JPH11215769A - 真空モータ - Google Patents
真空モータInfo
- Publication number
- JPH11215769A JPH11215769A JP1881898A JP1881898A JPH11215769A JP H11215769 A JPH11215769 A JP H11215769A JP 1881898 A JP1881898 A JP 1881898A JP 1881898 A JP1881898 A JP 1881898A JP H11215769 A JPH11215769 A JP H11215769A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stator
- vacuum
- rotor
- partition
- brake
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
- Permanent Magnet Type Synchronous Machine (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の真空モータは、モータ全体が真空中に
位置するように取付けられていたため、設計が制約さ
れ、装置の小型化及び高能率化等が困難となることがあ
った。 【解決手段】 本発明による真空モータは、ステータ
(7,8)とロータ(16a,17a)間に隔壁(15)が設けられ、この
隔壁(15)によりロータ(16a,17a)を真空中に置くと共
に、前記ステータ(7,8)を大気中に置くように分離し、
ステータ(7,8)、磁気エンコーダ(11,12)の固定側検出部
(11a,12a)、非接触型ブレーキ(9,10)の固定側ブレーキ
(9a,10a)は隔壁(15)に一体状に接続して大気側に位置す
る構成である。
位置するように取付けられていたため、設計が制約さ
れ、装置の小型化及び高能率化等が困難となることがあ
った。 【解決手段】 本発明による真空モータは、ステータ
(7,8)とロータ(16a,17a)間に隔壁(15)が設けられ、この
隔壁(15)によりロータ(16a,17a)を真空中に置くと共
に、前記ステータ(7,8)を大気中に置くように分離し、
ステータ(7,8)、磁気エンコーダ(11,12)の固定側検出部
(11a,12a)、非接触型ブレーキ(9,10)の固定側ブレーキ
(9a,10a)は隔壁(15)に一体状に接続して大気側に位置す
る構成である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空モータに関
し、特に、モータのロータを真空中に置き、ステータは
大気中に置くようにすると共に、ステータの磁気エンコ
ーダの固定側検出部、非接触型ブレーキの固定側ブレー
キを隔壁に一体状に接続するための新規な改良に関す
る。
し、特に、モータのロータを真空中に置き、ステータは
大気中に置くようにすると共に、ステータの磁気エンコ
ーダの固定側検出部、非接触型ブレーキの固定側ブレー
キを隔壁に一体状に接続するための新規な改良に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、用いられていたこの種の真空モー
タとしては、モータ全体を真空中に置いて駆動させてい
た。
タとしては、モータ全体を真空中に置いて駆動させてい
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の真空モータは、
以上のように構成されていたため、次のような課題が存
在していた。すなわち、例えば、半導体製造装置等でア
クチュエータを真空中で作動させる場合、モータ自体を
真空中に置かなくてはならず、設計が制約され、例え
ば、装置の小型化、高能率化等が困難となることがあっ
た。また、宇宙ステーション等においても、モータ全体
を真空中に置くと、真空中では温度変化が激しく、ステ
ータ側の温度変化はモータの能力にも直接影響すること
になっていた。
以上のように構成されていたため、次のような課題が存
在していた。すなわち、例えば、半導体製造装置等でア
クチュエータを真空中で作動させる場合、モータ自体を
真空中に置かなくてはならず、設計が制約され、例え
