JPH11245399A - インクジェット式記録ヘッド - Google Patents
インクジェット式記録ヘッドInfo
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- JPH11245399A JPH11245399A JP6793898A JP6793898A JPH11245399A JP H11245399 A JPH11245399 A JP H11245399A JP 6793898 A JP6793898 A JP 6793898A JP 6793898 A JP6793898 A JP 6793898A JP H11245399 A JPH11245399 A JP H11245399A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14419—Manifold
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 記録ヘッドの幅方向のサイズの縮小を図りつ
つ、流路ユニットの封止板とヘッドホルダとの接着性
や、リザーバのコンプライアンスを平均化すること。 【解決手段】 スペーサ１５が、そのインク導入口１６
の周囲にリザーバ３に連通する凹部からなる接続流路２
０をが間欠的に形成され、リザーバ３の幅方向を跨ぐよ
うにインク誘導路１２の開口１３の外周の少なくとも２
点を支持する領域を形成する。
つ、流路ユニットの封止板とヘッドホルダとの接着性
や、リザーバのコンプライアンスを平均化すること。 【解決手段】 スペーサ１５が、そのインク導入口１６
の周囲にリザーバ３に連通する凹部からなる接続流路２
０をが間欠的に形成され、リザーバ３の幅方向を跨ぐよ
うにインク誘導路１２の開口１３の外周の少なくとも２
点を支持する領域を形成する。
Description
【０００１】
【発明が属する技術の分野】本発明は、記録媒体にイン
ク滴を吐出して記録画像を形成するインクジェット式記
録ヘッド、より詳細には圧力発生室等の流路を形成する
スペーサの構造に関する。
ク滴を吐出して記録画像を形成するインクジェット式記
録ヘッド、より詳細には圧力発生室等の流路を形成する
スペーサの構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】ノズルと連通する圧力発生室の壁面に弾
性変形可能な封止板を積層し、この封止板を圧電振動子
により加圧することによりインク滴を吐出し記録媒体に
記録するインクジェット式記録ヘッドは、例えば特開平
7-323543号公報に見られるようにノズルを有するノズル
プレートと、圧力発生室とリザーバ及びインク流路が形
成されたスペーサ部材と、封止板をサンドイッチ状に積
層し、この封止板を圧電振動子により弾性変形させて、
圧力発生室を膨張、収縮させるように構成されている。
性変形可能な封止板を積層し、この封止板を圧電振動子
により加圧することによりインク滴を吐出し記録媒体に
記録するインクジェット式記録ヘッドは、例えば特開平
7-323543号公報に見られるようにノズルを有するノズル
プレートと、圧力発生室とリザーバ及びインク流路が形
成されたスペーサ部材と、封止板をサンドイッチ状に積
層し、この封止板を圧電振動子により弾性変形させて、
圧力発生室を膨張、収縮させるように構成されている。
【０００３】リザーバは、２列の圧力発生室の外周を取
り囲むように略Ｕ字状に形成されていて、中央部に導入
口が接続するように構成されている。 このような構成
によれば、２列の圧力発生室を使用して高密度印刷が可
能となるものの、カラー印刷のように複数種のインクを
使用する記録ヘッドにあっては、インク種の数だけ記録
ヘッドを用意せねばならず、記録ヘッドの幅方向のサイ
ズが非常に大きくなるという問題がある。本発明はこの
ような問題に鑑みてなされたものであって、その目的と
するところは記録ヘッドの幅方向のサイズの拡大を招く
こと無く、同一の基板に形成された複数列の圧力発生室
の各列に独立してインクを安定に供給できるインクジェ
ット式記録ヘッドを提供することである。
り囲むように略Ｕ字状に形成されていて、中央部に導入
