JPH09309788A - 単結晶引上装置の保持台へのルツボの組み付け方法と、その方法に用いられる保持台組み立て装置、および保持台 - Google Patents

単結晶引上装置の保持台へのルツボの組み付け方法と、その方法に用いられる保持台組み立て装置、および保持台

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JPH09309788A
JPH09309788A JP8125031A JP12503196A JPH09309788A JP H09309788 A JPH09309788 A JP H09309788A JP 8125031 A JP8125031 A JP 8125031A JP 12503196 A JP12503196 A JP 12503196A JP H09309788 A JPH09309788 A JP H09309788A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 単結晶引上装置の保持台へのルツボの組み付
け作業の安全性の向上、容易化、迅速化を図る。 【解決手段】 保持台１０にルツボ１を組み付ける方法
において、保持台１０を、底部１１と、底部１１に組み
付けられる胴部１２とに分割しておき、底部１１にルツ
ボ１を載せ、その後、底部１１に胴部１２を組み付けて
保持台１０を組み立てることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、単結晶引上装置の
保持台へのルツボの組み付け作業を容易且つ迅速に行な
うことができる単結晶引上装置の保持台へのルツボの組
み付け方法と、その方法に用いられる保持台組み立て装
置、および保持台に関する。
【０００２】
【従来の技術】単結晶引上装置は、ルツボでシリコン等
の半導体原料を半導体融液とし、この半導体融液から半
導体単結晶を引き上げながら成長させるものであり、ル
ツボは、例えば、シリコン単結晶（即ちケイ素の単結
晶）を成長させるものでは、ケイ素と酸素の化合物であ
る石英製のものを用いる必要がある。この石英のルツボ
は、シリコン単結晶を引き上げながら成長させる過程で
必ずしも十分な剛性をもたないので、単結晶引上装置
は、ルツボを保持する保持台（いわゆるサセプタ）を備
えている。
【０００３】ところで、単結晶引上装置で半導体単結晶
を製造した後に、次の半導体単結晶を製造するために
は、まず、単結晶引上装置のルツボ、保持台等を内蔵す
る気密容器からルツボを取り出すと共に、保持台を取り
出して、クリーン室内において、ルツボ内の半導体原料
の残留物を除去する。そして、保持台に新しいルツボを
組み付けて、ルツボ内に新たな半導体原料を入れ、蓋を
して、単結晶引上装置の気密容器に運び込み、保持台お
よびルツボを組み入れる。
【０００４】この一連の作業の内、保持台にルツボを組
み付ける作業は、従来、作業員がルツボの上端部を持っ
て、保持台内部にルツボを降ろしてゆくようにして行な
われている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、そのように保
持台にルツボを組み付ける作業では、上端部を持ってル
ツボの重量を支持しなければならないため、大口径の半
導体単結晶の製造のために大きなルツボを用いる場合に
は特に、作業が苛酷となり、安全性にも問題があった。
【０００６】本発明は、上記事情に鑑み、単結晶引上装
置の保持台へのルツボの組み付け作業を安全、容易且つ
迅速に行なうことができる単結晶引上装置の保持台への
ルツボの組み付け方法と、その方法に用いられる保持台
組み立て装置、および保持台を提供することを目的とし
ている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の第一の発明は、
半導体原料を貯留するルツボと、ルツボを保持する保持
台とを備える単結晶引上装置において、保持台にルツボ
を組み付ける保持台へのルツボの組み付け方法であっ
て、保持台を、底部と、底部に組み付けられる胴部とに
分割しておき、底部にルツボを載せ、その後、底部に胴
部を組み付けて保持台を組み立てることを特徴とする。
即ち、ルツボを保持台の底部に載せる際には、ルツボの
