JPH112203A - エアーシリンダ装置 - Google Patents
エアーシリンダ装置Info
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- JPH112203A JPH112203A JP17328697A JP17328697A JPH112203A JP H112203 A JPH112203 A JP H112203A JP 17328697 A JP17328697 A JP 17328697A JP 17328697 A JP17328697 A JP 17328697A JP H112203 A JPH112203 A JP H112203A
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- air
- piston
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- air chamber
- air cylinder
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000009955 peripheral mechanism Effects 0.000 description 1
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- Fluid-Pressure Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 構造が簡単で、かつ汎用性の高い中間位置停
止可能なエアーシリンダ装置を提供する。 【解決手段】 エアーシリンダー2内を摺動するピスト
ン3の両側の空気室5,6に夫々圧力を供給し、ピスト
ン3の前後に加わる力を均等としてピストンロッド4を
随意の中間位置に停止させるようにしたものであるか
ら、圧力制御によるものであり、ピストン3を停止する
ためにロック機構を設けるものではないから、構造が簡
単で、低廉となる。
止可能なエアーシリンダ装置を提供する。 【解決手段】 エアーシリンダー2内を摺動するピスト
ン3の両側の空気室5,6に夫々圧力を供給し、ピスト
ン3の前後に加わる力を均等としてピストンロッド4を
随意の中間位置に停止させるようにしたものであるか
ら、圧力制御によるものであり、ピストン3を停止する
ためにロック機構を設けるものではないから、構造が簡
単で、低廉となる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、エアーシリンダ内
を摺動するピストンと、該ピストンの一側に基端を固着
されて、シリンダ外に突出するシリンダロッドを備えた
エアーシリンダ装置に関する。
を摺動するピストンと、該ピストンの一側に基端を固着
されて、シリンダ外に突出するシリンダロッドを備えた
エアーシリンダ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般的なエアーシリンダは、通常、ピス
トンロッド側の第一空気室と、反対側の第二空気室のい
ずれかに高圧空気を供給し、そのピストンが、シリンダ
内壁に当接するまで移動して、ロッドを伸出位置と退避
位置とに選択的に変換することにより、所要の直線運動
を生じさせるようにしている。
トンロッド側の第一空気室と、反対側の第二空気室のい
ずれかに高圧空気を供給し、そのピストンが、シリンダ
内壁に当接するまで移動して、ロッドを伸出位置と退避
位置とに選択的に変換することにより、所要の直線運動
を生じさせるようにしている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上述の単純構造からな
る従来構成にあっては、ロッドは二位置のみの移動が許
容されるものであるから、作動形態が単純であり、制御
機構の複雑化に充分に対応することができないという問
題があった。
る従来構成にあっては、ロッドは二位置のみの移動が許
容されるものであるから、作動形態が単純であり、制御
機構の複雑化に充分に対応することができないという問
題があった。
【0004】この問題を解決するために、ロッドの途中
