JPH11245102A - エアースピンドル及びダイシング装置 - Google Patents
エアースピンドル及びダイシング装置Info
- Publication number
- JPH11245102A JPH11245102A JP4680198A JP4680198A JPH11245102A JP H11245102 A JPH11245102 A JP H11245102A JP 4680198 A JP4680198 A JP 4680198A JP 4680198 A JP4680198 A JP 4680198A JP H11245102 A JPH11245102 A JP H11245102A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- spindle
- rotating shaft
- supply path
- spindle housing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Turning (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 切削装置に搭載して使用されるエアースピン
ドルにおいて、コンタミが多く発生する切削工程におい
て、コンタミがスピンドルハウジングと回転軸との間に
侵入しないように、エアーシールを形成するエアーの吹
き出し量を多くしたときに発生する耳障りでうるさい吹
き出し音を解消させること。 【解決手段】 本発明に係るエアースピンドルは、切削
装置に装備されるものであって、該エアースピンドル
は、回転軸と、該回転軸をラジアル方向、スラスト方向
にエアーで支持するエアーベアリング及び該回転軸の外
周をシールしエアーを噴出するエアーシール部とを含む
スピンドルハウジングとから構成されており、該スピン
ドルハウジングには該エアーシール部にエアーを供給す
るエアー供給経路が形成されていて、該エアー供給経路
には消音部材が配設されているものである。
ドルにおいて、コンタミが多く発生する切削工程におい
て、コンタミがスピンドルハウジングと回転軸との間に
侵入しないように、エアーシールを形成するエアーの吹
き出し量を多くしたときに発生する耳障りでうるさい吹
き出し音を解消させること。 【解決手段】 本発明に係るエアースピンドルは、切削
装置に装備されるものであって、該エアースピンドル
は、回転軸と、該回転軸をラジアル方向、スラスト方向
にエアーで支持するエアーベアリング及び該回転軸の外
周をシールしエアーを噴出するエアーシール部とを含む
スピンドルハウジングとから構成されており、該スピン
ドルハウジングには該エアーシール部にエアーを供給す
るエアー供給経路が形成されていて、該エアー供給経路
には消音部材が配設されているものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体ウ
ェーハを切削するダイシング装置等の精密切削装置に装
備されているエアースピンドル及びそのエアースピンド
ルを装備したダイシング装置に関するものである。
ェーハを切削するダイシング装置等の精密切削装置に装
備されているエアースピンドル及びそのエアースピンド
ルを装備したダイシング装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種のエアースピンドルとしては、例
えば、図６〜８に示した構成のものが従来技術として公
知になっている。この従来例におけるエアースピンドル
は、スピンドルハウジング１の内部にラジアルエアーベ
アリング２およびスラストエアーベアリング３を介して
回転軸、即ちスピンドル４が配設されている。このスピ
ンドル４の基部側にローター５とステーター６とからな
るシンクロナスモーター７が取り付けられ、スピンドル
４が回転駆動されるものである。
えば、図６〜８に示した構成のものが従来技術として公
知になっている。この従来例におけるエアースピンドル
は、スピンドルハウジング１の内部にラジアルエアーベ
アリング２およびスラストエアーベアリング３を介して
回転軸、即ちスピンドル４が配設されている。このスピ
ンドル４の基部側にローター５とステーター６とからな
るシンクロナスモーター７が取り付けられ、スピンドル
４が回転駆動されるものである。
【０００３】そして、回転軸であるスピンドル４の先端
部はスピンドルハウジング１から突出しており、その突
出先端部にフランジ部材８を介してブレード９が取り付
けられ、該ブレード９によって、例えば半導体ウェーハ
