JPH11214275A - 半導体製造設備管理システムの設備事前予防維持の周期管理方法 - Google Patents

半導体製造設備管理システムの設備事前予防維持の周期管理方法

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JPH11214275A
JPH11214275A JP10241433A JP24143398A JPH11214275A JP H11214275 A JPH11214275 A JP H11214275A JP 10241433 A JP10241433 A JP 10241433A JP 24143398 A JP24143398 A JP 24143398A JP H11214275 A JPH11214275 A JP H11214275A
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在萬 張
Zaisho Sai
在燮 崔
濬 ▲鄭▼
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 作業者の事前予防維持周期決定の誤謬による
設備損傷を防止することができる半導体製造設備管理シ
ステムの設備事前予防維持の周期管理方法を提供する。 【解決手段】 各設備から可動パラメータデータを受信
する段階Ｓ１０と、事前予防維持周期スペックテーブル
を検索する段階Ｓ２０と、可動パラメータデータの値が
事前予防維持周期スペックテーブルのスペックデータ値
以上であるか否かを判断する段階Ｓ３０と、可動パラメ
ータデータ値の中で特定可動パラメータデータの値がス
ペックデータ値以上であると、特定可動パラメータデー
タを発生させた特定設備の変数ＩＤを変更する段階Ｓ４
０と、変数ＩＤを設備制御メッセージに載せた後、設備
制御メッセージを特定設備にダウンロードして特定設備
の可動状態を変更する段階Ｓ５０とを含むため、作業者
の介在なしに各設備で適切な時期に迅速に事前予防維持
が実行できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体製造設備管理
システムの設備事前予防維持（以下、事前予防維持を
“ＰＭ”と称する。）の周期管理方法に関し、より詳細
には、所定のＰＭ管理モジュールを通して各設備のＰＭ
周期を自動に管理することにより、各設備のＰＭが適切
な時期に実施されるようにした半導体製造設備管理シス
テムの設備ＰＭの周期管理方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体素子の製造には高精密性
が要求される。このため、通常の半導体生産ラインでは
情密加工が可能な高機能の設備を配置して大部分の半導
体素子製造工程を実行し、作業者は各設備の動作状況を
半導体製造設備管理システムを通して観察することによ
りライン作業効率の向上を図っている。
【０００３】従来の半導体製造管理システムを図６に概
略的に示す。図６に図示されるように、生産ライン内に
は工程を実行する設備３が配置され、設備３には図示し
ないロットが投入されて該当工程が進行される。
【０００４】ここで、設備３は設備サーバー４を通して
ホスト１とオンラインで連結され、ホスト１はＯ／ＩＰ
Ｃ（operatorinterface PC）２とオンラインで連結され
る。このとき、作業者がＯ／ＩＰＣ２を通してホスト１
に生産基礎データ、例えば、対象ロットのＩＤ、工程が
進行される設備ＩＤ等を設定すると、ホスト１はその入
力された生産基礎データに基づいて自身のデータベース
を検索して当該ロットに進行される工程条件データを算
出する。
【０００５】以後、作業者は前記工程条件データを確認
した後、工程開始（または工程終了）命令を入力して設
備３にロットを迅速にトラックイン／トラックアウトさ
せることにより該当工程を進行する。
【０００６】このとき、設備３の動作と関連する各種可
動パラメータ、例えば、設備３の可動時間、設備３で工
程が進行されたウェハ枚数等は作業者の持続的な観測に
より把握され、この場合、各設備３の中で特定設備の可
動パラメータと関連する進行数値が一定基準を超過する
と、作業者はＰＭを適切な周期で実施して設備の損傷を
