JPH11230402A - 排出弁 - Google Patents
排出弁Info
- Publication number
- JPH11230402A JPH11230402A JP3164098A JP3164098A JPH11230402A JP H11230402 A JPH11230402 A JP H11230402A JP 3164098 A JP3164098 A JP 3164098A JP 3164098 A JP3164098 A JP 3164098A JP H11230402 A JPH11230402 A JP H11230402A
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- JP
- Japan
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- valve
- cylindrical body
- discharge
- fluid
- working fluid
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 排出弁において、円筒状駆動部を排出流体に
さらさせないことでシール性を向上し弁本体を大型化す
ることなく配管スペースを最小限にとどめる。 【解決手段】 排出弁は、底部内側の環状係止用突起２
と側部の作動流体供給口３，４とを有する円筒状本体
１、本体１の上部に固定された鍔部６と底部の弁座部７
とを有する内側円筒体５、及び本体１と円筒体５との間
に形成された環状空間１１内に上下動可能に嵌挿され底
部に流体排出口１２が設けられた有底円筒体９からな
り、有底円筒体９の底部には弁座部７に圧接及び離間さ
れる弁体１３が一体に設けられ、作動流体供給口３，４
が環状空間１１と連通している。作動流体供給口３から
の作動流体により有底円筒体９が降下して弁体１３が弁
座部７から離間し排出流体は流体排出口１２から排出さ
れる。
さらさせないことでシール性を向上し弁本体を大型化す
ることなく配管スペースを最小限にとどめる。 【解決手段】 排出弁は、底部内側の環状係止用突起２
と側部の作動流体供給口３，４とを有する円筒状本体
１、本体１の上部に固定された鍔部６と底部の弁座部７
とを有する内側円筒体５、及び本体１と円筒体５との間
に形成された環状空間１１内に上下動可能に嵌挿され底
部に流体排出口１２が設けられた有底円筒体９からな
り、有底円筒体９の底部には弁座部７に圧接及び離間さ
れる弁体１３が一体に設けられ、作動流体供給口３，４
が環状空間１１と連通している。作動流体供給口３から
の作動流体により有底円筒体９が降下して弁体１３が弁
座部７から離間し排出流体は流体排出口１２から排出さ
れる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、主として半導体分
野等の洗浄装置内の洗浄槽に取り付けられて好適に使用
される排出弁に関するものであり、さらに詳しくは、コ
ンパクトで、常に確実なシール性を有し、且つ、洗浄槽
内の流体を急速に排出する排出弁に関するものである。
野等の洗浄装置内の洗浄槽に取り付けられて好適に使用
される排出弁に関するものであり、さらに詳しくは、コ
ンパクトで、常に確実なシール性を有し、且つ、洗浄槽
内の流体を急速に排出する排出弁に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の排出弁としては、図（７）に示さ
れるように駆動部内蔵型が知られており、構造は下記の
通りである。
れるように駆動部内蔵型が知られており、構造は下記の
通りである。
【０００３】上部にキャップナット２０により固定され
る排出用パイプの挿入受口２１と該挿入受口下部の弁座
部２２とを有する蓋体１９と、該蓋体の下側にボルト等
（図示せず）で固定され側面の上下に後記円筒状駆動部
２６に作動流体が供給あるいは排出される連通孔２４を
有し（図８）、底部周縁には２ケの円弧状流体排出口２
５が設けられた底部を有する中空の弁本体２３と、該弁
本体の内部中央に底部から突出して一体的に設けられた
円筒状駆動部２６とで構成されており、該円筒状駆動部
２６の内部にはピストン２７及びピストンロッド２８が
上下動可能に配置され、又、該ピストンロッド２８は前
記円筒状駆動部２６の上端部を貫通突出可能になってお
り、該ピストンロッド２８の上端には前記弁座部２２に
圧接及び離間される弁体２９が固定されている。前記円
筒状駆動部２６の内部に形成された空隙３０には作動流
体が供給あるいは排出されるようになっており、これよ
りピストンの上下動が行われるものである。前記弁本体