胴部の中間部或いは下部を掴んで持つことが可能であ
る。
【０００８】本発明の第二の発明は、第一の発明の単結
晶引上装置の保持台へのルツボの組み付け方法に用いら
れる保持台組み立て装置であって、保持台の底部が載置
される底部載置台と、保持台の胴部が載置される胴部載
置台と、底部載置台と胴部載置台とを接近させて、保持
台の底部と保持台の胴部とを組み立てる接近駆動機構と
を備えることを特徴とする。即ち、底部に胴部を組み付
けて保持台を組み立てる作業を、容易且つ迅速に行なう
ことが可能である。
【０００９】本発明の第三の発明は、第一の発明の単結
晶引上装置の保持台へのルツボの組み付け方法に用いら
れる保持台であって、底部と、底部が嵌合する嵌合穴部
を有する胴部とを備え、底部の外周の嵌合面と胴部の嵌
合穴部の嵌合面とは、下方に向けて先細りな傾斜面を有
していることを特徴とする。即ち、胴部の嵌合穴部を底
部に嵌合させて底部と胴部を組み立てる際に、傾斜面に
より底部に対して胴部が案内されるので、嵌合を容易、
円滑にすることが可能である。また、嵌合の後には、傾
斜面により、胴部に対する底部の脱落が阻止されるの
で、胴部を把持して保持台を運ぶことが可能である。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づき説明する。まず、本実施形態の単結晶引上装置
のルツボ１は、図１に示すように、上方に開放された筒
状をなす胴部２と、下方に凸の球面状をなし、胴部２の
下端を閉塞する底部３とから構成されている。
【００１１】次に、保持台１０は、ルツボ１の底部３中
央部分が支持される円板状の底部１１と、底部１１が嵌
合する嵌合穴部１３を有し、ルツボ１の底部３周縁部分
及び胴部２を支持する胴部１２とを備えており、底部１
１の外周の嵌合面１１ａと胴部１２の嵌合穴部１３の嵌
合面１３ａとは、図２に示すように、下方に向けて先細
りな傾斜面１１ｂ、１３ｂを有している。また、胴部１
２の底面には、位置決め用環状凹部１４が嵌合穴部１３
を囲むように形成されており、更に、胴部１２は、図３
に示すように、水平な周方向に連設され結合された三個
の分割片１５、１５、１５からなっている。また、図２
の底部１１の下面は、位置決め用の凹部１１ｃを有して
いる。
【００１２】次に、図１に示すように、クリーン室Ｒの
床上には、保持台組み立て装置２００が設けられてい
る。保持台組み立て装置２００は、走行自在な底台車２
１０と、底台車２１０に立設された支柱２２５と、支柱
２２５の上端に固設され、保持台１０の底部１１が載置
される底部載置台２３０と、保持台１０の胴部１２が載
置される胴部載置台２４０と、胴部載置台２４０を上方
（図中矢印Ｍ方向）に移動させて、保持台１０の底部１
１と保持台１０の胴部１２とを組み立てる接近駆動機構
２５０とを備える。
【００１３】底台車２１０は、主フレーム２１１と、主
フレーム２１１に多数設けられた車輪２１３、２１３、
…とを備えており、主フレーム２１１は、二本の平行棒
部２１２、２１２と、二本の平行棒部２１２、２１２間
に架設された架設フレーム２１５とを有している。底部
載置台２３０は、図２の保持台１０の底部１１より小径
の水平な円板状をなしている。
【００１４】胴部載置台２４０は、中央に開放空間を有
するコ字状のフレーム２４１と、フレーム２４１上に水
平に設けられた円板状の載置台本体２４２とを有してお
り、載置台本体２４２の中央部には、穴部２４３が貫通
形成されている。前記支柱２２５と底部載置台２３０
は、この穴部２４３を貫通可能に設けられている。ま
た、胴部載置台２４０の載置台本体２４２の上面には、
保持台１０の胴部１２が、その嵌合穴部１３の中心線を
胴部載置台２４０の穴部２４３の中心線に一致させて載
置されており、胴部載置台２４０の載置台本体２４２の
上面には、保持台１０の胴部１２の底面の位置決め用環
状凹部１４に係合する係合突起２４５が周設されてい
る。係合突起２４５の内面は、上方に向けて漸次拡大す
る案内面２４５ａとなっている。また、底部載置台２３
０は、保持台１０の底部１１の凹部１１ｃに嵌合する位
置決め用の凸部２３１を有している。
【００１５】図１に示す接近駆動機構２５０は、底台車
２１０の主フレーム２１１と胴部載置台２４０のフレー
ム２４１との間に設けられ、上下に伸縮駆動自在な載置
