JPH11232811A - 磁気ヘッド - Google Patents
磁気ヘッドInfo
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- JPH11232811A JPH11232811A JP10034510A JP3451098A JPH11232811A JP H11232811 A JPH11232811 A JP H11232811A JP 10034510 A JP10034510 A JP 10034510A JP 3451098 A JP3451098 A JP 3451098A JP H11232811 A JPH11232811 A JP H11232811A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
- G11B5/4826—Mounting, aligning or attachment of the transducer head relative to the arm assembly, e.g. slider holding members, gimbals, adhesive
Landscapes
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 スライダのトレーリング側端面は、ボールボ
ンディングによって、フレキシャに剛体接合されている
ため、スライダとフレキシャとの接合面接着に使用され
る接着剤が剛直であると、スライダとフレキシャとの熱
膨張係数が異なることにより生じる熱応力によって、接
着前後で前記スライダのＡＢＳ面平坦度が変化する接着
変形が発生しやすくなる。 【解決手段】 スライダ１とフレキシャ６の舌片６ｂと
の接合面接着には、硬化後においても柔軟性を有する熱
可塑性樹脂などの樹脂系接着剤８が使用される。前記接
着剤８の好ましい特性は、２５℃におけるヤング率が７
００〜５２００（ｋｇ／ｃｍ2）で、且つ接着強度が５
０（ｇｆ）以上である。このような特性を有していれ
ば、スライダの接着変形量を３ｎｍ以下に抑えることが
できる。
ンディングによって、フレキシャに剛体接合されている
ため、スライダとフレキシャとの接合面接着に使用され
る接着剤が剛直であると、スライダとフレキシャとの熱
膨張係数が異なることにより生じる熱応力によって、接
着前後で前記スライダのＡＢＳ面平坦度が変化する接着
変形が発生しやすくなる。 【解決手段】 スライダ１とフレキシャ６の舌片６ｂと
の接合面接着には、硬化後においても柔軟性を有する熱
可塑性樹脂などの樹脂系接着剤８が使用される。前記接
着剤８の好ましい特性は、２５℃におけるヤング率が７
００〜５２００（ｋｇ／ｃｍ2）で、且つ接着強度が５
０（ｇｆ）以上である。このような特性を有していれ
ば、スライダの接着変形量を３ｎｍ以下に抑えることが
できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ハードディスク装
置などに装備される浮上式の磁気ヘッド装置に係り、特
にスライダと前記スライダを支持するフレキシャとが接
着剤により接着接合されている磁気ヘッドに関する。
置などに装備される浮上式の磁気ヘッド装置に係り、特
にスライダと前記スライダを支持するフレキシャとが接
着剤により接着接合されている磁気ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】図３はハードディスク装置に使用される
磁気ヘッド装置の従来の構造を示す部分側面図である。
この磁気ヘッド装置は、スライダ１とこれを支持する支
持部材２とから構成されている。
磁気ヘッド装置の従来の構造を示す部分側面図である。
この磁気ヘッド装置は、スライダ１とこれを支持する支
持部材２とから構成されている。
【０００３】前記スライダ１は、セラミック材料などに
より形成されている。また前記スライダ１のトレーリン
グ側Ｂ端面には、薄膜素子４が設けられており、前記薄
膜素子４は、磁気抵抗効果を利用してハードディスクな
どの記録媒体からの洩れ磁界を検出し磁気信号を読み取
るＭＲヘッド（読み出しヘッド）と、コイルなどがパタ
ーン形成されたインダクティブヘッド（書き込みヘッ
ド）とを有している。
より形成されている。また前記スライダ１のトレーリン
グ側Ｂ端面には、薄膜素子４が設けられており、前記薄
膜素子４は、磁気抵抗効果を利用してハードディスクな
どの記録媒体からの洩れ磁界を検出し磁気信号を読み取
るＭＲヘッド（読み出しヘッド）と、コイルなどがパタ
ーン形成されたインダクティブヘッド（書き込みヘッ
ド）とを有している。
【０００４】支持部材２は、ロードビーム５とフレキシ
ャ６とから構成されている。ロードビーム５はステンレ
スなどの板ばね材料により形成され、先端側には両側部
に折り曲げ部５ａが形成され、この部分が剛性を有する
構造となっており、前記折り曲げ部５ａが形成されてい
ないロードビーム５の基端部にて所定の弾性押圧力を発
揮できるものとなっている。
ャ６とから構成されている。ロードビーム５はステンレ
スなどの板ばね材料により形成され、先端側には両側部
に折り曲げ部５ａが形成され、この部分が剛性を有する
構造となっており、前記折り曲げ部５ａが形成されてい
ないロードビーム５の基端部にて所定の弾性押圧力を発
揮できるものとなっている。
【０００５】また前記ロードビーム５の先端部付近に
は、図示下方向に突き出した球面状のピボット７が形成
されており、このピボット７に後述するフレキシャ６を
介して前記スライダ１が当接される。フレキシャ６はス
テンレスなどの薄い板ばねにより形成されたものであ
る。前記フレキシャ６は、固定部６ａと舌片６ｂとで構
成されており、前記固定部６ａと舌片６ｂとが段差部６
ｃによって連結されている。
は、図示下方向に突き出した球面状のピボット７が形成
されており、このピボット７に後述するフレキシャ６を
介して前記スライダ１が当接される。フレキシャ６はス
テンレスなどの薄い板ばねにより形成されたものであ
る。前記フレキシャ６は、固定部６ａと舌片６ｂとで構
成されており、前記固定部６ａと舌片６ｂとが段差部６
ｃによって連結されている。
【０００６】図３に示すように、前記舌片６ｂの下面に
は、スライダ１が樹脂系接着剤２０により接着固定され
ている。この樹脂系接着剤２０は、例えば熱硬化型エポ
キシ系樹脂である。また、舌片６ｂの裏側には、導電パ
ターン（図示しない）が設けられ、さらにスライダ１の
トレーリング側Ｂ端面には、薄膜素子４から引き出され
た薄膜による電極端子部（図示しない）が設けられてお
り、この導電パターンと電極端子部との接合部分に金
（Ａｕ）のボールボンディングなどのよる接合体９が形
成される。さらに前記接合体９は、補強樹脂膜１０によ
って覆われ保護されている。
は、スライダ１が樹脂系接着剤２０により接着固定され
ている。この樹脂系接着剤２０は、例えば熱硬化型エポ
キシ系樹脂である。また、舌片６ｂの裏側には、導電パ
ターン（図示しない）が設けられ、さらにスライダ１の
トレーリング側Ｂ端面には、薄膜素子４から引き出され
た薄膜による電極端子部（図示しない）が設けられてお
り、この導電パターンと電極端子部との接合部分に金
（Ａｕ）のボールボンディングなどのよる接合体９が形
成される。さらに前記接合体９は、補強樹脂膜１０によ
って覆われ保護されている。
【０００７】また、スライダ１のリーディング側Ａ端面
から、舌片６ｂにかけて、フィレット状の導電樹脂膜２
１が形成されている。この導電樹脂膜２１は、スライダ
１とフレキシャ６間の導通を確保し、スライダ１の静電