防止する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の半導体
製造設備管理システムにおいて、一般的にＰＭ周期は設
備を観測する作業者の主観的な判断により決定されるた
め、作業者によってＰＭ周期が相異なるようになり、一
貫されたＰＭが実施できず、ＰＭ周期決定に誤謬が発生
する場合に設備が損傷される問題点があった。また、作
業者がＰＭ周期を決定するためには常に生産ライン内で
設備を一つ一つ観測する必要があるため作業者の全体的
な業務効率が低減された。
【０００８】本発明はこのような問題点に着眼して案出
されたもので、作業者のＰＭ周期決定誤謬による設備損
傷を防止することができる半導体製造設備管理システム
の設備事前予防維持の周期管理方法を提供することを目
的とする。
【０００９】本発明の他の目的は、作業者の全体的な業
務効率を向上させることができる半導体製造設備管理シ
ステムの設備事前予防維持の周期管理方法を提供するこ
とにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前述の目的を達成するた
めの本発明による半導体製造設備管理システムの設備事
前予防維持の周期管理方法は、各設備から可動パラメー
タデータを受信する段階と、ＰＭ周期スペックテーブル
を検索する段階と、可動パラメータデータの値がＰＭ周
期スペックテーブルのスペックデータ値以上であるか否
かを判断する段階と、可動パラメータデータ値の中で特
定可動パラメータデータの値がスペックデータ値以上で
あると、特定可動パラメータデータを発生させた特定設
備の変数ＩＤを変更する段階と、変数ＩＤを設備制御メ
ッセージに載せた後、設備制御メッセージを特定設備に
ダウンロードして特定設備の可動状態を変更する段階と
を含む。
【００１１】好ましくは、設備制御メッセージはストリ
ームファンクションメッセージであり、設備制御メッセ
ージのストリームファンクション形態はＳ２Ｆ１５また
はＳ２Ｆ４１である。
【００１２】好ましくは、変数ＩＤはＥＣＩＤまたはＳ
ＶＩＤである。また、設備制御メッセージを特定設備に
ダウンロードする段階後に、警告メッセージを特定設備
にダウンロードする段階と、設備可動状態変更メッセー
ジをＯ／ＩＰＣ２にダウンロードする段階とをさらに含
むことを特徴とする。
【００１３】好ましくは、警告メッセージはストリーム
ファンクションメッセージであり、警告メッセージのス
トリームファンクション形態はＳ１０Ｆ３またはＳ１０
Ｆ５である。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、添附図面を参照して本発明
の実施例による半導体製造設備管理システムの設備ＰＭ
の周期管理方法について詳細に説明する。本実施例を倶
現するための半導体製造設備管理システムを図１に概略
的に示す。図１に図示されるように、各設備サーバー４
とホスト１との間にはＰＭ管理モジュール１０がオンラ
インで連結される。ここで、作業者はＰＭ管理モジュー
ル１０を設置する時ＰＭ管理モジュール１０に対応する
各設備サーバー４にも適切な報告機能を附与することに
より、各設備３の可動パラメータデータが全てＰＭ管理
モジュール１０に実時間で報告されるようにする。この
とき、各設備３及び設備サーバー４はＳＥＣＳ（semi e
quipment communications standard）通信プロトコルを
使用してオンラインで連結されて、設備サーバー４及び
ＰＭ管理モジュール１０はＴＣＰ／ＩＰ通信プロトコル
を使用してオンラインで連結される。
【００１５】一方、前記ＰＭ管理モジュール１０は各設
備サーバー４を通して各設備３から入力される可動パラ
メータデータ全てを実時間で受信することにより各設備
３のＰＭ周期を自動に管理する。これによって、各設備
３は作業者の介在なしにＰＭ周期が正確に管理されるた
め作業者の業務効率が向上される。一例で、各設備３の
中で特定設備、例えば、第１設備３ａの可動パラメータ
データでエラーが発生した場合、ＰＭ管理モジュール１
０はそのエラーが発生した可動パラメータデータを自動
に受信した後、第１設備３ａの可動状態をＰＭ状態に変
更させることにより、第１設備３ａにロットがロ−ディ
ングされないようにして、以後、作業者は第１設備３ａ
