JPH112398A - オゾンガス貯蔵容器 - Google Patents
オゾンガス貯蔵容器Info
- Publication number
- JPH112398A JPH112398A JP12659297A JP12659297A JPH112398A JP H112398 A JPH112398 A JP H112398A JP 12659297 A JP12659297 A JP 12659297A JP 12659297 A JP12659297 A JP 12659297A JP H112398 A JPH112398 A JP H112398A
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- Japan
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- ozone gas
- gas storage
- ozone
- storage tank
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- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高濃度に濃縮したオゾンガスを貯蔵・搬送す
ることのできるオゾンガス貯蔵容器を提供する。 【解決手段】 断熱容器(１)の内部にオゾンガス貯蔵槽
(２)を収容する。このオゾンガス貯蔵槽(２)内にオゾン
ガス吸着剤(３)を充填する。断熱容器(１)内に充填した
寒剤(４)でオゾンガス貯蔵槽(２)内のオゾンガス吸着剤
(３)を冷却する。供給されたオゾンガスをオゾンガス吸
着剤(３)に吸着させて、オゾンガスを貯蔵する。
ることのできるオゾンガス貯蔵容器を提供する。 【解決手段】 断熱容器(１)の内部にオゾンガス貯蔵槽
(２)を収容する。このオゾンガス貯蔵槽(２)内にオゾン
ガス吸着剤(３)を充填する。断熱容器(１)内に充填した
寒剤(４)でオゾンガス貯蔵槽(２)内のオゾンガス吸着剤
(３)を冷却する。供給されたオゾンガスをオゾンガス吸
着剤(３)に吸着させて、オゾンガスを貯蔵する。
Description
【０００１】
【発明の属する分野】本発明は、オゾンガスを貯蔵する
貯蔵容器に関し、とくに、長期間にわたってオゾンガス
を安定して貯蔵することのできる貯蔵容器に関する。
貯蔵容器に関し、とくに、長期間にわたってオゾンガス
を安定して貯蔵することのできる貯蔵容器に関する。
【０００２】
【従来の技術及びその問題点】周知のようにオゾンガス
は自己分解性が強いことから、オゾンガスとして貯蔵す
ることができないとされていた。そこで従来では、オゾ
ン使用個所の近傍でオゾン発生器によりオゾンガスを発
生させ、発生したオゾンガスをすぐに使用するようにし
ている。また、近年濃縮したオゾンガス使用するように
したものも提案されている。
は自己分解性が強いことから、オゾンガスとして貯蔵す
ることができないとされていた。そこで従来では、オゾ
ン使用個所の近傍でオゾン発生器によりオゾンガスを発
生させ、発生したオゾンガスをすぐに使用するようにし
ている。また、近年濃縮したオゾンガス使用するように
したものも提案されている。
【０００３】しかし、濃縮したオゾンガスを使用するも
のでも、現場で濃縮しており、他所で生成させたオゾン
ガスを貯蔵した状態で搬送するための容器は未だ開発さ
れていない。本発明は、このような点に着目してなされ
たもので、オゾンガスを貯蔵・搬送することのできるオ
ゾンガス貯蔵容器を提供することを目的とする。
のでも、現場で濃縮しており、他所で生成させたオゾン
ガスを貯蔵した状態で搬送するための容器は未だ開発さ
れていない。本発明は、このような点に着目してなされ
たもので、オゾンガスを貯蔵・搬送することのできるオ
ゾンガス貯蔵容器を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに請求項１に記載の発明は、断熱容器の内部にオゾン
ガス貯蔵槽を収容し、このオゾンガス貯蔵槽内にオゾン
ガス吸着剤を充填し、断熱容器内に充填した寒剤でオゾ