等の切削加工が遂行されるものである。
部はスピンドルハウジング１から突出しており、その突
出先端部にフランジ部材８を介してブレード９が取り付
けられ、該ブレード９によって、例えば半導体ウェーハ
等の切削加工が遂行されるものである。
【０００４】この切削加工において生ずる切削屑、即ち
コンタミがスピンドルハウジング１とスピンドル４との
間に入り込むと、所謂「カジリ」現象を起こし、スムー
ズな回転が出来なくなって精密切削が出来なくなるばか
りでなく、最終的には回転が不能になる場合もある。
コンタミがスピンドルハウジング１とスピンドル４との
間に入り込むと、所謂「カジリ」現象を起こし、スムー
ズな回転が出来なくなって精密切削が出来なくなるばか
りでなく、最終的には回転が不能になる場合もある。
【０００５】そこで、コンタミが入り込まないように、
スピンドルハウジング１にエア供給経路１０が設けら
れ、該エアー供給経路１０はスピンドルハウジング１の
先端側の内側に設けたリング状のエアーシール部１１に
接続され、該エアーシール部１１を介して、スピンドル
ハウジング１とスピンドル４との間からエアーを噴出ま
たは吹き出させてスピンドル４の外周面にシールを形成
し、コンタミの侵入を防止する構成になっている。
スピンドルハウジング１にエア供給経路１０が設けら
れ、該エアー供給経路１０はスピンドルハウジング１の
先端側の内側に設けたリング状のエアーシール部１１に
接続され、該エアーシール部１１を介して、スピンドル
ハウジング１とスピンドル４との間からエアーを噴出ま
たは吹き出させてスピンドル４の外周面にシールを形成
し、コンタミの侵入を防止する構成になっている。
【０００６】また、エアーの吹き出しによるシールの形
成をより一層強力なものとするために、図８に示したよ
うに、更に複数のエアー供給経路１０ａ、１０ｂを増設
し、エアーシール部１１に多くのエアーを供給して強力
なシールを形成させ、それによってコンタミの侵入を防
止する構成のものも知られている。
成をより一層強力なものとするために、図８に示したよ
うに、更に複数のエアー供給経路１０ａ、１０ｂを増設
し、エアーシール部１１に多くのエアーを供給して強力
なシールを形成させ、それによってコンタミの侵入を防
止する構成のものも知られている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、エアー
シール部が設けられたエアースピンドルであっても、切
削によるコンタミの量が多くなると、それに対応してエ
アーシール部からのエアーの吹き出し量を多くしなけれ
ばならない。エアーの吹き出し量が多くなると、エアー
シール部近傍において耳障りでうるさいエアー吹き出し
音が発生し、オペレーターに不快感を与えるという問題
点を有している。
シール部が設けられたエアースピンドルであっても、切
削によるコンタミの量が多くなると、それに対応してエ
アーシール部からのエアーの吹き出し量を多くしなけれ
ばならない。エアーの吹き出し量が多くなると、エアー
シール部近傍において耳障りでうるさいエアー吹き出し
音が発生し、オペレーターに不快感を与えるという問題
点を有している。
【０００８】従って、従来技術においては、エアーの吹
き出し量が多くなっても、耳障りでうるさいエアー吹き
出し音の発生を防止することに解決しなければならない
課題を有している。
き出し量が多くなっても、耳障りでうるさいエアー吹き
出し音の発生を防止することに解決しなければならない
課題を有している。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記従来例の課題を解決
する具体的手段として本発明は、切削装置に装備される
エアースピンドルであって、該エアースピンドルは、回
転軸と、該回転軸をラジアル方向、スラスト方向にエア
ーで支持するエアーベアリング及び該回転軸の外周をシ
ールしエアーを噴出するエアーシール部とを含むスピン
ドルハウジングと、から構成されており、該スピンドル
ハウジングには該エアーシール部にエアーを供給するエ
アー供給経路が形成されていて、該エアー供給経路には
消音部材が配設されていることを特徴とするエアースピ
ンドルを提供するものである。
する具体的手段として本発明は、切削装置に装備される
エアースピンドルであって、該エアースピンドルは、回
転軸と、該回転軸をラジアル方向、スラスト方向にエア
ーで支持するエアーベアリング及び該回転軸の外周をシ
ールしエアーを噴出するエアーシール部とを含むスピン
ドルハウジングと、から構成されており、該スピンドル