口が接続するように構成されている。 このような構成
によれば、２列の圧力発生室を使用して高密度印刷が可
能となるものの、カラー印刷のように複数種のインクを
使用する記録ヘッドにあっては、インク種の数だけ記録
ヘッドを用意せねばならず、記録ヘッドの幅方向のサイ
ズが非常に大きくなるという問題がある。本発明はこの
ような問題に鑑みてなされたものであって、その目的と
するところは記録ヘッドの幅方向のサイズの拡大を招く
こと無く、同一の基板に形成された複数列の圧力発生室
の各列に独立してインクを安定に供給できるインクジェ
ット式記録ヘッドを提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、複数の圧力発生室を列状に
形成するとともに、各列の圧力発生室にインク供給口を
介して連通するリザーバを形成したスペーサと、前記圧
力発生室に連通するノズル開口が穿設されたノズルプレ
ートと、前記圧力発生室、及び前記リザーバを封止する
封止板とを積層して構成された流路ユニットと、前記流
路ユニットを固定するとともに、前記リザーバにインク
を注入するインク誘導路を備えたヘッドホルダとを備
え、前記スペーサが、そのインク導入口の周囲に前記リ
ザーバの本体に連通する接続流路が形成され、前記リザ
ーバを跨ぐ方向に前記インク誘導路の開口部の外周の少
なくとも２点を支持する領域を有するようにした。
るために本発明においては、複数の圧力発生室を列状に
形成するとともに、各列の圧力発生室にインク供給口を
介して連通するリザーバを形成したスペーサと、前記圧
力発生室に連通するノズル開口が穿設されたノズルプレ
ートと、前記圧力発生室、及び前記リザーバを封止する
封止板とを積層して構成された流路ユニットと、前記流
路ユニットを固定するとともに、前記リザーバにインク
を注入するインク誘導路を備えたヘッドホルダとを備
え、前記スペーサが、そのインク導入口の周囲に前記リ
ザーバの本体に連通する接続流路が形成され、前記リザ
ーバを跨ぐ方向に前記インク誘導路の開口部の外周の少
なくとも２点を支持する領域を有するようにした。
【０００５】
【作用】ヘッドホルダとの接着の過程で、インク導入口
の近傍に形成されているスペーサの凸部によりヘッドホ
ルダのインク誘導路の外周の複数点がヘッドホルダに当
接するため、この近傍が確実に接着され液密構造が確保
される。インク供給口からリザーバに逆流したインク
は、封止板の弾性変形により圧力上昇分が吸収される。
そして、インク導入口に対向する領域の圧力発生室から
逆流したインクもこの領域に形成されている凹部から両
側に分流して、両側の大きなコンプライアンスにより吸
収される。
の近傍に形成されているスペーサの凸部によりヘッドホ
ルダのインク誘導路の外周の複数点がヘッドホルダに当
接するため、この近傍が確実に接着され液密構造が確保
される。インク供給口からリザーバに逆流したインク
は、封止板の弾性変形により圧力上昇分が吸収される。
そして、インク導入口に対向する領域の圧力発生室から
逆流したインクもこの領域に形成されている凹部から両
側に分流して、両側の大きなコンプライアンスにより吸
収される。
【０００６】
【発明の実施の形態】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例に基づいて説明する。図１は、本発明の記録
ヘッドの一実施例を示すものであって、ノズル開口１、
インク供給口２、リザーバ３、及び圧力発生室４を形成
する流路形成ユニット５をヘッドホルダ６の一端に固定
するとともに、このユニット５の各列の圧力発生室４に
対向する位置に圧電振動子７、７、７、…の先端が当接
するように圧電振動子ユニット８をヘッドホルダ６に固
定して構成されている。
した実施例に基づいて説明する。図１は、本発明の記録
ヘッドの一実施例を示すものであって、ノズル開口１、
インク供給口２、リザーバ３、及び圧力発生室４を形成
する流路形成ユニット５をヘッドホルダ６の一端に固定
するとともに、このユニット５の各列の圧力発生室４に
対向する位置に圧電振動子７、７、７、…の先端が当接
するように圧電振動子ユニット８をヘッドホルダ６に固
定して構成されている。
