JPH11236633A - セリウムの回収方法 - Google Patents
セリウムの回収方法Info
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
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- Y02P10/20—Recycling
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- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
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- Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
- Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 クロムエッチングに使用された硝酸アンモニ
ウムセリウム（IV）を含むクロムエッチング廃液から溶
解したクロムを除去し、セリウムを経済的に回収する方
法を提供する。 【構成】 クロム薄膜のエッチングには硝酸アンモニウ
ムセリウム（IV）の溶液が使用されている。セリウムと
クロムの混合廃液であるクロムエッチング廃液のｐＨを
上げ更に酸化剤を供給してクロムは溶解した状態で、セ
リウムは沈殿させた状態で、クロムを分離除去するセリ
ウムの回収方法、及び、回収したセリウムを用いたエッ
チング液。
ウムセリウム（IV）を含むクロムエッチング廃液から溶
解したクロムを除去し、セリウムを経済的に回収する方
法を提供する。 【構成】 クロム薄膜のエッチングには硝酸アンモニウ
ムセリウム（IV）の溶液が使用されている。セリウムと
クロムの混合廃液であるクロムエッチング廃液のｐＨを
上げ更に酸化剤を供給してクロムは溶解した状態で、セ
リウムは沈殿させた状態で、クロムを分離除去するセリ
ウムの回収方法、及び、回収したセリウムを用いたエッ
チング液。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はクロムエッチング等
に使用されたクロムエッチング溶液からのセリウムの回
収方法に関し、より詳細には硝酸アンモニウムセリウム
（IV）と酸とにより構成されるクロムエッチング液の溶
液で、セリウムとクロムを含む溶液からのセリウムの回
収方法に関するものである。
に使用されたクロムエッチング溶液からのセリウムの回
収方法に関し、より詳細には硝酸アンモニウムセリウム
（IV）と酸とにより構成されるクロムエッチング液の溶
液で、セリウムとクロムを含む溶液からのセリウムの回
収方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体や液晶ディスプレイ製造時には金
属薄膜のエッチングが必要となる。中でもクロムエッチ
ングにはセリウムの化合物が用いられる為、使用された
後の廃液には４価のセリウムと６価のクロムが溶解して
いる。共に強酸化性の物質で有害であるため廃液中から
これらの物質を除去する必要がある。その処理には従来
より、特開昭52-68860号公報のようにクロム，セリウム
を含有する硝酸アンモニウムセリウム（IV）廃液に亜硫
酸水素ナトリウムを加え、クロムを還元し、次いで水酸
化カルシウムを加え、該廃液中クロムをセリウム水酸化
物と共沈させて除去する方法が広く行われてきた。また
特開平9-85264 号公報のように４価セリウム及び６価ク
ロムを還元した後、吸着剤に吸着させ除去する方法も考
案されている。しかし、いずれにせよ、これらの方法で
は高価なセリウムを大量に廃棄してしまうことになる。
属薄膜のエッチングが必要となる。中でもクロムエッチ
ングにはセリウムの化合物が用いられる為、使用された
後の廃液には４価のセリウムと６価のクロムが溶解して
いる。共に強酸化性の物質で有害であるため廃液中から
これらの物質を除去する必要がある。その処理には従来
より、特開昭52-68860号公報のようにクロム，セリウム
を含有する硝酸アンモニウムセリウム（IV）廃液に亜硫
酸水素ナトリウムを加え、クロムを還元し、次いで水酸