ば、装置の小型化、高能率化等が困難となることがあっ
た。また、宇宙ステーション等においても、モータ全体
を真空中に置くと、真空中では温度変化が激しく、ステ
ータ側の温度変化はモータの能力にも直接影響すること
になっていた。
【０００４】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、特に、モータのロータを真空中に
置き、ステータは大気中に置くと共に、ステータ、磁気
エンコーダの固定側検出部、非接触型ブレーキの固定側
ブレーキを隔壁に一体状に接続するようにした真空モー
タを提供することを目的とする。
めになされたもので、特に、モータのロータを真空中に
置き、ステータは大気中に置くと共に、ステータ、磁気
エンコーダの固定側検出部、非接触型ブレーキの固定側
ブレーキを隔壁に一体状に接続するようにした真空モー
タを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明による真空モータ
は、ステータ巻線を有するステータに対してロータを回
転自在に構成したモータにおいて、前記ステータとロー
タ間に設けられた隔壁と、前記ステータ又はロータと同
軸配置で設けられた磁気エンコーダ及び非接触型ブレー
キとを備え、前記ステータ、前記磁気エンコーダの固定
側検出部、前記非接触型ブレーキの固定側ブレーキは、
前記隔壁に一体状に接続されていると共に大気側に位置
する構成であり、また、前記ステータの内側に前記ロー
タが回転自在に設けられている構成であり、さらに、前
記ステータの外側に前記ロータが回転自在に設けられて
いる構成であり、さらに、前記隔壁は、軸方向に沿って
径が異なる構成である。
は、ステータ巻線を有するステータに対してロータを回
転自在に構成したモータにおいて、前記ステータとロー
タ間に設けられた隔壁と、前記ステータ又はロータと同
軸配置で設けられた磁気エンコーダ及び非接触型ブレー
キとを備え、前記ステータ、前記磁気エンコーダの固定
側検出部、前記非接触型ブレーキの固定側ブレーキは、
前記隔壁に一体状に接続されていると共に大気側に位置
する構成であり、また、前記ステータの内側に前記ロー
タが回転自在に設けられている構成であり、さらに、前
記ステータの外側に前記ロータが回転自在に設けられて
いる構成であり、さらに、前記隔壁は、軸方向に沿って
径が異なる構成である。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明による真
空モータの好適な実施の形態について説明する。図１は
インナーロータ型の構成を示すもので、図１において符
号１及び２で示されるものは第１、第２ケースであり、
各ケース１，２はボルト３及びシール４によって互いに
密合状態に直列に結合されている。前記各ケース１，２
の内側にはステータ巻線５，６を有する第１、第２ステ
ータ７，８が設けられていると共に、非接触型ブレーキ
をなす第１、第２電磁型ブレーキ９，１０の第１、第２
固定側ブレーキ９ａと１０ａが設けられている。前記各
ケース１，２の端部位置には第１、第２磁気エンコーダ
１１，１２の第１、第２固定側検出部１１ａ，１２ａが
設けられている。
空モータの好適な実施の形態について説明する。図１は
インナーロータ型の構成を示すもので、図１において符
号１及び２で示されるものは第１、第２ケースであり、
各ケース１，２はボルト３及びシール４によって互いに
密合状態に直列に結合されている。前記各ケース１，２
の内側にはステータ巻線５，６を有する第１、第２ステ
ータ７，８が設けられていると共に、非接触型ブレーキ
をなす第１、第２電磁型ブレーキ９，１０の第１、第２
固定側ブレーキ９ａと１０ａが設けられている。前記各
ケース１，２の端部位置には第１、第２磁気エンコーダ
１１，１２の第１、第２固定側検出部１１ａ，１２ａが
設けられている。
【０００７】前記各ケース１，２の端部１ａ，２ａ側か
ら他端１ｂ，２ｂにわたり筒状に一体連続して形成して
設けられステンレス板等からなり真空側と大気側に分け
るための隔壁１５は、前述の第１、第２固定側検出部１
１ａ，１２ａ、ステータ７，８、第１、第２固定側ブレ
ーキ９ａ，１０ａを連続して大気側に保持するように各
ケース１，２毎にこれらと一体状に接続して設けられ、