に迅速にＰＭを実施するようになる。
【００１６】本実施例による半導体製造設備管理システ
ムの設備事前予防維持の周期管理方法を図２、図４に示
す。本実施例によるＰＭ周期スペックテーブルを概略的
に図３に示す。本実施例によりディスプレイ状態が修訂
されたＯ／ＩＰＣ画面を図５に概略的に示す。
【００１７】図２に図示されるように、ＰＭ管理モジュ
ール１０は各設備サーバー４を通して設備３からアップ
ロードされる可動パラメータデータを全て実時間で受信
する（Ｓ１０段階）。これによって、各設備３の可動時
間、各設備で工程が進行されたウェハ枚数等の可動パラ
メータはＰＭ管理モジュール１０により迅速に把握され
る。
【００１８】次に、ＰＭ管理モジュール１０はホスト１
のデータサーバー領域に保存されたＰＭ周期スペックテ
ーブルを検索して受信された各設備３の可動パラメータ
データ値がスペックデータ値以上であるか否かを判断す
る（Ｓ２０、Ｓ３０段階）。このとき、可動パラメータ
データ値が全てスペックデータ値未満で、まだ各設備３
にＰＭを実施する必要がないと判定されると、ＰＭ管理
モジュール１０は最初段階に進行して持続的に上述した
可動パラメータデータを受信する。
【００１９】反面、可動パラメータデータ値の中で特定
パラメータデータの値がスペックデータ値以上で、これ
を発生させた特定設備にＰＭを実施する必要があると判
定されると、ＰＭ管理モジュール１０はその結果をホス
ト１に伝達し、ホスト１はすぐそれに該当する特定設備
の変数ＩＤキー値をＰＭ状態に変更する（Ｓ４０段
階）。一例で、図３に図示されるように、第１設備３ａ
の設備可動時間と関連するスペックデータ値は３５００
０時間であるが第１設備３ａから受信された設備可動時
間と関連された可動パラメータデータ値は３５００１時
間であると把握されて第１設備３ａの可動パラメータデ
ータの値がスペックデータの値以上であると判定される
と、ＰＭ管理モジュール１０は第１設備３ａに適切な
“ＰＭ”、例えば、クリーニングを実施する必要性があ
ると判断してその判断結果をホスト１に伝達する。これ
によって、ホスト１は第１設備３ａの変数ＩＤキー値を
“ＰＭ”状態に変更することにより第１設備３ａで“Ｐ
Ｍ”が迅速に実施できる。
【００２０】ここで、好ましくはホスト１が変更する変
数ＩＤは第１設備３ａの状態を変更させることができる
ＥＣＩＤ（equipment constant ID）またはＳＶＩＤ（s
tatusvariable ID）である。
【００２１】Ｓ４０段階後、ＰＭ管理モジュール１０は
上述した過程を通してキー値が変更された変数ＩＤをホ
スト１から伝達を受け、これを設備制御メッセージに載
せた後、第１設備サーバー４ａを通して第１設備３ａに
ダウンロードする（Ｓ５０段階）。これによって、第１
設備３ａの可動状態はＰＭ状態に迅速に変更される。こ
のとき、ＰＭ管理モジュール１０からダウンロードされ
る設備制御メッセージは通信伝達が円滑なストリームフ
ァンクションメッセージとする。
【００２２】また、設備制御メッセージのストリームフ
ァンクション形態は標準化規格に適切なＳ２Ｆ１５また
はＳ２Ｆ４１であることが好ましい。一例で、ＰＭ管理
モジュール１０が上述した過程を通して第１設備３ａの
異常を発見した後、第１設備３ａの状態を“ＰＭ”状態
に変更しようとすると、ＰＭ管理モジュール１０はホス
ト１を通してそのキー値が“ＰＭ”状態に変更されたＥ
ＣＩＤの伝達を受ける。その後、それをストリームファ
ンクションメッセージＳ２Ｆ１５またはＳ２Ｆ４１に載
せて第１設備３ａにダウンロードする。これによって、
第１設備３ａは変更されたＥＣＩＤのキー値に合わせて
その状態が“ＰＭ”状態に迅速に変更される。
【００２３】従来の半導体製造設備管理システムの設備
事前予防維持の周期管理方法によると、各設備のＰＭ周
期は設備を観測する作業者の主観的な判断により決定さ
れたので、作業者によって決定するＰＭ周期が相異にな
ることにより一貫されたＰＭが実施できず、そのＰＭ周
期決定に誤謬が発生するときは設備が損傷された。
【００２４】一方、本実施例による半導体製造設備管理
システムの設備事前予防維持の周期管理方法によると、
各設備３のＰＭ周期を作業者の介在なしにＰＭ管理モジ
ュール１０を通してホスト１が実時間で把握され、一貫