化カルシウムを加え、該廃液中クロムをセリウム水酸化
物と共沈させて除去する方法が広く行われてきた。また
特開平9-85264 号公報のように４価セリウム及び６価ク
ロムを還元した後、吸着剤に吸着させ除去する方法も考
案されている。しかし、いずれにせよ、これらの方法で
は高価なセリウムを大量に廃棄してしまうことになる。
【０００３】またセリウムの精製方法としては特開昭62
-191422 号公報のように、３価のセリウムを酸化剤によ
り、セリウム４価にして他の物質との性質の違いにより
分離精製する方法が提案されているが、この方法ではク
ロムエッチング廃液のように不純物としてクロムが混入
しているものに対してはセリウムとクロムが共沈してし
まうため、分離することができていなかった。
-191422 号公報のように、３価のセリウムを酸化剤によ
り、セリウム４価にして他の物質との性質の違いにより
分離精製する方法が提案されているが、この方法ではク
ロムエッチング廃液のように不純物としてクロムが混入
しているものに対してはセリウムとクロムが共沈してし
まうため、分離することができていなかった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の様
に、セリウムとクロムを含有する廃液の処理時に、高価
なセリウムを大量に廃棄しなくてはならないような現状
の廃液処理方法の改良方法であって、高価なセリウムを
回収でき、廃棄物を減らし環境に対して負荷の小さい、
セリウム及びクロム含有廃液の処理方法を提供すること
を目的とする。
に、セリウムとクロムを含有する廃液の処理時に、高価
なセリウムを大量に廃棄しなくてはならないような現状
の廃液処理方法の改良方法であって、高価なセリウムを
回収でき、廃棄物を減らし環境に対して負荷の小さい、
セリウム及びクロム含有廃液の処理方法を提供すること
を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者らは上記課題を
解決すべく鋭意検討を重ねた。その結果、セリウムを析
出物とし、クロムを６価クロムとして液中に溶解し、固
液分離をして、セリウムを回収する方法を開発した。即
ち、本発明の要旨は、セリウム及びクロムを含有する溶
液に酸化剤及びアルカリを供給し、セリウムは沈殿した
状態に、クロムは６価クロムとして溶解させた状態にし
てセリウムを回収することを特徴とするセリウムの回収
方法に存する。なお、上記において回収されたセリウム
を硝酸アンモニウムセリウム（IV）として回収すること
及び上記の方法で回収されたセリウムを使用したクロム
エッチング液も、本発明の要旨として含まれる。
解決すべく鋭意検討を重ねた。その結果、セリウムを析
出物とし、クロムを６価クロムとして液中に溶解し、固
液分離をして、セリウムを回収する方法を開発した。即
ち、本発明の要旨は、セリウム及びクロムを含有する溶
液に酸化剤及びアルカリを供給し、セリウムは沈殿した
状態に、クロムは６価クロムとして溶解させた状態にし
てセリウムを回収することを特徴とするセリウムの回収
方法に存する。なお、上記において回収されたセリウム
を硝酸アンモニウムセリウム（IV）として回収すること
及び上記の方法で回収されたセリウムを使用したクロム
エッチング液も、本発明の要旨として含まれる。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明で用いられるセリウム及び
クロムを含有する溶液とは、少なくともセリウム及びク
ロムを含有すればいずれの溶液も用いることができる
が、特に本発明においては、半導体や液晶ディスプレイ
製造時の金属、薄膜のエッチング、主としてクロムのエ
ッチングに使用された、硝酸アンモニウムセリウム（I
V）を含むクロムエッチング廃液が好適に用いられる。
クロムを含有する溶液とは、少なくともセリウム及びク
ロムを含有すればいずれの溶液も用いることができる
が、特に本発明においては、半導体や液晶ディスプレイ
製造時の金属、薄膜のエッチング、主としてクロムのエ
ッチングに使用された、硝酸アンモニウムセリウム（I
V）を含むクロムエッチング廃液が好適に用いられる。
【０００７】クロムエッチング廃液のｐＨは一般的に酸
