JPH11218237A - 真空ゲートバルブ - Google Patents
真空ゲートバルブInfo
- Publication number
- JPH11218237A JPH11218237A JP10007694A JP769498A JPH11218237A JP H11218237 A JPH11218237 A JP H11218237A JP 10007694 A JP10007694 A JP 10007694A JP 769498 A JP769498 A JP 769498A JP H11218237 A JPH11218237 A JP H11218237A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- gate valve
- valve
- vacuum gate
- valve box
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Valve Housings (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
- Mechanically-Actuated Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の真空ゲートバルブは、真空容器に対し
て弁箱が独立していたため、真空ゲートバルブが取付け
られる大きさや方向が制限され、全体形状が大形化して
いた。 【解決手段】 本発明による真空ゲートバルブは、真空
ゲートバルブを構成する弁箱(5)を真空容器(6)の開口部
(7)を含む外壁(8)に直接接続し、真空容器(6)の外壁(8)
を弁箱(5)の一部とすることによって、ゲートバルブを
小型にして隣接する他の部品や装置の取り付け空間を広
くする構成である。
て弁箱が独立していたため、真空ゲートバルブが取付け
られる大きさや方向が制限され、全体形状が大形化して
いた。 【解決手段】 本発明による真空ゲートバルブは、真空
ゲートバルブを構成する弁箱(5)を真空容器(6)の開口部
(7)を含む外壁(8)に直接接続し、真空容器(6)の外壁(8)
を弁箱(5)の一部とすることによって、ゲートバルブを
小型にして隣接する他の部品や装置の取り付け空間を広
くする構成である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置や
分析装置等の真空装置に用いられる真空ゲートバルブに
関するもので、特に、形状を小型化し、取付を容易とす
るための新規な改良に関する。
分析装置等の真空装置に用いられる真空ゲートバルブに
関するもので、特に、形状を小型化し、取付を容易とす
るための新規な改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の真空ゲートバルブ１０は、図６に
示すように、真空チャンバーである真空容器６の円形の
開口部７が設けられ、この開口部７に設けられた配管１
１の下端には第１接続フランジ１２が設けられている。
前記第１接続フランジ１２と同サイズの第２接続フラン
ジ１３を有する弁箱５は前記第１接続フランジ１２に接
続され、この弁箱５の吸気口５ａには真空ポンプ１６が
接続されている。前記弁箱５内には弁体２が駆動部４に
よって真空容器６の開口部７と真空ポンプ１６間を開閉
することができるように構成されている。従って、弁箱
５、駆動部４、弁体２によって真空ゲートバルブ１０を
構成している。
示すように、真空チャンバーである真空容器６の円形の
開口部７が設けられ、この開口部７に設けられた配管１
１の下端には第１接続フランジ１２が設けられている。
前記第１接続フランジ１２と同サイズの第２接続フラン
ジ１３を有する弁箱５は前記第１接続フランジ１２に接
続され、この弁箱５の吸気口５ａには真空ポンプ１６が
接続されている。前記弁箱５内には弁体２が駆動部４に
よって真空容器６の開口部７と真空ポンプ１６間を開閉
することができるように構成されている。従って、弁箱
５、駆動部４、弁体２によって真空ゲートバルブ１０を
構成している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一般に、半導体製造装
置等における様々な真空装置の中には、真空バルブや配
管、その他の処理装置が接続されており、真空ゲートバ
ルブが取り付けられる大きさや方向が制限されることが