【０００７】ヘッドホルダ６は、図２に示したように圧
力発生室４に対向する位置に圧電振動子７、７、７を露
出させる窓９が、またリザーバ３に対向する領域には、
圧電振動子７により弾性変形可能な後述の封止板１０を
弾性変形可能ならしめる凹部１１が形成され、さらにリ
ザーバの中心部と対向する位置にはインク誘導路１２の
先端を開口１３を形成して構成されている。
力発生室４に対向する位置に圧電振動子７、７、７を露
出させる窓９が、またリザーバ３に対向する領域には、
圧電振動子７により弾性変形可能な後述の封止板１０を
弾性変形可能ならしめる凹部１１が形成され、さらにリ
ザーバの中心部と対向する位置にはインク誘導路１２の
先端を開口１３を形成して構成されている。
【０００８】流路ユニット５は、圧力発生室２に連通す
るノズル開口１を備えたノズルプレート１４と、リザー
バ３、インク供給口２、及び圧力発生室４を形成するス
ペーサ１５と、少なくともリザーバ３、インク供給口
２、及び圧力発生室４を封止し、かつリザーバ３、及び
圧力発生室４の領域で弾性変形可能な弾性膜にヘッドホ
ルダ６の開口１３とリザーバ３とを接続する通孔１６を
穿設してなる封止板１０とをサンドイッチ状に積層して
構成されている。
るノズル開口１を備えたノズルプレート１４と、リザー
バ３、インク供給口２、及び圧力発生室４を形成するス
ペーサ１５と、少なくともリザーバ３、インク供給口
２、及び圧力発生室４を封止し、かつリザーバ３、及び
圧力発生室４の領域で弾性変形可能な弾性膜にヘッドホ
ルダ６の開口１３とリザーバ３とを接続する通孔１６を
穿設してなる封止板１０とをサンドイッチ状に積層して
構成されている。
【０００９】封止板１０は、この実施例では圧電振動子
７の変位を圧力発生室の容積変化に変換するために各圧
力発生室の中心線状に剛性を備えたアイランド部１７が
形成されている。
７の変位を圧力発生室の容積変化に変換するために各圧
力発生室の中心線状に剛性を備えたアイランド部１７が
形成されている。
【００１０】図３は、スペーサ１５の一実施例を示すも
のであって、中心線を対称線とするように圧力発生室
４、４、４、…が２列一定のピッチで形成され、各列の
インク供給口２、２、２、…の外側にはそれぞれ独立し
てリザーバ３、３が形成され、インク供給口２、２、２
…を介してリザーバ３、３と各列の圧力発生室４、４、
４、…が接続されている。
のであって、中心線を対称線とするように圧力発生室
４、４、４、…が２列一定のピッチで形成され、各列の
インク供給口２、２、２、…の外側にはそれぞれ独立し
てリザーバ３、３が形成され、インク供給口２、２、２
…を介してリザーバ３、３と各列の圧力発生室４、４、
４、…が接続されている。
【００１１】リザーバ３は、中心点を対称点とするよう
に両側が若干狭くなるように羽型に形成され、また中心
部にはヘッドホルダ６のインク誘導路１２に接続する凹
部１８を突出部１９により区画して形成されている。こ
の凹部１８は、リザーバ３の最外側よりも内側に位置す
るように形成されている。これにより、記録ヘッド全体
の幅を小さくして小型化を図ることが可能となる。
に両側が若干狭くなるように羽型に形成され、また中心
部にはヘッドホルダ６のインク誘導路１２に接続する凹
部１８を突出部１９により区画して形成されている。こ
の凹部１８は、リザーバ３の最外側よりも内側に位置す
るように形成されている。これにより、記録ヘッド全体
の幅を小さくして小型化を図ることが可能となる。
【００１２】また、突出部１９の両側（図では上下方
向）にはリザーバ３の本体部と凹部１８とをインクの流
通が可能な程度の段差部からなる接続流路２０が、図４
及び図５に示したように封止板１０の側に形成されてい
る。
向）にはリザーバ３の本体部と凹部１８とをインクの流
通が可能な程度の段差部からなる接続流路２０が、図４
及び図５に示したように封止板１０の側に形成されてい
る。
【００１３】このスペーサ１５は、周知のように所定厚
に切り出されたシリコン単結晶基板を用い、リザーバ
３、凹部１８等を異方性フルエッチングにより貫通孔を
形成し、また圧力発生室４や接続流路２０を異方性ハー
フエッチングすることにより構成できる。