性を持って管理することにより各設備３で適切な時期に
迅速に“ＰＭ”が実行できる。
【００２５】図４に図示されるように、設備制御メッセ
ージを第１設備３ａにダウンロードするＳ５０段階後
に、ＰＭ管理モジュール１０はテキストを載せた警告メ
ッセージを第１設備サーバー４ａを通して第１設備３ａ
にダウンロードすることにより作業者が異常が発生した
第１設備３ａを設備モニタ３bを通して視覚的に確認で
きるようにする（Ｓ６１段階）。一例で、ＰＭ管理モジ
ュールは“現在第１設備にクリーニング周期が到来し
た。”等のテキストを載せた警告メッセージを第１設備
３ａにダウンロードすることにより作業者が第１設備３
ａにＰＭ周期が到来したことを迅速に把握できるように
する。
【００２６】次に、上述したテキスト内容によって作業
者はＰＭ周期が到来した第１設備３ａに迅速にＰＭを実
施する。このとき、警告メッセージは上述した設備制御
メッセージと同様に通信伝達が円滑なストリームファン
クションメッセージであり、警告メッセージのストリー
ムファンクション形態は標準化規格に適切なＳ１０Ｆ３
またはＳ１０Ｆ５であることが好ましい。また、この二
つのストリームファンクション形態の中でＳ１０Ｆ５は
Ｓ１０Ｆ３より多量のテキストが伝送できる。
【００２７】次に、ＰＭ管理モジュール１０はＯ／ＩＰ
Ｃ２に表示された設備可動状態を上述した過程を通して
変更された最新情報に修訂できる設備可動状態変更メッ
セージをＯ／ＩＰＣ２にダウンロードする（Ｓ６２段
階）。これによって、Ｏ／ＩＰＣ２に表示された設備可
動状態は最新情報に合わせて適切に修訂される。
【００２８】通常Ｏ／ＩＰＣ２は、可動中である各設備
３の可動状態をホスト１から伝達を受けてその状態を可
動可能な“ＲＵＮ、ＩＤＬＥ”状態または可動不可能で
ある“ＤＯＷＮ、ＰＭ”状態にグラフィック処理して表
示することにより作業者によりトラックイン／トラック
アウト過程が円滑に行われるように補助する。
【００２９】このとき、ＰＭ管理モジュール１０は前記
設備可動状態が上述した過程を通して変更された最新情
報に修訂されるように設備可動状態変更メッセージをＯ
／ＩＰＣ２にダウンロードしてその内容を適切に修訂す
ることにより作業者の判断錯誤によるトラックイン／ト
ラックアウト過程の発生を防止する。一例で、上述した
過程を通して第１設備３ａの状態が“ＲＵＮ状態”から
“ＰＭ状態”に変更されると、ＰＭ管理モジュール１０
は設備可動状態変更メッセージをＯ／ＩＰＣ２にダウン
ロードしてその表示内容を図５に図示されるように、
“ＰＭ状態”に迅速に修訂することにより作業者の錯誤
により第１設備３ａにロットがトラックインされること
を防止する。このとき、設備可動状態メッセージの形態
はＯ／ＩＰＣ２の仕様によって多様に選択できる。以
後、ホスト１はＰＭ管理モジュール１０を通して上述し
た各段階を継続して反復することにより効率的に全体的
な設備３のＰＭを管理する。
【００３０】このように、本実施例ではＰＭ管理モジュ
ールを通して設備のＰＭ周期を自動に管理することによ
り設備のＰＭが適切な時期に実施されるようにする。本
発明は生産ライン内に配置されて一定の管理を必要とす
る多様な半導体製造設備で幅広く使用される。
【００３１】以上、本発明による好ましい実施形態につ
いて詳細に記述したが、本発明が属する技術分野におい
て通常の知識を持つ者であれば、添附された請求範囲に
記載された本発明の技術的思想の範囲内で本発明を多様
に変形または変更して実施できる。
【００３２】
【発明の効果】以上のように本発明による半導体製造設
備管理システムの設備事前予防維持の周期管理方法で
は、ホストと設備との間に所定のＰＭ管理モジュールを
具備し、それを通して各設備からアップロードされる多
様な可動パラメータ値が持続的に自動点検されるように
する。これにより、設備のＰＭ周期が自動に一貫性を持
って管理されるようにし、作業者のＰＭ周期決定誤謬に
よる設備の損傷を防止し、作業者の全体的な業務効率を
向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を倶現するための半導体製造設備管理シ
ステムを示すブロック図である。
【図２】本発明による半導体製造設備管理システムの設
