JPH11217197A - 搬送用リフタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】搬送対象物の搬送作業の安全性を高め、作業効
率の向上を図ることができる搬送用リフタを提供する。 【解決手段】走行台車２２にリフトアーム２３を昇降可
能に設け、該リフトアームに回転可能にクランプ本体２
４を設け、該クランプ本体にクランプ座３７を着脱可能
とし、前記クランプ本体とクランプ座間に搬送対象物５
を挾持可能とし、前記クランプ本体とクランプ座間に前
記搬送対象物を挾持し、所定場所まで搬送する。又、昇
降動ハンドルの操作で前記搬送対象物を昇降させると共
に回転ハンドルの操作で前記搬送対象物を回転させ、起
立状態にし、所定場所に載置する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体製造装置、特
に縦型気相薄膜生成装置のヒータ等、重量機器を搬送す
る為の搬送用リフタに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工程の１つに化学気相成長に
より、ウェーハ等被処理基板表面に各種薄膜を生成する
処理工程があり、斯かる工程を行うものとして縦型気相
薄膜生成装置が広く用いられている。

【０００３】縦型気相薄膜生成装置には外側部分にヒー
タを有する反応炉が設けられ、ヒータ等反応炉の各構成
部品はそれぞれ別の場所で製造された後、組立工場に搬
送され、組立てられる。

【０００４】反応炉を組立てる際、ヒータ等重量物の組
立工場内での搬送は通常、搬送用ハンドリフタにより行
われる。

【０００５】図５に於いて、ヒータの搬送用リフタにつ
いて説明する。

【０００６】搬送用リフタ１は水平に設けられた平板状
の盤台部２と、該盤台部２の下面の四隅に回転自在に設
けられた４個の車輪３と、前記盤台部２後端部に立設さ
れた手押部４とで構成される。

【０００７】図中、５はヒータを示しており、該ヒータ
５は図６に示す様に、下端が開放された有天円筒状を成
し、高さが1.5m、外径が0.6m、重量が150kgで、発熱部
６、断熱材７、上部補強材８、下部補強材９及び外板１
０で構成されている。

【０００８】前記発熱部６は有天円筒状を成し、円筒部
分にはコイル状の電熱線１１が埋設され、前記発熱部６
の外周に前記断熱材７が前記発熱部６を囲繞する様に設
けられている。前記断熱材７の上面には円盤形状の前記
上部補強材８が固着され、前記断熱材７の下端には円環
形状の前記下部補強材９が設けられ、前記断熱材７、上
部補強材８、下部補強材９の外側を囲繞する様、ステン
レス製の前記外板１０が覆設されている。

【０００９】組立工場の保管場所にはパレット１２が置
かれ、該パレット１２の上面の高さは前記盤台部２の上
面の床１３からの高さと同一となっている。

【００１０】製造された前記ヒータ５は組立工場の保管
場所に搬送され、前記パレット１２上に載置される。前
記ヒータ５は縦長の重量物である為、安定性を考慮し、
横倒しの状態で載置される。

【００１１】前記ヒータを搬送する場合、前記搬送用リ
フタ１の前端を前記パレット１２の側面に当接させ、該
パレット１２の上面と前記盤台部２の上面とで略同一平
面を形成する。前記ヒータ５を複数人の作業者の手作業
で前記パレット上を摺動させ、前記盤台部２上に移載す
る。

【００１２】作業者は前記手押部４を押し、前記ヒータ
５を載置した前記搬送用リフタ１を保管場所から組立場
所付近の所定の場所迄移動させる。

【００１３】前記搬送用リフタ１の前端を所定の場所の
パレット１４の側面に当接させ、該パレット１４の上面
と前記盤台部２の上面で略同一平面を形成させる。前記
ヒータ５を複数人の作業者の手作業で前記盤台部２上を
摺動させ、前記パレット１４上に移載した後、前記ヒー
タ５を下端が開放される向きに起立させる。