気を支持部材２側に逃がす目的で設けられたものであ
る。前記舌片６ｂの上面はロードビーム５に形成された
ピボット７に突き当てられ、前記舌片６ｂの下面に接着
固定されたスライダ１が前記舌片６ｂの弾性により、前
記ピボット７の頂点を支点として姿勢を自由に変えるこ
とができるようになっている。
から、舌片６ｂにかけて、フィレット状の導電樹脂膜２
１が形成されている。この導電樹脂膜２１は、スライダ
１とフレキシャ６間の導通を確保し、スライダ１の静電
気を支持部材２側に逃がす目的で設けられたものであ
る。前記舌片６ｂの上面はロードビーム５に形成された
ピボット７に突き当てられ、前記舌片６ｂの下面に接着
固定されたスライダ１が前記舌片６ｂの弾性により、前
記ピボット７の頂点を支点として姿勢を自由に変えるこ
とができるようになっている。
【０００８】磁気ヘッド装置のスライダ１は、ロードビ
ーム５の基端部の弾性力によりディスクＤに付勢されて
いる。この磁気ヘッド装置は、いわゆるＣＳＳ（コンタ
クト・スタート・ストップ）方式のハードディスク装置
などに使用され、ディスクＤが停止しているときは、前
記弾性力によりスライダ１のＡＢＳ面（浮上面）１ａが
ディスクＤの記録面に接触する。ディスクＤが始動する
と、ディスクの移動方向に沿ってスライダ１とディスク
Ｄ表面の間に空気流が導かれ、スライダ１のＡＢＳ面１
ａが空気流による浮上力を受けて、スライダ１がディス
クＤ表面から短い距離δ2（スペーシング）だけ浮上す
る。
ーム５の基端部の弾性力によりディスクＤに付勢されて
いる。この磁気ヘッド装置は、いわゆるＣＳＳ（コンタ
クト・スタート・ストップ）方式のハードディスク装置
などに使用され、ディスクＤが停止しているときは、前
記弾性力によりスライダ１のＡＢＳ面（浮上面）１ａが
ディスクＤの記録面に接触する。ディスクＤが始動する
と、ディスクの移動方向に沿ってスライダ１とディスク
Ｄ表面の間に空気流が導かれ、スライダ１のＡＢＳ面１
ａが空気流による浮上力を受けて、スライダ１がディス
クＤ表面から短い距離δ2（スペーシング）だけ浮上す
る。
【０００９】浮上姿勢では、図３に示すように、スライ
ダ１のリーディング側Ａがトレーリング側Ｂよりもディ
スクＤ上に高く持ち上がる傾斜した浮上姿勢となる。こ
の浮上姿勢にて、薄膜素子４のＭＲヘッドによりディス
クからの磁気信号が検出され、あるいはインダクティブ
ヘッドにより前記磁気信号が書き込まれる。
ダ１のリーディング側Ａがトレーリング側Ｂよりもディ
スクＤ上に高く持ち上がる傾斜した浮上姿勢となる。こ
の浮上姿勢にて、薄膜素子４のＭＲヘッドによりディス
クからの磁気信号が検出され、あるいはインダクティブ
ヘッドにより前記磁気信号が書き込まれる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の磁気ヘ
ッド装置では、スライダ１のＡＢＳ面（浮上面）１ａの
平坦度が変化しやすく、またはクラウン量が変化しやす
く、スペーシングδ2を一定量に設定することが非常に
困難であった。スライダ１のＡＢＳ面１ａの平坦度また
はクラウン量が変化しやすくなっているのは、スライダ
１の上面とフレキシャ６の舌片６ｂの下面との接合に用
いられる樹脂系接着剤２０として、従来では熱硬化性エ
ポキシ樹脂などの剛直な接着剤を使用していたからであ
る。
ッド装置では、スライダ１のＡＢＳ面（浮上面）１ａの
平坦度が変化しやすく、またはクラウン量が変化しやす
く、スペーシングδ2を一定量に設定することが非常に
困難であった。スライダ１のＡＢＳ面１ａの平坦度また
はクラウン量が変化しやすくなっているのは、スライダ
１の上面とフレキシャ６の舌片６ｂの下面との接合に用
いられる樹脂系接着剤２０として、従来では熱硬化性エ
ポキシ樹脂などの剛直な接着剤を使用していたからであ
る。
【００１１】図３に示すように、スライダ１のトレーリ
ング側Ｂ端面は、ボールボンディングによる接合体９に
よってフレキシャ６の舌片６ｂに剛体接合されている。
しかも、スライダ１とフレキシャ６とでは熱膨張係数は
異なっているために、スライダ１の上面と舌片６ｂの下
面とを接合する樹脂系接着剤２０が剛直であると、前記
舌片６ｂとスライダ１との熱膨張係数の相違による熱応
力が、前記樹脂系接着剤２０を介してスライダ１に作用
し、前記スライダ１は接着変形を引き起こすことにな
る。
ング側Ｂ端面は、ボールボンディングによる接合体９に
よってフレキシャ６の舌片６ｂに剛体接合されている。
しかも、スライダ１とフレキシャ６とでは熱膨張係数は
異なっているために、スライダ１の上面と舌片６ｂの下
面とを接合する樹脂系接着剤２０が剛直であると、前記
舌片６ｂとスライダ１との熱膨張係数の相違による熱応
力が、前記樹脂系接着剤２０を介してスライダ１に作用
し、前記スライダ１は接着変形を引き起こすことにな
る。
【００１２】通常、熱膨張係数は、スライダ１よりもフ
レキシャ６の方が大きいため、例えば低温領域では、ス
ライダ１のＡＢＳ面１ａが、ディスクＤ方向に突形状に
変形し、スペーシングロスが大きくなることにより、出
力低下の原因となる。また高温領域では、スライダ１の
ＡＢＳ面１ａがディスクＤ方向に凹形状に変形すること
により、スライダ１のトレーリング側Ｂ端面がディスク
Ｄ表面に衝突する可能性が高くなり、最低浮上量（スペ
ーシング量）を保証できないといった問題も発生する。
レキシャ６の方が大きいため、例えば低温領域では、ス
ライダ１のＡＢＳ面１ａが、ディスクＤ方向に突形状に
変形し、スペーシングロスが大きくなることにより、出
力低下の原因となる。また高温領域では、スライダ１の
ＡＢＳ面１ａがディスクＤ方向に凹形状に変形すること
により、スライダ１のトレーリング側Ｂ端面がディスク
Ｄ表面に衝突する可能性が高くなり、最低浮上量（スペ
ーシング量）を保証できないといった問題も発生する。
【００１３】また図３に示すように、スライダ１のリー
ディング側Ａ端面からフレキシャ６の舌片６ｂにかけて
導電樹脂膜２１が設けられている場合、この導電樹脂膜
２１も、前記樹脂系接着剤２０と同様に剛直であると、
スライダ１のトレーリング側Ｂ端面とリーディング側Ａ
端面の両方が剛体接合されることになり、熱応力による
前記スライダ１の接着変形はより大きいものとなる。
ディング側Ａ端面からフレキシャ６の舌片６ｂにかけて
導電樹脂膜２１が設けられている場合、この導電樹脂膜
２１も、前記樹脂系接着剤２０と同様に剛直であると、
スライダ１のトレーリング側Ｂ端面とリーディング側Ａ
端面の両方が剛体接合されることになり、熱応力による
前記スライダ１の接着変形はより大きいものとなる。
【００１４】本発明は上記従来の課題を解決するための
ものであり、特に、硬化後において柔軟性を有する樹脂
系接着剤を、スライダとフレキシャとの接着接合に使用
することにより、前記スライダの接着変形量を低減させ
ることが可能な磁気ヘッドを提供することを目的として
いる。
ものであり、特に、硬化後において柔軟性を有する樹脂
系接着剤を、スライダとフレキシャとの接着接合に使用
することにより、前記スライダの接着変形量を低減させ
ることが可能な磁気ヘッドを提供することを目的として
いる。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明は、記録及び／ま
たは再生用の薄膜素子を有するスライダと、弾性変形可
能な舌片を有するフレキシャとが、樹脂系接着剤を介し
て接合されて成る磁気ヘッドにおいて、前記樹脂系接着
剤の２５℃におけるヤング率Ｅが、７００〜５２００
（ｋｇ／ｃｍ2）の範囲内であり、且つ接着強度が、５