を入れてある為０程度である。この水溶液のｐＨを上昇
させると液中に溶解しているセリウムが水酸化物として
沈殿するが、この際、共存するクロムも共沈してセリウ
ムとクロムとの分離はできない。液をアルカリにしてセ
リウム及びクロムに対する酸化剤を共存させると、セリ
ウム及びクロムは酸化される。この時使用する酸化剤は
糸を汚染しない、もしくは回収するセリウムに影響を与
えない酸化剤であればいずれも使用可能であるが、本発
明では、過酸化水素が好ましい。以下過酸化水素を例に
本発明を説明するが、本発明はこれに限定されるもので
はない。過酸化水素を酸化剤として使用した場合、４価
の水酸化セリウムは過酸化水素と赤色の錯体を生成し沈
殿したままだが、６価クロムは液中に溶解する。この時
のｐＨはアルカリであれば良いが、クロムの溶解を効率
的に行わせるには、速度の問題から好ましくはｐＨ１０
以上、更に好ましくはｐＨ１２以上が良い。このような
方法を用いると回収したセリウムをエッチング液として
用いるのに必要な４価に酸化できるとともに、クロムの
除去を同時に行うことができる。この沈殿物を固液分離
すれば、セリウムを回収することができる。
を入れてある為０程度である。この水溶液のｐＨを上昇
させると液中に溶解しているセリウムが水酸化物として
沈殿するが、この際、共存するクロムも共沈してセリウ
ムとクロムとの分離はできない。液をアルカリにしてセ
リウム及びクロムに対する酸化剤を共存させると、セリ
ウム及びクロムは酸化される。この時使用する酸化剤は
糸を汚染しない、もしくは回収するセリウムに影響を与
えない酸化剤であればいずれも使用可能であるが、本発
明では、過酸化水素が好ましい。以下過酸化水素を例に
本発明を説明するが、本発明はこれに限定されるもので
はない。過酸化水素を酸化剤として使用した場合、４価
の水酸化セリウムは過酸化水素と赤色の錯体を生成し沈
殿したままだが、６価クロムは液中に溶解する。この時
のｐＨはアルカリであれば良いが、クロムの溶解を効率
的に行わせるには、速度の問題から好ましくはｐＨ１０
以上、更に好ましくはｐＨ１２以上が良い。このような
方法を用いると回収したセリウムをエッチング液として
用いるのに必要な４価に酸化できるとともに、クロムの
除去を同時に行うことができる。この沈殿物を固液分離
すれば、セリウムを回収することができる。
【０００８】この時使用するアルカリはｐＨを上げる目
的だけであるから、アルカリであれば、いずれでも良
く、供給する形態も、固体でも、水溶液でも構わない。
アルカリとして考えられるのは、水酸化リチウム，水酸
化ナトリウム，水酸化カリウム，水酸化カルシウム、ア
ンモニア又はそれらの水溶液であるが、これに限定され
るものではない。
的だけであるから、アルカリであれば、いずれでも良
く、供給する形態も、固体でも、水溶液でも構わない。
アルカリとして考えられるのは、水酸化リチウム，水酸
化ナトリウム，水酸化カリウム，水酸化カルシウム、ア
ンモニア又はそれらの水溶液であるが、これに限定され
るものではない。
【０００９】この処理においてｐＨがセリウム及びクロ
ムの酸化と密接な関係がある為、ｐＨコントロールが重
要になる。ｐＨが低い状態で過酸化水素を共存させて
も、クロムは溶解してこないのである。よってアルカリ
を供給する時には、電気化学的手法や分光学的手法を使
用して液性を測定しながら行うのが良い。電気化学的手
法としてはｐＨや酸化還元電位を測定する方法が、分光
学的手法としてはクロム６価の吸収を測定する方法があ
る。しかし測定方法としてはこれらに限定されるもので
はない。
ムの酸化と密接な関係がある為、ｐＨコントロールが重
要になる。ｐＨが低い状態で過酸化水素を共存させて
も、クロムは溶解してこないのである。よってアルカリ
を供給する時には、電気化学的手法や分光学的手法を使
用して液性を測定しながら行うのが良い。電気化学的手
法としてはｐＨや酸化還元電位を測定する方法が、分光
学的手法としてはクロム６価の吸収を測定する方法があ
る。しかし測定方法としてはこれらに限定されるもので
はない。
【００１０】本発明においては、回収するセリウムの濃
度が所望の濃度になるまで上記の操作を繰り返すことに
より精密な分離ができる。この為には回収沈殿物中のク