ハウジングには該エアーシール部にエアーを供給するエ
アー供給経路が形成されていて、該エアー供給経路には
消音部材が配設されていることを特徴とするエアースピ
ンドルを提供するものである。
【００１０】また、消音部材は、メッシュ状の金属焼結
体であること、切削装置は、半導体ウェーハをダイシン
グするダイシング装置であって、前記構成のエアースピ
ンドルが装備されていること、を付加的な要件として含
むものである。
体であること、切削装置は、半導体ウェーハをダイシン
グするダイシング装置であって、前記構成のエアースピ
ンドルが装備されていること、を付加的な要件として含
むものである。
【００１１】本発明に係るエアースピンドルは、エアー
供給経路に消音部材が配設されていることから、エアー
シール部におけるエアーの吹き出し量が多くなっても、
耳障りでうるさいエアー吹き出し音が発生しないのであ
る。
供給経路に消音部材が配設されていることから、エアー
シール部におけるエアーの吹き出し量が多くなっても、
耳障りでうるさいエアー吹き出し音が発生しないのであ
る。
【００１２】
【発明の実施の形態】次に本発明を図示の実施例により
更に詳しく説明する。なお、前記従来例と同一部分には
同一符号を付してその詳細は省略する。図１は本発明に
係るエアースピンドルであり、該エアースピンドルは、
スピンドルハウジング１と、該スピンドルハウジング１
の内部に配設された回転軸となるスピンドル４とから概
ね構成されている。
更に詳しく説明する。なお、前記従来例と同一部分には
同一符号を付してその詳細は省略する。図１は本発明に
係るエアースピンドルであり、該エアースピンドルは、
スピンドルハウジング１と、該スピンドルハウジング１
の内部に配設された回転軸となるスピンドル４とから概
ね構成されている。
【００１３】回転軸であるスピンドル４は、ラジアルエ
アーベアリング２およびスラストエアーベアリング３を
介して配設されており、ラジアル方向とスラスト方向と
がエアーベアリングによって非接触の状態で支持され、
且つスピンドルハウジング１に対して回転自在に配設さ
れていることになる。そして、この回転軸、即ちスピン
ドル４の基部側にはローター５とステーター６とからな
るシンクロナスモーター７が取り付けられ、スピンドル
４が回転駆動されるものである。
アーベアリング２およびスラストエアーベアリング３を
介して配設されており、ラジアル方向とスラスト方向と
がエアーベアリングによって非接触の状態で支持され、
且つスピンドルハウジング１に対して回転自在に配設さ
れていることになる。そして、この回転軸、即ちスピン
ドル４の基部側にはローター５とステーター６とからな
るシンクロナスモーター７が取り付けられ、スピンドル
４が回転駆動されるものである。
【００１４】このように配設されたスピンドル４の先端
部はスピンドルハウジング１から突出しており、その突
出先端部にフランジ部材８を介してブレード９が取り付
けられ、該ブレード９によって、例えば半導体ウェーハ
等の切削加工が遂行されるものである。
部はスピンドルハウジング１から突出しており、その突
出先端部にフランジ部材８を介してブレード９が取り付
けられ、該ブレード９によって、例えば半導体ウェーハ
等の切削加工が遂行されるものである。
【００１５】切削加工工程において、スピンドルハウジ
ング１とスピンドル４との間にコンタミが入り込まない
ように、スピンドルハウジング１にエア供給経路１０が
設けられ、該エアー供給経路１０はスピンドルハウジン
グ１の先端側の内側に設けたリング状のエアーシール部
１１に接続され、該エアーシール部１１を介して、スピ
ンドルハウジング１とスピンドル４との間からエアーを
吹き出させてスピンドル４の外周面にエアーシールを形
成し、コンタミの侵入を防止する構成になっている。こ
れらの構成は、前記従来例と実質的に同一のものであ
る。
ング１とスピンドル４との間にコンタミが入り込まない
ように、スピンドルハウジング１にエア供給経路１０が
設けられ、該エアー供給経路１０はスピンドルハウジン
グ１の先端側の内側に設けたリング状のエアーシール部
１１に接続され、該エアーシール部１１を介して、スピ
ンドルハウジング１とスピンドル４との間からエアーを
吹き出させてスピンドル４の外周面にエアーシールを形
成し、コンタミの侵入を防止する構成になっている。こ
れらの構成は、前記従来例と実質的に同一のものであ
る。
【００１６】そこで、本発明においては、エアー供給経
路１０中に消音部材１２を配設して耳障りでうるさいエ
アー吹き出し音の発生を防止したものである。この消音