ンガス貯蔵槽内のオゾンガスガス吸着剤を冷却し、冷却
したオゾンガス吸着剤に供給オゾンガスを吸着させるよ
うに構成したことを特徴としている。
めに請求項１に記載の発明は、断熱容器の内部にオゾン
ガス貯蔵槽を収容し、このオゾンガス貯蔵槽内にオゾン
ガス吸着剤を充填し、断熱容器内に充填した寒剤でオゾ
ンガス貯蔵槽内のオゾンガスガス吸着剤を冷却し、冷却
したオゾンガス吸着剤に供給オゾンガスを吸着させるよ
うに構成したことを特徴としている。
【０００５】そして、請求項２に記載の発明は、請求項
１に記載の発明において断熱容器内に充填する寒剤とし
てドライアイスを使用するようにしたものであり、請求
項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の発
明において、オゾンガス貯蔵槽の温度を検出して寒剤を
自動供給するようにしたものである。また、請求項４に
記載の発明は請求項１に記載の発明において断熱容器内
に充填する寒剤として液化炭酸ガスを使用するようにし
たものである。
１に記載の発明において断熱容器内に充填する寒剤とし
てドライアイスを使用するようにしたものであり、請求
項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の発
明において、オゾンガス貯蔵槽の温度を検出して寒剤を
自動供給するようにしたものである。また、請求項４に
記載の発明は請求項１に記載の発明において断熱容器内
に充填する寒剤として液化炭酸ガスを使用するようにし
たものである。
【０００６】
【作用】本発明では、断熱容器の内部にオゾンガス貯蔵
槽を収容し、このオゾンガス貯蔵槽内にオゾンガス吸着
剤を充填し、断熱容器内に充填した寒剤でオゾンガス貯
蔵槽内のオゾンガス吸着剤を冷却し、冷却したオゾンガ
ス吸着剤に供給オゾンガスを吸着するように構成してあ
るので、オゾンガス貯蔵槽内にオゾンガスが選択的に吸
着されて、オゾンガス貯蔵槽内にオゾンガスを高濃度に
貯蔵することができる。
槽を収容し、このオゾンガス貯蔵槽内にオゾンガス吸着
剤を充填し、断熱容器内に充填した寒剤でオゾンガス貯
蔵槽内のオゾンガス吸着剤を冷却し、冷却したオゾンガ
ス吸着剤に供給オゾンガスを吸着するように構成してあ
るので、オゾンガス貯蔵槽内にオゾンガスが選択的に吸
着されて、オゾンガス貯蔵槽内にオゾンガスを高濃度に
貯蔵することができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】図面は本発明の一実施態様を示
し、図１はオゾンガス貯蔵容器の縦断面図である。この
オゾンガス貯蔵容器は、真空断熱した断熱容器(１)の内
部にオゾンガス貯蔵槽(２)が配置してある。オゾンガス
貯蔵槽(２)内には、乾燥させたシリカゲルがオゾンガス
吸着剤(３)として充填してある。また、断熱容器(１)内
でオゾンガス貯蔵槽(２)の外側部分に寒剤(４)としての
ドライアイスが充填してある。
し、図１はオゾンガス貯蔵容器の縦断面図である。この
オゾンガス貯蔵容器は、真空断熱した断熱容器(１)の内
部にオゾンガス貯蔵槽(２)が配置してある。オゾンガス
貯蔵槽(２)内には、乾燥させたシリカゲルがオゾンガス
吸着剤(３)として充填してある。また、断熱容器(１)内
でオゾンガス貯蔵槽(２)の外側部分に寒剤(４)としての
ドライアイスが充填してある。
【０００８】オゾンガス貯蔵槽(２)ヘのオゾンガス給排
路(５)には、オゾンガス導入路(６)とオゾンガス排出路
(７)がそれぞれ接続してあり、オゾンガス導入路(６)に
はオゾン充填弁(８)が、また、オゾンガス排出路(７)に
はオゾン取出弁(９)がそれぞれ介装してある。また、オ
ゾンガス給排路(５)に安全弁(10)が接続してあり、安全
弁(10)の放出口に、コイル状配管内にモレキュラーシー
ブスを充填してなるオゾン除害管(11)が接続してあり、
このオゾン除害管(11)の先端部に逆止弁(12)が配置して
ある。
路(５)には、オゾンガス導入路(６)とオゾンガス排出路
(７)がそれぞれ接続してあり、オゾンガス導入路(６)に
はオゾン充填弁(８)が、また、オゾンガス排出路(７)に