２３と前記円筒状駆動部２６との間には前記円弧状流体
排出口２５へ通じる流路が形成されている。
る排出用パイプの挿入受口２１と該挿入受口下部の弁座
部２２とを有する蓋体１９と、該蓋体の下側にボルト等
（図示せず）で固定され側面の上下に後記円筒状駆動部
２６に作動流体が供給あるいは排出される連通孔２４を
有し（図８）、底部周縁には２ケの円弧状流体排出口２
５が設けられた底部を有する中空の弁本体２３と、該弁
本体の内部中央に底部から突出して一体的に設けられた
円筒状駆動部２６とで構成されており、該円筒状駆動部
２６の内部にはピストン２７及びピストンロッド２８が
上下動可能に配置され、又、該ピストンロッド２８は前
記円筒状駆動部２６の上端部を貫通突出可能になってお
り、該ピストンロッド２８の上端には前記弁座部２２に
圧接及び離間される弁体２９が固定されている。前記円
筒状駆動部２６の内部に形成された空隙３０には作動流
体が供給あるいは排出されるようになっており、これよ
りピストンの上下動が行われるものである。前記弁本体
２３と前記円筒状駆動部２６との間には前記円弧状流体
排出口２５へ通じる流路が形成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構造を有する従来の排出弁は、前記円筒状駆動部
２６が、弁本体内に配置されているため弁開時には常に
流体にさらされている構造になっていた。又、流体の排
出速度を高めるためには、弁体の移動距離（すなわち、
弁体２９と弁座２２間の距離）を大きくしなければなら
ず、この場合は弁本体の長さを大きくしなければならな
い構造になっていた。
ような構造を有する従来の排出弁は、前記円筒状駆動部
２６が、弁本体内に配置されているため弁開時には常に
流体にさらされている構造になっていた。又、流体の排
出速度を高めるためには、弁体の移動距離（すなわち、
弁体２９と弁座２２間の距離）を大きくしなければなら
ず、この場合は弁本体の長さを大きくしなければならな
い構造になっていた。
【０００５】そのため前者の場合、排出される流体が高
温の時、前記円筒状駆動部を構成するピストン、ピスト
ンロッド等がその熱により膨張、収縮、あるいは変形を
生じ、シール性の低下、誤作動、故障等の原因となって
いた。
温の時、前記円筒状駆動部を構成するピストン、ピスト
ンロッド等がその熱により膨張、収縮、あるいは変形を
生じ、シール性の低下、誤作動、故障等の原因となって
いた。
【０００６】又、後者の場合、弁本体も大きくなること
から長い配管スペースが必要になり狭いスペースにおい
ては使用できない場合があり、又、重量が増すため支持
具を必要としていた。
から長い配管スペースが必要になり狭いスペースにおい
ては使用できない場合があり、又、重量が増すため支持
具を必要としていた。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、以上のような
従来技術の問題点に鑑みなされたもので、その構成は図
１を参照すると、底部内側に環状係止部（２）が突設さ
れ側面の上下に一対の作動流体供給口（３）（４）が設
けられた円筒状本体（１）と、上部に設けられた鍔部
（６）が円筒状本体（１）の上部内側に固定されかつ底
部内側に弁座部（７）が設けられた内側円筒体（５）
と、円筒状本体（１）と内側円筒体（５）との間に形成
された環状空間（１１）と、環状空間（１１）内に上下
動可能に嵌挿され底部には複数の流体排出口（１２）が
設けられた有底円筒体（９）とからなり、前記有底円筒
体（９）の底部には前記弁座部（７）に圧接及び離間さ
れる弁体（１３）が一体的に設けられ、前記一対の作動
流体供給口（３）（４）が前記環状空間（１１）と連通
していることを特徴としている。
従来技術の問題点に鑑みなされたもので、その構成は図
１を参照すると、底部内側に環状係止部（２）が突設さ
れ側面の上下に一対の作動流体供給口（３）（４）が設
けられた円筒状本体（１）と、上部に設けられた鍔部
（６）が円筒状本体（１）の上部内側に固定されかつ底
部内側に弁座部（７）が設けられた内側円筒体（５）
と、円筒状本体（１）と内側円筒体（５）との間に形成
された環状空間（１１）と、環状空間（１１）内に上下
動可能に嵌挿され底部には複数の流体排出口（１２）が
設けられた有底円筒体（９）とからなり、前記有底円筒
体（９）の底部には前記弁座部（７）に圧接及び離間さ
れる弁体（１３）が一体的に設けられ、前記一対の作動
流体供給口（３）（４）が前記環状空間（１１）と連通
していることを特徴としている。
【０００８】又、前記弁体１３の断面形状は矩形状、円
弧状、略三角形状、又は、略台形状であり、さらに、前