位置での停止を可能とするものとして、ロック機構を作
動させて、該ピストンを途中位置で強制停止させる構成
もある。ところでこの構成は、所定中間位置で、位置決
め精度を高めるため、機械的手段により圧力に抗して急
峻にピストンをロック停止させるものであり、構造が複
雑となり、高価なものとなるという問題があった。一
方、このようなエアーシリンダを用いないで適宜位置に
駆動停止可能な直線移動形アクチュエータとしては、サ
ーボモータ.ステッピングモ−タ,ブレーキ付モータ等
のモータを直線運動機構と連係する機構があるが、かか
る手段にあっては、構造がさらに複雑化し、かつ大型化
するという問題点があった。
位置での停止を可能とするものとして、ロック機構を作
動させて、該ピストンを途中位置で強制停止させる構成
もある。ところでこの構成は、所定中間位置で、位置決
め精度を高めるため、機械的手段により圧力に抗して急
峻にピストンをロック停止させるものであり、構造が複
雑となり、高価なものとなるという問題があった。一
方、このようなエアーシリンダを用いないで適宜位置に
駆動停止可能な直線移動形アクチュエータとしては、サ
ーボモータ.ステッピングモ−タ,ブレーキ付モータ等
のモータを直線運動機構と連係する機構があるが、かか
る手段にあっては、構造がさらに複雑化し、かつ大型化
するという問題点があった。
【0005】本発明は、構造が簡単で、かつ汎用性の高
いエアーシリンダ装置を提供することを目的とするもの
である。
いエアーシリンダ装置を提供することを目的とするもの
である。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、エアーシリン
ダ内を摺動するピストンと、該ピストンの一側に基端を
固着されて、シリンダ外に突出するシリンダロッドを備
えたエアーシリンダ装置の、そのピストンの前後に位置
するピストンロッド側の第一空気室と、反対側の第二空
気室の圧力制御を行なう空気制御機構を備え、前記空気
制御機構により、いずれかの空気室にのみ圧力を供給す
る作動形態と、両方の空気室に圧力を供給して、ピスト
ンの前後に加わる力を均等としてピストンを中間位置で
停止させる停止形態とを選択的に実行するようにしたこ
とを特徴とするエアーシリンダ装置である。
ダ内を摺動するピストンと、該ピストンの一側に基端を
固着されて、シリンダ外に突出するシリンダロッドを備
えたエアーシリンダ装置の、そのピストンの前後に位置
するピストンロッド側の第一空気室と、反対側の第二空
気室の圧力制御を行なう空気制御機構を備え、前記空気
制御機構により、いずれかの空気室にのみ圧力を供給す
る作動形態と、両方の空気室に圧力を供給して、ピスト
ンの前後に加わる力を均等としてピストンを中間位置で
停止させる停止形態とを選択的に実行するようにしたこ
とを特徴とするエアーシリンダ装置である。
【0007】かかる構成にあって、空気制御機構で作動
形態を選択実行して、いずれかの空気室にのみ圧力を供
給して、ピストンを所定位置まで移動した後に、中間位
置に到来するか又はその直前に、停止形態を実行し、他
方の低圧側空気室に高圧空気を供給する。これにより、
ピストンの前後に加わる力が均等となって、ピストンが
停止する。而して、所要の中間位置にピストン及びピス
トンロッドを停止させることが可能となる。
形態を選択実行して、いずれかの空気室にのみ圧力を供
給して、ピストンを所定位置まで移動した後に、中間位
置に到来するか又はその直前に、停止形態を実行し、他
方の低圧側空気室に高圧空気を供給する。これにより、
ピストンの前後に加わる力が均等となって、ピストンが
停止する。而して、所要の中間位置にピストン及びピス
トンロッドを停止させることが可能となる。
【0008】尚、ピストンの前後に加わる力を均等にす
る場合に、同じ圧力を両方の空気室に連通すると、ロッ
ドのある面とロッドの無い面とでは受圧面積が相違し、
第二空気室側の力が強くなり、ピストンを適正に停止さ
せることができない。そこで、第一空気室と、第二空気
室とを同一空気源に連通すると共に、空気供給路に圧力
調整装置を介挿して、該圧力調整装置による圧力調整に
よって中間停止位置で第一空気室の圧力を第二空気室の
圧力よりも少し高くして、ピストンの前後に加わる力を