ロム濃度を定量するか、溶解しているクロムの濃度を測
定することにより沈殿物中に含まれるクロム濃度を推定
する必要がある。沈殿物中のクロム濃度の測定にも溶液
中のクロム濃度の測定にも多くの方法があるが、分光学
的手法もしくは電気化学的手法を用いて測定するのが良
い。分光学的手法としてはＩＣＰ発光や、蛍光Ｘ線測
定、吸光度の測定等があり、電気化学的手法としては酸
化還元電位等の測定がある。この方法により、セリウム
溶液とクロム除去の為の沈殿物からセリウムとクロムの
分離が可能になり、セリウムを回収することができる。
度が所望の濃度になるまで上記の操作を繰り返すことに
より精密な分離ができる。この為には回収沈殿物中のク
ロム濃度を定量するか、溶解しているクロムの濃度を測
定することにより沈殿物中に含まれるクロム濃度を推定
する必要がある。沈殿物中のクロム濃度の測定にも溶液
中のクロム濃度の測定にも多くの方法があるが、分光学
的手法もしくは電気化学的手法を用いて測定するのが良
い。分光学的手法としてはＩＣＰ発光や、蛍光Ｘ線測
定、吸光度の測定等があり、電気化学的手法としては酸
化還元電位等の測定がある。この方法により、セリウム
溶液とクロム除去の為の沈殿物からセリウムとクロムの
分離が可能になり、セリウムを回収することができる。
【００１１】回収したセリウム沈殿物は赤色の水酸化セ
リウムの過酸化水素付加錯体である。これを回収し、こ
のままｐＨ１以下の酸に溶解するとセリウム４価は沈殿
物自体に含まれる過酸化水素により還元されてしまい、
３価セリウムの溶液になってしまう。３価セリウムの溶
液となると、セリウムをエッチング液として利用するに
は再度セリウムを酸化する必要が生じる。これを回避す
るためには、水酸化セリウムの過酸化水素付加錯体から
過酸化水素を除去する必要がある。
リウムの過酸化水素付加錯体である。これを回収し、こ
のままｐＨ１以下の酸に溶解するとセリウム４価は沈殿
物自体に含まれる過酸化水素により還元されてしまい、
３価セリウムの溶液になってしまう。３価セリウムの溶
液となると、セリウムをエッチング液として利用するに
は再度セリウムを酸化する必要が生じる。これを回避す
るためには、水酸化セリウムの過酸化水素付加錯体から
過酸化水素を除去する必要がある。
【００１２】過酸化水素を除去する方法の一つとして、
セリウムの過酸化水素錯体から過酸化水素を自己分解し
て除去する方法がある。過酸化水素は自己分解すること
により酸素と水になり、除去することが可能であるし、
分解物はセリウムの回収に対し、なんら問題を起こさな
いからである。過酸化水素が除去されると、セリウム沈
殿物は赤色から水酸化セリウムの黄色に変化し、過酸化
水素の除去が確認できる。なお、この操作は固液分離を
する前でも後でも構わない。
セリウムの過酸化水素錯体から過酸化水素を自己分解し
て除去する方法がある。過酸化水素は自己分解すること
により酸素と水になり、除去することが可能であるし、
分解物はセリウムの回収に対し、なんら問題を起こさな
いからである。過酸化水素が除去されると、セリウム沈
殿物は赤色から水酸化セリウムの黄色に変化し、過酸化
水素の除去が確認できる。なお、この操作は固液分離を
する前でも後でも構わない。
【００１３】過酸化水素の自己分解速度は普通の状態で
はかなり遅い。そこで過酸化水素の自己分解を促進させ
ることにより、早く水酸化セリウムを回収することが考
えられる。自己分解を促進させる方法として加熱，赤外
線照射，紫外光照射が有効であるが、自己分解を促進さ
せる方法としてこれだけに限定されるものではない。
はかなり遅い。そこで過酸化水素の自己分解を促進させ
ることにより、早く水酸化セリウムを回収することが考
えられる。自己分解を促進させる方法として加熱，赤外
線照射，紫外光照射が有効であるが、自己分解を促進さ
せる方法としてこれだけに限定されるものではない。
【００１４】回収したセリウムの純度が低い場合は上記
で述べた操作を繰り返すことにより、純度を上げること
ができる。即ち回収したセリウムの濃度が低い場合はこ
の操作を繰り返すことになる。この操作の繰り返しによ
り、クロムはほぼ完全に除去することが可能であり、セ
リウムとクロムはそれぞれ再利用可能となる。
で述べた操作を繰り返すことにより、純度を上げること