０（ｇｆ）以上であることを特徴とするものである。
たは再生用の薄膜素子を有するスライダと、弾性変形可
能な舌片を有するフレキシャとが、樹脂系接着剤を介し
て接合されて成る磁気ヘッドにおいて、前記樹脂系接着
剤の２５℃におけるヤング率Ｅが、７００〜５２００
（ｋｇ／ｃｍ2）の範囲内であり、且つ接着強度が、５
０（ｇｆ）以上であることを特徴とするものである。
【００１６】また本発明では、前記樹脂系接着剤のガラ
ス転移温度Ｔｇは、４〜７０（℃）の範囲内であること
が好ましい。
ス転移温度Ｔｇは、４〜７０（℃）の範囲内であること
が好ましい。
【００１７】さらに本発明では、動作温度Ｔが２５℃の
場合、前記樹脂系接着剤は、２５℃におけるヤング率Ｅ
と、（樹脂系接着剤のガラス転移温度Ｔｇ−２５℃）と
をかけた値｛Ｅ・（Ｔｇ−２５℃）｝が、７０００〜２
３４０００（ｋｇ・℃／ｃｍ2）の範囲内であることが
好ましい。
場合、前記樹脂系接着剤は、２５℃におけるヤング率Ｅ
と、（樹脂系接着剤のガラス転移温度Ｔｇ−２５℃）と
をかけた値｛Ｅ・（Ｔｇ−２５℃）｝が、７０００〜２
３４０００（ｋｇ・℃／ｃｍ2）の範囲内であることが
好ましい。
【００１８】また、静電対策用として、前記スライダの
側端面からフレキシャにかけて導電樹脂膜が形成されて
いるものでは、前記導電樹脂膜として、前記樹脂系接着
剤と同じ特性を有しているものを使用する。
側端面からフレキシャにかけて導電樹脂膜が形成されて
いるものでは、前記導電樹脂膜として、前記樹脂系接着
剤と同じ特性を有しているものを使用する。
【００１９】従来では、スライダから直接ワイヤが繋が
れ、このワイヤによって前記スライダに設けられた薄膜
素子からの信号を出力、あるいは薄膜素子へ信号を入力
していたが、スライダの小型化に伴い、前記スライダを
接着接合するためのフレキシャに導電パターンを形成
し、この導電パターンと、スライダに設けられた導電端
子部とをボールボンディング技術によって接合して成る
磁気ヘッドが用いられつつある。
れ、このワイヤによって前記スライダに設けられた薄膜
素子からの信号を出力、あるいは薄膜素子へ信号を入力
していたが、スライダの小型化に伴い、前記スライダを
接着接合するためのフレキシャに導電パターンを形成
し、この導電パターンと、スライダに設けられた導電端
子部とをボールボンディング技術によって接合して成る
磁気ヘッドが用いられつつある。
【００２０】しかし、このボールボンディングによる金
バンプによって、スライダの片側（トレーリング側）
は、フレキシャに剛体接合されるため、スライダとフレ
キシャとの接合面を接着するために使用される樹脂系接
着剤が剛直であると、前記スライダとフレキシャとの熱
膨張係数の差によって生じる熱応力によって、接着前後
でスライダのＡＢＳ面（浮上面）の平坦度またはクラウ
ン量が変化する接着変形が発生しやすくなる。
バンプによって、スライダの片側（トレーリング側）
は、フレキシャに剛体接合されるため、スライダとフレ
キシャとの接合面を接着するために使用される樹脂系接
着剤が剛直であると、前記スライダとフレキシャとの熱
膨張係数の差によって生じる熱応力によって、接着前後
でスライダのＡＢＳ面（浮上面）の平坦度またはクラウ
ン量が変化する接着変形が発生しやすくなる。
【００２１】このため、スライダとフレキシャとの接合
面の接着に使用される樹脂系接着剤（硬化後）には、ス
ライダとフレキシャ間の熱膨張係数差により生じる歪み
を吸収でき、且つ、硬化収縮に伴う内部応力を小さくで
きる、柔軟性に富んだ樹脂系接着剤を使用する必要があ
る。
面の接着に使用される樹脂系接着剤（硬化後）には、ス
ライダとフレキシャ間の熱膨張係数差により生じる歪み
を吸収でき、且つ、硬化収縮に伴う内部応力を小さくで
きる、柔軟性に富んだ樹脂系接着剤を使用する必要があ
る。
【００２２】例えば、アクリル系、ポリウレタン系、ポ
リエステル系、またはナイロン系等の熱可塑性樹脂を主
成分とするもの、あるいは動作温度領域内でも柔軟性を
有すれば熱硬化性樹脂であってもよい。
リエステル系、またはナイロン系等の熱可塑性樹脂を主
成分とするもの、あるいは動作温度領域内でも柔軟性を
有すれば熱硬化性樹脂であってもよい。
【００２３】ところで、樹脂系接着剤（硬化後）の柔軟
性の度合を決める要素は、前記樹脂系接着剤のヤング率
（Ｅ）とガラス転移温度（Ｔｇ）にあるものと考えられ
る。
性の度合を決める要素は、前記樹脂系接着剤のヤング率
（Ｅ）とガラス転移温度（Ｔｇ）にあるものと考えられ
る。
【００２４】前記樹脂系接着剤のガラス転移温度（Ｔ
ｇ）が、動作温度（Ｔ）よりも高く、しかも前記樹脂系
接着剤を、弾性体（ヤング率をＥとする）として見た場
合、樹脂系接着剤がスライダ（及びフレキシャ）に及ぼ
す熱応力（δ）は、下記に示す数１で表わされる。
ｇ）が、動作温度（Ｔ）よりも高く、しかも前記樹脂系
接着剤を、弾性体（ヤング率をＥとする）として見た場
合、樹脂系接着剤がスライダ（及びフレキシャ）に及ぼ
す熱応力（δ）は、下記に示す数１で表わされる。
【００２５】
【数１】
【００２６】ここで、εは、スライダ―フレキシャ間の
歪み、Δαは、スライダ―フレキシャ間の熱膨張係数
差、である。
歪み、Δαは、スライダ―フレキシャ間の熱膨張係数
差、である。
【００２７】実際には、樹脂系接着剤（硬化後）は粘弾
性体であるため、スライダ―フレキシャ間の歪み（ε）
の一部は接着剤の粘性変形によって吸収（緩衝）され、
接着変形には寄与しなくなる。
性体であるため、スライダ―フレキシャ間の歪み（ε）
の一部は接着剤の粘性変形によって吸収（緩衝）され、
接着変形には寄与しなくなる。
【００２８】ところで、スライダの接着変形量は、熱応
力（δ）と線形の正の相関にあると考えられる。このた
め、樹脂系接着剤の動作温度（Ｔ）におけるヤング率
（Ｅ）が高いほど、またガラス転移温度（Ｔｇ）が高い
ほど、熱応力（δ）は大きくなり、接着変形量は大きく
なる。
力（δ）と線形の正の相関にあると考えられる。このた
め、樹脂系接着剤の動作温度（Ｔ）におけるヤング率
（Ｅ）が高いほど、またガラス転移温度（Ｔｇ）が高い
ほど、熱応力（δ）は大きくなり、接着変形量は大きく
なる。
【００２９】また、樹脂系接着剤のガラス転移温度（Ｔ
ｇ）が動作温度（Ｔ）よりも低い場合、接着剤のヤング
率（Ｅ）は低下し、前記樹脂系接着剤はゴム弾性を有す
るため、スライダ―フレキシャ間に歪み（ε）が生じて
も、この歪み（ε）は接着剤の変形に吸収されることか
ら、接着変形を引き起こすような熱応力（δ）が、スラ
イダ―フレキシャ間に作用する度合はわずかである。
ｇ）が動作温度（Ｔ）よりも低い場合、接着剤のヤング
率（Ｅ）は低下し、前記樹脂系接着剤はゴム弾性を有す
るため、スライダ―フレキシャ間に歪み（ε）が生じて
も、この歪み（ε）は接着剤の変形に吸収されることか
ら、接着変形を引き起こすような熱応力（δ）が、スラ
イダ―フレキシャ間に作用する度合はわずかである。
【００３０】本発明者らは、特性の異なる複数の樹脂系
接着剤をスライダとフレキシャとの接合面接着に用い、
前記スライダの接着変形量を測定した。
接着剤をスライダとフレキシャとの接合面接着に用い、
前記スライダの接着変形量を測定した。
【００３１】実験では、スライダとフレキシャとの接合
面に下記に示す表１の試料Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０の樹脂
系接着剤を塗布し、前記樹脂系接着剤を１２０℃で硬化
させて、スライダとフレキシャとを接着固定した。
面に下記に示す表１の試料Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１０の樹脂