均等とするようにした構成が提案される。
る場合に、同じ圧力を両方の空気室に連通すると、ロッ
ドのある面とロッドの無い面とでは受圧面積が相違し、
第二空気室側の力が強くなり、ピストンを適正に停止さ
せることができない。そこで、第一空気室と、第二空気
室とを同一空気源に連通すると共に、空気供給路に圧力
調整装置を介挿して、該圧力調整装置による圧力調整に
よって中間停止位置で第一空気室の圧力を第二空気室の
圧力よりも少し高くして、ピストンの前後に加わる力を
均等とするようにした構成が提案される。
【0009】この中間位置での停止制御はシリンダの外
側にセンサを設け、ピストンに設けた永久磁石等をセン
サで検知し、その検知信号により、空気制御装置の電磁
弁を変換する等の手段により実行することができる。こ
のようにすることにより、センサをシリンダに沿って適
宜に移動することにより、任意の位置にピストンを停止
させることができ、調整が容易となる。
側にセンサを設け、ピストンに設けた永久磁石等をセン
サで検知し、その検知信号により、空気制御装置の電磁
弁を変換する等の手段により実行することができる。こ
のようにすることにより、センサをシリンダに沿って適
宜に移動することにより、任意の位置にピストンを停止
させることができ、調整が容易となる。
【0010】
【発明の実施の形態】図1に従って、本発明の一実施例
を説明する。エアーシリンダ装置1は、汎用された基本
構成からなり、エアーシリンダ2の内部で前後方向に摺
動するピストン3と、該ピストン3の一側に基端を固着
されて、エアーシリンダ2外に突出するピストンロッド
4を備えてなる。前記エアーシリンダ2内は、ピストン
3の前後で、ピストンロッド4側の第一空気室5と、反
対側の第二空気室6とに区分され、前記エアーシリンダ
2の両端に形成された空気口7,8により、その内部の
空気圧制御がなされる。
を説明する。エアーシリンダ装置1は、汎用された基本
構成からなり、エアーシリンダ2の内部で前後方向に摺
動するピストン3と、該ピストン3の一側に基端を固着
されて、エアーシリンダ2外に突出するピストンロッド
4を備えてなる。前記エアーシリンダ2内は、ピストン
3の前後で、ピストンロッド4側の第一空気室5と、反
対側の第二空気室6とに区分され、前記エアーシリンダ
2の両端に形成された空気口7,8により、その内部の
空気圧制御がなされる。
【0011】一方、前記ピストン3には、その周面に、
永久磁石9が配設され、さらにエアーシリンダ2の周面
には、ピストンロッド4の最伸出状態,中間状態,最退
避状態の位置にあるピストン3に外側で対置して、セン
サーSH ,S0 ,SL が取付けられ、センサーSH ,S
0 ,SL により、永久磁石9を検知するようにしてい
る。
永久磁石9が配設され、さらにエアーシリンダ2の周面
には、ピストンロッド4の最伸出状態,中間状態,最退
避状態の位置にあるピストン3に外側で対置して、セン
サーSH ,S0 ,SL が取付けられ、センサーSH ,S
0 ,SL により、永久磁石9を検知するようにしてい
る。
【0012】そして本発明にあっては、空気制御機構に
より第一空気室5及び第二空気室6への圧力調整を行な
うことによって、ピストン3はセンサーSH ,S0 ,S
L の夫々に検知される位置で、停止制御がなされること
となる。
より第一空気室5及び第二空気室6への圧力調整を行な
うことによって、ピストン3はセンサーSH ,S0 ,S
L の夫々に検知される位置で、停止制御がなされること
となる。
【0013】この空気制御機構につき説明する。この空
気制御機構は、電磁弁V1 ,V2 ,減圧弁10(圧力調
整装置),空気源P及び中央制御装置CPU(又はシー
ケンサー)等からなり、電磁弁V1 ,V2 は、空気口
7,8と空気源Pとを接続する位置と、空気室5,6内
の空気を大気側に排出する二位置に変換される。また、
前記電磁弁V2 と、空気源Pとの間には、空気圧の調整
可能な減圧弁10が介装され、第二空気室6に連通され
る空気圧を、空気源Pの圧力よりも小さくなるように調
整可能としている。
気制御機構は、電磁弁V1 ,V2 ,減圧弁10(圧力調
整装置),空気源P及び中央制御装置CPU(又はシー