はオゾン取出弁(９)がそれぞれ介装してある。また、オ
ゾンガス給排路(５)に安全弁(10)が接続してあり、安全
弁(10)の放出口に、コイル状配管内にモレキュラーシー
ブスを充填してなるオゾン除害管(11)が接続してあり、
このオゾン除害管(11)の先端部に逆止弁(12)が配置して
ある。
【０００９】図中符号(13)はオゾンガス貯蔵槽(２)内の
圧力を表示する圧力計、(14)は断熱容器(１)内の温度を
検出する寒剤温度検出センサー、(15)は寒剤温度検出セ
ンサー(14)で検出した温度を表示する寒剤温度表示計、
(16)はオゾンガス貯蔵槽(２)の温度を検出する槽温度検
出センサー、(17)は槽温度検出センサー(16)で検出した
温度を表示する槽温度表示計、(18)は断熱容器(１)内か
らの水及びガス抜きをするためのメッシュ体、(19)はオ
ゾンガスの取出時に使用する加熱用ヒーター、(20)は加
熱用ヒーター(19)を制御するヒーターコントローラであ
る。
圧力を表示する圧力計、(14)は断熱容器(１)内の温度を
検出する寒剤温度検出センサー、(15)は寒剤温度検出セ
ンサー(14)で検出した温度を表示する寒剤温度表示計、
(16)はオゾンガス貯蔵槽(２)の温度を検出する槽温度検
出センサー、(17)は槽温度検出センサー(16)で検出した
温度を表示する槽温度表示計、(18)は断熱容器(１)内か
らの水及びガス抜きをするためのメッシュ体、(19)はオ
ゾンガスの取出時に使用する加熱用ヒーター、(20)は加
熱用ヒーター(19)を制御するヒーターコントローラであ
る。
【００１０】上述の構成からなるオゾンガス貯蔵容器に
オゾンガスを充填貯蔵する際には、図２に示すように、
オゾンガス導入路(６)に、オゾンガス発生器(21)及び流
量調整器(22)を装着したオゾン発生回路(23)を接続す
る。なお、オゾン発生回路(23)の始端部に酸素ガスボン
ベ等の原料ガス源(24)が接続してある。
オゾンガスを充填貯蔵する際には、図２に示すように、
オゾンガス導入路(６)に、オゾンガス発生器(21)及び流
量調整器(22)を装着したオゾン発生回路(23)を接続す
る。なお、オゾン発生回路(23)の始端部に酸素ガスボン
ベ等の原料ガス源(24)が接続してある。
【００１１】酸素ガスを原料ガスとしてオゾン発生器(2
1)で発生させたオゾンガスは酸素中のオゾン濃度が５〜
７ vol％程度であるが、オゾンガス吸着剤(シリカゲル)
はオゾンガスを選択吸着する性質を有しており、さらに
雰囲気温度が低温状態程その吸着能力が高いという性質
を有している。そこで、オゾンガス貯蔵槽(２)をドライ
アイス等の寒剤で冷却している。
1)で発生させたオゾンガスは酸素中のオゾン濃度が５〜
７ vol％程度であるが、オゾンガス吸着剤(シリカゲル)
はオゾンガスを選択吸着する性質を有しており、さらに
雰囲気温度が低温状態程その吸着能力が高いという性質
を有している。そこで、オゾンガス貯蔵槽(２)をドライ
アイス等の寒剤で冷却している。
【００１２】そして、寒剤がドライアイスの場合、昇華
により、オゾンガス貯蔵槽(２)の冷却度合いが減少し、
オゾンガス貯蔵槽(２)の内圧が上昇することになる。こ
の時間経過による温度変化と内圧変化を図３に示す。図
３によると、放置開始後３０時間程度経過すると、ドラ
イアイスの昇華に伴う冷却能力低下が始まり、４０時間
経過するとドライアイスが大半が昇華し、貯蔵槽(２)の
内圧が上昇する。そして、放置開始後４０時間経過後ド
ライアイスを再充填すると、槽壁面温度、内圧ともに低
下することがわかる。そして、ドライアイスによる冷却
力が低下すると、ドライアイスを追加補充して槽温度を
一定範囲に維持する。ここで槽温度を一定温度範囲内に
維持しているのに対し、容器内圧が徐々に上昇している
のは一度離脱したオゾンガスの一部が再吸着されないた
め、もしくわずかながら離脱したオゾンガスが酸素に分
解したためであると思われる。
により、オゾンガス貯蔵槽(２)の冷却度合いが減少し、
オゾンガス貯蔵槽(２)の内圧が上昇することになる。こ
の時間経過による温度変化と内圧変化を図３に示す。図
３によると、放置開始後３０時間程度経過すると、ドラ
