい
る。
表面を特に活性化しておらず、且つ、一対の水平な冷却
ドラム９，１０を用いて、無端状ベルト１１を１００℃
程度以下の温度に冷却しているので、無端状ベルト１１
に蒸着した薄膜は、容易に剥離される状態となってい
る。
【００２８】そこで、この剥離現象を逆に利用し、無端
状ベルト１１に蒸着した薄膜が剥離し易い条件を意図的
に作り出し、薄膜を剥離させて、巻取機１４で巻取るこ
とにより、簡単に箔１３を得ることが可能となる。
状ベルト１１に蒸着した薄膜が剥離し易い条件を意図的
に作り出し、薄膜を剥離させて、巻取機１４で巻取るこ
とにより、簡単に箔１３を得ることが可能となる。
【００２９】無端状ベルト１１に蒸着した薄膜を剥離さ
せる手段は、特に図示しないが、例えば、無端状ベルト
１１の幅方向へ延びる帯状体を、無端状ベルト１１に対
しクリップなどで係止しておき、無端状ベルト１１に薄
膜が形成されたら、クリップを外して帯状体を巻取機１
４へ案内するなどすれば良い。
せる手段は、特に図示しないが、例えば、無端状ベルト
１１の幅方向へ延びる帯状体を、無端状ベルト１１に対
しクリップなどで係止しておき、無端状ベルト１１に薄
膜が形成されたら、クリップを外して帯状体を巻取機１
４へ案内するなどすれば良い。
【００３０】このように本発明によれば、蒸着によって
箔１３を形成させているので、圧延限界以下の厚さの箔
１３を製造することができる。しかも、金属蒸気４の発
生量や無端状ベルト１１の移動量を調節することによ
り、自由に箔１３の厚さを調整することが可能となる。
箔１３を形成させているので、圧延限界以下の厚さの箔
１３を製造することができる。しかも、金属蒸気４の発
生量や無端状ベルト１１の移動量を調節することによ
り、自由に箔１３の厚さを調整することが可能となる。
【００３１】尚、本発明は、上述の実施の形態にのみ限
定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲
内において種々変更を加え得ることは勿論である。
定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲
内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の箔の連続
製造装置によれば、圧延限界以下の厚さの箔を製造する
ことができるという優れた効果を奏し得る。
製造装置によれば、圧延限界以下の厚さの箔を製造する
ことができるという優れた効果を奏し得る。
【図１】本発明の実施の形態の一例の図である。
１ 真空チャンバ ２ 蒸着材料 ３ ルツボ ４ 金属蒸気 ５ 加熱装置 ９，１０ 冷却ドラム １１ 無端状ベルト １３ 箔 １４ 巻取機
Claims (2)
- 【請求項１】 真空チャンバの内部に蒸着材料を収容す
るルツボを配設し、該ルツボ内部の蒸着材料を溶融して
金属蒸気を発生させる加熱装置を設け、更に、ルツボ上
に無端状ベルトを移動自在に配設すると共に、無端状ベ
ルトの表面に形成された箔を巻取る巻取機を設けたこと
を特徴とする箔の連続製造装置。 - 【請求項２】 無端状ベルトを、冷却ドラムに移動自在
に巻掛けた請求項１記載の箔の連続製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1055898A JPH11209871A (ja) | 1998-01-22 | 1998-01-22 | 箔の連続製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1055898A JPH11209871A (ja) | 1998-01-22 | 1998-01-22 | 箔の連続製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11209871A true JPH11209871A (ja) | 1999-08-03 |
Family
ID=11753590
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1055898A Pending JPH11209871A (ja) | 1998-01-22 | 1998-01-22 | 箔の連続製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11209871A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013087297A (ja) * | 2011-10-13 | 2013-05-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 金属膜の製造方法 |
| JP2019019399A (ja) * | 2017-07-21 | 2019-02-07 | マシン・テクノロジー株式会社 | 酸化金属薄片製造装置および酸化金属薄片製造方法 |
-
1998
- 1998-01-22 JP JP1055898A patent/JPH11209871A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013087297A (ja) * | 2011-10-13 | 2013-05-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 金属膜の製造方法 |
| JP2019019399A (ja) * | 2017-07-21 | 2019-02-07 | マシン・テクノロジー株式会社 | 酸化金属薄片製造装置および酸化金属薄片製造方法 |
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