系接着剤を塗布し、前記樹脂系接着剤を１２０℃で硬化
させて、スライダとフレキシャとを接着固定した。
【００３２】またスライダのトレーリング側端面とフレ
キシャとの接合部分に、金によるバンプを形成し、さら
にこのバンプを保護するために、前記バンプを樹脂膜で
覆った。
キシャとの接合部分に、金によるバンプを形成し、さら
にこのバンプを保護するために、前記バンプを樹脂膜で
覆った。
【００３３】なお、樹脂系接着剤のヤング率（Ｅ）は、
２５℃のときに、引っ張り試験法（応力／変位曲線）に
より測定した。樹脂系接着剤のガラス転移温度（Ｔｇ）
は、ＴＭＡ（熱機械測定法）により、スライダの接着変
形量はＷＹＣＯ平坦度測定機により測定した。また接着
強度は、スライダとフレキシャとを樹脂系接着剤で接着
固定しただけのものを用い、スライダとフレキシャの接
合面に対してフレキシャを垂直方向に引っ張る剥離強度
試験により測定した。
２５℃のときに、引っ張り試験法（応力／変位曲線）に
より測定した。樹脂系接着剤のガラス転移温度（Ｔｇ）
は、ＴＭＡ（熱機械測定法）により、スライダの接着変
形量はＷＹＣＯ平坦度測定機により測定した。また接着
強度は、スライダとフレキシャとを樹脂系接着剤で接着
固定しただけのものを用い、スライダとフレキシャの接
合面に対してフレキシャを垂直方向に引っ張る剥離強度
試験により測定した。
【００３４】
【表１】
【００３５】なお、表１に示す接着変形量は、スライダ
のＡＢＳ面（浮上面）がディスク対向側に突変形した場
合を正の値としており、突変形したその頂点からスライ
ダが変形する前の前記ＡＢＳ面までの距離を接着変形量
として測定している。
のＡＢＳ面（浮上面）がディスク対向側に突変形した場
合を正の値としており、突変形したその頂点からスライ
ダが変形する前の前記ＡＢＳ面までの距離を接着変形量
として測定している。
【００３６】表１に示すように、試料Ｎｏ．２，９，１
０では、他の試料に比べて、接着変形量が５℃，２５
℃，５０℃いずれの場合においても非常に大きくなって
いることがわかる。
０では、他の試料に比べて、接着変形量が５℃，２５
℃，５０℃いずれの場合においても非常に大きくなって
いることがわかる。
【００３７】試料Ｎｏ．２，９，１０では、樹脂系接着
剤の２５℃におけるヤング率（Ｅ）、及びガラス転移温
度（Ｔｇ）が、他の試料に比べて非常に大きくなってい
る。
剤の２５℃におけるヤング率（Ｅ）、及びガラス転移温
度（Ｔｇ）が、他の試料に比べて非常に大きくなってい
る。
【００３８】このため、スライダに作用する熱応力
（δ）は大きくなり（数１参照）、接着変形量は非常に
大きくなってしまう。
（δ）は大きくなり（数１参照）、接着変形量は非常に
大きくなってしまう。
【００３９】ところで、浮上量（スペーシング）の信頼
性を高めるには、前記浮上量の温度変化による変動量を
±３ｎｍ以下に抑える必要があるので、スライダの５
℃，２５℃，５０℃の各温度時における接着変形量も、
同様に±３ｎｍ以下に抑え、且つ、５℃の動作温度で生
じたスライダの接着変形量から５０℃の動作温度で生じ
たスライダの接着変形量を引いた値も同様に±３ｎｍ以
下に抑える必要がある。
性を高めるには、前記浮上量の温度変化による変動量を
±３ｎｍ以下に抑える必要があるので、スライダの５
℃，２５℃，５０℃の各温度時における接着変形量も、
同様に±３ｎｍ以下に抑え、且つ、５℃の動作温度で生
じたスライダの接着変形量から５０℃の動作温度で生じ
たスライダの接着変形量を引いた値も同様に±３ｎｍ以
下に抑える必要がある。
【００４０】表１に示す試料Ｎｏ１，３，４，５，６，
７，８は上述した条件に当てはまることがわかる。
７，８は上述した条件に当てはまることがわかる。
【００４１】従ってスライダの接着変形量の点から見る
と、好ましい樹脂系接着剤の２５℃におけるヤング率
（Ｅ）は、７００〜５２００（ｋｇ／ｃｍ2）、ガラス
転移温度（Ｔｇ）は、４〜７０℃であることがわかる。
と、好ましい樹脂系接着剤の２５℃におけるヤング率
（Ｅ）は、７００〜５２００（ｋｇ／ｃｍ2）、ガラス
転移温度（Ｔｇ）は、４〜７０℃であることがわかる。
【００４２】しかし、試料Ｎｏ．３では、接着変形量は
３ｎｍ以下に抑えられて良好であるものの、接着強度
（剥離強度）は、他の試料に比べて低く、５０（ｇｆ）
よりも小さくなっていることがわかる。
３ｎｍ以下に抑えられて良好であるものの、接着強度
（剥離強度）は、他の試料に比べて低く、５０（ｇｆ）
よりも小さくなっていることがわかる。
【００４３】また試料Ｎｏ．５を見ると、ガラス転移温
度は４℃と非常に低いにも関らず、接着強度（剥離強
度）は５０（ｇｆ）以上である。
度は４℃と非常に低いにも関らず、接着強度（剥離強
度）は５０（ｇｆ）以上である。
【００４４】すなわち、接着強度を決める重要な要素
は、ガラス転移温度（Ｔｇ）よりもヤング率（Ｅ）の方
にあるものと推測される。
は、ガラス転移温度（Ｔｇ）よりもヤング率（Ｅ）の方
にあるものと推測される。
【００４５】さらに詳述すれば、動作温度が２５℃と仮
定すると、試料Ｎｏ．５の場合では、ガラス転移温度が
４℃であるから、その樹脂系接着剤の粘度は非常に小さ
く、接着強度は低下するものと考えられるが、２５℃に
おけるヤング率（Ｅ）が１０００（ｋｇ／ｃｍ2）と非
常に高いために、実際の試料Ｎｏ．５における樹脂系接
着剤は粘弾性体として機能し、接着強度はそれほど小さ
くならないものとなっている。
定すると、試料Ｎｏ．５の場合では、ガラス転移温度が
４℃であるから、その樹脂系接着剤の粘度は非常に小さ
く、接着強度は低下するものと考えられるが、２５℃に
おけるヤング率（Ｅ）が１０００（ｋｇ／ｃｍ2）と非
常に高いために、実際の試料Ｎｏ．５における樹脂系接
着剤は粘弾性体として機能し、接着強度はそれほど小さ
くならないものとなっている。
【００４６】これに対し、試料Ｎｏ．３では、ガラス転
移温度が２８℃であるから、動作温度が２５℃である
と、その樹脂系接着剤は粘弾性体として機能し、接着強
度も比較的高いと推測されるが、２５℃におけるヤング
率（Ｅ）が、４００（ｋｇ／ｃｍ2）と非常に小さくな
っているため、実際の試料Ｎｏ．３における樹脂系接着
剤の接着強度が小さくなってしまうものと推測される。
移温度が２８℃であるから、動作温度が２５℃である
と、その樹脂系接着剤は粘弾性体として機能し、接着強
度も比較的高いと推測されるが、２５℃におけるヤング
率（Ｅ）が、４００（ｋｇ／ｃｍ2）と非常に小さくな
っているため、実際の試料Ｎｏ．３における樹脂系接着
剤の接着強度が小さくなってしまうものと推測される。
【００４７】以上により、表１において好ましい試料
は、Ｎｏ．１，４，５，６，７，８である。
は、Ｎｏ．１，４，５，６，７，８である。
【００４８】これらの試料では、２５℃におけるヤング
率（Ｅ）が、７００〜５２００（ｋｇ／ｃｍ2）の範囲
内であり、且つ５０（ｇｆ）以上の接着強度を有してい
る。これが本発明における好ましい樹脂系接着剤の条件
である。
率（Ｅ）が、７００〜５２００（ｋｇ／ｃｍ2）の範囲
内であり、且つ５０（ｇｆ）以上の接着強度を有してい
る。これが本発明における好ましい樹脂系接着剤の条件
である。
【００４９】また本発明では、樹脂系接着剤のガラス転
移温度（Ｔｇ）は、４〜７０℃の範囲内であることが好
ましい。
移温度（Ｔｇ）は、４〜７０℃の範囲内であることが好
ましい。
【００５０】次に本発明では、動作温度（Ｔ）を２５℃
とし、数１に示すＥ（Ｔ）×（Ｔｇ―Ｔ）の値を、表１
に示す試料Ｎｏ．１，２，３，４，６，８，９，１０に