イアイスの昇華に伴う冷却能力低下が始まり、４０時間
経過するとドライアイスが大半が昇華し、貯蔵槽(２)の
内圧が上昇する。そして、放置開始後４０時間経過後ド
ライアイスを再充填すると、槽壁面温度、内圧ともに低
下することがわかる。そして、ドライアイスによる冷却
力が低下すると、ドライアイスを追加補充して槽温度を
一定範囲に維持する。ここで槽温度を一定温度範囲内に
維持しているのに対し、容器内圧が徐々に上昇している
のは一度離脱したオゾンガスの一部が再吸着されないた
め、もしくわずかながら離脱したオゾンガスが酸素に分
解したためであると思われる。
【００１３】図４は、寒剤であるドライアイスの自動補
給機構を備えたオゾンガス貯蔵容器を示す。これは、前
述のオゾン貯蔵容器でのオゾンガス貯蔵槽(２)の表面上
部に温度検出センサー(25)を配置するとともに、断熱容
器(１)の蓋体(26)に液化炭酸ガス噴出ノズル(27)を配置
し、液化炭酸ガス噴出ノズル(27)と液化炭酸ガス容器(2
8)とを接続する液化炭酸ガス供給路(29)に電磁開閉弁(3
0)を配置し、前記温度センサー(25)での温度検出信号を
弁開閉制御装置(31)に入力し、温度センサー(25)での検
出温度が所定温度よりも高温になると、電磁開閉弁(30)
を開弁作動させて、断熱容器(１)内に液化炭酸ガスを噴
射して、断熱容器(１)内にドライアイススノーを充満さ
せるようにしたものである。
給機構を備えたオゾンガス貯蔵容器を示す。これは、前
述のオゾン貯蔵容器でのオゾンガス貯蔵槽(２)の表面上
部に温度検出センサー(25)を配置するとともに、断熱容
器(１)の蓋体(26)に液化炭酸ガス噴出ノズル(27)を配置
し、液化炭酸ガス噴出ノズル(27)と液化炭酸ガス容器(2
8)とを接続する液化炭酸ガス供給路(29)に電磁開閉弁(3
0)を配置し、前記温度センサー(25)での温度検出信号を
弁開閉制御装置(31)に入力し、温度センサー(25)での検
出温度が所定温度よりも高温になると、電磁開閉弁(30)
を開弁作動させて、断熱容器(１)内に液化炭酸ガスを噴
射して、断熱容器(１)内にドライアイススノーを充満さ
せるようにしたものである。
【００１４】上記実施態様では、オゾンガス貯蔵槽(２)
から濃縮したオゾンを取り出す場合について説明した
が、オゾンを吸着している吸着剤を収容しているオゾン
ガス貯蔵槽にパージ用酸素を吹き込むことにより、供給
オゾン濃度と同濃度のオゾンガスを取り出すことができ
る。
から濃縮したオゾンを取り出す場合について説明した
が、オゾンを吸着している吸着剤を収容しているオゾン
ガス貯蔵槽にパージ用酸素を吹き込むことにより、供給
オゾン濃度と同濃度のオゾンガスを取り出すことができ
る。
【００１５】図５はオゾン貯蔵容器の別の実施態様を示
し、この実施態様では断熱容器(１)を、内外二重槽の間
を真空断熱したＬＧＣ構造のもので構成し、内側槽の内
部空間にオゾンガス貯蔵槽(２)を配置し、オゾンガス貯
蔵槽(２)内に乾燥させたシリカゲルをオゾンガス吸着剤
(３)として充填し断熱容器(１)内でオゾンガス貯蔵槽
(２)の外側部分に寒剤(４)としての液化炭酸ガスが充填
させてある。
し、この実施態様では断熱容器(１)を、内外二重槽の間
を真空断熱したＬＧＣ構造のもので構成し、内側槽の内
部空間にオゾンガス貯蔵槽(２)を配置し、オゾンガス貯
蔵槽(２)内に乾燥させたシリカゲルをオゾンガス吸着剤
(３)として充填し断熱容器(１)内でオゾンガス貯蔵槽
(２)の外側部分に寒剤(４)としての液化炭酸ガスが充填
させてある。
【００１６】オゾンガス貯蔵槽(２)には、オゾンガス導
入路(６)とオゾンガス排出路(７)がそれぞれ接続してあ
り、オゾンガス導入路(６)にはオゾン充填弁(８)、オゾ
ンガス発生器(21)及び流量調整器(22)、酸素ガスボンベ
等の原料ガス源(24)が接続してある。また、オゾンガス
排出路(７)にはフィルター(32)を介してオゾン取出弁
(９)が介装してあり、フィルター(32)よりも上流側部分
から分岐導出した分岐路(33)に安全弁(10)が接続してあ
る。そして、この安全弁(10)の放出口にコイル状配管内