ができる。即ち回収したセリウムの濃度が低い場合はこ
の操作を繰り返すことになる。この操作の繰り返しによ
り、クロムはほぼ完全に除去することが可能であり、セ
リウムとクロムはそれぞれ再利用可能となる。
【００１５】クロムエッチング液から回収されたセリウ
ム水酸化物は硝酸アンモニウムセリウム（IV）にして回
収することが可能である。回収した水酸化セリウムを硝
酸に溶解し、濾過後硝酸アンモニウムを投入し、濃縮・
複塩化し析出物を硝酸アンモニウムセリウム（IV）とし
て回収する。しかし水酸化セリウムから硝酸アンモニウ
ムセリウム（IV）として回収する方法としてはこの方法
に限定されるものではない。
ム水酸化物は硝酸アンモニウムセリウム（IV）にして回
収することが可能である。回収した水酸化セリウムを硝
酸に溶解し、濾過後硝酸アンモニウムを投入し、濃縮・
複塩化し析出物を硝酸アンモニウムセリウム（IV）とし
て回収する。しかし水酸化セリウムから硝酸アンモニウ
ムセリウム（IV）として回収する方法としてはこの方法
に限定されるものではない。
【００１６】回収した硝酸アンモニウムセリウム（IV）
は再度エッチング液として使用可能な状態にすることが
できる。回収した硝酸アンモニウムセリウム（IV）を純
水に溶解し過塩素酸を供給後濃度調整して例えば、硝酸
セリウムアンモニウム１３重量（ｗｔ）％、過塩素酸５
ｗｔ％の溶液としエッチング液として使用可能な状態に
することができる。エッチング速度を測定すれば、試薬
から調整したものとの比較ができる。なお、本発明にお
いては、回収したセリウムを使用したクロムエッチング
液の組成やその調整方法は上記に限定されるものではな
い。
は再度エッチング液として使用可能な状態にすることが
できる。回収した硝酸アンモニウムセリウム（IV）を純
水に溶解し過塩素酸を供給後濃度調整して例えば、硝酸
セリウムアンモニウム１３重量（ｗｔ）％、過塩素酸５
ｗｔ％の溶液としエッチング液として使用可能な状態に
することができる。エッチング速度を測定すれば、試薬
から調整したものとの比較ができる。なお、本発明にお
いては、回収したセリウムを使用したクロムエッチング
液の組成やその調整方法は上記に限定されるものではな
い。
【００１７】
【実施例】以下、本発明につき実施例を挙げて説明する
が、本発明はこれらに限定されるものではない。
が、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００１８】実施例１ 硝酸アンモニウムセリウム（IV）１３ｗｔ％、過塩素酸
５ｗｔ％の組成のクロムのエッチング液によりクロム薄
膜をエッチングした廃液で、６価クロム濃度０．０１７
ｍｏｌ／ｌ、４価セリウム濃度０．１６４ｍｏｌ／ｌ、
３価セリウム濃度０．１０２ｍｏｌ／ｌの溶液２５ｍｌ
に３５％過酸化水素水２．５ｍｌを供給し、１Ｎ水酸化
ナトリウム水溶液２５０ｍｌ供給し、ｐＨを１２以上に
した。１時間常温で攪拌後、固液分離した。更にその回
収物質を１Ｎ水酸化ナトリウム水溶液２５０ｍｌと３５
％過酸化水素水２．５ｍｌの溶液に入れ、１時間常温で
攪拌した。その後８０℃にして２時間攪拌後、固液分離
して水酸化セリウムを回収した。この水酸化セリウム中
のクロム濃度は１００ｐｐｍ以下であった。この水酸化
セリウムを硝酸に溶解し、濾過後硝酸アンモニウムを投
入し、濃縮・複塩化し析出物を硝酸アンモニウムセリウ
ム（IV）として回収した。セリウムの回収率は約９０％
であった。この硝酸アンモニウムセリウム（IV）を純水
溶解し過塩素酸を供給後濃度調整して硝酸アンモニウム
セリウム（IV）１３ｗｔ％、過塩素酸５ｗｔ％の溶液５
０ｍｌとしてエッチング液として使用可能であることを
確認した。このエッチング液のクロムエッチング速度を
測定したところ、試薬から調整したものとほぼ同じであ
った。
５ｗｔ％の組成のクロムのエッチング液によりクロム薄
膜をエッチングした廃液で、６価クロム濃度０．０１７
ｍｏｌ／ｌ、４価セリウム濃度０．１６４ｍｏｌ／ｌ、
３価セリウム濃度０．１０２ｍｏｌ／ｌの溶液２５ｍｌ
に３５％過酸化水素水２．５ｍｌを供給し、１Ｎ水酸化
ナトリウム水溶液２５０ｍｌ供給し、ｐＨを１２以上に
した。１時間常温で攪拌後、固液分離した。更にその回
