JPH1126559A - 多連式センサ - Google Patents
多連式センサInfo
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- JPH1126559A JPH1126559A JP19046497A JP19046497A JPH1126559A JP H1126559 A JPH1126559 A JP H1126559A JP 19046497 A JP19046497 A JP 19046497A JP 19046497 A JP19046497 A JP 19046497A JP H1126559 A JPH1126559 A JP H1126559A
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- JP
- Japan
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- address
- sensor
- case
- wafer
- multiple sensor
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Switches Operated By Changes In Physical Conditions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】この発明は、アドレス表示を必要とする多連式
センサに対して、コストを低減して表示することがで
き、さらに、多連式センサを表裏いずれ側を検出装置に
取付けても、アドレスの表示ができ、加えて、アドレス
が見やい特徴を持った多連式センサの提供を目的とす
る。 【解決手段】この発明は、複数のセンサを並列状に配設
して形成した多連式センサであって、前記センサを保持
するケースのセンサ並列側の側面に、各センサのアドレ
スを示すアドレス符号を直接形成したことを特徴とし、
さらに、前記アドレス符号をケースのセンサ並列側の両
側面に直接形成し、また、前記アドレス符号の所定の数
置きの符号を他の符号より大きく形成し、また、前記ア
ドレス符号に対応させてケース側面の検出側に目盛りを
形成したことを特徴とする。
センサに対して、コストを低減して表示することがで
き、さらに、多連式センサを表裏いずれ側を検出装置に
取付けても、アドレスの表示ができ、加えて、アドレス
が見やい特徴を持った多連式センサの提供を目的とす
る。 【解決手段】この発明は、複数のセンサを並列状に配設
して形成した多連式センサであって、前記センサを保持
するケースのセンサ並列側の側面に、各センサのアドレ
スを示すアドレス符号を直接形成したことを特徴とし、
さらに、前記アドレス符号をケースのセンサ並列側の両
側面に直接形成し、また、前記アドレス符号の所定の数
置きの符号を他の符号より大きく形成し、また、前記ア
ドレス符号に対応させてケース側面の検出側に目盛りを
形成したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】この発明は、例えば、物体を
検出する透過形光電センサを複数並設して多連式に形成
し、例えば、整列収納された複数のウエハを検出するこ
とができるような多連式センサに関する。
検出する透過形光電センサを複数並設して多連式に形成
し、例えば、整列収納された複数のウエハを検出するこ
とができるような多連式センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】上述の多連式センサの一例として、半導
体集積回路を製造する工程で使用するウエハを検出する
ウエハセンサが従来存在する（例えば、特開平６−７７
３０７号、特公平６−１１０７０号）。
体集積回路を製造する工程で使用するウエハを検出する
ウエハセンサが従来存在する（例えば、特開平６−７７
３０７号、特公平６−１１０７０号）。
【０００３】この種のウエハセンサは、ウエハを挟むよ
うに複数対の投光器と受光器とが対向配置してケース本
体より突出して形成されている。このようなウエハセン
サで製造工程の各ロット毎にウエハの有無の監視や、次
工程に供給するウエハの枚数の確認などを行う。
うに複数対の投光器と受光器とが対向配置してケース本
体より突出して形成されている。このようなウエハセン
サで製造工程の各ロット毎にウエハの有無の監視や、次
工程に供給するウエハの枚数の確認などを行う。
【０００４】図１に示すように、上述のウエハ１０を各
工程に搬送する場合、ウエハキャリア１１に収納して搬
送するが、このウエハキャリア１１はウエハ１０を所定