にモレキュラーシーブスを充填してなるオゾン除害管(1
1)が接続してあり、このオゾン除害管(11)の先端部に逆
止弁(12)を配置してある。
入路(６)とオゾンガス排出路(７)がそれぞれ接続してあ
り、オゾンガス導入路(６)にはオゾン充填弁(８)、オゾ
ンガス発生器(21)及び流量調整器(22)、酸素ガスボンベ
等の原料ガス源(24)が接続してある。また、オゾンガス
排出路(７)にはフィルター(32)を介してオゾン取出弁
(９)が介装してあり、フィルター(32)よりも上流側部分
から分岐導出した分岐路(33)に安全弁(10)が接続してあ
る。そして、この安全弁(10)の放出口にコイル状配管内
にモレキュラーシーブスを充填してなるオゾン除害管(1
1)が接続してあり、このオゾン除害管(11)の先端部に逆
止弁(12)を配置してある。
【００１７】図５中、符号(34)は断熱容器(１)内に充填
されている液化炭酸ガスの液体取出路、(35)は断熱容器
(１)内に充填されている液化炭酸ガスのガス回収口、(3
6)は断熱容器(１)内の炭酸ガス放出路、(37)は断熱容器
(１)の内部圧力を表示する圧力計、(38)は断熱容器(１)
の内槽内圧で作動する安全弁、(39)は断熱容器(１)の内
槽圧力で作動する破封式安全弁、(40)は外槽内の圧力変
動で作動する破封式の安全弁である。
されている液化炭酸ガスの液体取出路、(35)は断熱容器
(１)内に充填されている液化炭酸ガスのガス回収口、(3
6)は断熱容器(１)内の炭酸ガス放出路、(37)は断熱容器
(１)の内部圧力を表示する圧力計、(38)は断熱容器(１)
の内槽内圧で作動する安全弁、(39)は断熱容器(１)の内
槽圧力で作動する破封式安全弁、(40)は外槽内の圧力変
動で作動する破封式の安全弁である。
【００１８】このように、寒剤(４)として液化炭酸ガス
を使用した場合には、冷却温度はドライアイスの場合よ
りも若干高め(−２０〜−４０℃)となるが、液化炭酸ガ
スはＬＧＣ構造の断熱気密容器内に気密封入されている
ことから、蒸発ロスがなく、寒剤補給を省略することが
でき、長期間安定してオゾンガスを貯蔵することができ
る。
を使用した場合には、冷却温度はドライアイスの場合よ
りも若干高め(−２０〜−４０℃)となるが、液化炭酸ガ
スはＬＧＣ構造の断熱気密容器内に気密封入されている
ことから、蒸発ロスがなく、寒剤補給を省略することが
でき、長期間安定してオゾンガスを貯蔵することができ
る。
【００１９】
【発明の効果】本発明では、断熱容器の内部にオゾンガ
ス貯蔵槽を収容し、このオゾンガス貯蔵槽内にオゾンガ
ス吸着剤を充填し、断熱容器内に充填した寒剤でオゾン
ガス貯蔵槽内のオゾンガス吸着剤を冷却し、冷却したオ
ゾンガス吸着剤に供給されたオゾンガスを吸着するよう
に構成してあるので、オゾンガス貯蔵槽内にオゾンガス
が選択吸着されて、オゾンガス貯蔵槽内にオゾンガスを
安定して貯蔵することができる。この結果、オゾン発生
器をオゾン使用個所の近傍に配置しなくてもよくなる。
ス貯蔵槽を収容し、このオゾンガス貯蔵槽内にオゾンガ
ス吸着剤を充填し、断熱容器内に充填した寒剤でオゾン
ガス貯蔵槽内のオゾンガス吸着剤を冷却し、冷却したオ
ゾンガス吸着剤に供給されたオゾンガスを吸着するよう
に構成してあるので、オゾンガス貯蔵槽内にオゾンガス
が選択吸着されて、オゾンガス貯蔵槽内にオゾンガスを
安定して貯蔵することができる。この結果、オゾン発生
器をオゾン使用個所の近傍に配置しなくてもよくなる。
【図１】オゾンガス貯蔵容器の縦断面図である。
【図２】オゾンガス充填時での概略縦断面図である。
【図３】オゾン貯蔵槽内圧とオゾン槽壁面温度の経時変
化を示すグラフである。
化を示すグラフである。
【図４】ドライアイスの自動供給機構を付設したオゾン
ガス貯蔵容器の概略縦断面図である。
ガス貯蔵容器の概略縦断面図である。
【図５】オゾンガス貯蔵容器の別の実施態様を示す縦断
面図である。
面図である。
１…断熱容器、２…オゾンガス貯蔵槽、３…オゾンガス
吸着剤、４…寒剤。
吸着剤、４…寒剤。
Claims (4)
- 【請求項１】 断熱容器(１)の内部にオゾンガス貯蔵槽