に切り出されたシリコン単結晶基板を用い、リザーバ
３、凹部１８等を異方性フルエッチングにより貫通孔を
形成し、また圧力発生室４や接続流路２０を異方性ハー
フエッチングすることにより構成できる。
【００１４】また、エッチング可能でかつインクに耐蝕
性を持つ金属やガラス等の板材を用い、これに貫通領域
や凹部をエッチングにより形成したり、また少なくとも
凹部の底面を境とするように厚み方向に複数の層に分解
し、各層の貫通孔に一致する貫通孔を形成したエッチン
グフィルムを積層することにより構成することができ
る。
性を持つ金属やガラス等の板材を用い、これに貫通領域
や凹部をエッチングにより形成したり、また少なくとも
凹部の底面を境とするように厚み方向に複数の層に分解
し、各層の貫通孔に一致する貫通孔を形成したエッチン
グフィルムを積層することにより構成することができ
る。
【００１５】この実施例において、スペーサ１５の一方
の面にノズルプレート１４を、また他方の面に封止板１
０を接着剤等により液密に固定して流路形成ユニット５
を構成する。
の面にノズルプレート１４を、また他方の面に封止板１
０を接着剤等により液密に固定して流路形成ユニット５
を構成する。
【００１６】この流路形成ユニット５のインク導入口１
６をヘッドホルダ６のインク誘導路１２の開口１３に位
置合わせして接着剤等によりヘッドホルダ６に固定し、
また圧電振動子７の先端が封止板１０のアイランド部１
７に当接するように圧電振動子ユニット８をヘッドホル
ダ６に固定し、またヘッドホルダ６の他方の面にインク
供給針２１やフィルタ２２を取り付け、外側をシールド
部材を兼ねる枠体２３で固定すると記録ヘッドが完成す
る。
６をヘッドホルダ６のインク誘導路１２の開口１３に位
置合わせして接着剤等によりヘッドホルダ６に固定し、
また圧電振動子７の先端が封止板１０のアイランド部１
７に当接するように圧電振動子ユニット８をヘッドホル
ダ６に固定し、またヘッドホルダ６の他方の面にインク
供給針２１やフィルタ２２を取り付け、外側をシールド
部材を兼ねる枠体２３で固定すると記録ヘッドが完成す
る。
【００１７】ところで、流路ユニット５とヘッドホルダ
６との接着の過程で、インク導入路１２の開口１３の周
縁の内、少なくともリザーバ３の幅方向の２点、つまり
図４において凹部１８の図中右側の壁とインク供給口２
を形成する壁２ａの領域、及び突出部１９の先端１９ａ
の領域でも支持されるため、インク誘導路の開口１３の
周辺の封止板１０がヘッドホルダ６に確実に接着され、
液密構造が確保される。
６との接着の過程で、インク導入路１２の開口１３の周
縁の内、少なくともリザーバ３の幅方向の２点、つまり
図４において凹部１８の図中右側の壁とインク供給口２
を形成する壁２ａの領域、及び突出部１９の先端１９ａ
の領域でも支持されるため、インク誘導路の開口１３の
周辺の封止板１０がヘッドホルダ６に確実に接着され、
液密構造が確保される。
【００１８】このように構成された記録ヘッドに駆動信
号を印加すると、圧電振動子７が収縮して圧力発生室４
が膨張する。これによりリザーバ３のインクがインク供
給口２から圧力発生室４に流れ込む。所定時間が経過し
た段階で圧電振動子７を放電させると、圧電振動子７が
伸長して元の状態に復帰する。この過程で圧力発生室４
が圧縮されて圧力発生室４のインクの一部がノズル開口
１からインク滴として吐出し、また残部がインク供給口
２からリザーバ３に逆流する。
号を印加すると、圧電振動子７が収縮して圧力発生室４
が膨張する。これによりリザーバ３のインクがインク供
給口２から圧力発生室４に流れ込む。所定時間が経過し
た段階で圧電振動子７を放電させると、圧電振動子７が
伸長して元の状態に復帰する。この過程で圧力発生室４
が圧縮されて圧力発生室４のインクの一部がノズル開口
１からインク滴として吐出し、また残部がインク供給口
２からリザーバ３に逆流する。
【００１９】リザーバ３に逆流したインクは、リザーバ
３の圧力を上昇させることになるが、リザーバ３の一方
の面はフィルム等の弾性変形可能な封止板１０により封
止され、かつヘッドホルダ６の対向する面に凹部１１が
形成されているから、封止板１０が圧力に応動して弾性