間隔だけ離間して列状に配置して収納するように形成さ
れた容器であり、底部は開放されてウエハ１０の一部が
覗くように形成され、前述のウエハセンサ１２はこの底
部より上下動する検出装置の昇降ベース１３の側面に取
付けられて、ウエハキャリア１１の底部より内部のウエ
ア１０を検出するように設けられている。
工程に搬送する場合、ウエハキャリア１１に収納して搬
送するが、このウエハキャリア１１はウエハ１０を所定
間隔だけ離間して列状に配置して収納するように形成さ
れた容器であり、底部は開放されてウエハ１０の一部が
覗くように形成され、前述のウエハセンサ１２はこの底
部より上下動する検出装置の昇降ベース１３の側面に取
付けられて、ウエハキャリア１１の底部より内部のウエ
ア１０を検出するように設けられている。
【０００５】上述のウエハキャリア１１の前後の上縁部
１４，１４には、ウエハ１０…の収納位置に対応して、
例えば、収納位置が２５箇所あるとすれば、数字１から
数字２５をアドレス番号（符号）Ａとして付設され、前
述のウエハセンサ１２の側面にも、上述のウエハキャリ
ア１１のアドレス番号Ａに対応して、アドレス番号を形
成することが望ましい。これはウエアセンサ１２を昇降
ベース１３に取付けるとき、またその位置を調整すると
き、作業者にとって、ウエハセンサ１２の１つのセンサ
がウエハキャリア１１のどのアドレスのウエハ１０に対
応しているかを容易に確認することができるからであ
る。
１４，１４には、ウエハ１０…の収納位置に対応して、
例えば、収納位置が２５箇所あるとすれば、数字１から
数字２５をアドレス番号（符号）Ａとして付設され、前
述のウエハセンサ１２の側面にも、上述のウエハキャリ
ア１１のアドレス番号Ａに対応して、アドレス番号を形
成することが望ましい。これはウエアセンサ１２を昇降
ベース１３に取付けるとき、またその位置を調整すると
き、作業者にとって、ウエハセンサ１２の１つのセンサ
がウエハキャリア１１のどのアドレスのウエハ１０に対
応しているかを容易に確認することができるからであ
る。
【０００６】図２は、上述のウエハセンサ１２にアドレ
ス番号Ｂを形成する例を示し、例えば、アドレス番号Ｂ
をフィルム１５に印刷して、該フィルム１５をウエハセ
ンサ１２のセンサ並列側の側面に貼り付けて形成するこ
とができる。
ス番号Ｂを形成する例を示し、例えば、アドレス番号Ｂ
をフィルム１５に印刷して、該フィルム１５をウエハセ
ンサ１２のセンサ並列側の側面に貼り付けて形成するこ
とができる。
【０００７】しかし、図１の仮想線で示すように、ユー
ザによっては装置の据え付けや作業性のために、昇降ベ
ース１３に対して反対側（図１の左側）にウエハセンサ
１２を取付けて作業する場合がある。
ザによっては装置の据え付けや作業性のために、昇降ベ
ース１３に対して反対側（図１の左側）にウエハセンサ
１２を取付けて作業する場合がある。
【０００８】したがって、前述のウエハセンサのアドレ
ス番号Ｂは両側面に形成する必要が生じるが、しかし、
前述したフィルム１５をそのまま貼り付けると、図２の
左側のフィルム１５ａに示すように、アドレス番号Ｂが
逆向きとなるので、図中左側用のアドレス番号を印刷し
たフィルムが別に必要となる。このように２種類のアド
レス用フィルムを用意することは、コスト高となるばか
りか、これらを貼り付けるときの左右のフィルムの貼り
間違いが生じる問題点を有する。
ス番号Ｂは両側面に形成する必要が生じるが、しかし、
前述したフィルム１５をそのまま貼り付けると、図２の
左側のフィルム１５ａに示すように、アドレス番号Ｂが
逆向きとなるので、図中左側用のアドレス番号を印刷し
たフィルムが別に必要となる。このように２種類のアド
レス用フィルムを用意することは、コスト高となるばか
りか、これらを貼り付けるときの左右のフィルムの貼り
間違いが生じる問題点を有する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、アドレス
表示を必要とする多連式センサに対して、コストを低減
してアドレスを表示することができ、さらに、多連式セ
ンサを表裏いずれ側を検出装置に取付けても、アドレス
の表示ができ、加えて、アドレスが見やい特徴を持った
多連式センサの提供を目的とする。
表示を必要とする多連式センサに対して、コストを低減
してアドレスを表示することができ、さらに、多連式セ
ンサを表裏いずれ側を検出装置に取付けても、アドレス
の表示ができ、加えて、アドレスが見やい特徴を持った
多連式センサの提供を目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明は、複数のセン