部材１２は、種々の構成または材質のものが使用できる
が、好ましくは、メッシュ状の金属焼結体がベターであ
る。
路１０中に消音部材１２を配設して耳障りでうるさいエ
アー吹き出し音の発生を防止したものである。この消音
部材１２は、種々の構成または材質のものが使用できる
が、好ましくは、メッシュ状の金属焼結体がベターであ
る。
【００１７】このメッシュ状の金属焼結体は、例えば、
銅、ステンレス、アルミニウム等の金属で形成されてお
り、全体形状としては円盤状を呈し、エアー供給経路１
０の適宜位置に、エアー供給経路１０を塞ぐような状態
で配設されるものであって、その配設位置は任意に選択
できるが、好ましくは、エアーシール部１１の近傍の方
が消音効果が大きい。
銅、ステンレス、アルミニウム等の金属で形成されてお
り、全体形状としては円盤状を呈し、エアー供給経路１
０の適宜位置に、エアー供給経路１０を塞ぐような状態
で配設されるものであって、その配設位置は任意に選択
できるが、好ましくは、エアーシール部１１の近傍の方
が消音効果が大きい。
【００１８】また、図３に示したように、エアーシール
部１１に対して複数のエアー供給経路１０、１０ａ、１
０ｂを有する他の例のエアースピンドルにおいても、前
記と同様の消音部材１２が各エアー供給系路毎の適宜位
置に設けられるものである。
部１１に対して複数のエアー供給経路１０、１０ａ、１
０ｂを有する他の例のエアースピンドルにおいても、前
記と同様の消音部材１２が各エアー供給系路毎の適宜位
置に設けられるものである。
【００１９】このように消音部材１２が設けられたエア
ースピンドルにおいて、各エアー供給経路に供給される
エアーはクリーンなエアーであるが、それでも長期使用
によって、消音部材１２が目詰まりを起こし、正常に機
能しない状態が生ずる場合がある。
ースピンドルにおいて、各エアー供給経路に供給される
エアーはクリーンなエアーであるが、それでも長期使用
によって、消音部材１２が目詰まりを起こし、正常に機
能しない状態が生ずる場合がある。
【００２０】このような事態を想定して、消音部材１２
はエアー供給経路１０に対して取り外し可能に配設した
方が良い。そのために配設位置の好ましい例を図４に示
してある。
はエアー供給経路１０に対して取り外し可能に配設した
方が良い。そのために配設位置の好ましい例を図４に示
してある。
【００２１】即ち、エアーシール部１１の近傍であっ
て、スラストエアーベアリング３の部位に消音部材１２
を配設する。この場合に、スラストエアーベアリング３
を構成する部材が複数に分割されていて組み付け構造で
あること、スラストカラー３ａが取り外しできることに
より、このスラストエアーベアリング３の部位がスピン
ドルハウジング１において、消音部材の配設位置として
最も適している。
て、スラストエアーベアリング３の部位に消音部材１２
を配設する。この場合に、スラストエアーベアリング３
を構成する部材が複数に分割されていて組み付け構造で
あること、スラストカラー３ａが取り外しできることに
より、このスラストエアーベアリング３の部位がスピン
ドルハウジング１において、消音部材の配設位置として
最も適している。
【００２２】従って、長期使用において消音部材１２に
目詰まりが生じても、消音部材１２を取り外して洗浄ま
たは新品と交換し、クリーンな状態にして機能の低下を
解消できるものである。
目詰まりが生じても、消音部材１２を取り外して洗浄ま
たは新品と交換し、クリーンな状態にして機能の低下を
解消できるものである。
【００２３】このように構成されたエアースピンドル
は、図５に示したように、切削装置として代表されるダ
イシング装置２０に装着して使用される。この場合の被
切削物は、所謂半導体ウェーハ２１であって、該半導体
ウェーハは、テープ２２を介してフレーム２３に支持さ
れており、その多数枚がキャリングケース２４に収納さ
れた状態でダイシング装置２０にセットされ、適宜の引
き出し機構２５及びアーム２６を介して一枚づつチャッ
クテーブル２７上に載置され、上記の切削または切断分
割が遂行されるものであり、半導体ウェーハ及びダイシ
ング装置は、一般的に使用されているものがそのまま適
用できる。
は、図５に示したように、切削装置として代表されるダ
イシング装置２０に装着して使用される。この場合の被
切削物は、所謂半導体ウェーハ２１であって、該半導体
ウェーハは、テープ２２を介してフレーム２３に支持さ
れており、その多数枚がキャリングケース２４に収納さ
れた状態でダイシング装置２０にセットされ、適宜の引
き出し機構２５及びアーム２６を介して一枚づつチャッ