対して求めた。
とし、数１に示すＥ（Ｔ）×（Ｔｇ―Ｔ）の値を、表１
に示す試料Ｎｏ．１，２，３，４，６，８，９，１０に
対して求めた。
【００５１】その結果は表２に示されているが、表２で
は、Ｅ（２５℃）×（Ｔｇ−２５℃）の値が大きくなる
順に、試料を並び換えて記載している。また２５℃にお
けるスライダの接着変形量も同時に付してある。
は、Ｅ（２５℃）×（Ｔｇ−２５℃）の値が大きくなる
順に、試料を並び換えて記載している。また２５℃にお
けるスライダの接着変形量も同時に付してある。
【００５２】
【表２】
【００５３】表２に示すように、Ｅ（２５℃）×（Ｔｇ
−２５℃）の値が大きくなるほど、２５℃のときのスラ
イダの接着変形量は大きくなっていることがわかる。
−２５℃）の値が大きくなるほど、２５℃のときのスラ
イダの接着変形量は大きくなっていることがわかる。
【００５４】数１に示すように、Δα（スライダ―フレ
キシャ間の熱膨張係数差）は、定数であるから、熱応力
（δ）を小さくするには、Ｅ（Ｔ）×（Ｔｇ−Ｔ）の値
を小さくすればよいことがわかる。
キシャ間の熱膨張係数差）は、定数であるから、熱応力
（δ）を小さくするには、Ｅ（Ｔ）×（Ｔｇ−Ｔ）の値
を小さくすればよいことがわかる。
【００５５】ここで、動作温度（Ｔ）が２５℃のとき、
スライダの接着変形量を３ｎｍ以下に抑えることができ
るのは、表２に示すように、試料Ｎｏ．３，４，１，
６，８であるが、試料Ｎｏ．３の場合、表１に示すよう
に２５℃のときの接着強度が３０（ｇｆ）と小さくなっ
ている。
スライダの接着変形量を３ｎｍ以下に抑えることができ
るのは、表２に示すように、試料Ｎｏ．３，４，１，
６，８であるが、試料Ｎｏ．３の場合、表１に示すよう
に２５℃のときの接着強度が３０（ｇｆ）と小さくなっ
ている。
【００５６】従って、表２において好ましい試料は、Ｎ
ｏ．４，１，６，８であり、これら試料のＥ（２５℃）
×（Ｔｇ−２５℃）の値は、７０００〜２３４０００
（ｋｇ・℃／ｃｍ2）である。
ｏ．４，１，６，８であり、これら試料のＥ（２５℃）
×（Ｔｇ−２５℃）の値は、７０００〜２３４０００
（ｋｇ・℃／ｃｍ2）である。
【００５７】すなわち、動作温度が２５℃のとき、Ｅ
（２５℃）×（Ｔｇ−２５℃）の値が、７０００〜２３
４０００（ｋｇ・℃／ｃｍ2）の範囲内となる樹脂系接
着剤を選定することにより、スライダの接着変形量を３
ｎｍ以下に抑えることができ、しかも５０（ｇｆ）以上
の接着強度を得ることが可能になる。
（２５℃）×（Ｔｇ−２５℃）の値が、７０００〜２３
４０００（ｋｇ・℃／ｃｍ2）の範囲内となる樹脂系接
着剤を選定することにより、スライダの接着変形量を３
ｎｍ以下に抑えることができ、しかも５０（ｇｆ）以上
の接着強度を得ることが可能になる。
【００５８】また、スライダのリーディング側端面から
フレキシャにかけて導電樹脂膜を形成する場合、前記導
電樹脂膜も、樹脂系接着剤と同様に柔軟性に富んだ接着
剤でなければならないため、前記導電樹脂膜の特性は、
上述した樹脂系接着剤と同様の特性を有している必要が
ある。
フレキシャにかけて導電樹脂膜を形成する場合、前記導
電樹脂膜も、樹脂系接着剤と同様に柔軟性に富んだ接着
剤でなければならないため、前記導電樹脂膜の特性は、
上述した樹脂系接着剤と同様の特性を有している必要が
ある。
【００５９】
【発明の実施の形態】図１は本発明の実施の形態として
ハードディスク装置などに装備される浮上式の磁気ヘッ
ド装置を示す部分側面図、図２は、図１に示す磁気ヘッ
ド装置の先端領域を裏側から見た場合の部分斜視図であ
る。この磁気ヘッド装置は、スライダ１とこれを支持す
る支持部材２とから構成されている。
ハードディスク装置などに装備される浮上式の磁気ヘッ
ド装置を示す部分側面図、図２は、図１に示す磁気ヘッ
ド装置の先端領域を裏側から見た場合の部分斜視図であ
る。この磁気ヘッド装置は、スライダ１とこれを支持す
る支持部材２とから構成されている。
【００６０】前記スライダ１は、セラミック材料により
形成されており、前記スライダ１のトレーリング側Ｂ端
面には、薄膜素子４が設けられている。また前記スライ
ダ１のディスクＤとの対向部側には、ＡＢＳ面（浮上
面）１ａが形成されている。また、前記薄膜素子４は、
磁性材料のパーマロイ（Ｎｉ−Ｆｅ系合金）や絶縁材料
のアルミナなどが積層されたものであり、ディスクＤに
記録された磁気記録信号を再生する磁気検出部、または
ディスクＤに磁気信号を記録する磁気記録部、あるいは
磁気検出部と磁気記録部の双方を含むものである。磁気
検出部は例えば磁気抵抗効果素子（ＭＲ素子）により構
成されたＭＲヘッドである。また磁気記録部は、コイル
とコアがパターン形成されたインダクティブヘッドによ
り構成される。
形成されており、前記スライダ１のトレーリング側Ｂ端
面には、薄膜素子４が設けられている。また前記スライ
ダ１のディスクＤとの対向部側には、ＡＢＳ面（浮上
面）１ａが形成されている。また、前記薄膜素子４は、
磁性材料のパーマロイ（Ｎｉ−Ｆｅ系合金）や絶縁材料
のアルミナなどが積層されたものであり、ディスクＤに
記録された磁気記録信号を再生する磁気検出部、または
ディスクＤに磁気信号を記録する磁気記録部、あるいは
磁気検出部と磁気記録部の双方を含むものである。磁気
検出部は例えば磁気抵抗効果素子（ＭＲ素子）により構
成されたＭＲヘッドである。また磁気記録部は、コイル
とコアがパターン形成されたインダクティブヘッドによ
り構成される。
【００６１】前記支持部材２は、ロードビーム５とフレ
キシャ６とから構成されている。ロードビーム５はステ
ンレスなどの板ばね材料により形成されている。ロード
ビーム５には図１の右上側から先部付近にかけて両側に
折り曲げ部５ａが形成され、この部分が剛性を有する構
造となっている。この折り曲げ部５ａはロードビーム５
のほぼ中間位置まで設けられており、前記折り曲げ部５
ａの後方の終端から基端部にかけて、前記折り曲げ部５
ａを有しない板ばね機能部（図示しない）が形成されて
いる。
キシャ６とから構成されている。ロードビーム５はステ
ンレスなどの板ばね材料により形成されている。ロード
ビーム５には図１の右上側から先部付近にかけて両側に
折り曲げ部５ａが形成され、この部分が剛性を有する構
造となっている。この折り曲げ部５ａはロードビーム５
のほぼ中間位置まで設けられており、前記折り曲げ部５
ａの後方の終端から基端部にかけて、前記折り曲げ部５
ａを有しない板ばね機能部（図示しない）が形成されて
いる。
【００６２】ロードビーム５の前記折り曲げ部５ａに挟
まれた平坦部には、図示下方向に突き出した球面状のピ
ボット７が形成されている。このピボット７の頂点は、
後述するフレキシャ６の舌片６ｂを介して、スライダ１
の上面に当接するようになっている。
まれた平坦部には、図示下方向に突き出した球面状のピ
ボット７が形成されている。このピボット７の頂点は、
後述するフレキシャ６の舌片６ｂを介して、スライダ１
の上面に当接するようになっている。
【００６３】フレキシャ６はステンレスなどの薄い板ば
ねにより形成されているものである。このフレキシャ６
は、固定部６ａと舌片６ｂとで構成され、前記固定部６
ａと舌片６ｂとが段差部６ｃによって連結されている。
図１に示すように、舌片６ｂの下面にはスライダ１が樹
脂系接着剤８により接着固定されている。
ねにより形成されているものである。このフレキシャ６
は、固定部６ａと舌片６ｂとで構成され、前記固定部６
ａと舌片６ｂとが段差部６ｃによって連結されている。
図１に示すように、舌片６ｂの下面にはスライダ１が樹