収物質を１Ｎ水酸化ナトリウム水溶液２５０ｍｌと３５
％過酸化水素水２．５ｍｌの溶液に入れ、１時間常温で
攪拌した。その後８０℃にして２時間攪拌後、固液分離
して水酸化セリウムを回収した。この水酸化セリウム中
のクロム濃度は１００ｐｐｍ以下であった。この水酸化
セリウムを硝酸に溶解し、濾過後硝酸アンモニウムを投
入し、濃縮・複塩化し析出物を硝酸アンモニウムセリウ
ム（IV）として回収した。セリウムの回収率は約９０％
であった。この硝酸アンモニウムセリウム（IV）を純水
溶解し過塩素酸を供給後濃度調整して硝酸アンモニウム
セリウム（IV）１３ｗｔ％、過塩素酸５ｗｔ％の溶液５
０ｍｌとしてエッチング液として使用可能であることを
確認した。このエッチング液のクロムエッチング速度を
測定したところ、試薬から調整したものとほぼ同じであ
った。
【００１９】比較例１ 上記実施例と同じクロムのエッチング廃液に、水酸化ナ
トリウムを供給してｐＨ６まで上昇させた。その時の沈
殿物を得た。その結果、クロム及びセリウムが共沈して
しまい、クロムとセリウムの分離ができなかった。
トリウムを供給してｐＨ６まで上昇させた。その時の沈
殿物を得た。その結果、クロム及びセリウムが共沈して
しまい、クロムとセリウムの分離ができなかった。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、クロムエッチング液の
使用済み廃液からセリウム及びクロムを回収することが
可能になり、今まで廃棄していたセリウム水酸化物及び
クロム水酸化物の廃棄物を減少させることが可能であ
り、環境対策としての効果が大きいとともに、高価なセ
リウムを回収することによりクロムエッチングのコスト
ダウンに寄与する。
使用済み廃液からセリウム及びクロムを回収することが
可能になり、今まで廃棄していたセリウム水酸化物及び
クロム水酸化物の廃棄物を減少させることが可能であ
り、環境対策としての効果が大きいとともに、高価なセ
リウムを回収することによりクロムエッチングのコスト
ダウンに寄与する。
【図１】セリウムの回収方法の一例を示す図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｃ２２Ｂ 3/44 Ｃ２３Ｆ 1/26 Ｃ２３Ｆ 1/26 1/46 1/46 Ｃ２２Ｂ 3/00 Ｑ
Claims (15)
- 【請求項１】 セリウム及びクロムを含有する溶液に酸
化剤及びアルカリを供給し、セリウムは沈殿した状態
に、クロムは６価クロムとして溶解させた状態にしてセ
リウムを回収することを特徴とするセリウムの回収方
法。 - 【請求項２】 酸化剤が過酸化水素であることを特徴と
する請求項１記載のセリウムの回収方法。 - 【請求項３】 アルカリを供給してｐＨ１０以上とする
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のセリウムの回
収方法。 - 【請求項４】 ｐＨが１２以上であることを特徴とする
請求項３記載のセリウムの回収方法。 - 【請求項５】 アルカリの供給が、電気化学的手法又は
分光学的手法を使用して液性を測定しながら行うことを
特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のセリウムの
回収方法。 - 【請求項６】 セリウムの回収が、固液分離によるセリ
ウム沈殿物の回収であることを特徴とする請求項１〜５
のいずれかに記載のセリウムの回収方法。 - 【請求項７】 セリウムの回収が、残留した過酸化水素
の除去後、固液分離によるセリウム水酸化物の回収であ
ることを特徴とする請求項２〜６のいずれかに記載のセ
リウムの回収方法。 - 【請求項８】 回収したセリウム沈殿物中のクロム含量
が所望の量となるまで請求項６又は７に記載の方法を繰
り返すことを特徴とする請求項６又は７に記載のセリウ
ムの回収方法。 - 【請求項９】 回収したセリウム沈殿物中のクロム含量
を分析して請求項６又は７に記載の方法を繰り返す必要
があるか判断することを特徴とする請求項６又は７に記
載のセリウムの回収方法。 - 【請求項１０】 溶液の液性を電気化学的手法もしくは
分光学的手法を用いて測定し、請求項１〜７のいずれか
に記載の方法を繰り返す必要があるか判断することを特