ケンサー)等からなり、電磁弁V1 ,V2 は、空気口
7,8と空気源Pとを接続する位置と、空気室5,6内
の空気を大気側に排出する二位置に変換される。また、
前記電磁弁V2 と、空気源Pとの間には、空気圧の調整
可能な減圧弁10が介装され、第二空気室6に連通され
る空気圧を、空気源Pの圧力よりも小さくなるように調
整可能としている。
【0014】すなわち、本発明の空気制御装置にあって
は、前記センサーS0 によりピストン3の永久磁石9が
検知される中間停止位置に、ピストンロッド4を停止制
御するものであるが、この手段として、後述するように
空気室5,6のいずれにも高圧空気を供給し、ピストン
3の前後の力を均等にして、ピストンロッド4を停止さ
せるようにしている。
は、前記センサーS0 によりピストン3の永久磁石9が
検知される中間停止位置に、ピストンロッド4を停止制
御するものであるが、この手段として、後述するように
空気室5,6のいずれにも高圧空気を供給し、ピストン
3の前後の力を均等にして、ピストンロッド4を停止さ
せるようにしている。
【0015】ところが、このようにピストン3の前後に
加わる力を均等にする場合に、同じ圧力源を両方の空気
室5,6に連通すると、ロッドのある面とロッドの無い
面とでは、ピストン3の表裏面で受圧面積が相違するか
ら、必然的に第二空気室6側の力が強くなり、ピストン
の表裏にかかる力を等しくすることができず、移動して
しまう。そこで、圧力調整装置となる減圧弁10をあら
かじめ調整して、第二空気室6への圧力を低減させ、ピ
ストンの表裏にかかる力が等しくなるように設定可能と
しているものである。
加わる力を均等にする場合に、同じ圧力源を両方の空気
室5,6に連通すると、ロッドのある面とロッドの無い
面とでは、ピストン3の表裏面で受圧面積が相違するか
ら、必然的に第二空気室6側の力が強くなり、ピストン
の表裏にかかる力を等しくすることができず、移動して
しまう。そこで、圧力調整装置となる減圧弁10をあら
かじめ調整して、第二空気室6への圧力を低減させ、ピ
ストンの表裏にかかる力が等しくなるように設定可能と
しているものである。
【0016】上述の構成にあっては、空気室5,6を夫
々電磁弁V1 ,電磁弁V2 により別途制御するようにし
て、多様な内圧状態を発生させているものである。この
電磁弁V1 ,電磁弁V2 は5ポート4ウェイのものを用
いているが、実際には、加圧状態と、排気状態とに選択
的に変換され得る電磁弁であれば良い。
々電磁弁V1 ,電磁弁V2 により別途制御するようにし
て、多様な内圧状態を発生させているものである。この
電磁弁V1 ,電磁弁V2 は5ポート4ウェイのものを用
いているが、実際には、加圧状態と、排気状態とに選択
的に変換され得る電磁弁であれば良い。
【0017】かかる構成にあって、ピストンロッド4の
作動制御指令は、中央制御装置CPU(又はシーケンサ
ー)によりなされるものであり、その態様につき説明す
る。上述の空気制御機構は、空気室5,6のいずれかの
空気室にのみ圧力を供給する作動形態と、空気室5,6
の空気室に圧力を供給して、ピストン3の前後に加わる
力を均等としてピストン3を中間位置で停止させる停止
形態とを選択的に実行するものである。この選択的切換
えは、手動切換えスイッチによるか、又は、エアーシリ
ンダ装置1を搬送路でワークの不良品の選別等行なうた
めに用いるような場合に、他の判定手段と連係して作動
切換えを行なう。このように、手動切換のほかに、種々
の機構と連係して作動切換えがなされ得る。
作動制御指令は、中央制御装置CPU(又はシーケンサ
ー)によりなされるものであり、その態様につき説明す
る。上述の空気制御機構は、空気室5,6のいずれかの
空気室にのみ圧力を供給する作動形態と、空気室5,6
の空気室に圧力を供給して、ピストン3の前後に加わる
力を均等としてピストン3を中間位置で停止させる停止
形態とを選択的に実行するものである。この選択的切換
えは、手動切換えスイッチによるか、又は、エアーシリ
ンダ装置1を搬送路でワークの不良品の選別等行なうた
めに用いるような場合に、他の判定手段と連係して作動
切換えを行なう。このように、手動切換のほかに、種々
の機構と連係して作動切換えがなされ得る。