脂系接着剤８により接着固定されている。
【００６４】また、図２に示すようにフレキシャ６の先
端領域では、導電パターン１４は、フレキシャ６の固定
部６ａから舌片６ｂにかけて形成されている。また前記
舌片６ｂに形成されている導電パターン１４の幅は、フ
レキシャ６の基端部方向に向けて徐々に大きくなってお
り、この部分がスライダ１との接続部１４ａとなってい
る。またスライダ１のトレーリング側Ｂ端面には、薄膜
素子４から引き出された薄膜による電極端子部４ａが、
導電パターン１４の接続部１４ａと同じ間隔にて形成さ
れている。
端領域では、導電パターン１４は、フレキシャ６の固定
部６ａから舌片６ｂにかけて形成されている。また前記
舌片６ｂに形成されている導電パターン１４の幅は、フ
レキシャ６の基端部方向に向けて徐々に大きくなってお
り、この部分がスライダ１との接続部１４ａとなってい
る。またスライダ１のトレーリング側Ｂ端面には、薄膜
素子４から引き出された薄膜による電極端子部４ａが、
導電パターン１４の接続部１４ａと同じ間隔にて形成さ
れている。
【００６５】本発明では、スライダ１のトレーリング側
Ｂ端面に設けられた電極端子部４ａと、フレキシャ６に
設けられた接続部１４ａとが金（Ａｕ）のボールボンデ
ィングなどのよる接合体９によって剛体接合されてい
る。さらに前記接合体９は図１に示すように、前記接合
体９を保護するための補強樹脂膜１０によって覆われて
いる。
Ｂ端面に設けられた電極端子部４ａと、フレキシャ６に
設けられた接続部１４ａとが金（Ａｕ）のボールボンデ
ィングなどのよる接合体９によって剛体接合されてい
る。さらに前記接合体９は図１に示すように、前記接合
体９を保護するための補強樹脂膜１０によって覆われて
いる。
【００６６】このように、スライダ１のトレーリング側
Ｂ端面が、フレキシャ６の舌片６ｂに、ボールボンディ
ングによるＡｕなどの接合体９によって剛体接合されて
いる場合、スライダ１とフレキシャ６との熱膨張係数が
異なることから、スライダ１と前記舌片６ｂとの接合面
を接着するための樹脂系接着剤（硬化後）８には、前記
スライダ１―フレキシャ６間の熱膨張係数差により生じ
る歪み（ε）を吸収（緩衝）できる機能を持ち、且つ硬
化収縮に伴う内部応力を小さくできる、柔軟性に富んだ
接着剤を選択する必要がある。
Ｂ端面が、フレキシャ６の舌片６ｂに、ボールボンディ
ングによるＡｕなどの接合体９によって剛体接合されて
いる場合、スライダ１とフレキシャ６との熱膨張係数が
異なることから、スライダ１と前記舌片６ｂとの接合面
を接着するための樹脂系接着剤（硬化後）８には、前記
スライダ１―フレキシャ６間の熱膨張係数差により生じ
る歪み（ε）を吸収（緩衝）できる機能を持ち、且つ硬
化収縮に伴う内部応力を小さくできる、柔軟性に富んだ
接着剤を選択する必要がある。
【００６７】本発明では、柔軟性を有する樹脂系接着剤
８として、例えば、アクリル系や、ポリウレタン系、ポ
リエステル系、ナイロン系等の熱可塑性樹脂を主成分と
する接着剤、あるいは動作温度領域にて柔軟性を示すエ
ポキシ系などの熱硬化性樹脂を選択できる。また前記樹
脂系接着剤８の硬化方法としては、加熱やＵＶ照射など
の反応型や、溶剤乾燥型などがあるが、本発明ではどれ
かの硬化方法に限定するものではない。
８として、例えば、アクリル系や、ポリウレタン系、ポ
リエステル系、ナイロン系等の熱可塑性樹脂を主成分と
する接着剤、あるいは動作温度領域にて柔軟性を示すエ
ポキシ系などの熱硬化性樹脂を選択できる。また前記樹
脂系接着剤８の硬化方法としては、加熱やＵＶ照射など
の反応型や、溶剤乾燥型などがあるが、本発明ではどれ
かの硬化方法に限定するものではない。
【００６８】次に前記樹脂系接着剤（硬化後）８の特性
であるが、本発明では、前記樹脂系接着剤８は、２５℃
におけるヤング率（Ｅ）が７００〜５２００（ｋｇ／ｃ
ｍ2）の範囲内で、且つ５０（ｇｆ）以上の接着強度
（剥離強度）を有していることが好ましい。さらに、上
述した特性以外に、前記樹脂系接着剤８は、そのガラス
転移温度（Ｔｇ）が４℃〜７０℃の範囲内であることが
好ましい。
であるが、本発明では、前記樹脂系接着剤８は、２５℃
におけるヤング率（Ｅ）が７００〜５２００（ｋｇ／ｃ
ｍ2）の範囲内で、且つ５０（ｇｆ）以上の接着強度
（剥離強度）を有していることが好ましい。さらに、上
述した特性以外に、前記樹脂系接着剤８は、そのガラス
転移温度（Ｔｇ）が４℃〜７０℃の範囲内であることが
好ましい。
【００６９】前記樹脂系接着剤８の２５℃におけるヤン
グ率（Ｅ）が、７００〜５２００（ｋｇ／ｃｍ2）の範
囲内であれば、スライダ１の接着変形量を小さくでき
る。具体的には、スライダ１のＡＢＳ面１ａがディスク
Ｄ方向に突変形した場合その頂点から、変形する前の平
坦またはクラウン形状のＡＢＳ面１ａまでの距離を接着
変形量としたとき、５℃〜５０℃の範囲内において、前
記接着変形量を３ｎｍ以下にでき、且つ５℃のときの接
着変形量から５０℃のときの接着変形量を引いた接着変
形量も３ｎｍ以下にできる。
グ率（Ｅ）が、７００〜５２００（ｋｇ／ｃｍ2）の範
囲内であれば、スライダ１の接着変形量を小さくでき
る。具体的には、スライダ１のＡＢＳ面１ａがディスク
Ｄ方向に突変形した場合その頂点から、変形する前の平
坦またはクラウン形状のＡＢＳ面１ａまでの距離を接着
変形量としたとき、５℃〜５０℃の範囲内において、前
記接着変形量を３ｎｍ以下にでき、且つ５℃のときの接
着変形量から５０℃のときの接着変形量を引いた接着変
形量も３ｎｍ以下にできる。
【００７０】従って、温度変化における浮上量δ1（図
１参照）の変動値を絶対値で３ｎｍ以下に抑えることが
でき、従来のように、スライダ１のトレーリング側Ｂ端
部が、ディスクＤに衝突したり、あるいは、浮上量δ1
が大きくなって（スペーシングロス）、出力が低下する
といった問題も起こらなくなる。また、動作温度（Ｔ）
を２５℃に設定したとき、２５℃におけるヤング率
（Ｅ）と（Ｔｇ−２５℃）とを掛けた値が、７０００〜
２３４０００（ｋｇ・℃／ｃｍ2）の範囲内であること
が好ましい。
１参照）の変動値を絶対値で３ｎｍ以下に抑えることが
でき、従来のように、スライダ１のトレーリング側Ｂ端
部が、ディスクＤに衝突したり、あるいは、浮上量δ1
が大きくなって（スペーシングロス）、出力が低下する
といった問題も起こらなくなる。また、動作温度（Ｔ）
を２５℃に設定したとき、２５℃におけるヤング率
（Ｅ）と（Ｔｇ−２５℃）とを掛けた値が、７０００〜
２３４０００（ｋｇ・℃／ｃｍ2）の範囲内であること
が好ましい。
【００７１】Ｅ（２５℃）×（Ｔｇ−２５℃）の値が、
７０００〜２３４０００（ｋｇ／ｃｍ2）の範囲内であ
れば、２５℃におけるスライダ１の接着変形量を３ｎｍ
以下に抑えることができ、しかも２５℃における接着強
度（剥離強度）を５０（ｇｆ）以上にすることが可能で
ある。
７０００〜２３４０００（ｋｇ／ｃｍ2）の範囲内であ
れば、２５℃におけるスライダ１の接着変形量を３ｎｍ
以下に抑えることができ、しかも２５℃における接着強
度（剥離強度）を５０（ｇｆ）以上にすることが可能で
ある。
【００７２】また図１に示すように、スライダ１のリー
ディング側Ａ端面から、フレキシャ６の舌片６ｂにかけ
て、フィレット状の導電樹脂膜１１が形成されている場
合、この導電樹脂膜１１の特性は、前述した樹脂系接着
剤８と同様の特性を有していることが好ましい。なお導
電樹脂膜１１を設ける理由は、スライダ１―フレキシャ
６間の導通を確保するためである。
ディング側Ａ端面から、フレキシャ６の舌片６ｂにかけ
て、フィレット状の導電樹脂膜１１が形成されている場
