JPH11250688A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPH11250688A
JPH11250688A JP10050775A JP5077598A JPH11250688A JP H11250688 A JPH11250688 A JP H11250688A JP 10050775 A JP10050775 A JP 10050775A JP 5077598 A JP5077598 A JP 5077598A JP H11250688 A JPH11250688 A JP H11250688A
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memory cell
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Toshimasa Namegawa
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    • G11C29/78Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices
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    • G11C29/848Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with improved access time or stability by adjacent switching

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  • Dram (AREA)
  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 データ線の本数が増大した場合、データ転送
の高速化が困難であった。 【解決手段】 不良アドレス記憶回路80は不良データ線
のアドレスを記憶し、この記憶したアドレスに応じて不
良データ線を置き換えるための信号を出力する。デコー
ダ群70を構成する各デコード回路D0…D15 は不良アドレ
ス記憶回路80の出力信号に応じて、データ線を置き換え
るための信号を同時に出力する。第1、第2のスイッチ
群50、60はデコード回路D0…D15 の出力信号に応じてデ
ータ線を冗長データ線方向にシフトし、不良データ線を
瞬時に置き換える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばダイナミッ
ク・ランダム・アクセス・メモリ(以下、DRAMと称
す)に適用され、入力アドレスに応じてデータ線を置き
換える不良救済方式を備えた半導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】大容量の半導体記憶装置は、冗長メモリ
セルを備え、不良メモリセルを冗長メモリセルと置き換
える救済方式が採用されている。このように不良メモリ
セルを救済することにより、半導体記憶装置の歩留まり
を向上している。
【0003】半導体記憶装置の総容量は、行アドレスR
と列アドレスCとデータ線幅(ビット数)Wの積であ
る。近時、広バス幅の要求が強いため、データ線幅Wが
大きくなり、相対的に列アドレスR又は行アドレスCが
小さくなる傾向にある。例えば64MビットDRAMの
場合、従来はR=4K、C=1K、W=16であった
が、最近登場したシステムオンチップを目指すロジック
回路に混載されたDRAMにおいては、R=4K、C=
64、W=256となっている。
【0004】従来は、行アドレスによるワード線の置き
換え、又は列アドレスによるビット線を置き換えにより
不良メモリセルの救済が行われていた。この方式は、行
又は列のアドレス幅が小さい場合、冗長メモリセルを相
対的に多く準備しないと高い救済率が望めない。
【0005】また、データ線幅が大きい半導体記憶装置
においては、冗長メモリセルとそれに接続された冗長デ
ータ線を用意し、不良データ線を冗長データ線で置き換
える方式の方が救済効率が高くなることが知られてい
る。この種のデータ線置き換え方式においては、一般
に、データ線シフト方式が使用されている。このデータ
線シフト方式は、不良したデータ線を隣接するデータ線
により置き換え、その置き換えに使われたデータ線をさ
らに隣接するデータ線と置き換え、これを繰り返して最
後のデータ線を冗長データ線と置き換える方式である。
【0006】図10は、従来のデータ線シフト方式の半
導体記憶装置の一例を示すものである。この半導体記憶
装置は、メモリセルアレイ110、冗長メモリセルアレ
イ120を有している。アドレス信号はカラムアドレス
信号130及びロウアドレス信号140としてメモリセ
ルアレイ110及び冗長メモリセルアレイ120に供給
される。メモリセルアレイ110には16ビットのデー
タ幅を有するデータ線150、151、152、15
3、154…1515が接続され、冗長メモリセルアレ
イ120には冗長データ線160が接続されている。前