サを並列状に配設して形成した多連式センサであって、
前記センサを保持するケースのセンサ並列側の側面に、
各センサのアドレスを示すアドレス符号を直接形成した
多連式センサであることを特徴とする。
サを並列状に配設して形成した多連式センサであって、
前記センサを保持するケースのセンサ並列側の側面に、
各センサのアドレスを示すアドレス符号を直接形成した
多連式センサであることを特徴とする。
【００１１】さらに、この発明は、前記アドレス符号を
ケースのセンサ並列側の両側面に直接形成し、また、前
記アドレス符号のうち所定の数置きの符号を他の符号よ
り大きく形成し、また、前記アドレス符号に対応させて
ケース側面の検出側に目盛りを形成し、さらにまた、こ
れらの多連式センサを用いて整列配置されたウエアを検
出するウエハセンサであることを特徴とする。
ケースのセンサ並列側の両側面に直接形成し、また、前
記アドレス符号のうち所定の数置きの符号を他の符号よ
り大きく形成し、また、前記アドレス符号に対応させて
ケース側面の検出側に目盛りを形成し、さらにまた、こ
れらの多連式センサを用いて整列配置されたウエアを検
出するウエハセンサであることを特徴とする。
【００１２】
【発明の作用・効果】この発明は、多連式センサのケー
スを樹脂で成型する金型にアドレス符号を形成する。ま
たは、ケースに印刷手段で印刷するなどして、ケースに
直接形成するので、コストを低減することができ、さら
に、アドレスの付け間違いが防止できる。また、位置ず
れの発生がなく、品質が安定する。さらに、上述の金型
にアドレス符号を形成したときは、組立て工数が削減で
きる。
スを樹脂で成型する金型にアドレス符号を形成する。ま
たは、ケースに印刷手段で印刷するなどして、ケースに
直接形成するので、コストを低減することができ、さら
に、アドレスの付け間違いが防止できる。また、位置ず
れの発生がなく、品質が安定する。さらに、上述の金型
にアドレス符号を形成したときは、組立て工数が削減で
きる。
【００１３】また、ケースの両側面にアドレス符号を形
成することで、多連式センサを検出するための装置に取
付けるとき、取付け面を選ばないため、取付け調整が容
易となる。
成することで、多連式センサを検出するための装置に取
付けるとき、取付け面を選ばないため、取付け調整が容
易となる。
【００１４】さらに、アドレス符号の所定の数置きの符
号を他の符号より大きく形成し、また、アドレス符号に
対応させてケース側面の検出側に目盛りを形成すること
により、アドレス符号が見やすく、目盛りにより被検出
物との対応が確認しやすくなり、多連式センサの取付け
やその位置調整の作業が容易となり、さらに、ウエハセ
ンサとして用いるとき、上述の効果をより発揮すること
ができる。
号を他の符号より大きく形成し、また、アドレス符号に
対応させてケース側面の検出側に目盛りを形成すること
により、アドレス符号が見やすく、目盛りにより被検出
物との対応が確認しやすくなり、多連式センサの取付け
やその位置調整の作業が容易となり、さらに、ウエハセ
ンサとして用いるとき、上述の効果をより発揮すること
ができる。
【００１５】
【実施例】この発明の一実施例を以下図面と共に説明す
る。図面は多連式センサの例としてウエハセンサ１２を
示し、図３において、上述のウエハセンサ１２はケース
２０と、該ケース２０の上端より上方に突出する多数の
検出アーム２１…とを備え、また、光電センサを構成す
る投光部および受光部はケース内部に収納され、そし
て、上述の検出アーム２１は投光部から出射される光を
ケース２０外の検出領域に導き、該検出領域を透過した
光を受光部に導く光路を形成している。
る。図面は多連式センサの例としてウエハセンサ１２を
示し、図３において、上述のウエハセンサ１２はケース
２０と、該ケース２０の上端より上方に突出する多数の
検出アーム２１…とを備え、また、光電センサを構成す
る投光部および受光部はケース内部に収納され、そし
て、上述の検出アーム２１は投光部から出射される光を
ケース２０外の検出領域に導き、該検出領域を透過した
光を受光部に導く光路を形成している。
【００１６】上述の多数の検出アーム２１…は、図１で
示したウエハキャリア１１に収納のウエハ１０…を検出
するために、その収納間隔に対応してアレイ状（並列
状）に配列して櫛歯状になし、この検出アーム２１の間
を検出領域に設定している。
示したウエハキャリア１１に収納のウエハ１０…を検出
するために、その収納間隔に対応してアレイ状（並列
状）に配列して櫛歯状になし、この検出アーム２１の間
を検出領域に設定している。
【００１７】したがって、ウエハ１０の収納枚数が２５