変形し、圧力上昇分を吸収する。またインク導入口１６
に対向する領域の圧力発生室４から逆流したインクは、
この領域に形成されている接続流路２０から両側に分流
して、両側のリザーバ３の本体の大きなコンプライアン
スにより吸収される。
３の圧力を上昇させることになるが、リザーバ３の一方
の面はフィルム等の弾性変形可能な封止板１０により封
止され、かつヘッドホルダ６の対向する面に凹部１１が
形成されているから、封止板１０が圧力に応動して弾性
変形し、圧力上昇分を吸収する。またインク導入口１６
に対向する領域の圧力発生室４から逆流したインクは、
この領域に形成されている接続流路２０から両側に分流
して、両側のリザーバ３の本体の大きなコンプライアン
スにより吸収される。
【００２０】このようにしてリザーバ３のインクが消費
されると、インク供給針２１により接続されている図示
しないインクカートリッジのインクがヘッドホルダ６の
インク誘導路１２を経由してインク導入口１２からリザ
ーバ３の凹部１８の開口１８ａや接続流路２０から両側
に分流して流れ込む。
されると、インク供給針２１により接続されている図示
しないインクカートリッジのインクがヘッドホルダ６の
インク誘導路１２を経由してインク導入口１２からリザ
ーバ３の凹部１８の開口１８ａや接続流路２０から両側
に分流して流れ込む。
【００２１】図６は、本発明の第２の実施例を示すもの
であって、この実施例においては前述の突出部１９を、
凹部１８を取り囲むように周回さて圧力発生室側（図
中、左側）に壁部１９ｂを形成し、壁部１９ｂに接続流
路２４を形成したものである。
であって、この実施例においては前述の突出部１９を、
凹部１８を取り囲むように周回さて圧力発生室側（図
中、左側）に壁部１９ｂを形成し、壁部１９ｂに接続流
路２４を形成したものである。
【００２２】この実施例によればインク誘導路１２の開
口１３の周縁と可及的に長い周長での当接領域を確保で
き、より安定に接着構造を確保することができる。
口１３の周縁と可及的に長い周長での当接領域を確保で
き、より安定に接着構造を確保することができる。
【００２３】なお、上述の実施例においては壁部１９ｂ
に接続流路２４を形成しているが、図７に示したように
圧力発生室側のリザーバに対向する細長い領域に凹所２
５を形成するとともに、壁部１９ｂに接続するように枝
２６を形成すると、凹部１８とリザーバ３との連通を確
保しつつ、壁部１９ｂを補強することができる。
に接続流路２４を形成しているが、図７に示したように
圧力発生室側のリザーバに対向する細長い領域に凹所２
５を形成するとともに、壁部１９ｂに接続するように枝
２６を形成すると、凹部１８とリザーバ３との連通を確
保しつつ、壁部１９ｂを補強することができる。
【００２４】さらには、図８に示したように枝２６の先
端部２６ａを凹部から若干後退させて開口領域２７を確
保するとともに、先端部２６ａの厚みをスペーサ１５と
同一の厚みに形成して、ここをヘッドホルダ６のインク
誘導路１２の開口１３の周縁の支持領域とすることもで
きる。
端部２６ａを凹部から若干後退させて開口領域２７を確
保するとともに、先端部２６ａの厚みをスペーサ１５と
同一の厚みに形成して、ここをヘッドホルダ６のインク
誘導路１２の開口１３の周縁の支持領域とすることもで
きる。
【００２５】なお、上述の実施例においては、ヘッドホ
ルダ６のインク誘導路１２の開口１３とリザーバ３との
接続流路を封止板１０側に形成しているが、図９（イ）
に示したようにノズルプレート側に接続流路２０’を形
成したり、また図９（ロ）に示したように両面に接続流
路２０”を形成しても同様の作用を奏することは明らか
である。
ルダ６のインク誘導路１２の開口１３とリザーバ３との
接続流路を封止板１０側に形成しているが、図９（イ）
に示したようにノズルプレート側に接続流路２０’を形
成したり、また図９（ロ）に示したように両面に接続流
路２０”を形成しても同様の作用を奏することは明らか
である。
【００２６】特にノズルプレート側に接続流路２０’を
形成した場合には、ヘッドホルダ６のインク誘導路１２
の開口１３の周辺に当接する領域のスペーサ１５の突起
１９が封止板１０側では広い面積で残るため、ヘッドホ