記アドレス信号130、140に応じてメモリセルアレ
イ110から読み出されたデータはデータ線150…1
515を介してスイッチ回路群170に供給される。こ
のスイッチ回路群170はスイッチSW0…SW15を
有している。スイッチSW0の入力端は前記データ冗長
データ線160、及びデータ線150に接続され、スイ
ッチSW1…SW15の各入力端は隣接する2本のデー
タ線に接続される。各スイッチSW0…SW15の出力
端はデータ入出力線IO0、IO1…IO15にそれぞ
れ接続されている。これらスイッチSW0…SW15に
はデコーダ群180を構成するデコード回路D0…D1
5が接続され、これらデコード回路D0…D15にはヒ
ューズ回路群190を構成するヒューズ191と抵抗1
92の接続点が接続される。
【0007】上記構成において、メモリセルアレイ11
0のメモリセルに不良が有る場合、この不良メモリセル
が接続されるデータ線に対応するヒューズが切断され
る。例えばデータ線154に不良が有るとすると、これ
に対応して、デコード回路D4に接続されるヒューズが
切断される。すると、このヒューズに対応するデコード
回路D4の出力信号に応じて、スイッチSW4が隣のデ
ータ線153とデータ入出力線IO4とを接続し、不良
データ線154が正常なデータ線153により救済され
る。これとともに、デコーダD4からデコーダD0方向
に順次信号が伝達され、これらデコーダD4…D0によ
り、スイッチSW3…SW0が切り換えられる。このた
め、スイッチSW3はデータ線152とデータ入出力線
IO3とを接続し、スイッチSW2はデータ線151と
データ入出力線IO2とを接続する。こうして各スイッ
チを切換え、各スイッチが隣のデータ線を選択するよう
にする。そして、最後のスイッチSW0が冗長データ線
160とデータ入出力線IO0とを接続する。このよう
にして、データ線154の不良が救済される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】図10に示すデータ線
シフト方式による不良メモリセルの救済は、入力される
アドレスに応じて一意のデータ線のみ救済するため、救
済効率が十分に上がらない。すなわち、切断されたフュ
ーズに接続されたデコード回路に対応するデータ線以外
救済することができない。そこで、救済効率を向上する
ため、入力されるアドレスに応じて異なる不良データ線
を置き換え可能とする方式が考えられている。
【0009】図11は、従来の半導体記憶装置の他の例
を示すものであり、冗長データ線を任意の複数の不良デ
ータ線と置き換え可能とした例を示している。図11
は、特開平7−114800号公報に開示されている回
路であり、図11において、図10と同一部分には同一
符号を付している。この例の場合、第1のスイッチ回路
群210を構成する各スイッチの一端は冗長データ線1
60に接続され、第2のスイッチ群220を構成する各
スイッチの一端は各データ線150…1515に接続さ
れている。これら第1のスイッチ回路210の各スイッ
チの他端は、第2のスイッチ回路210の各スイッチの
他端とともに対応するデータ入出力線IO0…IO15
に接続されている。第1のスイッチ回路210の各スイ
ッチはデコーダ群230を構成する各デコード回路D0
…D15の出力信号により制御され、第2のスイッチ回
路220の各スイッチはデコーダ群230を構成する各
デコード回路D0…D15の反転出力信号により制御さ
れる。これらデコード回路D0…D15は不良アドレス
記憶回路(F)240に接続されている。この不良アド
レス記憶回路240は不良アドレスを保持し、入力され
たアドレスと保持しているアドレスとが一致した場合、
複数ビットの信号を出力する。前記各デコード回路D0
…D15は不良アドレス記憶回路240の出力信号に応
じて通常第2のスイッチ群220のスイッチをオン状態
とし、第1のスイッチ群210の各スイッチをオフ状態
に設定している。一方、不良アドレス記憶回路240に
保持されている不良アドレスと、入力されたアドレスと
が一致した場合、不良アドレス記憶回路240の出力信
号に応じて対応するデコード回路の出力信号が反転され
る。例えばデータ線151に不良がある場合において、
デコード回路D1の出力信号が反転した場合、データ線
151がデータ入出力線IO1から切り離され、冗長デ
ータ線160に接続される。したがって、データ線15
1が冗長データ線160により救済される。
【0010】この例の場合、入力アドレスに応じて不良
データ線を救済することができる。しかも、不良アドレ
スが供給された場合、不良のメモリセルに接続されたデ
ータ線は瞬時に冗長データ線に切り換えられるため、デ
ータ転送に時間的な余裕がある。しかし、データ幅が多
くなった場合、冗長データ線160の長さが長くなるた
め、配線の容量が増大し高速なデータ転送が困難となる
ことが予想される。
【0011】本発明は、上記課題を解決すものであり、
その目的とするところは、データ幅が大きくなった場合
においても高速なデータ転送を行うことが可能な半導体
記憶装置を提供するものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、複数のメモリセルが配置されたメモリセル
アレイと、このメモリセルアレイの一端に隣接して配置
された冗長メモリセルアレイと、前記メモリセルアレイ
に接続され、データを転送するための複数のデータ線
と、前記冗長メモリセルアレイに接続され、データを転
送するための冗長データ線と、前記複数のデータ線に対
応して配置された複数の入出力データ線と、前記データ
線と対応する前記入出力データ線とを接続する複数のス
イッチを有する第1のスイッチ群と、前記第1のスイッ
チ群と同数のスイッチを有し、前記メモリセルアレイの
他端に位置するデータ線を除く前記各データ線及び前記
冗長データ線と前記入出力データ線とを接続する第2の
スイッチ群と、不良データ線のアドレスを記憶する不良
アドレス記憶回路と、前記第1、第2のスイッチ群を構
成する各スイッチに対応してデコード回路が設けられ、
前記不良アドレス記憶回路から出力される不良データ線
のアドレスに応じて、前記第1、第2のスイッチ群を構
成する各スイッチのうち、不良データ線と前記冗長デー
タ線の間に位置するスイッチを制御するための信号を同
時に出力するデコーダ群とを具備している。
【0013】前記不良アドレス記憶回路は、不良データ
線のアドレスを記憶する複数のフューズ回路と、入力ア
ドレスに応じて前記フューズ回路から出力される不良デ
ータ線のアドレスを転送するトランスファーゲートとを
有し、前記各フューズ回路は不良データ線のアドレスに
応じてプログラムされるフューズと、電源投入時に前記
フューズの状態をラッチするラッチ回路とを具備してい
る。
【0014】前記デコーダ群を構成する各デコード回路
は、前記不良アドレス記憶回路から出力される不良デー
タ線のアドレスを受ける入力端と、前記第2のスイッチ
回路群のスイッチに接続された非反転出力端、及び前記
第1のスイッチ回路群のスイッチに接続された反転出力
端を有し、前記不良データ線のアドレスが対応するデー
タ線のアドレスと比べて等しいか大きい場合、非反転出
力端より第1の論理の信号を出力し、小さい場合、非反
転出力端より第2の論理の信号を出力する。
【0015】前記不良アドレス記憶回路は、データ線の
置き換えを行うか否かを示す信号を出力し、この信号は
前記デコーダ群のうち前記冗長データ線が接続されるス
イッチを制御するデコード回路のみに供給される。
【0016】また、本発明は、複数のメモリセルが配置
されたメモリセルアレイと、このメモリセルアレイの最
下位に隣接して配置された第1の冗長メモリセルアレイ
と、前記メモリセルアレイの最上位に隣接して配置され
た第2の冗長メモリセルアレイと、前記メモリセルアレ
イに接続され、データを転送するための複数のデータ線
と、前記第1の冗長メモリセルアレイに接続され、デー
タを転送するための第1の冗長データ線と、前記第2の
冗長メモリセルアレイに接続され、データを転送するた
めの第2の冗長データ線と、前記複数のデータ線に対応
して配置された複数の入出力データ線と、出力端に前記
入出力データ線がそれぞれ接続される複数のスイッチを
有し、前記各スイッチのうち、入力端に前記メモリセル
アレイの最下位に位置するデータ線が接続される最下位
のスイッチはこのデータ線に隣接するデータ線と前記第
1の冗長データ線が接続され、入力端に前記メモリセル
アレイの最上位に位置するデータ線が接続される最上位
のスイッチはこのデータ線に隣接するデータ線と前記第
2の冗長データ線が接続され、前記最下位及び最上位の
スイッチ以外の複数のスイッチは入力端に前記入出力デ
ータ線と対応する前記データ線と、このデータ線の両隣
に位置するデータ線が接続されるスイッチ群と、不良デ
ータ線のアドレスを記憶する不良アドレス記憶回路と、
前記スイッチ群を構成する各スイッチに対応してデコー
ド回路が設けられ、前記不良アドレス記憶回路から出力
される不良データ線のアドレスに応じて、前記スイッチ
群を構成する各スイッチのうち、不良データ線と前記冗
長データ線の間に位置するスイッチを制御するための信
号を同時に出力するデコーダ群とを具備している。
【0017】前記不良アドレス記憶回路は、第1の不良
データ線のアドレスを記憶する第1の不良アドレス記憶
回路、及び第2の不良データ線のアドレスを記憶する第
2の不良アドレス記憶回路を有し、前記デコーダ群は前
記第1の不良アドレス記憶回路より供給される第1の不
良データ線のアドレスに応じて前記スイッチを制御し、
データ線を前記第2の冗長データ線方向に置き換える第
1のデコーダ群と、前記第2の不良アドレス記憶回路よ
り供給される第2の不良データ線のアドレスに応じて前
記スイッチを制御し、データ線を前記第1の冗長データ
線方向に置き換える第2のデコーダ群と具備している。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
の形態を説明する。図1は、この発明の第1の実施の形
態を示すものであり、データ線シフト方式の半導体記憶
装置の一例を示すものである。この半導体記憶装置は、
例えばDRAMを構成するメモリセルアレイ10、冗長
メモリセルアレイ20を有している。アドレス信号AD
Dはカラムアドレス信号30及びロウアドレス信号40
としてメモリセルアレイ10及び冗長メモリセルアレイ
20に供給される。メモリセルアレイ10には16ビッ
トのデータ幅を有するデータ線DL0、DL1、DL
2、DL3、DL4…DL15が接続され、冗長メモリ
セルアレイ20には冗長データ線RDLが接続されてい
る。前記データ線DL0…DL15は第1のスイッチ回
路群50を介して入出力データ線IO0…IO15に接
続される。すなわち、各データ線DL0…DL15は第
1のスイッチ回路群50を構成する各スイッチSW1
0、SW11…SW115の一端にそれぞれ接続され、
各スイッチSW10、SW11…SW115の他端は入
出力データ線IO0、IO2…IO15にそれぞれ接続
されている。
【0019】また、前記冗長データ線RDL、及びデー
タ線DL0…DL14はデータ線を切り換えるための第
2のスイッチ回路群60を介して入出力データ線IO0
…IO15にそれぞれ接続される。すなわち、冗長デー
タ線RDL、及びデータ線DL0…DL14は第2のス
イッチ回路群60を構成するスイッチSW20、SW2
1…SW215の一端に接続され、各スイッチSW2
0、SW21…SW215の他端は入出力データ線IO
0…IO15にそれぞれ接続されている。
【0020】前記第1、第2のスイッチ群50、60を
構成する各スイッチはデコーダ群70を構成するデコー
ド回路D0…D15によりそれぞれ制御される。すなわ
ち、デコード回路D0の非反転出力端は前記スイッチS
W10に接続され、反転出力端はスイッチSW20に接
続される。デコード回路D1の非反転出力端はスイッチ
SW11に接続され、反転出力端はSW21に接続され
る。以下同様にしてデコード回路D15の非反転出力端
はスイッチSW115に接続され、反転出力端はSW2
15に接続される。これらデコード回路D0…D15の
入力端には不良アドレス記憶回路80の出力端が接続さ
れている。この不良アドレス記憶回路80は不良データ
線のアドレスを記憶するとともに、データ線の置き換え
を行うか否かを示すデータを記憶し、入力されたカラム
又はロウアドレスに応じて、複数ビットの信号からなる
不良データ線のアドレス、及びデータ線の置き換えを行
うか否かを示す信号を出力する。
【0021】前記各デコード回路D0…D15は不良ア
ドレス記憶回路80の出力信号に応じて、通常、第1の
スイッチ群50の各スイッチをオン状態とし、第2のス
イッチ群60の各スイッチをオフ状態に設定している。
一方、データ線の置き換えを行う場合、不良アドレス記
憶回路80の出力信号に応じて、不良データ線と冗長デ
ータ線に対応するデコード回路、及びこれらデコード回
路の相互間に位置するデコード回路の出力信号が反転さ
れる。例えばデータ線DL4に不良がある場合、不良ア
ドレス記憶回路80の出力信号に応じてデコード回路D
0…D4の出力信号が同時に反転され、第1のスイッチ
回路群50のスイッチSW10…SW14がオフ、第2
のスイッチ回路群60のスイッチSW20…SW24が
オンとされる。このため、データ線DL4がデータ線D
L3に置き換えられ、データ線DL3がデータ線DL2
に置き換えられる。以下、同様にして、データ線DL0
が冗長データ線RDLに置き換えられる。このスイッチ
による置き換え動作は、デコード回路D0…D4の出力
信号に応じて同時に行われる。
【0022】図2は、上記不良アドレス記憶回路80を
示すものである。この不良アドレス記憶回路80は、第
1、第2のフューズ回路群81、82と、デコーダ83
と、複数のトランスファーゲート群840…843によ
り構成されている。第1のフューズ回路群81はデータ
線の置き換えをするか否かのデータを記憶する複数のフ
ューズ回路81aを有している。第2のフューズ回路群
82は、不良データ線のアドレスを記憶する複数のフュ
ーズ回路82aを有している。デコーダ83は、カラム
又はロウのアドレス信号A0、A1に応じて、第1、第
2のフューズ回路群81、82より所定のフューズ回路
を選択するための選択信号を出力する。トランスファー
ゲート群840…843は、デコーダ83から供給され
る選択信号に応じて、前記各フューズ回路81a、82
aの出力信号を取り出す。この不良アドレス記憶回路8
0は、例えば4つの不良アドレスを記憶することが可能
とされ、これら記憶された不良アドレスはトランスファ
ーゲート群840…843により選択的に取り出され
る。
【0023】前記フューズ回路81a、82aは共に同
一構成であるため、フューズ回路81aについてのみ説
明する。電源電圧Vccが供給される端子と接地間には
PチャネルMOSトランジスタP1、NチャネルMOS
トランジスタN1、フューズF1が直列接続されてい
る。前記トランジスタP1のゲートにはクリア信号CL
EARが供給され、前記トランジスタN1のゲートには
セット信号SETが供給されている。前記トランジスタ
P1とN1の接続点はラッチ回路LTの入力端が接続さ
れている。このラッチ回路LTはPチャネルMOSトラ
ンジスタP2、P3、NチャネルMOSトランジスタN
2、N3により構成され、トランジスタP2とN2の接
続点が前記入力端となっている。NチャネルMOSトラ