徴とする請求項１〜９のいずれかに記載のセリウムの回
収方法。 - 【請求項１１】 過酸化水素の除去が、過酸化水素の自
己分解による除去であることを特徴とする請求項７〜１
０のいずれかに記載のセリウムの回収方法。 - 【請求項１２】 過酸化水素の自己分解が加熱，赤外線
照射又は紫外光照射により促進されることを特徴とする
請求項１１に記載のセリウムの回収方法。 - 【請求項１３】 請求項１〜１２において回収されたセ
リウムを硝酸アンモニウムセリウム（IV）として回収す
ることを特徴とするセリウムの回収方法。 - 【請求項１４】 請求項１３において回収した硝酸アン
モニウムセリウム（IV）をクロムエッチング液として使
用可能な状態にして回収することを特徴とするセリウム
の回収方法。 - 【請求項１５】 請求項１〜１４の方法で回収されたセ
リウムを使用したクロムエッチング液。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10041616A JPH11236633A (ja) | 1998-02-24 | 1998-02-24 | セリウムの回収方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10041616A JPH11236633A (ja) | 1998-02-24 | 1998-02-24 | セリウムの回収方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11236633A true JPH11236633A (ja) | 1999-08-31 |
Family
ID=12613283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10041616A Pending JPH11236633A (ja) | 1998-02-24 | 1998-02-24 | セリウムの回収方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11236633A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002220229A (ja) * | 2001-01-18 | 2002-08-09 | Sumitomo Chem Co Ltd | 硝酸セリウム（ｉｖ）アンモニウムの製造方法 |
| WO2002100778A1 (en) * | 2001-06-11 | 2002-12-19 | Mitsubishi Chemical Corporation | Process for producing ammonium cerium(iv) nitrate |
| CN102942278A (zh) * | 2012-11-22 | 2013-02-27 | 长沙铂鲨环保设备有限公司 | 一种酸性含铜废液的处理方法 |
-
1998
- 1998-02-24 JP JP10041616A patent/JPH11236633A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002220229A (ja) * | 2001-01-18 | 2002-08-09 | Sumitomo Chem Co Ltd | 硝酸セリウム（ｉｖ）アンモニウムの製造方法 |
| WO2002100778A1 (en) * | 2001-06-11 | 2002-12-19 | Mitsubishi Chemical Corporation | Process for producing ammonium cerium(iv) nitrate |
| KR100814309B1 (ko) | 2001-06-11 | 2008-03-18 | 미쓰비시 가가꾸 가부시키가이샤 | 질산암모늄세륨(ⅳ) 의 제조방법 |
| CN102942278A (zh) * | 2012-11-22 | 2013-02-27 | 长沙铂鲨环保设备有限公司 | 一种酸性含铜废液的处理方法 |
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