ルダ６と流路ユニット５との接着作業時にスペーサ１５
自体の剛性により接着のための圧力を掛け易い。これに
より、図１０、図１１に示すように図４に示した実施例
における突出部１９の先端１９ａや図６、図７に示した
実施例における壁部１９ｂ、さらには図８に示した実施
例における先端部２６ａに相当する領域までを接続流路
とするように凹部を拡大して形成することができ、接続
流路での流路抵抗を下げることが可能となる。
形成した場合には、ヘッドホルダ６のインク誘導路１２
の開口１３の周辺に当接する領域のスペーサ１５の突起
１９が封止板１０側では広い面積で残るため、ヘッドホ
ルダ６と流路ユニット５との接着作業時にスペーサ１５
自体の剛性により接着のための圧力を掛け易い。これに
より、図１０、図１１に示すように図４に示した実施例
における突出部１９の先端１９ａや図６、図７に示した
実施例における壁部１９ｂ、さらには図８に示した実施
例における先端部２６ａに相当する領域までを接続流路
とするように凹部を拡大して形成することができ、接続
流路での流路抵抗を下げることが可能となる。
【００２７】さらには、図１２に示したようにヘッドホ
ルダ６のインク誘導路１２の開口１３周辺に当たる領域
を凹部とすることができる。
ルダ６のインク誘導路１２の開口１３周辺に当たる領域
を凹部とすることができる。
【００２８】また上述の実施例においては、ヘッドホル
ダ６のインク誘導路１２の開口１３とリザーバ３との接
続流路をリザーバ３の延長方向に１つずつ形成している
が、各方向に複数形成したり、また図１３に示したよう
に開口１３の周辺に島部１９ｃを残すように流路２０を
形成して流路ユニットの接着性を確保しつつ、接続流路
の流路抵抗を下げることができる。
ダ６のインク誘導路１２の開口１３とリザーバ３との接
続流路をリザーバ３の延長方向に１つずつ形成している
が、各方向に複数形成したり、また図１３に示したよう
に開口１３の周辺に島部１９ｃを残すように流路２０を
形成して流路ユニットの接着性を確保しつつ、接続流路
の流路抵抗を下げることができる。
【００２９】さらには、上述の実施例においては圧力発
生手段として軸方向に伸縮する圧電振動子を使用してい
るが、たわみ振動する圧電振動子を各圧力発生室４に対
向させて設けたり、またインクを蒸発、気化させること
ができる発熱素子を各圧力発生室４に設けた記録ヘッド
に適用しても同様の作用をそうする。
生手段として軸方向に伸縮する圧電振動子を使用してい
るが、たわみ振動する圧電振動子を各圧力発生室４に対
向させて設けたり、またインクを蒸発、気化させること
ができる発熱素子を各圧力発生室４に設けた記録ヘッド
に適用しても同様の作用をそうする。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
スペーサが、そのインク導入口の周囲にリザーバの本体
に連通する接続流路が形成され、リザーバを跨ぐ方向に
インク誘導路の開口部の外周の少なくとも２点を支持す
る領域を有するので、流路ユニットの接着の過程におい
てはインク導入口の近傍に形成されているスペーサの凸
部によりヘッドホルダのインク誘導路の外周の複数点を
ヘッドホルダに当接させて確実な接着を確保することが
でき、またインク誘導口近傍の圧力発生室からリザーバ
に逆流したインクをこの領域に形成されている凹部から
両側に分流させて両側の大きなコンプライアンスにより
吸収させることができる。
スペーサが、そのインク導入口の周囲にリザーバの本体
に連通する接続流路が形成され、リザーバを跨ぐ方向に
インク誘導路の開口部の外周の少なくとも２点を支持す
る領域を有するので、流路ユニットの接着の過程におい
てはインク導入口の近傍に形成されているスペーサの凸
部によりヘッドホルダのインク誘導路の外周の複数点を
ヘッドホルダに当接させて確実な接着を確保することが
でき、またインク誘導口近傍の圧力発生室からリザーバ
に逆流したインクをこの領域に形成されている凹部から
両側に分流させて両側の大きなコンプライアンスにより
吸収させることができる。
【図１】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施