枚であれば、上述の検出領域は２５箇所が設定され、検
出アーム２１は２６個を配設し、各検出アーム２１…の
間がウエハ１０と対応する位置であり、該位置をアドレ
ス位置に設定して、前述のウエハキャリア１１のアドレ
ス番号（符号）Ａと対応して、検出アーム２１が並列す
る側のケース２０の側面に、図中左側から順次数字でア
ドレス番号Ｂを表示する。また、この表示においては、
アドレス番号の数の５置きの番号「１」「５」「１０」
…の文字の大きさを、他の番号の文字よりも大きく形成
ている。
枚であれば、上述の検出領域は２５箇所が設定され、検
出アーム２１は２６個を配設し、各検出アーム２１…の
間がウエハ１０と対応する位置であり、該位置をアドレ
ス位置に設定して、前述のウエハキャリア１１のアドレ
ス番号（符号）Ａと対応して、検出アーム２１が並列す
る側のケース２０の側面に、図中左側から順次数字でア
ドレス番号Ｂを表示する。また、この表示においては、
アドレス番号の数の５置きの番号「１」「５」「１０」
…の文字の大きさを、他の番号の文字よりも大きく形成
ている。
【００１８】さらに、上述のアドレス位置に対応して、
ケース２０側面の検出アーム２１近傍位置に、スケール
状に目盛りＣを付設し、しかも、上述の大きい文字のア
ドレス番号Ｂと対応する目盛りは他の目盛りより長く形
成している。
ケース２０側面の検出アーム２１近傍位置に、スケール
状に目盛りＣを付設し、しかも、上述の大きい文字のア
ドレス番号Ｂと対応する目盛りは他の目盛りより長く形
成している。
【００１９】そして、上述のアドレス番号Ｂと、目盛り
Ｃは、ケース２０を樹脂で成型する金型に形成し、ケー
ス２０の樹脂成型で形成される。図中、２２は制御信号
や検出信号を入出力するケーブルであり、また、２３は
その端部に接続したコネクタである。
Ｃは、ケース２０を樹脂で成型する金型に形成し、ケー
ス２０の樹脂成型で形成される。図中、２２は制御信号
や検出信号を入出力するケーブルであり、また、２３は
その端部に接続したコネクタである。
【００２０】図４は、図３で示したウエハセンサ１２の
裏面側を示し、この裏面側にも上述のアドレス番号Ｂ
と、目盛りＣとを同様な形成方法で形成している。但
し、アドレス番号Ｂは、図中右側から順次表示して、図
３で示す表面側のアドレス位置とアドレス番号Ｂが一致
するように形成している。
裏面側を示し、この裏面側にも上述のアドレス番号Ｂ
と、目盛りＣとを同様な形成方法で形成している。但
し、アドレス番号Ｂは、図中右側から順次表示して、図
３で示す表面側のアドレス位置とアドレス番号Ｂが一致
するように形成している。
【００２１】図５は、図４のＹ−Ｙ線断面を示し、前述
のケース２０はケース本体２４とケースカバー２５とで
構成し、前述の検出アーム２１の基部はケース本体２４
に取付けられると共に、該基部に投光部２６と受光部２
７が嵌着保持されている。
のケース２０はケース本体２４とケースカバー２５とで
構成し、前述の検出アーム２１の基部はケース本体２４
に取付けられると共に、該基部に投光部２６と受光部２
７が嵌着保持されている。
【００２２】投光部２６は、例えば、投光素子である発
光ダイオードであり、その投光面を検出アーム２１の投
光窓２７側に向けている。受光部２８は、例えば、受光
素子であるフォトダイオードであり、その受光面を検出
アーム２１の受光窓２９側に向けている。
光ダイオードであり、その投光面を検出アーム２１の投
光窓２７側に向けている。受光部２８は、例えば、受光
素子であるフォトダイオードであり、その受光面を検出
アーム２１の受光窓２９側に向けている。
【００２３】そして、検出アーム２１はケース２０の内
部に装着された基板３０に接続されると共に、前述の投
光部２６および受光部２８は基板３０上に構成される検
出回路に接続される。
部に装着された基板３０に接続されると共に、前述の投
光部２６および受光部２８は基板３０上に構成される検
出回路に接続される。
【００２４】図６は、前述の検出アーム２１の斜視図を
示し、検出アーム２１は、図示されるように、素子収納
部３１、３２と、ケース本体取付け部３３と、平行に伸
びる２本のアーム部３４，３５と、２本のアーム部の先
端を接続する先端部３６とで構成し、それらは黒色不透
明合成樹脂により一体形成される。また、前述の投光部
２６は素子収納部３１に圧入保持され、さらに、受光部
２８は筒状のシールド部材３７が嵌められて素子収納部
３２に圧入保持される。
示し、検出アーム２１は、図示されるように、素子収納
部３１、３２と、ケース本体取付け部３３と、平行に伸
びる２本のアーム部３４，３５と、２本のアーム部の先
端を接続する先端部３６とで構成し、それらは黒色不透