(２)を収容し、このオゾンガス貯蔵槽(２)内にオゾンガ
ス吸着剤(３)を充填し、断熱容器(１)内に充填した寒剤
(４)でオゾンガス貯蔵槽(２)内のオゾンガス吸着剤(３)
を冷却し、冷却したオゾンガス吸着剤(３)に供給オゾン
ガスを吸着させるように構成したオゾンガス貯蔵容器。 - 【請求項２】 寒剤(４)がドライアイスである請求項１
に記載のオゾンガス貯蔵容器。 - 【請求項３】 オゾンガス貯蔵槽(２)の温度を検出して
寒剤(４)を自動供給可能に構成した請求項１又は請求項
２に記載のオゾンガス貯蔵容器。 - 【請求項４】 寒剤(４)が液化炭酸ガスである請求項１
に記載のオゾンガス貯蔵容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12659297A JPH112398A (ja) | 1997-04-15 | 1997-05-16 | オゾンガス貯蔵容器 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9627697 | 1997-04-15 | ||
| JP9-96276 | 1997-04-15 | ||
| JP12659297A JPH112398A (ja) | 1997-04-15 | 1997-05-16 | オゾンガス貯蔵容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH112398A true JPH112398A (ja) | 1999-01-06 |
Family
ID=26437499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12659297A Pending JPH112398A (ja) | 1997-04-15 | 1997-05-16 | オゾンガス貯蔵容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH112398A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7019116B1 (ja) * | 2021-07-21 | 2022-02-14 | 三菱電機株式会社 | オゾン量計算装置、オゾン貯蔵容器および残オゾン量算出方法 |
-
1997
- 1997-05-16 JP JP12659297A patent/JPH112398A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7019116B1 (ja) * | 2021-07-21 | 2022-02-14 | 三菱電機株式会社 | オゾン量計算装置、オゾン貯蔵容器および残オゾン量算出方法 |
| WO2023002622A1 (ja) * | 2021-07-21 | 2023-01-26 | 三菱電機株式会社 | オゾン量計算装置、オゾン貯蔵容器および残オゾン量算出方法 |
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Legal Events
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040406 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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| A521 | Written amendment |
Effective date: 20040531 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
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| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20041124 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |