JPH11254364A5 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH11254364A5 JPH11254364A5 JP1998082547A JP8254798A JPH11254364A5 JP H11254364 A5 JPH11254364 A5 JP H11254364A5 JP 1998082547 A JP1998082547 A JP 1998082547A JP 8254798 A JP8254798 A JP 8254798A JP H11254364 A5 JPH11254364 A5 JP H11254364A5
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- transport robot
- clamp
- substrate transport
- robot according
- Prior art date
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- Pending
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Description
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、基板を所定の搭載位置において搭載し、所定の荷下ろし位置において荷下ろしする基板搬送ロボットにおいて、前記基板搬送ロボットは、関節アーム部と、該関節アーム部の先端に取り付けられたハンド部とを備え、該ハンド部には、基板を載置する基板載置部と、該基板載置部に載置された基板をクランプするクランプ機構とが設けられ、該クランプ機構は、前記搭載位置又は荷下ろし位置に設けられた解除部材によってクランプを解除可能に構成されていることを特徴とする基板搬送ロボットである。
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、基板を所定の搭載位置において搭載し、所定の荷下ろし位置において荷下ろしする基板搬送ロボットにおいて、前記基板搬送ロボットは、関節アーム部と、該関節アーム部の先端に取り付けられたハンド部とを備え、該ハンド部には、基板を載置する基板載置部と、該基板載置部に載置された基板をクランプするクランプ機構とが設けられ、該クランプ機構は、前記搭載位置又は荷下ろし位置に設けられた解除部材によってクランプを解除可能に構成されていることを特徴とする基板搬送ロボットである。
Claims (5)
- 基板を所定の搭載位置において搭載し、所定の荷下ろし位置において荷下ろしする基板搬送ロボットにおいて、
前記基板搬送ロボットは、関節アーム部と、該関節アーム部の先端に取り付けられたハンド部とを備え、
該ハンド部には、基板を載置する基板載置部と、該基板載置部に載置された基板をクランプするクランプ機構とを備え、
該クランプ機構は、前記搭載位置又は荷下ろし位置に設けられた解除部材によってクランプを解除可能に構成されていることを特徴とする基板搬送ロボット。 - 前記クランプ機構は、前記ハンド部の裏面側に設けられたクランプレバーと、該クランプレバーを付勢するばね部材と、該クランプレバーの先端から前記ハンド部を貫通して前記基板載置部に突出するクランプピンと、前記クランプレバーに設けられて前記解除部材に係合する解除部とを有することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送ロボット。
- 前記基板載置部には、前記基板の裏面を頂部で受ける複数の支持ピンが設けられていることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送ロボット。
- 前記基板載置部には、前記基板の側面を案内するガイドピンが設けられていることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送ロボット。
- イオンビーム照射領域及び基板供給部を有する真空チャンバと、該真空チャンバ内において前記基板供給部から基板を出し入れする請求項１ないし４のいずれかに記載の基板搬送ロボットとを有することを特徴とするイオン注入装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8254798A JPH11254364A (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | 基板搬送ロボット |
| US09/266,893 US6313469B1 (en) | 1998-03-13 | 1999-03-12 | Substrate handling apparatus and ion implantation apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8254798A JPH11254364A (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | 基板搬送ロボット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11254364A JPH11254364A (ja) | 1999-09-21 |
| JPH11254364A5 true JPH11254364A5 (ja) | 2004-12-16 |
Family
ID=13777538
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8254798A Pending JPH11254364A (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | 基板搬送ロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11254364A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7799247B2 (ja) * | 2023-06-12 | 2026-01-15 | 日新イオン機器株式会社 | イオン注入装置 |
| CN121199594B (zh) * | 2025-09-30 | 2026-03-03 | 安徽鲲鹏装备模具制造有限公司 | 一种自动快速安全插管装置及方法 |
-
1998
- 1998-03-13 JP JP8254798A patent/JPH11254364A/ja active Pending
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