ンジスタN2の一端はNチャネルMOSトランジスタN
4を介して接地されている。このトランジスタN4のゲ
ートには前記クリア信号CLEARが供給されている。
出力端としてのトランジスタP3、N3の接続点はトラ
ンスファーゲート84の入力端に接続されている。
【0024】上記構成の不良アドレス記憶回路80の動
作について説明する。先ず、前記メモリセルアレイ10
をテストし不良データ線を検出する。このテストの結
果、不良データ線が検出された場合、不良アドレス記憶
回路80に不良データ線のアドレスが設定される。すな
わち、第1のフューズ回路81を構成する各フューズ回
路81aのフューズが切断される。これとともに、第2
のフューズ回路82のうち、前記フューズ回路81aに
対応する一列のフューズ回路82aが、不良データ線の
アドレスに応じてプログラムされ、所要のフューズ回路
82aのフューズF1が切断される。このプログラムさ
れたフューズの情報は、半導体記憶装置の電源投入時に
クリア信号CLEAR、及びセット信号SETが供給さ
れることにより、各ラッチ回路LTにラッチされる。
【0025】メモリセルアレイ10のアクセス時に、カ
ラム又はロウに対応するアドレスA0、A1がデコーダ
83に供給され、このデコーダ83の出力信号に応じて
トランスファーゲート群840…843のうちの一つが
オンとされると、このオンとされたトランスファーゲー
ト群より“1”又は“0”の論理レベルの信号が組み合
わされた出力信号FE、F0、F1、F2、F3が出力
される。出力信号FEはデータ線置き換えをするか否か
を示し、信号F0、F1、F2、F3は不良データ線の
アドレスを示している。これらの信号はデコーダ群70
を構成する各デコード回路D0…D15に供給される。
これらデコード回路D0…D15は供給された信号をデ
コードし、前記第1、第2のスイッチ群50、60の各
スイッチを切り換え制御する。
【0026】図3は、前記不良アドレス記憶回路80の
出力信号とデコード回路D0…D15の論理を示してい
る。不良データ線の置き換えを行う場合、前記出力信号
FFは論理“1”、置き換えを行わない場合、論理
“0”に設定される。出力信号F0、F1、F2、F3
は前述したように、不良データ線のアドレスの最下位ビ
ットから最上位ビットまでを示している。デコード回路
D0…D15は、図3に示す論理に従って、信号F0、
F1、F2、F3をデコードし、不良データ線のアドレ
スが対応するデータ線のアドレスと比べて等しいか大き
い場合、非反転出力端より論理“1”を出力し、小さい
場合、非反転出力端より論理“0”を出力する。
【0027】例えばデータ線DL3が不良の場合、デコ
ード回路D0…DL3は非反転出力端より論理“1”を
出力し、デコード回路D4…D15は非反転出力端より
論理“0”を出力する。このため、第1のスイッチ回路
群50のSW10…SW13はオフ、SW14…SW1
15はオンとなり、第2のスイッチ回路群60のSW2
0…SW23はオン、SW24…SW215はオフとな
る。このため、データ線DL3がデータ線DL2に置き
換えられ、データ線DL2がデータ線DL1に置き換え
られ、データ線DL1がデータ線DL0に置き換えら
れ、データ線DL0が冗長データ線RDLに置き換えら
れる。
【0028】また、データ線の置き換えを行わない場
合、不良データ線記憶回路80の出力信号FEは論理
“0”、他の出力信号F0…F3も論理“0”となる。
このため、デコード回路D0…D15の非反転出力端は
全て論理“0”の信号を出力する。このため、データ線
の置き換えは行われない。
【0029】一方、最も冗長データ線RDLから遠いデ
ータ線を置き換える場合、不良データ線記憶回路80の
出力信号FEは論理“1”、他の出力信号F0…F3も
論理“1”となる。このため、デコード回路D0…D1
5の非反転出力端は全て論理“1”の信号を出力する。
このため、全てのデータ線が置き換えられる。
【0030】図4は、図1に示す構成の具体的な回路図
を示しており、図1と同一部分には同一符号を付す。こ
の回路は、デコーダ群70を構成する各デコード回路D
0…D15が全て3段のナンド回路(又はアンド回路)
N1、N2、N3、及びインバータ回路I1により構成
されている。このうち、デコード回路D0の入力端のみ
に不良アドレス記憶回路80から出力される置き換えを
するか否かを示す信号FEが供給され、その他のデコー
ド回路D1…D15には、不良データ線のアドレスを示
す信号F0…F3のみが供給される。置き換えをするか
否かを示す信号FEをデコード回路D0のみに入力する
ことにより、この信号の配線長を短縮できるため、スイ
ッチを高速に制御できる。
【0031】尚、入力端が非接続のナンド回路は入力端
に論理“1”の信号が供給されていることを示してい
る。このような構成及び論理とすることにより、各デコ
ード回路D0…D15を同一の回路構成とすることがで
き回路を簡単化できる。
【0032】図5は、前記冗長メモリセルアレイ20と
メモリセルアレイ10の一部の回路例を示しており、図
1と同一部分には同一符号を付している。メモリセルア
レイ10及び冗長メモリセルアレイ20の構成はこれに
限定されるものではない。