各ケースにこの軸心位置には第１、第２ロータ１６ａ，
１７ａを有する筒状の第１、第２筒軸１６，１７が軸受
１８を介して回転自在に設けられている。従って、前述
のステータ７，８、磁気エンコーダ１１，１２の固定側
検出部１１ａ，１２ａ、非接触型ブレーキ９，１０の固
定側ブレーキ９ａ，１０ａは、隔壁１５に一体状に接続
されている。また、この隔壁１５は軸方向に沿って径が
異なるように構成され、隔壁１５の根元及び先端では肉
厚が厚くなっている。
ら他端１ｂ，２ｂにわたり筒状に一体連続して形成して
設けられステンレス板等からなり真空側と大気側に分け
るための隔壁１５は、前述の第１、第２固定側検出部１
１ａ，１２ａ、ステータ７，８、第１、第２固定側ブレ
ーキ９ａ，１０ａを連続して大気側に保持するように各
ケース１，２毎にこれらと一体状に接続して設けられ、
各ケースにこの軸心位置には第１、第２ロータ１６ａ，
１７ａを有する筒状の第１、第２筒軸１６，１７が軸受
１８を介して回転自在に設けられている。従って、前述
のステータ７，８、磁気エンコーダ１１，１２の固定側
検出部１１ａ，１２ａ、非接触型ブレーキ９，１０の固
定側ブレーキ９ａ，１０ａは、隔壁１５に一体状に接続
されている。また、この隔壁１５は軸方向に沿って径が
異なるように構成され、隔壁１５の根元及び先端では肉
厚が厚くなっている。
【０００８】前記第１筒軸１６の端部は第１ケース１か
ら外方に突出していると共に、軸受１９を介して第１出
力回転体２０が設けられていると共に、第２出力回転体
２１が直接設けられている。前記第１出力回転体２０に
接続された連結軸２２は前記第１筒軸１６を同軸状に貫
通して第２筒軸１７の端部１７ａに結合している。
ら外方に突出していると共に、軸受１９を介して第１出
力回転体２０が設けられていると共に、第２出力回転体
２１が直接設けられている。前記第１出力回転体２０に
接続された連結軸２２は前記第１筒軸１６を同軸状に貫
通して第２筒軸１７の端部１７ａに結合している。
【０００９】前記第１筒軸１６の外周には、前記第１固
定側検出部１１ａに対峙する磁性回転体２３及び前記第
２固定側ブレーキ９ａに対峙する磁性体９ｂが設けられ
ており、第２筒軸１７の外周には、磁性回転体２４及び
磁性体１０ｂが設けられている。従って、前述の大気側
の各固定側検出部１１ａ，１２ａ、各ステータ７，８、
各固定側ブレーキ９ａ，１０ａと、真空側の各磁性回転
体２３，２４、各ロータ１６ａ，１７ａ、各磁性体９
ｂ，１０ｂとは前記隔壁１５によって真空側と大気側に
区分されており、ロータ１６ａ，１７ａ及び連結軸２２
側のみは真空状態に維持されている。なお、前述の磁気
エンコーダ１１，１２及び電磁型ブレーキ９，１０は、
ステータ７，８又はロータ１６ａ，１７ａと同軸状に配
設されている。
定側検出部１１ａに対峙する磁性回転体２３及び前記第
２固定側ブレーキ９ａに対峙する磁性体９ｂが設けられ
ており、第２筒軸１７の外周には、磁性回転体２４及び
磁性体１０ｂが設けられている。従って、前述の大気側
の各固定側検出部１１ａ，１２ａ、各ステータ７，８、
各固定側ブレーキ９ａ，１０ａと、真空側の各磁性回転
体２３，２４、各ロータ１６ａ，１７ａ、各磁性体９
ｂ，１０ｂとは前記隔壁１５によって真空側と大気側に
区分されており、ロータ１６ａ，１７ａ及び連結軸２２
側のみは真空状態に維持されている。なお、前述の磁気
エンコーダ１１，１２及び電磁型ブレーキ９，１０は、
ステータ７，８又はロータ１６ａ，１７ａと同軸状に配
設されている。
【００１０】次に、動作について述べる。各ステータ巻
線５，６に駆動信号を図示しない駆動回路から供給する
と、各ロータ１６ａと１７ａは各筒軸１６，１７と共に
回転することにより、第１出力回転体２０が連結軸２２
と第２筒軸１７を介して回転し、第２出力回転体２１は
第１筒軸１６と共に回転する。従って、各磁気エンコー
ダ１１，１２により磁気的に回転検出を行うことがで
き、さらに、固定側ブレーキ９ａ，１０ａに通電して発
生する磁力によって磁性体９ｂ，１０ｂが隔壁１５を介
して磁気吸引され、電磁ブレーキを達成することができ
る。
線５，６に駆動信号を図示しない駆動回路から供給する
と、各ロータ１６ａと１７ａは各筒軸１６，１７と共に