記弁体１３は、円環形状に設けることもできる。
弧状、略三角形状、又は、略台形状であり、さらに、前
記弁体１３は、円環形状に設けることもできる。
【０００９】また、前記内側円筒体５の内周面には流体
排出パイプ（８）の流出口が接着剤により固定され又は
内側面と流出口とが螺着により連結されている。
排出パイプ（８）の流出口が接着剤により固定され又は
内側面と流出口とが螺着により連結されている。
【００１０】排出弁の各部材の材質は、硬質塩化ビニル
樹脂、塩素化塩化ビニル樹脂、ポリプロピレン、ＰＴＦ
Ｅ，ＰＦＡ等のプラスチック、又は、金属等が好適に使
用されるが、特に限定されない。
樹脂、塩素化塩化ビニル樹脂、ポリプロピレン、ＰＴＦ
Ｅ，ＰＦＡ等のプラスチック、又は、金属等が好適に使
用されるが、特に限定されない。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施態様について
図面を参照して説明するが、本発明が本実施態様に限定
されないことは言うまでもない。図１は、ポリプロピレ
ン等のプラスチックからなる排出弁の閉塞状態を示す縦
断面図である。図において、１は円筒状本体であり、底
部内側には環状係止部２が突出して設けられ、外周側面
の上下には、後記環状空間１１に連通した作動流体供給
口３，４が２ケ設けられている。
図面を参照して説明するが、本発明が本実施態様に限定
されないことは言うまでもない。図１は、ポリプロピレ
ン等のプラスチックからなる排出弁の閉塞状態を示す縦
断面図である。図において、１は円筒状本体であり、底
部内側には環状係止部２が突出して設けられ、外周側面
の上下には、後記環状空間１１に連通した作動流体供給
口３，４が２ケ設けられている。
【００１２】５は、洗浄槽などの底部に設けられた排出
用パイプ８に接続される内側円筒体であり、上部外周面
には外方に突出した鍔部６が設けられ、鍔部６の外周側
面が前記円筒状本体１の上端部内周面に螺合により固定
されている。内側円筒体５の底部内側には環状の弁座部
７が突出して設けられている。実質的には弁座部７の底
部が、後記弁体１３が圧接される弁座部７となってお
り、上部は接続される（図１では接着接合）パイプ８の
ストッパーとなっている。図６には他の接合状態として
内側円筒体５の内周面に雌ねじ部１８が設けられ流体排
出パイプ８と螺着により連結されている。なお、内側円
筒体５の本体部の外径は後記有底円筒体９の内径よりも
やや小さく設定されている。
用パイプ８に接続される内側円筒体であり、上部外周面
には外方に突出した鍔部６が設けられ、鍔部６の外周側
面が前記円筒状本体１の上端部内周面に螺合により固定
されている。内側円筒体５の底部内側には環状の弁座部
７が突出して設けられている。実質的には弁座部７の底
部が、後記弁体１３が圧接される弁座部７となってお
り、上部は接続される（図１では接着接合）パイプ８の
ストッパーとなっている。図６には他の接合状態として
内側円筒体５の内周面に雌ねじ部１８が設けられ流体排
出パイプ８と螺着により連結されている。なお、内側円
筒体５の本体部の外径は後記有底円筒体９の内径よりも
やや小さく設定されている。
【００１３】９は有底円筒体であり、上端部に設けられ
た鍔部１０が円筒状本体１と内側円筒状５との間に形成
された環状空間内１１を上下に移動可能に配置されてい
る。又、底部周縁には４ケの円弧状の流体排出口１２が
設けられており（図３参照）、底部中央には、前記内側
円筒体の弁座部７に圧接及び離間される断面略台形状の
ＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製の弁体１３がネジ結合により
固定されている。弁体１３の固定方法はネジ結合に限定
されず融着等の方法でも良い。前記流体排出口１２の数
は４ケに限定されず、２〜３ケ設けてもかまわない。
又、弁体１３の断面形状は略台形状に限定されず矩形
状、円弧状、あるいは、図４、図５に示されているよう
な略三角形状あるいは円環形状に設けてもよい。尚、有
底円筒体９の内径は内側円筒体５の外径よりやや大き
く、又、外径は円筒状本体１の環状係止部２の内径より
やや小さく設定されていることは言うまでもない。又、
図１からも明らかなごとく、円筒状本体１、内側円筒体
５及び有底円筒体９の各々が接する部分に設けられた環
状溝にシール用のＯ−リング１４，１５，１６，１７が
嵌合配置されている。
た鍔部１０が円筒状本体１と内側円筒状５との間に形成
された環状空間内１１を上下に移動可能に配置されてい
る。又、底部周縁には４ケの円弧状の流体排出口１２が
設けられており（図３参照）、底部中央には、前記内側