【0033】メモリセルアレイ10及び冗長メモリセル
アレイ20は、例えば4つのメモリアレイブロックBL
K0…BLK3に分割されている。各メモリアレイブロ
ックBLK0…BLK3には、1つのトランジスタと1
つのキャパシタからなる複数のメモリセルMCがマトリ
クス状に配置されている。各トランジスタのゲートはワ
ード線WLに接続され、各トランジスタの電流通路の一
端はビット線BLに接続されている。各メモリアレイブ
ロックBLK0…BLK3の行方向には、ロウアドレス
に応じて前記ワード線を選択するロウデコーダRD0…
RD3が配置されている。
【0034】また、各メモリアレイブロックBLK0…
BLK3の列方向には、センスアンプブロックSA0…
SA3が配置されている。各センスアンプブロックSA
0…SA3は複数のセンスアンプを有し、各センスアン
プは前記一対のビット線BLに接続され、これらビット
線BLはカラム選択トランジスタCSTの電流通路の一
端にそれぞれ接続されている。これらカラム選択トラン
ジスタCSTのゲートはカラム選択線CSLが接続され
ている。各センスアンプブロックSA0…SA3には隣
接してカラムデコーダCD0…CD3が配置され、これ
らカラムデコーダCD0…CD3はカラムアドレスに応
じて前記カラム選択線CSLを選択する。
【0035】前記冗長メモリセルアレイ20に配置され
た各カラム選択トランジスタCSTの電流通路の他端は
それぞれ冗長データ線RDLに接続され、前記メモリセ
ルアレイ10に配置された各カラム選択トランジスタC
STの電流通路の他端はそれぞれデータ線DL0、DL
1…に接続されている。これら冗長データ線RDL、デ
ータ線DL0、DL1…にはバッファRDQB、DQB
0、DQB1…がそれぞれ接続されている。
【0036】上記第1の実施の形態によれば、不良アド
レス記憶回路80から出力される不良データ線のアドレ
スをデコーダ群70に設けられた各デコーダによりデコ
ードし、第1、第2のスイッチ群50、60を構成する
各スイッチのオン、オフ状態を切り換える信号を同時に
出力している。したがって、不良データ線のアドレスに
応じて不良データ線から冗長データ線に対応するスイッ
チを同時に切り換えることができるため、従来のよう
に、隣接するデコーダの出力信号に依存することなく、
高速動作が可能である。
【0037】また、冗長データ線をメモリセルアレイに
沿って配線する必要がないため、冗長データ線の容量を
最小限に抑えることができ、しかも、冗長データ線の容
量がデータ線の本数に依存することがないため、高速動
作が可能である。
【0038】図6、図7は、第1の実施の形態の変形例
を示すものである。第1の実施の形態は16本のデータ
線を例に説明したが、この変形例は144本のデータ線
に対するデコーダの論理を示している。144本のデー
タ線のうちの1本を指定するため、8ビットのアドレス
線を使用する。すなわち、不良アドレス記憶回路より8
ビットの信号(これをF[0:8]と示す)を出力する
構成とする。この8ビットのうち下位3ビットF[0:
2]を図2、図3の論理に従ってプリデコードし、7つ
のプリデコード信号(これをza[0:6]と示す)を
生成する。次に、同様にして、次の3ビットF[3:
5]をプリデコードし、7つのプリデコード信号(これ
をzb[0:6]と示す)を生成する。さらに、残りの
上位2ビットF[6:7]をプリデコードし、3つのプ
リデコード信号(これをzc[0:2]と示す)を生成
する。図6は、各プリデコード信号の論理を示してい
る。図中“&&”は論理積を示し、“||”は論理和を
示している。
【0039】また、この変形例の場合、前記デコーダ群
は144個のデコード回路を有しており、これらの各デ
コード回路に選択的に、上記プリデコード信号za
[0:6]、zb[0:6]、zc[0:2]が供給さ
れる。各デコード回路は、図7に示すように、例えば4
段のナンド回路N1…N4と1段のインバータ回路I1
により構成される。また、第1、第2のスイッチ群はそ
れぞれ144個のスイッチにより構成されている。これ
らスイッチは144個のデコーダ回路の出力信号により
制御される。
【0040】このような構成とすることにより、144
本のデータ線を高速に置き換えることができる。図8
は、本発明の第2の実施の形態を示すものであり、図1
と同一部分には同一符号を付す。この実施の形態は、冗
長データ線を2系統配置している。すなわち、メモリセ
ルアレイ10の最上位及び最下位の両側に冗長メモリセ
ルアレイ200、201を配置するとともに、これら冗
長メモリセルアレイ200、201に冗長データ線RD
L0、RDL1を配置している。さらに、データ線を最
下位側(図示左側)又は最上位側(図示右側)にシフト
するためのスイッチ群500と、このスイッチ群500
を制御する第1、第2のデコーダ群710、720が設
けられている。この第1のデコーダ群710には、不良
アドレスを記憶するとともに、この記憶したアドレスに
応じた信号を出力する第1の不良アドレス記憶回路81
0が接続され、前記第2のデコーダ群720には、不良
アドレスを記憶するとともに、この記憶したアドレスに