クテーブル２７上に載置され、上記の切削または切断分
割が遂行されるものであり、半導体ウェーハ及びダイシ
ング装置は、一般的に使用されているものがそのまま適
用できる。
【００２４】このようなダイシング装置２０において、
本発明に係るエアースピンドルが搭載され、エアースピ
ンドルの先端側に設けられているブレード９によってチ
ャックテーブル２７上に載置された半導体ウェーハ２１
を個々のチップ状に切削または切断分割する切削加工が
遂行されるものである。
本発明に係るエアースピンドルが搭載され、エアースピ
ンドルの先端側に設けられているブレード９によってチ
ャックテーブル２７上に載置された半導体ウェーハ２１
を個々のチップ状に切削または切断分割する切削加工が
遂行されるものである。
【００２５】この場合に、エアースピンドルのエアー供
給経路１０に所定圧で且つ所要量ののエアーが供給さ
れ、エアーシール部１１を介して、スピンドルハウジン
グ１とスピンドル４との間からエアーを噴出または吹き
出させてスピンドル４の外周面にシールを形成している
ので、切削加工によって生ずるコンタミの侵入を防止し
ているのである。
給経路１０に所定圧で且つ所要量ののエアーが供給さ
れ、エアーシール部１１を介して、スピンドルハウジン
グ１とスピンドル４との間からエアーを噴出または吹き
出させてスピンドル４の外周面にシールを形成している
ので、切削加工によって生ずるコンタミの侵入を防止し
ているのである。
【００２６】特に、エアー供給経路１０、１０ａ、１０
ｂに対するエアーの供給量が多くなっても、消音部材１
２の存在によりエアーシール部１１におけるエアーの吹
き出し音が全面的に消音され、耳障りでうるさい雑音が
解消されるばかりでなく、エアーの強い吹き出しによっ
てスピンドル４の外周面におけるシールの形成がより一
層安定し、コンタミの侵入が略完全に防止できるのであ
る。
ｂに対するエアーの供給量が多くなっても、消音部材１
２の存在によりエアーシール部１１におけるエアーの吹
き出し音が全面的に消音され、耳障りでうるさい雑音が
解消されるばかりでなく、エアーの強い吹き出しによっ
てスピンドル４の外周面におけるシールの形成がより一
層安定し、コンタミの侵入が略完全に防止できるのであ
る。
【００２７】このようにコンタミの侵入が防止できるこ
とから、エアースピンドルの使用寿命が長くなるばかり
でなく、オペレーターに対して耳障りでうるさいエアー
の吹き出し音の発生が無くなるので、不快感を与えない
で切削作業を遂行させることができるのである。
とから、エアースピンドルの使用寿命が長くなるばかり
でなく、オペレーターに対して耳障りでうるさいエアー
の吹き出し音の発生が無くなるので、不快感を与えない
で切削作業を遂行させることができるのである。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るエア
ースピンドルは、切削装置に装備されるエアースピンド
ルであって、該エアースピンドルは、回転軸と、該回転
軸をラジアル方向、スラスト方向にエアーで支持するエ
アーベアリング及び該回転軸の外周をシールしエアーを
噴出するエアーシール部とを含むスピンドルハウジング
とから構成されており、該スピンドルハウジングには該
エアーシール部にエアーを供給するエアー供給経路が形
成されていて、該エアー供給経路には消音部材が配設さ
れている構成としたことにより、エアーシールを万全な
ものとするためにエアーの供給量を多くしても、耳障り
でうるさい吹き出し音の発生が抑制できると言う優れた
効果を奏する。
ースピンドルは、切削装置に装備されるエアースピンド
ルであって、該エアースピンドルは、回転軸と、該回転
軸をラジアル方向、スラスト方向にエアーで支持するエ
アーベアリング及び該回転軸の外周をシールしエアーを
噴出するエアーシール部とを含むスピンドルハウジング
とから構成されており、該スピンドルハウジングには該
エアーシール部にエアーを供給するエアー供給経路が形
成されていて、該エアー供給経路には消音部材が配設さ
れている構成としたことにより、エアーシールを万全な
ものとするためにエアーの供給量を多くしても、耳障り
でうるさい吹き出し音の発生が抑制できると言う優れた
効果を奏する。
【００２９】また、本発明に係る上記構成のエアースピ
ンドルが搭載される切削装置としては、半導体ウェーハ
をダイシングするダイシング装置であって、切削工程で
コンタミが多く発生する場合に、そのコンタミがスピン
ドルハウジングと回転軸（スピンドル）との間に侵入し