回転することにより、第１出力回転体２０が連結軸２２
と第２筒軸１７を介して回転し、第２出力回転体２１は
第１筒軸１６と共に回転する。従って、各磁気エンコー
ダ１１，１２により磁気的に回転検出を行うことがで
き、さらに、固定側ブレーキ９ａ，１０ａに通電して発
生する磁力によって磁性体９ｂ，１０ｂが隔壁１５を介
して磁気吸引され、電磁ブレーキを達成することができ
る。
【００１１】図２は他の形態としてのアウターロータ型
の構成であり、図１と同等部分には同一符号を付し、そ
の説明は省略する。従って、図２のアウターロータ型に
おいても各ステータ７，８側が大気側に位置し、ロータ
１６ａ，１７ａと各筒軸１６，１７側が隔壁１５によっ
て真空側に位置するように気密分離されている。なお、
前述の磁気エンコーダ１１，１２及び磁気ブレーキ９，
１０も図１と同様に構成されている。
の構成であり、図１と同等部分には同一符号を付し、そ
の説明は省略する。従って、図２のアウターロータ型に
おいても各ステータ７，８側が大気側に位置し、ロータ
１６ａ，１７ａと各筒軸１６，１７側が隔壁１５によっ
て真空側に位置するように気密分離されている。なお、
前述の磁気エンコーダ１１，１２及び磁気ブレーキ９，
１０も図１と同様に構成されている。
【００１２】図３は図２の他の形態としてのアウターロ
ータ型の構成であり、図２と同等部分には同一符号を付
し、その説明は省略すると共に、図２と異なる部分につ
いてのみ説明する。すなわち、図３における各隔壁１５
の保持体３０の保持軸３１，３１ａが各ケース１，２側
の固定板３２，３３に固定されており、この各保持軸３
１，３１ａの周囲位置には、前記各固定板３２，３３を
介して電磁石３４，３５が設けられている。前記各保持
板３２，３３及び各保持体３０の周縁部分に設けられた
軸受５０には後述の端部１６ｂ及び１７ｂと連れ回りす
る輪状磁性体５１が回転自在に設けられ、この輪状磁性
体５１と対応する各筒軸１６，１７の端部１６ｂ，１７
ｂも磁性体で構成されている。従って、前述の状態で、
各電磁石３４，３５を励磁すると、磁気作用によって各
輪状磁性体５１と各端部１６ｂ，１７ｂが各々電磁石３
４，３５と磁気結合されるため各筒軸１６，１７の回転
を磁気的に制動することができるように構成されてい
る。また、前記保持軸３１ａは中空状に形成されてい
る。さらに、前述の実施例においては２個のモータを直
列接続した場合について述べたが、１個のみ又は２個以
上の構成とすることもできる。また、前述の磁気エンコ
ーダ１１，１２は図１と同様に構成され、図３の電磁石
３４，３５と端部１６ｂ，１７ｂ及び輪状磁性体５１は
図１、図２の電磁型ブレーキ９，１０を構成している。
ータ型の構成であり、図２と同等部分には同一符号を付
し、その説明は省略すると共に、図２と異なる部分につ
いてのみ説明する。すなわち、図３における各隔壁１５
の保持体３０の保持軸３１，３１ａが各ケース１，２側
の固定板３２，３３に固定されており、この各保持軸３
１，３１ａの周囲位置には、前記各固定板３２，３３を
介して電磁石３４，３５が設けられている。前記各保持
板３２，３３及び各保持体３０の周縁部分に設けられた
軸受５０には後述の端部１６ｂ及び１７ｂと連れ回りす
る輪状磁性体５１が回転自在に設けられ、この輪状磁性
体５１と対応する各筒軸１６，１７の端部１６ｂ，１７
ｂも磁性体で構成されている。従って、前述の状態で、
各電磁石３４，３５を励磁すると、磁気作用によって各
輪状磁性体５１と各端部１６ｂ，１７ｂが各々電磁石３
４，３５と磁気結合されるため各筒軸１６，１７の回転
を磁気的に制動することができるように構成されてい
る。また、前記保持軸３１ａは中空状に形成されてい
る。さらに、前述の実施例においては２個のモータを直
列接続した場合について述べたが、１個のみ又は２個以
上の構成とすることもできる。また、前述の磁気エンコ
ーダ１１，１２は図１と同様に構成され、図３の電磁石
３４，３５と端部１６ｂ，１７ｂ及び輪状磁性体５１は
図１、図２の電磁型ブレーキ９，１０を構成している。
【００１３】
【発明の効果】本発明による真空モータは、以上のよう
に構成されているため、次のような効果を得ることがで
きる。すなわち、インナーロータ型及びアウターロータ
型の何れにおいても隔壁によってロータ及び電磁型ブレ