あった。さらには、取付場所によっては真空ゲートバル
ブに接続される部品の大きさや方向も制限されることが
あった。そのため、真空ゲートバルブは極力小型化する
ことが要求されるが、図６に示す構成においては真空容
器に対して弁箱が独立して接続されているため、配管を
必要とし、縦方向の寸法を縮めることは不可能であっ
た。
置等における様々な真空装置の中には、真空バルブや配
管、その他の処理装置が接続されており、真空ゲートバ
ルブが取り付けられる大きさや方向が制限されることが
あった。さらには、取付場所によっては真空ゲートバル
ブに接続される部品の大きさや方向も制限されることが
あった。そのため、真空ゲートバルブは極力小型化する
ことが要求されるが、図６に示す構成においては真空容
器に対して弁箱が独立して接続されているため、配管を
必要とし、縦方向の寸法を縮めることは不可能であっ
た。
【０００４】本発明は、以上のような欠点を解決するた
めになされたもので、真空ゲートバルブを構成する弁箱
を真空容器の開口部を含む外壁に直接接続し、真空容器
の外壁を弁箱の一部とすることによって、ゲートバルブ
の縦寸法等を小型化して隣接する他の部品や装置の取り
付け空間を広くするようにした真空ゲートバルブを提供
することを目的とする。
めになされたもので、真空ゲートバルブを構成する弁箱
を真空容器の開口部を含む外壁に直接接続し、真空容器
の外壁を弁箱の一部とすることによって、ゲートバルブ
の縦寸法等を小型化して隣接する他の部品や装置の取り
付け空間を広くするようにした真空ゲートバルブを提供
することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明による真空ゲート
バルブは、弁箱を真空容器の開口部を含む外壁に直接接
続し、真空容器の外壁を弁箱の一部として小型化し、さ
らに、駆動軸の軸芯方向は、開口部を通過する流体の流
れ方向と平行に配置され、駆動部は、駆動軸の軸心を中
心として任意の角度に取り付け可能とした構成である。
バルブは、弁箱を真空容器の開口部を含む外壁に直接接
続し、真空容器の外壁を弁箱の一部として小型化し、さ
らに、駆動軸の軸芯方向は、開口部を通過する流体の流
れ方向と平行に配置され、駆動部は、駆動軸の軸心を中
心として任意の角度に取り付け可能とした構成である。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明による真
空ゲートバルブの好適な実施の形態について説明する。
なお、従来例と同一又は同等部分には同一符号を用いて
説明する。図１は真空ゲートバルブを構成する長方形の
弁箱５に駆動部４が接続された状態を示しており、弁箱
５内には、駆動部４の駆動軸３により回動するアーム３
ａに接続されシールプレート１を有する弁体２が弁箱５
の長手方向に沿って移動自在に設けられ、この弁箱５に
はＯリング３０が設けられている。また、前記シールプ
レート１にはシール部材１ａが設けられている。従っ
て、前記弁体２は、図２及び図３で示されるように、弁
体２の端部側に形成された長孔２ａにアーム３ａのロー
ラ３ｂが作動自在に係合しており、このアーム３ｂの回
動によって弁体２は弁箱５内を往復移動できるように構
成されている。
空ゲートバルブの好適な実施の形態について説明する。
なお、従来例と同一又は同等部分には同一符号を用いて
説明する。図１は真空ゲートバルブを構成する長方形の
弁箱５に駆動部４が接続された状態を示しており、弁箱
５内には、駆動部４の駆動軸３により回動するアーム３
ａに接続されシールプレート１を有する弁体２が弁箱５
の長手方向に沿って移動自在に設けられ、この弁箱５に
はＯリング３０が設けられている。また、前記シールプ
レート１にはシール部材１ａが設けられている。従っ
て、前記弁体２は、図２及び図３で示されるように、弁
体２の端部側に形成された長孔２ａにアーム３ａのロー
ラ３ｂが作動自在に係合しており、このアーム３ｂの回
動によって弁体２は弁箱５内を往復移動できるように構
成されている。
【０００７】前記真空ポンプ１６が接続された弁箱５
は、図４に示されるように、真空容器６の開口部７を含
む外壁８に弁箱５のボルト９を介して取付けられ、この
外壁８が弁箱５の一部を構成している。なお、シール面
は外壁８側又は弁箱５の内壁側１５としてもよい。ま
た、駆動軸３の軸心方向は開口部７を通過する流体の流
れ方向と平行に配置されており、駆動部４は真空ゲート