台用油圧ジャッキ２５１を有する。
【００１６】以下に、保持台組み立て装置２００を用い
た保持台１０へのルツボ１の組み付け方法について説明
する。
【００１７】まず、載置台本体２４２を上昇させ、保持
台１０を、その底部１１と胴部１２とが組み合わされた
状態で保持台組み立て装置２００に設置する。
【００１８】保持台組み立て装置２００への保持台１０
の設置では、保持台１０の底部１１は、保持台組み立て
装置２００の底部載置台２３０の中心ＣＰ１に中心を一
致させて載置され、保持台１０の胴部１２は、保持台組
み立て装置２００の胴部載置台２４０に、底部載置台２
３０を囲んで載置される。次に、胴部載置台２４０と共
に保持台１０の胴部１２を下げておき、底部１１の周囲
の上方の空間が開放された状態にする。
【００１９】尚、胴部載置台２４０への保持台１０の胴
部１２の載置においては、胴部１２を、図３に示す三個
の分割片１５、１５、１５に分割しておき、それぞれ、
図１の胴部載置台２４０に載置して筒状に組み立てる
と、重量の大なる胴部１２を一度に持ち上げて載置する
場合に比して、作業を軽減することができる。また、図
２に示すように、胴部載置台２４０の上面には、保持台
１０の胴部１２の底面の位置決め用環状凹部１４に係合
する係合突起２４５が周設されており、この係合突起２
４５の内面は、上方に向けて漸次拡大する案内面２４５
ａとなっている。よって、各分割片１５、１５、１５の
底面の位置決め用環状凹部１４を係合突起２４５の案内
面２４５ａに係合させながら設置することで、図３の各
分割片１５、１５、１５を容易に図２のように定位置に
載置することができる。即ち、組み立てられた胴部１２
の嵌合穴部１３の中心線を胴部載置台２４０の穴部２４
３の中心線に一致させることが容易にできる。これによ
り、胴部載置台２４０への保持台１０の胴部１２の載置
を容易に行なうことができる。また、保持台１０の底部
１１と底部載置台２３０は、互いに嵌合する位置決め用
の凹部１１ｃと凸部２３１を有しているので、保持台１
０の底部１１を、その中心が底部載置台２３０の中心に
高精度に一致するように載置させる作業も容易にでき
る。
【００２０】図１に示すルツボ１を、保持台１０の底部
１１に中心線を合わせた状態で載せる。そこで、保持台
組み立て装置２００の載置台用油圧ジャッキ２５１を駆
動して、胴部載置台２４０を図中矢印Ｍ方向に上昇させ
る。すると、胴部載置台２４０に載置された保持台１０
の胴部１２が、漸次ルツボ１の周囲を覆うように上昇さ
れ、しまいに胴部１２の内面がルツボ１の外面に密着す
る。また、同時に、胴部１２の嵌合穴部１３には、底部
載置台２３０上の底部１１が嵌合される。底部１１の外
周の嵌合面１１ａと胴部１２の嵌合穴部１３の嵌合面１
３ａとは、図２に示すように、下方に向けて先細りな傾
斜面１１ｂ、１３ｂを有しているので、傾斜面１１ｂ、
１３ｂにより底部１１に対して胴部１２が案内される。
よって、嵌合を容易且つ円滑に行なうことができる。ま
た、組み立て後の保持台１０の運搬では、傾斜面１１
ｂ、１３ｂにより、胴部１２に対する底部１１の脱落が
阻止されるので、嵌合以外の接合作業を要しない。これ
により、保持台１０の組み立てを容易且つ迅速に行なう
ことができる。
【００２１】また、以上のような方法では、保持台１０
を底部１１と胴部１２に分割しておき、底部１１にルツ
ボ１を載せた後、保持台１０の底部１１に胴部１２を組
み付けるようにしたので、図１に示すように、ルツボ１
の胴部２の中間部或いは下部を掴んでルツボ１を保持台
１０の底部１１に載置することができる。よって、ルツ
ボ１の支持が容易である。
【００２２】本実施形態では、以上のような作用効果を
奏するため、保持台１０へのルツボ１の組み付け作業を
安全、容易且つ迅速に行なうことができる。
【００２３】尚、本発明は、上記保持台組み立て装置２
００において、底台車２１０に代えて、固定型の基台と
する場合を含む。
【００２４】上記接近駆動機構２５０に代えて、底部載
置台２３０を胴部載置台２４０に向けて移動させて、保
持台１０の底部１１と保持台１０の胴部１２とを組み立
てる接近駆動機構としてもよい。
【００２５】胴部１２は、必ずしも、図３に示すように
三個の分割片１５、１５、１５から構成する必要はな