ーキの磁性体等側を真空側とし、ステータ及び電磁型ブ
レーキの固定側ブレーキ、磁気エンコーダの固定側検出
部側を隔壁によって一体接続して大気側とすることがで
き、半導体装置及び宇宙ステーション等におけるアクチ
ュエータとしての機器への取付の自由度を増大させるこ
とができ、小型化及び省スペース化等を達成することが
できる。また、ステータ巻線を大気側におくことができ
ることにより、モータとしての電気的特性を安定化させ
ることができる。また、隔壁の径が軸方向に沿って異な
るため、モータの構造が種々異なる場合でも隔壁によっ
て大気側と真空側を保つことができる。
に構成されているため、次のような効果を得ることがで
きる。すなわち、インナーロータ型及びアウターロータ
型の何れにおいても隔壁によってロータ及び電磁型ブレ
ーキの磁性体等側を真空側とし、ステータ及び電磁型ブ
レーキの固定側ブレーキ、磁気エンコーダの固定側検出
部側を隔壁によって一体接続して大気側とすることがで
き、半導体装置及び宇宙ステーション等におけるアクチ
ュエータとしての機器への取付の自由度を増大させるこ
とができ、小型化及び省スペース化等を達成することが
できる。また、ステータ巻線を大気側におくことができ
ることにより、モータとしての電気的特性を安定化させ
ることができる。また、隔壁の径が軸方向に沿って異な
るため、モータの構造が種々異なる場合でも隔壁によっ
て大気側と真空側を保つことができる。
【図１】本発明によるインナーロータ型の真空モータを
示す断面図である。
示す断面図である。
【図２】本発明によるアウターロータ型の真空モータを
示す断面図である。
示す断面図である。
【図３】図２の他の形態を示す断面図である。
５，６ ステータ巻線 ７，８ ステータ ９，１０ 電磁型ブレーキ（非接触型ブレーキ） ９ａ，１０ａ 固定側ブレーキ ９ｂ，１０ｂ 磁性体 １１，１２ 磁気エンコーダ １５ 隔壁 １６ａ，１７ａ ロータ
Claims (4)
- 【請求項１】 ステータ巻線(5,6)を有するステータ(7,
8)に対してロータ(16a,17a)を回転自在に構成したモー
タにおいて、前記ステータ(7,8)とロータ(16a,17a)間に
設けられた隔壁(15)と、前記ステータ(7,8)又はロータ
(16a,17a)と同軸配置で設けられた磁気エンコーダ(11,1
2)及び非接触型ブレーキ(9,10)とを備え、前記ステータ
(7,8)、前記磁気エンコーダ(11,12)の固定側検出部(11
a,12a)、前記非接触型ブレーキ(9,10)の固定側ブレーキ
(9a,10a)は、前記隔壁(15)に一体状に接続されていると
共に大気側に位置することを特徴とする真空モータ。 - 【請求項２】 前記ステータ(7,8)の内側に前記ロータ
(16a,17a)が回転自在に設けられていることを特徴とす
る請求項１記載の真空モータ。 - 【請求項３】 前記ステータ(7,8)の外側に前記ロータ
(16a,17a)が回転自在に設けられていることを特徴とす
る請求項１記載の真空モータ。 - 【請求項４】 前記隔壁(15)は、軸方向に沿って径が異
なることを特徴とする請求項１ないし３の何れかに記載
の真空モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1881898A JPH11215769A (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | 真空モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1881898A JPH11215769A (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | 真空モータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11215769A true JPH11215769A (ja) | 1999-08-06 |
Family