【0018】前記作動形態にあって、ピストンロッド4
を前進させるには、電磁弁V1 を切換えて、第一空気室
5内を大気と連通し、かつ電磁弁V2 を切換えて、第二
空気室6を、減圧弁10を介して空気源Pと連通する。
これにより、ピストン3が第二空気室6内の圧力により
前方へ摺動する。そして、センサーS0 がオン作動する
と、後述するように、電磁弁V1 のみが切換わって、第
一空気室5が空気源Pと連通し、中間作動形態となっ
て、ピストン3の前後に加わる力が均等となって、ピス
トンロッド4が移動停止する。さらに、この後、前進さ
せるには、電磁弁V1 を切換えて、第一空気室5内を大
気と連通することとなる。そして、センサーSH がオン
すると、かかるオン作動によりピストンロッド4が最大
伸出位置となったことが判定され、必要に応じて例え
ば、搬送路の作動等周辺機構が次の作動に移る。すなわ
ち、センサーSH は、ピストンロッド4が最大伸出位置
の設定や、他の機構のタイミング制御等に用いられる。
を前進させるには、電磁弁V1 を切換えて、第一空気室
5内を大気と連通し、かつ電磁弁V2 を切換えて、第二
空気室6を、減圧弁10を介して空気源Pと連通する。
これにより、ピストン3が第二空気室6内の圧力により
前方へ摺動する。そして、センサーS0 がオン作動する
と、後述するように、電磁弁V1 のみが切換わって、第
一空気室5が空気源Pと連通し、中間作動形態となっ
て、ピストン3の前後に加わる力が均等となって、ピス
トンロッド4が移動停止する。さらに、この後、前進さ
せるには、電磁弁V1 を切換えて、第一空気室5内を大
気と連通することとなる。そして、センサーSH がオン
すると、かかるオン作動によりピストンロッド4が最大
伸出位置となったことが判定され、必要に応じて例え
ば、搬送路の作動等周辺機構が次の作動に移る。すなわ
ち、センサーSH は、ピストンロッド4が最大伸出位置
の設定や、他の機構のタイミング制御等に用いられる。
【0019】また、ピストンロッド4を後退させるに
は、電磁弁V1 を切換えて、第一空気室5内を空気源P
と連通し、かつ電磁弁V2 を切換えて、第二空気室6を
大気と連通する。これにより、ピストン3が第一空気室
5内の圧力により後方へ摺動する。そして、センサーS
L がオンすると、かかるオン作動によりピストンロッド
4が最大退避位置となったことが判定され、センサーS
L と同様に必要に応じて次の作動に移行する。尚、途中
で、センサーS0 のオン作動による中間作動形態を生じ
させても良い。すなわち、上述のピストンロッド4の前
進又は後退移動にあって、その作業との関係で、中間作
動形態を適宜に介在させることができる。
は、電磁弁V1 を切換えて、第一空気室5内を空気源P
と連通し、かつ電磁弁V2 を切換えて、第二空気室6を
大気と連通する。これにより、ピストン3が第一空気室
5内の圧力により後方へ摺動する。そして、センサーS
L がオンすると、かかるオン作動によりピストンロッド
4が最大退避位置となったことが判定され、センサーS
L と同様に必要に応じて次の作動に移行する。尚、途中
で、センサーS0 のオン作動による中間作動形態を生じ
させても良い。すなわち、上述のピストンロッド4の前
進又は後退移動にあって、その作業との関係で、中間作
動形態を適宜に介在させることができる。
【0020】前記中間作動形態は、上述したピストンロ
ッド4の前進又は後退移動中にセンサーS0 がオンする
と、電磁弁V1 又は電磁弁V2 を駆動し、大気と連通し
ていた側の空気室5,6を空気源Pに連通することによ
り行なわれる。このとき、第二空気室6は、上述した減
圧弁10の調整により、空気源Pの源圧力よりも少し低
くし、これによりピストンロッド4の内外で均等の力が
付与されるようにしている。このように、ピストンロッ
ド4は第一空気室5,第二空気室6の圧力バランスによ
り、中間位置で停止することとなる。従って、エアーク
ッション的な停止方法であるために、停止時の衝撃が吸
収できる。
ッド4の前進又は後退移動中にセンサーS0 がオンする
と、電磁弁V1 又は電磁弁V2 を駆動し、大気と連通し
ていた側の空気室5,6を空気源Pに連通することによ
り行なわれる。このとき、第二空気室6は、上述した減