応じた信号を出力する第2の不良アドレス記憶回路82
0が接続されている。
【0041】前記スイッチ群500を構成する各スイッ
チSW0…SW15はそれぞれ3入力のスイッチであ
り、各スイッチSW1…SW14の入力端には対応する
データ線と、このデータ線の両側に位置するデータ線が
接続されている。また、スイッチSW0の入力端には対
応するデータ線DL0と、このデータ線DL0に隣接す
るデータ線DL1及び冗長データ線RDL0が接続さ
れ、スイッチSW15の入力端には対応するデータ線D
L15と、このデータ線DL15に隣接するデータ線D
L14及び冗長データ線RDL1が接続されている。
【0042】前記第1のデコーダ群810は、不良アド
レスに応じてスイッチ群500の対応するスイッチを制
御し、不良データ線より上位に位置するデータ線を上位
側のデータ線に置き換える。また、第2のデコーダ群8
20は、不良アドレスに応じてスイッチ群500の対応
するスイッチを制御し、不良データ線より下位に位置す
るデータ線を下位側のデータ線に置き換える。第1、第
2のデコーダ群710、720、及び第1、第2の不良
アドレス記憶回路810、820の構成及び論理は第1
の実施の形態、及び変形例で説明したと同様である。
【0043】データ線の置き換え方法は、以下のような
態様が考えられる。不良データ線の数が1本の場合、不
良データ線の位置に応じて、冗長データ線RDL0又は
RDL1を使用する。すなわち、例えば冗長データ線R
DL0に近いデータ線が不良の場合、図9(a)に示す
ように不良データ線(×印で示す)と冗長データ線RD
L0の間のデータ線が置き換えられる。また、冗長デー
タ線RDL1に近いデータ線が不良の場合、図9(b)
に示すように不良データ線(×印で示す)と冗長データ
線RDL1の間のデータ線が置き換えられる。
【0044】さらに、不良データ線の数が例えば2本の
場合、図9(c)に示すように一方の不良データ線(×
印で示す)と冗長データ線RDL0の間のデータ線が置
き換えられるとともに、他の不良データ線(×印で示
す)と冗長データ線RDL1の間のデータ線が置き換え
られる。
【0045】これらデータ線の置き換えは、不良データ
線の本数と位置に応じて第1、第2の不良アドレス記憶
回路810、820のフューズをプログラムすることに
より実行できる。
【0046】上記第2の実施の形態によっても、第1の
実施の形態と同様の効果を得ることができる。しかも、
第2の実施の形態によれば、複数のデータ線を救済でき
るため救済効率を向上できる。尚、この発明は、上記実
施の形態に限定されるものではなく、発明の要旨を変え
ない範囲で種々変形実施可能なことは勿論である。
【0047】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、デ
ータ幅が大きくなった場合においても高速なデータ転送
を行うことが可能な半導体記憶装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態を示す構成図。
【図2】図1の一部の構成を示す回路図。
【図3】図2に示す回路の論理を説明するために示す
図。
【図4】図1を具体的に示す回路図。
【図5】図1の一部の構成を示す回路図。
【図6】第1の実施の形態の変形例を説明するために示
す図。
【図7】第1の実施の形態の変形例に適用されるデコー
ダ回路の一例を示す回路図。
【図8】本発明の第2の実施の形態を示す構成図。
【図9】図8の動作を説明するために示す概略図。
【図10】従来の半導体記憶装置の一例を示す構成図。
【図11】従来の半導体記憶装置の他例を示す構成図。
【符号の説明】
10…メモリセルアレイ、 20…冗長メモリセルアレイ、 3…カラムアドレス、 4…ロウアドレス、 50…第1のスイッチ群、 60…第2のスイッチ群、 70…デコーダ群、 80…不良アドレス記憶回路、 200、201…第1、第2の冗長メモリセルアレイ、 500…スイッチ群、 710、720…第1、第2のデコーダ群、 810、820…第1、第2の不良アドレス記憶回路、 DL0…DL15…データ線、 RDL…冗長データ線、 RDL0、RDL1…第1、第2の冗長データ線、 D0…D15…デコード回路、 ADD…アドレス、 F1…フューズ。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のメモリセルが配置されたメモリセ
    ルアレイと、 このメモリセルアレイの一端に隣接して配置された冗長
    メモリセルアレイと、 前記メモリセルアレイに接続され、データを転送するた
    めの複数のデータ線と、 前記冗長メモリセルアレイに接続され、データを転送す
    るための冗長データ線と、 前記複数のデータ線に対応して配置された複数の入出力
    データ線と、 前記データ線と対応する前記入出力データ線とを接続す
    る複数のスイッチを有する第1のスイッチ群と、 前記第1のスイッチ群と同数のスイッチを有し、前記メ
    モリセルアレイの他端に位置するデータ線を除く前記各
    データ線及び前記冗長データ線と前記入出力データ線と
    を接続する第2のスイッチ群と、 不良データ線のアドレスを記憶する不良アドレス記憶回