円筒体の弁座部７に圧接及び離間される断面略台形状の
ＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製の弁体１３がネジ結合により
固定されている。弁体１３の固定方法はネジ結合に限定
されず融着等の方法でも良い。前記流体排出口１２の数
は４ケに限定されず、２〜３ケ設けてもかまわない。
又、弁体１３の断面形状は略台形状に限定されず矩形
状、円弧状、あるいは、図４、図５に示されているよう
な略三角形状あるいは円環形状に設けてもよい。尚、有
底円筒体９の内径は内側円筒体５の外径よりやや大き
く、又、外径は円筒状本体１の環状係止部２の内径より
やや小さく設定されていることは言うまでもない。又、
図１からも明らかなごとく、円筒状本体１、内側円筒体
５及び有底円筒体９の各々が接する部分に設けられた環
状溝にシール用のＯ−リング１４，１５，１６，１７が
嵌合配置されている。
【００１４】次に、本実施態様の排出弁の作動について
説明する。図１の状態で上方の作動流体供給口３に外部
より作動流体（例えば圧縮された空気等）が注入される
と、該作動流体が環状空間１１に導入され、その圧力で
有底円筒体９の鍔部１０が押し下げられ有底円筒体９全
体が下降する。同時に、環状空間１１に滞留していた作
動流体は下方の作動流体供給口４より排出され、弁体１
３が弁座部７より離間され、弁が開状態となる。従っ
て、弁が接続されている洗浄槽等に入っていた流体が流
体排出口１２より外部に排出される。この時、図２に示
されているごとく、有底円筒体９は鍔部１０が円筒状本
体１の環状係止部２に圧接され、下方部が円筒状本体１
の下端面より突出した状態になっている。一方、図２の
状態から円筒状本体１の下方の作動流体供給口４から作
動流体が注入されると、上記開作動時とは逆の作動によ
り弁が閉塞状態となる。
説明する。図１の状態で上方の作動流体供給口３に外部
より作動流体（例えば圧縮された空気等）が注入される
と、該作動流体が環状空間１１に導入され、その圧力で
有底円筒体９の鍔部１０が押し下げられ有底円筒体９全
体が下降する。同時に、環状空間１１に滞留していた作
動流体は下方の作動流体供給口４より排出され、弁体１
３が弁座部７より離間され、弁が開状態となる。従っ
て、弁が接続されている洗浄槽等に入っていた流体が流
体排出口１２より外部に排出される。この時、図２に示
されているごとく、有底円筒体９は鍔部１０が円筒状本
体１の環状係止部２に圧接され、下方部が円筒状本体１
の下端面より突出した状態になっている。一方、図２の
状態から円筒状本体１の下方の作動流体供給口４から作
動流体が注入されると、上記開作動時とは逆の作動によ
り弁が閉塞状態となる。
【００１５】
【発明の効果】本発明の排出弁は以上説明したような構
造を有しており、これを使用することにより以下の優れ
た効果が得られる。 （１）非常にコンパクトな構造になっているため、配管
末端からの特に下方向への突出代が小さくなり、狭いス
ペース部でも配管できる。 （２）円筒状本体と内側円筒体との間に形成された環状
空間部（すなわちシリンダー相当部）が流路の外側に配
置されているため、流体の熱による影響を受けにくい。
従って、有底円筒体の鍔部（すなわちピストン相当部）
の変形等が起こらずシール性が確保され、弁の誤作動や
故障が発生しにくい。 （３）シール性能を向上させるためには、従来タイプで
はピストンの受圧面積を大きくしなければならず、開口
面積すなわち流体排出口の面積が小さくなるが、本発明
では有底円筒体の鍔部を広げるだけでよいので、流体排
出口の面積には変化がない。
造を有しており、これを使用することにより以下の優れ
た効果が得られる。 （１）非常にコンパクトな構造になっているため、配管
末端からの特に下方向への突出代が小さくなり、狭いス
ペース部でも配管できる。 （２）円筒状本体と内側円筒体との間に形成された環状
空間部（すなわちシリンダー相当部）が流路の外側に配
置されているため、流体の熱による影響を受けにくい。
従って、有底円筒体の鍔部（すなわちピストン相当部）
の変形等が起こらずシール性が確保され、弁の誤作動や
故障が発生しにくい。 （３）シール性能を向上させるためには、従来タイプで
はピストンの受圧面積を大きくしなければならず、開口
面積すなわち流体排出口の面積が小さくなるが、本発明
では有底円筒体の鍔部を広げるだけでよいので、流体排
出口の面積には変化がない。
【図１】本発明の一実施態様を示す排出弁の閉塞状態を
示す縦断面図である。
示す縦断面図である。
【図２】図１における排出弁の開状態を示す縦断面図で
ある。
ある。
【図３】図１における排出弁の底面図である。