ないように、エアーの供給量を多くしてエアーの吹き出
しを強くし、エアーシールを万全なものとしても、オペ
レータに対して不快感を与えるような耳障りでうるさい
吹き出し音の発生が抑制できると共に、エアースピンド
ルの使用寿命が長くなると言う優れた効果を奏する。
ンドルが搭載される切削装置としては、半導体ウェーハ
をダイシングするダイシング装置であって、切削工程で
コンタミが多く発生する場合に、そのコンタミがスピン
ドルハウジングと回転軸（スピンドル）との間に侵入し
ないように、エアーの供給量を多くしてエアーの吹き出
しを強くし、エアーシールを万全なものとしても、オペ
レータに対して不快感を与えるような耳障りでうるさい
吹き出し音の発生が抑制できると共に、エアースピンド
ルの使用寿命が長くなると言う優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るエアースピンドルを略示的断面で
示す側面図である。
示す側面図である。
【図２】同エアースピンドルを構成するスピンドルハウ
ジングの一例の略示的正面図である。
ジングの一例の略示的正面図である。
【図３】同エアースピンドルを構成するスピンドルハウ
ジングの他の例の略示的正面図である。
ジングの他の例の略示的正面図である。
【図４】同エアースピンドルにおける消音部材の取り付
け状況の一例を示す略示的断面図である。
け状況の一例を示す略示的断面図である。
【図５】同エアースピンドルを搭載した切削装置の一例
としてダイシング装置を略示的に示した斜視図である。
としてダイシング装置を略示的に示した斜視図である。
【図６】従来例のエアースピンドルを略示的断面で示す
側面図である。
側面図である。
【図７】同従来例のエアースピンドルを構成するスピン
ドルハウジングの一例の略示的正面図である。
ドルハウジングの一例の略示的正面図である。
【図８】同従来例のエアースピンドルを構成するスピン
ドルハウジングの他の例の略示的正面図である。
ドルハウジングの他の例の略示的正面図である。
１……スピンドルハウジング、 ２……ラジアルエアー
ベアリング、３……スラストエアーペアリング、 ４…
…エアースピンドル（回転軸）、５……ローター、 ６
……ステーター、 ７……シンクロナスモーター、８…
…フランジ部材、 ９……ブレード、１０、１０ａ、１
０ｂ……エアー供給経路、 １１……エアーシール部、
１２……消音部材、 ２０……ダイシング装置、 ２１
……半導体ウェーハ、２２……テープ、 ２３……フレ
ーム、 ２４……キャリングケース、２５……引き出し
機構、 ２６……アーム、 ２７……チャックテーブ
ル。
ベアリング、３……スラストエアーペアリング、 ４…
…エアースピンドル（回転軸）、５……ローター、 ６
……ステーター、 ７……シンクロナスモーター、８…
…フランジ部材、 ９……ブレード、１０、１０ａ、１
０ｂ……エアー供給経路、 １１……エアーシール部、
１２……消音部材、 ２０……ダイシング装置、 ２１
……半導体ウェーハ、２２……テープ、 ２３……フレ
ーム、 ２４……キャリングケース、２５……引き出し
機構、 ２６……アーム、 ２７……チャックテーブ
ル。
Claims (3)
- 【請求項１】 切削装置に装備されるエアースピンドル
であって、 該エアースピンドルは、回転軸と、該回転軸をラジアル
方向、スラスト方向にエアーで支持するエアーベアリン
グ及び該回転軸の外周をシールしエアーを噴出するエア
ーシール部とを含むスピンドルハウジングと、から構成
されており、 該スピンドルハウジングには該エアーシール部にエアー
を供給するエアー供給経路が形成されていて、該エアー
供給経路には消音部材が配設されていることを特徴とす
るエアースピンドル。 - 【請求項２】 消音部材は、メッシュ状の金属焼結体で
あることを特徴とする請求項１に記載のエアースピンド
ル。 - 【請求項３】 切削装置は、半導体ウェーハをダイシン
グするダイシング装置であって、請求項１または２に記
載のエアースピンドルが装備されていることを特徴とす
るダイシング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4680198A JPH11245102A (ja) | 1998-02-27 | 1998-02-27 | エアースピンドル及びダイシング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4680198A JPH11245102A (ja) | 1998-02-27 | 1998-02-27 | エアースピンドル及びダイシング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11245102A true JPH11245102A (ja) | 1999-09-14 |