圧弁10の調整により、空気源Pの源圧力よりも少し低
くし、これによりピストンロッド4の内外で均等の力が
付与されるようにしている。このように、ピストンロッ
ド4は第一空気室5,第二空気室6の圧力バランスによ
り、中間位置で停止することとなる。従って、エアーク
ッション的な停止方法であるために、停止時の衝撃が吸
収できる。
【0021】上述の中間位置停止は、圧力バランスによ
るものであるから、若干の遅動を生ずる場合がある。そ
こで、前記センサーS0 を所定停止位置よりも少し、後
方へ(又は前方へ)移動して、早目に圧力の切換えをす
るようにしても良い。尚、この停止制御は若干の誤差が
生じるものの、かかる誤差を許容できる制御作動にあっ
て、広範な用途に使用可能となる。
るものであるから、若干の遅動を生ずる場合がある。そ
こで、前記センサーS0 を所定停止位置よりも少し、後
方へ(又は前方へ)移動して、早目に圧力の切換えをす
るようにしても良い。尚、この停止制御は若干の誤差が
生じるものの、かかる誤差を許容できる制御作動にあっ
て、広範な用途に使用可能となる。
【0022】また、上述の実施例にあっては、センサー
S0 により、単一の中間停止位置を生じさせるようにし
たが、センサーS0 を複数設けて、複数の中間停止位置
を生じさせるようにしても良い。また、センサーS0 を
移動可能とすることにより、随意に中間停止位置を調整
できることとなる。
S0 により、単一の中間停止位置を生じさせるようにし
たが、センサーS0 を複数設けて、複数の中間停止位置
を生じさせるようにしても良い。また、センサーS0 を
移動可能とすることにより、随意に中間停止位置を調整
できることとなる。
【0023】上述のように作動するピストンロッド4に
あって、その先端には、種々の治具11を配設すること
ができ、これにより、ワークをピストンロッド4のスト
ロークの変更により振り分けたり、又はエアーシリンダ
装置1を垂直に取付けて、種々の高さに振り分ける等、
種々の用途に利用できる。
あって、その先端には、種々の治具11を配設すること
ができ、これにより、ワークをピストンロッド4のスト
ロークの変更により振り分けたり、又はエアーシリンダ
装置1を垂直に取付けて、種々の高さに振り分ける等、
種々の用途に利用できる。
【0024】
【発明の効果】本発明は、上述したように、エアーシリ
ンダ内を摺動するピストンの両側の空気室5,6に夫々
圧力を供給し、ピストン3の前後に加わる力を均等とし
てピストンロッド4を随意の中間位置に停止させるよう
にしたものであるから、 1) 圧力制御によるものであり、ピストン3を停止する
ためにロック機構を設けるものではないから、構造が簡
単で、低廉となる。 2) エアークッション的な停止方法であるために、停止
時の衝撃が吸収できる。 3) センサーS0 等を適宜位置に設定することにより、
随意に位置調整ができ、かつ複数の中間停止位置を設定
できる。 4) このように、構造が簡単で低廉であると共に、位置
決めが容易で、しかも任意の数の停止位置を設定するこ
とができるため汎用性が高い。
ンダ内を摺動するピストンの両側の空気室5,6に夫々
圧力を供給し、ピストン3の前後に加わる力を均等とし
てピストンロッド4を随意の中間位置に停止させるよう
にしたものであるから、 1) 圧力制御によるものであり、ピストン3を停止する
ためにロック機構を設けるものではないから、構造が簡
単で、低廉となる。 2) エアークッション的な停止方法であるために、停止
時の衝撃が吸収できる。 3) センサーS0 等を適宜位置に設定することにより、
随意に位置調整ができ、かつ複数の中間停止位置を設定
できる。 4) このように、構造が簡単で低廉であると共に、位置
決めが容易で、しかも任意の数の停止位置を設定するこ
とができるため汎用性が高い。
【図1】エアーシリンダ装置1と、その空気制御機構を
示す概要図である。
示す概要図である。
1 エアーシリンダ装置 2 シリンダ 3 ピストン 4 ピストンロッド 5 第一空気室 6 第二空気室 9 永久磁石 10 減圧弁 SH ,S0 ,SL センサー V1 ,V2 電磁弁 P 空気源
Claims (2)
- 【請求項1】エアーシリンダ内を摺動するピストンと、