明合成樹脂により一体形成される。また、前述の投光部
２６は素子収納部３１に圧入保持され、さらに、受光部
２８は筒状のシールド部材３７が嵌められて素子収納部
３２に圧入保持される。
【００２５】前述の検出アーム２１の先端部３６の内面
３６ａには、投光部２６および受光部２８の光軸に対し
て４５度傾斜した第１、第２の反射面３９，４０が一体
的に形成されている。
３６ａには、投光部２６および受光部２８の光軸に対し
て４５度傾斜した第１、第２の反射面３９，４０が一体
的に形成されている。
【００２６】第１の反射面３９は、投光部２６から投光
された光を検出領域側に垂直方向に曲げ、検出領域に向
けて進むように往路光路Ｒ１を形成する。第２の反射面
４０は、この検出アーム２１に対設される別の検出アー
ム（図示省略）の反射部で折返し反射される折返し光路
Ｒ２が検出領域を透過して来た復路光路Ｒ３の光を受光
部２８側に垂直に曲げて受光部２８の方へ反射する。
された光を検出領域側に垂直方向に曲げ、検出領域に向
けて進むように往路光路Ｒ１を形成する。第２の反射面
４０は、この検出アーム２１に対設される別の検出アー
ム（図示省略）の反射部で折返し反射される折返し光路
Ｒ２が検出領域を透過して来た復路光路Ｒ３の光を受光
部２８側に垂直に曲げて受光部２８の方へ反射する。
【００２７】さらに、図６中の２点鎖線Ｘ−Ｘより右下
側に図示されているケース本体取付け部３３の部分は、
ケース本体２４の前面に形成された検出アーム２１の取
付け溝（図示省略）に嵌合して取付けられ、また、２点
鎖線Ｘ−Ｘより左上側に図示されているアーム部３４，
３５と先端部３６都は、ケース２０の前面から前方に突
出して設けられる。
側に図示されているケース本体取付け部３３の部分は、
ケース本体２４の前面に形成された検出アーム２１の取
付け溝（図示省略）に嵌合して取付けられ、また、２点
鎖線Ｘ−Ｘより左上側に図示されているアーム部３４，
３５と先端部３６都は、ケース２０の前面から前方に突
出して設けられる。
【００２８】このように構成される検出アーム２１と、
対の投光部２６および受光部２８とで１つの透過形光電
センサを形成し、ウエハセンサ１２を構成するには、こ
れらの透過形光電センサをアレイ状（並列状）に配置し
て構成する。このとき検出アーム２１は、表裏の向きを
揃えて、検出領域を挟んで向き合って往路光路Ｒ１、折
返し光路Ｒ２、復路光路Ｒ３を形成するように配列して
取付ける。
対の投光部２６および受光部２８とで１つの透過形光電
センサを形成し、ウエハセンサ１２を構成するには、こ
れらの透過形光電センサをアレイ状（並列状）に配置し
て構成する。このとき検出アーム２１は、表裏の向きを
揃えて、検出領域を挟んで向き合って往路光路Ｒ１、折
返し光路Ｒ２、復路光路Ｒ３を形成するように配列して
取付ける。
【００２９】このように構成したウエハセンサ１２を図
１に示す昇降ベース１３に取付けるとき、ウエハキャリ
ア１１のアドレス番号Ａにウエハセンサ１２のアドレス
番号Ｂの数字の配列の方向を合せて取付ける。この取付
けにおいて、図１の右側または左側に取付けてもウエハ
センサ１２のアドレス番号Ｂは、その両側面に形成して
いるので確認することができる。
１に示す昇降ベース１３に取付けるとき、ウエハキャリ
ア１１のアドレス番号Ａにウエハセンサ１２のアドレス
番号Ｂの数字の配列の方向を合せて取付ける。この取付
けにおいて、図１の右側または左側に取付けてもウエハ
センサ１２のアドレス番号Ｂは、その両側面に形成して
いるので確認することができる。
【００３０】したがって、このウエハセンサ１２のアド
レスの表示によれば、昇降ベース１３の取付け面を選ば
ないため、ユーザの取付け調整が容易となる。
レスの表示によれば、昇降ベース１３の取付け面を選ば
ないため、ユーザの取付け調整が容易となる。
【００３１】また、アドレス番号Ｂはケース２０を樹脂
で成型する金型に刻印してアドレス番号Ｂを形成して、
ケース２０に直接形成するので、コストを低減すること
ができ、さらに、アドレスの付け間違いが防止できる。
また、位置ずれの発生がなく、品質が安定し、組立て工
数が削減できる。
で成型する金型に刻印してアドレス番号Ｂを形成して、
ケース２０に直接形成するので、コストを低減すること
ができ、さらに、アドレスの付け間違いが防止できる。
また、位置ずれの発生がなく、品質が安定し、組立て工
数が削減できる。
【００３２】さらに、アドレス番号Ｂの「１」「５」
「１０」「１５」「２０」「２５」のように、所定の数
置きの番号を他の番号より大きく形成し、また、アドレ
ス番号Ｂに対応させてスケール状に目盛りＣを形成し、
