JPH11257968A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 所定の振動が励振されるべき振動アームであって、
   圧電性材料からなる振動体と、この振動体における前記所定の振動のＱ値を調整するように前記振動体に設けられている膜状のＱ値調整部とを備えていることを特徴とする、振動アーム。
2. 前記Ｑ値調整部の厚さが０．５μｍ以上であることを特徴とする、請求項１記載の振動アーム。
3. 前記振動アームが、前記Ｑ値調整部とは別に、前記所定の振動を駆動または検出するための膜状の電極部を備えており、この電極部が前記Ｑ値調整部とは接触しないように設けられていることを特徴とする、請求項１または２記載の振動アーム。
4. 前記振動アームが、前記Ｑ値調整部とは別に、前記所定の振動を駆動または検出するための膜状の電極部を備えており、前記電極部と前記Ｑ値調整部とが連続的に設けられていることを特徴とする、請求項１または２記載の振動アーム。
5. 前記Ｑ値調整部が、前記所定の振動を駆動または検出するための電極として機能することを特徴とする、請求項１または２記載の振動アーム。
6. 前記電極が、前記Ｑ値調整部と、前記Ｑ値調整部よりも薄い薄膜部分とを備えていることを特徴とする、請求項５記載の振動アーム。
7. 前記Ｑ値調整部が金膜を備えていることを特徴とする、請求項１−６のいずれか一つの請求項に記載の振動アーム。
8. 前記振動体が細長い形状をしている振動片であり、かつ前記所定の振動が、前記振動片を屈曲させる振動であることを特徴とする、請求項１−７のいずれか一つの請求項に記載の振動アーム。
9. 請求項１−８のいずれか一つの請求項に記載の振動アームを備えていることを特徴とする、振動子。
10. 請求項９記載の振動子を備えていることを特徴とする、振動型ジャイロスコープ。
11. 前記振動子が、駆動振動系と検出振動系とを備えており、前記駆動振動系と前記検出振動系とがそれぞれ少なくとも一つの前記振動アームを備えており、前記駆動振動系の前記振動アームを振動させ、かつ前記振動子が回転していないときに前記検出振動系の前記振動アームが実質的に振動しないことを特徴とする、請求項１０記載の振動型ジャイロスコープ。
12. 請求項１〜８のいずれか一つの請求項に記載の振動アームのＱ値調整を、振動アームの振動のＱ値を測定しながら、Ｑ値調整部を構成する材質の一部を、Ｑ値調整部に対してレーザー光を照射することによって、あるいは、逆スパッタリングによって除去することで、所定値に制御することで行うことを特徴とする、振動アームのＱ値調整方法。