【００１４】その後、前記ヒータ５は治具を使用して起
立姿勢で他の構成部品と接合され、反応炉が組立てられ
る。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来の搬送用
リフタでは、大型で重量の大きいヒータの搬送用リフタ
とパレット間での移載作業、或は搬送用リフタ上でのヒ
ータの倒伏作業、起立作業を全て作業者による手作業で
行っており、作業の安全性に欠け、作業効率が悪く、
又、ヒータを破損、損傷させる危険性があった。

【００１６】本発明は斯かる実情に鑑み、搬送作業の安
全性を高め、又、作業効率の向上が図れる搬送用リフタ
を提供しようとするものである。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明は、走行台車にリ
フトアームを昇降可能に設け、該リフトアームに回転可
能にクランプ本体を設け、該クランプ本体にクランプ座
を着脱可能とし、前記クランプ本体とクランプ座間に搬
送対象物を挾持可能とした搬送用リフタに係り、又、前
記クランプ本体に上端保持座を設けると共に前記クラン
プ座に下端保持座を設け、前記上端保持座が搬送対象物
の上端部に嵌合する樹脂ブロックを有すると共に前記下
端保持座が搬送対象物の下端部に嵌合する樹脂ブロック
を有する搬送用リフタに係り、更に、前記クランプ座に
自己潤滑性を有する樹脂プレートを設け、該樹脂プレー
トを介して搬送対象物を受載する様にした搬送用リフタ
に係り、前記クランプ本体とクランプ座間に前記搬送対
象物を挾持し、所定場所まで搬送する。又、昇降動ハン
ドルの操作で前記搬送対象物を昇降させると共に回転ハ
ンドルの操作で前記搬送対象物を回転させ、起立状態に
し、所定場所に載置する。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図４を参照しつつ本
発明の実施の形態を説明する。尚、図１〜図４中、図５
及び図６と同等のものには同符号を付し、説明は省略す
る。

【００１９】搬送用リフタ２１は、走行台車２２、リフ
トアーム２３及びクランプ２４で構成されている。

【００２０】先ず、前記走行台車２２を説明する。

【００２１】略コの字形に形成した基台フレーム２５の
後端部に昇降機構（図示せず）を具備した昇降ガイド２
６を立設し、該昇降ガイド２６の下端部に軸受ビーム２
７を水平方向に突設する。該軸受ビーム２７に垂直軸２
８を中心に回転可能な自在走行車輪２９を設けると共に
前記基台フレーム２５の両先端部に走行車輪３０を設け
る。前記軸受ビーム２７の前端部には前記リフトアーム
２３に対して近接離反方向に傾動する昇降動ハンドル３
１を起伏可能に立設し、該昇降動ハンドル３１の上端は
後方に折曲している。該昇降動ハンドル３１を起伏させ
ることで図示しない昇降機構を駆動できる様になってい
る。

【００２２】次に、前記リフトアーム２３を説明する。

【００２３】リフタ昇降動パネル３２を前記昇降ガイド
２６に昇降可能に設ける。前記リフタ昇降動パネル３２
は前記昇降機構（図示せず）に連結されている。前記リ
フタ昇降動パネル３２に前方水平方向のアーム３３，３
３を左右一対固着する。一方の該アーム３３の先端には
回転ウォーム減速機３４を設け、前記アーム３３と平行
に設けられた該回転ウォーム減速機３４の入力軸６０に
は回転ハンドル３５を固着する。前記回転減速機３４の
出力軸（図示せず）は中心側に向って水平に突出し、
又、他方の前記アーム３３の先端部には前記出力軸の軸
心延長上に従動軸（図示せず）を回転自在に設ける。前
記クランプ２４は前記出力軸、従動軸により支持され
る。