【図４】図２における弁体の断面が略三角形状である場
合の縦断面図である。
合の縦断面図である。
【図５】図２における弁体の断面が円環状である場合の
縦断面図である。
縦断面図である。
【図６】図１における内側円筒体の内周面に雌ネジ部が
設けられた排出弁の縦断面図である。
設けられた排出弁の縦断面図である。
【図７】従来の排出弁を示す縦断面図である。
【図８】図７における排出弁の底面図である。
１…円筒状本体 ２…環状係止部 ３…作動流体供給口 ４…作動流体供給口 ５…内側円筒体 ６…鍔部 ７…弁座部 ８…パイプ ９…有底円筒体 １０…鍔部 １１…環状空間 １２…流体排出口 １３…弁体 １４…Ｏ−リング １５…Ｏ−リング １６…Ｏ−リング １７…Ｏ−リング １８…雌ネジ部 １９…蓋体 ２０…キャップナット ２１…挿入受口 ２２…弁座部 ２３…弁本体 ２４…連通孔 ２５…流体排出口 ２６…円筒状駆動部 ２７…ピストン ２８…ピストンロッド ２９…弁体 ３０…空隙 ３１…流路
Claims (6)
- 【請求項１】 底部内側に環状係止部（２）が突設され
側面の上下に一対の作動流体供給口（３）（４）が設け
られた円筒状本体（１）と、上部に設けられた鍔部
（６）が円筒状本体（１）の上部内側に固定されかつ底
部内側に弁座部（７）が設けられた内側円筒体（５）
と、円筒状本体（１）と内側円筒体（５）との間に形成
された環状空間（１１）と、環状空間（１１）内に上下
動可能に嵌挿され底部には複数の流体排出口（１２）が
設けられた有底円筒体（９）とからなり、前記有底円筒
体（９）の底部には前記弁座部（７）に圧接及び離間さ
れる弁体（１３）が一体的に設けられ、前記一対の作動
流体供給口（３）（４）が前記環状空間（１１）と連通
していることを特徴とする排出弁。 - 【請求項２】 弁体（１３）の断面形状が矩形状、円弧
状、略三角形状、又は、略台形状である請求項１記載の
排出弁。 - 【請求項３】 弁体（１３）が円環形状に設けられてい
る請求項１記載の排出弁。 - 【請求項４】 内側円筒体（５）に流体排出パイプ
（８）の排出口が連結されている請求項１記載の排出
弁。 - 【請求項５】 流体排出管（８）の排出口が接着剤によ
り連結されている請求項４記載の排出弁。 - 【請求項６】 流体排出管（８）の排出口が螺着により
連結されている請求項４記載の排出弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3164098A JPH11230402A (ja) | 1998-02-13 | 1998-02-13 | 排出弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3164098A JPH11230402A (ja) | 1998-02-13 | 1998-02-13 | 排出弁 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11230402A true JPH11230402A (ja) | 1999-08-27 |
Family
ID=12336818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3164098A Pending JPH11230402A (ja) | 1998-02-13 | 1998-02-13 | 排出弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11230402A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017504538A (ja) * | 2014-01-29 | 2017-02-09 | サフラン・エアクラフト・エンジンズ | 改善された宇宙船用推進剤供給システム |
-
1998
- 1998-02-13 JP JP3164098A patent/JPH11230402A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017504538A (ja) * | 2014-01-29 | 2017-02-09 | サフラン・エアクラフト・エンジンズ | 改善された宇宙船用推進剤供給システム |
| US10308376B2 (en) | 2014-01-29 | 2019-06-04 | Safran Aircraft Engines | Propellant feed system for a space vehicle |
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