備事前予防維持の周期管理方法を示す流れ図である。
【図３】本発明の実施例によるＰＭ周期スペックテーブ
ルを概略的に示す概念図である。
【図４】本発明の実施例による半導体製造設備管理シス
テムの設備事前予防維持の周期管理方法を示す流れ図で
ある。
【図５】本発明の実施例により表示状態が修訂されたＯ
／ＩＰＣ画面を示す概念図である。
【図６】従来の半導体製造設備管理システムを概略的に
示すブロック図である。
【符号の説明】
１ ホスト ２ Ｏ／ＩＰＣ ３ 設備 ３ａ 第１設備 ４ 設備サーバー ４ａ 第１設備サーバー １０ ＰＭ管理モジュール

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 各設備から可動パラメータデータを受信
    する段階と、 事前予防維持周期スペックテーブルを検索する段階と、 前記可動パラメータデータの値が前記事前予防維持周期
    スペックテーブルのスペックデータ値以上であるか否か
    を判断する段階と、 前記可動パラメータデータ値の中で特定可動パラメータ
    データの値が前記スペックデータ値以上であると、前記
    特定可動パラメータデータを発生させた特定設備の変数
    ＩＤを変更する段階と、 前記変数ＩＤを設備制御メッセージに載せた後、前記設
    備制御メッセージを前記特定設備にダウンロードして前
    記特定設備の可動状態を変更する段階と、 を含むことを特徴とする半導体製造設備管理システムの
    設備事前予防維持の周期管理方法。
  2. 【請求項２】 前記設備制御メッセージは、ストリーム
    ファンクションメッセージであることを特徴とする請求
    項１記載の半導体製造設備管理システムの設備事前予防
    維持の周期管理方法。
  3. 【請求項３】 前記設備制御メッセージのストリームフ
    ァンクション形態は、Ｓ２Ｆ１５またはＳ２Ｆ４１であ
    ることを特徴とする請求項２記載の半導体製造設備管理
    システムの設備事前予防維持の周期管理方法。
  4. 【請求項４】 前記変数ＩＤは、ＥＣＩＤまたはＳＶＩ
    Ｄであることを特徴とする請求項１記載の半導体製造設
    備管理システムの設備事前予防維持の周期管理方法。
  5. 【請求項５】 前記設備制御メッセージを前記特定設備
    にダウンロードする段階後に、警告メッセージを前記特
    定設備にダウンロードする段階と、設備可動状態変更メ
    ッセージをＯ／ＩＰＣにダウンロードする段階とをさら
    に含むことを特徴とする請求項１記載の半導体製造設備
    管理システムの設備事前予防維持の周期管理方法。
  6. 【請求項６】 前記警告メッセージは、ストリームファ
    ンクションメッセージであることを特徴とする請求項５
    記載の半導体製造設備管理システムの設備事前予防維持
    の周期管理方法。
  7. 【請求項７】 前記警告メッセージのストリームファン
    クション形態は、Ｓ１０Ｆ３またはＳ１０Ｆ５であるこ
    とを特徴とする請求項６記載の半導体製造設備管理シス
    テムの設備事前予防維持の周期管理方法。
JP10241433A 1998-01-14 1998-08-27 半導体製造設備管理システムの設備事前予防維持の周期管理方法 Pending JPH11214275A (ja)

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KR1998P804 1998-01-14
KR1019980000804A KR100319208B1 (ko) 1998-01-14 1998-01-14 반도체제조설비관리시스템의설비사전예방유지의주기관리방법

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JPH11214275A true JPH11214275A (ja) 1999-08-06

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US (1) US6216054B1 (ja)
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