【００２４】次に、前記クランプ２４を説明する。

【００２５】前記クランプ２４はクランプ本体３６とク
ランプ座３７により構成され、該クランプ座３７は前記
クランプ本体３６の下端に嵌脱可能となっている。

【００２６】該クランプ本体３６を説明する。矩形形状
の天井フレーム３８の四隅にそれぞれ下方鉛直方向に延
びる支柱フレーム３９を固着し、又、前記天井フレーム
３８の下面に断面がＬ字形状の上前方固定金具４０及び
上後方固定金具４１を前記アーム３３と直交する方向に
固着する。前記各支柱フレーム３９の長さはヒータ５の
高さより若干高く、下端側面には左右方向にクランプ本
体側孔４２が穿設されている。前記上前方固定金具４０
の内面には樹脂製の上前方樹脂ブロック４３が固着さ
れ、前記上後方固定金具４１の内面には樹脂製の上後方
樹脂ブロック４４が固着され、上端保持座４５が構成さ
れている。前記上前方樹脂ブロック４３には平面的に弓
形の上前方凹部４６が形成され、前記上後方樹脂ブロッ
ク４４には前記上前方凹部４６に対向し、該上前方凹部
４６と同一形状の上後方凹部４７が形成され、前記上前
方凹部４６及び上後方凹部４７に前記ヒータ５の上端部
が嵌合可能となっている。更に、前記天井フレーム３８
の左右両側辺の中央部には下方鉛直方向に延びる連結フ
レーム４８，４８がそれぞれ接合され、該各連結フレー
ム４８の外側側面に前記出力軸及び従動軸（いずれも図
示せず）の内端が固着されいる。而して、前記回転ハン
ドル３５を回転すると、回転は回転ウォーム減速機３４
を介してクランプ本体３６に伝達され、前記クランプ本
体３６が前記出力軸、従動軸を中心に回転する。

【００２７】次に、前記クランプ座３７を説明する。２
本の横架材４９，４９上に下前方固定金具５０及び下後
方固定金具５１が掛渡って固着され、又、前記各横架材
４９の両端部に水平方向からクランプ座側孔５２が穿設
され、該クランプ座側孔５２にそれぞれクランプ座固定
シャフト５３を嵌脱可能に挿通させる。

【００２８】前記下前方固定金具５０は前記上前方固定
金具４０と同一形状を成し、該上前方固定金具４０に対
応する位置に設けられている。

【００２９】前記下前方固定金具５０の内面には樹脂製
の下前方樹脂ブロック５４が固着され、前記下後方固定
金具５１の内面には樹脂製の下後方樹脂ブロック５５が
固着され、下端保持座５６が構成されている。前記下前
方樹脂ブロック５４には前記上前方凹部４６と同一形状
の下前方凹部５７が形成され、前記下後方樹脂ブロック
５５には前記上後方凹部４６と同一形状の下後方凹部５
８が形成され、前記下前方凹部５７及び下後方凹部５８
に前記ヒータ５の下端部が嵌合可能となっている。

【００３０】前記下前方固定金具５０と前記下後方固定
金具５１との間には樹脂製の樹脂プレート５９が前記横
架材４９上に掛渡って敷設され、前記樹脂プレート５９
の上面は前記下前方凹部５７及び前記下後方凹部５８の
上面と同じ高さになっている。該樹脂プレート５９の材
質は望ましくは自己潤滑性を有するものが望ましい。

【００３１】前記クランプ座３７は前記支柱フレーム３
９の下端に内嵌可能であり、前記クランプ本体側孔４２
とクランプ座側孔５２とを合致させ、該クランプ本体側
孔４２及びクランプ座側孔５２に前記クランプ座固定シ
ャフト５３を挿通させることにより、前記クランプ座３
７は前記クランプ本体３６と一体化される。

【００３２】以下、前記ヒータ５の搬送作業を説明す
る。

【００３３】製造された前記ヒータ５は組立工場に搬送
され、パレット１２上に横倒しの状態で載置される。前
記搬送用リフタ２１を移動させ、前記パレット１２を前
記基台フレーム２５が囲む空間に位置させ、前記ヒータ
５の軸心が前記アーム３３と平行になる様、前記搬送用
リフタ２１の姿勢を調整する。又、前記クランプ座３７
は前記クランプ座固定シャフト５３を抜脱し、前記クラ
ンプ本体３６と分離した状態にしておく。