く、二個の分割片で構成しても、四個以上の分割片で構
成してもよい。更には、本発明は、胴部１２を分割不能
の一体のもので構成する場合を含む。
【００２６】
【発明の効果】本発明の第一の発明の単結晶引上装置の
保持台へのルツボの組み付け方法によれば、保持台にル
ツボが載置されるまで、ルツボの胴部の中間部或いは下
部を掴んでルツボを持つことができるので、ルツボの支
持が容易である。よって、保持台へのルツボの組み付け
作業を安全、容易且つ迅速に行なうことができる。
【００２７】本発明の第二の発明の保持台組み立て装置
によれば、保持台の底部に胴部を組み付けて保持台を組
み立てる作業を容易且つ迅速に行なうことができるの
で、保持台へのルツボの組み付け作業の更なる安全性の
向上、容易化、迅速化を図ることができる。
【００２８】本発明の第三の発明の保持台によれば、胴
部の嵌合穴部を底部に嵌合させて底部と胴部を組み立て
る際に、案内面となる傾斜面により、その嵌合を容易、
円滑にすることができる。また、嵌合の後には、その傾
斜面が支持面となり、胴部に対する底部の脱落が阻止さ
れるので、嵌合以外の接合作業を要しない。よって、保
持台の組み立て作業を容易且つ迅速に行なうことがで
き、保持台へのルツボの組み付け作業の更なる安全性の
向上、容易化、迅速化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の単結晶引上装置の保持台へのルツボ
の組み付け方法に用いられる保持台組み立て装置の一実
施形態の側面図である。
【図２】 図１の保持台組み立て装置に設けられた保持
台の拡大図である。
【図３】 図２の保持台の平面図である。
【符号の説明】
１ ルツボ １０ 保持台 １１ 底部 １１ａ 嵌合面 １１ｂ 傾斜面 １２ 胴部 １３ 嵌合穴部 １３ａ 嵌合面 １３ｂ 傾斜面 ２００ 保持台組み立て装置 ２３０ 底部載置台 ２４０ 胴部載置台 ２５０ 接近駆動機構
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田口 裕章 東京都千代田区大手町一丁目５番１号 三 菱マテリアルシリコン株式会社内 (72)発明者 熱海 貴 東京都千代田区大手町一丁目５番１号 三 菱マテリアルシリコン株式会社内 (72)発明者 降屋 久 東京都千代田区大手町一丁目５番１号 三 菱マテリアルシリコン株式会社内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 半導体原料を貯留するルツボと、該ルツ
    ボを保持する保持台とを備える単結晶引上装置におい
    て、前記保持台に前記ルツボを組み付ける保持台へのル
    ツボの組み付け方法であって、 前記保持台を、底部と、該底部に組み付けられる胴部と
    に分割しておき、 前記底部に前記ルツボを載せ、 その後、前記底部に前記胴部を組み付けて前記保持台を
    組み立てることを特徴とする単結晶引上装置の保持台へ
    のルツボの組み付け方法。
  2. 【請求項２】 請求項１記載の単結晶引上装置の保持台
    へのルツボの組み付け方法に用いられる保持台組み立て
    装置であって、 前記保持台の底部が載置される底部載置台と、 前記保持台の胴部が載置される胴部載置台と、 前記底部載置台と前記胴部載置台とを接近させて、前記
    保持台の底部と前記保持台の胴部とを組み立てる接近駆
    動機構とを備えることを特徴とする保持台組み立て装
    置。
  3. 【請求項３】 請求項１記載の単結晶引上装置の保持台
    へのルツボの組み付け方法に用いられる保持台であっ
    て、 底部と、該底部が嵌合する嵌合穴部を有する胴部とを備
    え、 前記底部の外周の嵌合面と前記胴部の嵌合穴部の嵌合面
    とは、下方に向けて先細りな傾斜面を有していることを
    特徴とする保持台。
JP12503196A 1996-05-20 1996-05-20 単結晶引上装置の保持台へのルツボの組み付け方法と、その方法に用いられる保持台組み立て装置、および保持台 Expired - Fee Related JP3555326B2 (ja)

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