バルブ１０に隣接する他の装置や部品との干渉を避ける
ため、駆動軸３の軸心を中心として製作時に決めた任意
の角度に取付けられるように構成されている。すなわ
ち、前記駆動部４は、図５の仮想線で示されるように、
弁箱５の下面に対する駆動部４の取付角度を任意の角度
とすることができるように周知の取付ボルト等を介して
装着できる構成である。
は、図４に示されるように、真空容器６の開口部７を含
む外壁８に弁箱５のボルト９を介して取付けられ、この
外壁８が弁箱５の一部を構成している。なお、シール面
は外壁８側又は弁箱５の内壁側１５としてもよい。ま
た、駆動軸３の軸心方向は開口部７を通過する流体の流
れ方向と平行に配置されており、駆動部４は真空ゲート
バルブ１０に隣接する他の装置や部品との干渉を避ける
ため、駆動軸３の軸心を中心として製作時に決めた任意
の角度に取付けられるように構成されている。すなわ
ち、前記駆動部４は、図５の仮想線で示されるように、
弁箱５の下面に対する駆動部４の取付角度を任意の角度
とすることができるように周知の取付ボルト等を介して
装着できる構成である。
【０００８】
【発明の効果】本発明は、以上のように構成されている
ため、次のような効果を得ることができる。 １） 真空容器と接続される容器や装置との距離を短く
することができ、コンダクタンスが小さく（流体が通り
易い）とされることにより、真空排気が早く、また高真
空が得られる。さらには装置全体を小さくまとめること
ができる。 ２） ゲートバルブの駆動部を駆動軸の軸心を中心とし
て任意の角度に取り付け可能なため、ゲートバルブに隣
接する装置の取付が制限されることが少なくなる。 ３） 真空ゲートバルブを構成する弁箱を真空容器の開
口部を含む外壁に直接接続し、真空容器の外壁を弁箱の
一部とするため、弁箱の低コスト化がはかれる。
ため、次のような効果を得ることができる。 １） 真空容器と接続される容器や装置との距離を短く
することができ、コンダクタンスが小さく（流体が通り
易い）とされることにより、真空排気が早く、また高真
空が得られる。さらには装置全体を小さくまとめること
ができる。 ２） ゲートバルブの駆動部を駆動軸の軸心を中心とし
て任意の角度に取り付け可能なため、ゲートバルブに隣
接する装置の取付が制限されることが少なくなる。 ３） 真空ゲートバルブを構成する弁箱を真空容器の開
口部を含む外壁に直接接続し、真空容器の外壁を弁箱の
一部とするため、弁箱の低コスト化がはかれる。
【図１】本発明による真空ゲートバルブを示す斜視図で
ある。
ある。
【図２】図１の要部を示す平面図である。
【図３】図２の要部を示すＡ−Ａ断面図である。
【図４】図１の構成に真空容器を装着した場合の断面図
である。
である。
【図５】図１の駆動部の取付角度を任意とした状態を示
す説明図である。
す説明図である。
【図６】従来の真空ゲートバルブを示す断面図である。
【符号の説明】 １ シールプレート ２ 弁体 ３ 駆動軸 ４ 駆動部 ５ 弁箱 ６ 真空容器 ７ 開口部 ８ 外壁 １０ 真空ゲートバルブ １２ 接続フランジ １３ 接続フランジ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 立山 省吾 広島県広島市安芸区船越南１丁目６番１号 株式会社日本製鋼所内 (72)発明者 緒方 芳樹 広島県広島市安芸区船越南１丁目６番１号 株式会社日本製鋼所内 (72)発明者 武本 満樹 広島県広島市安芸区船越南１丁目６番１号 株式会社日本製鋼所内
Claims (2)
- 【請求項１】 真空容器(6)に接続された弁箱(5)内にシ
ールプレート(1)を有する弁体(2)を有し、前記弁箱(5)
に前記弁体(2)を駆動させる駆動軸(3)を有する駆動部
(4)を備えた真空ゲートバルブにおいて、前記真空容器
(6)の開口部(7)を含む外壁(8)を前記弁箱(5)の一部とし
た構成よりなることを特徴とする真空ゲートバルブ。 - 【請求項２】 前記駆動軸(3)の軸芯方向は、前記開口
部(7)を通過する流体の流れ方向と平行に配置され、前
記駆動部(4)は、駆動軸(3)の軸心を中心として任意の角
度に取り付け可能に構成されていることを特徴とする請
求項１記載の真空ゲートバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10007694A JPH11218237A (ja) | 1997-11-25 | 1998-01-19 | 真空ゲートバルブ |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9-323383 | 1997-11-25 | ||