【００３４】前記回転ハンドル３５を操作し、前記クラ
ンプ本体３６が水平状態になる迄、該クランプ本体３６
を反時計回りに回転させる。前記昇降動ハンドル３１を
操作し、前記リフタ昇降動パネル３２、アーム３３を介
して、前記クランプ本体３６を降下させ、前記支柱フレ
ーム３９が囲む空間に前記ヒータ５を位置させる。前記
搬送用リフタ２１を後退させ、前記ヒータ５の上端を前
記上前方凹部４６及び上後方凹部４７に嵌合させた後、
前記クランプ座３７を前記支柱フレーム３９の下端に嵌
合させる。前記クランプ本体側孔４２とクランプ座側孔
５２とを合致させ、該クランプ本体側孔４２及びクラン
プ座側孔５２に前記クランプ座固定シャフト５３を挿通
させ、前記クランプ座３７を前記クランプ本体３６に取
付ける。而して、前記上前方凹部４６及び上後方凹部４
７に前記ヒータ５の上部が嵌合し、前記下前方凹部５
７、下後方凹部５８に前記ヒータ５の下端部が支持さ
れ、前記ヒータ５は前記クランプ本体３６とクランプ座
３７とで挾持される。

【００３５】作業者は前記搬送用リフタ２１を押し、前
記ヒータ５を載置した前記搬送用リフタ２１を保管場所
から組立場所付近の所定の場所迄移動させる。

【００３６】前記昇降動ハンドル３１を操作し、前記昇
降動パネル３１、アーム３３を介して、前記クランプ２
４を上昇させた後、前記回転ハンドル３５を操作し、前
記クランプ２４を起立状態になる迄時計回りに回転させ
る。

【００３７】パレット１４を前記基台フレーム２５が囲
む空間に位置させ、前記パレット１４の上面と前記横架
材４９の上面の高さが同一となる様、前記昇降動ハンド
ル３１の操作により前記クランプ２４を下降させる。

【００３８】前記上前方固定金具４０及び下前方固定金
具５０を取外した後、起立状態で前記ヒータ５を前記樹
脂プレート５９上を摺動させ、前記パレット１４上に移
載する。前記樹脂プレート５９は表面の摩擦抵抗の小さ
い樹脂製である為、該樹脂プレート５９上を前記ヒータ
５を摺動させるのに大きな労力は必要ない。

【００３９】尚、上記実施の形態に於いては、縦型気相
薄膜生成装置のヒータの搬送について説明したが、ヒー
タ以外の重量機器等他の搬送対象物について使用可能で
あることは言う迄もない。

【００４０】

【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、パレッ
ト等から搬送用リフタに移載する際、作業者の手作業で
搬送対象物を摺動させる必要がなく、又、ハンドルの操
作だけで横倒しの搬送対象物を起立状態に戻すことがで
きる。従って、搬送作業時の安全性が向上すると共に作
業効率の向上が図れる。

【００４１】又、搬送対象物は樹脂製の樹脂ブロックを
介して固定金具で支持されている為、搬送作業中、搬送
対象物を損傷或は破損させる危険性も少なくなる等種々
の優れた効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る搬送用リフタでヒー
タを支持している状態を示す説明図である。

【図２】該実施の形態に於けるクランプ座の平面図であ
る。

【図３】該実施の形態に係る搬送用リフタにヒータを支
持させる作業を示す説明図である。

【図４】該実施の形態に係る搬送用リフタからパレット
にヒータを移載する作業を示す説明図である。

【図５】（Ａ）はパレットから搬送用リフタにヒータを
移載する作業を示す説明図であり、（Ｂ）は搬送用リフ
タからパレットへヒータを移載する作業を示す説明図で
ある。

【図６】ヒータの断面図である。

【符号の説明】

２１ 搬送用リフタ ２２ 走行台車 ２３ リフトアーム ２４ クランプ ３１ 昇降動ハンドル ３３ アーム ３５ 回転ハンドル ３６ クランプ本体 ３７ クランプ座 ４０ 上前方固定金具 ４１ 上後方固定金具 ５０ 下前方固定金具 ５１ 下後方固定金具

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 走行台車にリフトアームを昇降可能に設
   け、該リフトアームに回転可能にクランプ本体を設け、
   該クランプ本体にクランプ座を着脱可能とし、前記クラ
   ンプ本体とクランプ座間に搬送対象物を挾持可能とした
   ことを特徴とする搬送用リフタ。