合、この導電樹脂膜１１の特性は、前述した樹脂系接着
剤８と同様の特性を有していることが好ましい。なお導
電樹脂膜１１を設ける理由は、スライダ１―フレキシャ
６間の導通を確保するためである。
【００７３】以上のように詳述した本発明における磁気
ヘッドは、ＣＳＳ方式のハードディスク装置（磁気記録
再生装置）に使用される。ディスクが停止しているとき
には、スライダ１がロードビーム５の基端部の板ばね機
能部の弾性力によりディスクＤ上面に弾圧され、スライ
ダ１のＡＢＳ面１ａがディスクＤ表面に接触する。ディ
スクＤが回転し始めると、スライダ１とディスクＤとの
間に導かれる空気流により、図１に示すように、スライ
ダ１全体がディスクＤ表面から短い距離δ1だけ浮上
し、リーディング側Ａがトレーリング側Ｂよりもディス
クＤ上に高く持ち上がる浮上姿勢となるか、あるいはリ
ーディング側Ａのみがディスク表面から浮上し、トレー
リング側Ｂ端部がディスクＤ表面に連続または不連続に
接触して摺動する浮上姿勢となる。
ヘッドは、ＣＳＳ方式のハードディスク装置（磁気記録
再生装置）に使用される。ディスクが停止しているとき
には、スライダ１がロードビーム５の基端部の板ばね機
能部の弾性力によりディスクＤ上面に弾圧され、スライ
ダ１のＡＢＳ面１ａがディスクＤ表面に接触する。ディ
スクＤが回転し始めると、スライダ１とディスクＤとの
間に導かれる空気流により、図１に示すように、スライ
ダ１全体がディスクＤ表面から短い距離δ1だけ浮上
し、リーディング側Ａがトレーリング側Ｂよりもディス
クＤ上に高く持ち上がる浮上姿勢となるか、あるいはリ
ーディング側Ａのみがディスク表面から浮上し、トレー
リング側Ｂ端部がディスクＤ表面に連続または不連続に
接触して摺動する浮上姿勢となる。
【００７４】前述したように、本発明では、スライダ１
とフレキシャ６の舌片６ｂとの接合面接着に、柔軟性を
有する樹脂系接着剤（硬化後）８を使用するため、スラ
イダ１―舌片６ｂ間の歪み（ε）の一部を、前記樹脂系
接着層８の変形により吸収（緩衝）でき、スライダ１に
作用する熱応力（δ）を小さくできることから、前記ス
ライダ１の接着変形量を低減させることが可能である。
具体的には、２５℃におけるヤング率（Ｅ）が７００〜
５２００（ｋｇ／ｃｍ2）の範囲で、且つ５０（ｇｆ）
の接着強度を有する樹脂系接着剤８であることが好まし
く、この特性を有する樹脂系接着剤８であれば、スライ
ダ１の接着変形量を３ｎｍ以下に抑えることが可能であ
る。
とフレキシャ６の舌片６ｂとの接合面接着に、柔軟性を
有する樹脂系接着剤（硬化後）８を使用するため、スラ
イダ１―舌片６ｂ間の歪み（ε）の一部を、前記樹脂系
接着層８の変形により吸収（緩衝）でき、スライダ１に
作用する熱応力（δ）を小さくできることから、前記ス
ライダ１の接着変形量を低減させることが可能である。
具体的には、２５℃におけるヤング率（Ｅ）が７００〜
５２００（ｋｇ／ｃｍ2）の範囲で、且つ５０（ｇｆ）
の接着強度を有する樹脂系接着剤８であることが好まし
く、この特性を有する樹脂系接着剤８であれば、スライ
ダ１の接着変形量を３ｎｍ以下に抑えることが可能であ
る。
【００７５】なお前記樹脂系接着剤８のガラス転移温度
（Ｔｇ）は４〜７０（℃）の範囲内であることが好まし
い。さらに本発明では、動作温度（Ｔ）を２５℃に設定
したとき、２５℃におけるヤング率（Ｅ）と（Ｔｇ−２
５℃）とを掛けた値が、７０００〜２３４０００（ｋｇ
・℃／ｃｍ2）の範囲内であることが好ましい。
（Ｔｇ）は４〜７０（℃）の範囲内であることが好まし
い。さらに本発明では、動作温度（Ｔ）を２５℃に設定
したとき、２５℃におけるヤング率（Ｅ）と（Ｔｇ−２
５℃）とを掛けた値が、７０００〜２３４０００（ｋｇ
・℃／ｃｍ2）の範囲内であることが好ましい。
【００７６】Ｅ（２５℃）×（Ｔｇ−２５℃）の値が、
７０００〜２３４０００（ｋｇ／ｃｍ2）の範囲内であ
れば、２５℃におけるスライダ１の接着変形量を３ｎｍ
以下に抑えることができ、しかも２５℃における接着強
度（剥離強度）を５０（ｇｆ）以上にすることが可能で
ある。以上のように本発明では、スライダ１の接着変化
を小さくでき、具体的には３ｎｍ以下に抑えることが可
能であるので、スペーシングロスを小さくでき、安定し
た出力信号が得られ、また最低浮上量を確保することが
できる。
７０００〜２３４０００（ｋｇ／ｃｍ2）の範囲内であ
れば、２５℃におけるスライダ１の接着変形量を３ｎｍ
以下に抑えることができ、しかも２５℃における接着強
度（剥離強度）を５０（ｇｆ）以上にすることが可能で
ある。以上のように本発明では、スライダ１の接着変化
を小さくでき、具体的には３ｎｍ以下に抑えることが可
能であるので、スペーシングロスを小さくでき、安定し
た出力信号が得られ、また最低浮上量を確保することが
できる。
【００７７】
【発明の効果】以上詳述したように本発明では、スライ
ダとフレキシャとの接合面接着に、硬化後においても柔
軟性に富んだ、熱可塑性樹脂などの樹脂系接着剤を使用
しているので、熱膨張係数差により生じるスライダ―フ
レキシャ間の歪みの一部を、前記樹脂系接着剤の変形に
より吸収でき、スライダの接着変形量を低減させること
が可能である。
ダとフレキシャとの接合面接着に、硬化後においても柔
軟性に富んだ、熱可塑性樹脂などの樹脂系接着剤を使用
しているので、熱膨張係数差により生じるスライダ―フ
レキシャ間の歪みの一部を、前記樹脂系接着剤の変形に
より吸収でき、スライダの接着変形量を低減させること
が可能である。
【００７８】本発明では、前記樹脂系接着剤の具体的な
特性として、２５℃におけるヤング率Ｅが７００〜５２
００（ｋｇ／ｃｍ2）の範囲内で、且つ接着強度が５０
（ｇｆ）以上であることが好ましい。
特性として、２５℃におけるヤング率Ｅが７００〜５２
００（ｋｇ／ｃｍ2）の範囲内で、且つ接着強度が５０
（ｇｆ）以上であることが好ましい。
【００７９】またこのとき、前記樹脂系接着剤Ｔｇのガ
ラス転移温度は、４〜７０（℃）の範囲内であることが
好ましい。
ラス転移温度は、４〜７０（℃）の範囲内であることが
好ましい。
【００８０】上述した特性を有する樹脂系接着剤を使用
すれば、スライダの接着変形量を３ｎｍ以下に抑えるこ
とができるので、安定した出力を得ることが可能とな
り、また最低浮上量を確保することができる。
すれば、スライダの接着変形量を３ｎｍ以下に抑えるこ
とができるので、安定した出力を得ることが可能とな
り、また最低浮上量を確保することができる。
【図１】本発明の実施の形態としてハードディスク装置
などに装備される浮上式の磁気ヘッド装置を示す部分側
面図、
などに装備される浮上式の磁気ヘッド装置を示す部分側
面図、
【図２】図１に示す磁気ヘッド装置の先端領域を裏側か
ら見た場合の部分斜視図、
ら見た場合の部分斜視図、
【図３】ハードディスク装置などに装備される従来の浮
上式の磁気ヘッド装置を示す部分側面図、
上式の磁気ヘッド装置を示す部分側面図、
１ スライダ １ａ ＡＢＳ面 ４ 薄膜素子 ５ ロードビーム ６ フレキシャ ６ｂ 舌片 ７ ピボット ８ 樹脂系接着剤 ９ 接合体 １０ 補強樹脂膜 １１ 導電樹脂膜 １４ 導電パターン １４ａ 接続部
Claims (4)
- 【請求項１】 記録及び／または再生用の薄膜素子を有
するスライダと、弾性変形可能な舌片を有するフレキシ
ャとが、樹脂系接着剤を介して接合されて成る磁気ヘッ
ドにおいて、前記樹脂系接着剤の２５℃におけるヤング
率Ｅは、７００〜５２００（ｋｇ／ｃｍ2）の範囲内で
あり、且つ接着強度は、５０（ｇｆ）以上であることを