例を示す断面図である。
例を示す断面図である。
【図２】同上記録ヘッドの組立て斜視図である。
【図３】スペーサの一実施例を示す平面図である。
【図４】同上スペーサの、ヘッドホルダのインク誘導路
の開口と対向する領域を拡大して示す平面図である。
の開口と対向する領域を拡大して示す平面図である。
【図５】ヘッドホルダのインク誘導路の開口の近傍を拡
大して示す断面図である。
大して示す断面図である。
【図６】本発明の他の実施例を、ヘッドホルダのインク
誘導路の開口の近傍を拡大して示す平面図である。
誘導路の開口の近傍を拡大して示す平面図である。
【図７】本発明の他の実施例を、ヘッドホルダのインク
誘導路の開口の近傍を拡大して示す平面図である。
誘導路の開口の近傍を拡大して示す平面図である。
【図８】本発明の他の実施例を、ヘッドホルダのインク
誘導路の開口の近傍を拡大して示す平面図である。
誘導路の開口の近傍を拡大して示す平面図である。
【図９】図（イ）、（ロ）は、それぞれ本発明の他の実
施例を、ヘッドホルダのインク誘導路の開口の近傍を拡
大して示す断面図である。
施例を、ヘッドホルダのインク誘導路の開口の近傍を拡
大して示す断面図である。
【図１０】同上、ノズルプレート側に接続用の凹部を形
成した場合の実施例を、ヘッドホルダのインク誘導路の
開口の近傍を拡大して示す平面図である。
成した場合の実施例を、ヘッドホルダのインク誘導路の
開口の近傍を拡大して示す平面図である。
【図１１】同上、ノズルプレート側に接続用の凹部を形
成した場合の実施例を、ヘッドホルダのインク誘導路の
開口の近傍を拡大して示す平面図である。
成した場合の実施例を、ヘッドホルダのインク誘導路の
開口の近傍を拡大して示す平面図である。
【図１２】同上、ノズルプレート側に接続用の凹部を形
成した場合の実施例を、ヘッドホルダのインク誘導路の
開口の近傍を拡大して示す平面図である。
成した場合の実施例を、ヘッドホルダのインク誘導路の
開口の近傍を拡大して示す平面図である。
【図１３】同上、ノズルプレート側に接続用の凹部を形
成した場合の実施例を、ヘッドホルダのインク誘導路の
開口の近傍を拡大して示す平面図である。
成した場合の実施例を、ヘッドホルダのインク誘導路の
開口の近傍を拡大して示す平面図である。
【符号の説明】 ３ リザーバ ４ 圧力発生室 ５ 流路ユニット ６ ヘッドホルダ ７ 圧電振動子 １０ 封止板 １２ インク誘導路 １３ 開口 １４ ノズルプレート １５ スペーサ １６ インク導入口 １８ 凹部 １９ 突出部 ２０ 接続流路
Claims (13)
- 【請求項１】 複数の圧力発生室を列状に形成するとと
もに、各列の圧力発生室にインク供給口を介して連通す
るリザーバを形成したスペーサと、前記圧力発生室に連
通するノズル開口が穿設されたノズルプレートと、前記
圧力発生室、及び前記リザーバを封止する封止板とを積
層して構成された流路ユニットと、 前記流路ユニットを固定するとともに、前記リザーバに
インクを注入するインク誘導路を備えたヘッドホルダと
を備え、 前記スペーサが、そのインク導入口の周囲に前記リザー
バの本体に連通する接続流路が形成され、前記リザーバ
を跨ぐ方向に前記インク誘導路の開口部の外周の少なく
とも２点を支持する領域を有するインクジェット式記録
ヘッド。 - 【請求項２】 前記接続流路が凹部として前記ノズルプ
レート側、または前記封止板側に形成されている請求項
１に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項３】 前記接続流路が凹部として前記ノズルプ
レート側と前記封止板側との両面に形成されている請求
項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項４】 前記接続流路が前記ノズルプレート側に
開口し、かつ前記インク誘導路のほぼ外周を囲むように
形成されている請求項１に記載のインクジェット式記録
ヘッド。 - 【請求項５】 前記接続流路が、前記インク誘導路の開
口に接続するように複数に分岐している請求項１に記載
のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項６】 前記スペーサが、シリコン単結晶基板を
