JPH11237731A5 - - Google Patents

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）重合体１ｋｇあたりカルボキシル基を０.５〜１０当量含有し且つ場合により、さらにヒドロキシフエニル基を１当量以上含有していてもよい重合体、
（Ｂ）１分子中に少なくとも２個以上のビニルエーテル基を含有する化合物、
（Ｃ）可視光線照射により酸を発生する一般式
【化１】
式中、Ｒは
【化２】
基（ここで、Ｒ_１、Ｒ_２及びＲ_３はそれぞれ独立に水素原子もしくはフッ素原子を表
わす）、
【化３】
を表わす、
で示される化合物、及び
（Ｄ）増感色素
を含む組成物を塩基性化合物で中和し、水性媒体中に溶解又は分散してなることを特徴とするポジ型電着フォトレジスト組成物。
【請求項２】
（Ａ′）重合体１ｋｇあたりカルボキシル基を０.５〜１０当量含有する重合体、
（Ａ″）重合体１ｋｇあたりヒドロキシフェニル基を１当量以上含有する重合体、
（Ｂ）１分子中に少なくとも２個以上のビニルエーテル基を含有する化合物、
（Ｃ）可視光線照射により酸を発生する一般式
【化４】
式中、Ｒは
【化５】
基（ここでＲ_１、Ｒ_２及びＲ_３はそれぞれ独立に水素原子もしくはフッ素原子を表わ
す）、
【化６】
を表わす、
で示される化合物、及び
（Ｄ）増感色素
を含む組成物を塩基性化合物で中和し、水性媒体中に溶解又は分散してなることを特徴とするポジ型電着フォトレジスト組成物。
【請求項３】
ビニルエーテル基含有化合物(Ｂ)が、１分子中に、−Ｒ′−Ｏ−ＣＨ＝ＣＨ_２［ここで、Ｒ′は炭素数１〜６の直鎖状もしくは分岐鎖状のアルキレン基を表わす］で示されるビニルエーテル基を２〜４個含有する低分子量または高分子量の化合物である請求項１または２の組成物。
【請求項４】
ビニルエーテル基含有化合物（Ｂ）が、ポリフェノール化合物とハロゲン化アルキルビニルエーテルとの縮合物または芳香環をもつポリイソシアネート化合物とヒドロキシアルキルビニルエーテルとの反応物である請求項１または２の組成物。
【請求項５】
光酸発生化合物（Ｃ）が
【化７】
よりなる群から選ばれる請求項１または２の組成物。
【請求項６】
増感色素（Ｄ）が一般式
【化８】
式中、Ｒ_４、Ｒ_５、Ｒ_６およびＲ_７はそれぞれ独立にメチル基、エチル基、プロピル
基またはイソプロピル基を表わし、そしてＲ_８およびＲ_９はそれぞれ独立に水素原子
、炭素数１〜４のアルキル基、炭素数１〜４のアルコキシ基、炭素数２〜５のアルコ
キシカルボニル基、各アルキル部分の炭素数が１〜４のジアルキルアミノ基、Ｃｌ、
Ｂｒ、ＣＮ、ＮＯ_２またはＳＯ_２ＣＨ_３を表わす、
【化９】
式中、Ｒ_１０、Ｒ_１１およびＲ_１２はそれぞれ独立にメチル基、エチル基、プロピル
基またはイソプロピル基を表わし、そしてＲ_１３およびＲ_１４はそれぞれ独立に水素
原子、炭素数１〜４のアルキル基、炭素数１〜４のアルコキシ基、炭素数２〜５のア
ルキルカルボニル基、各アルキル部分の炭素数が１〜４のジアルキルアミノ基、Ｃｌ
、Ｂｒ、ＣＮ、ＮＯ_２またはＳＯ_２ＣＨ_３を表わす、
で示される化合物、シアニン系色素、メロシアニン系色素及びクマリン系色素よりなる群から選ばれる請求項１または２の組成物。
【請求項７】
ビニルエーテル基含有化合物（Ｂ）を重合体（Ａ）１００重量部に対して５〜１５０重量部含有する請求項１の組成物。
【請求項８】
重合体（Ａ′）対重合体（Ａ″）の重量比が９０／１０〜１０／９０である請求項２の組成物。
【請求項９】
ビニルエーテル基含有化合物（Ｂ）を重合体（Ａ′）と重合体（Ａ″）の合計量１００重量部に対して５〜１５０重量部含有する請求項２の組成物。
【請求項１０】
親水性樹脂をさらに含有する請求項１または２の組成物。
【請求項１１】
請求項１又は２記載のポジ型電着フォトレジスト組成物を導電性表面を有する基板に電着法により塗布する工程；該基板を加熱する工程；可視光線を画像選択的に照射する工程；照射後に基板を加熱する工程；および塩基性現像液で現像する工程を順次行うことを特徴とするパターンの製造方法。
【請求項１２】
可視光線を画像選択的に照射する工程の後に、基板を水と接触させる工程をさらに含む請求項１１のパターンの製造方法。
【請求項１３】
請求項１１または１２記載の方法で形成されたパターン。