Family
ID=12757445
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4680198A Withdrawn JPH11245102A (ja) | 1998-02-27 | 1998-02-27 | エアースピンドル及びダイシング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11245102A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006167822A (ja) * | 2004-12-13 | 2006-06-29 | Konica Minolta Opto Inc | スピンドル装置 |
| CN104325402A (zh) * | 2013-07-22 | 2015-02-04 | 株式会社迪思科 | 切削装置 |
-
1998
- 1998-02-27 JP JP4680198A patent/JPH11245102A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006167822A (ja) * | 2004-12-13 | 2006-06-29 | Konica Minolta Opto Inc | スピンドル装置 |
| CN104325402A (zh) * | 2013-07-22 | 2015-02-04 | 株式会社迪思科 | 切削装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3057564B2 (ja) | 歯科用ハンドピース | |
| JP3152632B2 (ja) | 歯科用ハンドピース | |
| JPH06327698A (ja) | 歯科用ハンドピース | |
| US20220080547A1 (en) | Ultrasonic spindle device with automatic tool changer | |
| JP2005059151A (ja) | 切削装置 | |
| JPH11245102A (ja) | エアースピンドル及びダイシング装置 | |
| JP6946224B2 (ja) | 軸受装置の冷却構造 | |
| JP2000316875A (ja) | 歯科用ハンドピース | |
| US6315559B1 (en) | Prophy head | |
| US20010028106A1 (en) | Cooling apparatus for cooling electric element | |
| JP2000046054A (ja) | エアースピンドル及びダイシング装置 | |
| US6599124B2 (en) | Dental handpiece with angular contact ball bearings | |
| JP4420993B2 (ja) | エアースピンドルユニット | |
| KR100474344B1 (ko) | 진공청소기 모터의 소음 저감 장치 | |
| JPH0942465A (ja) | エアスピンドル | |
| JP3338859B2 (ja) | 歯科用ハンドピース | |
| JP6599961B2 (ja) | 端子箱を備えた電動機及び工作機械 | |
| JPH06159299A (ja) | ファンの絡み防止装置 | |
| JP3535709B2 (ja) | 加工装置のガスシール構造 | |
| JP2954919B2 (ja) | 歯科用ストレートハンドピース | |
| JP2001258198A (ja) | 誘導電動機 | |
| JPH11146607A (ja) | 電動工具の防塵機構 | |
| KR20030040883A (ko) | 공작기계의 스핀들모터용 냉각팬 | |
| JPH08320024A (ja) | 主軸のベアリング冷却装置 | |
| JP2002301636A (ja) | スピンドルモータ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050121 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20070314 |