異方性エッチングして構成され、前記接続流路がシリコ
ン単結晶基板のハーフエッチングにより形成されている
請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項７】 前記インク導入口の外側の境界が前記リ
ザーバの最外側とほぼ一致する請求項１に記載のインク
ジェット式記録ヘッド。 - 【請求項８】 前記ヘッドホルダのインク誘導路の開口
の周縁が、リザーバを跨いで支持されている請求項１に
記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項９】 前記ヘッドホルダのインク誘導路の開口
の周縁の一部が、リザーバ内で支持されている請求項１
に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項１０】 前記圧力発生室側の前記リザーバに対
向する領域に凹所が形成されている請求項１に記載のイ
ンクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項１１】 前記封止板が、前記リザーバに対向す
る領域で弾性変形可能で、また前記ヘッドホルダに前記
弾性変形を可能ならしめる凹部が形成されている請求項
１に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項１２】 前記封止板が、前記圧力発生室に対向
する領域で弾性変形可能で、かつ圧電振動子の変位を受
ける請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項１３】 前記圧力発生室にインクを気化させる
発熱素子が設けられている請求項１に記載のインクジェ
ット式記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6793898A JP3743474B2 (ja) | 1998-03-03 | 1998-03-03 | インクジェット式記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6793898A JP3743474B2 (ja) | 1998-03-03 | 1998-03-03 | インクジェット式記録ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11245399A true JPH11245399A (ja) | 1999-09-14 |
| JP3743474B2 JP3743474B2 (ja) | 2006-02-08 |
Family
ID=13359384
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6793898A Expired - Fee Related JP3743474B2 (ja) | 1998-03-03 | 1998-03-03 | インクジェット式記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3743474B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6557985B2 (en) | 1999-01-29 | 2003-05-06 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head |
-
1998
- 1998-03-03 JP JP6793898A patent/JP3743474B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6557985B2 (en) | 1999-01-29 | 2003-05-06 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3743474B2 (ja) | 2006-02-08 |
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