    路と、 前記第1、第2のスイッチ群を構成する各スイッチに対
    応してデコード回路が設けられ、前記不良アドレス記憶
    回路から出力される不良データ線のアドレスに応じて、
    前記第1、第2のスイッチ群を構成する各スイッチのう
    ち、不良データ線と前記冗長データ線の間に位置するス
    イッチを制御するための信号を同時に出力するデコーダ
    群とを具備することを特徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 前記不良アドレス記憶回路は、不良デー
    タ線のアドレスを記憶する複数のフューズ回路と、入力
    アドレスに応じて前記フューズ回路から出力される不良
    データ線のアドレスを転送するトランスファーゲートと
    を有し、前記各フューズ回路は不良データ線のアドレス
    に応じてプログラムされるフューズと、電源投入時に前
    記フューズの状態をラッチするラッチ回路とを具備する
    ことを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 前記デコーダ群を構成する各デコード回
    路は、前記不良アドレス記憶回路から出力される不良デ
    ータ線のアドレスを受ける入力端と、前記第2のスイッ
    チ回路群のスイッチに接続された非反転出力端、及び前
    記第1のスイッチ回路群のスイッチに接続された反転出
    力端を有し、前記不良データ線のアドレスが対応するデ
    ータ線のアドレスと比べて等しいか大きい場合、非反転
    出力端より第1の論理の信号を出力し、小さい場合、非
    反転出力端より第2の論理の信号を出力することを特徴
    とする請求項1記載の半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】 前記不良アドレス記憶回路は、データ線
    の置き換えを行うか否かを示す信号を出力し、この信号
    は前記デコーダ群のうち前記冗長データ線が接続される
    スイッチを制御するデコード回路のみに供給されること
    を特徴とする請求項3記載の半導体記憶装置。
  5. 【請求項5】 複数のメモリセルが配置されたメモリセ
    ルアレイと、 このメモリセルアレイの最下位に隣接して配置された第
    1の冗長メモリセルアレイと、 前記メモリセルアレイの最上位に隣接して配置された第
    2の冗長メモリセルアレイと、 前記メモリセルアレイに接続され、データを転送するた
    めの複数のデータ線と、 前記第1の冗長メモリセルアレイに接続され、データを
    転送するための第1の冗長データ線と、 前記第2の冗長メモリセルアレイに接続され、データを
    転送するための第2の冗長データ線と、 前記複数のデータ線に対応して配置された複数の入出力
    データ線と、 出力端に前記入出力データ線がそれぞれ接続される複数
    のスイッチを有し、前記各スイッチのうち、入力端に前
    記メモリセルアレイの最下位に位置するデータ線が接続
    される最下位のスイッチはこのデータ線に隣接するデー
    タ線と前記第1の冗長データ線が接続され、入力端に前
    記メモリセルアレイの最上位に位置するデータ線が接続
    される最上位のスイッチはこのデータ線に隣接するデー
    タ線と前記第2の冗長データ線が接続され、前記最下位
    及び最上位のスイッチ以外の複数のスイッチは入力端に
    前記入出力データ線と対応する前記データ線と、このデ
    ータ線の両隣に位置するデータ線が接続されるスイッチ
    群と、 不良データ線のアドレスを記憶する不良アドレス記憶回
    路と、 前記スイッチ群を構成する各スイッチに対応してデコー
    ド回路が設けられ、前記不良アドレス記憶回路から出力
    される不良データ線のアドレスに応じて、前記スイッチ
    群を構成する各スイッチのうち、不良データ線と前記冗
    長データ線の間に位置するスイッチを制御するための信
    号を同時に出力するデコーダ群とを具備することを特徴
    とする半導体記憶装置。
  6. 【請求項6】 前記不良アドレス記憶回路は、第1の不
    良データ線のアドレスを記憶する第1の不良アドレス記
    憶回路、及び第2の不良データ線のアドレスを記憶する
    第2の不良アドレス記憶回路を有し、前記デコーダ群は
    前記第1の不良アドレス記憶回路より供給される第1の
    不良データ線のアドレスに応じて前記スイッチを制御
    し、データ線を前記第2の冗長データ線方向に置き換え
    る第1のデコーダ群と、前記第2の不良アドレス記憶回
    路より供給される第2の不良データ線のアドレスに応じ
    て前記スイッチを制御し、データ線を前記第1の冗長デ
    ータ線方向に置き換える第2のデコーダ群と具備するこ
    とを特徴とする請求項5記載の半導体記憶装置。
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