| JP32338397 | 1997-11-25 | ||
| JP10007694A JPH11218237A (ja) | 1997-11-25 | 1998-01-19 | 真空ゲートバルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11218237A true JPH11218237A (ja) | 1999-08-10 |
Family
ID=26342029
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10007694A Pending JPH11218237A (ja) | 1997-11-25 | 1998-01-19 | 真空ゲートバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11218237A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160103339A (ko) * | 2015-02-24 | 2016-09-01 | 킹 라이 하이제닉 머티리얼즈 캄파니 리미티드 | 견고한 시일링 메카니즘을 갖는 게이트 밸브 |
| CN109185481A (zh) * | 2018-09-06 | 2019-01-11 | 川北真空科技(北京)有限公司 | 一种端面驱动的插板阀 |
-
1998
- 1998-01-19 JP JP10007694A patent/JPH11218237A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160103339A (ko) * | 2015-02-24 | 2016-09-01 | 킹 라이 하이제닉 머티리얼즈 캄파니 리미티드 | 견고한 시일링 메카니즘을 갖는 게이트 밸브 |
| CN109185481A (zh) * | 2018-09-06 | 2019-01-11 | 川北真空科技(北京)有限公司 | 一种端面驱动的插板阀 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1493806A (zh) | 阀装置 | |
| JP2603005Y2 (ja) | ボールバルブ | |
| JPH11218237A (ja) | 真空ゲートバルブ | |
| JP2932168B2 (ja) | 「空調機等に使用するロック機構付きボールバルブ」 | |
| MXPA01004099A (es) | Valvula para aislamiento doble con pasajes hidraulicos rectangulares. | |
| JPH1089498A (ja) | 阻止弁 | |
| CN207470726U (zh) | 密封容器 | |
| JP3264356B2 (ja) | 蒸発燃料処理装置 | |
| EP1443191A2 (en) | Throttling valve | |
| JP2517781B2 (ja) | バルブ | |
| JP3083064U (ja) | 弁開度保持装置 | |
| JPS6117780A (ja) | 制御弁 | |
| JPH0979390A (ja) | 偏芯回転弁 | |
| KR960008506Y1 (ko) | 버터플라이 밸브 | |
| JPH053831Y2 (ja) | ||
| JP3293908B2 (ja) | 流量計 | |
| JPH0732386Y2 (ja) | 船外機の冷却水ポンプ | |
| JPH0650696Y2 (ja) | バルブ | |
| CN2125758U (zh) | 一种波纹管密封的塑料截止阀 | |
| JPH0590071U (ja) | 開閉弁用ハンドル | |
| JPH01500449A (ja) | 水中型の容積式ピストンポンプ | |
| JP3089390U (ja) | コンビネーションポンプ装置 | |
| JPH0212312B2 (ja) | ||
| JPH0538472U (ja) | 流量調整機構付ボール弁 | |
| JPH0972432A (ja) | 偏芯回転弁 |