かつこの目盛りＣも上述の大きい文字の番号に対応させ
た目盛りを長く形成することにより、アドレスが見やす
くなり、目盛りＣによりウエハ１０との対応が確認しや
すくなる。
「１０」「１５」「２０」「２５」のように、所定の数
置きの番号を他の番号より大きく形成し、また、アドレ
ス番号Ｂに対応させてスケール状に目盛りＣを形成し、
かつこの目盛りＣも上述の大きい文字の番号に対応させ
た目盛りを長く形成することにより、アドレスが見やす
くなり、目盛りＣによりウエハ１０との対応が確認しや
すくなる。
【００３３】なお、アドレス番号Ｂおよび目盛りＣは、
ケース２０に印刷手段で直接印刷して形成してもよい。
また、アドレス番号Ｂは番号ではなく、英文字など他の
符号であるもよい。この発明の構成は、上述の実施例の
構成のみに限定されるものではなく、請求項に記載され
た発明の技術的思想に基づいて応用される。
ケース２０に印刷手段で直接印刷して形成してもよい。
また、アドレス番号Ｂは番号ではなく、英文字など他の
符号であるもよい。この発明の構成は、上述の実施例の
構成のみに限定されるものではなく、請求項に記載され
た発明の技術的思想に基づいて応用される。
【図１】 検出装置に対するウエハセンサの取付け状態
を示す斜視図。
を示す斜視図。
【図２】 問題点を示すウエハセンサの斜視図。
【図３】 ウエハセンサの表側正面図。
【図４】 ウエハセンサの裏側正面図。
【図５】 図４のＹ−Ｙ線視断面図。
【図６】 検出アームの斜視図。
１２…ウエハセンサ ２０…ケース ２１…検出アーム ２６…投光部 ２８…受光部 Ｂ…アドレス番号 Ｃ…目盛り
Claims (5)
- 【請求項１】複数のセンサを並列状に配設して形成した
多連式センサであって、前記センサを保持するケースの
センサ並列側の側面に、各センサのアドレスを示すアド
レス符号を直接形成した多連式センサ。 - 【請求項２】前記アドレス符号をケースのセンサ並列側
の両側面に直接形成した請求項１記載の多連式センサ。 - 【請求項３】前記アドレス符号のうち所定の数置きの符
号を他の符号より大きく形成した請求項１記載の多連式
センサ。 - 【請求項４】前記アドレス符号に対応させてケース側面
の検出側に目盛りを形成した請求項１、２または３記載
の多連式センサ。 - 【請求項５】請求項１、２、３または４記載の多連式セ
ンサを用いて整列配置されたウエアを検出するウエハセ
ンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19046497A JPH1126559A (ja) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | 多連式センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19046497A JPH1126559A (ja) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | 多連式センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1126559A true JPH1126559A (ja) | 1999-01-29 |
Family
ID=16258561
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19046497A Pending JPH1126559A (ja) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | 多連式センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1126559A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015050401A (ja) * | 2013-09-04 | 2015-03-16 | 株式会社ディスコ | カセット |
-
1997
- 1997-06-30 JP JP19046497A patent/JPH1126559A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015050401A (ja) * | 2013-09-04 | 2015-03-16 | 株式会社ディスコ | カセット |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
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