該ピストンの一側に基端を固着されて、シリンダ外に突
出するシリンダロッドを備えたエアーシリンダ装置の、
そのピストンの前後に位置するピストンロッド側の第一
空気室と、反対側の第二空気室の圧力制御を行なう空気
制御機構を備え、 前記空気制御機構により、いずれかの空気室にのみ圧力
を供給する作動形態と、両方の空気室に圧力を供給し
て、ピストンの前後に加わる力を均等としてピストンを
中間位置で停止させる停止形態とを選択的に実行するよ
うにしたことを特徴とするエアーシリンダ装置。 - 【請求項2】第一空気室と、第二空気室とを同一空気源
に連通すると共に、空気供給路に圧力調整装置を介挿し
て、該圧力調整装置による圧力調整によって中間停止位
置で第一空気室の圧力を第二空気室の圧力よりも少し高
くして、ピストンの前後に加わる力を均等とするように
したことを特徴とする請求項1又は請求項2記載のエア
ーシリンダ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17328697A JPH112203A (ja) | 1997-06-13 | 1997-06-13 | エアーシリンダ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17328697A JPH112203A (ja) | 1997-06-13 | 1997-06-13 | エアーシリンダ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH112203A true JPH112203A (ja) | 1999-01-06 |
Family
ID=15957641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17328697A Pending JPH112203A (ja) | 1997-06-13 | 1997-06-13 | エアーシリンダ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH112203A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109065195A (zh) * | 2018-08-20 | 2018-12-21 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种反应性控制机构 |
| CN111997951A (zh) * | 2019-05-27 | 2020-11-27 | Smc 株式会社 | 卡盘装置的驱动系统及其控制方法 |
| US12516684B2 (en) | 2024-03-28 | 2026-01-06 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Three-position control device and three-position control method |
-
1997
- 1997-06-13 JP JP17328697A patent/JPH112203A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109065195A (zh) * | 2018-08-20 | 2018-12-21 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种反应性控制机构 |
| CN111997951A (zh) * | 2019-05-27 | 2020-11-27 | Smc 株式会社 | 卡盘装置的驱动系统及其控制方法 |
| US12516684B2 (en) | 2024-03-28 | 2026-01-06 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Three-position control device and three-position control method |
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