ID=11982160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1881898A Pending JPH11215769A (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | 真空モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11215769A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6363808B1 (en) | 1998-12-04 | 2002-04-02 | Shinmaywa Industries, Ltd. | Conveying device |
| US6543306B1 (en) | 1998-12-04 | 2003-04-08 | Daihen Corporation | Conveying device |
| KR100751035B1 (ko) * | 2006-05-22 | 2007-08-21 | 주식회사 한국체인모터 | 구동 장치 |
-
1998
- 1998-01-30 JP JP1881898A patent/JPH11215769A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6363808B1 (en) | 1998-12-04 | 2002-04-02 | Shinmaywa Industries, Ltd. | Conveying device |
| US6543306B1 (en) | 1998-12-04 | 2003-04-08 | Daihen Corporation | Conveying device |
| US6755092B2 (en) | 1998-12-04 | 2004-06-29 | Daihen Corp | Conveying device |
| KR100751035B1 (ko) * | 2006-05-22 | 2007-08-21 | 주식회사 한국체인모터 | 구동 장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100360518B1 (ko) | 2 축 동심 모터 | |
| JPH11215780A (ja) | 真空モータ | |
| CN1619921A (zh) | 电机内置式辊轮 | |
| JPH1155902A (ja) | センサ組み込みモータの構造 | |
| TWI569559B (zh) | 永久磁鐵型旋轉電機 | |
| JP2006149139A (ja) | 中空アクチュエータ | |
| JPH09504856A (ja) | スピンドル、特に、繊維スピンドルを取り付け、駆動する装置 | |
| KR102077600B1 (ko) | 저코깅 및 저토크 리플용 편심 방식의 링 마그네트 적용 구조의 로봇용 모터 로터 | |
| JP4196433B2 (ja) | 密閉型アクチュエータ | |
| JPH11215768A (ja) | 真空モータ | |
| JPH11220863A (ja) | 真空モータ | |
| JPH11215790A (ja) | 真空モータ | |
| KR100688158B1 (ko) | 두 개의 회전자를 갖는 전동기 | |
| JPH0742215Y2 (ja) | サーボアクチュエータ | |
| JP4792793B2 (ja) | ダイレクトドライブモータ | |
| US7679246B2 (en) | Actuator | |
| JPH053650A (ja) | ２自由度アクチユエータ | |
| JPH0811035Y2 (ja) | サーボアクチュエータ | |
| JP4581757B2 (ja) | モータシステム | |
| JP4656381B2 (ja) | ダイレクトドライブモータ | |
| EP4236037A1 (en) | Rotor, motor using rotor, and electronic apparatus | |
| JPH09191621A (ja) | モータジェネレータ | |
| JPH0756601Y2 (ja) | サーボアクチュエータ | |
| JP2005210808A (ja) | 永久磁石埋め込み型同期機 | |
| CN204425059U (zh) | 稀土类磁铁马达 |