特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項２】 前記樹脂系接着剤のガラス転移温度Ｔｇ
は、４〜７０（℃）の範囲内である請求項１記載の磁気
ヘッド。 - 【請求項３】 動作温度Ｔが２５℃の場合、前記樹脂系
接着剤は、２５℃におけるヤング率Ｅと、（樹脂系接着
剤のガラス転移温度Ｔｇ−２５℃）とをかけた値｛Ｅ・
（Ｔｇ−２５℃）｝が、７０００〜２３４０００（ｋｇ
・℃／ｃｍ2）の範囲内である請求項１または請求項２
に記載の磁気ヘッド。 - 【請求項４】 静電対策用として、前記スライダの側端
面からフレキシャにかけて導電樹脂膜が形成されてお
り、前記導電樹脂膜が、前記樹脂系接着剤と同じ特性を
有している請求項１ないし３のいずれかに記載の磁気ヘ
ッド。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10034510A JPH11232811A (ja) | 1998-02-17 | 1998-02-17 | 磁気ヘッド |
| US09/246,743 US6307714B2 (en) | 1998-02-17 | 1999-02-08 | Magnetic head |
| CN99100555A CN1233054A (zh) | 1998-02-17 | 1999-02-09 | 磁头 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10034510A JPH11232811A (ja) | 1998-02-17 | 1998-02-17 | 磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11232811A true JPH11232811A (ja) | 1999-08-27 |
Family
ID=12416268
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10034510A Withdrawn JPH11232811A (ja) | 1998-02-17 | 1998-02-17 | 磁気ヘッド |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6307714B2 (ja) |
| JP (1) | JPH11232811A (ja) |
| CN (1) | CN1233054A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6710975B2 (en) | 2000-06-12 | 2004-03-23 | Alps Electric Co., Ltd. | Magnetic head and read/write apparatus having reduced stress in a slider and supporter |
| US6920014B2 (en) | 2001-12-28 | 2005-07-19 | Alps Electronic Co., Ltd. | Magnetic head comprising slider and flexure bonded with conductive resin |
| JP2008146817A (ja) * | 2006-12-05 | 2008-06-26 | Samsung Electronics Co Ltd | ハードディスクドライブのヘッドジンバル組立体 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1498398A (zh) * | 2002-01-19 | 2004-05-19 | 新科实业有限公司 | 硬盘微激励器和磁头对一个驱动臂悬架的物理和电气连接方法及装置 |
| US7072144B2 (en) * | 2002-05-07 | 2006-07-04 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Damping of vertical and offtrack dynamic modes gain at the slider in a disc drive |
| CN100359567C (zh) | 2002-11-19 | 2008-01-02 | 新科实业有限公司 | 将微致动器连接至驱动器臂悬架的方法和装置 |
| TWI276084B (en) * | 2004-02-13 | 2007-03-11 | Lite On It Corp | Flexible printed circuit for optical disk drive |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5761001A (en) | 1994-03-31 | 1998-06-02 | Nec Corporation | Magnetic head assembly and a magnetic disk apparatus using the same |
| TW345659B (en) | 1994-11-03 | 1998-11-21 | Ibm | Slider/suspension design for improved crown sensitivity |
| JP3354751B2 (ja) | 1995-07-06 | 2002-12-09 | アルプス電気株式会社 | 磁気ヘッド装置およびその製造方法 |
-
1998
- 1998-02-17 JP JP10034510A patent/JPH11232811A/ja not_active Withdrawn
-
1999
- 1999-02-08 US US09/246,743 patent/US6307714B2/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-02-09 CN CN99100555A patent/CN1233054A/zh active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6710975B2 (en) | 2000-06-12 | 2004-03-23 | Alps Electric Co., Ltd. | Magnetic head and read/write apparatus having reduced stress in a slider and supporter |
| US6920014B2 (en) | 2001-12-28 | 2005-07-19 | Alps Electronic Co., Ltd. | Magnetic head comprising slider and flexure bonded with conductive resin |
| JP2008146817A (ja) * | 2006-12-05 | 2008-06-26 | Samsung Electronics Co Ltd | ハードディスクドライブのヘッドジンバル組立体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1233054A (zh) | 1999-10-27 |
| US6307714B2 (en) | 2001-10-23 |
| US20010021085A1 (en) | 2001-09-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050510 |